JP7158358B2

JP7158358B2 - 樹脂シート

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Publication number: JP7158358B2
Application number: JP2019185528A
Authority: JP
Inventors: 勇三村木; 府統秋葉; 王彦吉松
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 2019-10-08
Filing date: 2019-10-08
Publication date: 2022-10-21
Anticipated expiration: 2039-10-08
Also published as: CN114555682A; JP2021059683A; TW202120614A; WO2021070627A1

Description

本発明は、樹脂シートに関する。

耐熱性樹脂を主成分として含む樹脂シート（耐熱性樹脂シート）が知られている。特許文献１には、ポリテトラフルオロエチレン（以下、「ＰＴＦＥ」と記載する）のシートが開示されている。特許文献２には、ポリイミドのシートが開示されている。耐熱性樹脂シートは、高温下での使用が想定される。

特開平３－１９７１２２号公報特開平４－２８３２４６号公報

耐熱性樹脂シートは、例えば、対象物に配置して使用される。高温を経た後に、対象物に配置された状態から耐熱性樹脂シートを剥離することもある。耐熱性樹脂シートが厚さ方向の通気性を有さない場合、配置の際に対象物との間にかみ込んだ気泡が配置後にも残留したり、対象物に密着した状態からの剥離が困難となることがある。また、残留した気泡が高温により膨張して、対象物に悪影響を及ぼすこともある。耐熱性樹脂シートが厚さ方向の通気性を有する場合には、上記問題が生じにくくなる一方で、高温下での使用において収縮や変形が生じやすい。

本発明の目的は、耐熱性樹脂を主成分として含む樹脂シートであって、高温下での安定した使用が可能な樹脂シートの提供にある。

本発明は、
耐熱性樹脂を主成分として含み、
厚さ方向の通気性を有さず、
少なくとも一方の主面における面方向の通気度Ａが１ｍＬ／分以上である樹脂シート、
を提供する。
ただし、前記通気度Ａは、
外径４７ｍｍ及び内径２０ｍｍのリング状の測定領域を前記主面に設定し、
厚さ方向に通気性を有さない部材の平滑面に対して前記測定領域の全体において前記主面が接するように前記シートを６５４．５ｇｆの荷重で前記平滑面に押し付けるとともに、前記測定領域の内側を外側に比べて１５ｋＰａ減圧したときに、
前記主面と前記平滑面との間を前記測定領域の外側から内側に向けて透過する毎分あたりの通気量により表される特性である。

本発明の樹脂シートは、厚さ方向の通気性を有さない。言い換えれば、樹脂シートは、厚さ方向の通気性をもたらす細孔や貫通孔を有していない。このため、高温下での使用における収縮や変形が抑制可能である。一方、本発明の樹脂シートは、少なくとも一方の主面に面方向の通気度Ａを有している。このため、当該主面が対象物に面するように使用することで、例えば、配置による気泡のかみ込みが抑制されたり、対象物に密着した状態からの剥離性が向上する。したがって、本発明の樹脂シートは、高温下での安定した使用が可能である。

図１は、本発明の樹脂シートの一例を模式的に示す断面図である。図２は、本発明の樹脂シートの一例における主面の状態を模式的に示す平面図である。図３は、本発明の樹脂シートを使用する形態の一例を示す模式図である。図４は、本発明の樹脂シートを使用する形態の別の一例を示す模式図である。図５は、樹脂シートに対する面方向の通気度Ａの評価方法を説明するための模式図である。図６は、実施例で使用した表面加工用テンプレートを説明するための模式図である。図７は、実施例及び比較例で作製した樹脂シートの最大高さＲｚ及び面方向の通気度Ａを示すグラフである。図８は、実施例及び比較例で作製した樹脂シートの算術平均粗さＲａ及び面方向の通気度Ａを示すグラフである。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。

