JP2017024415A - 加工物を表面全体で支持する一体型の支持体 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、加工物を表面全体で支持する一体型の支持体に関する。
脆いまたは硬いおよび脆い材料から形成された大型加工物の製造、例えば、ガラス、ガラスセラミックまたはセラミックから形成されたミラーキャリヤの製造において、ミラーキャリヤの実際の製造の後、研削および穿孔、研磨、コーティングなどの別の加工ステップが行われる。通常は極めて複雑で、ひいては高価な方法で製造されるミラーキャリヤへの損傷を回避するために、ミラーキャリヤは、後続の加工ステップにおいて支持されなければならない。支持体は、加工物への損傷を防止するために、このようなシステムの搬送のためにも必要である。
本発明の課題は、大型の加工物、特に、50以上のアスペクト比を有する加工物を表面全体で支持する支持体であって、構造化された表面を有する支持体を提供することである。
前記課題は、請求項6記載の、加工物を表面全体で支持する一体型の支持体と、請求項1記載の、一体型の鉱物ベースの支持体と、ガラス、ガラスセラミックまたはセラミックエレメントの形式の、支持体上に支持された加工物とを含むアセンブリとによって、達成される。別の実施の形態を、それぞれの従属請求項に見ることができる。
−その平均厚さに対する直径または横方向寸法の比は、少なくとも50、好適には少なくとも100、より好適には少なくとも150、特に好適には少なくとも200、最も好適には300以上である
−直径に対する坪量の比は、100kg/m3以下、最も好適には30kg/m3以下である
のうちの少なくとも1つを有する、アセンブリに関する。
2 ボア
3 チャネルのウェブ状配列によって形成された排出部
4 支持体の表面
5 中央凹所
6 支持された加工物を下方から持ち上げるための手段を受け入れるための設備
7 支持体の表面セグメント
8 金属キャリヤ
9 緩衝器
10 キャリヤ材料
11 外側周縁部
12 内側周縁部
13 付着防止コーティング
15 一体型のキャリヤ材料と、支持されたガラス、ガラスセラミックまたはセラミックエレメントとのアセンブリ
20 加工物、例えば、ガラス、ガラスセラミックまたはセラミックエレメント
Claims (24)
- 鉱物ベースの一体型の支持体(1)と、該支持体(1)の表面(4)に支持されたシート状の加工物(20)、例えば、ガラス、ガラスセラミックまたはセラミックエレメントとを含むアセンブリ(15)において、前記加工物(20)は、該加工物(20)の面のうちの1つによって前記一体型の支持体(1)の前記表面(4)に載置されており、前記加工物(20)は、以下の特徴、すなわち
−前記加工物(20)の平均厚さに対する直径または横方向寸法の比は、少なくとも50、好適には少なくとも100、より好適には少なくとも150、特に好適には少なくとも200、最も好適には300以上である
−直径に対する坪量の比は、100kg/m3以下、好適には30kg/m3以下である
のうちの少なくとも1つを示すことを特徴とする、アセンブリ(15)。 - 前記ガラス、ガラスセラミックまたはセラミックエレメント(20)は、3・10-6/K以下、好適には1・10-6/K以下、より好適には0.1・10-6/K以下、最も好適には0.05・10-6/K以下の熱膨張率αを有する、請求項1記載のアセンブリ(15)。
- 前記ガラス、ガラスセラミックまたはセラミックエレメント(20)は、ミラーキャリヤ基板である、請求項1または2記載のアセンブリ(15)。
- 前記支持体(1)の前記表面(4)と、該表面(4)に載置された前記ガラス、ガラスセラミックまたはセラミックエレメント(20)の前記面とは、一致する湾曲を有する、請求項1から3までのいずれか1項記載のアセンブリ(15)。
- 前記支持体(1)は、金属キャリヤ(8)に取り付けられており、金属ワイヤまたは金属ロープパッドが、好適には、前記金属キャリヤ(8)の下側に緩衝器(9)として設けられている、請求項1から4までのいずれか1項記載のアセンブリ(15)。
- 加工および/または搬送中に加工物(20)を表面全体で支持するための鉱物ベースのキャリヤ材料(10)を含む一体型の支持体(1)において、該支持体(1)の表面(4)は、支持された前記加工物の付着が防止されるように設計されており、前記支持体(1)は、前記加工物(20)を前記支持体(1)から下方から持ち上げるおよび/または前記加工物(20)を横方向にシフトさせることができる、前記支持体に挿入された手段を備える設備(6)を有することを特徴とする、一体型の支持体(1)。
- 支持された前記加工物(20)に接触する前記支持体(1)の前記表面(4)のセグメント(7)に、少なくとも部分的に付着防止コーティング(13)が設けられている、請求項6記載の一体型の支持体(1)。
- 前記支持体(1)の所定の支持表面の少なくとも周縁部(12,11)に、前記付着防止コーティング(13)が設けられている、請求項7記載の一体型の支持体(1)。
- 前記付着防止コーティング(13)は、好適にはポリエチレンまたはポリプロピレンから形成された、1つのフィルムまたは複数のフィルムの積層体である、請求項7または8記載の一体型の支持体(1)。
- 前記フィルムは、付着防止特性を有するポリマフィルムである、請求項9記載の一体型の支持体(1)。
- 1つのフィルムの厚さは、少なくとも50μm、好適には少なくとも60μm、より好適には少なくとも65μmである、請求項9または10記載の一体型の支持体(1)。
- 前記フィルム積層体は、少なくとも3つのフィルムから成る、請求項9から11までのいずれか1項記載の一体型の支持体(1)。
- 前記支持体(1)は、中央凹所(5)を有する、請求項6から12までのいずれか1項記載の一体型の支持体(1)。
- 前記支持体(1)は、さらに、貫通ボア(2)を有する、請求項6から13までのいずれか1項記載の一体型の支持体(1)。
