JP5920943B2 - 受け台用横梁及びこれを適用した基板処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、受け台用横梁及びこれを適用した基板処理装置に関する。

ディスペンサは、通常、液晶表示装置（ＬＣＤ）と有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）などのフラットパネルディスプレイの製造工程において、基板にシーラントまたは液晶を塗布（または、滴下）するのに用いられている基板処理装置であって、基板をステージの上部に配設した状態で、塗布ヘッドユニットを用いて基板の上にシーラントを塗布したり液晶を滴下したりできるように構成される。

図１は、ディスペンサを示す図である。ディスペンサには、塗布ヘッドユニット２０を支持するために受け台用横梁１０が設けられるが、一般に、受け台用横梁１０は、フレームの上部においてガイドレールに沿ってＸ軸方向に移動し、塗布ヘッドユニット２０は、受け台用横梁１０に対してＹ軸及びＺ軸方向に移動するように構成される。このため、塗布ヘッドユニット２０が基板の上部において基板に対してＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸方向に相対移動をしながらシーラントを塗布したり液晶を滴下したりできるように構成される。

ここで、受け台用横梁１０は、基板が配設されるステージを横切る長尺な構造物からなり、この構造物がディスペンサのＸ軸方向に長く配設されて塗布ヘッドユニット２０を支持することになる。受け台用横梁の他の名称は、受け梁（Ｃｒｏｓｓ Ｂｅａｍ）またはけた（Ｇｉｒｄｅｒ）である。

受け台用横梁１０は、通常、鋳物構造物または押出構造物から製作されるが、鋳物構造物は重量が増大され、且つ、鋳物構造物の特性からみて鋳物が除去可能に製作されるため重く、しかも、剛性が弱いという問題がある。押出構造物もまた、押出構造の特性からみて製作長さに制約を受けるため、横梁が長くなる場合に構造的に剛性の弱い部分が生じる虞がある。鋳物構造物と押出構造物の欠点を補うために補強材（ＣＦＲＰ：ｃａｒｂｏｎ ｆｉｂｅｒｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ ｐｌａｓｔｉｃｓ）を用いる方法もまた最近まで種々開発されてきている。例えば、下記の特許文献１は、押出構造物の内部に円形補強材を貼り付ける方法を適用したものである。

ところが、これらの方法では、補強材（ＣＦＲＰ）を板状もしくは円形状にして押出構造物にボルトを用いて組み付けたり、エポキシレジンを接着剤として貼り付けたりする。すなわち、従来の技術における補強材（ＣＦＲＰ）は、直角の角部において互いに遭遇するとはいえ、互いに離れている状態であり、且つ、押出構造物は、金型を用いた押出し（引抜き）によって製作されて長尺化する過程において、図２に示すように真直度が得られなくなる。特に、フラットパネルディスプレイの基板の大型化が進むに伴い、装備の大型化が進んでおり、上述した受け台用横梁の長さは４メートル以上になることもあり、長尺であるほど真直度の問題は深刻になる。これは、塗布ヘッドユニットが受け台用横梁の直線運動機構物によって動くため、図２に示すように真直度が得られなくなるためである。

また、押出構造物は中空状であるため、この状態で加工をすれば、押出構造物の壁が崩れてしまい、その結果、真直度と平面度の改善のための加工を行うことができなくなる。下記の特許文献２を参照すると、この問題を解消するために、補強材（ＣＦＲＰ）を組み立てた後にその外面（４面全面）に非常に厚い金属製の板材をさらに組み付け、その後に、真直度と平面度の改善のための加工を行うことになる。中空状の押出構造物においては加工を行うことができなかったが、例えば、下記の特許文献２に開示されているように、複合素材（ＣＦＲＰ）と金属素材によって補強された状態では剛性が補完された状態であるためさらなる加工を行うことができ、その結果、塗布ヘッドユニットの直線運動可能な状態の真直度と平面度を確保することができる。しかしながら、このように約４メートルの受け台用横梁の押出欠陥を改善するためにさらなる加工を行うときに、最外郭の金属素材は、通常、約５ｍｍの深さに加工を行い、この理由から、補強材の外部にある金属板材は非常に厚く組み付けられざるを得ず、その結果、最終的に完成された受け台用横梁の重量が増大されて重くなるという問題がある。

