CN110610885A - 基板载具 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种基板载具，包括：具有一容置空间与一开口的盒体；两基板收纳模块，设置于容置空间内的两侧。每一基板收纳模块各包括：复数个隔板，每一复数个隔板间有一间距，且每一复数个隔板间彼此平行；复数个第一连接柱，每一复数个第一连接柱各设置于每一复数个隔板靠近开口的一前侧角，每一复数个第一连接柱彼此相接；以及复数个第二连接柱，每一复数个第二连接柱各设置于每一复数个隔板远离开口的一后侧角，每一复数个第二连接柱彼此相接。每一复数个第二连接柱各包括一拍状结构，且前侧角与后侧角位于复数个隔板的一对角线上。

Description

基板载具

技术领域

本发明公开了一种基板载具，尤指一种能透过模块化结构承载基板的基板载具。

背景技术

半导体组件是一种需要极高精密度的组件结构，因此任何缺陷或是粒子的附着对于半导体组件的良率将造成极大的影响，有鉴于此，须确保半导体制程中组件的运送为一安全且无尘的程序，而晶圆盒便成为一种半导体产业中用来承载与运送晶圆，防止晶圆碰撞毁损或污损发生的简便工具。

其中，前开式晶圆传送盒(Front Opening Unified Pod,FOUP)为晶圆传送盒一种常用的型态，其结构设计为于盒体的侧面设置一开口，并于盒体内设置多个插槽，使晶圆可放置于插槽中，并方便操作者经由侧面的开口取用。而前开式晶圆传送盒更有另一种于基板上的应用，藉由改良盒体内部插槽的形状，原本的前开式晶圆传送盒改良成为一种基板载具。

在已知的基板载具中，并未设置有基板位置的指示机构，供操作者确认所基板已放置在插槽中正确的位置上，也未有基板放置位置的回馈机构，往往造成操作者使用上的不便。此外，将基板放置进入基板载具中时，常常容易因摩擦而产生微小粒子，造成基板的污染，无法有效的达到保护基板的用途。

发明内容

为解决先前技术中所提及的课题，本发明提供了一种基板载具，包括：一盒体，包括一容置空间、一后板、一底板与一开口；两基板收纳模块，设置于容置空间内的两侧，每一基板收纳模块各包括：复数个隔板，每一复数个隔板间有一间距，且每一复数个隔板间彼此平行；复数个第一连接柱，每一复数个第一连接柱各设置于每一复数个隔板靠近开口的一前侧角，每一复数个第一连接柱彼此相接；以及复数个第二连接柱，每一复数个第二连接柱各设置于每一复数个隔板远离开口的一后侧角，每一复数个第二连接柱彼此相接；其中每一复数个第二连接柱各包括一拍状结构，且前侧角与后侧角位于复数个隔板的一对角线上。

以上对本发明的简述，目的在于对本发明的数种面向和技术特征作一基本说明。发明简述并非对本发明的详细表述，因此其目的不在特别列举本发明的关键性或重要组件，也不是用来界定本发明的范围，仅为以简明的方式呈现本发明的数种概念而已。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本发明实施例基板载具的整体结构图；

图2为本发明其一实施例的内部结构图；

图3为本发明其一实施例的内部部份结构侧面放大图；

图4为本发明其一实施例的内部部份结构俯视图；

图5为本发明其一实施例的内部结构图；

图6为本发明其一实施例的中央支撑模块拆解示意图；

图7为本发明其一实施例的中央支撑模块示意图；

图8为本发明其一实施例承载基板的状态示意图；

图9为本发明其一实施例的投影区示意图；

图10是本发明其一实施例的进气结构示意图。

附图标号说明：

100 盒体

101 开口

102 后板

103 底板

200 基板收纳模块

201 隔板

2011 斜向侧板

202 第一连接柱

203 前侧角

204 第二连接柱

2041 凸出部

205 后侧角

206 导板

207 导角

208 拍状结构

2081 弹性臂

2082 拍面

209 对角线

300a 中央支撑模块

300b 中央支撑模块

301 主板

3011 设置孔

302a 中央支撑件

302b 中央支撑件

3021 设置块

3022 抵持肋

400 基板

401 投影区

501 进气阀

502 出气阀

600 气体通道

700 气埠

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个组件内部的连通或两个组件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