［樹脂シート］
本発明の樹脂シートの一例を図１に示す。図１に示す樹脂シート１は、耐熱性樹脂を主成分として含む。樹脂シート１は、単層である。樹脂シート１は、耐熱性樹脂に由来する耐熱性を有する。本明細書において「主成分」とは、含有率が最も大きい成分を意味する。主成分の含有率は、例えば５０重量％以上であり、６０重量％以上、７０重量％以上、８０重量％以上、更には９０重量％以上であってもよい。樹脂シート１は、耐熱性樹脂からなってもよい。

樹脂シート１は、厚さ方向の通気性を有さない。本明細書において「厚さ方向の通気性を有さない」とは、日本工業規格（以下、「ＪＩＳ」と記載する）Ｌ１０９６：２０１０に定められた通気性測定Ｂ法（ガーレー形法）に準拠して求めた空気透過度（ガーレー通気度）により表示して、厚さ方向の通気度が１万秒／１００ｍＬを超えることを意味する。樹脂シート１は、通常、当該シートの双方の主面２Ａ，２Ｂを接続する細孔及び／又は貫通孔を有さない。樹脂シート１は、典型的には、非多孔質の母材から構成される無孔シートである。

樹脂シート１の一方の主面２Ａにおける面方向の通気度Ａは、１ｍＬ／分以上である。通気度Ａは、２ｍＬ／分以上、５ｍＬ／分以上、９ｍＬ／分以上、１５ｍＬ／分以上、更には３０ｍＬ／分以上であってもよい。通気度Ａの上限は、例えば１００ｍＬ／分以下である。樹脂シート１の他方の主面２Ｂは、上記各範囲にある面方向の通気度Ａを有していてもいなくてもよい。本発明の樹脂シートでは、少なくとも一方の主面における面方向の通気度Ａが上記各範囲にある。

通気度Ａは、外径４７ｍｍ及び内径２０ｍｍのリング状の測定領域を当該主面に設定し、測定領域の全体において上記主面が平滑面に接するように樹脂シート１を６５４．５ｇｆの荷重で上記平滑面に押し付けるとともに、測定領域の内側を外側に比べて１５ｋＰａ減圧したときに、上記主面と平滑面との間を測定領域の外側から内側に向けて透過する毎分あたりの通気量により表される特性である。樹脂シート１を押し付ける平滑面は、例えば、ＪＩＳＢ０６０１：２００１に定められた算術平均粗さＲａ（以下、「算術平均粗さＲａ」と記載する）が０．１μｍ以下の面である。また、平滑面は、厚さ方向の通気性を有さない部材の表面であると共に、通気度Ａの評価時に変形することなく、かつ評価対象のシートと接着又は粘着しない面である。平滑面は、例えば、通気度Ａの評価時に変形しないだけの十分な厚さを有する樹脂板又は金属板の表面である。樹脂板の例は、アクリル板及びポリカーボネート板である。金属板の例は、ステンレス板である。上記荷重は、主面の表面形状を過度に変形させることなく通気度Ａを評価するのに十分な荷重である。

なお、溶融成形、キャスト成形等の一般的な成形手法により製造された樹脂シートの各主面における面方向の通気度Ａは、通常、０ｍＬ／分である。また、後述の実施例に示すように、主面の表面粗さ、例えば算術表面粗さＲａ、が大きい場合に、当該主面における面方向の通気度Ａが自動的に１ｍＬ／分以上になるわけではない。

樹脂シート１に含まれる耐熱性樹脂は、典型的には、１５０℃以上の融点を有する樹脂である。耐熱性樹脂の融点は、１６０℃以上、２００℃以上、更には３００℃以上であってもよい。耐熱性樹脂の例は、フッ素樹脂、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンサルファイドである。

耐熱性樹脂は、好ましくはフッ素樹脂である。言い換えると、樹脂シート１は、好ましくはフッ素樹脂シートである。フッ素樹脂は、一般に、高い耐熱性及び剥離性を有する。また、フッ素樹脂は、ポリイミド等の他の耐熱性樹脂に比べて柔らかい。このため、後述の表面加工による通気度Ａの付与を、より確実かつ効率的に実施できる。

