TW202027203A - 基板匣 - Google Patents

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Abstract

一種基板匣(10)，其用於容納堆疊在彼此頂部上的數個基板(32)(尤其是晶圓)，該基板匣(10)具有殼罩(12)，其包括第一側(14)和平行於第一側(14)的第二側(16)，其中在殼罩(12)內的該側(14、16)之間設有用於基板(32)的至少長形第一支撐件(20)，該支撐件(20)至少於截面上與第一側(14)隔開，其中第一側(14)最靠近該至少一第一支撐件(20)。

Description

基板匣
本發明有關用於容納堆疊在彼此頂部上之數個基板(尤其是晶圓)的基板匣。
用於容納堆疊在彼此頂部上之基板的基板匣是熟知的。此種基板匣正常具有數個槽縫，其中每個槽縫可以容納一基板。熟知的基板匣尤其適合容納平坦基板。然而若基板是彎曲的，則在某些情形下，這些基板無法穩定地定位於基板匣之槽縫中的界定位置。在多重彎曲基板的情形下，提供穩定的支撐件尤其困難。多重彎曲基板的形式就像薯片的形式。由於彎曲像是薯片形式的緣故，二基板之間的距離是多變的，其視基板在基板匣中的旋轉位置而定，這讓移除基板變得困難，尤其若想要從任何槽縫來隨機移除的話。
然而必須的是基板彼此盡可能平行地儲存於基板匣中的界定位置。這是確保末端實施器和基板之間沒有碰撞的唯一方式，而當藉由末端實施器來移除基板時則有可能損傷基板。
本發明的目的因而是提供一種基板匣，其中彎曲的基板可以盡可能彼此平行地容納堆疊。
根據本發明，這目的藉由容納堆疊在彼此頂部上之數個基板(尤其是晶圓)的基板匣而解決，該基板匣具有殼罩，其包括第一側和平行於第一側的第二側，其中在殼罩內的該側之間設有用於基板的至少長形第一支撐件，該支撐件至少於截面上與第一側隔開，其中第一側最靠近該至少一第一支撐件。尤其，第一支撐件定位得較靠近第一側而較不靠近第二側。
第一支撐件因而不相鄰於第一側，如此則基板不是由支撐件支撐在其外緣上，而是支撐在遠離基板外緣的區域。這意謂暴露出基板位在第一支撐件和殼罩第一側之間的區域，其不接觸到第一支撐件。因此，多重彎曲的基板可以支撐在總共至少三支撐點。以此方式，則有可能彼此平行地堆疊數個基板，即使這些基板是彎曲或甚至多重彎曲的亦然，其中使對理想位置的偏移最小化。再者，定位於基板匣中的基板因此可以藉由光阻障來偵測。
該側可以設計成側面板，其包括連續面板區域。然而可思及至少一側不具有連續面板區域以及∕或者舉例而言設計成框架。這能使製造基板匣時的材料經濟化。
殼罩可以製成一件或者可以使用數個單獨構件來組裝。因此，除了二側以外，殼罩還可以包括呈殼罩蓋形式的上側和∕或中間交叉件。尤其，殼罩是射出成形的零件。
不用中間交叉件，殼罩也可以改成包括連接二側的連接面板。
基板舉例而言是直徑高達450毫米的晶圓，尤其直徑高達300毫米，較佳而言直徑在50毫米和200毫米之間。基板的彎曲量(尤其是具有基板最大彎曲的區域)可以高達10毫米，亦即基板最高點和基板最低點在基板軸向之間的距離量可以高達10毫米。在基板直徑大於450毫米的情形，最大彎曲甚至可以更大。
在第二側上，至少第二支撐件可以定位在該至少一第一支撐件的高度，其中於各情況下，槽縫由該至少一第一支撐件和該至少一第二支撐件中的一者所界定。因此，基板若定位於基板匣中則可以藉由第一和第二支撐件而穩定地支撐。
該至少一第二支撐件舉例而言與第二側隔開，或者該至少一第二支撐件是直接接觸到第二側(尤其直接模製在第二側上)的支撐軌。於第一情形，第二支撐件可以設計成鏡像相反於第一支撐件。在此情形，若基板匣中有多重彎曲的基板，則基板和槽縫之間可以有四支撐點。於第二情形，若支撐件是直接位在第二側上的支撐軌，則這導致多重彎曲的基板有三支撐點，因此能讓基板尤其穩定地支撐。恰存在三支撐點所具有的優點是基板無法在基板匣中傾斜或搖晃。支撐點較佳而言位在相同高度。
