JPH0922935A - 吸着固定用シート - Google Patents
吸着固定用シートInfo
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- Manufacture Of Porous Articles, And Recovery And Treatment Of Waste Products (AREA)
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Abstract
液晶用ガラス板や半導体ウェハの精密塗工、偏光板と位
相差板あるいはこれらとガラス板との精密貼り合わせ等
を吸着固定法により行う場合に用いる吸着固定用シート
を提供する。 【構成】 プラスチック多孔質シートから成り、摩擦係
数が0.3以下であり、且つ、摩耗量が0.1mm以下
であることを特徴とするシートである。
Description
トから成る吸着固定用シートに関するものである。
断、液晶用ガラス板や半導体ウェハへの精密塗工、偏光
板と位相差板あるいはこれらとガラス板との精密貼り合
わせ等の加工に際しては、これらの被加工体が位置ズレ
しないように固定して作業している。
されている。この方法は、例えば、図1に示すように、
上面に所定個数の通気孔1を設けると共に所定位置に吸
引孔2を設けた基台(金属等の機械的強度を有する材料
から成る)3を用い、基台3の通気孔形成面上に被加工
体4を載置し、吸引孔2に接続された真空ポンプ(図示
省略)により減圧し基台1の内部を減圧状態とすること
により、被加工体4を基台1上に吸着固定しその位置ズ
レを防止して、これを加工するものである。
あり、また、加工時の位置ズレを防止できる利点を有す
る反面、被加工体表面に基台との接触摩擦による微小な
傷を生じ易い。この微小傷の発生を回避するため、基台
3の通気孔形成面上にゴムシート、紙あるいは不織布を
保護材5として介在させることが提案されている。
摩擦係数が大きいため、加工の途中や終了後に被加工体
を移動させる際の作業性が悪いという問題がある。ま
た、紙や不織布は摩擦係数がゴムシートよりも小さく被
加工体の移動の容易性という点ではゴムシートよりも有
利なものの、被加工体の接触により損傷され易くて寿命
が短いため頻繁に交換する必要がある。
長寿命である吸着固定用シートを提供することを目的と
する。
シートは摩擦係数が0.3以下であり、且つ、摩耗量が
0.1mm以下であるプラスチック多孔質シートから成
るものである。
ック多孔質シートから成るものであり、その材質は特に
限定されないが、摩擦係数が低く、しかも耐摩耗性が優
れている点からポリエチレン、超高分子量ポリエチレン
(以下、「UHMWPE」という)あるいはナイロンか
ら成るものが好適である。この吸着固定用シートは径が
約1μm〜5mmの孔を多数有するものであり、延伸
法、抽出法あるいはプラスチックシートに貫通孔を形成
する方法等により得ることができる。また、その厚さは
通常約0.05〜10mmである。
摩擦係数が0.3以下であり、且つ、摩耗量が0.1m
m以下である必要がある。摩擦係数が0.3を超えると
きは吸着固定作業中や作業終了後における被加工体の移
動に際し滑り性が悪くなり作業性が低下し、また、摩耗
量が0.1mmを超えると耐久性が低下するのでいずれ
も好ましくない。
にUHMWPEから形成されたものであってよい。UH
MWPEは、一般のポリエチレンの分子量(粘度法によ
る測定値)が約10万以下であるのに対し、約50万以
上の高い値を示す点で特異である。かようなUHMWP
Eは、例えば、三井石油化学工業社から「ハイゼックス
・ミリオン」、ヘキスト社から「ホスタレンGUR」等
の商品名で市販されている。
定用シートは次に述べる方法により得ることができる。
この方法はUHMWPE粉末を金型に充填し、次いで、
これをUHMWPEの融点以上の温度に加熱された水蒸
気雰囲気中で焼結してブロック状成形体(多孔質体)と
した後冷却し、この成形体を所定厚さのシートに切削す
るものである。
粉末(粒径は通常30〜200μm)を金型に充填し、
次いで、これをUHMWPEの融点以上に加熱された水
蒸気雰囲気中で焼結してブロック状成形体とする。この
