WO2020054635A1 - 吸着固定用シート - Google Patents

Abstract

本開示は、吸着装置の吸着面への配置により吸着対象物と吸着面との接触を防ぐ吸着固定用シートであって、厚さ方向に通気性を有する多孔質シートと、多孔質シートの一方の面に配置された、厚さ方向に通気性を有する粘着層とを備え、粘着層は架橋された粘着剤を含み、所定の方法により測定した、シート面積を１００ｃｍ²としたときの被吸着力が４５０Ｎ以上である吸着固定用シートを提供する。本発明の吸着固定用シートによれば、高温下で使用する場合においても、吸着対象物の加工精度の低下を抑制できる。

Description

吸着固定用シート

　本発明は、吸着装置の吸着面への配置により吸着対象物と吸着面との接触を防ぐ吸着固定用シートに関する。

　金属箔、プラスチックフィルム、及びセラミックコンデンサの製造に用いるセラミックグリーンシート等の薄く軽量なシート状体を加工する工程において、吸着装置の吸着面にこれらシート状体を吸着して固定又は搬送することが行われている。その際、通気性を有する吸着固定用シートが吸着面に配置されることが一般的である。吸着固定用シートの吸着面への配置により、吸着対象物であるシート状体と吸着面との直接の接触が防がれる。これにより、吸着時における吸着対象物の損傷、吸着面の傷つき、及び吸着対象物に含まれる成分による吸着面の汚染等を防ぐことができる。吸着面の傷つき及び汚染は、その後吸着される吸着対象物の不良発生の要因となりうる。

　特許文献１に、ホットメルト粘着剤を片面に配置した、超高分子量ポリエチレンの多孔質シートからなる吸着固定用シートが開示されている。特許文献１の吸着固定用シートは、ホットメルト粘着剤により吸着装置の吸着面に固定されて使用される。

特開平９－２２９３５号公報

　吸着した状態で吸着対象物をプレスする吸着プレス工程では、吸着固定用シートが高い加工温度に晒されることがあるが、加工効率の向上等を目的とした加工温度の上昇が予想される。本発明者らの検討によれば、ホットメルト粘着剤が配置された特許文献１の吸着固定用シートでは、加工温度を上昇させた場合に吸着対象物の加工精度が低下する傾向にあることが判明した。

　本発明の目的は、高温下で使用する場合においても、吸着対象物の加工精度の低下を抑制できる吸着固定用シートの提供にある。

　本発明は、
　吸着装置の吸着面への配置により吸着対象物と前記吸着面との接触を防ぐ吸着固定用シートであって、
　厚さ方向に通気性を有する多孔質シートと、前記多孔質シートの一方の面に配置された、厚さ方向に通気性を有する粘着層と、を備え、
　前記粘着層は、架橋された粘着剤を含み、
　シート面積を１００ｃｍ²としたときの被吸着力が４５０Ｎ以上である吸着固定用シート、
　を提供する。
　ただし、前記被吸着力は、前記粘着層を介して前記吸着固定用シートを所定の吸着固定台に固定し、かつ無通気性の測定用シートを前記吸着固定用シートにおける前記多孔質シート側の面に積層した状態で、前記吸着固定台に吸着力を発生させたときに、当該吸着固定台に生じた真空到達圧（ｋＰａ）から、式：真空到達圧（ｋＰａ）×シート面積１００ｃｍ²により求めた値である。

　本発明者らの検討によれば、ホットメルト粘着剤が配置された特許文献１の吸着固定用シートでは、ホットメルト粘着剤が高温下で流動し、これにより、吸着面上の吸着固定用シートに皺や浮きが発生することで、吸着対象物の加工精度が低下する傾向にあることが判明した。一方、本発明の吸着固定用シートでは、粘着層に含まれる粘着剤は架橋されている。このため、吸着面上の吸着固定用シートにおける、粘着層の流動に起因する高温下での皺や浮きの発生が抑制される。

　また、本発明者らは、特許文献１に開示されているホットメルト粘着剤以外の粘着剤の使用を検討したが、依然として、吸着対象物の加工精度の低下が生じる状況にあった。この現象に対するさらなる検討の結果、（Ｉ）溶融状態における吹き付け塗工が可能なホットメルト粘着剤とは異なり、多孔質シート表面の凹凸に対する粘着剤の追従性が十分に確保できず、多孔質シートと当該シート上に配置した粘着剤との間に隙間が生じる傾向にあること、（II）当該隙間に起因して、吸着時の吸着固定用シートにおける面内方向の通気が大きくなること、及び（III）上記面内方向の通気によって吸着面に対する吸着固定シートの被吸着力が低下し、吸着面上の吸着固定シートに位置ずれが生じやすくなることで、吸着対象物の加工精度が低下すること、が判明した。一方、本発明の吸着固定用シートでは、粘着層に含まれる粘着剤が架橋された粘着剤でありながらも、所定の面積における被吸着力が所定の値以上であることで、吸着面上の吸着固定用シートにおける位置ずれの発生が抑制される。

　したがって、本発明によれば、高温下で使用する場合においても、吸着対象物の加工精度の低下を抑制できる吸着固定用シートが達成される。

図１は、本発明の吸着固定用シートの一例を模式的に示す断面図である。 図２は、吸着固定用シートの被吸着力の測定方法を説明するための模式図である。 図３は、本発明の吸着固定用シートが吸着層として備えうる両面粘着シートの一例を模式的に示す断面図である。 図４は、本発明の吸着固定用シートが吸着層として備えうる両面粘着シートについて、貫通孔の配置の一例を模式的に示す平面図である。 図５は、本発明の吸着固定用シートが吸着層として備えうる両面粘着シートについて、貫通孔の配置の別の一例を模式的に示す平面図である。 図６Ａは、本発明の吸着固定用シートの別の一例を模式的に示す平面図である。 図６Ｂは、図６Ａの吸着固定用シートの断面Ｂ－Ｂを示す模式図である。 図７Ａは、本発明の吸着固定用シートのまた別の一例を模式的に示す平面図である。 図７Ｂは、図７Ａの吸着固定用シートの断面Ｂ－Ｂを示す模式図である。 図８は、本発明の吸着固定用シートを使用して吸着対象物を吸着装置の吸着面に吸着する工程を模式的に示す断面図である。

　以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。本発明は、以下に示す実施形態に限定されない。

　［吸着固定用シート］
　本発明の吸着固定用シートの一例を図１に示す。図１の吸着固定用シート１は、厚さ方向に通気性を有する多孔質シート２と、厚さ方向に通気性を有する粘着層３とを備える。粘着層３は、多孔質シート２の一方の面に配置されている。吸着固定用シート１は、厚さ方向の通気性を有しており、吸着装置の吸着面への配置により吸着対象物と吸着面との接触を防ぐ吸着固定用シートとして使用可能である。吸着固定用シート１は、粘着層３が吸着面に接するように、吸着装置の吸着面に配置され、固定される。なお、本明細書において、シート又は層の「厚さ方向」とは、当該シート又は層の一方の面と他方の面とを接続する任意の方向を意味する。例えば、図３に示す例において、粘着層３である両面粘着シート１１の厚さ方向の通気経路となる貫通孔１２は当該シート１１の面１１ａ，１１ｂに垂直な方向に延びているが、貫通孔１２が延びる方向は当該垂直な方向に限定されない。貫通孔１２が延びる方向は、両面粘着シート１１の一方の面１１ａと他方の面１１ｂとを貫通孔１２が接続する限り、当該垂直な方向に対して傾いていてもよい。

