JP2006165323A - Cmp加工用研磨布、cmp装置並びに半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ウェハ研磨またはドレス工程による研磨層の厚さ変化をモニタすることのできるCMP加工用研磨布、CMP装置並びに半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 CMP加工用研磨布(以下、研磨布)10は、CMP装置の研磨盤T1に貼り付けられ回転するものである。研磨布10は、粘着層11、クッション層12、粘着層13、研磨層14が順次に積層された構成となっている。研磨布10は、最上層の研磨層14において、スラリー保持のための第1パターン141に加え、研磨層厚みモニタ用の第2パターン142が形成されている。第1パターン141は、研磨層14の厚さが変わっても同等の平面形状を保つ溝または穴のパターンを有する。第2パターン142は、研磨層14の厚さの減少に応じて平面形状が小さくなる溝または穴のテーパーパターンを有する。
【選択図】 図1
【解決手段】 CMP加工用研磨布(以下、研磨布)10は、CMP装置の研磨盤T1に貼り付けられ回転するものである。研磨布10は、粘着層11、クッション層12、粘着層13、研磨層14が順次に積層された構成となっている。研磨布10は、最上層の研磨層14において、スラリー保持のための第1パターン141に加え、研磨層厚みモニタ用の第2パターン142が形成されている。第1パターン141は、研磨層14の厚さが変わっても同等の平面形状を保つ溝または穴のパターンを有する。第2パターン142は、研磨層14の厚さの減少に応じて平面形状が小さくなる溝または穴のテーパーパターンを有する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体装置製造に係り、特にCMP(chemical mechanical polishing:化学的機械的研磨)加工に必要なCMP加工用研磨布、これを用いたCMP装置並びに半導体装置の製造方法に関する。
CMPは、超LSIデバイスの各配線層等の形成に欠かせない技術となっている。CMP技術は、半導体ウェハ上の各層の平坦化によってリソグラフィ精度を格段に向上させ、より微細なパターンの形成を可能にする。CMPは、今や露光技術、トランジスタの設計、配線設計までも影響を及ぼす技術となっている。
CMPプロセスでは、一般に発泡ポリウレタン製のCMP加工用研磨布(研磨パッドともいう)を研磨盤に貼り付け回転させ、スラリー(研磨剤入り溶媒)を供給しつつ半導体ウェハの加工面を適当な圧力で押し付ける。研磨布は、スラリー保持のため、最上層の研磨層略全域に同一の形状、深さの溝あるいは穴が形成されている。半導体ウェハの加工面は、凸部でより大きな圧力がかかって研磨が促進され、平坦化されていく。
通常、研磨布は、定期的に電着ダイヤモンド砥石などでドレスし、研磨布の表面(研磨層)を初期の表面状態に近付ける(ドレッシングまたはコンディショニングともいう)。研磨布のドレスによって、加工対象のウェハ面内研磨条件の均一化、ウェハ研磨能率の維持を図る。
研磨布は、ウェハ研磨加工処理を続けていくと、研磨層が減って過剰に平滑化され、スラリーを保持する機能(スラリー溜り)が減少してしまう。これにより、スラリーがパッド内に均一に広がらなくなる。この結果、ウェハ面内研磨条件が著しく変動する、ウェハ研磨能率が極端に低下するといった問題が起こる。通常、研磨布は、上記問題が起こる前に、新しい研磨布と交換される。
従来、研磨能率を増加させる目的で研磨布に溝を設け、しかも、溝密度に工夫を施し、研磨ウェハの平坦度を改善しようとする技術が開示されている(例えば、特許文献1参照)。具体的には、研磨布の中心から遠ざかるほど溝密度を増加させる。これにより、ウェハまたはウェハ保持治具が安定して自転することにより、研磨ウェハの平坦度を改善する効果が得られる。
特開平11−285963号公報(4頁,5頁、図1)
CMP加工用研磨布は、ドレス工程が嵩む度に最上層の研磨層が減っていく。研磨布は、研磨盤への貼り付け後、交換のために剥がすまで研磨層の厚み管理ができないのが現状である。このため、研磨布の寿命、交換周期は、十分なマージンを加味し設定する必要がった。これにより、未だ研磨層が厚く使用可能な研磨布を交換し、コスト増大を招く。あるいは、既に研磨層が薄くなっている研磨布を使用し続け、加工不良のウェハが現出される危険性があった。
本発明は上記のような事情を考慮してなされたもので、ウェハ研磨またはドレス工程による研磨層の厚さ変化をモニタすることのできるCMP加工用研磨布、CMP装置並びに半導体装置の製造方法を提供しようとするものである。
本発明に係るCMP加工用研磨布は、半導体ウェハにおける被平坦化処理層を化学的機械的研磨により平坦化するCMP加工用研磨布に関し、最上層の研磨層に設けられた少なくともスラリー保持のための第1パターンと、前記研磨層の一部領域に設けられた少なくとも前記研磨層の厚さに応じて平面形状が変化するモニタ用の第2パターンと、を含む。
本発明に係るCMP加工用研磨布は、半導体ウェハにおける被平坦化処理層を化学的機械的研磨により平坦化するCMP加工用研磨布に関し、研磨盤に貼り付ける第1の粘着層と、前記第1の粘着層上に設けられたクッション層と、前記クッション層上に設けられた第2の粘着層と、前記第2の粘着層上に設けられた研磨層と、前記研磨層に設けられた少なくともスラリー保持のための第1パターンと、前記研磨層の一部領域に設けられた少なくとも前記研磨層の厚さに応じて平面形状が変化するモニタ用の第2パターンと、を含む。
