CN206259327U - 用于收纳基板的容器 - Google Patents

用于收纳基板的容器 Download PDF

Info

Publication number
CN206259327U
CN206259327U CN201621356021.8U CN201621356021U CN206259327U CN 206259327 U CN206259327 U CN 206259327U CN 201621356021 U CN201621356021 U CN 201621356021U CN 206259327 U CN206259327 U CN 206259327U
Authority
CN
China
Prior art keywords
support
container
arc portion
arm
fixed structure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201621356021.8U
Other languages
English (en)
Inventor
邱铭隆
陈延方
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chung King Enterprise Co ltd
Original Assignee
Chung King Enterprise Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chung King Enterprise Co ltd filed Critical Chung King Enterprise Co ltd
Application granted granted Critical
Publication of CN206259327U publication Critical patent/CN206259327U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67379—Closed carriers characterised by coupling elements, kinematic members, handles or elements to be externally gripped
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67376—Closed carriers characterised by sealing arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67386—Closed carriers characterised by the construction of the closed carrier

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packages (AREA)

Abstract

一种用于收纳基板的容器，包含一界定一容室的外壳，及一支撑单元。该支撑单元包括多个位于该容室内的承托架，每一承托架具有一弯弧形的架体，及至少一连接于该架体的抵撑结构。该架体具有两彼此间隔相对的臂部，及一连接于所述臂部之间的弯弧部，且所述臂部与该外壳连接。该抵撑结构设于该弯弧部且偏靠于外侧缘处，所述承托架的架体在一上下方向相间隔地排列，且借由所述抵撑结构支撑相邻的架体以使相邻的所述架体的弯弧部保持固定间隔。

