TW202120614A - 樹脂片材 - Google Patents
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Abstract
本發明之樹脂片材包含耐熱性樹脂作為主成分,不具有厚度方向之透氣性,至少一個主面中之面方向之透氣度A為1 mL/min以上。其中,透氣度A為如下特性:將外徑47 mm及內徑20 mm之環狀之測定區域設定於上述主面,以於整個上述測定區域中上述主面與厚度方向上不具有透氣性之構件之平滑面相接之方式,將上述片材以654.5 gf之負載壓抵於上述平滑面,並且使上述測定區域之內側與外側相比減壓15 kPa時,藉由自測定區域之外側朝向內側透過主面與平滑面之間之平均每分鐘之透氣量而表示。本發明之樹脂片材能夠於高溫下穩定地使用。
Description
本發明係關於一種樹脂片材。
已知有包含耐熱性樹脂作為主成分之樹脂片材(耐熱性樹脂片材)。於專利文獻1中,揭示有聚四氟乙烯(以下,記載為「PTFE」)之片材。於專利文獻2中,揭示有聚醯亞胺片材。設想耐熱性樹脂片材於高溫下使用。
先前技術文獻
專利文獻
專利文獻1:日本專利特開平3-197122號公報
專利文獻2:日本專利特開平4-283246號公報
[發明所欲解決之問題]
耐熱性樹脂片材例如配置於對象物而使用。亦存在於經過高溫之後,自配置於對象物之狀態將耐熱性樹脂片材剝離之情況。於耐熱性樹脂片材不具有厚度方向之透氣性之情形時,存在配置時夾帶於與對象物之間之氣泡在配置後仍有殘留,或者難以自密接於對象物之狀態剝離之情況。又,亦存在殘留之氣泡因高溫膨脹,而給對象物帶來不良影響之情況。於耐熱性樹脂片材具有厚度方向之透氣性之情形時,不易產生上述問題,另一方面,於高溫下使用時容易產生收縮或變形。
本發明之目的在於提供一種樹脂片材,其包含耐熱性樹脂作為主成分,且能夠於高溫下穩定地使用。
[解決問題之技術手段]
本發明提供一種樹脂片材,
其包含耐熱性樹脂作為主成分,
且不具有厚度方向之透氣性,
至少一個主面之面方向之透氣度A為1 mL/min以上。
其中,上述透氣度A為如下特性:
將外徑47 mm及內徑20 mm之環狀之測定區域設定於上述主面,
以於整個上述測定區域中上述主面與厚度方向上不具有透氣性之構件之平滑面相接之方式,將上述片材以654.5 gf之負載壓抵於上述平滑面,並且使上述測定區域之內側與外側相比減壓15 kPa時,
藉由自上述測定區域之外側朝向內側透過上述主面與上述平滑面之間之平均每分鐘之透氣量而表示。
[發明之效果]
本發明之樹脂片材不具有厚度方向之透氣性。換言之,樹脂片材不具有帶來厚度方向之透氣性之細孔或貫通孔。因此,能夠抑制高溫下使用時的收縮或變形。另一方面,本發明之樹脂片材於至少一個主面具有面方向之透氣度A。因此,藉由以該主面面向對象物之方式使用,例如抑制因配置所致之氣泡之夾帶,或者提高自密接於對象物之狀態之剝離性。因此,本發明之樹脂片材能夠於高溫下穩定地使用。
以下,一面參照圖式,一面對本發明之實施方式進行說明。
[樹脂片材]
圖1表示本發明之樹脂片材之一例。圖1所示之樹脂片材1包含耐熱性樹脂作為主成分。樹脂片材1為單層。樹脂片材1具有來自於耐熱性樹脂之耐熱性。於本說明書中,所謂「主成分」係指含有率最大之成分。主成分之含有率例如為50重量%以上,亦可為60重量%以上,70重量%以上,80重量%以上,進而90重量%以上。樹脂片材1亦可包括耐熱性樹脂。
樹脂片材1不具有厚度方向之透氣性。於本說明書中,所謂「不具有厚度方向之透氣性」係指藉由根據日本工業標準(以下,記載為「JIS」)L1096:2010中所規定之透氣性測定B法(哥雷式方法)所求出之空氣透過度(哥雷式透氣度)而表示,且厚度方向之透氣度超過1萬秒/100 mL。樹脂片材1通常不具有將該片材之兩個主面2A、2B連接之細孔及/或貫通孔。樹脂片材1典型而言為由非多孔質之母材構成之無孔片材。