请同时参照图1与图2，图1是本发明实施例基板载具的整体结构图；图2是本发明其一实施例的内部结构图。由图1与图2中可见，本发明的实施例基板载具包括一盒体100，所述盒体100包括一容置空间、一后板102、一底板103与一开口101；两基板收纳模块200，设置于容置空间内的两侧，每一基板收纳模块200各包括：复数个隔板201，每一复数个隔板201间有一间距，且每一复数个隔板201间彼此平行；复数个第一连接柱202，每一复数个第一连接柱202各设置于每一复数个隔板201靠近开口101的一前侧角203，每一复数个第一连接柱202彼此相接；以及复数个第二连接柱204，每一复数个第二连接柱204各设置于每一复数个隔板201远离开口101的一后侧角205，每一复数个第二连接柱204彼此相接；其中每一复数个第二连接柱204各包括一拍状结构208，且前侧角203与后侧角205位于复数个隔板201的一对角线209上。

如图1所示，本实施例中的基板载具为一六面体盒状结构，其前侧设有一开口101，而两基板收纳模块200设置于基板载具容置空间中的左右两侧。其中，设置于容置空间一侧的基板收纳模块200与设置于容置空间另一侧的另一基板收纳模块200为左右对称的结构(可参考图2中仅显示两个基板收纳模块200的示意图)。每个基板收纳模块200中包括复数个隔板201，所述些隔板201之间固定以一间距垂直相隔，并藉由复数个第一连接柱202与复数个第二连接柱204彼此相连。在某些可能的实施例中，所述些复数个第一连接柱202或第二连接柱204彼此间可经由榫接或设置螺纹接头的方式相接，而基板则可设置于这些隔板201所隔开的空间中。

从图2可清楚看出每个基板收纳模块200的结构，其中每一复数个第一连接柱202各设置于每一复数个隔板201靠近开口101的一前侧角203，而每一复数个第二连接柱204各设置于每一复数个隔板201远离开口101的一后侧角205，且前侧角203与后侧角205位于复数个隔板201的一对角线209上。更进一步来说，前侧角203位于隔板201上靠近开口101并远离后板102的一角，而后侧角205位于隔板201上远离开口101并靠近后板102的一角。

每一复数个隔板201各包括一导板206及斜向侧板2011，导板206设置于每一复数个隔板201的外侧边。在可能的实施样态中，导板206是设置于每一复数个隔板201远离开口101的侧边，较佳的，导板206更包括一导角207，设置于导板206靠近开口101的一端。操作者将基板400推入这些隔板201所隔开的空间中时，导板206和导角207将引导基板移动的方向，使基板不至于歪斜或设置在错误的位置上(可先参考图4)。于本发明的最佳实施例中，导角207更包括一保护层，设置于导角207的表面。此保护层可为一铁氟龙涂层，或者是其他低摩擦及耐磨的涂层，使得基板在移动时更加顺畅，并且不会因摩擦而使导角207的材质脱落，形成微小的粒子污染基板或其他放置其中的基板400。由图2可见，在本实施例中，每一复数个隔板201靠近容置空间中心的侧边更包括一个斜向侧板2011，这些复数个斜向侧板2011朝向下方倾斜，有助于基板400取出时协助引导的作业。

接着请参照图3，图3是本发明其一实施例的内部部份结构侧面放大图。由图3中可见，本实施例中每一复数个第二连接柱204各包括一拍状结构208，这些拍状结构208更进一步地包括一弹性臂2081与一拍面2082，每个拍状结构208的弹性臂2081的一端均分别与各个第二连接柱204连接，而另一端则则与拍面2082连接。当操作者将基板400推入隔板201所隔开的空间中，并到达预定位置时，基板400将碰触到拍面2082，操作者感受到拍面2082的反作用力后便会得到基板400位置已放置妥当的回馈，进而停止持续推动基板400的动作(可先参照图4)。本发明藉由弹性臂2081的设置，使得拍面2082的动作可得到缓冲，降低基板400与拍面2082间的作用力，减少毁损或摩擦等情况的发生。

接着请参照图4，图4是本发明其一实施例的内部部份结构俯视图。由图4中可见，拍面2082有一圆弧表面，此圆弧表面可减低基板400与拍面2082间的接触面积，减少摩擦并造成材质脱落并形成微小粒子污染基板400或其他放置其中的半导体组件的机会。于某些实施例中，弹性臂2081与拍面2082可如图3中所示的实施例一般，一体成型地设置形成一T型结构，而此T型结构中远离第二连接柱204的一端也具有圆弧表面。