Description

用于收纳基板的容器
技术领域
本实用新型涉及一种容器，特别是涉及一种用于收纳基板的容器。
背景技术
一般用于制造集成电路的基板，即晶圆，在储存、运送或不同制程间的传送过程中需要较佳的保护，以避免微粒污染或受损破裂。
通常用以容置基板的容器可以同时收纳多个基板，而在容器内需设有层状间隔的支撑结构，以将所述基板间隔开而避免基板相碰撞；并且让自动化的取/放片设备容易将基板由容器中取出，或将处理过的基板放入容器中。常见的支撑结构，例如固定设置于容器壳体的内壁面的多个肋片以支撑基板。但是这样的结构设计存在许多应用上的限制，例如在烘烤时，由于热空气只能经由单一的门体开口进行对流，因此会使得容器内的基板不易受到均匀加热，除可能因此造成烘烤效果不佳之外，严重时甚至可能造成基板因不同位置热膨胀程度不同而破裂。而若是在容器原本门体开口之外的位置，如容器的后壁面，增设可改善对流效果的门/窗机构，则又会因而使得该处的肋片失去支撑而容易产生变形或震动，并造成其所支撑的基板也因支撑不平均或不稳固而变形甚或破裂。同时，现有容器的支撑结构中的肋片造型多呈U形，因此仅能对基板靠近容器后壁及侧壁的后半部周缘提供支撑，而无法对基板中央及前半部周缘提供支撑，因而使得基板中央及前半部会受到重力的作用而产生下垂变形。且此一问题还会随着基板尺寸/直径的增加或是基板厚度的薄化而加剧，严重时甚至会造成自动取放片装置在伸入容器进行取片时擦撞到基板下垂变形的部份而导致基板受到损伤甚至破裂。此外，现有容器的支撑结构中的肋片多为固定式的结构设计，使得设计及制造时必须要针对各种不同容量的容器分别设计、制作模具；而当容器成品中部分肋片损坏时，或是有更新、更好或可满足不同需求的设计时，又无法个别更换，只能重新设计及制造整个容器，因而提高了制造的成本及库存的需求。
由于容器的结构设计需考虑包括上述例子在内的各种问题及需求，故针对现有的容器结构仍有改善的空间。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种具有可相堆栈的多个承托架且相邻承托架的架体间可由抵撑结构支撑的容器。
本实用新型的用于收纳基板的容器在一些实施态样中，包含一界定一容室的外壳，及一支撑单元。该支撑单元包括多个位于该容室内的承托架，每一个承托架具有一弯弧形的架体，及至少一连接于该架体的抵撑结构。该架体具有两彼此间隔相对的臂部，及一连接于所述臂部之间的弯弧部，且所述臂部与该外壳连接。该抵撑结构设于该弯弧部且偏靠于外侧缘处，所述承托架的所述架体在一上下方向相间隔地排列，且借由所述抵撑结构支撑相邻的所述架体以使相邻的所述架体的所述弯弧部保持固定间隔。
在一些实施态样中，每两相邻的所述承托架的所述抵撑结构在该上下方向相抵接。
在一些实施态样中，该抵撑结构具有一连接于该弯弧部处的外侧缘的支撑部，每两相邻的所述承托架的所述支撑部在该上下方向相抵接。
在一些实施态样中，该抵撑结构还具有一限位部，该限位部与该支撑部在该上下方向分别凸出该弯弧部相反两侧，且上下相错位，而使每两相邻的所述承托架其中一者的该限位部与其中另一者的该支撑部在朝向该弯弧部曲率中心的方向上相抵靠。
在一些实施态样中，该限位部具有一卡槽，该支撑部具有一卡块，每两相邻的所述承托架其中一者的该支撑部的该卡块卡置于其中另一者的该限位部的该卡槽。
在一些实施态样中，每一个支撑部还具有两个彼此间隔连接于该弯弧部的连接臂，及一连接于所述连接臂底端的连接梁，且该卡块朝向该弯弧部处的内侧缘方向凸出于该连接梁表面。
在一些实施态样中，该支撑部还具有两个分别由所述连接臂表面朝向该弯弧部处的内侧缘方向凸出的支撑柱，且该限位部在该上下方向的投影位于所述支撑柱之间，而使每两相邻的所述承托架其中一者的该限位部位于其中另一者的该支撑部的所述支撑柱之间，且所述支撑柱抵于所述相邻承托架的所述弯弧部之间。
在一些实施态样中，该外壳包括一壳体及一门体，该壳体具有一底壁、一与该底壁上下相对的顶壁、两分别连接该底壁与该顶壁两侧的侧壁，及一连接该底壁、该顶壁及所述侧壁的后壁，并界定一与该后壁相对的前开口，该门体可拆卸地与该壳体相组合以封闭该前开口，且与该壳体共同界定该容室。
在一些实施态样中，该后壁形成一与该前开口相对的后开口，且该外壳还包括一可拆卸地与该后壁相组合用以封闭该后开口的后盖。
