JP2016512926A5 - - Google Patents

Claims (23)

1. 研磨面と、研磨物を貫通して形成された開口とを有する研磨物であって、前記開口が、前記研磨面に隣接する第１の区域、および前記第１の区域に隣接する第２の区域を含み、前記研磨物が、前記第１の区域が前記第２の区域と異なる横寸法を有するように前記開口の中に内向きに延びる突起を含み、前記突起が、前記研磨面と実質的に平行な第１の面を有し、前記研磨物が、前記研磨面から遠い第１の面の側に下方部分を含む、研磨物と、
   前記開口の前記第１の区域に配置された第１の部分、および前記開口の前記第２の区域の中に延びる第２の部分を有する窓であって、前記研磨面と実質的に平行な第２の面を有する窓と、
   前記突起の前記第１の面を前記窓の前記第２の面に接着して前記窓を前記突起に固定する第１の接着剤と、
   前記第１の接着剤とは異なる材料組成の第２の接着剤であって、前記窓の前記第２の部分と前記研磨物の前記下方部分との間に横方向に配置される第２の接着剤と
   を備える、化学機械研磨装置用の研磨パッド。
2. 前記開口の前記第１の区域が前記開口の前記第２の区域よりも広く、前記突起が前記開口の前記第２の区域に横方向で隣接している、請求項１に記載の研磨パッド。
3. 前記第１の面が前記突起の上面であり、前記第２の面が前記窓の下面である、請求項２に記載の研磨パッド。
4. 前記開口の前記第１の区域が、前記開口の前記第２の区域よりも狭く、前記突起が前記開口の前記第１の区域に横方向で隣接している、請求項１に記載の研磨パッド。
5. 前記第１の面が前記突起の下面であり、前記第２の面が前記窓の上面である、請求項４に記載の研磨パッド。
6. 前記研磨物が、研磨面を有する研磨層と、前記下方部分になるバッキング層とを備える、請求項１に記載の研磨パッド。
7. 前記バッキング層が、前記研磨層よりも柔らかい、請求項６に記載の研磨パッド。
8. 前記第２の接着剤が、前記第１の接着剤よりも大きい粘着力を前記窓に対し有する、請求項１に記載の研磨パッド。
9. 前記第１の接着剤が感圧性接着剤を含む、請求項１に記載の研磨パッド。
10. 前記第１の接着剤が両面接着テープを含む、請求項９に記載の研磨パッド。
11. 前記第２の接着剤がＵＶ硬化性接着剤を含む、請求項９に記載の研磨パッド。
12. 前記第２の接着剤が、前記第１の接着剤と前記窓の前記第２の区域との間に横方向に配置される、請求項１に記載の研磨パッド。
13. 前記窓の前記第２の区域に形成された凹部を備える、請求項１に記載の研磨パッド。
14. 前記窓の上面が、前記研磨面と実質的に共平面である、請求項１に記載の研磨パッド。
15. 研磨パッド内に窓を形成する方法であって、
    研磨物が開口の中に内向きに延びる突起を含むように、ならびに前記開口の第１の区域が前記開口の前記第２の区域と異なる横寸法を有するように、前記研磨物の中に前記開口を形成するステップであって、前記突起が、前記研磨物の研磨面と実質的に平行な第１の面を有し、前記研磨物が、前記研磨面から遠い前記第１の面の側に下方部分を含む、ステップと、
    前記開口の中に窓を、前記研磨物の前記第１の面を前記窓の第２の面に接着する第１の接着剤を用いて固定するステップと、
    前記窓と前記研磨物の前記下方部分との間の空隙に液体前駆体を投入するステップと、 前記液体前駆体を硬化させて、前記第１の接着剤と異なる組成の第２の接着剤を形成するステップと
    を含む方法。
16. 前記第１の面が前記突起の上面であり、前記第２の面が前記窓の下面である、請求項１５に記載の方法。
17. 前記第１の面が前記突起の下面であり、前記第２の面が前記窓の上面である、請求項１５に記載の方法。
18. 前記液体前駆体を硬化させるステップが紫外線（ＵＶ）光を照射するステップを含む、請求項１５に記載の方法。
19. 前記窓を固定するステップが、前記第１の面または前記第２の面の少なくとも一方に感圧性接着剤を付けるステップと、前記第１の面を前記第２の面に押し付けるステップとを含む、請求項１８に記載の方法。
20. 前記感圧性接着剤を付けるステップが、両面接着テープを付けるステップを含む、請求項１９に記載の方法。
21. 前記開口を形成するステップが、前記研磨物を切り抜くステップまたは型成形するステップの少なくとも１つを含む、請求項１５に記載の方法。
22. 前記開口を形成するステップが、前記開口の前記第１の区域を研磨層内に形成するステップと、前記開口の前記第２の区域をバッキング層内に形成するステップとを含む、請求項１５に記載の方法。
23. 前記液体前駆体を硬化させることにより、前記窓に対する粘着力が前記第１の接着剤よりも大きい前記第２の接着剤を形成する、請求項１５に記載の方法。