TW202312467A - 固態影像感測器 - Google Patents

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Abstract

提供一種固態影像感測器，固態影像感測器包含半導體基板，半導體基板具有多個光電轉換元件。固態影像感測器也包含隔離結構，隔離結構設置於光電轉換元件之間。固態影像感測器更包含彩色濾光層，彩色濾光層設置於半導體基板的上方且具有多個彩色濾光區段，彩色濾光區段對應於光電轉換元件。此外，固態影像感測器包含有機膜，有機膜設置於彩色濾光層的上方。固態影像感測器也包含上電極與下電極，上電極與下電極分別設置於有機膜的上側與下側之上。固態影像感測器更包含多個奈米結構，奈米結構設置於有機膜的上側或下側之上。

Description

固態影像感測器
本揭露實施例是有關於一種影像感測器，且特別是有關於一種包含奈米結構的固態影像感測器。
固態影像感測器(例如，電荷耦合元件(charge-coupled device, CCD)影像感測器、互補式金屬氧化物半導體(complementary metal-oxide semiconductor, CMOS)影像感測器等)已經廣泛使用於各種影像拍攝設備，例如數位靜止影像相機、數位攝影機和類似的設備。固態影像感測器中的光感測部分可形成在每個像素處，並可根據在固態影像感測器的光感測部分中所接收的光量產生訊號電荷。此外，可傳送和放大在光感測部分中產生的訊號電荷，進而獲得影像訊號。
在一些固態影像感測器中可形成有機光電轉換膜(organic photoelectric conversion film)。然而，需要更厚的有機光電轉換膜以改善有機光電轉換膜的光電轉換效率。
在本揭露的一些實施例中，固態影像感測器包含奈米結構，奈米結構設置於有機膜(例如，有機光電轉換膜)的上側和/或下側之上，其可有效地提高光電轉換效率，從而改善來自固態影像感測器的光電轉換元件的影像訊號品質。
根據本揭露的一些實施例，提供一種固態影像感測器，固態影像感測器包含半導體基板，半導體基板具有多個光電轉換元件。固態影像感測器也包含隔離結構，隔離結構設置於光電轉換元件之間。固態影像感測器更包含彩色濾光層，彩色濾光層設置於半導體基板的上方且具有多個彩色濾光區段，彩色濾光區段對應於光電轉換元件。此外，固態影像感測器包含有機膜，有機膜設置於彩色濾光層的上方。固態影像感測器也包含上電極與下電極，上電極與下電極分別設置於有機膜的上側與下側之上。固態影像感測器更包含多個奈米結構，奈米結構設置於有機膜的上側或下側之上。
在一些實施例中，有機膜具有多個有機區段。
在一些實施例中，固態影像感測器更包含網格結構，網格結構設置於彩色濾光區段之間。
在一些實施例中，網格結構的折射率低於彩色濾光層的折射率。
在一些實施例中，網格結構也設置於有機區段之間。
在一些實施例中，網格結構的折射率低於有機膜的折射率。
在一些實施例中，隔離結構也設置於彩色濾光區段之間。
在一些實施例中，隔離結構進一步設置於有機區段之間。
在一些實施例中，在每個有機區段中的奈米結構的長度介於200 μm至500 μm。
在一些實施例中，奈米結構設置於有機膜的內部。
在一些實施例中，奈米結構設置於上電極的上側之上。
在一些實施例中，下電極具有多個電極區段，電極區段對應於光電轉換元件。
在一些實施例中，電極區段中的一個包含第一電極區段與第二電極區段，第一電極區段與第二電極區段對應於彩色濾光區段中的一個。
在一些實施例中，第一電極區段的長度與第二電極區段的長度不同。
在一些實施例中，有機膜具有多個有機區段，且第一電極區段與第二電極區段設置於有機區段中的特定有機區段的下側之上。