根據具體態樣，可以設有配置在彼此頂部上的數個槽縫，尤其其中配置在彼此頂部上之槽縫的支撐件隔開最大50毫米，尤其在5毫米和30毫米之間。結果，基板匣中可以容納盡可能多的基板。在槽縫之間選擇此種間隔因此仍有可能藉由末端實施器來裝填或清空基板匣而無任何困難。
槽縫的第一支撐件和∕或第二支撐件與個別最近側之間的距離尺寸舉例而言在25毫米和40毫米之間，以及∕或者該距離至多與基板之直徑的一半一樣大。以此方式，則可以避免第一和第二支撐件之間有太小的距離，因為這會導致基板支撐得較不穩定。
該至少一第一支撐件和∕或該至少一第二支撐件可以包括支撐線或支撐面，尤其支撐線或支撐面形成整體支撐件。支撐線或支撐面是指基板可以沿此而接觸到支撐件的線∕面。為此，舉例而言，支撐線設計成直線或者支撐面設計成平面。藉此提供支撐線或支撐面，基板可以沿著槽縫方向而在不同位置來休止在支撐件上。
根據具體態樣，該至少一第一支撐件和∕或該至少一第二支撐件平行於該側或與該側成銳角而延伸。這要了解意謂支撐件的至少一邊緣或支撐線平行於該側或與該側成銳角而延伸，尤其成高達10°的角度。因此，末端實施器可以平行或實質上平行於基板匣中的支撐件而移動進出。以此方式，則以末端實施器來簡化基板的操持或運輸。
該至少一第一支撐件和∕或該至少一第二支撐件舉例而言設在支撐臂上，其據此從支撐件延伸到第一側或第二側。尤其，支撐件僅由支撐臂所支撐。使用這支撐臂，則有可能將支撐件定位於基板匣中的界定位置。支撐件也由支撐臂穩定地支撐，以致支撐件在基板的重量下不往下彎。尤其，支撐件設計成有剛性。
從俯視圖來看，支撐臂的底面積可以大於支撐件的面積。由於支撐件可以有相對為小的面積，尤其是窄的面積，故若支撐臂的底面積較大以便將支撐件保持在穩定位置則是有利的。藉由讓支撐臂的底面積大於支撐件的面積，則支撐件的面積因此可以保持得尤其小，這轉而能使基板定位在基板匣中的界定位置。
據此，支撐臂較佳而言附接(尤其螺接)於第一側或第二側。因此，有可能免除基板匣中的後面板和∕或前面板。尤其，基板匣的後側和∕或前側可以完全開啟。
於俯視圖，至少部分的支撐臂可以在第一支撐件與基板匣的後側或前側之間的槽縫方向上的區域中延伸。舉例而言，支撐件可以在其前端相鄰於支撐臂，尤其是在面對基板匣後側的前端上。因此，可以避免妨礙從基板匣移除基板或將基板放入當中之末端實施器的操作。
自由空間較佳而言設在支撐件和最靠近支撐件的該側之間。因此，在彎曲基板的情形下，基板可以在支撐件的側面上(尤其在支撐件和最近側之間的區域中)往下延伸。
根據具體態樣，支撐臂具有三角形底面積，尤其其中底面積漸縮朝向支撐臂的自由端。因此，支撐臂具有所需的穩定性同時重量輕。尤其，此種形式的支撐臂避免由於支撐臂重量的結果而使支撐臂或支撐件單獨朝向支撐臂的自由端來往下傾斜。
支撐件較佳而言是基板匣中支撐臂在安裝位置時之支撐臂的最高區域。這確保基板事實上也休止在支撐件上而不在支撐臂的任何其他區域上。
若設有數個支撐臂，則支撐臂可以組合成一件，尤其呈支撐梳的形式。因此，簡化了組裝期間的操持，並且大大減少組裝所需的工作。
為了能讓基板匣彈性地用於多樣形式的基板，支撐件較佳而言相對於該側和∕或支撐臂而可調整高度。
圖1顯示基板匣10，其用於容納堆疊在彼此頂部上的數個基板(尤其是晶圓)。
基板匣10具有殼罩12，其包括第一側14和平行於第一側14的第二側16，該二側各由連續的側面板所形成。側面板螺接於基板匣10的上側17。然而可思及基板匣10的殼罩12以射出成形而製成一件。
為了彼此穩定地支撐該側14、16，設有中間交叉件19，其連接至該側14、16並且在該側14、16的底端上從第一側14延伸到第二側16。中間交叉件19還可以用於附接或操作感應器，其偵測系統中之基板匣10的存在。
中間交叉件19可以製成分開的零件或者與殼罩12設計成一件。
基板匣10進一步包括數個槽縫18，其各由在相同高度的至少一第一支撐件20和至少一第二支撐件22所界定。支撐件20、22因此位在殼罩12內。基板匣10中的每一槽縫18可以容納一基板，該基板經由基板匣10的前側而引入槽縫18中。
