JPH08257474A - 吸着固定用シートおよびその固定用シートを用いる吸着固定方法 - Google Patents
吸着固定用シートおよびその固定用シートを用いる吸着固定方法Info
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- JPH08257474A JPH08257474A JP6364295A JP6364295A JPH08257474A JP H08257474 A JPH08257474 A JP H08257474A JP 6364295 A JP6364295 A JP 6364295A JP 6364295 A JP6364295 A JP 6364295A JP H08257474 A JPH08257474 A JP H08257474A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 液晶用ガラス板、半導体ウエハ、セラミック
コンデンサやセラミック基板の精密切断、液晶用ガラス
板や半導体ウエハへの精密塗工等を吸着固定法により行
う場合に用いる吸着固定用シートおよびそのシートを用
いる吸着固定法に関するものである。 【構成】 通気性シートの少なくとも片面に部分的に接
着剤層が設けられた吸着固定用シートであり、このシー
トを用いて吸着固定するにはこれを基台上に配置し、通
気性シートに部分的に設けられた接着剤層に被加工体を
接着する。
コンデンサやセラミック基板の精密切断、液晶用ガラス
板や半導体ウエハへの精密塗工等を吸着固定法により行
う場合に用いる吸着固定用シートおよびそのシートを用
いる吸着固定法に関するものである。 【構成】 通気性シートの少なくとも片面に部分的に接
着剤層が設けられた吸着固定用シートであり、このシー
トを用いて吸着固定するにはこれを基台上に配置し、通
気性シートに部分的に設けられた接着剤層に被加工体を
接着する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は吸着固定に用いるシー
ト、および該シートを用いる吸着固定方法に関するもの
である。
ト、および該シートを用いる吸着固定方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】液晶用ガラス板、半導体ウェハ、セラミ
ックコンデンサやセラミック基板の精密切断、液晶用ガ
ラス板や半導体ウェハへの精密塗工等の加工に際して
は、これらの被加工体が位置ズレしないように固定して
作業している。
ックコンデンサやセラミック基板の精密切断、液晶用ガ
ラス板や半導体ウェハへの精密塗工等の加工に際して
は、これらの被加工体が位置ズレしないように固定して
作業している。
【０００３】上記被加工体の固定には真空吸着法が採用
されている。この方法は、例えば、図２に示すように、
上面に所定個数の通気孔１を設けると共に所定位置に吸
引孔２を設けた基台（金属等の機械的強度を有する材料
から成る）３を用い、基台３の通気孔形成面上に被加工
体６を載置し、吸引孔２に接続された真空ポンプ（図示
省略）により減圧し基台１の内部を減圧状態とすること
により、被加工体４を基台１上に吸着固定しその位置ズ
レを防止して、これを加工するものである。
されている。この方法は、例えば、図２に示すように、
上面に所定個数の通気孔１を設けると共に所定位置に吸
引孔２を設けた基台（金属等の機械的強度を有する材料
から成る）３を用い、基台３の通気孔形成面上に被加工
体６を載置し、吸引孔２に接続された真空ポンプ（図示
省略）により減圧し基台１の内部を減圧状態とすること
により、被加工体４を基台１上に吸着固定しその位置ズ
レを防止して、これを加工するものである。
【０００４】そして、通常、この加工に際してはプラス
チックフィルムから成る基材７の片面全面に接着剤層８
を形成した粘着テープを用い、該接着剤層８上に被加工
体６を接着させている。この粘着テープは被加工体を吸
着固定して加工した後、基台から取り外すまでの間の被
加工体の不用意な移動を防止するために用いるものであ
る。
チックフィルムから成る基材７の片面全面に接着剤層８