　シート面積を１００ｃｍ²としたときの吸着固定用シート１の被吸着力は４５０Ｎ以上である（以下、「シート面積を１００ｃｍ²としたときの被吸着力」を単に「被吸着力」と記載する）。吸着固定用シート１の被吸着力は、４７５Ｎ以上、５００Ｎ以上、５２５Ｎ以上、５５０Ｎ以上、さらには５７５Ｎ以上であってもよい。吸着固定用シート１の被吸着力の上限は、例えば１００００Ｎ以下である。なお、吸着固定用シート１の被吸着力は、常温における値である。

　吸着固定用シート１の被吸着力は、以下の方法により求めた値である。吸着固定用シート１の被吸着力を測定する方法について、図２を参照しながら説明する。

　最初に、吸着固定用シート１を粘着層３を介して所定の吸着固定台２１に固定するとともに、無通気性の測定用シート２２を吸着固定用シート１における多孔質シート２側の面に積層する。吸着固定用シート１の面積は１００ｃｍ²とし、好ましくは、１０ｃｍ×１０ｃｍの正方形である吸着固定用シート１とする。

　吸着固定台２１はステンレス等の金属から構成される平坦な台であり、圧力計２３及び流量計２４を備える配管２５を介して、真空ポンプ２６に接続されている。吸着固定台２１における吸着固定用シート１が固定される領域Ａには、開口及び断面の形状が円である複数の貫通孔２７（直径１ｍｍ）が中心間距離（ピッチ）３ｍｍで設けられている。貫通孔２７は、吸着固定台２１の固定面に垂直な方向から見て、固定面上の仮想の正方格子の交点（格子点）に各々の貫通孔の中心が位置するように設けられている。真空ポンプ２６の作動によって、吸着固定台２１の固定面から配管２５の方向に貫通孔２７を透過する空気の流れが発生し、これにより、吸着固定台２１に吸着力が生じる。吸着固定台２１における領域Ａ以外の領域に貫通孔２７が設けられていてもよいが、設けられている場合は、後述の真空到達圧を測定する際に、領域Ａの貫通孔２７のみに対して真空ポンプ２６による負圧を発生させる。吸着固定台２１の領域Ａにおける上記貫通孔以外の部分の表面（固定面の表面）は、日本工業規格（以下、「ＪＩＳ」と記載する）Ｂ０６０１：２００１に定められた算術平均粗さＲａにより表示して２．０μｍ以下の表面粗さを有することが好ましい。吸着固定用シート１の吸着固定台２１への固定は、吸着固定用シート１を当該シート１に折り目や重なりが生じないように吸着固定台２１に配置した後、吸着固定用シート１の表面に対して質量２ｋｇのローラーを１往復させることで実施する。ローラーには、例えば、ＪＩＳ　Ｚ０２３７：２００９「粘着テープ・粘着シート試験方法」に準拠したものを使用できる。

　吸着固定用シート１に積層する測定用シート２２は無通気性のシートであり、被吸着力の測定時に吸着固定用シート１の厚さ方向の通気性を失わせるために、当該シート１に積層する。測定用シート２２には、例えば、金属シート、樹脂シートを使用できる。測定用シート２２の典型的な一例は、厚さ２５μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）シートである。なお、本明細書において「無通気性のシート」とは、厚さ方向の通気度が、ＪＩＳ　Ｌ１０９６：２０１０に定められた通気性測定Ｂ法（ガーレー形法）に準拠して測定した空気透過度（ガーレー通気度）により表示して、１万秒／１００ｍＬ以上のシートを意味している。測定用シート２２の面積は、吸着固定用シート１の面積以上とする。測定用シート２２は当該シート２２に折り目や重なりが生じないように、かつ吸着固定用シート１の全体を覆うように、吸着固定用シート１に積層する。

　次に、真空ポンプ２６を作動させて、吸着固定台２１に吸着力を発生させる。吸着固定台２１の固定面に固定された吸着固定用シート１及び測定用シート２２の積層体によって、貫通孔２７を透過する空気の流れが阻害されて、吸着固定台２１に真空圧（負圧）が生じる。吸着力を発生させた後、安定状態となったときに生じる真空圧の大きさは、吸着固定用シート１を面内方向に透過する空気の流量に依存して変化し、より具体的には、当該空気の流量が小さいほど大きくなる。吸着力の発生により吸着固定台２１に生じた最大の真空圧である真空到達圧（ｋＰａ）を圧力計２３により測定し、測定した真空到達圧（ｋＰａ）から、式：真空到達圧（ｋＰａ）×シート面積１００ｃｍ²により、吸着固定用シート１の被吸着力を求めることができる。なお、吸着力を発生させた後、安定状態となったときに配管２５を流れる空気の流量は、吸着固定用シート１を面内方向に透過する空気の流量に相当する。このため、流量計２４により測定した当該流量を、吸着固定用シート１における面内方向の通気度とすることができる。吸着固定用シート１の面内方向の通気度は、多孔質シート２及び粘着層３の構成により変化する。なお、被吸着力を精度よく測定するために、真空ポンプ２６には、到達圧力及び実効排気速度に優れる油回転真空ポンプ、ダイヤフラム型ドライ真空ポンプ、揺動ピストン型ドライ真空ポンプ、ベーンポンプを使用することが好ましい。絶対圧により表示した真空ポンプ２６の到達圧力は、例えば８６Ｐａであり、実効排気速度は、例えば２３５Ｌ／分である。

　図１の吸着固定用シート１では、多孔質シート２の一方の面の全体に粘着層３が配置されている。より具体的には、図１の吸着固定用シート１では、多孔質シート２と同じ形状を有する粘着層３が、多孔質シート２の上記一方の面に垂直な方向から見たときにその全体が互いに重複するように、多孔質シート２の当該一方の面に配置されている。本発明の吸着固定用シート１では、多孔質シート２の一方の面の全体に粘着層３が配置されていなくてもよい。ただし、上述した効果をより確実に得るためには、少なくとも、吸着装置による吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、多孔質シート２の一方の面の全体に粘着層３が配置されていることが好ましい。

　多孔質シート２は、例えば、織布、不織布、厚さ方向に穿孔加工が施されたフィルム（金属フィルム、樹脂フィルム等）、樹脂粒子の焼結シートであり、好ましくは、樹脂粒子の焼結シートである。焼結シートである多孔質シート２によれば、繊維の脱落による吸着対象物への異物の付着と、当該異物による吸着対象物の変形及び表面の損傷を避けることができる。また、多孔質シート２の通気経路となる粒子間の空隙が当該シート２の全体に存在することから、吸着対象物をより均一に吸着できる。ただし、厚さ方向に通気性を有する限り、多孔質シート２は上記例に限定されない。

　樹脂粒子を構成する樹脂は、多孔質シート２としたときの耐摩耗性及び耐衝撃性に優れることから、好ましくは、超高分子量ポリエチレン（以下、「ＵＨＭＷＰＥ」と記載する）である。すなわち、多孔質シート２は、好ましくは、ＵＨＭＷＰＥ粒子の焼結シートである。ただし、焼結により多孔質シート２を形成できる限り、樹脂粒子を構成する樹脂は限定されない。なお、ＵＨＭＷＰＥの重量平均分子量Ｍｗは、例えば５０万以上、好ましくは１００万以上である。ＵＨＭＷＰＥの重量平均分子量は、高温ゲル浸透クロマトグラフィー法（高温ＧＰＣ法）により評価できる。