上記それぞれ本発明に係るCMP加工用研磨布によれば、モニタ用の第2パターンは、研磨層の厚さに応じて平面形状が変化するようになっている。これにより、研磨層の減り具合がモニタでき、研磨布の使用可能な状態、研磨布の最適な交換時期を把握することができる。これにより、研磨能率の維持及び研磨布の浪費防止に寄与する。
なお、上記それぞれ本発明に係るCMP加工用研磨布において、研磨布の使用可能な状態、研磨布の最適な交換時期を把握するため、より好ましくは次のような特徴を有する。
前記第1パターンは、前記研磨層の厚さが変わっても同等の平面形状を保つ溝または穴のパターンを有し、前記第2パターンは、前記研磨層の厚さの減少に応じて平面形状が小さくなる溝または穴のテーパーパターンを有することを特徴とする。
前記第1パターンは、前記研磨層の厚さが変わっても同等の平面形状を保つ溝または穴のパターンを有し、前記第2パターンは、前記研磨層の厚さの減少に応じて平面形状が小さくなる溝または穴のテーパーパターンを有することを特徴とする。
また、本発明に係るCMP加工用研磨布は、半導体ウェハにおける被平坦化処理層を化学的機械的研磨により平坦化するCMP加工用研磨布に関し、最上層の研磨層に設けられた少なくともスラリー保持のための第1パターンと、前記研磨層の一部領域に設けられた少なくとも前記研磨層の厚さが所定のレベルになると平面形状が変化するモニタ用の第2パターンと、を含む。
本発明に係るCMP加工用研磨布は、半導体ウェハにおける被平坦化処理層を化学的機械的研磨により平坦化するCMP加工用研磨布に関し、研磨盤に貼り付ける第1の粘着層と、前記第1の粘着層上に設けられたクッション層と、前記クッション層上に設けられた第2の粘着層と、前記第2の粘着層上に設けられた研磨層と、前記研磨層に設けられた少なくともスラリー保持のための第1パターンと、前記研磨層の一部領域に設けられた少なくとも前記研磨層の厚さが所定のレベルになると平面形状が変化するモニタ用の第2パターンと、を含む。
上記それぞれ本発明に係るCMP加工用研磨布によれば、モニタ用の第2パターンは、研磨層の厚さが所定のレベルになるとその平面形状が変化するようになっている。これにより、研磨層が所定のレベルに減った状態をモニタすることができ、研磨布の使用可能な状態、研磨布の最適な交換時期を把握することができる。これにより、研磨能率の維持及び研磨布の浪費防止に寄与する。
なお、上記それぞれ本発明に係るCMP加工用研磨布において、研磨布の使用可能な状態、研磨布の最適な交換時期を把握するため、より好ましくは次のような特徴を有する。
前記第1パターンは、前記研磨層の厚さ方向に第1の深さをもって形成される溝または穴のパターンを有し、前記第2パターンは、前記研磨層の厚さ方向に前記第1の深さのレベルより小さい第2の深さをもって形成される溝または穴のパターンを有する。
あるいは、前記第1パターンは、前記研磨層の厚さ方向に第1の深さをもって形成される溝または穴のパターンを有し、前記第2パターンは、前記研磨層の厚さ方向に前記第1の深さのレベルより小さい数種類の段階的な深さをもって形成される溝または穴のパターンを有する。
前記第1パターンは、前記研磨層の厚さ方向に第1の深さをもって形成される溝または穴のパターンを有し、前記第2パターンは、前記研磨層の厚さ方向に前記第1の深さのレベルより小さい第2の深さをもって形成される溝または穴のパターンを有する。
あるいは、前記第1パターンは、前記研磨層の厚さ方向に第1の深さをもって形成される溝または穴のパターンを有し、前記第2パターンは、前記研磨層の厚さ方向に前記第1の深さのレベルより小さい数種類の段階的な深さをもって形成される溝または穴のパターンを有する。
さらに、以上前述した本発明に係るCMP加工用研磨布それぞれにおいて、前記第2パターンは、少なくとも前記研磨層のドレス領域に含まれ、前記第1パターン外側最外周近傍に設けられていることを特徴とする。これにより、研磨布(研磨層)のモニタがし易い。
本発明に係るCMP装置は、半導体ウェハにおける被平坦化処理層を化学的機械的研磨により平坦化するCMP装置に関し、研磨布が配された研磨盤と、前記半導体ウェハを保持しそのウェハ表面を研磨布に接触させるウェハキャリアと、前記研磨布の表面状態をドレスするドレッサと、前記研磨布にスラリーが供給され前記ウェハキャリアの制御によって前記半導体ウェハが研磨されている間、前記ドレッサにより前記研磨布のドレスが実施されている間、研磨もドレスも実施されていない間のいずれかの段階で前記研磨盤上における前記研磨布の厚みを把握する測定機構と、を含む。
上記本発明に係るCMP装置によれば、測定機構によって研磨盤上における研磨布の厚みを把握しておく。これにより、装置稼動状態でも、研磨布の使用可能な状態、研磨布の最適な交換時期の管理が期待できる。これにより、研磨能率の維持及び研磨布の浪費防止に寄与する。
本発明に係るCMP装置は、半導体ウェハにおける被平坦化処理層を化学的機械的研磨により平坦化するCMP装置に関し、研磨布が配された研磨盤と、前記半導体ウェハを保持しそのウェハ表面を研磨布に接触させるウェハキャリアと、前記研磨布の表面状態をドレスするドレッサと、前記研磨布にスラリーが供給され前記ウェハキャリアの制御によって前記半導体ウェハが研磨されている間、前記ドレッサにより前記研磨布のドレスが実施されている間、研磨もドレスも実施されていない間のいずれかの段階で前記研磨盤上における前記研磨布の厚みを把握する測定機構と、を含み、前記研磨布における最上層の研磨層に、前記測定機構でモニタ用として使われる前記研磨層の厚さに応じて平面形状が変わる溝または穴のパターンを有することを特徴とする。