在一些实施态样中，该后开口形成于该后壁的中间部位且沿该上下方向延伸。
在一些实施态样中，每一个承托架具有两个连接于该架体的该抵撑结构，且所述抵撑结构分别位于靠近所述侧壁与该后壁的交接处或位于靠近该后开口两侧处。
在一些实施态样中，该支撑单元还包括多个分别设于所述侧壁处且在该上下方向排列的第一固定结构，且每一个承托架的该架体还具有两个分别设于所述臂部的第二固定结构，所述第二固定结构分别与所述侧壁上对应的所述第一固定结构相结合固定。
在一些实施态样中，该支撑单元还包括两个设有所述第一固定结构的转接板。
在一些实施态样中，所述转接板为可拆地分别固定于所述侧壁。
在一些实施态样中，每一组相对应的该第一固定结构与该第二固定结构互为凹凸相配合以相互卡合或嵌合固定的结构。
在一些实施态样中，每一个第一固定结构呈沿前后方向延伸的长条形凹槽状，且每一个第二固定结构呈长条形片状并连接于对应的该臂部的外侧缘并与该臂部垂直连接，以卡置于对应的该第一固定结构中。
在一些实施态样中，每一个第一固定结构为一沿前后方向延伸并由该侧壁或该转接板表面向该容室方向凸伸的长条形片体，且每一个第二固定结构为一由对应的该臂部处的外侧缘往该臂部内凹设的凹槽，以容置对应的该第一固定结构。
在一些实施态样中，每一个承托架的该架体呈C形且该弯弧部处的内侧缘具有单一曲率，所述臂部各具有一连接该弯弧部的延伸段及一连接该延伸段的尾段，该延伸段处的内侧缘由该弯弧部处的内侧缘弯曲延伸并具有相同曲率，该延伸段处的外侧缘由连接该弯弧部处的外侧缘直线延伸，且该尾段处的外侧缘由连接该延伸段处的外侧缘直线延伸，以对应与该外壳连接，而该尾段处的内侧缘由该延伸段处的内侧缘渐往平行外侧缘方向延伸，使得该延伸段的宽度由连接该弯弧部的一端往连接该尾段的一端渐宽，且该尾段的宽度大于等于该延伸段的最大宽度。
在一些实施态样中，每一个承托架的该架体还具有至少一与该弯弧部连接且位于所述臂部之间朝向该容室中央凸伸的中间托部。
在一些实施态样中，该架体具有多个中间托部时，所述中间托部靠近该容室中央的一端是相互连接。
本实用新型至少具有以下功效：借由抵撑结构可使相堆栈的承托架的架体之间有良好支撑而不易变形，以使相邻架体的弯弧部保持固定间隔，而能提供基板更为平均而稳固的支撑，使容器中所容纳的基板不致过度变形而损坏，同时也可避免基板因过度变形而遭受自动取放片设备的擦撞而受损甚或破裂。并可增设后开口以在烘烤制程中提供良好的对流效果，但却不致因此而降低后开口附近各承托架的架体的支撑稳定性。此外，所述承托架借由两转接板与该外壳连接，且所述转接板可拆卸，能依据使用需求更换不同层数的支撑单元，以适用不同厚度或尺寸的基板，也可减少备料、库存的成本。再者，所述承托架具有相同结构，可以各自成形后，再堆栈组装，也方便制造及库存。
附图说明
本实用新型的其它的特征及功效，将于参照图式的实施方式中清楚地呈现，其中：
图1是本实用新型用于收纳基板的容器的一第一实施例的一立体图；
图2是该第一实施例的一另一视角的立体图；
图3是该第一实施例的一移除门体后的状态的立体图；
图4是该第一实施例的一打开一后开口的状态的立体分解图；
图5是该第一实施例的一立体分解图，说明一支撑单元与一外壳的组装关系；
图6是该第一实施例的该支撑单元的一立体图；
图7是该第一实施例的一承托架的一俯视图；
图8是该第一实施例的该承托架的一立体图；
图9是该第一实施例的该承托架的一另一视角的立体图；
图10是该第一实施例的该支撑单元的一后视图；
图11是该第一实施例的该支撑单元的一不完整的侧视图；
图12是该第一实施例的该支撑单元的一不完整的剖视立体图；
图13是本实用新型用于收纳基板的容器的一第二实施例的一立体图，其中一门体未示出；
图14是该第二实施例的一立体分解图；
图15是该第二实施例的一承托架的一立体图；
图16是该第二实施例的承托架的另一种实施态样的一俯视图；
图17是该第二实施例的一剖视图；
图18是图17的局部区域放大图；及
图19是该第二实施例的另一剖视图。
具体实施方式
在本实用新型被详细描述之前，应当注意在以下的说明内容中，类似的元件是以相同的编号来表示。
参阅图1至图5，本实用新型用于收纳基板的容器的一第一实施例，用以收纳多个基板5，尤其适用圆形基板5，该容器包含一界定一容室11的外壳1，及一支撑单元2。
