JP7158222B2 - 吸着固定用シート - Google Patents

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Description

本発明は、吸着装置の吸着面への配置により吸着対象物と吸着面との接触を防ぐ吸着固定用シートに関する。
金属箔、プラスチックフィルム、あるいはセラミックコンデンサの製造に用いるセラミックグリーンシート等の薄く軽量なシート状体を加工する工程において、吸着装置の吸着面にこれらシート状体を吸着して固定又は搬送することが行われている。その際、通気性を有する吸着固定用シートが吸着面に配置されることが一般的である。吸着固定用シートの吸着面への配置により、吸着対象物であるシート状体と吸着面との直接の接触が防がれる。これにより、吸着時における吸着対象物の損傷、吸着面の傷つき、及び吸着対象物に含まれる成分による吸着面の汚染等を防ぐことができる。吸着面の傷つき及び汚染は、その後吸着される吸着対象物の不良発生の要因となりうる。
特許文献１に、ホットメルト粘着剤を片面に配置した、超高分子量ポリエチレンの多孔質シートからなる吸着固定用シートが開示されている。特許文献１の吸着固定用シートは、ホットメルト粘着剤により吸着装置の吸着面に固定されて使用される。
特許文献２に、超高分子量ポリエチレンの多孔質シートに、両面で異なる接着強度を持ち、複数の貫通孔が穿孔された両面粘着テープが貼着されてなる吸着固定用シートが開示されている。特許文献２の吸着固定用シートは、両面粘着テープにより吸着装置の吸着面に固定されて使用される。
特開平９－２２９３５号公報 特開２００３－２７７７０２号公報
加工効率の向上等を目的とする吸着対象物の大面積化、及びこれに対応するための吸着固定用シートの大面積化が予想される。吸着固定用シートは、通常、吸着装置の吸着面に粘着剤により固定されて使用されるが、面積が大きくなると、吸着装置の吸着面に戴置する際に弛みや皺が生じやすくなる。そして、粘着剤を用いることなく自由に動ける状態で戴置する場合とは異なり、弛みや皺により先に吸着面に触れた部分がアンカーとなって、吸着面への固定の際にシートの浮き及び正しい固定位置からのズレ（以下、「正しい固定位置からのズレ」を単に「ズレ」と記載する）が生じやすくなる。また、吸着した状態で吸着対象物をプレスする吸着プレス工程等では、吸着固定用シートが高い加工温度に晒されることがある。本発明者らの検討によれば、高温下での使用において、吸着面に固定されたシートに新たに浮き及びズレが生じることがあり、その程度は大面積のシートほど大きくなる傾向がある。
吸着固定用シートの浮き及びズレは、吸着対象物に対して、意図しない変形あるいは表面の損傷を与える可能性がある。とりわけ、吸着対象物が自立性を有さない薄いシート状体である場合に、吸着固定用シートの浮き及びズレによる上記変形及び損傷が吸着対象物に生じやすい。また、吸着固定用シート自身の構造に起因する上記変形及び損傷も、できるだけ避けることが望まれる。しかし、特許文献１，２では、これらの問題及びその解決について、何も示されていない。
本発明の目的は、面積を大きくしたり、高温下で使用する場合にも、吸着対象物に意図しない変形あるいは表面の損傷を与え難い吸着固定用シートの提供にある。
本発明は、
吸着装置の吸着面への配置により吸着対象物と前記吸着面との接触を防ぐ吸着固定用シートであって、
厚さ方向に通気性を有する多孔質シートと；
（１）前記多孔質シートの一方の面に配置された、基材を有し、かつ厚さ方向に通気性を有する両面粘着シート、又は、
（２）前記多孔質シートの一方の面に配置された、架橋された粘着剤から形成され、かつ厚さ方向に通気性を有する基材レスの両面粘着層、と；
を備え、
前記両面粘着シート又は前記両面粘着層の厚さに対する前記多孔質シートの厚さの比が８．０以上である吸着固定用シート、
を提供する。
本発明による吸着固定用シートでは、多孔質シートの一方の面に上記（１）の両面粘着シートが配置されている場合には、両面粘着シートの基材によって、面積が大きい場合にも、吸着装置の吸着面に戴置する際に弛みや皺が生じにくい。また、多孔質シートの一方の面に上記（２）の両面粘着層が配置されている場合には、両面粘着層に含まれる架橋された粘着剤の変形性の低さに基づいて、面積が大きい場合にも、吸着装置の吸着面に戴置する際に弛みや皺が生じにくい。このため、吸着固定用シートに弛みや皺が生じた状態で部分的に吸着面にアンカリングされることによる、吸着面に固定する際の当該シートの浮き及びズレの発生が抑制される。
また、本発明者らの検討によれば、高温下における吸着固定用シートの使用では、粘着剤の流動性が高くなることで、吸着面に一度固定されたシートに新たな浮き及びズレが生じやすくなるとともに、面方向にズレの量が積算されるため、その程度が大面積のシートほど大きくなる。特に、吸着プレス工程では、吸着固定用シートに加わる圧力によって粘着剤が流動するため、上記浮き及びズレが生じやすい。本発明による吸着固定用シートでは、多孔質シートの一方の面に上記（１）の両面粘着シートが配置されている場合には、両面粘着シートの基材により粘着剤の流動が抑制され、吸着面に一度固定されたシートへの新たな浮き及びズレの発生が抑制される。また、多孔質シートの一方の面に上記（２）の両面粘着層が配置されている場合には、高温下における架橋された粘着剤の流動性の低さに基づいて、吸着面に一度固定されたシートへの新たな浮き及びズレの発生が抑制される。
これに加えて本発明による吸着固定用シートでは、両面粘着シート又は両面粘着層の厚さに対する多孔質シートの厚さの比を８．０以上と定めている。これにより、厚さ方向の通気性を両面粘着シート又は両面粘着層にもたらす構造の形状が、吸着時の吸引力、吸着プレス工程においてはさらにプレス圧力によって、吸着対象物、とりわけ、自立性を有さない薄いシート状体である吸着対象物、に転写される程度を抑制できる。すなわち、本発明による吸着固定用シートでは、当該シート自身の構造に起因する、吸着対象物における意図しない変形あるいは表面の損傷の発生が抑制される。
したがって、本発明によれば、面積を大きくしたり、高温下で使用する場合にも、吸着対象物に意図しない変形あるいは表面の損傷を与え難い吸着固定用シートが達成される。
図１は、本発明の吸着固定用シートの一例を模式的に示す断面図である。 図２は、貫通孔を有する両面粘着シートが多孔質シートの一方の面に配置された吸着固定用シートにおける、吸着時の吸着対象物の変形を説明するための模式図である。 図３は、本発明の吸着固定用シートが備えうる両面粘着シートの一例を模式的に示す断面図である。 図４は、本発明の吸着固定用シートが備えうる両面粘着シートについて、貫通孔の配置の一例を模式的に示す平面図である。 図５は、本発明の吸着固定用シートが備えうる両面粘着シートについて、貫通孔の配置の別の一例を模式的に示す平面図である。 図６Ａは、本発明の吸着固定用シートの別の一例を模式的に示す平面図である。 図６Ｂは、図６Ａの吸着固定用シートの断面Ｂ－Ｂを示す模式図である。 図７は、本発明の吸着固定用シートを使用して吸着対象物を吸着装置の吸着面に吸着する工程を模式的に示す断面図である。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。本発明は、以下に示す実施形態に限定されない。
［吸着固定用シート］
（第１実施形態）