フッ素樹脂の例は、ＰＴＦＥ、テトラフルオロエチレン－パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン－ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン－エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）である。フッ素樹脂は、好ましくはＰＴＦＥである。ＰＴＦＥは、耐熱性及び剥離性に特に優れている。フッ素樹脂シート１は、フッ素樹脂以外の成分を含んでいなくてもよいし、フッ素樹脂以外の成分を実質的に含まなくてもよい。本明細書において「実質的に含まない」とは、含有率が０．１重量％未満、好ましくは０．０１重量％未満であることを意味する。

１ｍＬ／分以上の通気度Ａを有する主面２Ａの表面粗さは、ＪＩＳＢ０６０１：２００１に定められた最大高さＲｚ（以下、「最大高さＲｚ」と記載する）により表示して、例えば３０μｍ以下であり、２５μｍ以下、２３μｍ以下、２０μｍ以下、１８μｍ以下、１５μｍ以下、１３μｍ以下、１０μｍ以下、９μｍ以下、更には８μｍ以下であってもよい。最大高さＲｚの下限は、例えば２μｍ以上である。他方の主面２Ｂが、上記各範囲にある最大高さＲｚを有していてもよい。

１ｍＬ／分以上の通気度Ａを有する主面２Ａの表面粗さは、算術平均粗さＲａにより表示して、例えば６μｍ以下であり、５μｍ以下、４μｍ以下、３μｍ以下、更には２μｍ以下であってもよい。算術平均粗さＲａの下限は、例えば０．３μｍ以上である。他方の主面２Ｂが、上記各範囲にある算術平均粗さＲａを有していてもよい。

主面２Ａは、１又は複数の溝により構成される溝部を有していてもよい。溝部は、樹脂シート１が平滑面に押し付けられた状態において、主面２Ａと平滑面との間を透過する空気の透過経路となりうる。溝部は、一方又は双方の端部において樹脂シート１の周に接続された少なくとも１つの溝を有していてもよい。溝部は、双方の端部が樹脂シート１の周に接続された少なくとも１つの溝を有していてもよい。この場合、より大きな通気度Ａが達成される及び／又は樹脂シート１における通気度Ａの均一性が向上する等の効果が得られる。樹脂シート１の主面の形状が多角形である場合、溝部は、多角形の１つの辺と、当該辺とは異なる１又は２以上の辺とを接続する少なくとも１つの溝を有していてもよい。溝部は、主面２Ａの全体に拡がっていてもよい。この場合、樹脂シート１における通気度Ａの均一性を向上できる。溝部を構成する各溝の幅は、例えば１０～２００μｍであり、２０～５０μｍであってもよい。溝部を構成する各溝の深さは、例えば２～３０μｍであり、１０～３０μｍであってもよい。ただし、ある１つの溝に関し、幅及び／又は深さは当該溝の全体において一定でなくてもよい。また、溝部を構成する各溝の幅及び深さは同一でなくてもよく、溝部は、幅及び／又は深さの異なる複数の溝を有していてもよい。溝部を構成する溝は、主面２Ａ上を直線状に延びていても、非直線状、例えば曲線状、に延びていてもよい。他方の主面２Ｂが上記溝部を有していてもよい。

溝部は、主面２Ａ及び／又は主面２Ｂにおいて格子状に配列した溝を有していてもよい。当該溝部を主面２Ａに有する樹脂シート１の一例を図２に示す。図２の樹脂シート１の主面２Ａは、正方格子状に配列した複数の溝３から構成される溝部４を有している。各溝３は、その双方の端部において樹脂シート１の周５に接続している。溝部４は、主面２Ａの全体に拡がっている。溝３が配列する格子は、正方格子に限定されない。溝３は、例えば、長方格子、斜方格子、六方格子、菱形格子、中心矩形格子等の各種の格子状に配列していてもよい。格子状に配列した溝３において、隣接する溝３の中心線間距離であるピッチＰ１は、例えば５０～１０００μｍであり、２００～１０００μｍであってもよい。