　ＵＨＭＷＰＥ粒子の焼結シートは、公知の方法、例えば以下に示す方法１～３により作製できる。方法１は、ＵＨＭＷＰＥ粒子を金型に充填した状態で焼結してＵＨＭＷＰＥの焼結ブロック体を形成し、形成した焼結ブロック体をシートに切削加工する方法である。焼結ブロック体の形状は、円柱であってもよい。方法２は、ＵＨＭＷＰＥ粒子をシート状に充填した状態で焼結する方法である。方法３は、ＵＨＭＷＰＥ粒子を分散媒に分散させたスラリーを転写シート、典型的には金属シート、に所定厚みに塗布し、これをＵＨＭＷＰＥの融点以上に加熱してシート状に焼結する方法である。転写シートにおけるスラリーの塗布面には離形処理が施されていてもよい。いずれの方法においても、例えば、２０～５００μｍの平均粒径を有するＵＨＭＷＰＥ粒子を使用できる。

　多孔質シート２の厚さは、例えば０．０５０ｍｍ～３．０ｍｍであり、０．１ｍｍ～２．０ｍｍ、さらには０．２ｍｍ～１．５ｍｍであってもよい。多孔質シート２の厚さがこれらの範囲にある場合、上述した効果をより確実に得ることができる。

　多孔質シート２の厚さ方向の通気度は、ＪＩＳ　Ｌ１０９６：２０１０に定められた通気性測定Ａ法（フラジール形法）に準拠して測定したフラジール数（以下、「フラジール数」と記載する）で表示して、例えば、０．５ｃｍ³／（ｃｍ²・秒）～２０ｃｍ³／（ｃｍ²・秒）である。通気度の下限は、フラジール数で表示して、１．０ｃｍ³／（ｃｍ²・秒）以上、２．０ｃｍ³／（ｃｍ²・秒）以上、２．０ｃｍ³／（ｃｍ²・秒）超、２．５ｃｍ³／（ｃｍ²・秒）以上、さらには３．０ｃｍ³／（ｃｍ²・秒）以上であってもよい。通気度の上限は、フラジール数で表示して、例えば１０ｃｍ³／（ｃｍ²・秒）以下であり、８．０ｃｍ³（ｃｍ²・秒）以下であってもよい。吸着対象物の吸着に要する時間（タクトタイム）を低減できる観点からは、多孔質シート２の厚さ方向の通気度は高い方がよい。しかし、通気度が高い多孔質シート２は一般に空孔率が高く、高い空孔率により、吸着固定用シート１として必要な強度、耐摩耗性、耐衝撃性等の特性が低下することがある。多孔質シート２の厚さ方向の通気度が上述した範囲にある場合、とりわけ、多孔質シート２が樹脂粒子の焼結シートであるときに、タクトタイムと上記各特性とのバランスがより良好となる。

　多孔質シート２の空孔率は、例えば１５～５０％であり、２０～４５％であってもよい。多孔質シート２の空孔率がこれらの範囲にある場合、とりわけ、多孔質シート２が樹脂粒子の焼結シートであるときに、タクトタイムと上記特性とのバランスがより良好となる。多孔質シート２の空孔率は、多孔質シートの体積Ｖ（ｃｍ³）、真比重Ｄ（ｇ／ｃｍ³）及び質量Ｍ（ｇ）から、式：空孔率（％）＝｛１－Ｍ／（Ｖ×Ｄ）｝×１００により求めることができる。

　多孔質シート２の表面粗さ、特に、吸着時に吸着対象物に接する面の表面粗さは、ＪＩＳ　Ｂ０６０１：２００１に定められた算術平均粗さＲａにより表示して、好ましくは１．０μｍ以下であり、より好ましくは０．５μｍ以下である。多孔質シート２のＲａがこれらの範囲にある場合、多孔質シート２との接触に起因する、吸着時における吸着対象物の意図しない変形あるいは表面の損傷を抑制できる。なお、樹脂粒子の焼結シートである多孔質シート２によれば、上記Ｒａの範囲を比較的容易に達成できる。当該シートにおいて表面粗さは、例えば、樹脂粒子の粒径により制御できる。

　多孔質シート２は、単層構造を有していても、２以上の特性及び／又は構造が異なる層が積層された積層構造を有していてもよい。

　粘着層３の厚さは、例えば１～３００μｍであり、１０～２００μｍ、さらには２０～１００μｍであってもよい。

　粘着層３は、例えば、（１）複数の貫通孔が設けられた、基材を有する両面粘着シート、又は（２）多孔質シート２の一方の面に互いに間隔を置いて配置された複数の上記架橋された粘着剤により構成される層、である。ただし、粘着層３は、厚さ方向に通気性を有する限り、上記（１）及び（２）の例に限定されない。

　上記（１）の両面粘着シートである粘着層３の一例を図３に示す。図３に示す両面粘着シート１１は、基材１３と、基材１３の一方の面に形成された粘着剤層１４ａと、基材１３の他方の面に形成された粘着剤層１４ｂと、を備える。貫通孔１２は、両面粘着シート１１の一方の面１１ａと他方の面１１ｂとを接続している。言い換えると、貫通孔１２は、基材１３及び粘着剤層１４ａ，１４ｂを貫通している。貫通孔１２は、両面粘着シート１１における厚さ方向の通気経路として機能しており、貫通孔１２により、両面粘着シート１１は厚さ方向に通気性を有する。また、両面粘着シート１１は、当該シート１１の面１１ａ，１１ｂに垂直な方向から見て、厚さ方向の通気経路である貫通孔１２を基材１３が囲む構造を有している。このため、両面粘着シート１１及び当該シート１１を備える吸着固定用シート１において厚さ方向の通気が確保されながらも、面内方向の通気をより確実に抑制でき、これにより、吸着固定用シート１の被吸着力を高めることができる。なお、両面粘着シートである粘着層３は、図３に示す例に限定されない。

　基材１３は、その一方の面と他方の面とを接続する通気経路を貫通孔１２以外に有さないフィルムであってもよい。より具体的には、基材１３は、無孔フィルムに貫通孔１２を形成したフィルムであってもよい。

　基材１３を構成する材料は、例えば樹脂である。樹脂は、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等のポリエステル；ポリカーボネート（ＰＣ）；アクリル樹脂；ブチルゴムである。樹脂は、好ましくはＰＥＴ、ＰＣであり、より好ましくはＰＥＴである。ＰＥＴ及びＰＣは、樹脂材料として比較的硬く、例えば吸着固定用シート１の面積が大きい場合にも、吸着面への固定時に当該シート１に弛みや皺が生じにくい。また、ＰＥＴ及びＰＣは、想定される高温下においても十分な強度を保持できる。なお、基材１３を構成する材料は、上記例に限定されない。

　基材１３は、無孔の樹脂フィルムに貫通孔１２を形成したフィルムであってもよく、無孔のＰＥＴフィルムに貫通孔１２を形成したフィルムであってもよい。

　基材１３の厚さは、例えば、０．００５ｍｍ～０．２ｍｍであり、０．０１ｍｍ～０．１ｍｍであってもよい。基材１３の厚さがこれらの範囲にある場合、上述した効果をより確実に得ることができる。

　粘着剤層１４ａ，１４ｂが含む粘着剤（粘着剤組成物）は、架橋された粘着剤である。

　架橋された粘着剤は、例えばアクリル系、ウレタン系、シリコーン系、エポキシ系の各種の粘着剤である。別の側面から見て、架橋された粘着剤は、例えば、架橋系粘着剤、紫外線硬化型粘着剤である。架橋系粘着剤は、架橋剤を含む粘着剤である。アクリル系、ウレタン系及びシリコーン系の粘着剤は、通常、架橋系粘着剤に分類される。上記例示した中では、アクリル系及び／又はシリコーン系の粘着剤が、高温下での流動性が特に低いことから好ましい。ただし、架橋された粘着剤は上記例に限定されない。また、架橋された粘着剤には、公知のものを使用できる。粘着剤が架橋された粘着剤であることは、粘着剤を溶解する溶剤（例えば、２５℃のトルエン）に当該粘着剤を溶解させたときに溶解しない成分（ゲル分）が残留することにより確認できる。なお、ホットメルト粘着剤は、通常、ゲル分が残留せず、架橋された粘着剤には該当しない。