大韓民国特許登録第１０−０７１２６８０号公報 大韓民国特許登録第１０−１０２９７８３号公報

本発明の技術的課題は、受け台用横梁の真直度と平面度を向上させるために、押出成形ではなく、他の方式によって構造物を製作することのできる受け台用横梁及びこれを適用した基板処理装置を提供するところにある。また、本発明の他の技術的課題は、補強材を板状のコーティング方式ではなく、他のコーティング方式によってコーティングすることのできる受け台用横梁及びこれを適用した基板処理装置を提供するところにある。さらに、本発明のさらに他の技術的課題は、受け台用横梁の軽量化を図って固有振動数及び変形誤差を改善することのできる受け台用横梁及びこれを適用した基板処理装置を提供するところにある。

上記の技術的課題を解決するために、本発明の好適な実施形態に係る受け台用横梁は、複数の板材状加工物を組み合わせて製造された四角柱状の金属製の筒状構造物と、前記筒状構造物の長手方向の長さと同じ幅を有し、前記筒状構造物の左側面、上部面、右側面及び下部面それぞれの全面の外部を囲むように複数回巻回して重ね合わせた補強材と、を備え、前記筒状構造物の左側面及び右側面のうちの少なくとも片面に線状溝が形成され、前記筒状構造物に巻回される前記補強材が、前記線状溝の形状に対応して貫通されて前記線状溝が外部に露出されることを特徴とする。

また、前記筒状構造物は、長辺である第１長辺と短辺である第１短辺とからなる矩形状板材状を呈するものであって前記第１長辺が前記第１短辺よりも長い板材状第１加工物と、長辺である第２長辺と短辺である第２短辺とからなる矩形状板材状を呈するものであって前記第２長辺が前記第２短辺よりも長い板材状第２加工物と、長辺である第３長辺と短辺である第３短辺とからなる矩形状板材状を呈するものであって前記第３長辺が前記第３短辺よりも長い板材状第３加工物と、長辺である第４長辺と短辺である第４短辺とからなる矩形状板材状を呈するものであって前記第４長辺が前記第４短辺よりも長い板材状第４加工物と、を備えていて、前記板材状第１加工物が左側面、前記板材状第２加工物が上部面、前記板材状第３加工物が右側面、前記板材状第４加工物が下部面にそれぞれ配設されて結合されて四角柱状を呈することが好ましい。

さらに、前記板材状第１加工物、板材状第２加工物、板材状第３加工物及び板材状第４加工物の各長辺及び短辺の長さは、前記受け台用横梁の大きさに応じて決定されることが好ましい。

さらに、前記補強材は、炭素繊維とエポキシとが配合された炭素繊維強化材（ＣＦＲＰ）であることが好ましい。

さらに、前記受け台用横梁は、前記筒状構造物の左側面、上部面、右側面及び下部面を、前記筒状構造物の内部において支持する金属製の補強桟をさらに備えることが好ましい。

また、上記の技術的課題を解決するために、本発明の好適な実施形態に係る、基板を処理する基板処理装置は、基板が載置される基板ステージと、前記基板ステージの上部に沿って移動する受け台用横梁と、を備え、前記受け台用横梁は、複数の板材状加工物を組み合わせて製造された四角柱状の金属製の筒状構造物と、前記筒状構造物の長手方向の長さと同じ幅を有し、前記筒状構造物の左側面、上部面、右側面及び下部面それぞれの全面の外部を囲むように複数回巻回して重ね合わせた補強材と、を備え、前記筒状構造物の左側面及び右側面のうちの少なくとも片面に線状溝が形成され、前記筒状構造物に巻回される前記補強材が、前記線状溝の形状に対応して貫通されて前記線状溝が外部に露出される。

従来の技術における補強材は、直角の角部において互いに遭遇するとはいえ、互いに離れている状態であるのに対し、本発明の実施形態によれば、補強材を巻回して貼り付けるため直角の角部にも一体形に補強材が形成される、その結果、従来の技術よりも剛性が高くなるという効果が奏される。