上記本発明に係るCMP装置によれば、研磨層に、研磨層の厚さに応じて平面形状が変わる溝または穴のパターンが配され、そのパターンが測定機構によってモニタされる。これにより、研磨盤上に貼り付けられた研磨布の厚みが把握できる。装置稼動状態でも、研磨布の使用可能な状態、研磨布の最適な交換時期の管理が期待できる。これにより、研磨能率の維持及び研磨布の浪費防止に寄与する。
本発明に係るCMP装置は、半導体ウェハにおける被平坦化処理層を化学的機械的研磨により平坦化するCMP装置に関し、研磨布が配された研磨盤と、前記半導体ウェハを保持しそのウェハ表面を研磨布に接触させるウェハキャリアと、前記研磨布の表面状態をドレスするドレッサと、前記研磨布にスラリーが供給され前記ウェハキャリアの制御によって前記半導体ウェハが研磨されている間、前記ドレッサにより前記研磨布のドレスが実施されている間、研磨もドレスも実施されていない間のいずれかの段階で前記研磨盤上における前記研磨布の厚みを把握する測定機構と、を含み、前記研磨布における最上層の研磨層に、前記測定機構でモニタ用として使われる前記研磨層の厚さが所定レベルになると平面形状が変わる溝または穴のターンを有することを特徴とする。
上記本発明に係るCMP装置によれば、研磨層に、研磨層の厚さが所定レベルになると平面形状が変わる溝または穴のターンが配され、そのパターンが測定機構によってモニタされる。これにより、研磨盤上に貼り付けられた研磨布の厚みが把握できる。装置稼動状態でも、研磨布の使用可能な状態、研磨布の最適な交換時期の管理が期待できる。これにより、研磨能率の維持及び研磨布の浪費防止に寄与する。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体ウェハにおける被平坦化処理層が研磨盤で回転する研磨布により化学的かつ機械的に研磨され平坦化されるCMP工程と、前記CMP工程を改善するための前記研磨布のドレス工程と、を含み、少なくとも前記CMP工程中、前記ドレス工程中、前記CMP工程後、前記ドレス工程後のいずれかの段階で前記研磨盤上における前記研磨布の厚みを把握し、前記研磨布の交換時期を最適化することを特徴とする。
上記本発明に係る半導体装置の製造方法によれば、半導体ウェハの被平坦化処理層は、研磨布の厚みが把握されつつ平坦化される。研磨能率の維持及び研磨布の浪費防止に役立ち、研磨布の使用可能な状態、研磨布の最適な交換時期の管理ができる。これにより、歩留り向上、製造コスト改善が期待できる。
図1は、本発明の第1実施形態に係るCMP加工用研磨布の要部構成を示す断面図である。また、図11〜図14は、それぞれ研磨布の表面パターンの代表例を示す平面図である。
CMP加工用研磨布(以下、研磨布)10は、CMP装置の研磨盤T1に貼り付けられ回転するものである。研磨布10に、図示しない半導体ウェハにおける被平坦化処理層が回転しながら押し付けられ、化学的機械的研磨により平坦化される。研磨布10は、粘着層11、クッション層12、粘着層13、研磨層14が順次に積層された構成となっている。粘着層11は研磨盤T1に貼り付けられ、研磨層14は最上層となっている。
CMP加工用研磨布(以下、研磨布)10は、CMP装置の研磨盤T1に貼り付けられ回転するものである。研磨布10に、図示しない半導体ウェハにおける被平坦化処理層が回転しながら押し付けられ、化学的機械的研磨により平坦化される。研磨布10は、粘着層11、クッション層12、粘着層13、研磨層14が順次に積層された構成となっている。粘着層11は研磨盤T1に貼り付けられ、研磨層14は最上層となっている。
研磨層14は、スラリー保持のための第1パターン141が形成されている。この第1パターン141は、溝または穴のパターンを有し、研磨やドレスで研磨層14の厚さが変わっても同等の平面形状を保つような形態である。パターンは様々考えられ限定されないが、図11〜図14のような構成、またはそれらの混載が代表的である。もちろん、溝または穴の密度が異なる形態を採用してもよい。
さらに、研磨層14は、研磨層厚みモニタ用の第2パターン142が形成されている。この第2パターン142は、少なくとも研磨層14の厚さに応じて平面形状が変化する溝または穴のパターンを有する。第2パターン142は、CMPプロセスに影響しない程度に設けることが重要である。例えば、第2パターン142は、研磨層14中、5%以下の領域を占有する。
この第1実施形態では、第2パターン142は、研磨層14の厚さの減少に応じて平面形状が小さくなる溝または穴のテーパーパターンを有する。第2パターン142は、少なくとも研磨層14がドレスされる領域内に配されている必要がある。第2パターン142は、半導体ウェハが押し付けられ研磨される領域内に配されていることも考えられる。第2パターン142は、検出のし易さの観点から、第1パターン141外側最外周近傍に設けられる形態が考えられる。