该外壳1包括一壳体12及一门体13。该壳体12具有一底壁121、一与该底壁121上下相对的顶壁122、两分别连接该底壁121与该顶壁122两侧的侧壁123，及一连接该底壁121、该顶壁122及所述侧壁123的后壁124，并界定一与该后壁124相对的前开口125。该门体13可拆卸地与该壳体12相组合以封闭该前开口125，且与该壳体12共同界定该容室11。在本实施例中，该壳体12的后壁124形成一与该前开口125相对且与容室11相连通的后开口126，且该外壳1还包括一可拆卸地与该后壁124相组合用以封闭该后开口126的后盖14。该后开口126形成于该后壁124的中间部位且在该上下方向D1延伸，用以与该前开口125形成气体对流的通道，以在完成清洗制程之后要进行烘烤时，使该容室11内的部件或基板5可均匀受热并容易干燥。而在本实施例中，该后开口126的上下两侧分别相邻该顶壁122及该底壁121，以增加对流通道的范围。
该后盖14则可依需要与该后壁124相组合用以封闭该后开口126以维护容室11内的洁净，或是可在进行如烘烤等制程时将该后盖14由该后壁124上拆下。另外，图4中所示的后盖14是以最简单的平板状结构作为范例的。在实际应用中，后盖14可以视需要被制作成各种不同的造型或结构，例如呈弧面状的造型，或是在表面上增加资料/纪录卡插槽或螺柱/螺座等附加结构。此外，后盖14也可依需求而选择使用透明或不透明的，甚或是仅能允许特定波段范围的光线通过的材料制作。举例来说：当后盖14是采用透明材料制成时，则在制程中，工作人员便可通过此透明的后盖14观察本实施例所提供的容器中所收纳的基板5的状态，以便在有异常发生时可以尽快处理。
参阅图5至图8，该支撑单元2包括多个位于该容室11的承托架3。每一承托架3具有一弯弧形并用以承托基板5的架体31，及至少一个连接于该架体31的抵撑结构32，而在本实施例中是以每一个架体31连接有两个抵撑结构32作为范例的。该架体31具有两彼此间隔相对的臂部311，及一连接于所述臂部311之间的弯弧部312，并具有一内侧缘313及一外侧缘314，且所述臂部311与该外壳1连接。
在本实施例中，该支撑单元2还包括多个分别设于所述侧壁123且在该上下方向D1排列的第一固定结构41，且每一个承托架3的该架体31还具有两个分别设于所述臂部311的第二固定结构33，所述第二固定结构33分别与所述侧壁123上对应的该第一固定结构41相结合固定。每一组相对应的该第一固定结构41与该第二固定结构33互为凹凸相配合以相互卡合或嵌合固定的结构。
在本实施例中，该支撑单元2还包括两个设有所述第一固定结构41的转接板4，且所述转接板4可拆地分别固定于所述侧壁123。请同时参阅图10及图11，在本实施例中，每一个第一固定结构41呈沿前后方向D2延伸的长条形凹槽状，且每一个第二固定结构33呈长条形片状并连接于对应的臂部311的外侧缘314并与该臂部311垂直连接，以卡置于对应的第一固定结构41中，且对应每一第二固定结构33还可再以一螺丝(未图示)穿设于转接板4的一穿孔42及该第二固定结构33上的一锁孔331而将该第二固定结构33锁固于该转接板4以加强固定。
在变化的实施态样中，也可将该第一固定结构41设计成截面为T形且开口朝向该前开口125方向的沟状滑槽。组合时仅需将每一承托架3两侧的第二固定结构33沿着该前后方向D2由前往后插入对应的截面为T形沟状的第一固定结构41即可完成组合及固定。可理解地，在另一变化实施态样中，所述第一固定结构41也可直接形成于所述侧壁123而不需设置转接板4。
另外，也可将所述第二固定结构33直接锁固或胶合于所述转接板4或所述侧壁123，又或者将所述臂部311与该外壳1一体连接，并不以本实施例为限。也就是说，每一承托架3的两臂部311与该外壳1的连接方式并不以本实施例为限，可以是直接连接或间接连接皆可实施。但是若设有所述转接板4则可增加使用调整的弹性，将于下文中再加以说明。
每一承托架3的抵撑结构32设于架体31的弯弧部312且偏靠于外侧缘314处，所述承托架3的架体31在一上下方向D1相间隔地排列，且借由抵撑结构32支撑相邻的架体31以使相邻架体31的弯弧部312保持固定间隔。也就是说，用以支撑弯弧部312，以避免弯弧部312往下弯曲变形。