樹脂片材1之一個主面2A中之面方向之透氣度A為1 mL/min以上。透氣度A亦可為2 mL/min以上,5 mL/min以上,9 mL/min以上,15 mL/min以上,進而30 mL/min以上。透氣度A之上限例如為100 mL/min以下。樹脂片材1之另一個主面2B既可具有處於上述各範圍之面方向之透氣度A,亦可不具有處於上述各範圍之面方向之透氣度A。於本發明之樹脂片材中,至少一個主面中之面方向之透氣度A處於上述各範圍。
透氣度A為如下特性:將外徑47 mm及內徑20 mm之環狀之測定區域設定於該主面,以於整個測定區域中上述主面與平滑面相接之方式將樹脂片材1以654.5 gf之負載壓抵於上述平滑面,並且使測定區域之內側與外側相比減壓15 kPa時,藉由自測定區域之外側朝向內側透過上述主面與平滑面之間的平均每分鐘之透氣量而表示。壓抵樹脂片材1之平滑面例如係JIS B0601:2001中規定之算術平均粗糙度Ra(以下,記載為「算術平均粗糙度Ra」)為0.1 μm以下之面。又,平滑面係不具有厚度方向之透氣性之構件之表面,並且係於評估透氣度A時不會變形且不與評估對象之片材接著或黏著之面。平滑面例如係具有評估透氣度A時不會變形之充分厚度之樹脂板或金屬板之表面。樹脂板之例係丙烯酸系樹脂板及聚碳酸酯板。金屬板之例係不鏽鋼板。上述負載係足以在不使主面之表面形狀過度變形的情況下評估透氣度A之負載。
再者,藉由熔融成形、鑄造成形等一般的成形方法而製造之樹脂片材之各主面中之面方向之透氣度A通常為0 mL/min。又,如下述實施例所示,於主面之表面粗糙度、例如算術平均粗糙度Ra較大之情形時,該主面中之面方向之透氣度A並不會自動地成為1 mL/min以上。
樹脂片材1中所包含之耐熱性樹脂典型而言為具有150℃以上之熔點之樹脂。耐熱性樹脂之熔點亦可為160℃以上,200℃以上,進而300℃以上。耐熱性樹脂之例係氟樹脂、聚醯亞胺、聚醯胺醯亞胺、聚苯硫醚。
耐熱性樹脂較佳為氟樹脂。換言之,樹脂片材1較佳為氟樹脂片材。氟樹脂一般而言具有較高之耐熱性及剝離性。又,氟樹脂與聚醯亞胺等其他耐熱性樹脂相比較軟。因此,可更確實且有效率地利用下述表面加工來實施透氣度A之賦予。
氟樹脂之例係PTFE、四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(FEP)、四氟乙烯-乙烯共聚物(ETFE)。氟樹脂較佳為PTFE。PTFE係耐熱性及剝離性特別優異。氟樹脂片材1既可不包含氟樹脂以外之成分,亦可實質上不包含氟樹脂以外之成分。於本說明書中,所謂「實質上不包含」係指含有率未達0.1重量%,較佳為未達0.01重量%。
具有1 mL/min以上之透氣度A之主面2A之表面粗糙度藉由JIS B0601:2001中規定之最大高度Rz(以下,記載為「最大高度Rz」)而表示,例如為30 μm以下,亦可為25 μm以下,23 μm以下,20 μm以下,18 μm以下,15 μm以下,13 μm以下,10 μm以下,9 μm以下,進而8 μm以下。最大高度Rz之下限例如為2 μm以上。另一個主面2B亦可具有處於上述各範圍之最大高度Rz。
具有1 mL/min以上之透氣度A之主面2A之表面粗糙度藉由算術平均粗糙度Ra而表示,例如為6 μm以下,亦可為5 μm以下,4 μm以下,3 μm以下,進而2 μm以下。算術平均粗糙度Ra之下限例如為0.3 μm以上。另一個主面2B亦可具有處於上述各範圍之算術平均粗糙度Ra。