　アクリル系粘着剤は、アクリルポリマーをベースポリマーとする粘着剤である。アクリル系粘着剤には、公知のものを使用できる。アクリル系粘着剤の一例は、特開2005-105212号公報に開示の粘着剤である。

　シリコーン系粘着剤は、シリコーンポリマーをベースポリマーとする粘着剤である。シリコーン系粘着剤には、公知のものを使用できる。シリコーン系粘着剤の一例は、特開2003-313516号公報に開示の粘着剤（比較例として開示のものを含む）である。

　基材１３の一方の面に形成された粘着剤層１４ａと、他方の面に形成された粘着剤層１４ｂとは、同一の構成を有していても、互いに異なる構成を有していてもよい。両面粘着シート１１の一例では、粘着剤層１４ａ，１４ｂがいずれもアクリル系粘着剤から構成される。両面粘着シート１１の別の一例では、一方の粘着剤層１４ａがシリコーン系粘着剤から構成され、他方の粘着剤層１４ｂがアクリル系粘着剤から構成される。

　吸着装置の吸着面は、通常、ステンレス等の金属から構成される。アクリル系粘着剤から構成される粘着剤層と、シリコーン系粘着剤から構成される粘着剤層とでは、シリコーン系粘着剤から構成される粘着剤層の方が、当該吸着面における糊残り量（粘着剤層を構成する粘着剤の残留量）を低減できる。吸着面に固定した吸着固定用シート１は、通常、既定の回数の吸着工程を実施した後、あるいは多孔質シート２における吸着対象物に接する表面が既定の摩耗量に達したときに交換される。その際、吸着面に糊残りがあると、吸着面の表面に残留した粘着剤によって新たに配置した吸着固定用シート１の表面に凹凸が生じることで、次回以降に吸着する吸着対象物に意図せぬ変形あるいは表面の損傷が生じたり、吸着対象物の加工精度が低下したりすることがある。このため、吸着固定用シート１の交換時における糊残り量はできるだけ小さいことが望まれる。また、多孔質シート２が不織布あるいは樹脂粒子の焼結シートである場合、当該シート２に対する接着強度は、シリコーン系粘着剤に比べてアクリル系粘着剤の方が高い。これらを考慮すると、一方の粘着剤層１４ａがシリコーン系粘着剤から構成され、他方の粘着剤層１４ｂがアクリル系粘着剤から構成され、粘着剤層１４ｂが多孔質シート２と接する吸着固定用シート１とし、当該シート１を、粘着剤層１４ａが吸着面に接するように吸着装置に固定してもよい。これにより、吸着固定用シート１の交換時における吸着面への糊残り量を低減でき、また、吸着対象物の加工精度の低下をより確実に抑制できる。

　架橋された粘着剤のゲル分率は、例えば１～９０％であり、２～８０％、５～６０％であってもよい。ゲル分率がこれらの範囲にある場合、架橋された粘着剤の高温下での流動性をより低くすることができる。粘着剤のゲル分率は、例えば、以下のように評価できる。

　[アクリル系粘着剤のゲル分率]
　評価対象物である粘着剤層約０．１ｇを採取する。採取した粘着剤層を、平均孔径０．２μｍのポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）多孔質膜（例えば、日東電工製、ＮＴＦ１１２２）で包んだ後、凧糸で縛って評価サンプルとし、重量（浸漬前重量ｃ）を測定する。浸漬前重量は、採取した粘着剤、ＰＴＦＥ多孔質膜、及び凧糸の総重量に相当する。また、評価サンプルに使用するＰＴＦＥ多孔質膜及び凧糸の合計重量を予め測定しておき、これを包袋重量ｂとする。

　次に、酢酸エチルで満たされた容積５０ｍＬの容器に評価サンプルを収容し、２３℃にて７日間静置する。その後、評価サンプルを容器から取り出してアルミニウム製カップに移し、１３０℃に設定した乾燥機で２時間乾燥させて酢酸エチルを除去する。次に、評価サンプルの重量を測定し、当該重量を浸漬後重量ａとする。

　測定した浸漬後重量ａ、包袋重量ｂ、及び浸漬前重量ｃから、以下の式に基づいてゲル分率を求めることができる。
　式：ゲル分率（重量％）＝（ａ－ｂ）／（ｃ－ｂ）×１００

　[シリコーン系粘着剤のゲル分率]
　評価対象物であるシリコーン系粘着剤の層が基材シートの表面に形成された、約１９ｍｍ×約２５０ｍｍの評価サンプルを準備する。基材シートには、トルエンにより膨潤しない材料から構成されるシートを選択する。基材シートは、例えばＰＴＦＥシートである。次に、評価サンプルの重量（浸漬前重量Ｃ）を測定する。

　次に、約３００ｍＬのトルエンに評価サンプルを常温で４８時間浸漬する。その後、評価サンプルをトルエンから取り出し、３０分間風乾させた後、１２０℃に設定した乾燥機で２時間乾燥してトルエンを除去する。次に、評価サンプルを室温に戻して３０分間放置した後、浸漬後重量Ａを測定する。次に、基材シートから粘着剤の層を除去し、基材シートの重量Ｂを測定する。

　測定した浸漬後重量Ａ、基材シートの重量Ｂ、及び浸漬前重量Ｃから、以下の式に基づいてゲル分率を求めることができる。
　式：ゲル分率（重量％）＝（Ａ－Ｂ）／（Ｃ－Ｂ）×１００

　粘着剤層１４ａ，１４ｂの厚さは、例えば、０．００５ｍｍ～０．３ｍｍであり、０．０１ｍｍ～０．２ｍｍであってもよい。

　図３に示す例において、貫通孔１２の延びる方向は両面粘着シート１１の表面に垂直な方向である。また、当該例において、貫通孔１２は直線状に延びている。さらに、当該例において、貫通孔１２の断面（延びる方向に垂直な断面）の形状は、両面粘着シート１１の一方の面から他方の面に至るまで一定である。ただし、延びる方向、延びる状態、及び断面の形状といった貫通孔１２の構成は、両面粘着シート１１が厚さ方向の通気性を有する限り、限定されない。なお、断面の形状が一定である貫通孔１２には、当該貫通孔１２を形成する手法上避けられない断面形状の変動を有する貫通孔が含まれる。

　貫通孔１２の開口の形状は、例えば、円、楕円、矩形であり、円又は楕円が好ましく、円がより好ましい。ただし、貫通孔１２の開口の形状は上記例に限定されない。

　各々の貫通孔１２の開口面積は、例えば１０ｍｍ²以下であり、７ｍｍ²以下、さらには５ｍｍ²以下であってもよい。各々の貫通孔１２の開口面積の下限は、例えば０．１ｍｍ²以上であり、０．３ｍｍ²以上、さらには０．５ｍｍ²以上であってもよい。

　両面粘着シート１１における貫通孔１２の開口率（両面粘着シート１１の表面の面積に対する、当該表面における貫通孔１２の開口面積の合計が占める割合）は、例えば６０．０％以下であり、５５．０％以下、５０．０％以下、さらには４５．０％以下であってもよい。貫通孔１２の開口率の下限は、例えば１０．０％以上であり、１５．０％以上、２０．０％以上、２５．０％以上、さらには３０．０％以上であってもよい。貫通孔１２の開口率がこれらの範囲にある場合、吸着固定用シート１としての厚さ方向の通気が確保されながらも、当該シート１における面内方向の通気をより確実に抑制できる。少なくとも、吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、両面粘着シート１１における貫通孔１２の開口率がこれらの範囲にあることが好ましい。