また、板材状加工物によって組み立てられた矩形状の筒状構造物と、この筒状構造物の長手方向の長さと同じ幅を有し、この筒状構造物の左側面、上部面、右側面及び下部面それぞれの全面の外部を囲むように炭素繊維強化材である補強材を複数回巻回して重ね合わせた補強材を備えることにより、軽量であり、しかも、高剛性を有する受け台用横梁を製作することができる。

さらに、このような受け台用横梁をディスペンサなどの装備に適用する場合に、高剛性といったメリットによって変形がなく、炭素繊維強化材の特徴である無熱膨張性によって寸法安定性を高めることができる。また、固有振動数を高めることができて振動減衰効果が奏される。

また、線状溝に受け台を係合して、筒状構造物の外部面と受け台とを、貼合せ、ボルトを用いた締付けなどによって組み合せ、塗布ヘッドユニットなどの外部構造物を受け台に貼り付けて支持することができる。

塗布ヘッドユニットを支持する受け台用横梁を備えた原料液ディスペンサの斜視図である。 従来の押出方式によって構造物を引き抜いたときにおいて、表面の進直性が得られない例を示す図である。 本発明の実施形態に従い、複数の板材状加工物が組み合わせられて筒状構造物が製作される様子を示す斜視図である。 本発明の実施形態に従い、筒状構造物の外部面に補強材を巻回して補強材が重なり合った様子を示す図である。 本発明の実施形態に従い、線状溝に受け台を設けた様子を示す図である。 本発明の実施形態に従い、筒状構造物の内部をリブを用いて補強した様子を示す図である。 従来の方式によって製作された受け台用横梁と、本発明の実施形態に従い製作された受け台用横梁との特性に対する実験結果を示す表である。 本発明の実施形態に従い製作した受け台用横梁に対する温度変化による熱収縮及び熱膨張の実験結果を示す表である。

以下、添付図面に基づき、本発明の実施形態を詳述する。しかしながら、本発明は、後述する実施形態に何ら限定されるものではなく、異なる種々の形態で実現される。単に、これらの実施形態は、本発明の開示を完全たるものにし、本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者に発明の範囲を完全に知らせるために提供されるものである。図中、同じ符号は同じ構成要素を示す。

図３は、本発明の実施形態に従い、複数の板材状加工物が組み合わせられて筒状構造物が製作される様子を示す斜視図であり、図４は、本発明の実施形態に従い、筒状構造物の外部面に補強材を巻回して補強材が重なり合った様子を示す図である。

本発明の受け台用横梁は、金属製の薄型・長尺の板材状加工物によって組み立てられた矩形状の筒状構造物１００を備え、この筒状構造物１００の外部面を囲むように炭素繊維を強化材とする複合素材である補強材２００を複数回巻回して重ね合わせたことを特徴とする。このため、従来、押出構造物の引抜き特性によって真直度が悪いという問題を改善するために、本発明は、押出構造物とは異なり、真直度と平面度が既に確保された金属板材を組み立てるだけで矩形構造物を製作するため、従来の方式とは異なり、かなり軽量であり、しかも、追加の加工なしでも真直度が確保される受け台用横梁を製作することができる。ここで、真直度とは、直線に近いかを示す数値であり、真直度が高いほど直線に近くなる。

本発明は、複数の板材状加工物を組み合わせて製造された四角柱状の金属製の筒状構造物１００と、筒状構造物の外部を囲むように複数回巻回して重ね合わせた補強材２００と、を備える。

筒状構造物は、引抜く押出構造物ではなく、図３（ａ）に示すように、複数の板材（プレート）状の板材状加工物１１０、１２０、１３０、１４０を組み合わせた四角柱状の構造物である。各板材状加工物１１０、１２０、１３０、１４０は、長辺と短辺とからなる矩形状のプレートであり、長辺が短辺よりも長く形成されて薄型・長尺のプレート状を呈する。