を形成した粘着テープを用い、該接着剤層８上に被加工
体６を接着させている。この粘着テープは被加工体を吸
着固定して加工した後、基台から取り外すまでの間の被
加工体の不用意な移動を防止するために用いるものであ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、基材の片面全
面に接着剤層を設けて成る粘着テープを用いる方法にお
いては、接着力が大き過ぎて加工後に被加工体を接着剤
層から剥離するのに手間取るという問題があった。
面に接着剤層を設けて成る粘着テープを用いる方法にお
いては、接着力が大き過ぎて加工後に被加工体を接着剤
層から剥離するのに手間取るという問題があった。
【０００６】従って、本発明は加工後に被加工体を容易
に剥離することができる吸着固定用シートを提供するこ
とをその目的とする。
に剥離することができる吸着固定用シートを提供するこ
とをその目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者は従来技術の有
する上記問題を解決するため鋭意研究の結果、吸着固定
用シートの基材として通気性シートを用い、その表面に
接着剤層を特定形状に設けることにより所期の目的を達
成できることを見い出し、本発明を完成するに至ったも
のである。
する上記問題を解決するため鋭意研究の結果、吸着固定
用シートの基材として通気性シートを用い、その表面に
接着剤層を特定形状に設けることにより所期の目的を達
成できることを見い出し、本発明を完成するに至ったも
のである。
【０００８】即ち、本発明に係る吸着固定用シートは通
気性シートの少なくとも片面に部分的に接着剤層が設け
られていることを特徴とするものである。
気性シートの少なくとも片面に部分的に接着剤層が設け
られていることを特徴とするものである。
【０００９】本発明に係る吸着固定用シートの基材とし
ての通気性シートの材質は特に限定はなく、例えば、ポ
リエチレン、超高分子量ポリエチレン（以下、「ＵＨＭ
ＷＰＥ」という）、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポ
リアミド、ポリエステル、アクリル、フッ素樹脂等の高
分子材料から成るものを使用できる。そして、通気性を
有するための形態も限定されず、織布、不織布、多孔質
シート等を用いることができる。
ての通気性シートの材質は特に限定はなく、例えば、ポ
リエチレン、超高分子量ポリエチレン（以下、「ＵＨＭ
ＷＰＥ」という）、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポ
リアミド、ポリエステル、アクリル、フッ素樹脂等の高
分子材料から成るものを使用できる。そして、通気性を
有するための形態も限定されず、織布、不織布、多孔質
シート等を用いることができる。
【００１０】これら通気性シートの通気度や厚さは、被
加工体のサイズ、減圧装置の排気量等に応じて設定でき
るが、通常、通気度はガーレー値で約２０００秒／１０
０ｃｍ3 以下、厚さは約０．０５〜１０ｍｍである。通
気性シートとしての多孔質シートは、通常、気孔率約１
０〜８０％、微細孔の平均孔径約１〜５００μｍであ
る。
加工体のサイズ、減圧装置の排気量等に応じて設定でき
るが、通常、通気度はガーレー値で約２０００秒／１０
０ｃｍ3 以下、厚さは約０．０５〜１０ｍｍである。通
気性シートとしての多孔質シートは、通常、気孔率約１
０〜８０％、微細孔の平均孔径約１〜５００μｍであ
る。
【００１１】上記したように通気性シートは種々の高分
子材料から成るものであってよいが、通気度や厚さの設
定の自由度が大きい点からはＵＨＭＷＰＥ製のものが好
適である。ＵＨＭＷＰＥは、一般のポリエチレンの分子
量（粘度法による測定値）が約１０万以下であるのに対
し、約５０万以上の高い値を示す点で特異である。かよ
うなＵＨＭＷＰＥは、例えば、三井石油化学工業社から
「ハイゼックス・ミリオン」、ヘキスト社から「ホスタ
レンＧＵＲ」等の商品名で市販されている。
子材料から成るものであってよいが、通気度や厚さの設