- 前記加工物(20)の加工中に生じた残留物を、好適には、前記支持体(1)の前記表面(4)に設けられた半径方向に延びるエレメントと円形のエレメントとから成るチャネルのウェブ状配列によって形成された排出部(3)を有することによって除去することができるように、前記支持体(1)の前記表面(4)は設計されている、請求項6から14までのいずれか1項記載の一体型の支持体(1)。
- 前記加工物を前記支持体(1)から持ち上げるおよび/または前記加工物を下方から横方向にシフトさせる前記手段は、空圧式および/または液圧式手段である、請求項6から15までのいずれか1項記載の一体型の支持体(1)。
- 下方から持ち上げるおよび/または横方向にシフトさせる前記手段は、少なくとも1つの流体、好適には、空気、オイルまたは水を通過させることによって方向付けるように適応された少なくとも1つのノズルを含む、請求項16記載の一体型の支持体(1)。
- 下方から持ち上げるおよび/または横方向にシフトさせる前記手段は、クッション状の手段である、請求項16または17記載の一体型の支持体(1)。
- 前記支持体(1)は、流体、好適には、空気、オイルまたは水を前記クッション状の手段内へ噴射することによって、支持された前記加工物(20)が持ち上げられるように構成されている、請求項18記載の一体型の支持体(1)。
- 前記支持体(1)は、実質的に、無機材料から形成されている、請求項6から19までのいずれか1項記載の一体型の支持体(1)。
- 前記鉱物ベースのキャリヤ材料(10)は、少なくとも1つの無機非金属固体、少なくとも1つの流動剤および少なくとも1つの結合剤を含む成形材料から形成されている、請求項20記載の一体型の支持体(1)。
- 以下の特徴、すなわち
−前記少なくとも1つの無機非金属固体が、凝集物であり、好適には、粒子の20mmのd99が前記凝集物を形成している
−前記少なくとも1つの流動剤は、水を含む
−前記少なくとも1つの結合剤は、セメントおよび/またはエポキシ樹脂および/または有機−無機ハイブリッド材料を含む
のうちの少なくとも1つを含む、請求項21記載の一体型の支持体(1)。 - 前記支持体(1)は、好適には鉄筋コンクリートから形成された、強化された支持体として形成されている、請求項6から22までのいずれか1項記載の一体型の支持体(1)。
- 前記支持体(1)は、支持される前記加工物(20)と実質的に同じ大きさか、またはそれよりも大きい、請求項6から23までのいずれか1項記載の一体型の支持体(1)。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE102015112036.4 | 2015-07-23 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017024415A true JP2017024415A (ja) | 2017-02-02 |
JP6373310B2 JP6373310B2 (ja) | 2018-08-15 |
Family
ID=56550041
Family Applications (1)
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Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10370284B2 (ja) |
EP (1) | EP3121137B1 (ja) |
JP (1) | JP6373310B2 (ja) |
CN (1) | CN106371190B (ja) |
DE (1) | DE102015112036B4 (ja) |
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JP2010049257A (ja) * | 2008-08-21 | 2010-03-04 | Schott Ag | 軽量化した鏡体支持体用の基板及び軽量化した鏡体支持体が設けられた鏡体 |
JP2010170133A (ja) * | 2009-01-19 | 2010-08-05 | Schott Ag | ガラス又はガラスセラミック製のミラー支持体の基板 |
JP2012162449A (ja) * | 2011-01-19 | 2012-08-30 | Schott Ag | 軽量構造を有する基板 |
WO2012105351A1 (ja) * | 2011-01-31 | 2012-08-09 | コニカミノルタオプト株式会社 | 太陽光集光用ミラー及び当該太陽光集光用ミラーを有する太陽熱発電システム |
JP2012203268A (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-22 | Univ Of Tokyo | ミラー及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102015112036A1 (de) | 2017-01-26 |
JP6373310B2 (ja) | 2018-08-15 |
EP3121137B1 (de) | 2020-02-26 |
CN106371190B (zh) | 2021-05-25 |
DE102015112036B4 (de) | 2017-05-11 |
US10370284B2 (en) | 2019-08-06 |
US20170022091A1 (en) | 2017-01-26 |
CN106371190A (zh) | 2017-02-01 |
EP3121137A1 (de) | 2017-01-25 |
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A977 | Report on retrieval |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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