JP5920943B2 - 受け台用横梁及びこれを適用した基板処理装置 - Google Patents

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Description

本発明は、受け台用横梁及びこれを適用した基板処理装置に関する。
ディスペンサは、通常、液晶表示装置(LCD)と有機発光ダイオード(OLED)などのフラットパネルディスプレイの製造工程において、基板にシーラントまたは液晶を塗布(または、滴下)するのに用いられている基板処理装置であって、基板をステージの上部に配設した状態で、塗布ヘッドユニットを用いて基板の上にシーラントを塗布したり液晶を滴下したりできるように構成される。
図1は、ディスペンサを示す図である。ディスペンサには、塗布ヘッドユニット20を支持するために受け台用横梁10が設けられるが、一般に、受け台用横梁10は、フレームの上部においてガイドレールに沿ってX軸方向に移動し、塗布ヘッドユニット20は、受け台用横梁10に対してY軸及びZ軸方向に移動するように構成される。このため、塗布ヘッドユニット20が基板の上部において基板に対してX軸、Y軸及びZ軸方向に相対移動をしながらシーラントを塗布したり液晶を滴下したりできるように構成される。
ここで、受け台用横梁10は、基板が配設されるステージを横切る長尺な構造物からなり、この構造物がディスペンサのX軸方向に長く配設されて塗布ヘッドユニット20を支持することになる。受け台用横梁の他の名称は、受け梁(Cross Beam)またはけた(Girder)である。
受け台用横梁10は、通常、鋳物構造物または押出構造物から製作されるが、鋳物構造物は重量が増大され、且つ、鋳物構造物の特性からみて鋳物が除去可能に製作されるため重く、しかも、剛性が弱いという問題がある。押出構造物もまた、押出構造の特性からみて製作長さに制約を受けるため、横梁が長くなる場合に構造的に剛性の弱い部分が生じる虞がある。鋳物構造物と押出構造物の欠点を補うために補強材(CFRP:carbon fiberreinforced plastics)を用いる方法もまた最近まで種々開発されてきている。例えば、下記の特許文献1は、押出構造物の内部に円形補強材を貼り付ける方法を適用したものである。
ところが、これらの方法では、補強材(CFRP)を板状もしくは円形状にして押出構造物にボルトを用いて組み付けたり、エポキシレジンを接着剤として貼り付けたりする。すなわち、従来の技術における補強材(CFRP)は、直角の角部において互いに遭遇するとはいえ、互いに離れている状態であり、且つ、押出構造物は、金型を用いた押出し(引抜き)によって製作されて長尺化する過程において、図2に示すように真直度が得られなくなる。特に、フラットパネルディスプレイの基板の大型化が進むに伴い、装備の大型化が進んでおり、上述した受け台用横梁の長さは4メートル以上になることもあり、長尺であるほど真直度の問題は深刻になる。これは、塗布ヘッドユニットが受け台用横梁の直線運動機構物によって動くため、図2に示すように真直度が得られなくなるためである。
また、押出構造物は中空状であるため、この状態で加工をすれば、押出構造物の壁が崩れてしまい、その結果、真直度と平面度の改善のための加工を行うことができなくなる。下記の特許文献2を参照すると、この問題を解消するために、補強材(CFRP)を組み立てた後にその外面(4面全面)に非常に厚い金属製の板材をさらに組み付け、その後に、真直度と平面度の改善のための加工を行うことになる。中空状の押出構造物においては加工を行うことができなかったが、例えば、下記の特許文献2に開示されているように、複合素材(CFRP)と金属素材によって補強された状態では剛性が補完された状態であるためさらなる加工を行うことができ、その結果、塗布ヘッドユニットの直線運動可能な状態の真直度と平面度を確保することができる。しかしながら、このように約4メートルの受け台用横梁の押出欠陥を改善するためにさらなる加工を行うときに、最外郭の金属素材は、通常、約5mmの深さに加工を行い、この理由から、補強材の外部にある金属板材は非常に厚く組み付けられざるを得ず、その結果、最終的に完成された受け台用横梁の重量が増大されて重くなるという問題がある。