主面2A亦可具有由1個或複數個槽構成之槽部。槽部可成為在樹脂片材1壓抵於平滑面之狀態下透過主面2A與平滑面之間之空氣之透過路徑。槽部亦可具有於一端部或兩端部連接於樹脂片材1之周之至少1個槽。槽部亦可具有兩端部連接於樹脂片材1之周之至少1個槽。於該情形時,可獲得達成更大之透氣度A及/或提高樹脂片材1中之透氣度A之均勻性等效果。於樹脂片材1之主面之形狀為多邊形之情形時,槽部亦可具有將多邊形之1條邊及與該邊不同之1條或2條以上之邊連接之至少1個槽。槽部亦可於整個主面2A上擴展。於該情形時,可提高樹脂片材1中之透氣度A之均勻性。構成槽部之各槽之寬度例如為10~200 μm,亦可為20~50 μm。構成槽部之各槽之深度例如為2~30 μm,亦可為10~30 μm。其中,關於某1個槽,寬度及/或深度於該整個槽中可不固定。又,構成槽部之各槽之寬度及深度可不同,槽部亦可具有寬度及/或深度不同之複數個槽。構成槽部之槽既可於主面2A上直線狀地延伸,亦可非直線狀,例如曲線狀地延伸。另一個主面2B亦可具有上述槽部。
槽部亦可於主面2A及/或主面2B中具有格子狀地排列之槽。圖2表示於主面2A具有該槽部之樹脂片材1之一例。圖2之樹脂片材1之主面2A具有由正方格子狀排列之複數個槽3構成之槽部4。各槽3於其兩端部連接於樹脂片材1之周5。槽部4於整個主面2A上擴展。槽3排列之格子並不限定為正方格子。槽3例如亦可排列為長方格子、斜方格子、六方格子、菱形格子、中心矩形格子等各種格子狀。於排列為格子狀之槽3中,相鄰之槽3之中心線間距離即間距P1例如為50~1000 μm,亦可為200~1000 μm。
樹脂片材1之厚度例如為10~500 μm,亦可為20~300 μm,30~200 μm,進而50~100 μm。
樹脂片材1之形狀例如為包括正方形及長方形在內之多邊形、圓形、橢圓形、以及帶狀。但是,樹脂片材1之形狀並不限定於上述例。多邊形、圓形及橢圓形之樹脂片材1能夠作為單片流通,帶狀之樹脂片材1能夠作為捲繞於捲芯之捲繞體(捲筒)流通。帶狀樹脂片材1之寬度及捲繞有帶狀樹脂片材1之捲繞體之寬度可自由地設定。
圖1之樹脂片材1為單層。但是,亦可於樹脂片材1之主面2A及/或主面2B上配置其他層。
[樹脂片材之製造方法]
樹脂片材1例如可藉由以下之方法而製造。
首先,準備包含耐熱性樹脂作為主成分之前驅片材。前驅片材可藉由熔融成形及鑄造成形等一般的片材成形法而製作。
作為一例,對於包含PTFE作為主成分之前驅片材(PTFE前驅片材)之製作法進行說明。
首先,將PTFE粉末(模製粉)導入至模具,對模具內之粉末施加規定時間之規定壓力而預成形。預成形可於常溫下實施。為了能夠利用下述切削車床進行切削,模具之內部空間之形狀較佳為圓柱狀。於該情形時,可獲得圓柱狀之預成形品及PTFE塊。其次,將預成形品自模具取出,以PTFE之熔點(327℃)以上之溫度焙燒規定之時間,獲得PTFE塊。其次,將PTFE塊切削為規定之厚度,獲得切削片材(切割片材)即PTFE前驅片材。於圓柱狀之PTFE塊中,能夠利用一面使塊旋轉一面連續地切削表面之切削車床。因此,有效率地獲得PTFE前驅片材。又,根據切削車床,所要形成之PTFE前驅片材之厚度之控制相對容易,並且亦可獲得帶狀之PTFE前驅片材。
PTFE前驅片材亦可藉由以下之方法而製作。
首先,準備將PTFE分散液塗佈於表面之基材片材。基材片材例如由樹脂、金屬、紙及其等之複合材料構成。亦可對基材片材中之塗佈PTFE分散液之表面實施用以使PTFE片材自基材片材之剝離容易的剝離處理。剝離處理可應用公知之方法。其次,於基材片材之表面形成PTFE分散液之塗佈膜。PTFE分散液之塗佈可使用公知之各種塗佈機。亦可藉由浸漬而於基材片材之表面塗佈PTFE分散液。其次,將已形成之塗佈膜乾燥及焙燒而形成PTFE片材。其次,將已形成之PTFE片材自基材片材剝離,獲得鑄造片材即PTFE前驅片材。於該方法中,可根據PTFE分散液相對於基材片材之塗佈厚度來控制PTFE前驅片材之厚度。