上記第1実施形態の構成によれば、モニタ用の第2パターン142は、研磨層14の厚さに応じて平面形状が変化するようになっている。より具体的には、研磨層14の厚さの減少に応じて平面形状が小さくなる。これにより、研磨層14の減り具合がモニタでき、研磨布10の使用可能な状態、研磨布10の最適な交換時期を把握することができる。これにより、研磨能率を安定させ、また、研磨布10の早すぎる交換等、研磨布の浪費防止に寄与する。
図2は、本発明の第2実施形態に係るCMP装置の要部構成を示すブロック構成図である。CMP装置20は、前記第1実施形態で示した研磨布10を配備してCMP(化学的機械的研磨)工程を達成する。前記第1実施形態と同様の箇所には同一の符号を付して説明する。
CMP装置20は、研磨盤T1、ウェハキャリア21、ドレッサ22、測定機構23を有する。研磨盤T1は、研磨布10が貼り付けられ回転する。ウェハキャリア21は、半導体ウェハWafを保持し、回転しながらその被平坦化処理層を研磨布10に接触させる。ウェハWafは、スラリー(図示せず)が供給される研磨布10に、適当な圧力で化学的かつ機械的に研磨され平坦化される。ドレッサ22は、研磨布10の表面状態をドレスし、初期状態に近付ける。測定機構23は、CCDカメラ等の光学系231、演算処理部232、表示部233を有する。
CMP装置20は、研磨盤T1、ウェハキャリア21、ドレッサ22、測定機構23を有する。研磨盤T1は、研磨布10が貼り付けられ回転する。ウェハキャリア21は、半導体ウェハWafを保持し、回転しながらその被平坦化処理層を研磨布10に接触させる。ウェハWafは、スラリー(図示せず)が供給される研磨布10に、適当な圧力で化学的かつ機械的に研磨され平坦化される。ドレッサ22は、研磨布10の表面状態をドレスし、初期状態に近付ける。測定機構23は、CCDカメラ等の光学系231、演算処理部232、表示部233を有する。
測定機構23は、光学系231によって研磨層14に設けられた第2パターン142を捉え、演算処理部232にて研磨層14の厚みを算出する。そして、表示部233は、研磨布10が使用可能な状態であること、あるいは研磨布10の交換の最適なタイミングが確認、報知できるように、ディスプレイまたは警報発報等の機能が備わっている。
測定機構23は、研磨布10にスラリーが供給されウェハキャリア21の制御によってウェハWafが研磨されている間、ドレッサ22により研磨布10のドレスが実施されている間、研磨もドレスも実施されていない間のいずれかの段階で研磨盤T1上に貼り付けられた研磨布10の厚みを把握することができる。
図3は、CMP装置20で利用される研磨布10の要部構成を示す断面図である。スラリー保持用の第1パターン141及び研磨層厚みモニタ用の第2パターン142が表されている。ここでは、第1パターン141及び第2パターン142は穴パターンの形態とする。第2パターン142は、テーパーパターンとなっている。テーパーパターンに関する角度αは、60°以下が好ましいが、研磨層14の厚みと第1パターン141の穴径による。
第2パターン142は、初期状態では第1パターン141と同等の穴径φDiniを有する。第1パターン141は、研磨やドレスにより研磨層14の厚さが減少しても初期状態と同等の穴径(φDini)を保つ。これに対して第2パターン142は、研磨層14の厚さの減少に応じて穴径が小さくなり、変化する穴径をφDafとする。研磨層14の初期の厚さをt0とすると、使用経過に伴う研磨層14の残りの厚みtは、次式で表せる。
t=t0−(φDini−φDaf)/2/tanα …(1)
t=t0−(φDini−φDaf)/2/tanα …(1)
測定機構23は、研磨またはドレスを伴い回転している研磨布10、あるいは研磨後またはドレス後の洗浄等で回転している研磨布10に対し、光学系231によって所定タイミングで数箇所の第2パターン142を捉える。光学系231で得られた画像データは、演算処理部232にて上記(1)式に基づいた研磨層14の残りの厚みtを、平均値で算出する。この厚みtを、研磨層14の寿命(使用不可)の厚みや、寿命警告(あとウェハ1枚または数枚の処理で使用不可)の厚みに設定する。これにより、表示部233にて研磨布10の交換の最適なタイミングが確認できるようになる。
図4は、CMP装置20によるCMP工程を利用した、半導体ウェハの処理枚数に対する研磨布10の使用経過に伴う研磨層14の残りの厚みtを示す特性図である。上記(1)式に基づいた研磨層14の残りの厚みtに2つの所定値を定める。これにより、研磨布10の交換を促す交換寿命警告(警報)や、ウェハ研磨処理禁止ポイントを把握する。このようなグラフを表示部233にて表示してもよい。
上記第2実施形態による構成によれば、CMP装置20は、研磨布10及び測定機構23を装備して研磨布10の厚みを把握する。すなわち、研磨層14において、主にウェハの均一な研磨に寄与する第1パターン141の他に、研磨層14の厚さの減少に応じて平面形状が変わる第2パターン142が配されている。測定機構23は、第2パターン142をモニタすることにより、研磨盤T1上に貼り付けられた状態の研磨層14の厚み、ひいては研磨布10の厚みが把握できる。なお、第2パターン142は、穴パターンとして説明したが、溝パターンでも同様であり、研磨盤T1上に貼り付けられた状態の研磨層14の厚み、ひいては研磨布10の厚みが把握できる。これにより、CMP装置稼動状態でも、研磨布10の使用可能な状態、研磨布10の最適な交換時期の管理が期待できる。これにより、研磨能率の維持及び研磨布の浪費防止に寄与する。