大韓民国特許登録第10−0712680号公報 大韓民国特許登録第10−1029783号公報
本発明の技術的課題は、受け台用横梁の真直度と平面度を向上させるために、押出成形ではなく、他の方式によって構造物を製作することのできる受け台用横梁及びこれを適用した基板処理装置を提供するところにある。また、本発明の他の技術的課題は、補強材を板状のコーティング方式ではなく、他のコーティング方式によってコーティングすることのできる受け台用横梁及びこれを適用した基板処理装置を提供するところにある。さらに、本発明のさらに他の技術的課題は、受け台用横梁の軽量化を図って固有振動数及び変形誤差を改善することのできる受け台用横梁及びこれを適用した基板処理装置を提供するところにある。
上記の技術的課題を解決するために、本発明の好適な実施形態に係る受け台用横梁は、複数の板材状加工物を組み合わせて製造された四角柱状の金属製の筒状構造物と、前記筒状構造物の長手方向の長さと同じ幅を有し、前記筒状構造物の左側面、上部面、右側面及び下部面それぞれの全面の外部を囲むように複数回巻回して重ね合わせた補強材と、を備え、前記筒状構造物の左側面及び右側面のうちの少なくとも片面に線状溝が形成され、前記筒状構造物に巻回される前記補強材が、前記線状溝の形状に対応して貫通されて前記線状溝が外部に露出されることを特徴とする。
また、前記筒状構造物は、長辺である第1長辺と短辺である第1短辺とからなる矩形状板材状を呈するものであって前記第1長辺が前記第1短辺よりも長い板材状第1加工物と、長辺である第2長辺と短辺である第2短辺とからなる矩形状板材状を呈するものであって前記第2長辺が前記第2短辺よりも長い板材状第2加工物と、長辺である第3長辺と短辺である第3短辺とからなる矩形状板材状を呈するものであって前記第3長辺が前記第3短辺よりも長い板材状第3加工物と、長辺である第4長辺と短辺である第4短辺とからなる矩形状板材状を呈するものであって前記第4長辺が前記第4短辺よりも長い板材状第4加工物と、を備えていて、前記板材状第1加工物が左側面、前記板材状第2加工物が上部面、前記板材状第3加工物が右側面、前記板材状第4加工物が下部面にそれぞれ配設されて結合されて四角柱状を呈することが好ましい。
さらに、前記板材状第1加工物、板材状第2加工物、板材状第3加工物及び板材状第4加工物の各長辺及び短辺の長さは、前記受け台用横梁の大きさに応じて決定されることが好ましい。
さらに、前記補強材は、炭素繊維とエポキシとが配合された炭素繊維強化材(CFRP)であることが好ましい
さらに、前記受け台用横梁は、前記筒状構造物の左側面、上部面、右側面及び下部面を、前記筒状構造物の内部において支持する金属製の補強桟をさらに備えることが好ましい。
また、上記の技術的課題を解決するために、本発明の好適な実施形態に係る、基板を処理する基板処理装置は、基板が載置される基板ステージと、前記基板ステージの上部に沿って移動する受け台用横梁と、を備え、前記受け台用横梁は、複数の板材状加工物を組み合わせて製造された四角柱状の金属製の筒状構造物と、前記筒状構造物の長手方向の長さと同じ幅を有し、前記筒状構造物の左側面、上部面、右側面及び下部面それぞれの全面の外部を囲むように複数回巻回して重ね合わせた補強材と、を備え、前記筒状構造物の左側面及び右側面のうちの少なくとも片面に線状溝が形成され、前記筒状構造物に巻回される前記補強材が、前記線状溝の形状に対応して貫通されて前記線状溝が外部に露出される。
従来の技術における補強材は、直角の角部において互いに遭遇するとはいえ、互いに離れている状態であるのに対し、本発明の実施形態によれば、補強材を巻回して貼り付けるため直角の角部にも一体形に補強材が形成される、その結果、従来の技術よりも剛性が高くなるという効果が奏される。