定の自由度が大きい点からはＵＨＭＷＰＥ製のものが好
適である。ＵＨＭＷＰＥは、一般のポリエチレンの分子
量（粘度法による測定値）が約１０万以下であるのに対
し、約５０万以上の高い値を示す点で特異である。かよ
うなＵＨＭＷＰＥは、例えば、三井石油化学工業社から
「ハイゼックス・ミリオン」、ヘキスト社から「ホスタ
レンＧＵＲ」等の商品名で市販されている。
【００１２】このＵＨＭＷＰＥは溶融粘度が高く融点以
上に加熱しても流動し難いので、多孔質シートを製造す
るに際しては他の高分子材料とは異なる方法を採用する
ことができる。ここでＵＨＭＷＰＥ多孔質シートの製造
法の一例を述べる。該多孔質シートは、例えば、ＵＨＭ
ＷＰＥ粉末を金型に充填し、次いで、これをＵＨＭＷＰ
Ｅの融点以上の温度に加熱された水蒸気雰囲気中で焼結
してブロック状成形体とした後冷却し、この成形体を所
定厚さのシートに切削する方法により製造できる。
上に加熱しても流動し難いので、多孔質シートを製造す
るに際しては他の高分子材料とは異なる方法を採用する
ことができる。ここでＵＨＭＷＰＥ多孔質シートの製造
法の一例を述べる。該多孔質シートは、例えば、ＵＨＭ
ＷＰＥ粉末を金型に充填し、次いで、これをＵＨＭＷＰ
Ｅの融点以上の温度に加熱された水蒸気雰囲気中で焼結
してブロック状成形体とした後冷却し、この成形体を所
定厚さのシートに切削する方法により製造できる。
【００１３】この方法においては、先ず、ＵＨＭＷＰＥ
粉末（粒径は通常３０〜２００μｍ）を金型に充填し、
次いで、これをＵＨＭＷＰＥの融点以上に加熱された水
蒸気雰囲気中で焼結してブロック状成形体とする。この
ようにＵＨＭＷＰＥ粉末を金型に充填し、これを加熱さ
れた水蒸気雰囲気中で焼結するので、金型としては少な
くとも一つの開口部（加熱水蒸気導入用）を有するもの
を用いる。焼結に要する時間は粉末の充填量や水蒸気の
温度等によって変わるが、通常、約１〜１２時間であ
る。
粉末（粒径は通常３０〜２００μｍ）を金型に充填し、
次いで、これをＵＨＭＷＰＥの融点以上に加熱された水
蒸気雰囲気中で焼結してブロック状成形体とする。この
ようにＵＨＭＷＰＥ粉末を金型に充填し、これを加熱さ
れた水蒸気雰囲気中で焼結するので、金型としては少な
くとも一つの開口部（加熱水蒸気導入用）を有するもの
を用いる。焼結に要する時間は粉末の充填量や水蒸気の
温度等によって変わるが、通常、約１〜１２時間であ
る。
【００１４】この際に用いる水蒸気はＵＨＭＷＰＥの融
点以上に昇温させるため、加圧状態とされるので、金型
に充填されたＵＨＭＷＰＥ粉末間に容易に進入すること
ができる。なお、ＵＨＭＷＰＥ粉末間への加熱水蒸気の
進入をより容易にするため、該粉末を金型に充填し、こ
の金型を耐圧容器に入れ、減圧状態とする脱気操作を施
し、その後加熱された水蒸気雰囲気中で焼結するように
してもよい。この際の減圧度合いは特に限定されない
が、約１〜１００ｍｍＨｇが好ましい。
点以上に昇温させるため、加圧状態とされるので、金型
に充填されたＵＨＭＷＰＥ粉末間に容易に進入すること
ができる。なお、ＵＨＭＷＰＥ粉末間への加熱水蒸気の
進入をより容易にするため、該粉末を金型に充填し、こ
の金型を耐圧容器に入れ、減圧状態とする脱気操作を施
し、その後加熱された水蒸気雰囲気中で焼結するように
してもよい。この際の減圧度合いは特に限定されない
が、約１〜１００ｍｍＨｇが好ましい。
【００１５】従って、金型に充填されたＵＨＭＷＰＥ粉
末の焼結は、前記耐圧容器に水蒸気導入管およびその開
閉バルブを設けておき、該粉末間の空気を脱気した後、
減圧を止めあるいは減圧を続けながら、水蒸気バルブを
開いて加熱水蒸気を導入する方法によって行うことがで
きる。
末の焼結は、前記耐圧容器に水蒸気導入管およびその開
閉バルブを設けておき、該粉末間の空気を脱気した後、
減圧を止めあるいは減圧を続けながら、水蒸気バルブを
開いて加熱水蒸気を導入する方法によって行うことがで
きる。
【００１６】この焼結時において、ＵＨＭＷＰＥ粉末は
融点以上の温度に加熱されるがその溶融粘度が高いので
あまり流動せず、その粉末形状を一部乃至大部分維持
し、隣接する粉末相互がその接触部位において熱融着し