在本实施例中，每一承托架3的两抵撑结构32分别靠近所述侧壁123与该后壁124的交接处而位于该后开口126(见图4)两侧，而不是在该前开口125与该后开口126之间的通道上，因此不会阻碍该前开口125与该后开口126间的气体流通。可理解地，每一承托架3也可仅设置一个抵撑结构32，例如设于弯弧部312的中间区段，或者也可以设置三个以上的抵撑结构32，并不限制。
如图7所示，在本实施例中，每一承托架3的架体31呈C形，该弯弧部312处的内侧缘313具有单一曲率。所述臂部311各具有一连接该弯弧部312的延伸段311a及一连接该延伸段311a的尾段311b。该延伸段311a处的内侧缘313由该弯弧部312处的内侧缘313弯曲延伸并具有相同曲率。该延伸段311a处的外侧缘314由连接该弯弧部312处的外侧缘314直线延伸，且该尾段311b处的外侧缘314由连接该延伸段311a处的外侧缘314直线延伸，以对应并与该外壳1连接。而该尾段311b处的内侧缘313由该延伸段311a处的内侧缘313渐往平行外侧缘314方向延伸，使得该延伸段311a的宽度W1由连接该弯弧部312的一端往连接该尾段311b的一端渐宽，且该尾段311b的宽度W2可大于或等于该延伸段311a的最大宽度，也就是说该尾段311b的宽度W2可大于或等于该延伸段311a宽度W1的最大值。如此可尽量缩小该架体31靠近该前开口125一端的开口宽度，仅保留恰好可供自动取放片装置的机械手臂出入的宽度的开口，以在承托基板5时，能够对基板5的侧方及前方周缘提供更大范围的支撑，而不是像现有的U形支撑结构一般仅能支撑基板的侧边及后方周缘。故能提供较佳的承托力以减少基板5因受到重力作用而产生的下垂或变形量。
参阅图8与图9，每一抵撑结构32具有一连接于该弯弧部312处的外侧缘314的支撑部321及一限位部322，该限位部322与该支撑部321在该上下方向D1分别凸出该弯弧部312相反两侧，且上下相错位。该支撑部321还具有两个彼此间隔连接于该弯弧部312的连接臂321a、一连接于所述连接臂321a底端的连接梁321b、一朝向该弯弧部312处的内侧缘313方向凸出于该连接梁321b表面的卡块321c，及两个分别由所述连接臂321a表面朝向该弯弧部312处的内侧缘313方向凸出的支撑柱321d。该限位部322具有一卡槽322a，且该限位部322在该上下方向D1的投影位于所述支撑柱321d之间。
另配合参阅图10至图12，每两相邻的承托架3的抵撑结构32的支撑部321在该上下方向D1相抵接，且每两相邻的承托架3其中一者的限位部322与其中另一者的支撑部321在朝向该弯弧部312曲率中心的方向上相抵靠，且其中一者的支撑部321的卡块321c卡置于其中另一者的限位部322的卡槽322a，同时其中一者的限位部322位于其中另一者的支撑部321的两支撑柱321d之间，且所述支撑柱321d抵于所述相邻承托架3的弯弧部312之间。借此，每两相邻承托架3的抵撑结构32不仅能支撑架体31，且能互相卡扣限位，使整体结构更为稳固。
在本实施例中，每一承托架3的抵撑结构32的支撑部321是由架体31往下凸出，而限位部322是由架体31往上凸出，然而，可理解地，在变化实施态样中，支撑部321也可由架体31往上凸出，而限位部322可由架体31往下凸出。再者，抵撑结构32只有支撑部321也可实施，只要能抵撑于相邻两架体31之间即可。而本实施例使上下抵撑结构32互相卡扣限位的设计，能更进一步使整体结构更为稳固。当然，卡扣限位的设计有多种变化方式，并不以本实施例为限。
此外，位于最上方及最下方的承托架3的抵撑结构32可以视实际需求调整，例如位于最上方承托架3的抵撑结构32可以不设有位于上方的限位部322或支撑部321，而位于最下方承托架3的抵撑结构32可以不设有向下凸出的支撑部321或限位部322，以降低该外壳1及该容室11在高度方向上所需的空间。