在一些實施例中，在特定有機區段中的奈米結構的長度對應於第一電極區段的長度。
在一些實施例中，奈米結構是上電極或下電極的一部分。
在一些實施例中，每個奈米結構形成為三角錐、圓錐或四角錐。
在一些實施例中，奈米結構包含透明導電材料或金屬。
在一些實施例中，固態影像感測器更包含聚光結構，聚光結構設置於有機膜之上，且聚光結構包含多個微透鏡，微透鏡對應於彩色濾光區段。
以下的揭露內容提供許多不同的實施例或範例以實施本案的不同特徵。以下的揭露內容敘述各個部件及其排列方式的特定範例，以簡化說明。當然，這些特定的範例並非用以限定。例如，若是本揭露實施例敘述第一特徵部件形成於第二特徵部件之上或上方，即表示其可能包含上述第一特徵部件與上述第二特徵部件是直接接觸的實施例，亦可能包含有附加特徵部件形成於上述第一特徵部件與上述第二特徵部件之間，而使上述第一特徵部件與第二特徵部件可能未直接接觸的實施例。
應理解的是，額外的操作步驟可實施於所述方法之前、之間或之後，且在所述方法的其他實施例中，部分的操作步驟可被取代或省略。
此外，本文中可能用到與空間相關用詞，例如「在… 之下」、「在… 的下方」、「下」、「在… 之上」、「在… 的上方」、「上」及類似的用詞，這些空間相關用詞係為了便於描述圖式中一個(些)元件或特徵部件與另一個(些)元件或特徵部件之間的關係，這些空間相關用詞包括使用中或操作中的裝置之不同方位，以及圖式中所描述的方位。當裝置被轉向不同方位時(旋轉90度或其他方位)，則其中所使用的空間相關形容詞也將依轉向後的方位來解釋。
在本揭露中，「約」、「大約」、「實質上」之用語通常表示在一給定值或範圍的20%之內，或10%之內，或5%之內，或3%之內，或2%之內，或1%之內，或0.5%之內。本揭露的給定值為大約的數量。亦即，在沒有特定說明「約」、「大約」、「實質上」的情況下，給定值包含「約」、「大約」、「實質上」之含義。
除非另外定義，在此使用的全部用語(包括技術及科學用語)具有與此篇揭露所屬之一般技藝者所通常理解的相同涵義。能理解的是，這些用語，例如在通常使用的字典中定義的用語，應被解讀成具有與相關技術及本揭露的背景或上下文一致的意思，而不應以一理想化或過度正式的方式解讀，除非在本揭露實施例有特別定義。
以下所揭露之不同實施例可能重複使用相同的參考符號及/或標記。這些重複係為了簡化與清晰的目的，並非用以限定所討論的不同實施例及/或結構之間有特定的關係。
第1圖是根據本揭露的一些實施例繪示固態影像感測器100的一部分的剖面圖。應注意的是，為了簡便起見，第1圖中已省略固態影像感測器100的一些部件。
參照第1圖，在一些實施例中，固態影像感測器100包含半導體基板10。半導體基板10例如可為晶圓或晶片。舉例來說，半導體基板10可包含矽，但本揭露實施例並非以此為限。在一些實施例中，半導體基板10具有多個光電轉換元件，且每個光電轉換元件可對應於一個(正規)像素P，但本揭露實施例並非以此為限。
舉例來說，如第1圖所示，半導體基板10具有可用於接收紅色光的光電轉換元件11R、可用於接收洋紅色(magenta)光的光電轉換元件11Mg及可用於接收藍色光的光電轉換元件11B，但本揭露實施例並非以此為限。半導體基板10可具有其他的光電轉換元件，這些光電轉換元件可用於接收例如綠色光、黃色光、白色光、青色(cyan)光或紅外光/近紅外光(IR/NIR)，其可依據實際需求調整。