また、上記第2実施形態によるCMP装置20を利用して、半導体ウェハをCMP処理する。これにより、少なくともCMP工程中、ドレス工程中、CMP工程後、ドレス工程後のいずれかの段階で研磨盤T1上における研磨布10の厚みを把握する。また、研磨布10の交換時期を最適化する。このようなCMP工程は、半導体装置の製造方法として、次のような効果が得られる。半導体ウェハの被平坦化処理層は、研磨布の厚みが把握されつつ平坦化される。研磨能率の維持及び研磨布の浪費防止に役立ち、研磨布の使用可能な状態、研磨布の最適な交換時期の管理ができる。これにより、歩留り向上、製造コスト改善が期待できる。
図5は、本発明の第3実施形態に係るCMP加工用研磨布の要部構成を示す断面図である。
CMP加工用研磨布(以下、研磨布)30は、CMP装置の研磨盤T2に貼り付けられ回転するものである。研磨布30に、図示しない半導体ウェハにおける被平坦化処理層が回転しながら押し付けられ、化学的機械的研磨により平坦化される。研磨布30は、粘着層31、クッション層32、粘着層33、研磨層34が順次に積層された構成となっている。粘着層31は研磨盤T2に貼り付けられ、研磨層34は最上層となっている。
CMP加工用研磨布(以下、研磨布)30は、CMP装置の研磨盤T2に貼り付けられ回転するものである。研磨布30に、図示しない半導体ウェハにおける被平坦化処理層が回転しながら押し付けられ、化学的機械的研磨により平坦化される。研磨布30は、粘着層31、クッション層32、粘着層33、研磨層34が順次に積層された構成となっている。粘着層31は研磨盤T2に貼り付けられ、研磨層34は最上層となっている。
研磨層34は、スラリー保持のための第1パターン341が形成されている。この第1パターン341は、溝または穴のパターンを有し、研磨やドレスで研磨層34の厚さが変わっても同等の平面形状を保つような形態である。パターンは様々考えられ限定されないが、図11〜図14のような構成、またはそれらの混載が代表的である。もちろん、溝または穴の密度が異なる形態を採用してもよい。
さらに、研磨層34は、研磨層厚みモニタ用の第2パターン342が形成されている。この第2パターン342は、少なくとも研磨層34の厚さが所定のレベルになるとその平面形状が変化する溝または穴のパターンを有する。第2パターン342は、CMPプロセスに影響しない程度に設けることが重要である。例えば、第2パターン342は、研磨層34中、5%以下の領域を占有する。
この第3実施形態では、第1パターン341が研磨層34の厚さ方向に第1の深さD1をもって形成されている。これに対し、第2パターン342は、研磨層34の厚さ方向に、第1の深さD1のレベルより小さい第2の深さD2をもって形成される溝または穴のパターンを有する。従って、第2パターン342は、研磨層34において深さD2より深い領域ではパターンが無くなる。第2パターン342は、少なくとも研磨層34がドレスされる領域内に配されている必要がある。第2パターン342は、半導体ウェハが押し付けられ研磨される領域内に配されていることも考えられる。第2パターン342は、検出のし易さの観点から、第1パターン341外側最外周近傍に設けられる形態が考えられる。
上記第3実施形態の構成によれば、モニタ用の第2パターン342は、研磨層34の厚さが所定のレベルになるとその平面形状が変化する。より具体的には、研磨層34の厚さが所定のレベルになると第2パターン342は消える。これにより、研磨層34が所定レベルに減った状態をモニタすることができ、研磨布30の使用可能な状態、研磨布30の最適な交換時期を把握することができる。これにより、研磨能率の安定させ、また、研磨布30の早すぎる交換等、研磨布の浪費防止に寄与する。
図6は、本発明の第4施形態に係るCMP装置の要部構成を示すブロック構成図である。CMP装置40は、前記第3実施形態で示した研磨布30を配備してCMP(化学的機械的研磨)工程を達成する。前記第3実施形態と同様の箇所には同一の符号を付して説明する。
CMP装置40は、研磨盤T2、ウェハキャリア41、ドレッサ42、測定機構43を有する。研磨盤T2は、研磨布30が貼り付けられ回転する。ウェハキャリア41は、半導体ウェハWafを保持し、回転しながらその被平坦化処理層を研磨布30に接触させる。ウェハWafは、スラリー(図示せず)が供給される研磨布30に、適当な圧力で化学的かつ機械的に研磨され平坦化される。ドレッサ42は、研磨布30の表面状態をドレスし、初期状態に近付ける。測定機構43は、CCDカメラ等の光学系431、演算処理部432、表示部433を有する。
CMP装置40は、研磨盤T2、ウェハキャリア41、ドレッサ42、測定機構43を有する。研磨盤T2は、研磨布30が貼り付けられ回転する。ウェハキャリア41は、半導体ウェハWafを保持し、回転しながらその被平坦化処理層を研磨布30に接触させる。ウェハWafは、スラリー(図示せず)が供給される研磨布30に、適当な圧力で化学的かつ機械的に研磨され平坦化される。ドレッサ42は、研磨布30の表面状態をドレスし、初期状態に近付ける。測定機構43は、CCDカメラ等の光学系431、演算処理部432、表示部433を有する。
測定機構43は、光学系431によって研磨層34に設けられた第2パターン342を捉え、演算処理部432にて研磨層34の厚みを算出する。そして、表示部433は、研磨布30が使用可能な状態であること、あるいは研磨布30の交換の最適なタイミングが確認、報知できるように、ディスプレイまたは警報発報等の機能が備わっている。