再参阅图5与图10，在本实施例中，所述转接板4为可拆卸地固定于所述侧壁123，借此，能够依据使用需求调整支撑单元2的架构，例如使用具有25个第一固定结构41的转接板4，但只在单数层的第一固定结构41的位置处装设承托架3，而成为可适用收纳13片基板5的容器。或如本实施例的支撑单元2可适用收纳13片基板5，另可使用具有不同高度的抵撑结构32的承托架3，并改变第二固定结构33的高度及转接板4的第一固定结构41的间距，以调整架体31之间的间距，并借由缩小间距以增加承托架3的数量，例如形成可适用收纳25片基板5的支撑单元2；或者借由增加间距来减少承托架3的数量。换句话说，可以制备多种具有不同层数(承托架3的数量)的支撑单元2，借由所述转接板4为可拆卸地固定于所述侧壁123，即能依据使用需求更换不同层数的支撑单元2，以适用不同厚度或尺寸的基板5。而且在生产上，同一尺寸的外壳1可以搭配不同层数的支撑单元2，也可减少备料、库存的成本，并增加生产的弹性。再者，在本实施例中，所述承托架3具有相同结构，可以各自成形后，再堆栈组装，也方便制造及库存。
此外，若是没有调整支撑单元2架构的需求，则所述转接板4也可与所述侧壁123一体连接，例如以埋入式模造(insert molding)方式将两者连结。而为了满足各种不同的制程需求，本实施例所提供的容器的外壳1与支撑单元2均可选用各种不同特性的材料制成，例如以可消除静电且可耐温180℃以上的塑料材料制成。
参阅图13至图15，本实用新型容器的一第二实施例与第一实施例在结构上大致相同。惟在第二实施例中，每一承托架3的架体31除了具有两彼此间隔相对的臂部311、一连接于所述臂部311之间的弯弧部312之外，还具有一与该弯弧部312连接且位于所述臂部311间朝向该容室11中央凸伸的中间托部315。本实施例可适用于厚度较薄或尺寸较大的基板5(参考图3)，借由该中间托部315增加对基板5中央部位的支撑，使基板5放置于该承托架3的该架体31上时能够更平坦，不会产生过大的下垂量，以避免自动取放片装置的机械手臂取放片时擦撞到其变形下垂的部位而造成基板5受到损伤甚或破损。
如图16所示，在一变化实施态样中，承托架3的架体31也可具有一个以上的中间托部315。图16中所示者是以一具有两个中间托部315的架体31作为范例的。而当承托架3的架体31具有多个中间托部315时，所述中间托部315靠近该容室11(参见图14)中央的一端(也就是各该中间托部315远离架体31的一端)可以是相互连接的，借以增加整体结构的强度，并因而可对基板5(参考图3)的中央部位提供更为稳固的支撑。
此外，另配合参阅图17至图19，在第二实施例中，所述第一固定结构41分别直接设置于所述侧壁123，每一个第一固定结构41为一由该侧壁123表面向该容室11方向凸伸并沿该前后方向D2延伸的长条形片体，且每一个第二固定结构33为一由对应的该臂部311处的外侧缘314往该臂部311内凹设的凹槽，以容置对应的第一固定结构41。在变化的实施态样中，该第一固定结构41也可为一个或多个沿该前后方向D2排列的凸块或卡榫，且每一第二固定结构33为一个或多个沿对应臂部311处的外侧缘314设置的凹孔以配合卡置对应的凸块或卡榫。如同该第一实施例，在第二实施例中，也可包括两个设有所述第一固定结构41的转接板4(可参考第一实施例)，再由所述转接板4与对应的侧壁123结合固定。而且，所述转接板4也可依据使用需求而被设计成可拆或者是不可拆地固定于所述侧壁123上。
综上所述，借由抵撑结构32可使相堆栈的承托架3的架体31之间有良好支撑而不易变形，以使相邻架体31的弯弧部312保持固定间隔，而能提供基板5更为平均而稳固的支撑，使容器中所容纳的基板5不致过度变形而损坏，同时也可避免基板5因过度变形而遭受自动取放片设备的擦撞而受损甚或破裂。此外，所述承托架3借由两转接板4与该外壳1连接，且所述转接板4可拆卸，能依据使用需求更换不同层数的支撑单元2，以适用不同厚度或尺寸的基板5，也可减少备料、库存的成本。再者，所述承托架3具有相同结构，可以各自成形后，再堆栈组装，也方便制造及库存。更可增设后开口126以在烘烤制程中提供良好的对流效果，但却不致因此而降低后开口126附近各承托架3的架体31的结构强度及支撑稳定性。
以上所述者，仅为本实用新型的实施例而已，当不能以此限定本实用新型实施的范围，即凡依本实用新型权利要求书及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本实用新型的范围。