支撐件20僅理解成意謂支撐面或支撐線，而不管其機械附接。
於所示具體態樣，第一支撐件20為長形並且平行於第一側14而延伸，如圖1所可見，但圖2更可見。為此，支撐件20設計得比較窄，舉例而言，它的寬度最大2毫米。
再者，第一支撐件20於截面上至少與第一側14隔開，其中第一側14最靠近第一支撐件20，亦即第一支撐件20較靠近第一側14而較不靠近第二側16。
於每個情形，第二支撐件22是由直接接觸第二側16的支撐軌24所形成。更特定而言，支撐軌24模製於第二側16上。替代選擇而言，第二支撐件22可以設計成第一支撐件20的鏡像。
為了生成數個槽縫18，數個第一支撐件20和數個第二支撐件22在彼此上方對齊而位在殼罩12中，尤其隔開最大距離50毫米，尤其是5毫米到30毫米。
也可思及支撐臂28不分開設計和附接，而是數個或所有的支撐臂28由單件所製成，尤其呈支撐梳的形式。
支撐臂28在此情形下形成支撐齒。支撐齒的數目因此會等於相對側16上所模製之第二支撐件22的數目。
圖2顯示穿過基板匣10的截面，其中第一支撐件20的形式和位置在圖2顯示得比圖1清楚。
如圖2所可見，第一支撐件20於所示具體態樣是以支撐面26來實現，其平行於第一側14而延伸。
以示例來說，基板32的輪廓在圖2是以虛線所繪。
第一支撐件20到第一側14的距離舉例而言在25毫米和40毫米之間。第一支撐件20到第一側14的距離應至多與基板32之直徑的一半一樣大。
為了將第一支撐件20放置於界定位置，第一支撐件20設計在支撐臂28上，其從支撐件20延伸到第一側14。
支撐臂28轉而附接(尤其螺接)於第一側14上。因此，支撐臂28更大量設計於附接區域(尤其在支撐臂28接續於第一側14的區域)而非其餘的區域。
支撐臂28舉例而言是射出成形零件，尤其由塑膠所製成。
支撐件20若安裝於基板匣10中則本身是支撐臂28的最上區域。因此，基板32總是休止在基板匣10中的支撐件20上。進一步而言，這導致支撐件20和最近側14之間有自由空間。
如從圖2所可見，支撐臂28的底面積30大於支撐件20的面積。
更特定而言，支撐臂28具有三角形底面積30。在此情形，底面積30在朝向支撐臂28或支撐件20之自由端的方向上漸縮成點。結果，支撐臂28整個尤其是穩定的，尤其支撐臂28的淨重做有利的分布。這重量分布的目的是確保支撐件20在基板匣10中定位得盡可能水平，並且不因為支撐臂28的淨重而朝向自由端來垂下。
所示具體態樣僅示範用於設計支撐臂28之許多可思及的某一種可能性。舉例而言也可思及將支撐臂設計成軌道，其具有大多恆定地延伸的L形輪廓，而其短腿指向第一側14，其中支撐件20形成在長腿的上前端上。
圖3以另一立體圖來顯示基板匣10，其中可以看到基板匣10的後側。
此圖清楚的是殼罩12中的數個支撐臂28直接位在彼此上面，尤其彼此直接接觸，以便形成數個槽縫18。
若第一支撐件20和第二支撐件22都形成在支撐臂28上，則可思及支撐件20、22相對於該側14、16和∕或相對於支撐臂28而可調整高度。若支撐臂28模製在單件支撐梳上，則上述亦為真。
圖4顯示垂直於圖2截面的截面，尤其是垂直於槽縫方向的截面。
此圖中，槽縫18由基板32所佔據，基板32則休止在支撐件20、22上。
基板32使用遠離基板32之外緣34的第一支撐件20來支撐。
相對而言，基板32以其外緣22而休止在第二支撐件22上。以此方式，則平坦和彎曲的基板32都可以可靠且彼此平行地支撐。
圖4基板32的圖示未必實際正確並且僅作為示例。再者，數個不同形成的基板32各示範於圖4的槽縫18中。然而，槽縫18事實上總是僅被一基板32所佔據。
10:基板匣 12:殼罩 14:第一側 16:第二側 17:上側 18:槽縫 19:中間交叉件 20:第一支撐件 22:第二支撐件 24:支撐軌 26:支撐面 28:支撐臂 30:底面積 32:基板 34:外緣