樹脂シート１の厚さは、例えば１０～５００μｍであり、２０～３００μｍ、３０～２００μｍ、更には５０～１００μｍであってもよい。

樹脂シート１の形状は、例えば、正方形及び長方形を含む多角形、円形、楕円形、並びに帯状である。ただし、樹脂シート１の形状は、上記例に限定されない。多角形、円形及び楕円形の樹脂シート１は枚葉としての流通が、帯状の樹脂シート１は、巻芯に巻回した巻回体（ロール）としての流通が、それぞれ可能である。帯状である樹脂シート１の幅及び帯状である樹脂シート１を巻回した巻回体の幅は、自由に設定できる。

図１の樹脂シート１は、単層である。ただし、樹脂シート１の主面２Ａ及び／又は主面２Ｂ上には、他の層が配置されていてもよい。

［樹脂シートの製造方法］
樹脂シート１は、例えば、以下の方法により製造できる。

最初に、耐熱性樹脂を主成分として含む前駆シートを準備する。前駆シートは、溶融成形及びキャスト成形といった一般的なシート成形法により作製できる。

一例として、ＰＴＦＥを主成分として含む前駆シート（ＰＴＦＥ前駆シート）の作製法を説明する。

最初に、ＰＴＦＥ粉末（モールディングパウダー）を金型に導入し、金型内の粉末に対して所定の圧力を所定の時間加えて予備成形する。予備成形は常温で実施してもよい。金型の内部空間の形状は、後述の切削旋盤による切削を可能とするために円柱状が好ましい。この場合、円柱状の予備成形品及びＰＴＦＥブロックが得られる。次に、予備成形品を金型から取り出し、ＰＴＦＥの融点（３２７℃）以上の温度で所定の時間焼成して、ＰＴＦＥブロックを得る。次に、ＰＴＦＥブロックを所定の厚さに切削して、切削シート（スカイブシート）であるＰＴＦＥ前駆シートを得る。円柱状のＰＴＦＥブロックでは、ブロックを回転させながら連続的に表面を切削する切削旋盤の利用が可能となる。このため、ＰＴＦＥ前駆シートが効率的に得られる。また、切削旋盤によれば、形成するＰＴＦＥ前駆シートの厚さの制御が比較的容易であると共に、帯状のＰＴＦＥ前駆シートを得ることもできる。

ＰＴＦＥ前駆シートは、以下の方法により作製してもよい。

最初に、ＰＴＦＥ分散液を表面に塗布する基材シートを準備する。基材シートは、例えば、樹脂、金属、紙及びこれらの複合材料から構成される。基材シートにおけるＰＴＦＥ分散液を塗布する表面には、基材シートからのＰＴＦＥシートの剥離を容易にするための剥離処理が施されていてもよい。剥離処理には公知の方法を適用できる。次に、基材シートの表面にＰＴＦＥ分散液の塗布膜を形成する。ＰＴＦＥ分散液の塗布には、公知の各種のコーターを使用できる。浸漬により、基材シートの表面にＰＴＦＥ分散液を塗布してもよい。次に、形成した塗布膜を乾燥及び焼成してＰＴＦＥシートを形成する。次に、形成したＰＴＦＥシートを基材シートから剥離して、キャストシートであるＰＴＦＥ前駆シートを得る。この方法では、基材シートに対するＰＴＦＥ分散液の塗布厚みによって、ＰＴＦＥ前駆シートの厚さを制御できる。