第１実施形態の吸着固定用シートの一例を図１に示す。図１の吸着固定用シート１は、厚さ方向に通気性を有する多孔質シート２と、厚さ方向に通気性を有する両面粘着シート３と、を備える。両面粘着シート３は、多孔質シート２の一方の面に配置されている。両面粘着シート３は、基材を有する。両面粘着シート３は、当該シート３を厚さ方向に貫通する複数の貫通孔４を有する。両面粘着シート３の厚さｄ１に対する多孔質シート２の厚さｄ２の比ｄ２／ｄ１は８．０以上である。第１実施形態の吸着固定用シート１は、多孔質シート２と両面粘着シート３の貫通孔４とによる厚さ方向の通気性を有しており、吸着装置の吸着面への配置により吸着対象物と吸着面との接触を防ぐ吸着固定用シートとして使用可能である。第１実施形態の吸着固定用シート１は、両面粘着シート３が吸着面に接するように、吸着装置の吸着面に配置され固定される。なお、図１及びこれ以降に参照する各図では、図面を見やすく、かつ説明を分かりやすくするために、実際の吸着固定用シートにおける各部のスケールを必ずしも正確に反映せず、例えば、貫通孔４のサイズを誇張して示す。また、本明細書において、シート又は層の「厚さ方向」とは、当該シート又は層の一方の面と他方の面とを接続する任意の方向を意味する。例えば、図１に示す例において、貫通孔４は両面粘着シート３の面３ａ，３ｂに垂直な方向に延びているが、貫通孔４が延びる方向は当該垂直な方向に限定されない。貫通孔４が延びる方向は、両面粘着シート３の一方の面３ａと他方の面３ｂとを貫通孔４が接続する限り、当該垂直な方向に対して傾いていてもよい。
第１実施形態において比ｄ２／ｄ１は、多孔質シート２の厚さが相対的に大きくなることで、吸着時に貫通孔４の開口の形状が吸着対象物に転写される程度をより確実に抑制できることから、９．０以上、１０．０以上、さらには１１．０以上であってもよい。比ｄ２／ｄ１の上限は、例えば３０．０以下である。両面粘着シート３は、通常、横方向（シート面内方向）の通気性を有さない一方で、多孔質シート２は横方向の通気性を有しうる。両面粘着シート３の厚さに対する多孔質シート２の厚さの比が過度に大きくなると、多孔質シート２が横方向の通気性を有する場合に、吸着固定用シート１の多孔質シート２の部分における横方向の通気量が過度に大きくなって、吸着対象物の良好な吸着が難しくなることがある。この観点からは、比ｄ２／ｄ１の上限は、２０．０以下、さらには１５．０以下であってもよい。
第１実施形態において、厚さ方向の通気性を両面粘着シート３にもたらす構造の形状とは、典型的には、貫通孔４の開口の形状である。吸着時における貫通孔４の開口の形状の吸着対象物への転写とは、例えば、図２に示すように、吸着時の通気６４により生じる吸引力により、吸着対象物６１の表面（吸着固定用シート１に接する表面）６３に貫通孔４の開口の形状に対応する凸部６２が生じることをいう。この場合、表面６３からの凸部６２の高さが大きいほど、吸着時に貫通孔４の開口の形状が転写された程度が大きいといえる。なお、吸着プレス工程では、吸着固定用シート１及び吸着対象物６１に加わる圧力によって、凸部６２がさらに生じやすくなる。
第１実施形態の吸着固定用シート１では、多孔質シート２の一方の面の全体に両面粘着シート３が配置されている。より具体的には、第１実施形態の吸着固定用シート１では、多孔質シート２と同じ形状を有する両面粘着シート３が、吸着固定用シート１の面に垂直な方向から見たときに、その全体が互いに重複するように多孔質シート２の一方の面に配置されている。第１実施形態の吸着固定用シートでは、多孔質シート２の一方の面の全体に両面粘着シート３が配置されていなくてもよい。ただし、上述した効果をより確実に得るためには、少なくとも、吸着装置による吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、多孔質シート２の一方の面の全体に両面粘着シート３が配置されていることが好ましい。
多孔質シート２は、例えば、織布、不織布、厚さ方向に穿孔加工が施されたフィルム（金属フィルム、樹脂フィルム等）、樹脂粒子の焼結シートであり、好ましくは、樹脂粒子の焼結シートである。焼結シートである多孔質シート２によれば、繊維の脱落による吸着対象物への異物の付着と、当該異物による吸着対象物の変形及び表面の損傷を避けることができる。また、多孔質シート２の通気経路となる粒子間の空隙が当該シート２の全体に存在することから、吸着対象物をより均一に吸着できる。ただし、厚さ方向に通気性を有する限り、多孔質シート２は上記例に限定されない。
樹脂粒子を構成する樹脂は、多孔質シート２としたときの耐摩耗性及び耐衝撃性に優れることから、好ましくは、超高分子量ポリエチレン（以下、「ＵＨＭＷＰＥ」と記載する）である。すなわち、多孔質シート２は、好ましくは、ＵＨＭＷＰＥ粒子の焼結シートである。ただし、焼結により多孔質シート２を形成できる限り、樹脂粒子を構成する樹脂は限定されない。なお、ＵＨＭＷＰＥの重量平均分子量Ｍｗは、例えば５０万以上、好ましくは１００万以上である。ＵＨＭＷＰＥの重量平均分子量は、高温ゲル浸透クロマトグラフィー法（高温ＧＰＣ法）により評価できる。
ＵＨＭＷＰＥ粒子の焼結シートは、公知の方法、例えば以下に示す方法１～３により作製できる。方法１は、ＵＨＭＷＰＥ粒子を金型に充填した状態で焼結してＵＨＭＷＰＥの焼結ブロック体を形成し、形成した焼結ブロック体をシートに切削加工する方法である。焼結ブロック体の形状は、円柱であってもよい。方法２は、ＵＨＭＷＰＥ粒子をシート状に充填した状態で焼結する方法である。方法３は、ＵＨＭＷＰＥ粒子を分散媒に分散させたスラリーを転写シート、典型的には金属シート、に所定厚みに塗布し、これをＵＨＭＷＰＥの融点以上に加熱してシート状に焼結する方法である。転写シートにおけるスラリーの塗布面には離形処理が施されていてもよい。いずれの方法においても、例えば、２０～５００μｍの平均粒径を有するＵＨＭＷＰＥ粒子を使用できる。
多孔質シート２の厚さは、例えば０．０５０ｍｍ～３．０ｍｍであり、０．１ｍｍ～２．０ｍｍ、さらには０．２ｍｍ～１．５ｍｍであってもよい。多孔質シート２の厚さがこれらの範囲にある場合、上述した効果をより確実に得ることができる。多孔質シート２の厚さが過度に小さいと、両面粘着シート３の貫通孔４の開口の形状が吸着時に吸着対象物に転写される程度が大きくなることがある。多孔質シート２の厚さが過度に大きいと、樹脂粒子の焼結シートである場合等、多孔質シート２が横方向の通気性を有する場合に、多孔質シート２の部分における吸着固定シート１の横方向の通気量が過度に大きくなって、吸着対象物の良好な吸着が難しくなることがある。
多孔質シート２の厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ Ｌ１０９６：２０１０に定められた通気性測定Ａ法（フラジール形法）に準拠して測定したフラジール数（以下、「フラジール数」と記載する）で表示して、例えば、０．５ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）～２０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）である。通気度の下限は、フラジール数で表示して、１．０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上、２．０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上、２．０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）超、２．５ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上、さらには３．０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上であってもよい。通気度の上限は、フラジール数で表示して、例えば１０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以下であり、８．０ｃｍ3（ｃｍ2・秒）以下であってもよい。吸着対象物の吸着に要する時間（タクトタイム）を低減できる観点からは、多孔質シート２の厚さ方向の通気度は高い方がよい。しかし、通気度が高い多孔質シート２は一般に空孔率が高く、高い空孔率により、吸着固定用シート１として必要な強度、耐摩耗性、耐衝撃性等の特性が低下することがある。多孔質シート２の厚さ方向の通気度が上述した範囲にある場合、とりわけ、多孔質シート２が樹脂粒子の焼結シートであるときに、タクトタイムと上記各特性とのバランスがより良好となる。