PTFE前驅片材之製作法並不限定於上述例。
其次,對前驅片材之至少一個主面實施賦予透氣度A之表面加工。於表面加工中,對主面賦予可成為在壓抵於平滑面之狀態下與該平滑面之間的空氣之透過路徑的表面形狀。表面加工之例係摩擦(scratch)加工、利用雷射之照射等之蝕刻加工、及將按壓面具有特定之表面形狀之模板壓抵於上述主面進行壓製之壓製加工。再者,於為氟樹脂等相對較軟之樹脂之前驅片材之情形時,亦可將模板壓抵於與應進行表面加工之主面為相反側之主面進行壓製。但是,表面加工之方法並不限定於上述例。
摩擦加工例如藉由利用摩擦構件摩擦上述主面而實施。摩擦構件之例係銼、砂紙、磨石、鋼絲絨及具有由該等構件構成之摩擦面的片材、碟片、皮帶等。但是,摩擦構件並不限定於上述例。
蝕刻加工例如可藉由雷射等能量線之照射、利用抗蝕劑等掩蔽劑之化學蝕刻而實施。但是,蝕刻加工之方法並不限定於上述例。
壓製加工中所使用之模板例如藉由金屬、樹脂、玻璃及其等之複合材料而構成。作為模板,亦能夠利用上述摩擦構件。再者,要想形成主面具有槽部4之樹脂片材1,可使用按壓面具有填補該槽部之表面形狀、例如由線狀地延伸之凸部呈格子狀排列而成之表面形狀的模板,上述槽部4具有排列為格子狀之槽3。
[樹脂片材之使用]
圖3表示樹脂片材1之使用態樣之一例。於圖3中,樹脂片材1以與膜12積層之狀態捲繞於捲繞體(捲筒)11。樹脂片材1用作膜12之保護片材。藉由透氣度A,例如抑制將樹脂片材1積層於膜12時及/或與膜12一起捲繞時之氣泡之夾帶。又,可更穩定地實施自捲繞體11之捲出及/或捲出後之樹脂片材1之剝離。
膜12例如由金屬或樹脂構成。再者,於樹脂之膜12中,有時於成形為膜後產生釋氣。釋氣例如容易於聚碳酸酯、聚苯乙烯及丙烯酸系樹脂之膜12中產生。捲繞後產生之釋氣殘留於相鄰之膜12間,可能會導致膜12之變形或凹陷等。藉由將樹脂片材1與膜12積層後捲繞,可將捲繞後產生之釋氣更確實地向外部釋放。又,亦可考慮實施將捲繞體11加熱而使釋氣預先向外部釋放之脫氣處理。
圖4表示樹脂片材1之使用態樣之另一例。於圖4中,樹脂片材1以與黏著帶16積層之狀態捲繞於捲繞體(捲筒)13。黏著帶16係基材膜14及黏著層15之積層體。樹脂片材1與黏著層15相接。樹脂片材1中之與黏著層15相接之面例如係具有透氣度A之主面2A。樹脂片材1用作黏著帶16之隔離膜。藉由透氣度A,例如抑制將樹脂片材1積層於黏著帶16時氣泡之夾帶。又,可更穩定地實施自捲繞體13捲出後之樹脂片材1之剝離。
黏著帶16通常於捲繞至捲繞體13之後被老化處理。藉由老化處理,黏著層15之黏著性穩定。此時,存在自黏著層15產生釋氣之情況。釋氣殘留於相鄰之黏著帶16間,可能會導致黏著層15之變形或凹陷等。藉由將樹脂片材1與黏著帶16積層後捲繞,可將老化處理時產生之釋氣更確實地向外部釋放。
樹脂片材1之用途及使用方法並不限定於上述例。例如,亦可將樹脂片材1用於曝露於高溫之各種用途。又,亦可配置於載台或平台上來使用樹脂片材1。
實施例
根據實施例對本發明更詳細地進行說明。本發明並不限定於以下之實施例。
首先,表示對於實施例及比較例之樹脂片材的特性之評估方法。
[厚度方向之透氣度]
樹脂片材之厚度方向之透氣度(哥雷式透氣度)根據JIS L1096:2010中規定之透氣性測定B法(哥雷式方法)來求出。
[面方向之透氣度A]
樹脂片材之主面(評估面)中之透氣度A係使用測定治具,按照以下之方式求出。一面參照圖5,一面對透氣度A之評估方法進行說明。