多孔質のブロック状成形体（粉末相互の非接触部が該多
孔質成形体の微孔となる）が形成される。なお、焼結に
際し、所望により加圧することもできるが、その圧力
は、通常、約１０ｋｇ／ｃｍ2 以下とするのが好まし
い。
融点以上の温度に加熱されるがその溶融粘度が高いので
あまり流動せず、その粉末形状を一部乃至大部分維持
し、隣接する粉末相互がその接触部位において熱融着し
多孔質のブロック状成形体（粉末相互の非接触部が該多
孔質成形体の微孔となる）が形成される。なお、焼結に
際し、所望により加圧することもできるが、その圧力
は、通常、約１０ｋｇ／ｃｍ2 以下とするのが好まし
い。
【００１７】上記のようにして焼結を行った後、冷却す
る。冷却に際してはブロック状成形体への亀裂の発生を
防止するため、急冷を避けるのが好ましく、例えば、室
温に放置して冷却する方法を採用できる。なお、冷却は
ブロック状成形体を金型に入れたまま行ってもよく、あ
るいは金型から取り出して行ってもよい。このようにし
てブロック状成形体を冷却した後、旋盤等により所定厚
さに切削することにより、多孔質シートを得ることがで
きる。
る。冷却に際してはブロック状成形体への亀裂の発生を
防止するため、急冷を避けるのが好ましく、例えば、室
温に放置して冷却する方法を採用できる。なお、冷却は
ブロック状成形体を金型に入れたまま行ってもよく、あ
るいは金型から取り出して行ってもよい。このようにし
てブロック状成形体を冷却した後、旋盤等により所定厚
さに切削することにより、多孔質シートを得ることがで
きる。
【００１８】上記方法により得られる多孔質シートの微
孔の孔径、気孔率は用いるＵＨＭＷＰＥ粉末の粒径や焼
結時における加圧の有無によって決定される。他の条件
が同じであれば、用いた粉末の粒径が大きい程微孔の孔
径が大きく、気孔率の高い多孔質シートが得られる。ま
た、焼結時に加圧しない場合は加圧した場合に比べ微孔
の孔径が大きく、気孔率の高い多孔質シートが得られ
る。更に、焼結時に加圧した場合はその圧力が高い程微
孔の孔径が小さく、気孔率の低い多孔質シートが得られ
る。
孔の孔径、気孔率は用いるＵＨＭＷＰＥ粉末の粒径や焼
結時における加圧の有無によって決定される。他の条件
が同じであれば、用いた粉末の粒径が大きい程微孔の孔
径が大きく、気孔率の高い多孔質シートが得られる。ま
た、焼結時に加圧しない場合は加圧した場合に比べ微孔
の孔径が大きく、気孔率の高い多孔質シートが得られ
る。更に、焼結時に加圧した場合はその圧力が高い程微
孔の孔径が小さく、気孔率の低い多孔質シートが得られ
る。
【００１９】本発明においては上記の通気性シートの少
なくとも片面に部分的（点状、筋状、網目状等）に接着
剤層が設けられる。接着剤層をこのように部分的に設け
ることにより、被加工体を適度な接着力で接着でき、加
工終了後に容易に剥離できるのである。なお、接着剤と
しては接着作業や剥離作業の容易さから、ゴム系、アク
リル系、シリコーン系等の感圧性接着剤を用いるのが好
適であるが、所望によりホットメルト型接着剤を用いる
こともできる。
なくとも片面に部分的（点状、筋状、網目状等）に接着
剤層が設けられる。接着剤層をこのように部分的に設け
ることにより、被加工体を適度な接着力で接着でき、加
工終了後に容易に剥離できるのである。なお、接着剤と
しては接着作業や剥離作業の容易さから、ゴム系、アク
リル系、シリコーン系等の感圧性接着剤を用いるのが好
適であるが、所望によりホットメルト型接着剤を用いる
こともできる。
【００２０】本発明に係る吸着固定用シートを用いて被
加工体を吸着固定する方法においては、例えば、図１に
示すように通気孔１および吸引孔２を有する基台３上
に、通気性シート４の片面に部分的（図に示す例では点
状）に接着剤層５を設けて成る吸着固定用シートをその
接着剤層５が基台３と反対側になるように配置すると共
に、該接着剤層５により被加工体６を接着し、次いで、
前記通気孔１を介して基台３における吸着固定用シート
配置側の反対側を減圧する。この減圧により被加工体６
は固定用シート上に吸着固定される。
加工体を吸着固定する方法においては、例えば、図１に
示すように通気孔１および吸引孔２を有する基台３上
に、通気性シート４の片面に部分的（図に示す例では点
状）に接着剤層５を設けて成る吸着固定用シートをその
接着剤層５が基台３と反対側になるように配置すると共
に、該接着剤層５により被加工体６を接着し、次いで、
前記通気孔１を介して基台３における吸着固定用シート
配置側の反対側を減圧する。この減圧により被加工体６
は固定用シート上に吸着固定される。
【００２１】かような本発明の方法によれば、被加工体
が吸着固定用シートの接着剤層に接着されると共に減圧
によっても吸着固定されるので、加工時に被加工体が位
置ズレを起こすようなことがない。
が吸着固定用シートの接着剤層に接着されると共に減圧
によっても吸着固定されるので、加工時に被加工体が位
置ズレを起こすようなことがない。
【００２２】本発明に係る吸着固定方法には通気性シー
トの両面に部分的に接着剤層を設けて成る吸着固定用シ
ートを用いることができ、この場合は該固定用シートを
その片側の接着剤層により通気孔を有する基台上に接着
させると共に、反対側の接着剤層により被加工体を接着
し、次いで、通気孔を介して減圧することにより被加工
体を該固定用シート上に固定する。
トの両面に部分的に接着剤層を設けて成る吸着固定用シ
ートを用いることができ、この場合は該固定用シートを
その片側の接着剤層により通気孔を有する基台上に接着
させると共に、反対側の接着剤層により被加工体を接着
し、次いで、通気孔を介して減圧することにより被加工
体を該固定用シート上に固定する。
【００２３】なお、被加工体はこのように吸着固定して
所定の加工を施し、その後吸着固定用シートから剥離す
る必要がある。従って、その剥離を容易とするため、被
加工体と吸着固定用シートの接着剤層との接着力は１０
〜５００ｇｆ／ｃｍ2 とするのが好ましいことが判明し
ている。この接着力は被加工体を吸着固定用シートの接
着剤層に接着させ、これらを各々引張試験機のチャック
でつかみ、温度２５℃、剥離速度５０ｍｍ／ｍｉｎの条
件で垂直方向に引き剥がす方法により測定できる。
所定の加工を施し、その後吸着固定用シートから剥離す
る必要がある。従って、その剥離を容易とするため、被
加工体と吸着固定用シートの接着剤層との接着力は１０
〜５００ｇｆ／ｃｍ2 とするのが好ましいことが判明し
ている。この接着力は被加工体を吸着固定用シートの接
着剤層に接着させ、これらを各々引張試験機のチャック
でつかみ、温度２５℃、剥離速度５０ｍｍ／ｍｉｎの条
件で垂直方向に引き剥がす方法により測定できる。
【００２４】
【実施例】以下、実施例により本発明を更に詳細に説明
する。
する。
【００２５】実施例１ 内径１０５ｍｍの円筒状金型（上面開口、底面閉鎖）に
ＵＨＭＷＰＥ粉末（分子量６００万、融点１３５℃、平
均粒径１１０μｍ）を充填し、該粉末を９０ｇ／ｃｍ2
の割合で加圧する。
ＵＨＭＷＰＥ粉末（分子量６００万、融点１３５℃、平
均粒径１１０μｍ）を充填し、該粉末を９０ｇ／ｃｍ2
の割合で加圧する。
【００２６】これを金属製耐圧容器（水蒸気導入管およ
びその開閉バルブを備える）に入れ、真空ポンプを作動
させて雰囲気圧を３０ｍｍＨｇまで減圧することによ
り、充填された粉末間の空気を脱気する。
びその開閉バルブを備える）に入れ、真空ポンプを作動
させて雰囲気圧を３０ｍｍＨｇまで減圧することによ
り、充填された粉末間の空気を脱気する。
【００２７】脱気後、真空ポンプを止め、水蒸気導入バ
ルブを開き水蒸気（温度１５８℃、６気圧）を導入して
６０分間加熱することによりＵＨＭＷＰＥ粉末を焼結
し、丸棒状多孔質体を得る。
ルブを開き水蒸気（温度１５８℃、６気圧）を導入して
６０分間加熱することによりＵＨＭＷＰＥ粉末を焼結
し、丸棒状多孔質体を得る。
【００２８】次に、これを温度２５℃の部屋に３時間放
置して冷却した後金型から丸棒状成形体（外径約１０５
ｍｍ）を取り出し、旋盤によりその周方向に沿って厚さ
５００μｍに切削して白色不透明の多孔質シート（気孔
率３０％、平均孔径３０μｍ）を得る。
置して冷却した後金型から丸棒状成形体（外径約１０５
ｍｍ）を取り出し、旋盤によりその周方向に沿って厚さ