また、板材状加工物によって組み立てられた矩形状の筒状構造物と、この筒状構造物の長手方向の長さと同じ幅を有し、この筒状構造物の左側面、上部面、右側面及び下部面それぞれの全面の外部を囲むように炭素繊維強化材である補強材を複数回巻回して重ね合わせた補強材を備えることにより、軽量であり、しかも、高剛性を有する受け台用横梁を製作することができる。
さらに、このような受け台用横梁をディスペンサなどの装備に適用する場合に、高剛性といったメリットによって変形がなく、炭素繊維強化材の特徴である無熱膨張性によって寸法安定性を高めることができる。また、固有振動数を高めることができて振動減衰効果が奏される。
また、線状溝に受け台を係合して、筒状構造物の外部面と受け台とを、貼合せ、ボルトを用いた締付けなどによって組み合せ、塗布ヘッドユニットなどの外部構造物を受け台に貼り付けて支持することができる。
塗布ヘッドユニットを支持する受け台用横梁を備えた原料液ディスペンサの斜視図である。 従来の押出方式によって構造物を引き抜いたときにおいて、表面の進直性が得られない例を示す図である。 本発明の実施形態に従い、複数の板材状加工物が組み合わせられて筒状構造物が製作される様子を示す斜視図である。 本発明の実施形態に従い、筒状構造物の外部面に補強材を巻回して補強材が重なり合った様子を示す図である。 本発明の実施形態に従い、線状溝に受け台を設けた様子を示す図である。 本発明の実施形態に従い、筒状構造物の内部をリブを用いて補強した様子を示す図である。 従来の方式によって製作された受け台用横梁と、本発明の実施形態に従い製作された受け台用横梁との特性に対する実験結果を示す表である。 本発明の実施形態に従い製作した受け台用横梁に対する温度変化による熱収縮及び熱膨張の実験結果を示す表である。
以下、添付図面に基づき、本発明の実施形態を詳述する。しかしながら、本発明は、後述する実施形態に何ら限定されるものではなく、異なる種々の形態で実現される。単に、これらの実施形態は、本発明の開示を完全たるものにし、本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者に発明の範囲を完全に知らせるために提供されるものである。図中、同じ符号は同じ構成要素を示す。
図3は、本発明の実施形態に従い、複数の板材状加工物が組み合わせられて筒状構造物が製作される様子を示す斜視図であり、図4は、本発明の実施形態に従い、筒状構造物の外部面に補強材を巻回して補強材が重なり合った様子を示す図である。
本発明の受け台用横梁は、金属製の薄型・長尺の板材状加工物によって組み立てられた矩形状の筒状構造物100を備え、この筒状構造物100の外部面を囲むように炭素繊維を強化材とする複合素材である補強材200を複数回巻回して重ね合わせたことを特徴とする。このため、従来、押出構造物の引抜き特性によって真直度が悪いという問題を改善するために、本発明は、押出構造物とは異なり、真直度と平面度が既に確保された金属板材を組み立てるだけで矩形構造物を製作するため、従来の方式とは異なり、かなり軽量であり、しかも、追加の加工なしでも真直度が確保される受け台用横梁を製作することができる。ここで、真直度とは、直線に近いかを示す数値であり、真直度が高いほど直線に近くなる。
本発明は、複数の板材状加工物を組み合わせて製造された四角柱状の金属製の筒状構造物100と、筒状構造物の外部を囲むように複数回巻回して重ね合わせた補強材200と、を備える。
筒状構造物は、引抜く押出構造物ではなく、図3(a)に示すように、複数の板材(プレート)状の板材状加工物110、120、130、140を組み合わせた四角柱状の構造物である。各板材状加工物110、120、130、140は、長辺と短辺とからなる矩形状のプレートであり、長辺が短辺よりも長く形成されて薄型・長尺のプレート状を呈する。