ようにUHMWPE粉末を金型に充填し、これを加熱さ
れた水蒸気雰囲気中で焼結するので、金型としては少な
くとも一つの開口部(加熱水蒸気導入用)を有するもの
を用いる。焼結に要する時間は粉末の充填量や水蒸気の
温度等によって変わるが、通常、約1〜12時間であ
る。
点以上に昇温させるため、加圧状態とされるので、金型
に充填されたUHMWPE粉末間に容易に進入すること
ができる。なお、UHMWPE粉末間への加熱水蒸気の
進入をより容易にするため、該粉末を金型に充填し、こ
の金型を耐圧容器に入れ、減圧状態とする脱気操作を施
し、その後加熱された水蒸気雰囲気中で焼結するように
してもよい。この際の減圧度合いは特に限定されない
が、約1〜100mmHgが好ましい。
末の焼結は、前記耐圧容器に水蒸気導入管およびその開
閉バルブを設けておき、該粉末間の空気を脱気した後、
減圧を止めあるいは減圧を続けながら、水蒸気バルブを
開いて加熱水蒸気を導入する方法によって行うことがで
きる。
融点以上の温度に加熱されるがその溶融粘度が高いので
あまり流動せず、その粉末形状を一部乃至大部分維持
し、隣接する粉末相互がその接触部位において熱融着し
多孔質のブロック状成形体(粉末相互の非接触部が該多
孔質成形体の微孔となる)が形成される。なお、焼結に
際し、所望により加圧することもできるが、その圧力
は、通常、約10kg/cm2 以下とするのが好まし
い。
る。冷却に際してはブロック状成形体への亀裂の発生を
防止するため、急冷を避けるのが好ましく、例えば、室
温に放置して冷却する方法を採用できる。なお、冷却は
ブロック状成形体を金型に入れたまま行ってもよく、あ
るいは金型から取り出して行ってもよい。このようにし
てブロック状成形体を冷却した後、旋盤等により所定厚
さに切削することにより、多孔質シートを得ることがで
きる。
孔の孔径、気孔率は用いるUHMWPE粉末の粒径や焼
結時における加圧の有無によって決定される。他の条件
が同じであれば、用いた粉末の粒径が大きい程微孔の孔
径が大きく、気孔率の高い多孔質シートが得られる。ま
た、焼結時に加圧しない場合は加圧した場合に比べ微孔
の孔径が大きく、気孔率の高い多孔質シートが得られ
る。更に、焼結時に加圧加圧した場合はその圧力が高い
程微孔の孔径が小さく、気孔率の低い多孔質シートが得
られる。
処理されたものであってもよい。帯電防止処理を施すこ
とにより、例えば、半導体ウェハのダイシング工程にお
いて吸着固定用シートの帯電によるスパークを回避で
き、スパークに起因するウェハの損傷を防止できる。ま
た、塵やゴミが半導体ウェハ等の被加工体に付着するこ
とも防止できる。
ある必要はなく、通常の方法を採用できる。例えば、プ
ラスチック粉末と帯電防止剤を混合し、この混合物を用
いて吸着固定用シートを製造すればよい。また、このシ
ートを帯電防止剤含有液と接触(浸漬、塗布等)させ、
該シートに帯電防止剤を含浸させる方法を採用すること
もできる。この処理を行う場合の帯電防止剤の使用量は
特に限定されないが、通常、吸着固定用シートの重量中
に占める帯電防止剤の割合が0.1〜2重量%の範囲と
なるようにする。
W(ニューファインケミカル株式会社製)」、「エレク
トロストリッパー(花王株式会社製)」等の市販品を用
いることができ、また、カーボンブラック粉末、金属粉
末等の無機質導電性材料を用いることができる。
たものであってもよい。プラスチック多孔質シートは通
常白色不透明であるが、これを任意の色に着色した場合
には、例えば、次のような利点がある。多孔質シートを
吸着固定用シートとして液晶用ガラス板の切断に用いた
場合、スクライビング工程においてガラス板にスクライ
ブ痕を生じるが、シートが白色であるとこのスクライブ
痕の視認が困難となり、加工不良(スクライブ深さが設
計どおりでない、設計場所以外にスクライブ痕がある等
の不良)を見逃す恐れがある。しかし、このシートを白
色以外の任意の色に着色しておけば、スクライブ痕の白
色とシートの色の対比により、このスクライブ痕を容易
に視認でき、不良品をより確実に捕捉除去できる。
加工体を吸着固定するには、図1に示すのと同様な通気
孔を有する基台上に、このシートを配置し、このシート