５００μｍに切削して白色不透明の多孔質シート（気孔
率３０％、平均孔径３０μｍ）を得る。
【００２９】そして、この多孔質シートの片面にシリコ
ーン系感圧性接着剤溶液（東レ・ダウコーニング・シリ
コーン社製、商品名ＳＤ−４５７０）をスクリーン印刷
により点状に塗布し、温度１３０℃で５分間加熱する。
これによりＵＨＭＷＰＥ多孔質シートの片面に点状接着
剤層（直径１ｍｍ、点在密度１０個／ｃｍ2 ）の形成さ
れた吸着固定用シートを得た。
ーン系感圧性接着剤溶液（東レ・ダウコーニング・シリ
コーン社製、商品名ＳＤ−４５７０）をスクリーン印刷
により点状に塗布し、温度１３０℃で５分間加熱する。
これによりＵＨＭＷＰＥ多孔質シートの片面に点状接着
剤層（直径１ｍｍ、点在密度１０個／ｃｍ2 ）の形成さ
れた吸着固定用シートを得た。
【００３０】実施例２ シリコーン系感圧性接着剤溶液の塗布をＵＨＭＷＰＥ多
孔質シートの両面に点状に塗布すること以外は実施例１
と同様に作業する。これによりＵＨＭＷＰＥ多孔質シー
トの両面に点状接着剤層（直径１ｍｍ、点在密度１０個
／ｃｍ2 ）が各々形成された吸着固定用シートを得た。
孔質シートの両面に点状に塗布すること以外は実施例１
と同様に作業する。これによりＵＨＭＷＰＥ多孔質シー
トの両面に点状接着剤層（直径１ｍｍ、点在密度１０個
／ｃｍ2 ）が各々形成された吸着固定用シートを得た。
【００３１】比較例 厚さが５００μｍであるＵＨＭＷＰＥの非多孔質シート
の片面全面に実施例１で用いたのと同じシリコーン系感
圧接着剤溶液を塗布する。そして、１３０℃で５分間加
熱することにより片面全面に接着剤層（厚さ３０μｍ）
の形成された吸着固定用シートを得た。
の片面全面に実施例１で用いたのと同じシリコーン系感
圧接着剤溶液を塗布する。そして、１３０℃で５分間加
熱することにより片面全面に接着剤層（厚さ３０μｍ）
の形成された吸着固定用シートを得た。
【００３２】試験例 図１に示すのと同構造の金属製基台上に実施例１、２お
よび比較例で得た吸着固定用シートを配置する。このと
き実施例１および比較例の吸着固定用シートはその接着
剤層が基台と反対側になるように配置し、実施例２の吸
着固定用シートは一方の接着剤層により該シートを基台
に接着させる。
よび比較例で得た吸着固定用シートを配置する。このと
き実施例１および比較例の吸着固定用シートはその接着
剤層が基台と反対側になるように配置し、実施例２の吸
着固定用シートは一方の接着剤層により該シートを基台
に接着させる。
【００３３】そして、この吸着固定用シートの接着剤層
にシリコーンウエハ（被加工体）を接着させる。次に、
吸引孔に接続した真空ポンプを作動させて通気孔を介し
て減圧することにより該シリコーンウエハを吸着固定用
シートに固定し、該シリコーンウエハを縦１０ｍｍ、横
５ｍｍのサイズになるようにダイシング加工する。ダイ
シング加工後に減圧を止めシリコーンウエハを吸着固定
用シートの接着剤層から剥離した。
にシリコーンウエハ（被加工体）を接着させる。次に、
吸引孔に接続した真空ポンプを作動させて通気孔を介し
て減圧することにより該シリコーンウエハを吸着固定用
シートに固定し、該シリコーンウエハを縦１０ｍｍ、横
５ｍｍのサイズになるようにダイシング加工する。ダイ
シング加工後に減圧を止めシリコーンウエハを吸着固定
用シートの接着剤層から剥離した。
【００３４】剥離時におけるシリコーンウエハ（ダイシ
ング加工されたもの）と接着剤層の接着力（剥離力）を
測定したところ、実施例１および２は５０ｇｆ／ｃ
ｍ2 、比較例は６５０ｇｆ／ｃｍ2 であった。また、剥
離されたシリコーンウエハはいずれも欠け等の不都合は
なかった。
ング加工されたもの）と接着剤層の接着力（剥離力）を
測定したところ、実施例１および２は５０ｇｆ／ｃ
ｍ2 、比較例は６５０ｇｆ／ｃｍ2 であった。また、剥
離されたシリコーンウエハはいずれも欠け等の不都合は
なかった。
【００３５】
【発明の効果】本発明は上記のように構成され、通気性
シートの少なくとも片面に接着剤層を部分的に設けたの
でので、被加工体との接着力が適度であり吸着固定して
