JP2013525124A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 研磨パッドを作製する方法であって、
   研磨層に、前記研磨層の全体ではなく一部のみを貫いて延びる第１の横方向の寸法を有する凹みを形成するために、前記研磨層の表面を押圧し且つ加熱するステップと、
   前記研磨層および接着層を貫通する孔を形成するステップであって、前記孔が、前記凹み内に配置されていて、前記凹みの第１の横方向の寸法より小さい第２の横方向の寸法を有し、前記凹みと孔との組み合わせによって前記研磨層および接着層を貫く開孔が提供されるステップと、
   前記孔に広がるように前記研磨層の表面の反対側でシールフィルムを前記接着層に固着するステップと、
   液体ポリマーを前記開孔の中に分配するステップと、
   前記液体ポリマーを硬化して窓を形成するステップと
   を含む方法。
2. 前記凹みを形成する前に前記接着層をライナで覆い、前記ライナを剥がし戻して前記接着層に前記シールフィルムを固着し、前記液体ポリマーが硬化した後に前記ライナで前記接着層を再度覆うステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
3. 前記表面の上に突き出ている硬化ポリマーの一部分を除去するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
4. 前記研磨層は単一の層から成る、請求項１に記載の方法。
5. 前記研磨層の表面を押圧し且つ加熱するステップは前記研磨層を加熱金属片で押し付けるステップを含む、請求項１に記載の方法。
6. 前記孔を形成するステップは、前記研磨層の前記研磨表面側から前記研磨層および前記接着層に貫通孔を開けるステップを含む、請求項１に記載の方法。
7. 前記窓は、前記凹みにある上部と前記孔にある下部とを含み、前記上部は前記窓の全側面上で前記下部を越えて横方向に突き出ている、請求項１に記載の方法。
8. 前記上部の横方向の寸法は前記下部の横方向の寸法の２倍〜４倍大きい、請求項７に記載の方法。
9. 前記研磨パッドの全体の厚さは１ｍｍ未満である、請求項１に記載の方法。
10. 前記下部が前記上部の中心に配置される、請求項７に記載の方法。
11. 前記窓は円形であり、前記上部と下部とは同心である、請求項１０に記載の方法。
12. 前記上部の直径は約６ｍｍであり、前記下部の直径は約３ｍｍである、請求項１１に記載の方法。
13. 前記研磨層の表面内に溝を形成するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。