　両面粘着シート１１における貫通孔１２の配置の状態の例を図４，５に示す。図４，５には、両面粘着シート１１の表面における貫通孔１２の開口が示されている。ただし、両面粘着シート１１における貫通孔１２の配置の状態は、図４，５に示す例に限定されない。

　図４に示す例では、両面粘着シート１１の表面に垂直な方向から見て、各々の貫通孔１２の開口の中心が当該表面上の仮想の正方格子３３の交点（格子点）に位置するように、貫通孔１２が配置されている。図５に示す例では、両面粘着シート１１の表面に垂直な方向から見て、各々の貫通孔１２の開口の中心が当該表面上の仮想の正三角格子３４の交点に位置するように、貫通孔１２が配置されている。両面粘着シート１１は、少なくとも、吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、これらの貫通孔の配置を有していてもよい。これらの例に示す貫通孔１２の配置によれば、シートの全体、少なくとも上記領域の全体、にわたって厚さ方向の通気がより均一な吸着固定用シート１を得ることができる。吸着固定用シート１における厚さ方向の通気がより均一であると、吸着対象物をよりムラなく吸着することが可能となり、吸着対象物の加工精度の低下をより確実に抑制できる。なお、図４，５に示す例において、各々の貫通孔１２の開口及び断面の形状は全て同一であり、より具体的には円形である。ただし、各々の貫通孔１２の開口及び／又は断面の形状は全て同一でなくてもよい。また、各々の貫通孔１２の開口の中心が上記表面上の仮想の格子の交点に位置するように貫通孔１２が配置されている場合、当該格子は正方格子及び正三角格子に限定されず、長方格子、菱形格子等の各種の格子であってもよい。なお、図４，５に示す例において、各々の貫通孔１２の中心は正方格子３３又は正三角格子３４の各交点に厳密に位置している必要はなく、例えば、貫通孔１２を設ける工程において避けられない中心位置のズレは許容される。

　図４，５に示す例において、最近接する貫通孔１２の中心間距離（ピッチ）Ｐ１は、例えば０．５ｍｍ～１０．０ｍｍであり、１．０ｍｍ～５．０ｍｍであってもよい。

　上記（１）の両面粘着シートを粘着層３として備える吸着固定用シート１は、例えば、粘着剤層１４ａ又は１４ｂを介して多孔質シート２の一方の面に両面粘着シート１１を配置して形成できる。粘着剤層１４ａと粘着剤層１４ｂとの構成が異なる場合、接着強度のより大きな粘着剤層を介して、両面粘着シート１１を多孔質シート２に貼付してもよい。この場合、接着強度がより小さな粘着剤層を介して吸着固定用シート１が吸着装置の吸着面に固定されるため、吸着固定用シート１の交換がより容易となる。ただし、吸着固定用シート１の形成方法は上記例に限定されない。

　両面粘着シート１１は、例えば、粘着剤層１４ａ、基材１３及び粘着剤層１４ｂの積層体に複数の貫通孔１２を設ける加工を実施して形成できる。ただし、両面粘着シート１１の形成方法は、この例に限定されない。複数の貫通孔１２を設ける加工には、パンチング、トムソン刃による打ち抜き、レーザ照射等の各種の穿孔加工法を適用できる。粘着剤層１４ａ，１４ｂ及び基材１３の積層体は、例えば、基材１３の表面に粘着剤組成物を塗布し、塗布により形成された塗布膜を乾燥及び／又は硬化して形成できる。

　上記（２）の層を粘着層３として備える吸着固定用シートの一例を図６Ａ及び図６Ｂに示す。図６Ｂには、図６Ａの吸着固定用シート１の断面Ｂ－Ｂが示されている。図６Ａ及び図６Ｂの吸着固定用シート１は、厚さ方向に通気性を有する多孔質シート２と、厚さ方向に通気性を有する粘着層３である層５とを備える。層５は、複数の粘着剤６により構成される。複数の粘着剤６は、多孔質シート２の一方の面に互いに間隔を置いて配置されている。粘着剤６は、架橋された粘着剤である。層５は、多孔質シート２の一方の面に配置されている。層５は、基材レスの両面粘着層である。隣り合う粘着剤６の間の空間７は層５における厚さ方向の通気経路として機能しており、空間７により、層５は厚さ方向の通気性を有する。

　図６Ａ及び図６Ｂに示す例において、多孔質シート２の一方の面では、複数の粘着剤６が互いに間隔を置いて配置されることで層５が形成されている。より具体的には、多孔質シート２の一方の面に垂直な方向から見て、複数の粘着剤６が当該一方の面にストライプ状に配置されている。

　上記（２）の層を粘着層３として備える吸着固定用シートの別の一例を図７Ａ及び図７Ｂに示す。図７Ｂには、図７Ａの吸着固定用シート１の断面Ｂ－Ｂが示されている。図７Ａ及び図７Ｂの吸着固定用シート１は、層５における複数の粘着剤６の形状及び配置のパターンが異なる以外は、図６Ａ及び図６Ｂの吸着固定用シート１と同様である。図７Ａ及び図７Ｂに示す例において、多孔質シート２の一方の面に垂直な方向から見て、円の形状を有する複数の粘着剤６が当該一方の面にドット状に配置されている。また、粘着剤６は、上記一方の主面上の仮想の正三角格子の交点に各々の粘着剤６の中心が位置するように、配置されている。なお、ドット状に配置された複数の粘着剤６の上記垂直な方向から見た形状は、円に限定されず、例えば、正方形及び長方形を含む多角形、楕円であってもよい。また、粘着剤６が、上記一方の主面上の仮想の格子の各交点に各々の粘着剤６の中心が位置するように配置されている場合、当該格子は正三角格子に限定されず、正方格子、長方格子、菱形格子等の各種の格子であってもよい。

　層５における複数の粘着剤６の配置（配置パターン）は、厚さ方向の通気を層５にもたらす空間７を層５が有する限り、図６Ａ，図６Ｂ，図７Ａ及び図７Ｂに示す例に限定されない。

　複数の粘着剤６は、少なくとも、吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、多孔質シート２の上記一方の面に配置されていることが好ましく、上記領域の全体において、多孔質シート２の上記一方の面に配置されていることがより好ましい。

　粘着剤６には、両面粘着シート１１の説明において上述した架橋された粘着剤を使用できる。

　各々の粘着剤６の厚さは、例えば１～３００μｍである。当該厚さの上限は、５００μｍ以下、１００μｍ以下、５０μｍ以下、さらには１０μｍ以下であってもよい。粘着剤６の厚さがこれらの範囲にある場合、上述した効果をより確実に得ることができる。

　多孔質シート２の一方の面に垂直に見た各々の粘着剤６の面積は、例えば０．０５ｍｍ²以上であり、０．１ｍｍ²以上、０．５ｍｍ²以上であってもよい。ただし、図６Ａ及び図６Ｂに示すようにストライプ状に配置された各々の粘着剤６の上記面積は、各粘着剤６の幅×長さであり、上記範囲に比べて大きくなりうる。例えば、ドット状に配置された各々の粘着剤６が、上記範囲の面積を有していてもよい。