測定機構43は、研磨布30にスラリーが供給されウェハキャリア41の制御によってウェハWafが研磨されている間、ドレッサ42により研磨布30のドレスが実施されている間、研磨もドレスも実施されていない間のいずれかの段階で研磨盤T2上に貼り付けられた研磨布30の厚みを把握することができる。
図7は、CMP装置40で利用される研磨布30の要部構成を示す断面図である。スラリー保持用の第1パターン341及び研磨層厚みモニタ用の第2パターン342が表されている。ここでは、第1パターン341及び第2パターン342は穴パターンの形態とする。第2パターン342は、深さは異なるが、平面形状は第1パターン341と同じになっている。
第2パターン342は、研磨層34の厚さがt0の初期状態から所定レベルの深さD2まで第1パターン341と同等の穴径φDiniを有する。つまり、深さD1を有する第1パターン341は、研磨やドレスにより研磨層34の厚さが所定レベルの深さD2まで減少しても初期状態と同等の穴径(φDini)を保つ。これに対して第2パターン342は、研磨層34の厚さが減少し、所定レベルの深さD2に達すると無くなる。
測定機構43は、研磨またはドレスを伴い回転している研磨布30、あるいは研磨後またはドレス後の洗浄等で回転している研磨布30に対し、光学系431によって所定タイミングで数箇所の第2パターン342を捉える。光学系431で得られた画像データは、演算処理部432にて、第2パターン342の平面形状の変化、つまり、パターンの有無を検出する。この第2パターン342の無くなる深さD2のポイントを、研磨層34の寿命(使用不可)の厚みや、寿命警告(あとウェハ1枚または数枚の処理で使用不可)の厚みに設定する。これにより、表示部433にて研磨布30の交換の最適なタイミングが確認できるようになる。
上記第4実施形態による構成によれば、CMP装置40は、研磨布30及び測定機構43を装備して研磨布30の厚みを把握する。すなわち、研磨層34において、主にウェハの均一な研磨に寄与する第1パターン341の他に、研磨層34の厚さの減少が所定レベルに達すると平面形状が変わる(パターンが消える)第2パターン342が配されている。測定機構43は、第2パターン342をモニタすることにより、研磨盤T2上に貼り付けられた状態の研磨層34の厚み、ひいては研磨布30の厚みが把握できる。なお、第2パターン342は、穴パターンとして説明したが、溝パターンでも同様であり、研磨盤T2上に貼り付けられた状態の研磨層34の厚み、ひいては研磨布30の厚みが把握できる。これにより、CMP装置稼動状態でも、研磨布30の使用可能な状態、研磨布30の最適な交換時期の管理が期待できる。これにより、研磨能率の維持及び研磨布の浪費防止に寄与する。
また、上記第4実施形態によるCMP装置40を利用して、半導体ウェハをCMP処理する。これにより、少なくともCMP工程中、ドレス工程中、CMP工程後、ドレス工程後のいずれかの段階で研磨盤T2上における研磨布30の厚みを把握する。また、研磨布30の交換時期を最適化する。このようなCMP工程は、半導体装置の製造方法として、次のような効果が得られる。半導体ウェハの被平坦化処理層は、研磨布の厚みが把握されつつ平坦化される。研磨能率の維持及び研磨布の浪費防止に役立ち、研磨布の使用可能な状態、研磨布の最適な交換時期の管理ができる。これにより、歩留り向上、製造コスト改善が期待できる。
図8は、本発明の第5実施形態に係るCMP加工用研磨布の要部構成を示す断面図であり、前記第3実施形態の応用例を示しており、図5と同様の箇所には同一の符号を付して説明する。
前記第3実施形態に比べて、研磨層厚みモニタ用の第2パターン342の種類を複数設けている。ここでは、第2パターン342a,342bとし、研磨層34の厚さ方向に、第1の深さD1のレベルより小さい第2の深さをD2a,D2bと段階的に設けている。その他の構成は第3実施形態と同様である。
前記第3実施形態に比べて、研磨層厚みモニタ用の第2パターン342の種類を複数設けている。ここでは、第2パターン342a,342bとし、研磨層34の厚さ方向に、第1の深さD1のレベルより小さい第2の深さをD2a,D2bと段階的に設けている。その他の構成は第3実施形態と同様である。
上記第5実施形態の構成によれば、モニタ用の第2パターン342a,342bは、研磨層34の残りの厚さレベルによって、パターン342aは消え、パターン342bは存在する、パターン342aも342bも消えるといった状態をモニタすることができる。、研磨布30の使用可能な状態、研磨布30の最適な交換時期を把握することができる。このように、数種類の段階的な深さをもってモニタ用の第2パターンを設けた研磨布30をCMP装置40に採用すれば、研磨層34の寿命(使用不可)の厚みはもとより、寿命警告(あとウェハ1枚または数枚の処理で使用不可)の厚みを把握するなど、より詳細なモニタが容易となる。これにより、研磨布30の交換の最適なタイミングが確認できるようになる。
図9は、本発明の第6実施形態に係るCMP加工用研磨布の要部構成を示す断面図である。