本發明的額外優點和特徵可以見於以下敘述和所參考的後續圖式。於圖式： [圖1]以立體圖來顯示根據本發明的基板匣， [圖2]顯示穿過圖1之基板匣的截面， [圖3]以另一立體圖來顯示圖1的基板匣，以及 [圖4]顯示垂直於圖2截面的截面。
10:基板匣
14:第一側
16:第二側
20:第一支撐件
26:支撐面
28:支撐臂
30:底面積
32:基板
34:外緣

Claims (19)

  1. 一種基板匣(10)，其用於容納堆疊在彼此頂部上的數個基板(32)，該基板匣(10)包括殼罩(12)，其包括第一側(14)和平行於該第一側(14)的第二側(16)，其中在該殼罩(12)內的該側(14、16)之間設有用於基板(32)的至少長形第一支撐件(20)，該支撐件(20)至少於截面上與該第一側(14)隔開，其中該第一側(14)最靠近該至少一第一支撐件(20)。
  2. 根據請求項1的基板匣(10)，其中該基板(32)是晶圓。
  3. 根據請求項1的基板匣(10)，其中在該第二側(16)上，至少第二支撐件(22)定位在該至少一第一支撐件(20)的高度，其中於各情況下，槽縫(18)由該至少一第一支撐件(20)和該至少一第二支撐件(22)中的一者所界定。
  4. 根據請求項3的基板匣(10)，其中該至少一第二支撐件(22)與該第二側(16)隔開，或者該至少一第二支撐件(22)是直接接觸到該第二側(16)的支撐軌(24)。
  5. 根據請求項4的基板匣(10)，其中該至少一第二支撐件(22)直接模製在該第二側(16)上。
  6. 根據請求項3的基板匣(10)，其中設有配置在彼此頂部上的數個槽縫(18)。
  7. 根據請求項6的基板匣(10)，其中配置在彼此頂部上之該槽縫(18)的該支撐件(20、22)隔開最大50毫米。
  8. 根據請求項7的基板匣(10)，其中配置在彼此頂部上之該槽縫(18)的該支撐件(20、22)隔開5毫米到30毫米。
  9. 根據請求項1至8中任一項的基板匣(10)，其中該槽縫(18)的該第一支撐件(20)和∕或該第二支撐件(22)與該個別最近側(14、16)之間的距離尺寸是在25毫米和40毫米之間，以及∕或者該距離至多與該基板(32)之直徑的一半一樣大。
  10. 根據請求項1至8中任一項的基板匣(10)，其中該至少一第一支撐件(20)和∕或該至少一第二支撐件(22)包括支撐線或支撐面(26)。
  11. 根據請求項1至8中任一項的基板匣(10)，其中該至少一第一支撐件(20)和∕或該至少一第二支撐件(22)平行於該側(14、16)或與該側(14、16)成銳角而延伸。
  12. 根據請求項1至8中任一項的基板匣(10)，其中該至少一第一支撐件(20)和∕或該至少一第二支撐件(22)設在支撐臂(28)上，其據此從該支撐件(20)延伸到該第一側(14)或該第二側(16)。
  13. 根據請求項12的基板匣(10)，其中該支撐臂(28)據此附接於該第一側(16)或該第二側(16)。
  14. 根據請求項12的基板匣(10)，其中於俯視圖，至少部分的該支撐臂(28)在該第一支撐件(20)與該基板匣(10)的後側或前側之間而在插入方向上的區域中延伸。
  15. 根據請求項12的基板匣(10)，其中該支撐臂(28)具有三角形底面積(30)。
  16. 根據請求項12的基板匣(10)，其中該支撐件(20)是該基板匣(10)中該支撐臂(28)在安裝位置時之該支撐臂(28)的最高區域。
  17. 根據請求項12的基板匣(10)，其中設有數個支撐臂(28)，其中該支撐臂(28)設計成一件。
  18. 根據請求項17的基板匣(10)，其中該支撐臂(28)設計成支撐梳的形式。
  19. 根據請求項1至8中任一項的基板匣(10)，其中該支撐件(20)相對於該側(14)和∕或該支撐臂(28)而可調整高度。
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