本实施例中，导角207也具有弧状结构，此结构可帮助基板的移动，使其更加顺畅。由图4中可见本实施例中每一复数个第二连接柱204各包括一凸出部2041，设置于每一复数个第二连接柱204靠近开口101的一侧。凸出部2041的功效也在于阻挡基板的动作，并且由凸出部2041所提供的反作用力，使操作者可以得到基板位置已放置妥当的回馈，进而停止动作。

较佳的，凸出部2041同样设计为包括圆弧抵持面或圆锥抵持面的块状结构，或可如图4中所示地一般设置为一柱状凸出，只要凸出部2041与半导体组件间的接触面积可以有效地减少，便达到本发明所要达到的功效。凸出部2041的实施样态不以本说明为限。本发明的较佳实施例中，复数个第一连接柱202与复数个第二连接柱204更包括一铁氟龙层，设置于复数个第一连接柱202与复数个第二连接柱204的表面，藉以减少半导体组件与第一连接柱202及第二连接柱204间的摩擦，同时减少粒子的脱落以及半导体的污染。

另一些较佳实施例中，复数个第一连接柱202更可包括一滚轮，可转动地设置于复数个第一连接柱202上。滚轮可以复数个第一连接柱202作为其轴心转动，当操作者将基板400放置进入基板载具时，滚轮受到基板的推动而相应转动，帮助导引及协助基板400的放入动作，使其顺畅不受阻。较佳地，滚轮的表面材质为一耐磨的涂层，此涂层不易受到摩擦而脱落，使基板载具内部可维持一无尘且不受污染的状态；反之，滚轮与第一连接柱202的接触面处理方式也可。

请同时参照图5及图6，图5是本发明其一实施例的内部结构图；图6是本发明其一实施例的中央支撑模块拆解示意图。如图5所示，在图5的实施例中，如图1中后板102的正中央更设有中央支撑模块300a，所述中央支撑模块300a包括主板301以及复数个中央支撑件302a。所述复数个中央支撑件302a等间隔地设于主板301上。其中复数个中央支撑件302a的数量与复数个隔板201相等。

据此，中央支撑模块300a可以达到协助基板收纳模块200施力于基板400的支撑力。同样地，中央支撑件302a为减少与基板400的接触面积，整体以椭圆杆状的形式呈现。在本实施例中，中央支撑件302a的底部设有设置块3021；相应地，主板301上设有相应复数个中央支撑件302a数量的设置孔3011。设置块3021与设置孔3011彼此可透过螺接或榫接的方式固定，藉以固定复数个中央支撑件302a。在可能的实施样态中，也可以将整个中央支撑模块300a作为一体成型的方式实施；甚者，将整个中央支撑模块300a与盒体100一体成型制作，本发明不加以限制。

请参照图7，图7是本发明其一实施例的中央支撑模块示意图。图7中的实施例与图5及图6中所载实施例中的中央支撑模块300a相仿，但其结构上有部分变化。在图7的实施例中，中央支撑模块300b的中央支撑件302b的横切面设计为十字型，其上设有至少一个抵持肋3022。透过十字型的结构和至少一个抵持肋3022的应用，可稳固地固定基板400的中央。同样地，抵持肋3022与基板400的接触面同样可设计为具有圆弧表面的线性接触面，以减少摩擦产生微尘或微粒的机会。据此，请进一步参照图8，图8是本发明其一实施例承载基板的状态示意图。透过图8的示意，可清楚地看到复数个基板400被承载于两个基板收纳模块200及中央支撑模块300a(也可替换为中央支撑模块300b)的实施样态；且每片基板400皆透过拍状结构208所抵持，避免碰撞盒体100的后板102。

接着请参照图8，图8是本发明其一实施例承载基板的状态示意图。如图8所示，基板400依序被乘载于每个基板收纳模块200、中央支撑模块300a及基板收纳模块200所组合出的卡匣中。提供稳定的支撑结构，并在盒体100和门板(图未示)闭合后，形成稳定的基板400乘载空间。