ＰＴＦＥ前駆シートの作製法は、上記例に限定されない。

次に、前駆シートの少なくとも一方の主面に対して通気度Ａを付与する表面加工を実施する。表面加工では、平滑面に押し付けられた状態において当該平滑面との間の空気の透過経路となりうる表面形状が、主面に与えられる。表面加工の例は、擦り（scratch）加工、レーザーの照射等によるエッチング加工、及び、特定の表面形状を押圧面に有するテンプレートを上記主面に押し当ててプレスするプレス加工である。なお、フッ素樹脂等の比較的柔らかい樹脂の前駆シートである場合は、表面加工すべき主面とは反対側の主面にテンプレートを押し当ててプレスしてもよい。ただし、表面加工の方法は、上記例に限定されない。

擦り加工は、例えば、擦り部材によって上記主面を擦ることで実施できる。擦り部材の例は、やすり、紙やすり、砥石、スチールウール及びこれらの部材から構成された擦り面を有するシート、ディスク、ベルト等である。ただし、擦り部材は上記例に限定されない。

エッチング加工は、例えば、レーザー等のエネルギー線の照射、レジスト等のマスキングを利用した化学エッチングにより実施できる。ただし、エッチング加工の方法は上記例に限定されない。

プレス加工に使用するテンプレートは、例えば、金属、樹脂、ガラス及びこれらの複合材料により構成される。テンプレートとして、上述した擦り部材を利用することも可能である。なお、格子状に配列した溝３を有する溝部４を主面に有する樹脂シート１の形成には、当該溝部に対して補完的な表面形状、例えば、線状に延びる凸部が格子状に配列した表面形状、を押圧面に有するテンプレートを使用できる。

［樹脂シートの使用］
樹脂シート１の使用態様の一例を図３に示す。図３では、樹脂シート１は、フィルム１２と積層された状態で巻回体（ロール）１１に巻回されている。樹脂シート１は、フィルム１２の保護シートとして使用されている。通気度Ａにより、例えば、樹脂シート１をフィルム１２に積層する際及び／又はフィルム１２と共に巻回する際の気泡のかみ込みが抑制される。また、巻回体１１からの繰り出し及び／又は繰り出した後の樹脂シート１の剥離をより安定して実施できる。

フィルム１２は、例えば、金属又は樹脂から構成される。なお、樹脂のフィルム１２では、フィルムへの成形後にアウトガスが発生することがある。アウトガスは、例えば、ポリカーボネート、ポリスチレン及びアクリル樹脂のフィルム１２において発生しやすい。巻回後に発生したアウトガスは、隣接するフィルム１２間に残留して、フィルム１２の変形や凹み等の原因となりうる。樹脂シート１をフィルム１２と積層して巻回することで、巻回後に発生したアウトガスをより確実に外部に放出できる。また、巻回体１１を加熱してアウトガスを予め外部に放出させる脱ガス処理の実施を視野に入れることもできる。

樹脂シート１の使用態様の別の一例を図４に示す。図４では、樹脂シート１は、粘着テープ１６と積層された状態で巻回体（ロール）１３に巻回されている。粘着テープ１６は、基材フィルム１４及び粘着層１５の積層体である。樹脂シート１は、粘着層１５と接している。樹脂シート１における粘着層１５に接する面は、例えば、通気度Ａを有する主面２Ａである。樹脂シート１は、粘着テープ１６のセパレータとして使用されている。通気度Ａにより、例えば、樹脂シート１を粘着テープ１６に積層する際の気泡のかみ込みが抑制される。また、巻回体１３から繰り出した後の樹脂シート１の剥離をより安定して実施できる。

粘着テープ１６は、通常、巻回体１３への巻回後にエージング処理される。エージング処理により、粘着層１５の粘着性が安定する。その際、粘着層１５からアウトガスが発生することがある。アウトガスは、隣接する粘着テープ１６間に残留して、粘着層１５の変形や凹み等の原因となりうる。樹脂シート１を粘着テープ１６と積層して巻回することで、エージング処理時に発生したアウトガスをより確実に外部に放出できる。