　図６Ａ及び図６Ｂに示すようにストライプ状に配置された各々の粘着剤６の幅は、例えば０．１～５ｍｍであり、０．５～２ｍｍであってもよい。

　多孔質シート２の上記一方の面における粘着剤６の占有率（多孔質シート２の上記一方の面に垂直な方向から見て、上記一方の面の面積に対する当該面上に配置された粘着剤６の面積の合計が占める割合）は、例えば３０％以上であり、４０％以上、４５％以上、５０％以上、５５％以上、６０％以上、さらには６５％以上であってもよい。占有率がこれらの範囲にある場合、層５及び層５を備える吸着固定用シート１において厚さ方向の通気が確保されながらも、面内方向の通気をより確実に抑制でき、これにより、吸着固定用シート１の被吸着力を高めることができる。占有率は、少なくとも、吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、これらの範囲にあることが好ましい。

　多孔質シート２の一方の面に垂直な方向から見て、複数の粘着剤６は当該一方の面に一定の間隔で配置されていてもよい。この場合、粘着剤６の配置の間隔は、例えば０．５～１０ｍｍであり、１～５ｍｍであってもよい。図６Ａ，図６Ｂ，図７Ａ及び図７Ｂに示す例では、このような配置がなされている。粘着剤６の配置の間隔は、通常、最近接する粘着剤６の中心間距離である。図６Ａ及び図６Ｂに示すようにストライプ状に配置された粘着剤６である場合には、配置の間隔は、隣接する粘着剤６の中心線間距離（ピッチ）Ｐ２である。また、少なくとも、吸着装置による吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、複数の粘着剤６は当該一方の面に一定の間隔で配置されていてもよい。

　多孔質シート２の一方の面に垂直な方向から見て、複数の粘着剤６の形状及び／又は面積は同一であってもよい。図６Ａ，図６Ｂ，図７Ａ及び図７Ｂに示す例では、複数の粘着剤６の形状及び面積は同一である。また、少なくとも、吸着装置による吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、多孔質シート２の一方の面に垂直な方向から見て、複数の粘着剤６の形状及び／又は面積が同一であってもよい。

　多孔質シート２の一方の面に垂直な方向から見て、各々の粘着剤６は、空間７を囲む形状を有していてもよい。また、多孔質シート２の一方の面に垂直な方向から見て、複数の粘着剤６は、吸着固定用シート１の中心から周に至る全ての方向において少なくとも１つ、好ましくは２以上、の粘着剤６が当該中心と周との間に位置するように、上記一方の面に配置されていてもよい。これらの場合、層５及び層５を備える吸着固定用シート１において厚さ方向の通気が確保されながらも、面内方向の通気をより確実に抑制でき、これにより、吸着固定用シート１の被吸着力を高めることができる。

　上記（２）の層を粘着層３として備える吸着固定用シート１は、例えば、多孔質シート２の一方の面に粘着剤６を所定のパターンで配置して形成できる。転写シートの表面に粘着剤６を所定のパターンで配置した後、配置した当該粘着剤６を多孔質シート２の一方の面に転写することで吸着固定用シート１を形成してもよい。所定の配置パターンを有する粘着剤６の配置には、例えば、当該パターンに基づく粘着剤６の配置が可能な公知の塗布装置、例えば、シム板を備えるスロットダイ、ディスペンサ（液体定量吐出装置）、各種の印刷機を使用できる。なお、櫛型のシム板を備えるスロットダイによれば、多孔質シート２の一方の面に対してストライプ状に粘着剤６を配置することも可能である。また、ディスペンサ、グラビア印刷機、ロータリースクリーン印刷機によれば、多孔質シート２の一方の面に対してドット状に粘着剤６を配置することも可能である。ただし、吸着固定用シート１の形成方法は上記例に限定されない。

　吸着固定用シート１の厚さは、例えば０．０６５ｍｍ～６ｍｍであり、０．１ｍｍ～３．５ｍｍ、０．２５ｍｍ～１．０ｍｍであってもよい。

　吸着固定用シート１の厚さ方向の通気度は、フラジール数で表示して、例えば０．１ｃｍ³／（ｃｍ²・秒）以上であり、０．３ｃｍ³／（ｃｍ²・秒）以上、０．５ｃｍ³／（ｃｍ²・秒）以上、０．７ｃｍ³／（ｃｍ²・秒）以上、０．９ｃｍ³／（ｃｍ²・秒）以上、１．２ｃｍ³／（ｃｍ²・秒）以上、さらには１．５ｃｍ³／（ｃｍ²・秒）以上であってもよい。当該通気度の上限は、フラジール数で表示して、例えば１０．０ｃｍ³／（ｃｍ²・秒）以下である。

　吸着固定用シート１における多孔質シート２側の面における表面抵抗率は、例えば１．０×１０¹²Ω／□以下である。表面抵抗率は、１×１０¹¹Ω／□以下、１×１０¹⁰Ω／□以下、さらには１×１０⁹Ω／□以下であってもよい。表面抵抗率の下限は限定されず、例えば１×１０⁷Ω／□以上である。上記表面抵抗率がこれらの範囲にある場合、吸着対象物の吸着時における静電気の発生が抑制されることで、吸着対象物にピンホールなどの損傷が生じることを防止できる。表面抵抗率は、高抵抗の材料の表面抵抗率を測定可能な抵抗率計（例えば、三菱ケミカルアナリテック製ハイレスタ）により評価できる。

　多孔質シート２側の面における表面抵抗率が上記範囲にある吸着固定用シート１は、例えば、多孔質シート２に対して帯電防止処理を実施することで形成できる。帯電防止処理として、例えば、多孔質シート２に帯電防止剤をコーティングする方法を採用できる。帯電防止剤のコーティングは、例えば、帯電防止剤を含む処理液を多孔質シート２に塗布した後、塗布した処理液を乾燥させて実施できる。処理液の媒体は、多孔質シート２を変質させず、かつ多孔質シート２を構成する材料の融点未満の乾燥温度で揮散する媒体であり、例えば、エタノール等のアルコール、水、有機溶媒である。処理液は、帯電防止剤以外の任意の材料、例えば、紫外線吸収剤、離型剤等の添加剤、を更に含んでいてもよい。処理液の塗布は、公知の方法、例えば、キャスト法、ディッピング法、ロールコーティング法、グラビアコート法、スクリーン印刷法、リバースコート法、スプレーコート法、キスコート法、ダイコート法、メタリングバーコート法、チャンバードクター併用コート法、カーテンコート法、バーコート法により実施できる。乾燥温度は、例えば５０～１３０℃、好ましくは６０～１１０℃である。

　帯電防止剤は、例えば、陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤、両性界面活性剤、非イオン界面活性剤等の各種の界面活性剤であり、陽イオン界面活性剤、陰イオン界面活性剤、非イオン界面活性剤が好ましい。帯電防止剤として２種以上を併用してもよいが、陽イオン界面活性剤と陰イオン界面活性剤とを併用しない方がよい。ただし、帯電防止剤は界面活性剤に限定されない。

　帯電防止剤として使用できる陽イオン界面活性剤は、例えば、アルキルアンモニウム酢酸塩類、アルキルジメチルベンジルアンモニウム塩類、アルキルトリメチルアンモニウム塩類、ジアルキルジメチルアンモニウム塩類、アルキルピリジニウム塩類、オキシアルキレンアルキルアミン類、ポリオキシアルキレンアルキルアミン類である。

　帯電防止剤として使用できる陰イオン界面活性剤は、例えば、ステアリン酸ナトリウム石けん等の脂肪酸ソーダ石けん類；ラウリル硫酸ナトリウム等のアルキル硫酸塩類；アルファスルホ脂肪酸エステル塩類；アルキルエーテル硫酸塩類；アルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム類；アルキルナフタレンスルホン酸ナトリウム類；ジアルキルスルホコハク酸塩類；アルキルリン酸塩類；アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸塩類である。