请参照图9，图9是本发明其一实施例的投影区示意图。如图9所示，在图9的实施例中，可明显看出两个基板收纳模块200上乘载有基板400投影至基板载具的底板103所形成的投影区401。且底板103上更设有至少一出气阀502及至少一进气阀501。更精确来说，本实施例中的出气阀502及进气阀501各为两两设置于基板载具盒体100内左右两侧及左右两侧的后方。且所述至少一出气阀502及所述至少一进气阀501设于投影区401的外。藉由此设计，可以在基板载具盒体100内形成一个均匀扩散的流场。

请参照图10，图10是本发明其一实施例的进气结构示意图。举至少一进气阀501为例，在图10的实施例中，至少一进气阀501主要透过气体通道600及气端口700和外界环境连接。更进一步来说，图10中的实施例是在基板载具的盒体100底部装设气埠700，接着将气埠700连通至气体通道600再将洁净气体引导至至少一进气阀501(如图10中的虚线箭头所示)。而气体通道600的设计上，设计为进气时的空间较大；透过斜向引导洁净气体的方式逐渐靠近至少一进气阀501，并达到移出基板400的投影区401外的功效(可参考图9的实施例)。此外，当洁净气体依照图10中的虚线箭头被引导至至少一进气阀501下方时，由于气体通道600的空间紧缩，会让由至少一进气阀501所喷入盒体100中的洁净气体气压增幅，达到洁净气体充分于盒体100内均匀扩散的效果。

反的，图10中的实施例，于至少一出气阀502运作时，也可采用类似于的技术手段将盒体100内部的气体基板载具的外，本发明并不加以限制。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (13)

1.一种基板载具，其特征在于，包括：一盒体，包括一容置空间、一后板、一底板与一开口；

两基板收纳模块，设置于所述容置空间内的两侧，每一所述基板收纳模块包括：

复数个隔板，每一所述复数个隔板间有一间距，且每一所述复数个隔板间彼此平行；

复数个第一连接柱，每一所述复数个第一连接柱各设置于每一所述复数个隔板靠近所述开口的一前侧角，每一所述复数个第一连接柱彼此相接；以及

复数个第二连接柱，每一所述复数个第二连接柱各设置于每一所述复数个隔板远离所述开口的一后侧角，每一所述复数个第二连接柱彼此相接；其中

每一所述复数个第二连接柱各包括一拍状结构，且所述前侧角与所述后侧角位于所述复数个隔板的一对角线上。

2.如权利要求1所述的基板载具，其特征在于，其中每一所述复数个第二连接柱各包括一凸出部，设置于每一所述复数个第二连接柱靠近所述开口的一侧。

3.如权利要求2所述的基板载具，其特征在于，所述凸出部为包括一圆弧抵持面或一圆锥抵持面的一块状结构。

4.如权利要求1所述的基板载具，其特征在于，所述拍状结构更包括一弹性臂与一拍面，所述拍面具有一圆弧表面。

5.如权利要求1所述的基板载具，其特征在于，更包括复数个垫片，每一所述复数个垫片各设置于每一所述复数个拍状结构远离所述开口的一侧。

6.如权利要求1所述的基板载具，其特征在于，每一所述复数个隔板各包括一导板，设置于每一所述复数个隔板的一外侧边。

7.如权利要求6所述的基板载具，其特征在于，所述导板更包括一导角，设置于所述导板靠近所述开口的一端。

8.如权利要求7所述的基板载具，其特征在于，所述导角包括一保护层，设置于所述导角的表面，所述保护层为一铁氟龙涂层。

9.如权利要求1所述的基板载具，其特征在于，所述复数个第一连接柱与所述复数个第二连接柱更包括一铁氟龙层，设置于所述复数个第一连接柱与所述复数个第二连接柱的表面。

10.如权利要求1所述的基板载具，其特征在于，所述复数个第一连接柱更包括一滚轮，可转动地设置于所述复数个第一连接柱上。

11.如权利要求1所述的基板载具，其特征在于，所述后板正中央更设有一中央支撑模块，所述中央支撑模块包括：

一主板；以及

复数个中央支撑件，等间隔地设于所述主板上；

其中所述复数个中央支撑件的数量与所述复数个隔板相等。

12.如权利要求11所述的基板载具，其特征在于，每个所述复数个中央支撑件上更设有至少一抵持肋。

13.如权利要求1所述的基板载具，其特征在于，所述两基板收纳模块乘载有复数个基板，所述复数个基板投影至所述基板载具的所述底板形成一投影区；

所述底板上更设有至少一出气阀及至少一进气阀；

其中，所述至少一出气阀及所述至少一进气阀设于所述投影区外。