參照第1圖，在一些實施例中，固態影像感測器100包含隔離結構13，隔離結構13設置於光電轉換元件之間。如第1圖所示，隔離結構13可設置於光電轉換元件11R與光電轉換元件11Mg之間，並可設置於光電轉換元件11Mg與光電轉換元件11B之間。舉例來說，隔離結構13可包含淺溝槽隔離(shallow trench isolation, STI)或深溝槽隔離(deep trench isolation, DTI)。可使用蝕刻製程在半導體基板10中形成溝槽，並以絕緣或介電材料填充溝槽而形成隔離結構13，但本揭露實施例並非以此為限。
如第1圖所示，隔離結構13可將光電轉換元件分離。亦即，半導體基板10中的光電轉換元件(例如，11R、11Mg或11B)可藉由隔離結構13彼此隔離，但本揭露實施例並非以此為限。
參照第1圖，在一些實施例中，固態影像感測器100包含彩色濾光層20，彩色濾光層20設置於半導體基板10的上方。在一些實施例中，彩色濾光層20具有(或被區分為)多個彩色濾光區段，彩色濾光區段對應於光電轉換元件。舉例來說，如第1圖所示，彩色濾光層20可具有對應於光電轉換元件11R的紅色濾光區段20SR、對應於光電轉換元件11Mg的白色濾光區段20SW(在第1圖中具有兩個白色濾光區段20SW與兩個光電轉換元件11Mg)及對應於光電轉換元件11B的藍色濾光區段20SB，但本揭露實施例並非以此為限。
在一些其他的實施例中，彩色濾光層20具有(或被區分為)其他的彩色濾光區段。舉例來說，彩色濾光層20可具有綠色濾光區段、黃色濾光區段、白色濾光區段、青色濾光區段、洋紅色濾光區段或紅外光/近紅外光(IR/NIR)濾光區段，但本揭露實施例並非以此為限。
如第1圖所示，在一些實施例中，固態影像感測器100包含網格結構30，網格結構30設置於彩色濾光區段之間。舉例來說，如第1圖所示，網格結構30可設置於紅色濾光區段20SR與白色濾光區段20SW之間，並可設置於白色濾光區段20SW與藍色濾光區段20SB之間，但本揭露實施例並非以此為限。網格結構30可包含透明介電材料，透明介電材料具有在從約1.0至約1.99的範圍內的低折射率。在一些實施例中，網格結構30的折射率低於彩色濾光層20(其包含紅色濾光區段20SR、白色濾光區段20SW、藍色濾光區段20SB等)的折射率。
網格結構30可透過在半導體基板10上沉積介電層，接著使用光微影和蝕刻製程將此介電層圖案化所形成，但本揭露實施例並非以此為限。
參照第1圖，在一些實施例中，固態影像感測器100包含有機膜40，有機膜40設置於彩色濾光層20的上方。有機膜40可作為有機光電轉換膜，且有機膜40可包含多環芳香烴(polycyclic aromatic hydrocarbons, PAH或PAHs)、酞青素(phthalocyanine)、類似物或其組合，但本揭露實施例並非以此為限。
參照第1圖，在一些實施例中，固態影像感測器100包含上電極50U與下電極50L，上電極50U與下電極50L分別設置於有機膜40的上側40U與下側40L之上。上電極50U與下電極50L可包含透明導電材料。舉例來說，透明導電材料可包含透明導電材料可以包括氧化銦錫(indium tin oxide, ITO)、氧化錫(tin oxide, TO)、氧化銦鋅(indium zinc oxide, IZO)、氧化銦鎵鋅(indium gallium zinc oxide, IGZO)、氧化銦鋅錫(indium zinc tin oxide, ITZO)、氧化銻錫(antimony tin oxide, ATO)或氧化銻鋅(antimony zinc oxide, AZO)，但本揭露實施例並非以此為限。如第1圖所示，在一些實施例中，下電極50L具有(或被區分為)多個電極區段50LS，電極區段50LS對應於光電轉換元件(例如，11R、11Mg或11B)。