このため、筒状構造物は、長辺である第１長辺１１０ａと短辺である第１短辺１１０ｂとからなる矩形板材状を呈するものであって第１長辺１１０ａが第１短辺１１０ｂよりも長い板材状第１板材状加工物１１０と、長辺である第２長辺１２０ａと短辺である第２短辺１２０ｂとからなる矩形板材状を呈するものであって第２長辺１２０ａが第２短辺１２０ｂよりも長い板材状第２加工物１２０と、長辺である第３長辺１３０ａと短辺である第３短辺１３０ｂとからなる矩形板材状を呈するものであって第３長辺１３０ａが第３短辺１３０ｂよりも長い板材状第３加工物１３０と、長辺である第４長辺１４０ａと短辺である第４短辺１４０ｂとからなる矩形板材状を呈するものであって第４長辺１４０ａが第４短辺１４０ｂよりも長い板材状第４加工物１４０と、を備える。図３（ｂ）に示すように、板材状第１加工物１１０が左側面、板材状第２加工物１２０が上部面、板材状第３加工物１３０が右側面、板材状第４加工物１４０が下部面にそれぞれ配設されて組み合わせられることにより、長辺の長さを有する四角柱状の筒状構造物１００が製作される。

板材状第１加工物１１０は、第１ａ長辺１１０ａ′及び第１ｂ長辺１１０ａ′′とからなる第１長辺１１０ａと、第１ａ短辺１１０ｂ′及び第１ｂ短辺１１０ｂ′′とからなる第１短辺１１０ｂと、を備え、残りの板材状第２、第３及び第４加工物もまたそれぞれ２つの長辺と２つの短辺とからなるプレート状を呈する。このため、板材状第１加工物１１０の第１ｂ長辺１１０ａ′′と板材状第２加工物１２０の第２ａ長辺１２０ａ′とが組み合わせられる。同様に、板材状第２加工物１２０の第２ｂ長辺１２０ａ′′と板材状第３加工物１３０の第３ａ長辺１３０ａ′とが組み合わせられ、板材状第３加工物１３０の第３ｂ長辺１３０ａ′′と板材状第４加工物１４０の第４ａ長辺１４０ａ′とが組み合わせられ、板材状第４加工物１４０の第４ｂ長辺１４０ａ′′と板材状第１加工物１１０の第１ａ長辺１１０ａ′とが組み合わせられることにより、四角柱状の筒状構造物が製作される。参考までに、板材状加工物同士の組み合わせは種々の方式によって行われるが、貼合せ、ボルトを用いた締付けまたは係合爪による係合などが挙げられる。なお、このような板材状第１加工物１１０、板材状第２加工物１２０、板材状第３加工物１３０及び板材状第４加工物１４０はそれぞれ軽量の金属製であってもよく、例えば、アルミニウム（Ａｌ）のように軽量の金属素材が使用可能である。

このような板材状第１加工物１１０、板材状第２加工物１２０、板材状第３加工物１３０及び板材状第４加工物１４０の各長辺及び短辺の長さは、受け台用横梁の大きさに応じて決定される。例えば、受け台用横梁の長手方向の長さ（Ｌ）をＡ、断面積の縦方向の長さ（Ｈ）をＢ、断面積の横方向の長さ（Ｗ）をＣとしたとき、板材状第１加工物１１０、板材状第２加工物１２０、板材状第３加工物１３０及び板材状第４加工物１４０の全ての長辺の長さはＡに決定され、板材状第１加工物１１０の第１短辺１１０ｂ及び板材状第３加工物の第３短辺１３０ｂの長さはＢに決定され、板材状第２加工物１２０の第２短辺１２０ｂ及び板材状第４加工物の第４短辺１４０ｂの長さはＣに決定される。

一方、各板材状加工物の短辺の長さが、長辺の長さの１／１０よりも大きく形成される。例えば原料液ディスペンサ装置において受け台用横梁の役割を果たすために、第１短辺１１０ｂの長さ／第１長辺１１０ａの長さの割合、第２短辺１２０ｂの長さ／第２長辺１２０ａの長さの割合、第３短辺１３０ｂの長さ／第３長辺１３０ａの長さの割合、第４短辺１４０ｂの長さ／第４長辺１４０ａの長さの割合は、それぞれ１／１０よりも大きい必要がある。