このため、筒状構造物は、長辺である第1長辺110aと短辺である第1短辺110bとからなる矩形板材状を呈するものであって第1長辺110aが第1短辺110bよりも長い板材状第1板材状加工物110と、長辺である第2長辺120aと短辺である第2短辺120bとからなる矩形板材状を呈するものであって第2長辺120aが第2短辺120bよりも長い板材状第2加工物120と、長辺である第3長辺130aと短辺である第3短辺130bとからなる矩形板材状を呈するものであって第3長辺130aが第3短辺130bよりも長い板材状第3加工物130と、長辺である第4長辺140aと短辺である第4短辺140bとからなる矩形板材状を呈するものであって第4長辺140aが第4短辺140bよりも長い板材状第4加工物140と、を備える。図3(b)に示すように、板材状第1加工物110が左側面、板材状第2加工物120が上部面、板材状第3加工物130が右側面、板材状第4加工物140が下部面にそれぞれ配設されて組み合わせられることにより、長辺の長さを有する四角柱状の筒状構造物100が製作される。
板材状第1加工物110は、第1a長辺110a′及び第1b長辺110a′′とからなる第1長辺110aと、第1a短辺110b′及び第1b短辺110b′′とからなる第1短辺110bと、を備え、残りの板材状第2、第3及び第4加工物もまたそれぞれ2つの長辺と2つの短辺とからなるプレート状を呈する。このため、板材状第1加工物110の第1b長辺110a′′と板材状第2加工物120の第2a長辺120a′とが組み合わせられる。同様に、板材状第2加工物120の第2b長辺120a′′と板材状第3加工物130の第3a長辺130a′とが組み合わせられ、板材状第3加工物130の第3b長辺130a′′と板材状第4加工物140の第4a長辺140a′とが組み合わせられ、板材状第4加工物140の第4b長辺140a′′と板材状第1加工物110の第1a長辺110a′とが組み合わせられることにより、四角柱状の筒状構造物が製作される。参考までに、板材状加工物同士の組み合わせは種々の方式によって行われるが、貼合せ、ボルトを用いた締付けまたは係合爪による係合などが挙げられる。なお、このような板材状第1加工物110、板材状第2加工物120、板材状第3加工物130及び板材状第4加工物140はそれぞれ軽量の金属製であってもよく、例えば、アルミニウム(Al)のように軽量の金属素材が使用可能である。
このような板材状第1加工物110、板材状第2加工物120、板材状第3加工物130及び板材状第4加工物140の各長辺及び短辺の長さは、受け台用横梁の大きさに応じて決定される。例えば、受け台用横梁の長手方向の長さ(L)をA、断面積の縦方向の長さ(H)をB、断面積の横方向の長さ(W)をCとしたとき、板材状第1加工物110、板材状第2加工物120、板材状第3加工物130及び板材状第4加工物140の全ての長辺の長さはAに決定され、板材状第1加工物110の第1短辺110b及び板材状第3加工物の第3短辺130bの長さはBに決定され、板材状第2加工物120の第2短辺120b及び板材状第4加工物の第4短辺140bの長さはCに決定される。
一方、各板材状加工物の短辺の長さが、長辺の長さの1/10よりも大きく形成される。例えば原料液ディスペンサ装置において受け台用横梁の役割を果たすために、第1短辺110bの長さ/第1長辺110aの長さの割合、第2短辺120bの長さ/第2長辺120aの長さの割合、第3短辺130bの長さ/第3長辺130aの長さの割合、第4短辺140bの長さ/第4長辺140aの長さの割合は、それぞれ1/10よりも大きい必要がある。
これは、筒状構造物100がディスペンサにおいて受け台用横梁の役割を果たすためには、筒状構造物の断面を構成するいずれか一つの短辺の長さが長辺の長さの1/10よりも大きくなってはじめて、塗布ヘッドユニットを支持するヘッド受け台の動きがあるときに安定感を提供することができるためである。筒状構造物の長さに対して断面積が小さすぎる場合にはヘッド受け台の動きがあるときに筒状構造物が揺れることがある。