多孔質シート２の空孔率は、例えば１５％～５０％であり、２０～４５％であってもよい。多孔質シート２の空孔率がこれらの範囲にある場合、とりわけ、多孔質シート２が樹脂粒子の焼結シートであるときに、タクトタイムと上記特性とのバランスがより良好となる。多孔質シート２の空孔率は、多孔質シートの体積Ｖ（ｃｍ3）、真比重Ｄ（ｇ／ｃｍ3）及び質量Ｍ（ｇ）から、式：空孔率（％）＝｛１－Ｍ／（Ｖ×Ｄ）｝×１００により求めることができる。
多孔質シート２の表面粗さ、特に、吸着時に吸着対象物に接する面の表面粗さは、ＪＩＳ Ｂ０６０１：２００１に定められた算術平均粗さＲａにより表示して、好ましくは１．０μｍ以下であり、より好ましくは０．５μｍ以下である。多孔質シート２のＲａがこれらの範囲にある場合、多孔質シート２との接触に起因する、吸着時における吸着対象物の意図しない変形あるいは表面の損傷をより確実に抑制できる。なお、樹脂粒子の焼結シートである多孔質シート２によれば、上記Ｒａの範囲を比較的容易に達成できる。当該シートにおいて表面粗さは、例えば、樹脂粒子の粒径により制御できる。
多孔質シート２は、単層構造を有していても、２以上の特性及び／又は構造が異なる層が積層された積層構造を有していてもよい。
両面粘着シート３において貫通孔４は、両面粘着シート３の一方の面と他方の面とを接続しており、両面粘着シート３の厚さ方向の通気経路となる。貫通孔４により、両面粘着シート３は厚さ方向に通気性を有する。
両面粘着シート３の一例を図３に示す。図３に示す両面粘着シート３は、基材３１と、基材３１の一方の面に形成された粘着剤層３２ａと、基材３１の他方の面に形成された粘着剤層３２ｂと、を備える。貫通孔４は、基材３１及び粘着剤層３２ａ，３２ｂを貫通している。
基材３１は、貫通孔４以外に、一方の面と他方の面とを接続する通気経路を有さないフィルムであってもよい。より具体的には、基材３１は、無孔フィルムに貫通孔４を形成したフィルムであってもよい。
基材３１を構成する材料は、例えば樹脂である。樹脂は、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等のポリエステル；ポリカーボネート（ＰＣ）；アクリル樹脂；ブチルゴムである。樹脂は、好ましくはＰＥＴ、ＰＣであり、より好ましくはＰＥＴである。ＰＥＴ及びＰＣは、樹脂材料として比較的硬く、吸着固定用シート１の面積が大きい場合にも、吸着面への戴置時に当該シート１に弛みや皺が生じにくい。また、ＰＥＴ及びＰＣは、高温（例えば、ホットメルト粘着剤の溶融温度近傍）の環境下においても十分な強度を保持できる。なお、基材３１を構成する材料は、上記例に限定されない。
基材３１は、無孔の樹脂フィルムに貫通孔４を形成したフィルムであってもよく、無孔のＰＥＴフィルムに貫通孔４を形成したフィルムであってもよい。
基材３１の厚さは、例えば、０．００５ｍｍ～１．０ｍｍであり、０．０１ｍｍ～０．５ｍｍであってもよい。基材３１の厚さがこれらの範囲にある場合、上述した効果をより確実に得ることができる。基材３１の厚さが過度に大きいと、吸着固定用シート１としての通気抵抗が増加したり、多孔質シート１の厚さを過度に大きくしなければ上記比ｄ２／ｄ１を保持できなくなることがある。
粘着剤層３２ａ及び粘着剤層３２ｂから選ばれる少なくとも一方の粘着剤層が含む粘着剤（粘着剤組成物）は、架橋された粘着剤であってもよい。架橋された粘着剤は、高温下での流動性が低く、吸着面に一度固定された吸着固定用シートにおける新たな浮き及びズレの発生をより確実に抑制できる。双方の粘着剤層３２ａ，３２ｂが含む粘着剤が架橋された粘着剤であってもよい。ただし、粘着剤層３２ａ，３２ｂが含む粘着剤は、架橋された粘着剤に限定されない。
架橋された粘着剤は、例えばアクリル系、ウレタン系、シリコーン系、エポキシ系の各種の粘着剤である。別の側面から見て、架橋された粘着剤は、例えば、架橋系粘着剤、紫外線硬化型粘着剤である。架橋系粘着剤は、架橋剤を含む粘着剤である。アクリル系、ウレタン系及びシリコーン系の粘着剤は、通常、架橋系粘着剤に分類される。上記例示した中では、アクリル系及び／又はシリコーン系の粘着剤が、高温下での流動性が特に低いことから好ましい。ただし、架橋された粘着剤は上記例に限定されない。また、架橋された粘着剤には、公知のものを使用できる。粘着剤が架橋された粘着剤であることは、粘着剤を溶解する溶剤（例えば、２５℃のトルエン）に当該粘着剤を溶解させたときに溶解しない成分（ゲル分）が残留することにより確認できる。なお、ホットメルト粘着剤は、通常、ゲル分が残留せず、架橋された粘着剤には該当しない。
アクリル系粘着剤は、アクリルポリマーをベースポリマーとする粘着剤である。アクリル系粘着剤には、公知のものを使用できる。アクリル系粘着剤の一例は、特開2005-105212号公報に開示の粘着剤である。
シリコーン系粘着剤は、シリコーンポリマーをベースポリマーとする粘着剤である。シリコーン系粘着剤には、公知のものを使用できる。シリコーン系粘着剤の一例は、特開2003-313516号公報に開示の粘着剤（比較例として開示のものを含む）である。
基材３１の一方の面に形成された粘着剤層３２ａと、他方の面に形成された粘着剤層３２ｂとは、同一の構成を有していても、互いに異なる構成を有していてもよい。両面粘着シート３の一例では、粘着剤層３２ａ，３２ｂがいずれもアクリル系粘着剤から構成される。両面粘着シート３の別の一例では、一方の粘着剤層３２ａがシリコーン系粘着剤から構成され、他方の粘着剤層３２ｂがアクリル系粘着剤から構成される。
吸着装置の吸着面は、通常、ステンレス等の金属から構成される。アクリル系粘着剤から構成される粘着剤層と、シリコーン系粘着剤から構成される粘着剤層とでは、シリコーン系粘着剤から構成される粘着剤層の方が、当該吸着面における糊残り量（粘着剤層を構成する粘着剤の残留量）を低減できる。吸着面に固定した吸着固定用シート１は、通常、既定の回数の吸着工程を実施した後、あるいは多孔質シート２における吸着対象物に接する表面が既定の摩耗量に達したときに交換される。その際、吸着面に糊残りがあると、吸着面の表面に残留した粘着剤によって新たに配置した吸着固定用シート１の表面に凹凸が生じることで、次回以降に吸着する吸着対象物に意図せぬ変形あるいは表面の損傷が生じることがある。このため、吸着固定用シート１の交換時における糊残り量はできるだけ小さいことが望まれる。また、多孔質シート２が不織布あるいは樹脂粒子の焼結シートである場合、当該シート２に対する接着強度は、シリコーン系粘着剤に比べてアクリル系粘着剤の方が高い。これらを考慮すると、一方の粘着剤層３２ａがシリコーン系粘着剤から構成され、他方の粘着剤層３２ｂがアクリル系粘着剤から構成され、粘着剤層３２ｂが多孔質シート２と接する吸着固定用シート１とし、当該シート１を、粘着剤層３２ａが吸着面に接するように吸着装置に固定してもよい。これにより、吸着面に一度固定された吸着固定用シートにおける高温下での新たな浮き及びズレの発生をより確実に抑制できるとともに、吸着固定用シート１の交換時における吸着面への糊残り量を低減できる。