これは、筒状構造物１００がディスペンサにおいて受け台用横梁の役割を果たすためには、筒状構造物の断面を構成するいずれか一つの短辺の長さが長辺の長さの１／１０よりも大きくなってはじめて、塗布ヘッドユニットを支持するヘッド受け台の動きがあるときに安定感を提供することができるためである。筒状構造物の長さに対して断面積が小さすぎる場合にはヘッド受け台の動きがあるときに筒状構造物が揺れることがある。

一方、板材状第１加工物１１０、板材状第２加工物１２０、板材状第３加工物１３０及び板材状第４加工物１４０の組み合わせによって製作された筒状構造物の外部面を囲むように、図４に示すように、炭素繊維強化材である補強材２００を複数回巻回して強度を向上させる。筒状構造物１００の外部壁を囲むように炭素繊維強化材である補強材２００が複数回巻回されて重なり合って、強度が向上される。

補強材は、炭素繊維とエポキシ（レジン）の２種類の材料のみを配合して製造した複合素材の炭素繊維強化材（ＣＦＲＰ）である。炭素繊維（ＣＦ）を強化材とするプラスチック系複合材を、一般に、ＣＦＲＰ（Ｃａｒｂｏｎ ＦｉｂｅｒＲｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ）と称する。炭素繊維強化材（ＣＦＲＰ）は軽量構造用材料として優れた特性を有しており、比強度は鉄鋼の６倍、ガラス繊維強化プラスチックＧＦＲＰ(Glass Fiber Reinforced Plastic) の２倍であり、比弾性率は鉄鋼の３倍、ＧＦＲＰの４倍である。なお、静的強度だけではなく、優れた疲労特性を有しており、耐摩擦・耐磨耗性に優れている。

上述したように、炭素繊維強化材（ＣＦＲＰ）の複合素材の補強材は、炭素繊維とエポキシ（レジン）の２種類の材料のみを配合して製造するが、２種類の材料を混合した初期状態は、エポキシが有している液体特性によって柔らかな状態である。この状態の１ｍｍの厚さの複合素材である炭素繊維強化材（ＣＦＲＰ）を、上述した加工物によって組み立てられた矩形状の筒状構造物１００の外部を囲むように巻回して貼り付ける（例えば、１２回交差しながら重ねる）。すなわち、筒状構造物１００の左側面、上部面、右側面及び下部面の外部を囲むように所望の厚さになるまで炭素繊維強化材（ＣＦＲＰ）を複数回巻回して重ね合わせる。このようにして巻回を繰り返し行えば、所望の厚さの炭素繊維強化材（ＣＦＲＰ）が得られ、その後、エポキシ（レジン）を熱硬化または自然硬化させて、炭素繊維強化材（ＣＦＲＰ）が、加工物によって組み立てられた矩形状の構造物と完全に密着されて補強材２００として働いて受け台用横梁が完成される。炭素繊維強化材である補強材２００を筒状構造物の外部面を囲むように巻回する工程は、作業者が行ってもよく、別途の機構駆動体を用いて行ってもよい。あるいは、筒状構造物１００を炭素繊維強化材である補強材２００に巻き付けてもよい。上述したように炭素繊維強化材を熱硬化させた補強材２００が巻回された受け台用横梁は、既存の押出構造物に板材状の補強材を面対面で組み付けたり貼り付けた従来の技術に比べて剛性が高くなるという特徴を有する。

例えば、上記の特許文献２における補強材は、直角の角部において遭遇するとはいえ、互いに離れている状態であるのに対し、本発明においては、補強材を巻回して貼り付けているため、このときの補強材は、直角の角部において一体形を呈するため、従来の技術よりも剛性が高くなる。

一方、本発明の実施形態は、筒状構造物の外部面に補強材２００が設けられているが、このような補強材は、塗布ヘッドユニットを支持するだけの支持力を有していない。補強材が炭素繊維強化材であるため、外部面に構造体が貼り付けられるときに補強材が引き剥がされる虞がある。このため、塗布ヘッドユニットのように外部構造物を支持可能な受け台を筒状構造物に設ける。このために、図５（ａ）に示すように、筒状構造物の左側面及び右側面のうちの少なくとも片面に長辺方向または短辺方向に沿って線状溝１５０が形成され、筒状構造物１００に巻回された補強材２００が線状溝１５０の形状に対応して貫通されて線状溝１５０が外部に露出される。このような線状溝１５０には、図５（ｂ）に示すように、別途の金属製の構造体である受け台１６０を係合する。筒状構造物１００の外部面と受け台１６０とは、貼合せ、ボルトを用いた締付けなどによって組み合せられる。このため、塗布ヘッドユニットなどの外部構造物が受け台１６０に貼り付けられて支持される。