上電極50U與下電極50L可透過沉積製程及/或光微影製程設置於有機膜40的上側40U與下側40L之上，但本揭露實施例並非以此為限。
參照第1圖，在一些實施例中，固態影像感測器100包含多個奈米結構60U及多個奈米結構60L，奈米結構60U設置於有機膜40的上側40U之上，而奈米結構60L設置於有機膜40的下側40L之上。亦即，奈米結構(60U或60L)設置於有機膜40的內部並設置於有機膜40的兩側之上。在一些其他的實施例中，奈米結構(60U或60L)設置於有機膜40的上側40U及/或下側40L之上。亦即，奈米結構(60U或60L)可僅設置於有機膜40的一側之上。
在一些實施例中，奈米結構60U和60L包含與上電極50U和下電極50L相同或類似的透明導電材料。在一些實施例中，奈米結構60U和60L分別是上電極50U和下電極50L的一部分。舉例來說，可對上電極50U或下電極50L進行表面粗化(surface roughening)處理，以形成奈米結構60U或60L，但本揭露實施例並非以此為限。在一些其他的實施例中，奈米結構60U和60L包含金屬。舉例來說，金屬可包含金(Au)、鎳(Ni)、鉑(Pt)、鈀(Pd)、銥(Ir)、鈦(Ti)、鉻(Cr)、鎢(W)、鋁(Al)、銅(Cu)、類似物、其合金或其組合，但本揭露實施例並非以此為限。
如第1圖所示，在一些實施例中，固態影像感測器100包含聚光結構70，聚光結構70設置於有機膜40之上，用以會聚入射光。聚光結構70可包含玻璃、環氧樹脂、矽氧樹脂、聚氨酯、其他適當之材料或其組合，但本揭露實施例並非以此為限。舉例來說，聚光結構70可透過光阻熱回流法(photoresist reflow method)、熱壓成型法(hot embossing method)、其他合適的方法或其組合所形成。此外，形成聚光結構70的步驟可包含旋轉塗佈製程、微影製程、蝕刻製程、其他合適的製程或其組合，但本揭露實施例並非以此為限。
如第1圖所示，在一些實施例中，聚光結構70包含多個微透鏡(micro-lens)70m，微透鏡70m對應於彩色濾光區段(例如，20SR、20SW或20SB)。換言之，微透鏡70m也對應於光電轉換元件(例如，11R、11Mg或11B)，但本揭露實施例並非以此為限。在一些實施例中，多個微透鏡70m形成為一個m×n陣列，其中m與n為正整數。
在第1圖所示的實施例中，每個微透鏡70m對應於一個彩色濾光區段及/或一個光電轉換元件，但本揭露實施例並非以此為限。在一些其他的實施例中，每個微透鏡70m對應於至少兩個(即，兩個或更多個)彩色濾光區段及/或至少兩個(即，兩個或更多個)光電轉換元件。亦即，微透鏡70m的數量並未限定於第1圖所示的實施例，其可依據實際需求調整。
微透鏡70m可包含半凸透鏡或凸透鏡，但本揭露實施例並非以此為限。舉例來說，微透鏡70m也可包含微角錐(micro-pyramid)結構(例如，圓錐、四角錐等)或者微梯形(micro-trapezoidal)結構(例如，平頂圓錐、平頂四角錐等)。或者，微透鏡70m可為折射率漸變(gradient-index)結構。
第2圖是根據本揭露的一些實施例繪示固態影像感測器102的一部分的剖面圖。類似地，為了簡便起見，第2圖中已省略固態影像感測器102的一些部件。
第2圖所示的固態影像感測器102具有與第1圖所示的固態影像感測器100類似的結構。與第1圖所示的固態影像感測器100的主要差異在於第2圖所示的固態影像感測器102的有機膜40具有(或被區分為)有機區段40S。更詳細來說，在一些實施例中，網格結構30也設置於有機區段40S之間。換言之，網格結構30可從彩色濾光層20延伸至有機膜40中，使得有機膜40可被網格結構30區分為多個有機區段40S，但本揭露並非以此為限。