樹脂シート１の用途及び使用方法は、上記例に限定されない。例えば、高温に晒される各種の用途に樹脂シート１を使用してもよい。また、ステージやテーブル上に配置して樹脂シート１を使用してもよい。

実施例により本発明を更に詳細に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。

最初に、実施例及び比較例の樹脂シートに対する特性の評価方法を示す。

［厚さ方向の通気度］
樹脂シートの厚さ方向の通気度（ガーレー通気度）は、ＪＩＳＬ１０９６：２０１０に定められた通気性測定Ｂ法（ガーレー形法）に準拠して求めた。

［面方向の通気度Ａ］
樹脂シートの主面（評価面）における通気度Ａは、測定冶具を使用して、以下のように求めた。通気度Ａの評価方法について、図５を参照しながら説明する。

測定冶具として、外径４７ｍｍ及び内径２０ｍｍのリング状のアクリル樹脂板５２（厚さ２．０ｍｍ）、直径４７ｍｍの円板状のシリコーンゴムシート５３（厚さ２．０ｍｍ及び重量４．５ｇ）、並びに直径４７ｍｍの円柱状の重り５４（ステンレス製、重量６５０ｇ）を準備した。また、樹脂シートを直径４７ｍｍの円形に切り出し、これを試験片５１とした。アクリル樹脂板５２における試験片５１と接する面（平滑面）の算術平均粗さＲａは０．０３μｍであった。アクリル樹脂板５２は、厚さ方向の通気性を有していなかった。

次に、互いの外周が一致するように、試験片５１、シリコーンゴムシート５３及び重り５４をこの順にアクリル樹脂板５２の上に配置した。試験片５１は、評価面がアクリル樹脂板５２に接するように配置した。シリコーンゴムシート５３は、重り５４及びゴムシート５３自身による荷重を試験片５１に対してできるだけ均等に加えるために配置した。次に、アクリル樹脂板５２の中央に位置する貫通孔５６の開口５５（試験片５１側とは反対側の面の開口５５）に、ポンプに接続された吸引管を接続した。吸引管における開口５５との接続部には圧力計が、吸引管におけるポンプと開口５５との間には流量計が、それぞれ配置された。次に、ポンプを作動させて、貫通孔５６内の圧力を外部の圧力（大気圧）に比べて１５ｋＰａ低い減圧状態に保持する減圧試験を実施した。そして、試験時に吸引管を流れる毎分あたりの空気の流量を流量計により測定して得た値を、樹脂シートの評価面における通気度Ａとした。なお、試験は常温（２５℃）で実施した。また、減圧試験を開始した後、吸引管を流れる空気の流量が安定した後の測定値を、面方向の通気度Ａとした。

［表面粗さ（Ｒｚ及びＲａ）］
樹脂シートの評価面の表面粗さ（最大高さＲｚ及び算術平均粗さＲａ）は、ＪＩＳＢ０６０１：２００１の規定に準拠した測定が可能である表面性状測定装置（東京精密製、ＳＵＲＦＣＯＭ１４００Ｄ）により評価した。

（比較例１）
ＰＴＦＥ粉末（ダイキン工業製、ポリフロンＰＴＦＥＭ－１２）を円筒状の金型に導入し、温度２３℃、圧力６０ＭＰａ及び圧力印加時間１時間の条件で予備成形した。次に、形成された予備成形品を金型から取り出し、３７５℃で３時間焼成して、高さ３００ｍｍ、外径２００ｍｍの円柱状であるＰＴＦＥブロックを得た。次に、得られたＰＴＦＥブロックを切削旋盤により切削して厚さ５０μｍのＰＴＦＥシートを作製し、これを比較例１の樹脂シートとした。

