JP6330735B2 - ウェーハの両面研磨方法 - Google Patents
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Description
前記研磨布として、ショアA硬度が85以上95以下の発泡ポリウレタンパッドを用い、
少なくとも1回以上の前記両面研磨工程を行った後の前記研磨布を、#50から#100のダイヤモンド砥粒が備えられたドレスプレートを用いて、ドライ環境下で研削して薄膜化する研磨布薄膜化工程を行ってから、再び前記立ち上げ工程及び前記両面研磨工程を行うことを特徴とするウェーハの両面研磨方法を提供する。
前記研磨布の厚みが50μm以上減少するように研削して薄膜化することが好ましい。
上述したように、現状ではインサート材が摩耗し、ウェーハの外周部のエッジ形状が悪化してしまったら、インサート材を新しいものに取り替えることで対応しているため、インサート材を長時間使用しにくく、寿命が短いという問題があった。
図2に示すように、両面研磨装置1は、上定盤2、下定盤3、ウェーハWを保持するためのキャリア4を備えている。上定盤2と下定盤3は上下に相対向して設けられており、各定盤2、3には、それぞれ研磨布5が貼付されている。
まず、両面研磨装置1の上下定盤2、3に貼付された研磨布5のドレッシングを行う。立ち上げ工程におけるドレッシングは、研磨布5の表面状態のリフレッシュが目的である。より具体的には、研磨能力を安定かつ向上させるために、研磨布5の表面を毛羽立てるような目立てを行うことが目的である。
インサート材7を介して保持孔6にウェーハWを保持したキャリア4を研磨布5が貼付された上下定盤2、3の間に挟み込む。そして、キャリア4を自転及び公転させて、ノズル10からスラリー11を供給しつつウェーハWの両面を同時に研磨する。両面研磨工程は少なくとも1回以上行う。
両面研磨工程後の、ウェーハWの外周部の平坦度の測定を行う工程を行うことができる。
このようにすれば、両面研磨後のウェーハの平坦度を、規格の範囲内としつつ、インサート材の寿命を延ばすことができる。
このように、測定するウェーハの外周部の平坦度の指標として、具体的には、ESFQRmaxを用いることができる。
少なくとも1回以上の両面研磨工程(SP2)を行った後の研磨布5を、#50から#100のダイヤモンド砥粒が備えられたドレスプレートを用いて、ドライ環境下で研削して薄膜化する。このようなドレスプレート及びドライ環境下で研磨布5を研削することにより、効率よく研磨布5の薄膜化を行うことができる。なお、#100より大きい番手のドレスプレートだと、研削速度が低下し研磨布5を薄膜にするのに時間がかかりすぎる。また、#50より小さい番手だと、研磨布5の表面が荒れすぎてウェーハの表面粗さが悪化してしまう。
このように、研磨布薄膜化工程における目的は、研磨布5の厚みの調節を行うことにある。
図2に示すような、両面研磨装置1として、不二越機械工業株式会社製のDSP−20Bを用いて、本発明のウェーハの両面研磨方法を実施した。上下定盤2、3に貼付する研磨布5は、ショアA硬度91の発泡ポリウレタンパッドを用いた。
実施例と同様の装置を用いて、図6に示す従来法による工程図に従って、ウェーハの両面研磨を実施した。まず、実施例と同様にして立ち上げ工程(SP101)、両面研磨工程(SP102)、測定工程(SP103)を行った。そして、測定工程(SP103)で算出されたESFQRmaxが管理値を最初に超えるまで、上記の立ち上げ工程及び両面研磨工程を繰り返し実施した(SP104)。ESFQRmaxの管理値は、実施例と同様に、規格上限の0.9倍と設定した。
6…保持孔、 7…インサート材、 8…サンギヤ、 9…インターナルギヤ、
10…ノズル、 11…スラリー、 12…矩形領域、 W…ウェーハ。
Claims (4)
- 両面研磨装置の上下定盤に貼付された研磨布のドレッシングを行う立ち上げ工程と、インサート材を介して保持孔にウェーハを保持したキャリアを前記研磨布が貼付された上下定盤の間に挟み込み、前記キャリアを自転及び公転させて、前記ウェーハの両面を同時に研磨する両面研磨工程とを含むウェーハの両面研磨方法であって、
前記研磨布として、ショアA硬度が85以上95以下の発泡ポリウレタンパッドを用い、
少なくとも1回以上の前記両面研磨工程を行った後の前記研磨布を、#50から#100のダイヤモンド砥粒が備えられたドレスプレートを用いて、ドライ環境下で研削して薄膜化する研磨布薄膜化工程を行ってから、再び前記立ち上げ工程及び前記両面研磨工程を行うことを特徴とするウェーハの両面研磨方法。 - 前記研磨布薄膜化工程において、
前記研磨布の厚みが50μm以上減少するように研削して薄膜化することを特徴とする請求項1に記載のウェーハの両面研磨方法。 - 前記両面研磨工程後の前記ウェーハの外周部の平坦度を測定する測定工程を行い、該測定された平坦度が管理値を超えたときに、前記研磨布薄膜化工程を行うことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のウェーハの両面研磨方法。
- 前記測定工程において測定するウェーハの外周部の平坦度を、ESFQRmaxとすることを特徴とする請求項3に記載のウェーハの両面研磨方法。
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