在一些實施例中，網格結構30的折射率低於有機膜40(或有機區段40S)的折射率。如第2圖所示，每個有機區段40S中的奈米結構的長度N可相同。在一些實施例中，每個有機區段40S中的奈米結構的長度N介於約200 μm至約500 μm。
第3圖是根據本揭露的一些實施例繪示固態影像感測器104的一部分的剖面圖。類似地，為了簡便起見，第3圖中已省略固態影像感測器104的一些部件。
第3圖所示的固態影像感測器104具有與第1圖所示的固態影像感測器100類似的結構。與第1圖所示的固態影像感測器100的主要差異在於在第3圖所示的固態影像感測器104中，隔離結構13取代網格結構30設置於彩色濾光區段(例如，20SR、20SW、20SB)之間。
此外，第3圖所示的固態影像感測器104的有機膜40具有(或被區分為)有機區段40S。在一些實施例中，隔離結構13也設置於有機區段40S之間。換言之，隔離結構13可從基板10延伸至彩色濾光層20與有機膜40中，使得彩色濾光層20可被隔離結構13區分為彩色濾光區段(例如，20SR、20SW或20SB)，而有機膜40可被隔離結構13區分為有機區段40S，但本揭露並非以此為限。
第4圖是根據本揭露的一些實施例繪示固態影像感測器106的一部分的剖面圖。類似地，為了簡便起見，第4圖中已省略固態影像感測器106的一些部件。
第4圖所示的固態影像感測器106具有與第2圖所示的固態影像感測器102類似的結構。與第2圖所示的固態影像感測器102的主要差異在於第4圖所示的固態影像感測器106的奈米結構60U設置於上電極50的上側50UT之上。換言之，一些奈米結構60U可設置於有機膜40的外部。
第5圖是根據本揭露的一些實施例繪示固態影像感測器108的一部分的剖面圖。類似地，為了簡便起見，第5圖中已省略固態影像感測器108的一些部件。
第5圖所示的固態影像感測器108具有與第2圖所示的固態影像感測器102類似的結構。與第2圖所示的固態影像感測器102的主要差異在於在第5圖所示的固態影像感測器108中，下電極50L的電極區段50LS中的一個包含(或被區分為)第一電極區段50LS1與第二電極區段50LS2。
在第5圖所示的實施例中，第一電極區段50LS1與第二電極區段50LS2對應於白色濾光區段20SW，但本揭露實施例並非以此為限。在一些其他的實施例中，第一電極區段50LS1與第二電極區段50LS2對應於紅色濾光區段20SR、藍色濾光區段20SB或任何其他的彩色濾光區段。此外，可具有超過一個包含(或被區分為)第一電極區段50LS1與第二電極區段50LS2的電極區段50LS。在一些實施例中，第一電極區段50LS1與第二電極區段50LS2以及對應的光電轉換元件11Mg可用於對應一個相位檢測自動對焦(phase detection auto focus, PDAF)像素(在第5圖中標示為PDAF)。
如第5圖所示，在一些實施例中，第一電極區段50LS1與第二電極區段50LS2設置於有機區段40S1的下側40L之上。在第5圖所示的實施例中，第一電極區段50LS1的長度E1等於第二電極區段50LS2的長度E2。此外，在一些實施例中，有機區段40S1中的奈米結構60U或60L的長度N1對應於第一電極區段50LS1的長度E1。舉例來說，有機區段40S1中的奈米結構60U或60L的長度N1可等於第一電極區段50LS1的長度E1，但本揭露實施例並非以此為限。
第6圖是根據本揭露的一些實施例繪示固態影像感測器110的一部分的剖面圖。類似地，為了簡便起見，第6圖中已省略固態影像感測器110的一些部件。