Claims (24)

1.一种用于收纳基板的容器，包含：一界定一容室的外壳，及一支撑单元，其特征在于：
该支撑单元包括多个位于该容室内的承托架，每一个承托架具有一弯弧形的架体，及至少一连接于该架体的抵撑结构，该架体具有两彼此间隔相对的臂部，及一连接于所述臂部之间的弯弧部，且所述臂部与该外壳连接，该抵撑结构设于该弯弧部且偏靠于外侧缘处，所述承托架的所述架体在一上下方向相间隔地排列，且借由所述抵撑结构支撑相邻的所述架体以使相邻的所述架体的所述弯弧部保持固定间隔。
2.根据权利要求1所述容器，其特征在于：每两相邻的所述承托架的所述抵撑结构在该上下方向相抵接。
3.根据权利要求2所述容器，其特征在于：该抵撑结构具有一连接于该弯弧部处的外侧缘的支撑部，每两相邻的所述承托架的所述支撑部在该上下方向相抵接。
4.根据权利要求3所述容器，其特征在于：该抵撑结构还具有一限位部，该限位部与该支撑部在该上下方向分别凸出该弯弧部相反两侧，且上下相错位，而使每两相邻的所述承托架其中一者的该限位部与其中另一者的该支撑部在朝向该弯弧部曲率中心的方向上相抵靠。
5.根据权利要求4所述容器，其特征在于：该限位部具有一卡槽，该支撑部具有一卡块，每两相邻的所述承托架其中一者的该支撑部的该卡块卡置于其中另一者的该限位部的该卡槽。
6.根据权利要求5所述容器，其特征在于：每一个支撑部还具有两个彼此间隔连接于该弯弧部的连接臂，及一连接于所述连接臂底端的连接梁，且该卡块朝向该弯弧部处的内侧缘方向凸出于该连接梁表面。
7.根据权利要求6所述容器，其特征在于：该支撑部还具有两个分别由所述连接臂表面朝向该弯弧部处的内侧缘方向凸出的支撑柱，且该限位部在该上下方向的投影位于所述支撑柱之间，而使每两相邻的所述承托架其中一者的该限位部位于其中另一者的该支撑部的所述支撑柱之间，且所述支撑柱抵于所述相邻承托架的所述弯弧部之间。
8.根据权利要求1至7中任一权利要求所述容器，其特征在于：该外壳包括一壳体及一门体，该壳体具有一底壁、一与该底壁上下相对的顶壁、两分别连接该底壁与该顶壁两侧的侧壁，及一连接该底壁、该顶壁及所述侧壁的后壁，并界定一与该后壁相对的前开口，该门体可拆卸地与该壳体相组合以封闭该前开口，且与该壳体共同界定该容室。
9.根据权利要求8所述容器，其特征在于：该后壁形成一与该前开口相对的后开口，且该外壳还包括一可拆卸地与该后壁相组合用以封闭该后开口的后盖。
10.根据权利要求9所述容器，其特征在于：该后开口形成于该后壁的中间部位且沿该上下方向延伸。
11.根据权利要求10所述容器，其特征在于：每一个承托架具有两个连接于该架体的该抵撑结构，且所述抵撑结构分别位于靠近所述侧壁与该后壁的交接处或位于靠近该后开口两侧处。
12.根据权利要求1所述容器，其特征在于：该外壳包括一壳体及一门体，该壳体具有一底壁、一与该底壁上下相对的顶壁、两分别连接该底壁与该顶壁两侧的侧壁，及一连接该底壁、该顶壁及所述侧壁的后壁，并界定一与该后壁相对的前开口，该门体可拆卸地与该壳体相组合以封闭该前开口，且与该壳体共同界定该容室；该支撑单元还包括多个分别设于所述侧壁处且在该上下方向排列的第一固定结构，且每一个承托架的该架体还具有两个分别设于所述臂部的第二固定结构，所述第二固定结构分别与所述侧壁上对应的所述第一固定结构相结合固定。
13.根据权利要求12所述容器，其特征在于：该支撑单元还包括两个设有所述第一固定结构的转接板。
14.根据权利要求13所述容器，其特征在于：所述转接板为可拆地分别固定于所述侧壁。
15.根据权利要求12、13或14所述容器，其特征在于：每一组相对应的该第一固定结构与该第二固定结构互为凹凸相配合以相互卡合或嵌合固定的结构。
16.根据权利要求15所述容器，其特征在于：每一个第一固定结构呈沿前后方向延伸的长条形凹槽状，且每一个第二固定结构呈长条形片状并连接于对应的该臂部的外侧缘并与该臂部垂直连接，以卡置于对应的该第一固定结构中。
17.根据权利要求12所述容器，其特征在于：每一组相对应的该第一固定结构与该第二固定结构互为凹凸相配合以相互卡合或嵌合固定的结构，且每一个第一固定结构为一沿前后方向延伸并由该侧壁表面向该容室方向凸伸的长条形片体，且每一个第二固定结构为一由对应的该臂部处的外侧缘往该臂部内凹设的凹槽，以容置对应的该第一固定结构。
18.根据权利要求13或14所述容器，其特征在于：每一组相对应的该第一固定结构与该第二固定结构互为凹凸相配合以相互卡合或嵌合固定的结构，且每一个第一固定结构为一沿前后方向延伸并由该转接板表面向该容室方向凸伸的长条形片体，且每一个第二固定结构为一由对应的该臂部处的外侧缘往该臂部内凹设的凹槽，以容置对应的该第一固定结构。
19.根据权利要求15所述容器，其特征在于：该后壁形成一与该前开口相对的后开口，且该外壳还包括一可拆卸地与该后壁相组合用以封闭该后开口的后盖。
20.根据权利要求19所述容器，其特征在于：该后开口形成于该后壁的中间部位且沿该上下方向延伸。
21.根据权利要求20所述容器，其特征在于：每一个承托架具有两个连接于该架体的该抵撑结构，且所述抵撑结构分别位于靠近所述侧壁与该后壁的交接处或位于靠近该后开口两侧处。
22.根据权利要求1所述容器，其特征在于：每一个承托架的该架体呈C形且该弯弧部处的内侧缘具有单一曲率，所述臂部各具有一连接该弯弧部的延伸段及一连接该延伸段的尾段，该延伸段处的内侧缘由该弯弧部处的内侧缘弯曲延伸并具有相同曲率，该延伸段处的外侧缘由连接该弯弧部处的外侧缘直线延伸，且该尾段处的外侧缘由连接该延伸段处的外侧缘直线延伸，以对应并与该外壳连接，而该尾段处的内侧缘由该延伸段处的内侧缘渐往平行外侧缘方向延伸，使得该延伸段的宽度由连接该弯弧部的一端往连接该尾段的一端渐宽，且该尾段的宽度大于等于该延伸段的最大宽度。
23.根据权利要求1所述容器，其特征在于：每一个承托架的该架体还具有至少一与该弯弧部连接且位于所述臂部之间朝向该容室中央凸伸的中间托部。
24.根据权利要求23所述容器，其特征在于：该架体具有多个中间托部时，所述中间托部靠近该容室中央的一端是相互连接。
CN201621356021.8U 2016-02-23 2016-12-12 用于收纳基板的容器 Active CN206259327U (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW105105249 2016-02-23
TW105105249 2016-02-23