CMP加工用研磨布(以下、研磨布)60は、CMP装置の研磨盤T3に貼り付けられ回転するものである。研磨布60は、前記第1の実施形態、第3の実施形態における研磨層14、34の構成を混載させた研磨層64を有した形態となっている。モニタ用の第2パターン642は、スラリー保持用の第1パターン641より深さが小さい所定レベルの深さD3を有する。さらに、側壁は傾斜して研磨層64の厚みの減少に応じて平面形状が変わり、D3に到達するまで研磨層64の減り具合が把握できるようになっている。その他の構成は同様であるので、前記図1と同一の符号を付し、説明は省略する。研磨布60は、第1の実施形態及び第3の実施形態で説明した機能を併せ持つことができる。
CMP加工用研磨布(以下、研磨布)60は、CMP装置の研磨盤T3に貼り付けられ回転するものである。研磨布60は、前記第1の実施形態、第3の実施形態における研磨層14、34の構成を混載させた研磨層64を有した形態となっている。モニタ用の第2パターン642は、スラリー保持用の第1パターン641より深さが小さい所定レベルの深さD3を有する。さらに、側壁は傾斜して研磨層64の厚みの減少に応じて平面形状が変わり、D3に到達するまで研磨層64の減り具合が把握できるようになっている。その他の構成は同様であるので、前記図1と同一の符号を付し、説明は省略する。研磨布60は、第1の実施形態及び第3の実施形態で説明した機能を併せ持つことができる。
研磨布60を配備したCMP装置は図示しないが、前記第2の実施形態、第4の実施形態における測定機構23、43と同様の機能を発揮して、研磨盤T3上に貼り付けられた状態の研磨層64の厚み、ひいては研磨布60の厚みが把握できる。これにより、CMP装置稼動状態でも、研磨布60の使用可能な状態、研磨布60の最適な交換時期の管理が期待できる。これにより、研磨能率の維持及び研磨布の浪費防止に寄与する。
図10は、本発明の第7実施形態に係るCMP加工用研磨布の要部構成を示す断面図である。
CMP加工用研磨布(以下、研磨布)70は、CMP装置の研磨盤T4に貼り付けられ回転するものである。研磨布70は、前記第1の実施形態、第3の実施形態における研磨層14、34の構成を混載させた研磨層74を有した形態となっている。モニタ用の第2パターン742は、スラリー保持用の第1パターン741より深さが小さい所定レベルの深さD4を有する。さらに、側壁は傾斜して研磨層74の厚みの減少に応じて平面形状が変わり、D4に到達するまで研磨層74の減り具合が把握できるようになっている。その他の構成は同様であるので、前記その他の構成は図1と同一の符号を付し、説明は省略する。研磨布70は、第1の実施形態及び第3の実施形態で説明した機能を併せ持つことができる。
CMP加工用研磨布(以下、研磨布)70は、CMP装置の研磨盤T4に貼り付けられ回転するものである。研磨布70は、前記第1の実施形態、第3の実施形態における研磨層14、34の構成を混載させた研磨層74を有した形態となっている。モニタ用の第2パターン742は、スラリー保持用の第1パターン741より深さが小さい所定レベルの深さD4を有する。さらに、側壁は傾斜して研磨層74の厚みの減少に応じて平面形状が変わり、D4に到達するまで研磨層74の減り具合が把握できるようになっている。その他の構成は同様であるので、前記その他の構成は図1と同一の符号を付し、説明は省略する。研磨布70は、第1の実施形態及び第3の実施形態で説明した機能を併せ持つことができる。
研磨布70を配備したCMP装置は図示しないが、前記第2の実施形態、第4の実施形態における測定機構23、43と同様の機能を発揮して、研磨盤T4に貼り付けられた状態の研磨層74の厚み、ひいては研磨布70の厚みが把握できる。これにより、CMP装置稼動状態でも、研磨布70の使用可能な状態、研磨布70の最適な交換時期の管理が期待できる。これにより、研磨能率の維持及び研磨布の浪費防止に寄与する。
以上説明したように本発明によれば、研磨布最上層の研磨層にスラリー保持用の第1パターンに加え、要所に研磨層厚みモニタ用の第2パターンが配されている。これにより、研磨層の所定の厚みがモニタでき、研磨布の使用可能な状態、研磨布の最適な交換時期を把握することができ、無駄を無くすることができる。また、CMP装置に第2パターンをモニタする測定機構を設ける。これにより、磨盤上における研磨布の厚みを把握しておくことができる。装置稼動状態でも、研磨布の使用可能な状態、研磨布の最適な交換時期の管理が期待できる。これにより、研磨能率の維持及び研磨布の浪費防止に寄与する。この結果、ウェハ研磨またはドレス工程による研磨層の厚さ変化をモニタすることのできるCMP加工用研磨布、CMP装置並びに半導体装置の製造方法を提供することができる。
10,30,60,70…CMP加工用研磨布、11,13,31,33…粘着層、12,32…クッション層,14,34,64,74…研磨層、141,341…第1パターン(スラリー保持用パターン)、142,342…第2パターン(研磨層厚みモニタ用のパターン)、20,40…CMP装置、21,41…ウェハキャリア、22,42…ドレッサ、23,43…測定機構、231,431…光学系、232,432…演算処理部、233,433…表示部、Waf…半導体ウェハ、T1,T2,T3,T4…研磨盤。
Claims (12)
- 半導体ウェハにおける被平坦化処理層を化学的機械的研磨により平坦化するCMP加工用研磨布に関し、
最上層の研磨層に設けられた少なくともスラリー保持のための第1パターンと、
前記研磨層の一部領域に設けられた少なくとも前記研磨層の厚さに応じて平面形状が変化するモニタ用の第2パターンと、
を含むCMP加工用研磨布。 - 半導体ウェハにおける被平坦化処理層を化学的機械的研磨により平坦化するCMP加工用研磨布に関し、