　帯電防止剤として使用できる両性イオン界面活性剤は、例えば、アルキルカルボキシベタイン類である。

　帯電防止剤として使用できる非イオン界面活性剤は、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミンである。

　帯電防止剤として市販品を使用してもよい。市販品である帯電防止剤は、例えば：
　アデカ（登録商標）プルロニックＬ・Ｐ・Ｆシリーズ、アデカ（登録商標）プルロニックＴＲシリーズ等のポリオキシエチレン－ポリオキシプロピレンブロックコポリマー型非イオン界面活性剤；
　アデカトールＬＢシリーズ、アデカトールＬＡシリーズ、アデカトールＴＮシリーズ等のアルキルエーテル型非イオン界面活性剤；
　アデカノールＮＫ（グリセライドエチレンオキサイド付加物）等のエステル型非イオン界面活性剤；
　アデカトールＰＣ等の特殊フェノール型非イオン界面活性剤；
　アデカホープシリーズ等の硫酸塩型陰イオン界面活性剤；
　アデカコールシリーズ等のリン酸エステル型、又はコハク酸エステル型の陰イオン界面活性剤；
　アデカミンシリーズ等の４級カチオン型陽イオン界面活性剤（以上、ＡＤＥＫＡ製）；
　エレクノンシリーズ等の陽イオン界面活性剤（大日精化工業製）；
　エレクトロストリッパーＡＣ等の両性界面活性剤（花王製）；及び
　エマルゲンシリーズ、レオドールシリーズ、エキセルシリーズ、アミートシリーズ等の非イオン性界面活性剤（花王製）である。

　吸着固定用シート１の形状は、例えば、正方形及び長方形を含む多角形状、帯状である。ただし、吸着固定用シート１の形状は上記例に限定されない。吸着固定用シート１によれば、当該シート１の面積が大きい場合においても、吸着対象物の加工精度の低下を抑制できる。

　吸着固定用シート１の面積は、例えば５０ｃｍ²以上、１００ｃｍ²以上、２２５ｃｍ²以上、４００ｃｍ²以上、１０００ｃｍ²以上、さらには１００００ｃｍ²以上であってもよい。

　吸着固定用シート１は、本発明の効果が得られる限り、多孔質シート２及び粘着層３以外の部材を有していてもよい。当該部材は、例えば、露出面である粘着層３に配置されたセパレータである。セパレータは、吸着固定用シート１の流通時に当該シート１に配置され、当該シート１の使用時（吸着装置の吸着面への固定時）に多孔質シート２及び粘着層３の積層体から剥離される。吸着固定用シート１は、少なくとも、吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、多孔質シート２及び粘着層３からなってもよい。

　吸着対象物は、例えば、金属シート、ガラスシート等の自立性を有するシートであってもよいし、金属箔、プラスチックフィルム、セラミックグリーンシート等の自立性を有さない薄いシート状体であってもよい。ただし、吸着対象物は上記例に限定されない。自立性を有さないシート状体の方が、その加工精度が低下しやすいが、吸着固定用シート１の使用により、このようなシート状体を吸着する場合においても、当該シート状体に対する加工精度の低下を抑制できる。

　［吸着固定用シートを使用した吸着対象物の吸着］
　図８に、吸着固定用シート１を吸着面に固定した吸着装置による吸着対象物の吸着工程を示す。（ａ）に示すように、吸着装置の吸着ユニット５１の吸着面５２に、粘着層３により吸着固定用シート１を固定する。そして、（ｂ）に示すように、吸着ユニット５１に吸引力を発生させ、吸着固定用シート１を介して吸着対象物６１を吸着する。

　吸着装置及び吸着ユニット５１には、公知の装置及びユニットを使用できる。吸着ユニット５１の吸着面５２は、通常、金属面である。

　吸着対象物を吸着面に固定した状態で、当該吸着対象物に対して任意の加工を実施可能である。加工は、例えば、プレス加工である。プレス加工では、吸着面に固定した状態で吸着対象物をプレスする吸着プレス工程を実施できる。

　以下、実施例により本発明をより詳細に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。

　最初に、本実施例において作製した吸着固定用シートの評価方法を示す。

　［真空到達圧、面内方向の通気度、被吸着力］
　作製した吸着固定用シートの真空到達圧、被吸着力、及び面内方向の通気度は上述の方法により評価した。ただし、評価対象である吸着固定用シートのサイズは１００ｍｍ×１００ｍｍとし、吸着固定用シートに積層する測定用シートはＰＥＴシート（厚さ２５μｍ、サイズ１００ｍｍ×１００ｍｍ）とした。測定は、吸着固定台に対して吸着固定シートをより確実に固定し、これにより測定精度を高めることを目的として、ローラーの一往復後、１０分経過した後に実施した。真空ポンプには、ベーンポンプ（オリオン製ＫＲＦ４０、到達圧力（絶対圧）８６Ｐａ、実効排気速度５７５Ｌ／分）を使用した。測定環境の温度は２５±１０℃、相対湿度は５０％±２０％とした。

　［厚さ方向の通気度］
　作製した吸着固定用シートの厚さ方向の通気度（フラジール数）は、ＪＩＳ　Ｌ１０９６：２０１０に定められた通気性測定Ａ法（フラジール形法）に準拠して測定した。

　［表面抵抗率］
　作製した吸着固定用シートにおける多孔質シート側の露出面の表面抵抗率は、二重リング電極を有するＵＲＳプローブを備えた高抵抗率計（三菱ケミカルアナリテック製ハイレスタＭＣＰ－ＨＴ４５０）を使用し、５００Ｖの電圧を印加して３０秒経過した時点における表面抵抗率を測定することで評価した。なお、表面抵抗率の評価は、２５℃及び相対湿度６０％の雰囲気下において、ＪＩＳ　Ｋ６９１１：２００６の規定に準拠して実施した。

　（実施例１）
　多孔質シート２として、ＵＨＭＷＰＥ粒子の焼結シート（日東電工製、サンマップ、厚さ０．３０ｍｍ、サイズ１００ｍｍ×１００ｍｍ）を準備した。準備した焼結シートの両面には、帯電防止処理が施されていた。準備した多孔質シートの厚さ方向の通気度は、フラジール数で表示して、６．０ｃｍ³／（ｃｍ²・秒）であった。次に、準備した多孔質シート２における一方の面の全体にアクリル系粘着剤をストライプ状に塗布することで基材レスの両面粘着層である粘着層３（厚さ７μｍ）を形成して、実施例１の吸着固定用シートを得た。得られた吸着固定用シートは、多孔質シート２の上記一方の面に垂直な方向から見て、当該一方の面に対してストライプ状に粘着剤６が配置されてなる粘着層３を備えていた。アクリル系粘着剤の塗布には、櫛型のシム板を備えたスロットダイを使用した。ストライプを構成する各々のアクリル系粘着剤の幅は１．０ｍｍ、厚さは７μｍとし、隣り合うアクリル系粘着剤の中心線間距離であるピッチＰ２は２．３μｍとした。多孔質シートの当該一方の面の面積に占める粘着剤の面積の割合（占有率）は４３．５％であった。また、上述した方法により評価した両面粘着層のゲル分率は３０％であった。準備した多孔質シート及び粘着剤層の厚さは、マイクロメーター（ミツトヨ製）を用いて、又は顕微鏡による断面の観察像を解析することにより、評価した。なお、使用したアクリル系粘着剤は、以下のように準備した。