上に被加工体を載置し、前記通気孔を介して基台におけ
るシート配置側の反対側を減圧する。この減圧により被
加工体は吸着固定される。なお、所望により基台と吸着
固定用シートの間にゴムシート(多数の貫通孔を形成し
たもの)やステンレス板(多数の貫通孔を形成したも
の)を介在させてもよい。
用いるので、その片面に部分的(筋状、点状、網目状
等)に接着剤層を設けておけば、使用時その配置が容易
となるばかりでなく、その後の位置ズレをより確実に防
止できるので好ましい。なお、接着剤としては接着作業
性、および該シートを交換する際における剥離の容易性
を考慮すると感圧性接着剤が好ましいが、ホットメルト
接着剤や熱硬化型接着剤等を用いることもできる。
する。
UHMWPE粉末(分子量500万、融点135℃、平
均粒径110μm)を充填し、該粉末を90g/cm2
の割合で加圧する。
びその開閉バルブを備える)に入れ、真空ポンプを作動
させて雰囲気圧を30mmHgまで減圧することによ
り、充填された粉末間の空気を脱気する。
ルブを開き水蒸気(温度158℃、6気圧)を導入して
60分間加熱することによりUHMWPE粉末を焼結
し、丸棒状多孔質体を得る。
置して冷却した後金型から丸棒状成形体(外径約105
mm)を取り出し、旋盤によりその周方向に沿って厚さ
500μmに切削して白色不透明の多孔質シート(気孔
率30%、平均孔径30μm)を得た。
このナイロンシートにドリルにて直径2mmの貫通孔を
1cm2 当たり1個の割合で形成して多孔質の吸着固定
用シートを得た。
トを用いること以外は実施例2と同様に作業し多孔質の
吸着固定用シートを得た。
意した。上記実施例および比較例のシートの特性を下記
要領で測定し、得られた結果を表1に示す。
ク製、AST−15B型往復動摩擦摩耗試験機)を用い
て摩擦係数を測定した。なお、相手材としては厚さ50
μmのポリエチレンテレフタレートフィルムを用い、荷
重200g、摺動速度150mm/minに設定した。
−III−F)を用いて摩耗量を測定した。なお、相手
材としては#320サンドペーパーで研磨したステンレ
ス板(厚さ1mm)を用い、接触面積2cm2 、荷重5
kg、摺動速度300mm/sec、摺動時間2時間に
設定した。そして、吸着固定用シートの試験前の厚さか
ら試験後の厚さを減じて摩耗量(単位は「mm」であ
る)とした。
較例で得た吸着固定用シートを配置し、このシート上に
液晶用ガラス板(厚さ0.8mm、縦350mm、横2
50mm)を載置する。そして、真空ポンプにより吸引
して該ガラス板をシート上に吸着固定し、ダイヤモンド
カッターによるスクライブ加工(ガラス板に所定の傷を
入れる加工、本試験では傷の深さを約70μmに設定し
た)を行う。スクライブ加工の終了したガラス板を未加
工のガラス板と交換し、同様に加工する。このスクライ
ブ加工を繰り返すとガラス板のエッジで吸着固定用シー
トがじょじょに損傷され、そのためスクライブ加工の直
線精度が損なわれるようになり、ブレーク工程(スクラ
イブ加工後に、スクライブ痕を起点としてガラス板を割
る工程)において割れ面の精度が損なわれるようにな
る。この割れ面の平面精度が0.2mm/250mmを
越えるまでに加工できるガラス板の枚数を数えた。
定用シートを多孔質としたので、摩擦係数が低く、ま
た、摩耗量が小さく寿命が長いという利点がある。
Claims (2)
- 【請求項1】 摩擦係数が0.3以下であり、且つ、摩
耗量が0.1mm以下であるプラスチック多孔質シート
から成る吸着固定用シート。 - 【請求項2】 帯電防止処理が施された請求項1に記載
の吸着固定用シート。
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---|---|---|---|
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- 1995-07-06 JP JP17082195A patent/JP3727687B2/ja not_active Expired - Lifetime
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