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN206259327U true CN206259327U (zh) 2017-06-16

Family

ID=59028812

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201621356021.8U Active CN206259327U (zh) 2016-02-23 2016-12-12 用于收纳基板的容器

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR200486265Y1 (zh)
CN (1) CN206259327U (zh)
TW (1) TWI586597B (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108122815A (zh) * 2017-12-20 2018-06-05 合肥矽迈微电子科技有限公司 通用的基板料盒
CN110610885A (zh) * 2018-06-14 2019-12-24 家登精密工业股份有限公司 基板载具
CN116564867A (zh) * 2023-05-05 2023-08-08 北京鑫跃微半导体技术有限公司 晶圆承载装置
CN108122815B (zh) * 2017-12-20 2024-05-10 合肥矽迈微电子科技有限公司 通用的基板料盒

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115140411A (zh) * 2022-06-29 2022-10-04 Oppo广东移动通信有限公司 一种柔性屏支架

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4330761B2 (ja) * 2000-04-17 2009-09-16 信越ポリマー株式会社 ウェーハ輸送容器のサポート具
KR20020039394A (ko) * 2000-11-21 2002-05-27 윤종용 웨이퍼 캐리어
JP4564695B2 (ja) * 2001-09-28 2010-10-20 株式会社ディスコ ウェーハカセット並びに半導体ウェーハの搬入方法及び搬出方法
JP4908172B2 (ja) * 2006-12-05 2012-04-04 三甲株式会社 ウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造
WO2010061431A1 (ja) * 2008-11-25 2010-06-03 ミライアル株式会社 ウエハ収納容器
TWI465375B (zh) * 2010-06-02 2014-12-21 Gudeng Prec Industral Co Ltd 一種配置有彈性件模組之晶圓盒
TWI515160B (zh) * 2010-10-19 2016-01-01 安堤格里斯公司 具自動凸緣之前開式晶圓容器
JP5781909B2 (ja) * 2011-12-08 2015-09-24 信越ポリマー株式会社 薄板収納容器
TWM500982U (zh) * 2014-11-14 2015-05-11 Chung King Entpr Co Ltd 基板收納容器

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108122815A (zh) * 2017-12-20 2018-06-05 合肥矽迈微电子科技有限公司 通用的基板料盒
CN108122815B (zh) * 2017-12-20 2024-05-10 合肥矽迈微电子科技有限公司 通用的基板料盒
CN110610885A (zh) * 2018-06-14 2019-12-24 家登精密工业股份有限公司 基板载具
CN110610885B (zh) * 2018-06-14 2022-08-26 家登精密工业股份有限公司 基板载具
CN116564867A (zh) * 2023-05-05 2023-08-08 北京鑫跃微半导体技术有限公司 晶圆承载装置
CN116564867B (zh) * 2023-05-05 2024-02-20 北京鑫跃微半导体技术有限公司 晶圆承载装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW201730062A (zh) 2017-09-01
KR20170003068U (ko) 2017-08-31
KR200486265Y1 (ko) 2018-04-24
TWI586597B (zh) 2017-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN206259327U (zh) 用于收纳基板的容器
US20090117332A1 (en) Monolithic glass array
CN101738673B (zh) 导光板及背光模组
EP3217215B1 (en) Curved liquid crystal display device
CN107405846B (zh) 供在制造隐形眼镜时使用的托盘
CN104503011A (zh) 棱镜膜片、曲面背光源和显示装置
US20100147030A1 (en) Method and apparatus for forming a double-curved panel from a flat panel
JP4995206B2 (ja) トーリックコンタクトレンズ製造における軸制御
CN105371169B (zh) 一种led面板灯
CN105246739A (zh) 用于汽车前照灯的灯光模块
CN110240392B (zh) 玻璃弯曲模具、包括其的玻璃弯曲装置和弯曲玻璃的方法
CN102720993B (zh) 背光模组及液晶显示装置
CN107698133A (zh) 用来制造模造玻璃的模具结构
CN104061529B (zh) 导光板组件
CN101868683B (zh) 蛋架
CN204347285U (zh) 棱镜膜片、曲面背光源和显示装置
CN101142441B (zh) 将场所外侧光重新指向场所的改进的反射面
KR102612740B1 (ko) 유리판 성형 장치
CN104400990A (zh) 一种可活动拼接的弯管装置及尼龙管弯管成型方法
CN204278505U (zh) 一种可活动拼接的弯管装置
CN204222171U (zh) 一种弯管装置
CN206794314U (zh) 一种用于清洗光学镜片的清洗夹具
CN204222172U (zh) 一种不锈钢板式的弯管装置
ES2353329B1 (es) Soporte para bandejas portacables.
CN201910410U (zh) 放片架改良强化结构

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant