JP2011211160A - ビーム材及び構造材並びにガラス基板支持ビーム及び基板カセット - Google Patents

Abstract

【課題】曲げ剛性が高めることができる構造でありながら、軽量化を図ることができるとともにコストを低減することができるビーム材及び構造材並びにガラス基板支持ビーム及び基板カセットを提供する。
【解決手段】荷重を受けるビーム材Ｂ（ガラス基板支持ビーム１）を、略均一の厚みに形成され厚み方向を長手方向に直交する水平方向として長手方向に延び、前記水平方向に離間した断面縦長の一対の外側板材２，２、これら外側板材２，２の間に挿入されて長手方向に延び、平面視において蛇行する断面縦長の内側板材３，３、並びに、外側板材２，２と内側板材３，３とを連結固定する連結固定手段４により構成した。
【選択図】図２

Description

本発明は、荷重を受けるビーム材及びこのビーム材を備えた構造材、並びに、プラズマディスプレイや液晶パネル等に用いられるガラス基板の自重によるたわみを抑制するためのガラス基板支持ビーム及びこのガラス基板支持ビームを備えた基板カセットに関するものである。

プラズマディスプレイや液晶パネル等に用いられるガラス基板（マザーガラス）を保管、搬送又は供給する際には、水平姿勢にした多数のガラス基板を上下に離間させて収容する基板カセットが使用される。
このような基板カセットでは、その前面開口から水平姿勢のガラス基板が出し入れされることから、特にガラス基板の大型化の進展に伴って、該ガラス基板の自重によるたわみを抑制してロボット又は移載装置のフォーク状ハンドにより支持したガラス基板とその上側のガラス基板との干渉を防止するために荷重を受けるビーム材として、基板カセットの左右方向中央に、後端の支柱から前方に延びる片持ちのガラス基板支持ビーム（基板中央部支持プレート、サポートバー）を備えるようにしたものがある（例えば、特許文献１〜３参照。）。
このような片持ちのビーム材であるガラス基板支持ビームには、支持するガラス基板のさらなる大型化及び薄型化に対応するために曲げ剛性を高くする必要があることから、ＣＦＲＰ（炭素繊維強化プラスチック）を用いて中空パイプ状にしたものや（例えば、特許文献２参照。）、ＣＦＲＰ製の上部プレート及び下部プレートによりＣＦＲＰ以外の材料からなる中空又は中実構造の中間部材を挟んでサンドイッチ構造にしたものもある（例えば、特許文献３参照。）。

特開２０００−１４２８７６号公報 特開２００５−３４０４８０号公報 特開２００７−２８１２５１号公報

ＣＦＲＰを用いてガラス基板支持ビームの曲げ剛性を高める構造として、特許文献２のようにＣＦＲＰ製の先細中空パイプ状とするもの（例えば特許文献２の図４〜図６参照。）では、製造工程が煩雑である（特許文献２の段落［００３１］〜［００４８］参照。）とともに１本ずつ個別に製造する必要があるため、製造コストが増大する。
また、特許文献３のようにＣＦＲＰ製の上部プレート及び下部プレートによりＣＦＲＰ以外の材料からなる中空又は中実構造の中間部材を挟んで先細テーパ状としたもの（例えば特許文献３の図１参照。）でも、ＣＦＲＰ製の上部プレート及び下部プレートを個別に製造する必要がある（特許文献３の段落［００３７］〜［００４４］参照。）ことから製造コストが増大するとともに、中間部材として中空又は中実構造のアルミニウム又はステンレス等を使用して比較的大きな断面形状にする必要があるため重量が比較的大きくなる。

そこで本発明が前述の状況に鑑み、解決しようとするところは、曲げ剛性が高めることができる構造でありながら、軽量化を図ることができるとともにコストを低減することができるビーム材及び構造材並びにガラス基板支持ビーム及び基板カセットを提供する点にある。

本発明に係るビーム材は、前記課題解決のために、荷重を受けるビーム材であって、略均一の厚みに形成され厚み方向を長手方向に直交する水平方向として長手方向に延び、前記水平方向に離間した断面縦長の少なくとも一対の外側板材と、これらの外側板材の間に挿入されて長手方向に延び、前記外側板材に連結固定された内側板材とからなることを特徴とする。
このような構成によれば、断面縦長の少なくとも一対の外側板材により曲げ剛性を高めることができ、さらに外側板材と内側板材との連結構造により曲げ剛性を高めることができる。

ここで、前記内側板材が断面縦長であり平面視において蛇行すると好ましい。
このような構成によれば、内側板材が平面視において蛇行した状態で外側板材に連結固定されるため、軽量でありながらねじり剛性及び曲げ剛性を高めることができる。

また、前記内側板材が略均一の厚みに形成され厚み方向を長手方向に直交する水平方向として長手方向に延びる断面縦長の板材を弾性変形させることにより平面視において蛇行させたものであると好ましい。
このような構成によれば、上述の軽量化及び高剛性化を図りながら、自由状態の内側板材が平面的な形状であることから、その製造が比較的容易であるため、製造コストを低減することができる。
その上、この内側板材は、ビーム材の組立前又は分解後の状態で、平面視において蛇行していた弾性変形状態から自由状態になると平面状に戻るため、輸送又は保管の際の省スペース化を図ることができる。

さらに、前記外側板材及び内側板材の少なくともどちらかがＣＦＲＰ製であると好ましい。
このような構成によれば、比弾性率の高いＣＦＲＰにより、高剛性化及び軽量化を図ることができる。

前記ＣＦＲＰ製の板材が所要枚数レイアップされたカーボンファイバープリプレグを加圧成形したラミネート板から所要形状に切り出して製造されたものであると好ましい。
このような構成によれば、所要枚数レイアップされたカーボンファイバープリプレグを、例えばプレス等により加圧成形して大判のラミネート板を製造し、このラミネート板から所要形状に切り出して多数のＣＦＲＰ製の板材（外側板材及び内側板材の少なくともどちらか）を製造することができるため、個別に製造されたＣＦＲＰ製の板材に比べ、製造コストを大幅に低減することができる。

さらにまた、前記水平方向に離間した外側板材間の隙間を塞ぐように被せられた外被板材を備えてなると好ましい。
このような構成によれば、矩形管と同様の表面が滑らかな外形になることから、屋外等で使用する際に雨滴等が溜まりにくくなるとともに表面の清掃や塗装をしやすく、ビーム材により構造材を構成する際に使用しやすいものになる。

また、前記外被板材がＣＦＲＰ製であると好ましい。
このような構成によれば、比弾性率の高いＣＦＲＰにより、高剛性化及び軽量化を図ることができる。

本発明に係る構造材は、前記ビーム材を備えたものである。

本発明に係るガラス基板支持ビームは、前記課題解決のために、水平姿勢のガラス基板が前面開口から出し入れされる基板カセットの後端に取り付けられて前方向に延び、前記ガラス基板の下面を支持する片持ちのビームとして、前記ビーム材を用いてなるものである。
このような構成によれば、前記ビーム材と同様の作用効果を奏するとともに、ガラス基板支持ビームにより支持するガラス基板の自重によるたわみを効果的に抑制することができる。
その上、外側板材及び内側板材の少なくともどちらかを、アラミド繊維を使用したＦＲＰ板やカーボンとアラミド繊維・ガラス繊維等を適宜重ね合わせて製作したラミネート板等を用いて製作することにより、ガラス基板支持ビームに必要な性能の一つである振動減衰性を容易に高めることができる。

ここで、前記ビーム材を構成する外側板材及び内側板材が前端に近づくにしたがって上下方向の長さが短くなるようにテーパ状に形成されてなると好ましい。
このような構成によれば、片持ちのガラス基板支持ビームに荷重が掛かった際に先端よりも応力が大きい根元側を太くして、ガラス基板の自重によるたわみを効果的に抑制しながらガラス基板支持ビームを軽量化することができる。

また、熱収縮チューブにより被われてなると好ましい。
このような構成によれば、ガラス基板支持ビームの表面が滑らかになることから水洗浄後に水が溜まりにくくなるため、隙間等に溜まった水のガラス基板への滴下を防止することができる。

本発明に係る基板カセットは、前記ガラス基板支持ビームを備えたものである。

以上のように、本発明に係るビーム材及び構造材並びにガラス基板支持ビーム及び基板カセットによれば、構造材を構成するビーム材及び基板カセットに取り付けられるガラス基板支持ビームが、略均一の厚みに形成され厚み方向を長手方向に直交する水平方向として長手方向に延び、前記水平方向に離間した断面縦長の少なくとも一対の外側板材と、これらの外側板材の間に挿入されて長手方向に延び、前記外側板材に連結固定された内側板材とからなるので、曲げ剛性が高めることができる構造でありながら軽量化を図ることができるとともにコストを低減することができるという顕著な効果を奏する。

本発明の実施の形態に係る基板カセットの一例を示す概略斜視図である。 （ａ）は本発明の実施の形態に係るガラス基板支持ビームが基板カセットの支柱に取り付けられた状態における全体を示す斜視図、（ｂ）は同じく要部を拡大して示す斜視図である。 （ａ）は本発明の実施の形態に係るガラス基板支持ビームが基板カセットの支柱に取り付けられた状態における全体を示す平面図、（ｂ）は同じく正面図である。 本発明の実施の形態に係るガラス基板支持ビームの分解斜視図である。 同じく分解平面図である。 熱収縮チューブにより被覆した状態のガラス基板支持ビームを示す斜視図である。 図６に示すガラス基板支持ビームを用いた基板カセットを示す概略斜視図である。 （ａ）は本発明の実施の形態に係るビーム材の斜視図であり、（ｂ）は外被板材を取り外した状態のビーム材の斜視図である。 本発明の実施の形態に係るビーム材における外被板材以外の分解斜視図である。

次に本発明の実施の形態を添付図面に基づき詳細に説明するが、本発明は、添付図面に示された形態に限定されず特許請求の範囲に記載の要件を満たす実施形態の全てを含むものである。
なお、本明細書において、ガラス基板支持ビーム及び基板カセットに係る発明の実施の形態では、基板カセットの内部からにガラス基板を出し入れする開口側に向かう方向を前方、その反対側を後方とし、左方及び右方は前方に向かっていうものとする。また、ガラス基板支持ビームについては、右方から見た図を正面図とする。

図１に示すように、本発明の実施の形態に係る基板カセット１１は、前面開口Ａから水平姿勢のガラス基板Ｇが出し入れされる略矩形箱状であり、ガラス基板Ｇの左右下面を支持する左右の端部支持板材１２，１２を備えるとともに、後端中央の支柱１３により後端部（基端部）が支持されて前方に延び、ガラス基板Ｇの左右方向の中央下面を支持する、荷重を受けるビーム材Ｂである片持ちのガラス基板支持ビーム１を上下方向に一列備えている。
また、図２及び図３に示すように、ガラス基板支持ビーム１は、略均一の厚みに形成され厚み方向を左右方向として前後方向に延び、左右方向に離間した断面縦長の左右の外側板材２，２、これら左右の外側板材２，２の間に挿入され、平面視において蛇行する左右の断面縦長の内側板材３，３、並びに、外側板材２，２及び内側板材３，３を連結固定する連結固定手段４からなる。
さらに、外側板材２，２及び内側板材３，３は、前端に近づくにしたがって上下方向の長さが短くなるようにテーパ状に形成される。

次に、ガラス基板支持ビーム１の組立方法について説明する。
なお、図４及び図５の分解斜視図においても、前後方向に長い内側板材３，３が平面視において左右方向に蛇行している状態を示しているが、これは分解斜視図における内側板材３の通孔３Ａ，…の位置を分かりやすくするためである。すなわち、実際には、内側板材３，３は、略均一の厚みに形成され厚み方向を左右方向として前後方向に延びる断面縦長の板材であり、このような真っ直ぐな板材を組み立てた状態で弾性変形させることにより平面視において蛇行させている（図２及び図３（ａ）参照。）。
このように内側板材３，３を平面的な形状にすることにより、その製造が比較的容易になるため、製造コストを低減することができるとともに、ガラス基板支持ビーム１の組立前又は分解後の状態で、内側板材３，３は、平面視において蛇行していた弾性変形状態から自由状態になると平面状に戻るため、輸送又は保管の際の省スペース化を図ることができる。
なお、内側板材３，３は必ずしも真っ直ぐな板材とする必要はなく、自由状態で平面視において左右方向に蛇行しているように成形してもよい。

図４及び図５に示すように、左右の内側板材３，３の間には、その前端部前後の近接位置及び中間部前後の全長の約１／３程度離間した位置に長スペーサ６，６，…が挿入され、左右の内側板材３，３の左右方向外側と左右の外側板材２，２との間には、前端部後側の長スペーサ６と中間部前側の長スペーサ６との前後方向中間位置、中間部前後の長スペーサ６，６間の前後方向中間位置、及び、中間部後側の長スペーサ６と後端部との前後方向中間位置に、長スペーサの半分の長さの短スペーサ７，７，…が挿入され、左右の内側板材３，３及び外側板材２，２におけるスペーサ６，７，…の挿入位置に対応する位置には、通孔３Ａ，３Ａ，…及び２Ａ，２Ａ，…が形成されている。
したがって、スペーサ６，７，…の軸方向（左右方向）の通孔６Ａ，７Ａ，…に挿通されたスタッドボルト８，８，…の両端ねじ部８Ａ，８Ａ，…に、左右の外側板材２，２の左右方向外側からナット９，９，…を螺合することにより、図３（ａ）に示すように、内側板材３，３と外側板材２，２とが、上述のとおり内側板材３，３が平面視において左右方向に蛇行している状態で固定され、一体化される。

また、図４及び図５に示すように、左右の外側板材２，２の間には、その前端部に長スペーサ５が挿入され、長スペーサ５の前後の通孔５Ａ，５Ａに挿通されたスタッドボルト８，８の両端ねじ部８Ａ，８Ａ，…を外側板材２，２の通孔２Ａ，２Ａ，…に挿通して、左右の外側板材２，２の左右方向外側からナット９，９，…を螺合することにより、図３（ａ）に示すように、外側板材２，２の前端部が連結される。
さらに、図４及び図５に示すように、基板カセット１１（図１参照。）の後端中央の支柱１３から前方へ突出する支持ブラケット１４の前後の通孔１４Ａ，１４Ａに挿通されたスタッドボルト８，８の両端ねじ部８Ａ，８Ａ，…を、支持ブラケット１４の左側及び右側において内側板材３後端部の前後の通孔３Ａ，３Ａ及び外側板材２後端部の前後の通孔２Ａ，２Ａに挿通して、左右の外側板材２，２の左右方向外側からナット９，９，…を螺合することにより、ガラス基板支持ビーム１の後端部（基端部）が支持ブラケット１４（支柱１３）に固定される。

以上のように単純な形状の板材２，２，３，３をスペーサ５，６，７並びにスタッドボルト８及びナット９により容易に組み立ててガラス基板支持ビーム１を形成することができるとともに、容易に分解することもできる。
したがって、輸送又は保管の際には分解しておくことにより、省スペース化を図ることができる。
また、スタッドボルト８，８，…の長さを長くすることにより、左右の外側板材２，２のさらに外側に新たな外側２，２を添設する補強を容易に行うことができる。
なお、スタッドボルト８及びナット９による締結構造に加えて、外側板材２と内側板材３とが接触する部分を接着剤によって固定することにより、さらに大きな横方向及びねじり方向の剛性を確保することが可能となる。

次に、ガラス基板支持ビーム１の各構成部品の材料について説明する。
外側板材２及び内側板材３については、ガラス基板Ｇの自重によるたわみを抑制しながら基板カセット１１の軽量化を図るためには、比弾性率の高いＣＦＲＰ（炭素繊維強化プラスチック）とするのが好ましい。
しかしながら、外側板材２及び内側板材３は薄板であることから、パイプ状のもののように重量の増大を懸念する必要が少ないため、鉄鋼、アルミニウム合金若しくはチタン合金等の金属製又はアルミナ若しくは炭化珪素等のセラミックス製等であってもよい。
また、スペーサ５，６，７は、鉄鋼若しくはアルミニウム合金等の金属製、アルミナ若しくは炭化珪素等のセラミックス製又は木製とすることができる。
さらに、スタッドボルト及びナットは、一般的な鋼製のものを使用すればよい。

外側板材２及び内側板材３（これらの一方のみであってもよい。）をＣＦＲＰ製とする場合において、プレス等により所要枚数レイアップされたカーボンファイバープリプレグを加圧成形して大判のラミネート板を製作し、このラミネート板からウォータージェット等により所要形状に切り出してＣＦＲＰ製の所要形状の板材とするのが好ましい実施態様である。
このようにすることにより、特殊な型を全く用いずに成形することができるとともに、ウォータージェット等を用いた単純な直線カットのみで製作することができ、コア材との接合等の二次接着も不要になる。
よって、個別に製造されたＣＦＲＰ製の板材に比べ、製造コストを大幅に低減することができる。

以上のようなガラス基板支持ビーム１の構成によれば、断面縦長の左右の外側板材２，２により曲げ剛性を高めることができ、さらに外側板材２，２と内側板材３，３との連結構造により曲げ剛性を高めることができるため、ガラス基板支持ビーム１により支持するガラス基板Ｇの自重によるたわみを効果的に抑制することができる。
また、外側板材２，２及び内側板材３，３の少なくともどちらかを、アラミド繊維を使用したＦＲＰ板やカーボンとアラミド繊維・ガラス繊維等を適宜重ね合わせて製作したラミネート板等を用いて製作することにより、ガラス基板支持ビーム１に必要な性能の一つである振動減衰性を容易に高めることができる。

さらに、内側板材３，３が断面縦長であり平面視において蛇行した状態で外側板材２，２に連結固定されるため、軽量でありながらねじり剛性及び曲げ剛性を高めることができる。
さらにまた、外側板材２，２及び内側板材３，３が、前端に近づくにしたがって上下方向の長さが短くなるようにテーパ状に形成されているため、片持ちのガラス基板支持ビーム１に荷重が掛かった際に先端よりも応力が大きい根元側を太くして、ガラス基板Ｇの自重によるたわみを効果的に抑制しながらガラス基板支持ビーム１を軽量化することができる。

また、図６に示すように、前後方向に細長いガラス基板支持ビーム１が、その全長にわたって円環状の熱収縮チューブ１０を被せられ、この熱収縮チューブ１０にドライヤー又はヒーティングガン等により熱風を当てて収縮させ密着させてなる、熱収縮チューブ１０により全長にわたって継ぎ目なく被覆されたものであると、これらを使用した図７に示すような基板カセット１１を定期的に水洗浄しても、ガラス基板支持ビーム１の表面が滑らかであることから水洗浄後に水が溜まりにくくなるため、隙間等に溜まった水のガラス基板Ｇへの滴下を防止することができる。その上、ポリオレフィン又はフッ素系ポリマー等からなる熱収縮チューブは軽量であるため、ガラス基板支持ビーム１の軽量性を損なうことがない。

次に、荷重を受けるビーム材Ｂが、図１〜図７のようなガラス基板支持ビーム１ではなく、枠体等の一般的な構造材の構成部材である場合について説明する。
図８及び図９に示すように、本発明の実施の形態に係るビーム材Ｂは、略均一の厚みに形成され厚み方向を長手方向に直交する水平方向として長手方向に延び、前記水平方向に離間した断面縦長の一対の外側板材２，２、これらの外側板材２，２の間に挿入されて長手方向に延び、平面視において蛇行する一対の断面縦長の内側板材３，３、並びに、外側板材２，２及び内側板材３，３を連結固定する連結固定手段４からなる。

次に、ビーム材Ｂの組立方法について説明する。
なお、図９の分解斜視図においても、内側板材３，３が長手方向に直交する水平方向に蛇行している状態を示しているが、これは図４及び図５の分解図と同様の理由によるものである。すなわち、実際には、内側板材３，３は、略均一の厚みに形成され厚み方向を長手方向に直交する水平方向として長手方向に延びる断面縦長の板材であり、このような真っ直ぐな板材を組み立てた状態で弾性変形させることにより平面視において蛇行させている。

図８（ｂ）の組立状態で内側板材３，３の長手方向の前後端部の２箇所及び中間部分の４箇所を等間隔ごとに接触させ、これらの接触箇所の間を離間させて外側板材２，２に接触させている。
図８（ｂ）及び図９に示すように、内側板材３，３同士を離間させる箇所には内側板材３，３の間に長スペーサ１６，１６，…が挿入され、内側板材３，３同士を接触させる箇所における外側板材２，２との間には、長スペーサ１６の半分の長さの短スペーサ１５，１５，１７，１７，…，１５，１５が挿入され、内側板材３，３及び外側板材２，２におけるスペーサ１５，１６，１７，…の挿入位置に対応する位置には、通孔３Ａ，３Ａ，…及び２Ａ，２Ａ，…が形成され、スペーサ１５，１６，１７には、外側板材２の長手方向に直交する水平方向の通孔１５Ａ，１６Ａ，１７Ａが上下に形成されている。
したがって、スペーサ１５，１６，１７，…の通孔１５Ａ，１６Ａ，１７Ａ，…に一方の外側板材２の外側からボルト１８，…を挿通して他方の外側板材２の外側からボルト１８，…のねじ部１８Ａ，…にナット１９，…を螺合することにより、図８（ｂ）に示すように、内側板材３，３と外側板材２，２とが、上述のとおり内側板材３，３が平面視において長手方向に直交する水平方向に蛇行している状態で固定され、さらに上下の外被板材２０，２０が接着等により固定され、図８（ａ）に示すように一体化される。

以上のように単純な形状の板材２，２，３，３をスペーサ１５，１６，１７並びにボルト１８及びナット１９により容易に組み立ててビーム材Ｂを形成することができるとともに、容易に分解することもできる。
したがって、輸送又は保管の際には分解しておくことにより、省スペース化を図ることができる。
また、ボルト１８，１８，…の長さを長くすることにより、外側板材２，２のさらに外側に新たな外側２，２を添設する補強を容易に行うことができる。

なお、ボルト１８及びナット１９による締結構造に加えて、外側板材２と内側板材３とが接触する部分を接着剤によって固定することにより、さらに大きな横方向及びねじり方向の剛性を確保することが可能となる。
ビーム材Ｂの各構成部品の材料については、上述したガラス基板支持ビーム１の各構成部品の材料と同様の材料とすればよく、外被板材２０，２０については、高剛性化及び軽量化を図るためにＣＦＲＰ製とするのが好ましい。

以上のようなビーム材Ｂの構成によれば、断面縦長の一対の外側板材２，２により曲げ剛性を高めることができ、さらに外側板材２，２と内側板材３，３との連結構造により曲げ剛性を高めることができ、内側板材３，３が平面視において蛇行した状態で外側板材３，３に連結固定されるため、軽量でありながらねじり剛性及び曲げ剛性を高めることができる。
また、外被板材２０，２０を備えているため、矩形管と同様の表面が滑らかな外形になることから、屋外等で使用する際に雨滴等が溜まりにくくなるとともに表面の清掃や塗装をしやすく、ビーム材Ｂにより構造材を構成する際に使用しやすいものになる。

以上のビーム材Ｂ（ガラス基板支持ビーム１）の説明においては、外側板材２，２間に挿入され、平面視において蛇行する断面縦長の内側板材３が２個である場合を示したが、内側板材３は１個又は３個以上であってもよい。ただし、長手方向に直交する水平方向に対称である方が、よりねじれにくいため好ましい実施態様である。なお、内側板材３は、断面縦長の比較的厚みが薄い形状に限定されるものではなく、ＣＦＲＰ製のハニカムコア等も含むものである。
また、外側板材２についても、少なくとも一対の外側板材２，２があればよく、上述の補強の説明のように、長手方向に直交する水平方向にそれぞれ、複数の外側板材を積層するようにしてもよい。
さらに、一列のガラス基板支持ビーム１，１，…を基板カセット１１の中央に備える構成ではなく、ガラス基板支持ビーム１，１，…の列を左右方向に離間させて複数列備えるようにしてもよい。
さらにまた、基板カセット１１に収容可能なガラス基板Ｇの枚数や、ガラス基板Ｇ，Ｇ，…を収容した状態における上下のガラス基板Ｇ，Ｇの間隔等についても、図１及び図７の構成に限定されるものではなく、要求仕様等に応じて適宜変更することができる。

Ａ 前面開口
Ｂ ビーム材
Ｇ ガラス基板
１ ガラス基板支持ビーム
２ 外側板材
２Ａ 通孔
３ 内側板材
３Ａ 通孔
４ 連結固定手段
５，６，７ スペーサ
５Ａ，６Ａ，７Ａ 通孔
８ スタッドボルト
８Ａ ねじ部
９ ナット
１０ 熱収縮チューブ
１１ 基板カセット
１２ 端部支持部材
１３ 支柱
１４ 支持ブラケット
１４Ａ 通孔
１５，１６，１７ スペーサ
１５Ａ，１６Ａ，１７Ａ 通孔
１８ ボルト
１８Ａ ねじ部
１９ ナット
２０ 外被板材

Claims (12)

1. 荷重を受けるビーム材であって、
   略均一の厚みに形成され厚み方向を長手方向に直交する水平方向として長手方向に延び、前記水平方向に離間した断面縦長の少なくとも一対の外側板材と、
   これらの外側板材の間に挿入されて長手方向に延び、前記外側板材に連結固定された内側板材とからなることを特徴とするビーム材。
2. 前記内側板材が断面縦長であり平面視において蛇行する請求項１記載のビーム材。
3. 前記内側板材が略均一の厚みに形成され厚み方向を長手方向に直交する水平方向として長手方向に延びる断面縦長の板材を弾性変形させることにより平面視において蛇行させたものである請求項２記載のビーム材。
4. 前記外側板材及び内側板材の少なくともどちらかがＣＦＲＰ製である請求項１〜３の何れか１項に記載のビーム材。
5. 前記ＣＦＲＰ製の板材が所要枚数レイアップされたカーボンファイバープリプレグを加圧成形したラミネート板から所要形状に切り出して製造されたものである請求項４記載のビーム材。
6. 前記水平方向に離間した外側板材間の隙間を塞ぐように被せられた外被板材を備えてなる請求項１記載のビーム材。
7. 前記外被板材がＣＦＲＰ製である請求項６記載のビーム材。
8. 請求項１〜７の何れか１項に記載のビーム材を備えた構造材。
9. 水平姿勢のガラス基板が前面開口から出し入れされる基板カセットの後端に取り付けられて前方向に延び、前記ガラス基板の下面を支持する片持ちのビームとして、請求項１〜５の何れか１項に記載のビーム材を用いてなるガラス基板支持ビーム。
10. 前記ビーム材を構成する外側板材及び内側板材が前端に近づくにしたがって上下方向の長さが短くなるようにテーパ状に形成されてなる請求項９記載のガラス基板支持ビーム。
11. 熱収縮チューブにより被われてなる請求項９又は１０記載のガラス基板支持ビーム。
12. 請求項９〜１１の何れか１項に記載のガラス基板支持ビームを備えた基板カセット。
    

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