第6圖所示的固態影像感測器110具有與第5圖所示的固態影像感測器108類似的結構。與第5圖所示的固態影像感測器108的主要差異在於在第6圖所示的固態影像感測器110中，第一電極區段50LS1’的長度E1’與第二電極區段50LS2’的長度E2’不同。更詳細而言，第一電極區段50LS1’的長度E1’可大於第二電極區段50LS2’的長度E2’，但本揭露實施例並非以此為限。類似地，在一些實施例中，有機區段40S1中的奈米結構60U或60L的長度N1’對應於第一電極區段50LS1’的長度E1’。舉例來說，有機區段40S1中的奈米結構60U或60L的長度N1’可等於第一電極區段50LS1’的長度E1’，但本揭露實施例並非以此為限。
第7A圖、第7B圖和第7C圖為奈米結構60L的不同範例。應注意的是，奈米結構60U可具有與奈米結構60L相同或類似的形狀。如第7A圖所示，每個奈米結構60L(或60U)形成為四角錐。如第7B圖所示，每個奈米結構60L(或60U)形成為圓錐。如第7C圖所示，每個奈米結構60L(或60U)形成為三角錐。然而，每個奈米結構60L(或60U)的形狀並未限制於第7A圖、第7B圖和第7C圖所示的範例，其可依據實際需求調整。
綜上所述，根據本揭露的一些實施例的固態影像感測器包含奈米結構，奈米結構設置於有機膜(例如，有機光電轉換膜)的上側和/或下側之上，其可有效地提高光電轉換效率，從而改善來自固態影像感測器的光電轉換元件的影像訊號品質。
以上概述數個實施例的部件，以便在本揭露所屬技術領域中具有通常知識者可以更理解本揭露實施例的觀點。在本揭露所屬技術領域中具有通常知識者應該理解，他們能以本揭露實施例為基礎，設計或修改其他製程和結構以達到與在此介紹的實施例相同之目的及/或優勢。在本揭露所屬技術領域中具有通常知識者也應該理解到，此類等效的結構並無悖離本揭露的精神與範圍，且他們能在不違背本揭露之精神和範圍之下，做各式各樣的改變、取代和替換。因此，本揭露之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。另外，雖然本揭露已以數個較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本揭露。
整份說明書對特徵、優點或類似語言的引用，並非意味可以利用本揭露實現的所有特徵和優點應該或者可以在本揭露的任何單個實施例中實現。相對地，涉及特徵和優點的語言被理解為其意味著結合實施例描述的特定特徵、優點或特性包括在本揭露的至少一個實施例中。因而，在整份說明書中對特徵和優點以及類似語言的討論可以但不一定代表相同的實施例。
再者，在一個或多個實施例中，可以任何合適的方式組合本揭露的所描述的特徵、優點和特性。根據本文的描述，相關領域的技術人員將意識到，可在沒有特定實施例的一個或多個特定特徵或優點的情況下實現本揭露。在其他情況下，在某些實施例中可辨識附加的特徵和優點，這些特徵和優點可能不存在於本揭露的所有實施例中。
100,102,104,106,108,110:固態影像感測器 10:半導體基板 11R,11Mg,11B:光電轉換元件 13:隔離結構 20:彩色濾光層 20SB:藍色濾光區段 20SR:紅色濾光區段 20SW:白色濾光區段 30:網格結構 40:有機膜 40L:下側 40S:有機區段 40U:上側 50L:下電極 50LS:電極區段 50LS1,50LS1’:第一電極區段 50LS2,50LS2’:第二電極區段 50U:上電極 50UT:上側 60U,60L:奈米結構 70:聚光結構 70m:微透鏡 E1,E1’:第一電極區段的長度 E2,E2’:第二電極區段的長度 N,N1,N1’:奈米結構的長度 P:像素 X,Z:坐標軸
以下將配合所附圖式詳述本揭露實施例。應注意的是，各種特徵部件並未按照比例繪製且僅用以說明例示。事實上，元件的尺寸可能經放大或縮小，以清楚地表現出本揭露實施例的技術特徵。 第1圖是根據本揭露的一些實施例繪示固態影像感測器的一部分的剖面圖。 第2圖是根據本揭露的一些實施例繪示固態影像感測器的一部分的剖面圖。 第3圖是根據本揭露的一些實施例繪示固態影像感測器的一部分的剖面圖。 第4圖是根據本揭露的一些實施例繪示固態影像感測器的一部分的剖面圖。 第5圖是根據本揭露的一些實施例繪示固態影像感測器的一部分的剖面圖。 第6圖是根據本揭露的一些實施例繪示固態影像感測器的一部分的剖面圖。 第7A圖、第7B圖和第7C圖為奈米結構的不同範例。
100:固態影像感測器
10:半導體基板
11R,11Mg,11B:光電轉換元件
13:隔離結構
20:彩色濾光層
20SB:藍色濾光區段
20SR:紅色濾光區段
20SW:白色濾光區段
30:網格結構
40:有機膜
40L:下側
40U:上側
50L:下電極
50LS:電極區段
50U:上電極
60U,60L:奈米結構
70:聚光結構
70m:微透鏡
P:像素
X,Z:坐標軸

Claims (12)

  1. 一種固態影像感測器，包括： 一半導體基板，具有複數個光電轉換元件； 一隔離結構，設置於該些光電轉換元件之間； 一彩色濾光層，設置於該半導體基板的上方且具有複數個彩色濾光區段，該些彩色濾光區段對應於該些光電轉換元件； 一有機膜，設置於該彩色濾光層的上方； 一上電極與一下電極，分別設置於該有機膜的一上側與一下側之上；以及 複數個奈米結構，設置於該有機膜的該上側或該下側之上。
  2. 如請求項1之固態影像感測器，更包括： 一網格結構，設置於該些彩色濾光區段之間，其中該網格結構的折射率低於該彩色濾光層的折射率。
  3. 如請求項2之固態影像感測器，其中該有機膜具有複數個有機區段，該網格結構也設置於該些有機區段之間，且該網格結構的折射率低於該有機膜的折射率。
  4. 如請求項1之固態影像感測器，其中該有機膜具有複數個有機區段，該隔離結構也設置於該些彩色濾光區段之間，且該隔離結構進一步設置於該些有機區段之間。
  5. 如請求項1之固態影像感測器，其中該有機膜具有複數個有機區段，且在每該有機區段中的該些奈米結構的長度介於200 μm至500 μm。
  6. 如請求項1之固態影像感測器，其中該些奈米結構設置於該有機膜的內部。
  7. 如請求項1之固態影像感測器，其中該些奈米結構設置於該上電極的一上側之上。
  8. 如請求項1之固態影像感測器，其中該下電極具有複數個電極區段，該些電極區段對應於該些光電轉換元件，該些電極區段中的一個包括一第一電極區段與一第二電極區段，該第一電極區段與該第二電極區段對應於該些彩色濾光區段中的一個，且該第一電極區段的長度與該第二電極區段的長度不同。
  9. 如請求項8之固態影像感測器，該有機膜具有複數個有機區段，該第一電極區段與該第二電極區段設置於該些有機區段中的一特定有機區段的下側之上，且在該特定有機區段中的該些奈米結構的長度對應於該第一電極區段的長度。
  10. 如請求項1之固態影像感測器，其中該些奈米結構是該上電極或該下電極的一部分。
  11. 如請求項1之固態影像感測器，其中每該奈米結構形成為一三角錐、一圓錐或一四角錐，且該些奈米結構包括一透明導電材料或一金屬。
  12. 如請求項1之固態影像感測器，更包括： 一聚光結構，設置於該有機膜之上，其中該聚光結構包括複數個微透鏡，該些微透鏡對應於該些彩色濾光區段。
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