JP5749421B2 - 研磨パッド - Google Patents
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Description
主にシリコンウェハ等を研磨する際に用いられる両面研磨機1の上側定盤2には、研磨時に使用する研磨用スラリーや、研磨終了後の被研磨物脱離のために、液体及び/または気体を供給するための貫通孔14が設けられている。従って、上記両面研磨機1に用いられる上側定盤用研磨パッド4においても、対向する位置に上記貫通孔14に相当する大きさの開口部11を設ける必要がある。
本発明の実施形態に係る傾斜部幅Wは、研磨時の荷重や角度θによって適宜選択されるが、一般的な研磨条件においては、研磨パッド本体120の厚みに対し、その50〜100%であることが好ましい。図2(a)に示すように、研磨パッド本体120の厚みに対し傾斜部幅Wが100%である場合、本発明の効果は最大となる。角度θを小さくした場合においては、開口部110の内壁研磨面側端160付近の研磨パッド本体120の強度が低下し、かかる部分から破壊する場合がある。
以下に、実際に製作した研磨パッドを用いた実施例により、より詳細に説明する。
開口部の研磨面側に傾斜部を施さない以外は、実施例1と同様の研磨パッドを用意した。
研磨機:Poli500(G&Pテクノロジー社製)
スラリー:NP6220(ニッタ・ハース株式会社製)
下側定盤回転数:115rpm
上側定盤回転数:100rpm
荷重:300gf/cm2
スラリー流量:300ml/min.
研磨時間:30min.
研磨パッド直径:200mm
研磨パッド厚み:1.54mm
傾斜部幅:1.00mm
開口部数:10
剥離した開口部数 = 実施例 0 : 比較例 9
剥離しなかった開口部数 = 実施例 10 : 比較例 1
40 上側定盤用研磨パッド
60 ウェハキャリア
10 スラリー通過孔
110 開口部
120 研磨パッド本体
130 粘着層
140 貫通孔
150 研磨面
160 開口部内壁研磨面側端
170 傾斜部
θ 角度
W 傾斜部幅
Claims (4)
- 両面研磨機の少なくとも一方の定盤に設けられる研磨パッドであって、
液体及び/または気体を供給する一方の定盤に設けられる複数の開口部と対向する位置の前記研磨パッドに、前記定盤に設けられる複数の開口部に相当する大きさであり、前記定盤に設けられる複数の開口部それぞれと連通する複数の開口部を設け、
前記研磨パッドの研磨面と前記開口部の内面とにより構成される角部に傾斜部を設けたことを特徴とする研磨パッド。 - 両面研磨機の少なくとも一方の定盤に設けられる研磨パッドであって、
液体及び/または気体を供給する一方の定盤に設けられる複数の開口部と対向する位置の前記研磨パッドに、前記定盤に設けられる複数の開口部に相当する大きさであり、前記定盤に設けられる複数の開口部それぞれと連通する複数の開口部を設け、
前記研磨パッドの研磨面と前記開口部の内面により構成される角部に一定角度を有する傾斜部を設けたことを特徴とする研磨パッド。 - 前記傾斜部の角度が、10°〜85°であることを特徴とする請求項1または2に記載の研磨パッド。
- 前記傾斜部の幅が0.1mm〜3mmであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の研磨パッド。
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