JPH054674A - ウエハキヤリア - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハキャリアを１枚のプレートとし、１つ
のウエハキャリアに１枚のウエハを収納することによ
り、ウエハ１枚毎の管理を容易にし、装置間のウエハ搬
送を枚葉式で行なえるようにする。 【構成】 プレート１の片面には、ウエハ外周部にスト
ッパー２、その内側にウエハ支え４を設ける。また、プ
レート１の裏面にはストッパー２とはまり込む溝６を設
けることにより、このウエハキャリアは重ね合わせるこ
とができるようになる。このウエハキャリアには認識標
３a,３ｂがついているので、ウエハ１枚毎の認識が容易
になる。また、装置間ウエハ搬送は枚葉式で行なえ、か
つ、ウエハを保管する場合の収納スペースも少なくて済
む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置を製造する
場合に用いることのできるウエハキャリアに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体装置の製造に用いられて
いるウエハキャリアは、ある一定枚数のウエハを収納で
きる構成になっている。このことから、半導体製造工程
におけるウエハの管理は、ウエハキャリア毎に行なって
いる（特開平２ー２２２５５８）。したがって、半導体
装置製造工程でバッチ毎に同じ処理を施す同品種を大量
生産する場合には適している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成では、１個のウエハキャリアに、ある一定枚数
のウエハが収納されることから製造工程におけるウエハ
の管理はウエハキャリア毎にしか行なえない。ウエハの
大口径化、半導体装置の高集積化がこれから先も続くこ
とが予想されることから、高付加価値をもつ半導体装置
を多品種小量生産する場合、ウエハ１枚毎の簡単な認識
方法が必要になる。また、半導体装置製造の作業スペー
スにも限りがあることから、ウエハの収納スペースも最
小限に抑えなければならない。

【０００４】本発明は上記問題点に鑑み、製造工程にお
いて、ウエハを１枚ずつ管理ができる枚葉処理に適した
ウエハキャリアを提供するものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明のウエハキャリアは、１枚のウエハを１個の
ウエハキャリアに収納できるように、ウエハキャリアの
形状をプレートにし、プレートの表面には、ウエハ外周
部にウエハが滑り落ちるのを防ぐためのストッパー、ス
トッパーの内側にはウエハとプレートの密着を防ぐため
のウエハ支えを設け、さらにプレートの裏面には、ウエ
ハを収納する際にプレートを重ね合わせるのに必要な、
ストッパーとはまり合うことの出来る溝を設けたもので
ある。

【０００６】

【作用】本発明は上記した構成によって、ウエハ１枚を
一つのウエハキャリアに収納することが出来る。

【０００７】

【実施例】以下本発明の一実施例のウエハキャリアにつ
いて、図面を参照しながら説明する。

【０００８】図１は本発明の実施例におけるウエハキャ
リアの斜視図である。図１において、１はウエハを置く
ためのプレート、２はウエハ外周部に位置するストッパ
ー、３a、３ｂはウエハキャリアを認識するための認識
標、４はウエハをプレート１と密着するのを防ぎ、搬送
アームによるウエハ取り出しができるようにウエハを浮
かせておくためのウエハ支え、５はキャリアが傾いたと
きにウエハが滑り落ちるのを防ぐための突起である。図
１に示すようにプレート１上にストッパー２、ウエハ支
え４の端に突起５を設けることにより、ウエハがプレー
ト１上から滑り落ちることを防げる。

【０００９】また、ウエハ支え４の幅を搬送アームの入
る幅以上にし、さらにストッパー２の高さをウエハ支え
４より高くしておく。そうすれば搬送アームはウエハ支
え上に載置されたウエハを持ち上げてプレート１から取
り出すときに、ストッパー２はウエハ支え４より高いの
で、ウエハがストッパー２にぶつかることがなく、従来
どうりの搬送アームによるウエハキャリアからのウエハ
の取り出しができる。

【００１０】ウエハキャリアの側面にはウエハキャリア
認識標がつけられている。これはウエハキャリアに入っ
ているウエハの種類を識別するためのものである。この
ウエハキャリア認識標３a、３ｂは側面から読み取るこ
とができる位置にあればよく、どちらか一方でも構わな
い。ウエハキャリアを区別できるものであれば、バーコ
ード、突起、文字等、特に形式にこだわらない。

【００１１】図２は図１のAーBの断面図である。同断面
図より上述したようにストッパー２の高さはウエハ支え
４より高いことがよくわかる。また同図からわかるよう
にストッパー２の下には溝６がきってある。この溝６は
図４で示すとおりストッパー２の下のプレート１裏面に
きっており、また深さはプレート１を重ねたときに、プ
レート１の裏面がウエハ表面に触れずにウエハ支え４上
にあるウエハを取り出せる高さになっている。このよう
に溝６を構成すれば図３のようにプレート１を重ねたと
きに、上のプレートの裏面の溝に下のプレートのストッ
パーがはまり合うので高さを低減できるし、さらに上の
プレートが滑り落ちたりすることもない。

【００１２】以上のように構成されたウエハキャリアを
用いると、ウエハ１枚毎の搬送が可能となり、製造工程
におけるウエハを１枚ずつ管理することが容易になる。

【００１３】本実施例のウエハキャリアの材質は、ポリ
プロピレン、テトラフルオロエチレン／パーフルオロア
ルキルビニルエーテル共重合体等、現在のウエハキャリ
アに用いられている材質を用いる。

【００１４】なお、上記の実施例において、ストッパー
２はウエハ外周部としたが、ウエハ外周を全て取り囲ま
なくても、部分的に取り囲むだけでもよい。またストッ
パー２の開口部はウエハを取り出せる幅以上あれば、特
に制限しない。図１では、ウエハ支え４はストッパー２
まで延びているが、ウエハのエッジ部分だけを支えるよ
うにしても構わない。また、ウエハ支え４は搬送アーム
による取り出しができるような幅を開けておけば、大口
径のウエハの重さをささえるために２個以上にしても構
わない。

【００１５】

【発明の効果】以上のように本発明は、ウエハキャリア
を１枚のプレートとすることにより、ウエハ１枚毎の管
理が容易になり、装置間のウエハ搬送も枚葉式で行な
え、かつウエハの収納場所も最小限のスペースで済む。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例におけるウエハキャリア
の斜視図。

【図２】図１の AーＢ 線による断面図。

【図３】本発明のウエハキャリアを２枚重ねたときの図
１の AーＢ 線による断面図。

【図４】本発明のウエハキャリアを裏側から見た図。

【図５】従来のウエハキャリアの概略斜視図。

【符号の説明】

１ プレート ２ ストッパー ３a ウエハキャリア認識標 ３ｂ ウエハキャリア認識標 ４ ウエハ支え ５ 突起 ６ 溝

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 プレートと、前記プレートの表面にはウ
   エハが滑るのを防ぐため端部に突起を有し、かつウエハ
   をプレートから浮かすためのウエハ支えと、前記ウエハ
   支えの外側にウエハが滑り落ちるのを防ぐためのストッ
   パーと、前記ストッパー又は前記プレートの側面につけ
   たウエハキャリアの認識標と、前記プレートの裏面に前
   記プレートを重ねたときに前記プレートがずれないため
   に前記ストッパーとはまり込む溝を備え、前記ウエハ支
   えは、ウエハ搬送アームによるウエハ取り出しができる
   だけの間隔を持たせ、前記ストッパーはウエハ搬送アー
   ムによるウエハ取り出しができるように前記ウエハ支え
   より高さがあることを特徴とするウエハキャリア。