架橋された粘着剤のゲル分率は、例えば１～９０％であり、２～８０％、５～６０％であってもよい。ゲル分率がこれらの範囲にある場合、架橋された粘着剤の高温下での流動性をより低くすることができる。粘着剤のゲル分率は、例えば、以下のように評価できる。
[アクリル系粘着剤のゲル分率]
評価対象物である粘着剤層約０．１ｇを採取する。採取した粘着剤層を、平均孔径０．２μｍのポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）多孔質膜（例えば、日東電工製、ＮＴＦ１１２２）で包んだ後、凧糸で縛って評価サンプルとし、重量（浸漬前重量ｃ）を測定する。浸漬前重量は、採取した粘着剤、ＰＴＦＥ多孔質膜、及び凧糸の総重量に相当する。また、評価サンプルに使用するＰＴＦＥ多孔質膜及び凧糸の合計重量を予め測定しておき、これを包袋重量ｂとする。
次に、酢酸エチルで満たされた容積５０ｍＬの容器に評価サンプルを収容し、２３℃にて７日間静置する。その後、評価サンプルを容器から取り出してアルミニウム製カップに移し、１３０℃に設定した乾燥機で２時間乾燥させて酢酸エチルを除去する。次に、評価サンプルの重量を測定し、当該重量を浸漬後重量ａとする。
測定した浸漬後重量ａ、包袋重量ｂ、及び浸漬前重量ｃから、以下の式に基づいてゲル分率を求めることができる。
式：ゲル分率（重量％）＝（ａ－ｂ）／（ｃ－ｂ）×１００
[シリコーン系粘着剤のゲル分率]
評価対象物であるシリコーン系粘着剤の層が基材シートの表面に形成された、約１９ｍｍ×約２５０ｍｍの評価サンプルを準備する。基材シートには、トルエンにより膨潤しない材料から構成されるシートを選択する。基材シートは、例えばＰＴＦＥシートである。次に、評価サンプルの重量（浸漬前重量Ｃ）を測定する。
次に、約３００ｍＬのトルエンに評価サンプルを常温で４８時間浸漬する。その後、評価サンプルをトルエンから取り出し、３０分間風乾させた後、１２０℃に設定した乾燥機で２時間乾燥してトルエンを除去する。次に、評価サンプルを室温に戻して３０分間放置した後、浸漬後重量Ａを測定する。次に、基材シートから粘着剤の層を除去し、基材シートの重量Ｂを測定する。
測定した浸漬後重量Ａ、基材シートの重量Ｂ、及び浸漬前重量Ｃから、以下の式に基づいてゲル分率を求めることができる。
式：ゲル分率（重量％）＝（Ａ－Ｂ）／（Ｃ－Ｂ）×１００
粘着剤層３２ａ，３２ｂの厚さは、例えば、０．００５ｍｍ～１．０ｍｍであり、０．０１ｍｍ～０．５ｍｍであってもよい。
図１，３に示す例において、貫通孔４の延びる方向は両面粘着シート３の表面に垂直な方向である。また、当該例において、貫通孔４は直線状に延びている。さらに、当該例において、貫通孔４の断面（延びる方向に垂直な断面）の形状は、両面粘着シート３の一方の面から他方の面に至るまで一定である。ただし、延びる方向、延びる状態、及び断面の形状といった貫通孔４の構成は、両面粘着シート３が厚さ方向の通気性を有する限り、限定されない。なお、断面の形状が一定である貫通孔４には、当該貫通孔４を形成する手法上避けられない断面形状の変動を有する貫通孔が含まれる。
貫通孔４の開口の形状は、例えば、円、楕円、矩形であり、円又は楕円が好ましく、円がより好ましい。ただし、貫通孔４の開口の形状は上記例に限定されない。
各々の貫通孔４の開口面積は、例えば１０ｍｍ2以下であり、７ｍｍ2以下、さらには５ｍｍ2以下であってもよい。各々の貫通孔４の開口面積の下限は、例えば０．１ｍｍ2以上であり、０．３ｍｍ2以上、さらには０．５ｍｍ2以上であってもよい。各々の貫通孔４の開口面積がこれらの範囲にある場合、貫通孔４の開口の形状が吸着時に吸着対象物に転写される程度をより小さくすることができる。ただし、各々の貫通孔４の開口面積が過度に小さくなると、吸着固定用シート１における厚さ方向の通気性の確保が困難になることがある。
両面粘着シート３における貫通孔４の開口率（両面粘着シート３の表面の面積に対する、当該表面における貫通孔４の開口面積の合計が占める割合）は、例えば１５．０％以上であり、２０．０％以上、２５．０％以上、３０．０％以上、さらには３５．０％以上であってもよい。貫通孔４の開口率の上限は、例えば６０．０％以下であり、５５．０％以下、さらには５０．０％以下であってもよい。貫通孔４の開口率がこれらの範囲にある場合、吸着固定用シート１の厚さ方向の通気性をより確実に確保できる。少なくとも、吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、両面粘着シート３における貫通孔４の開口率がこれらの範囲にあることが好ましい。
両面粘着シート３における貫通孔４の開口率及び各々の貫通孔４の開口面積が上述の範囲にある場合、吸着固定用シート１における厚さ方向の通気性がより確実に確保されながら、貫通孔４の開口の形状が吸着時に吸着対象物に転写される程度をより小さくすることができる。
両面粘着シート３における貫通孔４の配置の状態の例を図４，５に示す。図４，５には、両面粘着シート３の表面における貫通孔４の開口が示されている。ただし、両面粘着シート３における貫通孔４の配置の状態は、図４，５に示す例に限定されない。
図４に示す例では、両面粘着シート３の表面に垂直な方向から見て、各々の貫通孔４の開口の中心が当該表面上の仮想の正方格子３３の各頂点（格子点）に位置するように、貫通孔４が配置されている。図５に示す例では、両面粘着シート３の表面に垂直な方向から見て、各々の貫通孔４の開口の中心が当該表面上の仮想の正三角格子３４の各頂点に位置するように、貫通孔４が配置されている。両面粘着シート３は、少なくとも、吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、これらの貫通孔の配置を有していてもよい。これらの例に示す貫通孔４の配置によれば、シートの全体、少なくとも上記領域の全体、にわたって厚さ方向の通気性がより均一な吸着固定用シート１を得ることができる。吸着固定用シート１における厚さ方向の通気性がより均一であると、吸着対象物をよりムラなく吸着することが可能となり、吸着時における吸着対象物の意図しない変形あるいは表面の損傷の発生をより確実に抑制できる。なお、図４，５に示す例において、各々の貫通孔４の開口及び断面の形状は全て同一であり、より具体的には円形である。ただし、各々の貫通孔４の開口及び／又は断面の形状は全て同一でなくてもよい。また、図４，５に示す例において、各々の貫通孔４の中心は正方格子３３又は正三角格子３４の各頂点に厳密に位置している必要はなく、例えば、貫通孔４を設ける工程において避けられない中心位置のズレは許容される。
図４，５に示す例において、最近接する貫通孔４の中心間距離（ピッチ）Ｐ１は、例えば０．５ｍｍ～１０．０ｍｍであり、１．０ｍｍ～５．０ｍｍであってもよい。
吸着固定用シート１の厚さは、例えば０．０６５ｍｍ～６ｍｍであり、０．１ｍｍ～３．５ｍｍ、０．２５ｍｍ～１．０ｍｍであってもよい。
吸着固定用シート１の厚さ方向の通気度は、フラジール数で表示して、例えば０．１ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上であり、０．３ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上、０．５ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上、０．７ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上、０．９ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上、１．２ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上、さらには１．５ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上であってもよい。当該通気度の上限は、フラジール数で表示して、例えば１０．０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以下である。