一方、板材状第1加工物110、板材状第2加工物120、板材状第3加工物130及び板材状第4加工物140の組み合わせによって製作された筒状構造物の外部面を囲むように、図4に示すように、炭素繊維強化材である補強材200を複数回巻回して強度を向上させる。筒状構造物100の外部壁を囲むように炭素繊維強化材である補強材200が複数回巻回されて重なり合って、強度が向上される。
補強材は、炭素繊維とエポキシ(レジン)の2種類の材料のみを配合して製造した複合素材の炭素繊維強化材(CFRP)である。炭素繊維(CF)を強化材とするプラスチック系複合材を、一般に、CFRP(Carbon FiberReinforced Plastics)と称する。炭素繊維強化材(CFRP)は軽量構造用材料として優れた特性を有しており、比強度は鉄鋼の6倍、ガラス繊維強化プラスチックGFRP(Glass Fiber Reinforced Plastic) の2倍であり、比弾性率は鉄鋼の3倍、GFRPの4倍である。なお、静的強度だけではなく、優れた疲労特性を有しており、耐摩擦・耐磨耗性に優れている。
上述したように、炭素繊維強化材(CFRP)の複合素材の補強材は、炭素繊維とエポキシ(レジン)の2種類の材料のみを配合して製造するが、2種類の材料を混合した初期状態は、エポキシが有している液体特性によって柔らかな状態である。この状態の1mmの厚さの複合素材である炭素繊維強化材(CFRP)を、上述した加工物によって組み立てられた矩形状の筒状構造物100の外部を囲むように巻回して貼り付ける(例えば、12回交差しながら重ねる)。すなわち、筒状構造物100の左側面、上部面、右側面及び下部面の外部を囲むように所望の厚さになるまで炭素繊維強化材(CFRP)を複数回巻回して重ね合わせる。このようにして巻回を繰り返し行えば、所望の厚さの炭素繊維強化材(CFRP)が得られ、その後、エポキシ(レジン)を熱硬化または自然硬化させて、炭素繊維強化材(CFRP)が、加工物によって組み立てられた矩形状の構造物と完全に密着されて補強材200として働いて受け台用横梁が完成される。炭素繊維強化材である補強材200を筒状構造物の外部面を囲むように巻回する工程は、作業者が行ってもよく、別途の機構駆動体を用いて行ってもよい。あるいは、筒状構造物100を炭素繊維強化材である補強材200に巻き付けてもよい。上述したように炭素繊維強化材を熱硬化させた補強材200が巻回された受け台用横梁は、既存の押出構造物に板材状の補強材を面対面で組み付けたり貼り付けた従来の技術に比べて剛性が高くなるという特徴を有する。
例えば、上記の特許文献2における補強材は、直角の角部において遭遇するとはいえ、互いに離れている状態であるのに対し、本発明においては、補強材を巻回して貼り付けているため、このときの補強材は、直角の角部において一体形を呈するため、従来の技術よりも剛性が高くなる。
一方、本発明の実施形態は、筒状構造物の外部面に補強材200が設けられているが、このような補強材は、塗布ヘッドユニットを支持するだけの支持力を有していない。補強材が炭素繊維強化材であるため、外部面に構造体が貼り付けられるときに補強材が引き剥がされる虞がある。このため、塗布ヘッドユニットのように外部構造物を支持可能な受け台を筒状構造物に設ける。このために、図5(a)に示すように、筒状構造物の左側面及び右側面のうちの少なくとも片面に長辺方向または短辺方向に沿って線状溝150が形成され、筒状構造物100に巻回された補強材200が線状溝150の形状に対応して貫通されて線状溝150が外部に露出される。このような線状溝150には、図5(b)に示すように、別途の金属製の構造体である受け台160を係合する。筒状構造物100の外部面と受け台160とは、貼合せ、ボルトを用いた締付けなどによって組み合せられる。このため、塗布ヘッドユニットなどの外部構造物が受け台160に貼り付けられて支持される。