研磨盤に貼り付ける第1の粘着層と、
前記第1の粘着層上に設けられたクッション層と、
前記クッション層上に設けられた第2の粘着層と、
前記第2の粘着層上に設けられた研磨層と、
前記研磨層に設けられた少なくともスラリー保持のための第1パターンと、
前記研磨層の一部領域に設けられた少なくとも前記研磨層の厚さに応じて平面形状が変化するモニタ用の第2パターンと、
を含むCMP加工用研磨布。 - 前記第1パターンは、前記研磨層の厚さが変わっても同等の平面形状を保つ溝または穴のパターンを有し、前記第2パターンは、前記研磨層の厚さの減少に応じて平面形状が小さくなる溝または穴のテーパーパターンを有する請求項1または2記載のCMP加工用研磨布。
- 半導体ウェハにおける被平坦化処理層を化学的機械的研磨により平坦化するCMP加工用研磨布に関し、
最上層の研磨層に設けられた少なくともスラリー保持のための第1パターンと、
前記研磨層の一部領域に設けられた少なくとも前記研磨層の厚さが所定のレベルになると平面形状が変化するモニタ用の第2パターンと、
を含むCMP加工用研磨布。 - 半導体ウェハにおける被平坦化処理層を化学的機械的研磨により平坦化するCMP加工用研磨布に関し、
研磨盤に貼り付ける第1の粘着層と、
前記第1の粘着層上に設けられたクッション層と、
前記クッション層上に設けられた第2の粘着層と、
前記第2の粘着層上に設けられた研磨層と、
前記研磨層に設けられた少なくともスラリー保持のための第1パターンと、
前記研磨層の一部領域に設けられた少なくとも前記研磨層の厚さが所定のレベルになると平面形状が変化するモニタ用の第2パターンと、
を含むCMP加工用研磨布。 - 前記第1パターンは、前記研磨層の厚さ方向に第1の深さをもって形成される溝または穴のパターンを有し、前記第2パターンは、前記研磨層の厚さ方向に前記第1の深さのレベルより小さい第2の深さをもって形成される溝または穴のパターンを有する請求項5記載のCMP加工用研磨布。
- 前記第1パターンは、前記研磨層の厚さ方向に第1の深さをもって形成される溝または穴のパターンを有し、前記第2パターンは、前記研磨層の厚さ方向に前記第1の深さのレベルより小さい数種類の段階的な深さをもって形成される溝または穴のパターンを有する請求項5記載のCMP加工用研磨布。
- 前記第2パターンは、少なくとも前記研磨層のドレス領域に含まれ、前記第1パターン外側最外周近傍に設けられている請求項1〜7いずれか一つに記載のCMP加工用研磨布。
- 半導体ウェハにおける被平坦化処理層を化学的機械的研磨により平坦化するCMP装置に関し、
研磨布が配された研磨盤と、
前記半導体ウェハを保持しそのウェハ表面を研磨布に接触させるウェハキャリアと、
前記研磨布の表面状態をドレスするドレッサと、
前記研磨布にスラリーが供給され前記ウェハキャリアの制御によって前記半導体ウェハが研磨されている間、前記ドレッサにより前記研磨布のドレスが実施されている間、研磨もドレスも実施されていない間のいずれかの段階で前記研磨盤上における前記研磨布の厚みを把握する測定機構と、
を含むCMP装置。 - 半導体ウェハにおける被平坦化処理層を化学的機械的研磨により平坦化するCMP装置に関し、
研磨布が配された研磨盤と、
前記半導体ウェハを保持しそのウェハ表面を研磨布に接触させるウェハキャリアと、
前記研磨布の表面状態をドレスするドレッサと、
前記研磨布にスラリーが供給され前記ウェハキャリアの制御によって前記半導体ウェハが研磨されている間、前記ドレッサにより前記研磨布のドレスが実施されている間、研磨もドレスも実施されていない間のいずれかの段階で前記研磨盤上における前記研磨布の厚みを把握する測定機構と、を含み、
前記研磨布における最上層の研磨層に、前記測定機構でモニタ用として使われる前記研磨層の厚さに応じて平面形状が変わる溝または穴のパターンを有することを特徴とするCMP装置。 - 半導体ウェハにおける被平坦化処理層を化学的機械的研磨により平坦化するCMP装置に関し、
研磨布が配された研磨盤と、
前記半導体ウェハを保持しそのウェハ表面を研磨布に接触させるウェハキャリアと、
前記研磨布の表面状態をドレスするドレッサと、
前記研磨布にスラリーが供給され前記ウェハキャリアの制御によって前記半導体ウェハが研磨されている間、前記ドレッサにより前記研磨布のドレスが実施されている間、研磨もドレスも実施されていない間のいずれかの段階で前記研磨盤上における前記研磨布の厚みを把握する測定機構と、を含み、
前記研磨布における最上層の研磨層に、前記測定機構でモニタ用として使われる前記研磨層の厚さが所定レベルになると平面形状が変わる溝または穴のターンを有することを特徴とするCMP装置。 - 半導体ウェハにおける被平坦化処理層が研磨盤で回転する研磨布により化学的かつ機械的に研磨され平坦化されるCMP工程と、
前記CMP工程を改善するための前記研磨布のドレス工程と、を含み、
少なくとも前記CMP工程中、前記ドレス工程中、前記CMP工程後、前記ドレス工程後のいずれかの段階で前記研磨盤上における前記研磨布の厚みを把握し、前記研磨布の交換時期を最適化することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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2004
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