吸着固定用シート１の形状は、例えば、正方形及び長方形を含む多角形状、帯状である。ただし、吸着固定用シート１の形状は上記例に限定されない。吸着固定用シート１は、面積が大きい場合においても、吸着対象物に意図しない変形あるいは表面の損傷を与え難い。
吸着固定用シート１の面積は、例えば５０ｃｍ2以上、１００ｃｍ2以上、２２５ｃｍ2以上、４００ｃｍ2以上、１０００ｃｍ2以上、さらには１００００ｃｍ2以上であってもよい。
吸着固定用シート１は、本発明の効果が得られる限り、多孔質シート２及び両面粘着シート３以外の部材を有していてもよい。当該部材は、例えば、露出面である粘着剤層３２ａ又は３２ｂに配置されたセパレータである。セパレータは、吸着固定用シート１の流通時に当該シート１に配置され、当該シート１の使用時（吸着装置の吸着面への固定時）に多孔質シート２及び両面粘着シート３の積層体から剥離される。吸着固定用シート１は、少なくとも、吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、多孔質シート２及び両面粘着シート３からなってもよい。
第１実施形態の吸着固定用シート１は、例えば、粘着剤層３２ａ又は３２ｂを介して多孔質シート２の一方の面に両面粘着シート３を配置して形成できる。粘着剤層３２ａと粘着剤層３２ｂとの構成が異なる場合、接着強度のより大きな粘着剤層を介して、両面粘着シート３を多孔質シート２に配置してもよい。この場合、接着強度がより小さな粘着剤層を介して吸着固定用シート１が吸着装置の吸着面に固定されるため、吸着固定用シート１の交換がより容易となる。ただし、吸着固定用シート１の形成方法は上記例に限定されない。
両面粘着シート３は、例えば、粘着剤層３２ａ、基材３１及び粘着剤層３２ｂの積層体に複数の貫通孔４を設ける加工を実施して形成できる。ただし、両面粘着シート３の形成方法は、この例に限定されない。複数の貫通孔４を設ける加工には、パンチング、トムソン刃による打ち抜き、レーザ照射等の各種の穿孔加工法を適用できる。粘着剤層３２ａ，３２ｂ及び基材３１の積層体は、例えば、基材３１の表面に粘着剤組成物を塗布し、塗布により形成された塗布膜を乾燥及び／又は硬化して形成できる。
吸着対象物は、例えば、金属シート、ガラスシート等の自立性を有するシートであってもよいし、金属箔、プラスチックフィルム、セラミックグリーンシート等の自立性を有さない薄いシート状体であってもよい。ただし、吸着対象物は上記例に限定されない。自立性を有さないシート状体の方が、吸着面への吸着時に意図しない変形あるいは表面の損傷を受けやすいが、吸着固定用シート１の使用により、このようなシート状体を吸着する場合においても、当該シート状体における上記変形あるいは表面の損傷の発生を抑制できる。
（第２実施形態）
第２実施形態の吸着固定用シート１の一例を図６Ａに示す。図６Ｂには、図６Ａの吸着固定用シート１の断面Ｂ－Ｂが示されている。図６Ａ及び図６Ｂの吸着固定用シート１は、厚さ方向に通気性を有する多孔質シート２と、厚さ方向に通気性を有する両面粘着層５と、を備える。両面粘着層５は、多孔質シート２の一方の面に配置されている。両面粘着層５は、架橋された粘着剤６から形成される。より具体的には、両面粘着層３は、多孔質シート２の一方の面に配置された複数の粘着剤６により構成される層である。複数の粘着剤６は、互いに間隔を置いて、多孔質シート２の一方の面に配置されている。両面粘着層５の厚さｄ１に対する多孔質シート２の厚さｄ２の比ｄ２／ｄ１は８．０以上である。第２実施形態の吸着固定用シート１は、多孔質シート２と、両面粘着層５における隣り合う粘着剤６の間の空間７とによる厚さ方向の通気性を有しており、吸着装置の吸着面への配置により吸着対象物と吸着面との接触を防ぐ吸着固定用シートとして使用可能である。第２実施形態の吸着固定用シート１は、両面粘着層５が吸着面に接するように、吸着装置の吸着面に配置され固定される。
第２実施形態において比ｄ２／ｄ１は、多孔質シート２の厚さが相対的に大きくなることで、両面粘着層５における空間７の開口部８の形状が吸着時の吸引力によって吸着対象物に転写される程度をより確実に抑制できることから、１０．０以上、１４．０以上、２０．０以上、２５．０以上、３０．０以上、３５．０以上、さらには４０．０以上であってもよい。比ｄ２／ｄ１の上限は、例えば６０．０以下である。
図６Ａ及び図６Ｂに示す例において、多孔質シート２の一方の面では、複数の粘着剤６が互いに間隔を置いて配置されることで両面粘着層５を形成している。より具体的には、多孔質シート２の一方の面に垂直な方向から見て、複数の粘着剤６が当該一方の面にストライプ状に配置されている。ただし、両面粘着層５における粘着剤６の配置（配置パターン）は、厚さ方向の通気性を両面粘着層５にもたらす空間７を両面粘着層５が有する限り、図６Ａ及び図６Ｂに示す例に限定されない。
複数の粘着剤６は、少なくとも、吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、多孔質シート２の上記一方の面に配置されていることが好ましく、上記領域の全体において、多孔質シート２の上記一方の面に配置されていることがより好ましい。
粘着剤６には、両面粘着シート３の説明において上述した架橋された粘着剤を使用できる。
各々の粘着剤６の厚さは、例えば１～３００μｍであり、５～１００μｍであってもよい。粘着剤６の厚さがこれらの範囲にある場合、上述した効果をより確実に得ることができる。
多孔質シート２の一方の面に垂直に見た各々の粘着剤６の面積は、例えば０．０５～１ｍｍ2であり、０．１～０．５ｍｍ2であってもよい。ただし、図６Ａ及び図６Ｂに示すようにストライプ状に配置された各々の粘着剤６の上記面積は、各粘着剤６の幅×長さであり、上記範囲に比べて大きくなりうる。
図６Ａ及び図６Ｂに示すようにストライプ状に配置された各々の粘着剤６の幅は、例えば０．１～５ｍｍであり、０．５～２ｍｍであってもよい。
多孔質シート２の上記一方の面における粘着剤６の占有率（多孔質シート２の上記一方の面に垂直な方向から見て、上記一方の面の面積に対する当該面上に配置された粘着剤６の面積の合計が占める割合）は、例えば３０～９０％であり、４０～６０％であってもよい。占有率は、少なくとも、吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、これらの範囲にあることが好ましい。
多孔質シート２の一方の面に垂直な方向から見て、複数の粘着剤６は当該一方の面に一定の間隔で配置されていてもよい。この場合、粘着剤６の配置の間隔は、例えば０．５～１０ｍｍであり、１～５ｍｍであってもよい。粘着剤６の配置の間隔は、通常、最近接する粘着剤６の中心間距離である。図６Ａ及び図６Ｂに示すようにストライプ状に配置された粘着剤６である場合には、配置の間隔は、隣接する粘着剤６の中心線間距離（ピッチ）Ｐ２である。また、少なくとも、吸着装置による吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、複数の粘着剤６は当該一方の面に一定の間隔で配置されていてもよい。
多孔質シート２の一方の面に垂直な方向から見て、複数の粘着剤６の形状は同一であってもよい。また、少なくとも、吸着装置による吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、多孔質シート２の一方の面に垂直な方向から見て、複数の粘着剤６の形状が同一であってもよい。