一方、筒状構造物の高剛性を強化させるために、筒状構造物の内部に金属製の補強桟をさらに設けてもよい。図6は、本発明の実施形態に従い、筒状構造物の内部をリブを用いて補強した様子を示す図である。
図6を参照すると、受け台用横梁10には、筒状構造物の左側面、上部面、右側面及び下部面を、前記筒状構造物の内部において支持する金属製の補強桟300がリブ状に設けられる。矩形状の筒状構造物の内部に、左側/右側/上側/下側を支持する薄い金属製の加工物であるリブが多数組み合わせられて補強桟300の役割を果たす。高剛性を得るために、多数の金属製の補強桟300を備えるのである。従来の押出構造物は、全ての受け台用横梁が同じ形状及び同じ長さを有するため非常に重かったが、本発明の実施形態においては、適切な数量の補強桟のみを組み付けるため、従来の押出構造物とは異なり、軽量であり、しかも、高剛性構造を有する受け台用横梁が製作可能である。参考までに、補強桟の外部に4つの板材状加工物を貼り付けて筒状構造物を製作してもよく、これとは反対に、先ず筒状構造物を製作した後、その内部に補強桟を設けて製作してもよい。
一方、上述したように、複数の板材状加工物を用いて筒状構造物を製作した後、筒状構造物の外部面を囲むように炭素繊維強化材を複数回巻回して補強材を形成することにより、受け台用横梁の変形があまり起こらない高剛性が得られるので、装備の性能安定性が大幅に改善される。すなわち、ディスペンサにおいて最も重要視される塗布ヘッドユニットが取り付けられる受け台用横梁の変形があまり起こらない高剛性が得られるので、装備の性能安定性が大幅に改善される。7世代や8世代のように大型化されたディスペンサは受け台用横梁(別名:受け梁またはけた)そのものが直線に動く構造であるため、重量が減って慣性効果が減ると、工程品質が改善され、且つ、直線運動の動力源であるリニアモータの容量を減らしてコストを節減することができる。
固有振動数をfn、剛性をk、重さをmとしたとき、固有振動数は下記式(1)によって求められる。
新規な方法によって製作された軽量・高剛性の受け台用横梁は、固有振動数が高い。装備が設置されるFABにおいては比較的に低周波帯域である20〜40Hzの振動が多発するため、外部の振動に影響されないように装備の固有振動数を高めなければならない。特に、100Hz以上の固有振動数を持たせることが好ましく、固有振動数が高いほど外部振動に影響されない。本発明は、高剛性・軽量・高固有振動数の特性を有して外部の振動に影響されない受け台用横梁を製作することができる。
参考までに、図7は、従来の鋳物状に製作された横梁(1番実験)と、上記の特許文献2の方式によって製作された横梁(2番実験)と、本発明の実施形態に従い、押出加工された板材状加工物で構成された筒状構造物によって製作された受け台用横梁(3番実験)の特性に対する実験結果を示すものである。本発明に従い、複数の板材状加工物によって受け台用横梁が製作される場合(3番実験)、鋳物状の横梁(1番実験)及び上記の特許文献2の方式によって製作された横梁(2番実験)よりも重量が減り、自重による垂れ下がり量が改善され、固有振動数も1番及び2番実験よりも100Hzを遥かに超えることが分かる。
また、本発明のように複数の板材状加工物を用いて筒状構造物を製作した後、補強材を巻回した受け台用横梁の場合、熱膨張係数が略「0」に近い。図8は、本発明の実施形態に従い製作した受け台用横梁に対する温度変化による熱収縮及び熱膨張の実験結果を示す表である。図8から明らかなように、本発明の実施形態に従い製作した受け台用横梁は、温度変化による熱収縮及び熱膨張がほとんど無くなって寸法安定性が高くなるという効果が得られる。
