JP2014151410A - 保護シート - Google Patents
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Abstract
【解決手段】保護シート17,21は、定盤を保護するためのフィルム23と、このフィルム23の一方の面に形成された粘着剤層25と、を備え、フィルム23の他方の面には、当該他方の面上にパッド7,19を貼り付けた際に当該他方の面とパッド7,19との間に気泡が形成されるのを防止するためのエア抜き溝29が形成されている。
【選択図】図2
Description
3 被研磨物
5 研磨定盤
7 研磨パッド
13 保持定盤
17,21 保護シート
19 保持パッド
23 フィルム
25 粘着剤層
29 エア抜き溝
Claims (3)
- CMP装置の定盤を保護するための保護シートであって、
前記定盤を保護するためのフィルムと、
このフィルムの一方の面に形成された粘着剤層と、を備え、
前記フィルムの他方の面には、当該他方の面上にパッドを貼り付けた際に当該他方の面と前記パッドとの間に気泡が形成されるのを防止するためのエア抜き溝が形成されている、保護シート。 - 前記エア抜き溝を複数本有しており、複数のエア抜き溝は、連子パターンで前記フィルム上に形成されている、請求項1に記載の保護シート。
- 前記エア抜き溝を複数本有しており、複数のエア抜き溝は、格子パターンで前記フィルム上に形成されている、請求項1に記載の保護シート。
Priority Applications (1)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3083140A4 (en) * | 2013-12-20 | 2017-09-06 | 3M Innovative Properties Company | Polishing cushion, polishing apparatus, polishing method, and article including object polished by the polishing method |
WO2018225658A1 (ja) * | 2017-06-06 | 2018-12-13 | 丸石産業株式会社 | 吸着層を備える研磨パッドを使用する研磨方法 |
JP2021059683A (ja) * | 2019-10-08 | 2021-04-15 | 日東電工株式会社 | 樹脂シート |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10315121A (ja) * | 1997-05-13 | 1998-12-02 | Toshiba Mach Co Ltd | 平面研磨装置 |
US20020002027A1 (en) * | 2000-05-23 | 2002-01-03 | Eppert Stanley E. | Eliminating air pockets under a polishing pad |
JP2010201588A (ja) * | 2009-03-05 | 2010-09-16 | Fujibo Holdings Inc | 研磨加工方法 |
-
2013
- 2013-02-12 JP JP2013024521A patent/JP2014151410A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10315121A (ja) * | 1997-05-13 | 1998-12-02 | Toshiba Mach Co Ltd | 平面研磨装置 |
US20020002027A1 (en) * | 2000-05-23 | 2002-01-03 | Eppert Stanley E. | Eliminating air pockets under a polishing pad |
JP2010201588A (ja) * | 2009-03-05 | 2010-09-16 | Fujibo Holdings Inc | 研磨加工方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3083140A4 (en) * | 2013-12-20 | 2017-09-06 | 3M Innovative Properties Company | Polishing cushion, polishing apparatus, polishing method, and article including object polished by the polishing method |
WO2018225658A1 (ja) * | 2017-06-06 | 2018-12-13 | 丸石産業株式会社 | 吸着層を備える研磨パッドを使用する研磨方法 |
JP2021059683A (ja) * | 2019-10-08 | 2021-04-15 | 日東電工株式会社 | 樹脂シート |
WO2021070627A1 (ja) * | 2019-10-08 | 2021-04-15 | 日東電工株式会社 | 樹脂シート |
JP7158358B2 (ja) | 2019-10-08 | 2022-10-21 | 日東電工株式会社 | 樹脂シート |
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