加工した後の剥離が容易であるという利点がある。ま
た、本発明の方法によれば被加工体を接着と減圧の双方
により吸着固定用シートに固定できるので、加工時の被
加工体の位置ズレを有効に防止できる。
シートの少なくとも片面に接着剤層を部分的に設けたの
でので、被加工体との接着力が適度であり吸着固定して
加工した後の剥離が容易であるという利点がある。ま
た、本発明の方法によれば被加工体を接着と減圧の双方
により吸着固定用シートに固定できるので、加工時の被
加工体の位置ズレを有効に防止できる。
【図１】本発明に係る吸着固定法の実例を示す正面図で
ある。
ある。
【図２】従来の吸着固定方法の例を示す正面図である。
１ 通気孔 ２ 吸引孔 ３ 基台 ４ 通気性シート ５ 接着剤層 ６ 被加工体
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｇ 4/12 ３６４ Ｈ０１Ｇ 4/12 ３６４ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｐ 21/301 21/304 ３２１Ｂ // Ｈ０１Ｌ 21/304 ３２１ Ｈ０５Ｋ 3/00 Ｊ Ｈ０５Ｋ 3/00 Ｈ０１Ｌ 21/78 Ｍ (72)発明者 長井 陽三 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 日東 電工株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 通気性シートの少なくとも片面に部分的
に接着剤層が設けられていることを特徴とする吸着固定
用シート。 - 【請求項２】 通気孔を有する基台上に、通気性シート
の少なくとも片面に部分的に接着剤層が設けられて成る
吸着固定用シートをその接着剤層が基台と反対側になる
ように配置すると共に該接着剤層により被加工体を接着
し、次いで、前記通気孔を介して減圧することにより被
加工体を吸着固定用シート上に固定することを特徴とす
る吸着固定方法。 - 【請求項３】 通気孔を有する基台上に、通気性シート
の両面に部分的に接着剤層が設けられて成る吸着固定用
シートをその片側の接着剤層により接着させると共に反
対側の接着剤層により被加工体を接着し、次いで、前記
通気孔を介して減圧することにより被加工体を吸着固定
用シート上に固定することを特徴とする吸着固定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6364295A JPH08257474A (ja) | 1995-03-23 | 1995-03-23 | 吸着固定用シートおよびその固定用シートを用いる吸着固定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6364295A JPH08257474A (ja) | 1995-03-23 | 1995-03-23 | 吸着固定用シートおよびその固定用シートを用いる吸着固定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08257474A true JPH08257474A (ja) | 1996-10-08 |
Family
ID=13235220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6364295A Pending JPH08257474A (ja) | 1995-03-23 | 1995-03-23 | 吸着固定用シートおよびその固定用シートを用いる吸着固定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08257474A (ja) |
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- 1995-03-23 JP JP6364295A patent/JPH08257474A/ja active Pending
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