一方、上述した方式によって製造される受け台用横梁は様々な装置に適用可能である。例えば、フラットパネルディスプレイパネルを製作するときに原料液を吹き付ける原料液ディスペンサの基板処理装置に適用可能である。すなわち、基板を処理する基板処理装置は、基板が載置される基板ステージと、前記基板ステージの上部に沿って移動する受け台用横梁と、を備えるが、ここで用いられる受け台用横梁は、複数の板材状加工物を組み合わせて製造された四角柱状の金属製の筒状構造物と、前記筒状構造物の長手方向の長さと同じ幅を有し、前記筒状構造物の左側面、上部面、右側面及び下部面それぞれの全面の外部を囲むように複数回巻回して重ね合わせた補強材と、を備える。
以上、添付図面に基づき、本発明の好適な実施形態について詳述したが、本発明はこれに限定されるものではなく、後述する特許請求の範囲によって限定される。よって、この技術分野における通常の知識を有する者であれば、後述する特許請求の範囲の技術的思想から逸脱しない範囲内において本発明を種々に変形及び修正することができる。
100 筒状構造物
110 板材状第1加工物
120 板材状第2加工物
130 板材状第3加工物
140 板材状第4加工物
150 線状溝
200 補強材

Claims (8)

  1. 複数の板材状加工物を組み合わせて製造された四角柱状の金属製の筒状構造物と、
    前記筒状構造物の長手方向の長さと同じ幅を有し、前記筒状構造物の左側面、上部面、右側面及び下部面それぞれの全面の外部を囲むように複数回巻回して重ね合わせた補強材と、
    を備え、
    前記筒状構造物の左側面及び右側面のうちの少なくとも片面に線状溝が形成され、前記筒状構造物に巻回される前記補強材が、前記線状溝の形状に対応して貫通されて前記線状溝が外部に露出されることを特徴とする受け台用横梁。
  2. 前記筒状構造物は、
    長辺である第1長辺と短辺である第1短辺とからなる矩形板材状を呈するものであって、前記第1長辺が前記第1短辺よりも長い板材状第1加工物と、
    長辺である第2長辺と短辺である第2短辺とからなる矩形板材状を呈するものであって、前記第2長辺が前記第2短辺よりも長い板材状第2加工物と、
    長辺である第3長辺と短辺である第3短辺とからなる矩形板材状を呈するものであって、前記第3長辺が前記第3短辺よりも長い板材状第3加工物と、
    長辺である第4長辺と短辺である第4短辺とからなる矩形板材状を呈するものであって、前記第4長辺が前記第4短辺よりも長い板材状第4加工物と、
    を備えていて、前記板材状第1加工物が左側面、前記板材状第2加工物が上部面、前記板材状第3加工物が右側面、前記板材状第4加工物が下部面にそれぞれ配設されて組み合わせられて四角柱状を呈することを特徴とする請求項1に記載の受け台用横梁。
  3. 前記板材状第1加工物、板材状第2加工物、板材状第3加工物及び板材状第4加工物の各長辺及び短辺の長さは、前記受け台用横梁の大きさに応じて決定されることを特徴とする請求項2に記載の受け台用横梁。
  4. 各板材状加工物の短辺の長さが、長辺の長さの1/10よりも大きく形成されることを特徴とする請求項2に記載の受け台用横梁。
  5. 前記補強材は、炭素繊維とエポキシとが配合された炭素繊維強化材(CFRP)であることを特徴とする請求項1に記載の受け台用横梁。
  6. 前記線状溝に、金属製の受け台が係合されることを特徴とする請求項1に記載の受け台用横梁。
  7. 前記筒状構造物の左側面、上部面、右側面及び下部面を、前記筒状構造物の内部において支持する金属製の補強桟をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の受け台用横梁。
  8. 基板を処理する基板処理装置であって、
    基板が載置される基板ステージと、
    前記基板ステージの上部に沿って移動する受け台用横梁と、
    を備え、
    前記受け台用横梁は、請求項1乃至請求項のうちのいずれか一項に記載の受け台用横梁であることを特徴とする基板処理装置。
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