第２実施形態の吸着固定用シート１における多孔質シート２は、好ましい形態を含め、第１実施形態の吸着固定用シート１における多孔質シート２と同様である。
第２実施形態の吸着固定用シート１は、第１実施形態の吸着固定用シート１と同じ特性及び／又は形状を有しうる。特性は、例えば、厚さ、面積、厚さ方向の通気度である。また、第２実施形態の吸着固定用シート１は、本発明の効果が得られる限り、多孔質シート２及び両面粘着層５以外の部材を有していてもよい。当該部材は、例えば、第１実施形態の吸着固定用シート１の説明において上述したセパレータである。
第２実施形態の吸着固定用シート１は、例えば、多孔質シート２の一方の面に粘着剤６を所定のパターンで配置して形成できる。転写シートの表面に粘着剤６を所定のパターンで配置した後、配置した当該粘着剤６を多孔質シート２の一方の面に転写することで吸着固定用シート１を形成してもよい。所定の配置パターンを有する粘着剤６の配置には、例えば、当該パターンに基づく粘着剤６の配置が可能な公知の塗布装置、例えば、シム板を備えるスロットダイ、を使用できる。なお、櫛型のシム板を備えるスロットダイによれば、多孔質シート２の一方の面に対してストライプ状に粘着剤６を配置することも可能である。ただし、吸着固定用シート１の形成方法は上記例に限定されない。
本発明の吸着固定用シートは、上記説明した第１実施形態及び第２実施形態の吸着固定用シートに限定されない。例えば、上記（１）の両面粘着シートは、基材を有し、かつ厚さ方向に通気性を有する限り、任意の構成を有しうる。また、上記（２）の両面粘着層は、架橋された粘着剤から形成され、かつ厚さ方向に通気性を有する限り、任意の構成を有しうる。本発明の吸着固定用シートは、吸着装置の吸着面への配置により吸着対象物と前記吸着面との接触を防ぐ吸着固定用シートであって、通気性を有する多孔質シートと、前記多孔質シートの一方の面に貼付された、複数の貫通孔が設けられた両面粘着シートと、を備え、前記両面粘着シートの厚さに対する前記多孔質シートの厚さの比が８．０以上である吸着固定用シートであってもよい。
［吸着固定用シートを使用した吸着対象物の吸着］
図７に、吸着固定用シート１を吸着面に固定した吸着装置による吸着対象物の吸着工程を示す。（ａ）に示すように、吸着装置の吸着ユニット５１の吸着面５２に、両面粘着シート３又は両面粘着層５により吸着固定用シート１を固定する。そして、（ｂ）に示すように、吸着ユニット５１に吸引力を発生させ、吸着固定用シート１を介して吸着対象物６１を吸着する。
吸着装置及び吸着ユニット５１には、公知の装置及びユニットを使用できる。吸着ユニット５１の吸着面５２は、通常、金属面である。
吸着対象物を吸着面に固定した状態で、当該吸着対象物に対して任意の加工を実施可能である。加工は、例えば、プレス加工である。プレス加工では、吸着面に固定した状態で吸着対象物をプレスする吸着プレス工程を実施できる。
以下、実施例により本発明をより詳細に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。
（実施例１）
多孔質シートとして、ＵＨＭＷＰＥ粒子の焼結シート（日東電工製、サンマップ、厚さ１．０ｍｍ、サイズ２００ｍｍ×２００ｍｍ）を準備した。準備した多孔質シートの厚さ方向の通気度は、フラジール数で表示して、２．０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）であった。これとは別に、両面粘着シートとして、ＰＥＴの基材（厚さ２３μｍ）の一方の面にアクリル系粘着剤層（厚さ３１μｍ）が、他方の面にシリコーン系粘着剤層（厚さ３１μｍ）が形成されたシート（日東電工製、Ｎｏ．５３０２Ａ、厚さ８５μｍ、サイズ２００ｍｍ×２００ｍｍ）を準備した。上述した方法により評価したアクリル系粘着剤層のゲル分率は２５％、シリコーン系粘着剤層のゲル分率は１０％であった。次に、準備した両面粘着シートに対し、金型を用いたプレス加工により、表面に垂直な方向に当該シートを貫通する複数の貫通孔を形成した。貫通孔の断面及び開口の形状は円形とした。言い換えると、形成した貫通孔の形状は円柱状であった。貫通孔は、図５に示すように、当該シートの面に垂直な方向から見て正三角格子の各頂点に位置するように、当該シートの全体にわたり形成した。形成した各々の貫通孔の直径（開口径）は２．０ｍｍとし、最近接する貫通孔の中心間距離（ピッチ）Ｐ１は３．０ｍｍとした。両面粘着シートの開口率は４０．３％であった。なお、準備した多孔質シートの厚さ、両面粘着シートの基材及び粘着剤層の厚さ、ならびに両面粘着シートの厚さは、マイクロメーター（ミツトヨ製）を用いて、又は顕微鏡による断面の観察像を解析することにより、評価した。
次に、準備した多孔質シートと両面粘着シートとを、両面粘着シートにおけるアクリル系粘着剤層が多孔質シートに接するように、かつ双方のシートの外縁が一致するように接合して実施例１の吸着固定用シートを得た。得られた吸着固定用シートにおける両面粘着シートの厚さに対する多孔質シートの厚さの比ｄ１／ｄ２は１１．８であった。
（実施例２）
多孔質シートの厚さを０．４５ｍｍに変更するとともに、ＰＥＴの基材（厚さ１２μｍ）の一方の面にアクリル系粘着剤層（厚さ１４μｍ）が、他方の面にシリコーン系粘着剤層（厚さ１４μｍ）が形成されているシート（厚さ４０μｍ、サイズ２００ｍｍ×２００ｍｍ）を両面粘着シートに使用した以外は、実施例１と同様にして、実施例２の吸着固定用シートを得た。準備した多孔質シートの厚さ方向の通気度は、フラジール数で表示して、３．０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）であった。得られた吸着固定用シートにおける両面粘着シートの厚さに対する多孔質シートの厚さの比ｄ１／ｄ２は１１．３であった。上述した方法により評価したアクリル系粘着剤層のゲル分率は１０％、シリコーン系粘着剤層のゲル分率は３５％であった。なお、両面粘着シートは、以下のように作製した。
アクリル酸ｎ－ブチルアクリレート：アクリル酸＝１００：５（重量比）の配合物１００重量部を重合溶媒であるトルエンに溶解させた後、重合開始剤として過酸化ベンゾイル０.２重量部を添加して配合物の重合を進行させ、５０万の重量平均分子量を有するアクリル系共重合体の溶液を得た。次に、固形分である共重合体１００重量部に対してロジンフェノール系樹脂２０重量部、ロジン系樹脂２０重量部、及びイソシアネート系架橋剤２.８重量部を当該溶液に添加して混合し、アクリル系粘着剤組成物（溶液）を調製した。次に、調製した粘着剤組成物を、ポリジメチルシロキサン系剥離処理を施した剥離ライナー上に乾燥厚み１４μｍとなるように塗布し、これを１００℃の温度で３分間乾燥して、アクリル系粘着剤層を形成した。
これとは別に、両末端に水酸基を有する重合度４０００のポリジメチルシロキサン１００重量部と、Ｑ単位（ＳｉＯ2）１モル部に対してＭ単位（（ＣＨ3）3ＳｉＯ1/2）０．８モル部の構成比からなる水酸基含有分岐状ポリメチルシロキサン１００重量部とを、トルエン中、水酸化ナトリウムの存在下で部分縮合させた。その後、部分縮合物を含む溶液を燐酸で中和して、シリコーン系粘着剤の前駆体を含むトルエン溶液を調製した。
次に、前駆体の固形分１００重量部に対して硬化剤として過酸化ベンゾイル１重量部を上記調製したトルエン溶液に加え、シリコーン系粘着剤の溶液を得た。次に、基材である厚さ１２μｍのＰＥＴフィルムの片側に乾燥厚み１４μｍとなるように上記溶液を塗布し、１４０℃の温度で３分間乾燥して、シリコーン系粘着剤層を形成した。次に、ポリジメチルシロキサン系剥離処理を施した剥離ライナーをシリコーン系粘着剤層上に貼り合せて、片面粘着シートを得た。次に、得られた片面粘着シートにおけるＰＥＴ基材の露出面に上記形成したアクリル系粘着剤層を貼り合わせて、実施例２で使用した両面粘着シートを得た。