作為測定治具,準備外徑47 mm及內徑20 mm之環狀之丙烯酸系樹脂板52(厚度2.0 mm)、直徑47 mm之圓板狀之聚矽氧橡膠片材53(厚度2.0 mm及重量4.5g)、以及直徑47 mm之圓柱狀之重物54(不鏽鋼製,重量650 g)。又,將樹脂片材切成直徑47 mm之圓形,將其作為試驗片51。丙烯酸系樹脂板52中之與試驗片51相接之面(平滑面)之算術平均粗糙度Ra為0.03 μm。丙烯酸系樹脂板52不具有厚度方向之透氣性。
其次,以彼此之外周一致之方式,將試驗片51、聚矽氧橡膠片材53及重物54依次配置於丙烯酸系樹脂板52之上。試驗片51以評估面與丙烯酸系樹脂板52相接之方式配置。聚矽氧橡膠片材53係為了將重物54及橡膠片材53自身之負載儘可能均等地施加於試驗片51而配置。其次,將連接於泵之抽吸管連接至位於丙烯酸系樹脂板52中央之貫通孔56之開口55(與試驗片51側為相反側之面之開口55)。於抽吸管中之與開口55之連接部配置壓力計,於抽吸管中之泵與開口55之間配置流量計。其次,實施減壓試驗,該減壓試驗係使泵作動,將貫通孔56內之壓力保持為與外部之壓力(大氣壓)相比低15 kPa之減壓狀態。然後,將藉由流量計測定在試驗時於抽吸管中流動之平均每分鐘之空氣流量所得的值設為樹脂片材之評估面中之透氣度A。再者,試驗係於常溫(25℃)實施。又,將開始減壓試驗之後於抽吸管中流動之空氣流量穩定之後的測定值設為面方向之透氣度A。
[表面粗糙度(Rz及Ra)]
樹脂片材之評估面之表面粗糙度(最大高度Rz及算術平均粗糙度Ra)藉由能夠依據JIS B0601:2001之規定進行測定的表面性狀測定裝置(東京精密製造,SURFCOM1400D)而評估。
(比較例1)
將PTFE粉末(大金工業製造,聚四氟乙烯PTFE M-12)導入至圓筒狀之模具,以溫度23℃、壓力60 MPa及壓力施加時間1小時之條件進行預成形。其次,將已形成之預成形品自模具取出,以375℃焙燒3小時,獲得高度300 mm、外徑200 mm之圓柱狀PTFE塊。其次,將所獲得之PTFE塊藉由切削車床切削而製作厚度50 μm之PTFE片材,將其作為比較例1之樹脂片材。
(實施例1~3)
準備具有線狀地延伸之凸部61正方格子狀地排列而成之表面形狀之不鏽鋼片材作為模板。模板係按壓面62之整體具有上述表面形狀(參照圖6)。凸部61之寬度設為0.02~0.03 mm。相鄰之凸部61之中心線間距離即間距P2設為0.26 mm。凸部61距按壓面62之高度設為0.10 mm。各凸部61延伸之方向設為與模板之一邊以45度交叉之方向。其次,於比較例1中製作之樹脂片材之一個主面配置上述模板,以25℃實施對上述一個主面按壓模板之壓製加工。模板以自與壓製面垂直之方向觀察時覆蓋片材整體之方式配置。又,模板以按壓面62與上述一個主面相接之方式,且以各凸部61延伸之方向與樹脂片材之一邊以45度交叉之方式配置。按壓模板之壓力(壓製壓力)設為11.2 MPa(實施例1)、33.4 MPa(實施例2)及55.6 MPa(實施例3)。將壓製加工時之模板之配置面作為已製作之樹脂片材之評估面。
(實施例4、5及比較例2)
將凸部61之寬度改變為0.01~0.02 mm,將間距P2改變為0.13 mm,將凸部61距按壓面62之高度改變為0.04 mm,除此以外,以與實施例1~3同樣之方式,獲得比較例2、實施例4及實施例5(分別為壓製壓力11.2 MPa、33.4 MPa及55.6 MPa)之樹脂片材。將壓製加工時之模板之配置面作為已製作之樹脂片材之評估面。
以下之表1表示樹脂片材之評估結果。
[表1]