（実施例１～３）
線状に延びる凸部６１が正方格子状に配列した表面形状を有するステンレスシートをテンプレートとして準備した。テンプレートは、押圧面６２の全体に上記表面形状を有していた（図６参照）。凸部６１の幅は、０．０２～０．０３ｍｍとした。隣り合う凸部６１の中心線間距離であるピッチＰ２は、０．２６ｍｍとした。押圧面６２からの凸部６１の高さは、０．１０ｍｍとした。各々の凸部６１の延びる方向は、テンプレートの一辺と４５度で交差する方向とした。次に、比較例１で作製した樹脂シートの一方の主面に上記テンプレートを配置し、上記一方の主面に対してテンプレートを押圧するプレス加工を２５℃で実施した。テンプレートは、プレス面に垂直な方向から見てシートの全体を覆うように配置した。また、テンプレートは、押圧面６２が上記一方の主面に接するように、かつ各々の凸部６１の延びる方向が樹脂シートの一辺と４５度で交差するように配置した。テンプレートを押圧する圧力（プレス圧力）は、１１．２ＭＰａ（実施例１）、３３．４ＭＰａ（実施例２）及び５５．６ＭＰａ（実施例３）とした。プレス加工時におけるテンプレートの配置面を、作製した樹脂シートの評価面とした。

（実施例４，５及び比較例２）
凸部６１の幅を０．０１～０．０２ｍｍに、ピッチＰ２を０．１３ｍｍに、押圧面６２からの凸部６１の高さを０．０４ｍｍに変更した以外は、実施例１～３と同様にして、比較例２、実施例４及び実施例５（それぞれ、プレス圧力１１．２ＭＰａ、３３．４ＭＰａ及び５５．６ＭＰａ）の樹脂シートを得た。プレス加工時におけるテンプレートの配置面を、作製した樹脂シートの評価面とした。

樹脂シートの評価結果を、以下の表１に示す。

実施例１～５及び比較例１，２の各評価面について、最大高さＲｚを横軸に、通気度Ａを縦軸にとったグラフを図７に示す。また、実施例１～５及び比較例１，２の各評価面について、算術平均粗さＲａを横軸に、通気度Ａを縦軸にとったグラフを図８に示す。図７，８に示すように、樹脂シートの評価面における通気度Ａは、当該面の最大高さＲｚ及び算術平均粗さＲａから自動的に決定される特性ではないことが確認された。

本発明の樹脂シートは、例えば、高温に晒される各種の用途に使用できる。

１樹脂シート
２Ａ，２Ｂ主面
３溝
４溝部
５周

Claims

対象物に配置した状態で加熱された後、前記対象物から剥離される剥離性樹脂シートであって、
フッ素樹脂である耐熱性樹脂を主成分として含み、
厚さ方向の通気性を有さず、
少なくとも一方の主面における面方向の通気度Ａが１ｍＬ／分以上であり、
前記少なくとも一方の主面が、１又は複数の溝により構成される溝部を有し、
前記溝部は、一方又は双方の端部において前記樹脂シートの周に接続された少なくとも１つの前記溝を有すると共に、前記主面において格子状に配列した前記溝を有し、
前記格子状に配列した前記溝において、隣接する前記溝の中心線間距離が２６０μｍ以下である剥離性樹脂シート。
ただし、前記通気度Ａは、
外径４７ｍｍ及び内径２０ｍｍのリング状の測定領域を前記主面に設定し、
厚さ方向に通気性を有さない部材の平滑面に対して前記測定領域の全体において前記主面が接するように前記シートを６５４．５ｇｆの荷重で前記平滑面に押し付けるとともに、前記測定領域の内側を外側に比べて１５ｋＰａ減圧したときに、
前記主面と前記平滑面との間を前記測定領域の外側から内側に向けて透過する毎分あたりの通気量により表される特性である。
前記フッ素樹脂がポリテトラフルオロエチレンである請求項１に記載の剥離性樹脂シート。
前記主面の表面粗さが、ＪＩＳＢ０６０１：２００１に定められた算術平均粗さＲａにより表示して、１０μｍ以下である請求項１に記載の剥離性樹脂シート。