（実施例３）
多孔質シートの厚さを０．３０ｍｍに変更するとともに、ＰＥＴの基材（厚さ１２μｍ）の双方の面にアクリル系粘着剤層（いずれも厚さ９μｍ）が形成されているシート（日東電工製、Ｎｏ．５６０３、厚さ３０μｍ、サイズ２００ｍｍ×２００ｍｍ）を両面粘着シートに使用した以外は、実施例１と同様にして、実施例３の吸着固定用シートを得た。準備した多孔質シートの厚さ方向の通気度は、フラジール数で表示して、４．０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）であった。得られた吸着固定用シートにおける両面粘着シートの厚さに対する多孔質シートの厚さの比ｄ１／ｄ２は１０．０であった。上述した方法により評価したアクリル系粘着剤層のゲル分率は９％であった。
（実施例４）
多孔質シートの厚さを０．７０ｍｍに変更した以外は実施例１と同様にして、実施例４の吸着固定用シートを得た。準備した多孔質シートの厚さ方向の通気度は、フラジール数で表示して、２．０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）であった。得られた吸着固定用シートにおける両面粘着シートの厚さに対する多孔質シートの厚さの比ｄ１／ｄ２は８．２であった。
（比較例１）
多孔質シートの厚さを０．３０ｍｍに変更した以外は実施例２と同様にして、比較例１の吸着固定用シートを得た。準備した多孔質シートの厚さ方向の通気度は、フラジール数で表示して、４．０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）であった。得られた吸着固定用シートにおける両面粘着シートの厚さに対する多孔質シートの厚さの比ｄ１／ｄ２は７．５であった。
（比較例２）
多孔質シートの厚さを０．３０ｍｍに変更した以外は実施例１と同様にして、比較例２の吸着固定用シートを得た。準備した多孔質シートの厚さ方向の通気度は、フラジール数で表示して、４．０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）であった。得られた吸着固定用シートにおける両面粘着シートの厚さに対する多孔質シートの厚さの比ｄ１／ｄ２は３．５であった。
（実施例５）
両面粘着シートに形成する各々の貫通孔の直径（開口径）を０．８ｍｍに変更し、最近接する貫通孔の中心間距離（ピッチ）Ｐ１を１．８ｍｍに変更した以外は、実施例１と同様にして、実施例５の吸着固定用シートを得た。得られた吸着固定用シートの開口率は１７．９％であった。また、得られた吸着固定用シートにおける両面粘着シートの厚さに対する多孔質シートの厚さの比ｄ１／ｄ２は１１．８であった。
（実施例６～８、比較例３，４）
両面粘着シートとして実施例５で使用したシートを用いた以外は、各々、実施例２～４及び比較例１，２と同様にして、実施例６～８及び比較例３，４の吸着固定用シートを得た。得られた各吸着固定用シートにおける両面粘着シートの厚さに対する多孔質シートの厚さの比ｄ１／ｄ２は、それぞれ、実施例２～４及び比較例１，２で作製した吸着固定用シートと同じであった（表１参照）。
（実施例９）
両面粘着シートに形成する各々の貫通孔の直径（開口径）を１．５ｍｍに変更し、最近接する貫通孔の中心間距離（ピッチ）Ｐ１を２．５ｍｍに変更した以外は、実施例１と同様にして、実施例９の吸着固定用シートを得た。得られた吸着固定用シートの開口率は３２．６％であった。また、得られた吸着固定用シートにおける両面粘着シートの厚さに対する多孔質シートの厚さの比ｄ１／ｄ２は１１．８であった。
（実施例１０～１２、比較例５，６）
両面粘着シートとして実施例９で使用したシートを用いた以外は、各々、実施例２～４及び比較例１，２と同様にして、実施例１０～１２及び比較例５，６の吸着固定用シートを得た。得られた各吸着固定用シートにおける両面粘着シートの厚さに対する多孔質シートの厚さの比ｄ１／ｄ２は、それぞれ、実施例２～４及び比較例１，２で作製した吸着固定用シートと同じであった（表１参照）。
（実施例１３）
多孔質シートとして、ＵＨＭＷＰＥ粒子の焼結シート（日東電工製、サンマップ、厚さ０．３０ｍｍ、サイズ２００ｍｍ×２００ｍｍ）を準備した。準備した多孔質シートの厚さ方向の通気度は、フラジール数で表示して、４．０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）であった。次に、準備した多孔質シートにおける一方の面の全体にアクリル系粘着剤をストライプ状に塗布することで基材レスの両面粘着層を形成して、吸着固定用シートを得た。得られた吸着固定用シートは、多孔質シートの上記一方の面に垂直な方向から見て、当該一方の面に対してストライプ状に粘着剤が配置されてなる両面粘着層を備えていた。アクリル系粘着剤の塗布には、櫛型のシム板を備えたスロットダイを使用した。ストライプを構成する各々のアクリル系粘着剤の幅は１．０ｍｍ、厚さは７μｍとし、隣り合うアクリル系粘着剤の中心線間距離であるピッチＰ２は２．３μｍとした。多孔質シートの当該一方の面の面積に占める粘着剤の面積の割合（占有率）は４３．５％であった。上述した方法により評価したアクリル系粘着剤のゲル分率は３０％であった。なお、使用したアクリル系粘着剤は、以下のように準備した。
最初に、２－エチルヘキシルアクリレート９５重量部、アクリル酸５重量部、有機過酸化物系架橋剤である過酸化ベンゾイル（ＢＰＯ）０．２重量部、及び酢酸エチル１００重量部を配合し、窒素ガスによる置換を２時間実施した。次に、窒素ガスによる置換環境下、６０℃で６時間重合を進行させて、重量平均分子量８０万のアクリル系ポリマーを得た。次に、得られたアクリル系ポリマーの固形分１００重量部に対して、三官能性イソシアネート化合物（商品名：コロネートＬ、東ソー製）及び多官能エポキシ樹脂（商品名：ＴＥＴＲＡＤ－Ｃ、三菱ガス化学製）を、それぞれ０．１４重量部及び０．００７重量部配合して、上記アクリル系粘着剤を準備した。
（実施例１４）
シム板を変更することにより、ストライプを構成する各々のアクリル系粘着剤の幅を１．１ｍｍ、厚さを２１μｍ、ピッチＰ２を２．７μｍとした以外は実施例１３と同様にして、多孔質シートの一方の面に垂直な方向から見て、当該一方の面に対してストライプ状に粘着剤が配置されてなる両面粘着層を備える吸着固定用シートを得た。多孔質シートの当該一方の面の面積に占める粘着剤の面積の割合（占有率）は４１．５％であった。
（実施例１５）
シム板を変更することにより、ストライプを構成する各々のアクリル系粘着剤の幅を１．９ｍｍ、厚さを３１μｍ、ピッチＰ２を３．１μｍとした以外は実施例１３と同様にして、多孔質シートの一方の面に垂直な方向から見て、当該一方の面に対してストライプ状に粘着剤が配置されてなる両面粘着層を備える吸着固定用シートを得た。多孔質シートの当該一方の面の面積に占める粘着剤の面積の割合（占有率）は６１．５％であった。
各実施例及び比較例で作製した吸着固定用シート（サイズ２００ｍｍ×２００ｍｍ）について、吸着プレス時に吸着対象物の表面に生じた形状変化の程度（凸部の高さ）及び厚さ方向の通気度を、以下のように評価した。
[吸着時に吸着対象物の表面に生じた形状変化の程度（凸部の高さ）]
実施例及び比較例で作製した吸着固定用シート（サイズ２００ｍｍ×２００ｍｍ）を介して、吸着対象物としてポリイミドフィルム（東レ・デュポン製、３００Ｖ、厚さ７５μｍ）を吸着させた。ポリイミドフィルムの表面は平滑であり、高さ０．３μｍ以上の凸部が存在しないことを、予め、後述の走査型白色干渉法により確認しておいた。