壓製壓力(MPa) | 厚度方向之透氣度(秒/100 mL) | 面方向之透氣度A (mL/min) | 表面粗糙度 | ||
Rz (μm) | Ra (μm) | ||||
比較例1 | - | 超過10000 | 0 | 1.59 | 0.23 |
實施例1 | 11.2 | 超過10000 | 2 | 15.5 | 3.22 |
實施例2 | 33.4 | 超過10000 | 19 | 22.1 | 5.70 |
實施例3 | 55.6 | 超過10000 | 36 | 22.0 | 5.81 |
比較例2 | 11.2 | 超過10000 | 0 | 3.52 | 0.83 |
實施例4 | 33.4 | 超過10000 | 5 | 7.18 | 1.77 |
實施例5 | 55.6 | 超過10000 | 9 | 8.68 | 2.14 |
關於實施例1~5及比較例1、2之各評估面,圖7表示橫軸取最大高度Rz、縱軸取透氣度A之圖表。又,關於實施例1~5及比較例1、2之各評估面,圖8表示橫軸取算術平均粗糙度Ra、縱軸取透氣度A之圖表。如圖7、8所示,確認到樹脂片材之評估面中之透氣度A並非根據該面之最大高度Rz及算術平均粗糙度Ra自動地決定之特性。
[產業上之可利用性]
本發明之樹脂片材例如可用於曝露於高溫之各種用途。
1:樹脂片材
2A:主面
2B:主面
3:槽
4:槽部
5:周
11:捲繞體
12:膜
13:捲繞體
14:基材膜
15:黏著層
16:黏著帶
51:試驗片
52:丙烯酸系樹脂板
53:聚矽氧橡膠片材
54:重物
55:開口
56:貫通孔
61:凸部
62:按壓面
P1:間距
P2:間距
圖1係模式性地表示本發明之樹脂片材之一例之剖視圖。
圖2係模式性地表示本發明之樹脂片材之一例中之主面之狀態的俯視圖。
圖3係表示使用本發明之樹脂片材之形態之一例的模式圖。
圖4係表示使用本發明之樹脂片材之形態之另一例的模式圖。
圖5係用以說明相對於樹脂片材之面方向之透氣度A之評估方法的模式圖。
圖6係用以說明實施例中使用之表面加工用模板之模式圖。
圖7係表示實施例及比較例中製作之樹脂片材之最大高度Rz及面方向之透氣度A的圖表。
圖8係表示實施例及比較例中製作之樹脂片材之算術平均粗糙度Ra及面方向之透氣度A的圖表。
1:樹脂片材
2A:主面
2B:主面
Claims (6)
- 一種樹脂片材,其包含耐熱性樹脂作為主成分, 且不具有厚度方向之透氣性, 至少一個主面之面方向之透氣度A為1 mL/min以上, 其中,上述透氣度A為如下特性: 將外徑47 mm及內徑20 mm之環狀之測定區域設定於上述主面, 以於整個上述測定區域中上述主面與厚度方向上不具有透氣性之構件之平滑面相接之方式,將上述片材以654.5 gf之負載壓抵於上述平滑面,並且使上述測定區域之內側與外側相比減壓15 kPa時, 藉由自上述測定區域之外側朝向內側透過上述主面與上述平滑面之間之平均每分鐘之透氣量而表示。
- 如請求項1之樹脂片材,其中上述主面之表面粗糙度藉由JIS B0601:2001中規定之算術平均粗糙度Ra而表示,且為10 μm以下。
- 如請求項1或2之樹脂片材,其中上述主面具有由1個或複數個槽構成之槽部, 上述槽部具有於一個或兩個端部連接於上述樹脂片材之周之至少1個上述槽。
- 如請求項3之樹脂片材,其中上述槽部具有於上述主面中格子狀地排列之上述槽。
- 如請求項1至4中任一項之樹脂片材,其中上述耐熱性樹脂為氟樹脂。
- 如請求項5之樹脂片材,其中上述氟樹脂為聚四氟乙烯。
Applications Claiming Priority (2)
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