　最初に、２－エチルヘキシルアクリレート９５重量部、アクリル酸５重量部、有機過酸化物系架橋剤である過酸化ベンゾイル（ＢＰＯ）０．２重量部、及び酢酸エチル１００重量部を配合し、窒素ガスによる置換を２時間実施した。次に、窒素ガスによる置換環境下、６０℃で６時間重合を進行させて、重量平均分子量８０万のアクリル系ポリマーを得た。次に、得られたアクリル系ポリマーの固形分１００重量部に対して、三官能性イソシアネート化合物（商品名：コロネートＬ、東ソー製）及び多官能エポキシ樹脂（商品名：ＴＥＴＲＡＤ－Ｃ、三菱ガス化学製）を、それぞれ０．１４重量部及び０．００７重量部配合して、上記アクリル系粘着剤を準備した。

　（実施例２）
　準備した多孔質シート２における一方の面の全体にアクリル系粘着剤をドット状に塗布することで基材レスの両面粘着層である粘着層３を形成した以外は、実施例１と同様にして、実施例２の吸着固定用シートを得た。得られた吸着固定用シートは、多孔質シート２の上記一方の面に垂直な方向から見て、当該一方の面に対してドット状に粘着剤６が配置されてなる粘着層３（厚さ７μｍ）を備えていた。アクリル系粘着剤の塗布には、グラビア印刷機（グラビアロール）を使用した。ドットを構成する各々のアクリル系粘着剤の形状及びサイズは、上記一方の面に垂直な方向から見て、直径０．９２ｍｍ及び厚さ７μｍの円形とし、最近接するアクリル系粘着剤の中心間距離であるピッチＰ１は１．０６ｍｍとした。多孔質シートの当該一方の面の面積に占める粘着剤の面積の割合（占有率）は６８．１％であった。

　（実施例３）
　多孔質シートとして、実施例１で使用したＵＨＭＷＰＥ粒子の焼結シートを準備した。これとは別に、ＰＥＴの基材（厚さ１２μｍ）の双方の面にアクリル系粘着剤層（いずれも厚さ９μｍ）が形成されているシート（日東電工製、Ｎｏ．５６０３、厚さ３０μｍ、サイズ１００ｍｍ×１００ｍｍ）を両面粘着シートとして準備した。上述した方法により評価したアクリル系粘着剤層のゲル分率は９％であった。次に、準備した両面粘着シートに対し、金型を用いたプレス加工により、表面に垂直な方向に当該シートを貫通する複数の貫通孔を形成した。貫通孔の断面及び開口の形状は円形とした。言い換えると、形成した貫通孔の形状は円柱状であった。貫通孔は、図５に示すように、当該シートの面に垂直な方向から見て正三角格子の交点に位置するように、当該シートの全体にわたり形成した。形成した各々の貫通孔の直径（開口径）は２．０ｍｍとし、最近接する貫通孔の中心間距離（ピッチ）Ｐ１は３．０ｍｍとした。両面粘着シートの開口率は４０．３％であった。準備した両面粘着シートの基材及び粘着剤層の厚さ、ならびに両面粘着シートの厚さは、顕微鏡による断面の観察像を解析することにより評価した。

　次に、準備した多孔質シートと両面粘着シートとを、両面粘着シートの粘着剤層が多孔質シートに接するように、かつ双方のシートの外縁が一致するように接合して実施例３の吸着固定用シートを得た。

　（比較例１）
　シム板を変更することにより、ストライプを構成する各々のアクリル系粘着剤の幅を１．１ｍｍ、厚さを２１μｍ、ピッチＰ２を２．７μｍとした以外は実施例１と同様にして、多孔質シートの一方の面に垂直な方向から見て、当該一方の面に対してストライプ状に粘着剤が配置されてなる基材レスの両面粘着層を粘着層として備える吸着固定用シートを得た。多孔質シートの当該一方の面の面積に占める粘着剤の面積の割合（占有率）は４１．５％であった。

　（比較例２）
　シム板を変更することにより、ストライプを構成する各々のアクリル系粘着剤の幅を１．９ｍｍ、厚さを３１μｍ、ピッチＰ２を３．１μｍとした以外は実施例１と同様にして、多孔質シートの一方の面に垂直な方向から見て、当該一方の面に対してストライプ状に粘着剤が配置されてなる基材レスの両面粘着層を備える吸着固定用シートを得た。多孔質シートの当該一方の面の面積に占める粘着剤の面積の割合（占有率）は６１．５％であった。

　実施例１～３及び比較例１，２の吸着固定用シートに対する上記各特性の評価結果を、以下の表１に示す。なお、表１には、各実施例及び比較例において使用した多孔質シート単体の上記各特性、及び多孔質シート単体の被吸着力を「１」としたときの各実施例及び比較例の被吸着力の比（被吸着力率）を併せて示す。なお、多孔質シート単体に対する真空到達圧、面内方向の通気度及び被吸着力の測定は、粘着層を介して当該シートを固定することなく、吸着固定台２１上に当該シートを単に戴置した以外は、上記方法により実施した。

　本発明の吸着固定用シートは、従来の吸着固定用シートと同様の用途に使用できる。

Claims (11)

1. 　吸着装置の吸着面への配置により吸着対象物と前記吸着面との接触を防ぐ吸着固定用シートであって、
   　厚さ方向に通気性を有する多孔質シートと、前記多孔質シートの一方の面に配置された、厚さ方向に通気性を有する粘着層と、を備え、
   　前記粘着層は、架橋された粘着剤を含み、
   　シート面積を１００ｃｍ²としたときの被吸着力が４５０Ｎ以上である吸着固定用シート。
   　ただし、前記被吸着力は、前記粘着層を介して前記吸着固定用シートを所定の吸着固定台に固定し、かつ無通気性の測定用シートを前記吸着固定用シートにおける前記多孔質シート側の面に積層した状態で、前記吸着固定台に吸着力を発生させたときに、当該吸着固定台に生じた真空到達圧（ｋＰａ）から、式：真空到達圧（ｋＰａ）×シート面積１００ｃｍ²により求めた値である。
2. 　前記粘着層が、複数の貫通孔が設けられた、基材を有する両面粘着シートである請求項１に記載の吸着固定用シート。
3. 　前記吸着装置による前記吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、前記両面粘着シートにおける前記貫通孔の開口率が６０％以下である請求項２に記載の吸着固定用シート。
4. 　前記粘着層が、前記多孔質シートの一方の面に互いに間隔を置いて配置された複数の前記粘着剤により構成される層である請求項１に記載の吸着固定用シート。
5. 　前記吸着装置による前記吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、前記多孔質シートの前記一方の面に垂直な方向から見た前記複数の粘着剤の形状及び面積が同一である請求項４に記載の吸着固定用シート。
6. 　前記吸着装置による前記吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、前記複数の粘着剤の配置の間隔が一定である請求項４又は５に記載の吸着固定用シート。
7. 　前記吸着装置による前記吸着対象物の吸着時に当該対象物に接する領域において、
   　前記多孔質シートの前記一方の面に垂直な方向から見て、当該一方の面の面積に占める前記粘着剤の面積の合計の割合が４０％以上である請求項４～６のいずれかに記載の吸着固定用シート。
8. 　前記粘着層の厚さが１～３００μｍである請求項１～７のいずれかに記載の吸着固定用シート。
9. 　前記多孔質シートが、超高分子量ポリエチレン粒子の焼結シートである請求項１～８のいずれかに記載の吸着固定用シート。
10. 　厚さ方向の通気度が、ＪＩＳ　Ｌ１０９６：２０１０に定められた通気性測定Ａ法（フラジール形法）に準拠して測定したフラジール数で表示して、０．１ｃｍ³／（ｃｍ²・秒）以上である請求項１～９のいずれかに記載の吸着固定用シート。
11. 　前記多孔質シート側の面における表面抵抗率が１．０×１０¹²Ω／□以下である請求項１～１０のいずれかに記載の吸着固定用シート。

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