吸着対象物であるポリイミドフィルムを吸着させた状態で、温度８０℃で吸着プレス加工を実施した後、吸着力を解除して吸着対象物を取り出した。プレス加工の圧力は、２００ｍｍ×２００ｍｍあたり、５ｋＮ、１０ｋＮ、及び５０ｋＮで変化させた。なお、実施例で作製した吸着固定用シートについて、プレス加工による当該シートの浮き及びズレは発生しなかった。
次に、取り出した吸着対象物における吸着固定用シートに接していた面に生じた、吸着固定用シートにおける両面粘着シートの貫通孔の開口（実施例１～１２及び比較例１～６）又は両面粘着層の空間７の開口部（実施例１３～１５）に対応する位置にある凸部の最大高さを、キャノン製、三次元光学プロファイラーＺｙｇｅ ＮｅｗＶｉｅｗ８０００（対物レンズ２．５倍）を用いて、走査型白色干渉法（ＩＳＯ２５１７８に規定する垂直走査型低コヒーレンス干渉法）により評価した。評価にあたり、ポリイミドフィルムの被評価面において白色光を確実に反射させるため、当該面に白金薄膜を蒸着させた。蒸着条件は、蒸着源である白金への印加電流２０ｍＡ及び蒸着時間６０秒とした。最大高さの評価は、吸着対象物の全域（２００ｍｍ×２００ｍｍ）に存在する全ての凸部に対して実施し、各凸部において得られた最大高さの平均値を吸着対象物に生じた凸部の最大高さとした。また、評価は、プレス加工の圧力が異なる各サンプルに対して実施した。
[厚さ方向の通気度]
実施例及び比較例で作製した吸着固定用シートの厚さ方向の通気度（フラジール数）は、ＪＩＳ Ｌ１０９６：２０１０に定められた通気性測定Ａ法（フラジール形法）に準拠して測定した。また、準備した多孔質シートの厚さ方向の通気度（フラジール数）も当該方法に準拠して測定した。
作製した吸着固定用シートの構成を表１に、評価結果を表２に示す。なお、表２において、凸部の最大高さが０．５μｍ未満の場合を〇（良）、０．５μｍ以上１．０μｍ未満の場合を△（可）、１．０μｍ以上の場合を×（不可）とする。また、表２において、厚さ方向の通気度がフラジール数で表示して１．０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上の場合を◎（優）、０．３ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上１．０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）未満の場合を〇（良）、０．３ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）未満の場合を△（可）とする。吸着固定用シートの総合評価については、凸部の最大高さの評価結果に少なくとも１つの×（不可）があるものを×（不可）とし、凸部の最大高さの評価結果が全て〇（良）であり、かつ通気性の評価結果が◎（優）であるものを◎（優）とし、凸部の最大高さの評価結果が全て〇（良）であり、かつ通気性の評価結果が〇（良）であるものを〇（良）とし、凸部の最大高さの評価結果に少なくとも１つの△（可）があるが通気性の評価結果が◎（優）であるものを〇（良）とし、その他のものを△（可）とした。
Figure 0007158222000001
Figure 0007158222000002
表１，２に示すように、両面粘着シートの厚さｄ２に対する多孔質シートの厚さｄ１の比ｄ１／ｄ２が８．０以上である実施例１～１５では、当該比ｄ１／ｄ２が８．０未満である比較例１～６に比べて、吸着プレス時に吸着対象物の表面に生じた形状変化の程度を抑制できた。特に、当該比ｄ１／ｄ２が１０．０以上である実施例１～３，５～７，９～１１，１３，１４では、上記形状変化の程度をより確実に抑制できた。
本発明の吸着固定用シートは、従来の吸着固定用シートと同様の用途に使用できる。
１ 吸着固定用シート
２ 多孔質シート
３ 両面粘着シート
４ 貫通孔
３１ 基材
３２ａ，３２ｂ 粘着剤層
３３ 正方格子
３４ 正三角格子
５ 両面粘着層
６ 架橋系粘着剤
７ 空間
８ 開口部
５１ 吸着ユニット
５２ 吸着面
６１ 吸着対象物
６２ 凸部
６３ 面
６４ 通気

Claims (14)

  1. 吸着装置の吸着面への配置により吸着対象物と前記吸着面との接触を防ぐ吸着固定用シートであって、
    厚さ方向に通気性を有する多孔質シートと；
    前記多孔質シートの一方の面に配置された、基材を有し、かつ厚さ方向に通気性を有する両面粘着シート、又は、
    前記多孔質シートの一方の面に配置された、架橋された粘着剤から形成され、かつ厚さ方向に通気性を有する基材レスの両面粘着層、と；
    を備え、
    前記多孔質シートが、織布、不織布、又は樹脂粒子の焼結シートであり、
    前記両面粘着シート又は前記両面粘着層の厚さに対する前記多孔質シートの厚さの比が８．０以上であり、
    前記両面粘着シートにおける前記多孔質シート側の粘着剤層がアクリル系粘着剤から構成され、前記多孔質シート側と反対側の粘着剤層がシリコーン系粘着剤から構成される、
    吸着固定用シート。
  2. 前記両面粘着シートを備える請求項１に記載の吸着固定用シート。
  3. 前記比が１０．０以上である請求項１又は２に記載の吸着固定用シート。
  4. 前記吸着装置による前記吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、
    前記多孔質シートの前記一方の面の全体に、前記両面粘着シート又は前記両面粘着層が配置されている請求項１～３のいずれかに記載の吸着固定用シート。
  5. 前記多孔質シートが、超高分子量ポリエチレン粒子の焼結シートである請求項１～４のいずれかに記載の吸着固定用シート。
  6. 前記多孔質シートの厚さ方向の通気度が、ＪＩＳ Ｌ１０９６：２０１０に定められた通気性測定Ａ法（フラジール形法）に準拠して測定したフラジール数で表示して、１．０ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）を超える請求項１～５のいずれかに記載の吸着固定用シート。
  7. 前記両面粘着シートが、前記両面粘着シートを厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する請求項１～６のいずれかに記載の吸着固定用シート。
  8. 前記貫通孔の開口の形状が円又は楕円である請求項７に記載の吸着固定用シート。
  9. 各々の前記貫通孔の開口面積が１０ｍｍ2以下である請求項７又は８に記載の吸着固定
    用シート。
  10. 前記吸着装置による前記吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、前記両面粘着シートにおける前記貫通孔の開口率が１５．０％以上である請求項７～９のいずれかに記載の吸着固定用シート。
  11. 前記両面粘着シートの粘着剤層が架橋された粘着剤から構成される請求項１～１０のいずれかに記載の吸着固定用シート。
  12. 前記両面粘着層が、前記多孔質シートの一方の面に、互いに間隔を置いて配置された複数の前記架橋された粘着剤により構成される層である請求項１～６のいずれかに記載の吸着固定用シート。
  13. 前記多孔質シートの一方の面に垂直な方向から見て、前記複数の架橋された粘着剤が前記一方の面にストライプ状に配置されている請求項１２に記載の吸着固定用シート。
  14. 厚さ方向の通気度が、ＪＩＳ Ｌ１０９６：２０１０に定められた通気性測定Ａ法（フラジール形法）に準拠して測定したフラジール数で表示して、０．１ｃｍ3／（ｃｍ2・秒）以上である請求項１～１３のいずれかに記載の吸着固定用シート。
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