一方、筒状構造物の高剛性を強化させるために、筒状構造物の内部に金属製の補強桟をさらに設けてもよい。図６は、本発明の実施形態に従い、筒状構造物の内部をリブを用いて補強した様子を示す図である。

図６を参照すると、受け台用横梁１０には、筒状構造物の左側面、上部面、右側面及び下部面を、前記筒状構造物の内部において支持する金属製の補強桟３００がリブ状に設けられる。矩形状の筒状構造物の内部に、左側／右側／上側／下側を支持する薄い金属製の加工物であるリブが多数組み合わせられて補強桟３００の役割を果たす。高剛性を得るために、多数の金属製の補強桟３００を備えるのである。従来の押出構造物は、全ての受け台用横梁が同じ形状及び同じ長さを有するため非常に重かったが、本発明の実施形態においては、適切な数量の補強桟のみを組み付けるため、従来の押出構造物とは異なり、軽量であり、しかも、高剛性構造を有する受け台用横梁が製作可能である。参考までに、補強桟の外部に４つの板材状加工物を貼り付けて筒状構造物を製作してもよく、これとは反対に、先ず筒状構造物を製作した後、その内部に補強桟を設けて製作してもよい。

一方、上述したように、複数の板材状加工物を用いて筒状構造物を製作した後、筒状構造物の外部面を囲むように炭素繊維強化材を複数回巻回して補強材を形成することにより、受け台用横梁の変形があまり起こらない高剛性が得られるので、装備の性能安定性が大幅に改善される。すなわち、ディスペンサにおいて最も重要視される塗布ヘッドユニットが取り付けられる受け台用横梁の変形があまり起こらない高剛性が得られるので、装備の性能安定性が大幅に改善される。７世代や８世代のように大型化されたディスペンサは受け台用横梁（別名：受け梁またはけた）そのものが直線に動く構造であるため、重量が減って慣性効果が減ると、工程品質が改善され、且つ、直線運動の動力源であるリニアモータの容量を減らしてコストを節減することができる。

固有振動数をｆｎ、剛性をｋ、重さをｍとしたとき、固有振動数は下記式（１）によって求められる。

新規な方法によって製作された軽量・高剛性の受け台用横梁は、固有振動数が高い。装備が設置されるＦＡＢにおいては比較的に低周波帯域である２０〜４０Ｈｚの振動が多発するため、外部の振動に影響されないように装備の固有振動数を高めなければならない。特に、１００Ｈｚ以上の固有振動数を持たせることが好ましく、固有振動数が高いほど外部振動に影響されない。本発明は、高剛性・軽量・高固有振動数の特性を有して外部の振動に影響されない受け台用横梁を製作することができる。

参考までに、図７は、従来の鋳物状に製作された横梁（１番実験）と、上記の特許文献２の方式によって製作された横梁（２番実験）と、本発明の実施形態に従い、押出加工された板材状加工物で構成された筒状構造物によって製作された受け台用横梁（３番実験）の特性に対する実験結果を示すものである。本発明に従い、複数の板材状加工物によって受け台用横梁が製作される場合（３番実験）、鋳物状の横梁（１番実験）及び上記の特許文献２の方式によって製作された横梁（２番実験）よりも重量が減り、自重による垂れ下がり量が改善され、固有振動数も１番及び２番実験よりも１００Ｈｚを遥かに超えることが分かる。

また、本発明のように複数の板材状加工物を用いて筒状構造物を製作した後、補強材を巻回した受け台用横梁の場合、熱膨張係数が略「０」に近い。図８は、本発明の実施形態に従い製作した受け台用横梁に対する温度変化による熱収縮及び熱膨張の実験結果を示す表である。図８から明らかなように、本発明の実施形態に従い製作した受け台用横梁は、温度変化による熱収縮及び熱膨張がほとんど無くなって寸法安定性が高くなるという効果が得られる。

一方、上述した方式によって製造される受け台用横梁は様々な装置に適用可能である。例えば、フラットパネルディスプレイパネルを製作するときに原料液を吹き付ける原料液ディスペンサの基板処理装置に適用可能である。すなわち、基板を処理する基板処理装置は、基板が載置される基板ステージと、前記基板ステージの上部に沿って移動する受け台用横梁と、を備えるが、ここで用いられる受け台用横梁は、複数の板材状加工物を組み合わせて製造された四角柱状の金属製の筒状構造物と、前記筒状構造物の長手方向の長さと同じ幅を有し、前記筒状構造物の左側面、上部面、右側面及び下部面それぞれの全面の外部を囲むように複数回巻回して重ね合わせた補強材と、を備える。

以上、添付図面に基づき、本発明の好適な実施形態について詳述したが、本発明はこれに限定されるものではなく、後述する特許請求の範囲によって限定される。よって、この技術分野における通常の知識を有する者であれば、後述する特許請求の範囲の技術的思想から逸脱しない範囲内において本発明を種々に変形及び修正することができる。

１００ 筒状構造物
１１０ 板材状第１加工物
１２０ 板材状第２加工物
１３０ 板材状第３加工物
１４０ 板材状第４加工物
１５０ 線状溝
２００ 補強材

Claims (8)

1. 複数の板材状加工物を組み合わせて製造された四角柱状の金属製の筒状構造物と、
   前記筒状構造物の長手方向の長さと同じ幅を有し、前記筒状構造物の左側面、上部面、右側面及び下部面それぞれの全面の外部を囲むように複数回巻回して重ね合わせた補強材と、
   を備え、
   前記筒状構造物の左側面及び右側面のうちの少なくとも片面に線状溝が形成され、前記筒状構造物に巻回される前記補強材が、前記線状溝の形状に対応して貫通されて前記線状溝が外部に露出されることを特徴とする受け台用横梁。
2. 前記筒状構造物は、
   長辺である第１長辺と短辺である第１短辺とからなる矩形板材状を呈するものであって、前記第１長辺が前記第１短辺よりも長い板材状第１加工物と、
   長辺である第２長辺と短辺である第２短辺とからなる矩形板材状を呈するものであって、前記第２長辺が前記第２短辺よりも長い板材状第２加工物と、
   長辺である第３長辺と短辺である第３短辺とからなる矩形板材状を呈するものであって、前記第３長辺が前記第３短辺よりも長い板材状第３加工物と、
   長辺である第４長辺と短辺である第４短辺とからなる矩形板材状を呈するものであって、前記第４長辺が前記第４短辺よりも長い板材状第４加工物と、
   を備えていて、前記板材状第１加工物が左側面、前記板材状第２加工物が上部面、前記板材状第３加工物が右側面、前記板材状第４加工物が下部面にそれぞれ配設されて組み合わせられて四角柱状を呈することを特徴とする請求項１に記載の受け台用横梁。
3. 前記板材状第１加工物、板材状第２加工物、板材状第３加工物及び板材状第４加工物の各長辺及び短辺の長さは、前記受け台用横梁の大きさに応じて決定されることを特徴とする請求項２に記載の受け台用横梁。
4. 各板材状加工物の短辺の長さが、長辺の長さの１／１０よりも大きく形成されることを特徴とする請求項２に記載の受け台用横梁。
5. 前記補強材は、炭素繊維とエポキシとが配合された炭素繊維強化材（ＣＦＲＰ）であることを特徴とする請求項１に記載の受け台用横梁。
6. 前記線状溝に、金属製の受け台が係合されることを特徴とする請求項１に記載の受け台用横梁。
7. 前記筒状構造物の左側面、上部面、右側面及び下部面を、前記筒状構造物の内部において支持する金属製の補強桟をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の受け台用横梁。
8. 基板を処理する基板処理装置であって、
   基板が載置される基板ステージと、
   前記基板ステージの上部に沿って移動する受け台用横梁と、
   を備え、
   前記受け台用横梁は、請求項１乃至請求項７のうちのいずれか一項に記載の受け台用横梁であることを特徴とする基板処理装置。