KR100730740B1 - 대면적 스테이지의 빔 제조 방법 - Google Patents

대면적 스테이지의 빔 제조 방법 Download PDF

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KR100730740B1
KR100730740B1 KR1020060065424A KR20060065424A KR100730740B1 KR 100730740 B1 KR100730740 B1 KR 100730740B1 KR 1020060065424 A KR1020060065424 A KR 1020060065424A KR 20060065424 A KR20060065424 A KR 20060065424A KR 100730740 B1 KR100730740 B1 KR 100730740B1
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오제훈
이동준
오필승
임시연
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한양대학교 산학협력단
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Abstract

본 발명은 평판 패널의 패터닝 장비, 디스플레이 제조 장비 또는 반도체 디바이스의 결함검사 장비 등에서 위치결정 시스템으로 사용되는 대면적 스테이지(stage)의 빔(beam)에 있어서, 비강성과 비강도가 높고 감쇠 성능이 우수하며 경량이면서 압축 하중에 강한 빔을 제조하는 방법에 관한 것으로 본 발명의 제1 실시 예에 따른 대면적 스테이지의 빔 제조 방법은,
중앙부가 관통된 사각 형상을 갖는 구조물을 제작하는 제1 단계와, 단일 또는 다수의 폼(form)을 형성하여 구조물의 중앙부에 삽입하는 제2 단계와, 구조물의 외부에 금속 브라켓을 체결하는 제3 단계와, 금속 브라켓이 체결된 구조물의 양단에 각각 앤드클로우저(end closure)를 결합하는 제4 단계로 구현된다.
스테이지(stage), 빔(beam), 복합재료(composite)

Description

대면적 스테이지의 빔 제조 방법{THE BEAM MANUFACTURING METHOD OF THE LARGE-SIZED STAGE}
도 1 은 본 발명에 따른 빔이 적용되는 대면적 스테이지의 사시도.
도 2a 는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 빔 제조 방법 중 단일 폼을 형성하여 구조물에 삽입하는 과정을 설명하기 위한 사시도.
도 2b 는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 빔 제조 방법 중 다수의 폼을 형성하여 구조물에 삽입하는 과정을 설명하기 위한 사시도.
도 3 은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 빔 제조 방법 중 금속 브라켓을 체결하는 과정을 설명하기 위한 사시도.
도 4a 는 본 발명의 실시 예에 따른 앤드클로우저의 사시도.
도 4b 는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 앤드클로우저의 사시도.
도 4c 는 도 4a의 앤드클로우저를 결합하는 과정을 설명하기 위한 측면도.
도 5a 는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 빔 제조 방법 중 단일 또는 다수의 폼을 형성하여 I형 프레임에 삽입하는 과정을 설명하기 위한 사시도.
도 5b 는 도 5a의 단일 폼이 삽입된 I형 프레임을 구비한 빔의 사시도.
도 5c 는 또 다른 제2 실시 예에 따라 제조된 I형 프레임을 구비한 빔의 사시도.
도 6a 는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 빔 제조 방법 중 단일 또는 다수의 폼을 형성하여 중복 ㅁ형 프레임에 삽입하는 과정을 설명하기 위한 사시도.
도 6b 는 도 6a의 단일 폼이 삽입된 중복 ㅁ형 프레임을 구비한 빔의 사시도.
도 6c 는 도 6a의 다수의 폼이 삽입된 중복 ㅁ형 프레임을 구비한 빔의 사시도.
도 7a 는 본 발명의 제4 실시 예에 따른 빔 제조 방법을 개략적으로 설명하기 위한 사시도.
도 7b 는 본 발명의 제4 실시 예에 따라 제조된 단일 폼을 구비한 빔의 사시도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100 : 빔 101 : 단일 폼
102 : 플라스틱 폼 103 : 금속 폼
104 : 금속 브라켓 105 : 구조물
108 : 수지층 110 : 앤드클로우저
120 : I형 프레임 140 : ㅁ형 프레임
141 : 보강판
본 발명은 평판 패널의 패터닝 장비, 디스플레이 제조 장비 또는 반도체 디바이스의 결함검사 장비 등에서 위치결정 시스템으로 사용되는 대면적 스테이지(stage)의 빔(beam)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 비강성과 비강도가 높고 감쇠 성능이 우수하며 경량이면서 압축 하중에 강한 빔을 제조하는 방법에 관한 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 빔이 적용되는 대면적 스테이지의 사시도이다. 본 발명이 적용되는 대면적 스테이지(1)는 고정부분인 베이스부(2)와, 베이스부(2)의 상단에 직사각형 형태로 가공되어 있는 석정반(石定盤)(3)과, 석정반(3) 상단에 구비되어 일 방향(Y축 방향)으로 이동 가능한 한 쌍의 지주(7)가 움직일 수 있도록 하는 지주 베이스부(5)와, 한 쌍의 지주(7)의 상단부 사이에 걸쳐져 베이스부(2)를 가로지르는 빔(8)이 구비된다. 아울러, 빔(8)의 상단부에는 빔(8)의 길이 방향으로 한 쌍의 리니어 모션 가이드(9)가 구비되며, 한 쌍의 리니어 모션 가이드(9)를 따라 상기 Y축 방향과 직교하는 방향(X축 방향)으로 이동 가능하고 스테이지(1)의 작업 테이블에 놓이는 대상물을 가공 또는 검사 등의 작업을 수행하는 작업부(10)가 구비된다.
상술한 바와 같은 대면적 스테이지(1)는 산업 전반에 있어 평판 패널의 패터닝 장비, 디스플레이 제조 장비 또는 반도체 디바이스의 결함검사 장비 등에 사용되고 있는데, 오차가 수
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m 정도인 높은 정밀도가 요구된다. 그러나 단조와 같은 여타의 방법으로는 충분한 형상 정밀도를 얻어낼 수 없기에, 종래의 스테이지(1)에 서는 빔(8)을 철 합금의 주조품을 연마 가공하여 사용하여 왔는데, 이는 자중과 하중에 의한 휨 및 비틀어짐 등의 변형을 억제하여 높은 형상 정밀도를 유지할 수 있기 때문이다.
그러나 작업 대상물의 넓이가 커지고 생산성 향상을 위하여 작업량을 높이려는 근래의 추세에 의하여, 스테이지(1)의 사이즈도 대형화되고 있기 때문에 빔(8)의 이동 거리는 길어지고 있으며 이동 속도 또한 증가하고 있다. 아울러 빔(8)을 받치고 있는 지주(7)의 간격도 넓어지고 있고, 빔(8)의 자체무게도 더욱 증가하고 있다. 이와 같은 대형화 추세에 의하여 빔(8)에는 공정에 영향을 미칠 수 있을 정도의 처짐과 진동이 발생하고 있다.
그러나 강성을 키워 처짐을 방지하려는 목적으로 빔(8)의 두께를 증가시킨다면 자중이 커지며 관성이 증가하여, 역으로 빔(8)에 보다 많은 처짐과 진동을 유발시키게 되는 문제점이 있다. 또한, 증가한 빔(8)의 무게에 의하여 빔(8)의 고유진동수가 저하되고, 빔(8)의 이동에 따른 반작용으로 발생하는 스테이지(1)의 요동도 커지게 되어 시스템의 불안정성이 야기되는 문제점이 있으며, 자중이 증가한 빔(8)을 고속으로 구동하기 위하여 모터의 대형화도 고려해야 하는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로, 본 발명의 목적은 비강성(강성/밀도)과 비강도(강도/밀도)가 높고 감쇠 성능이 우수하며 경량이면서 압축 하중에 강한 빔을 통해, 대면적 스테이지의 작업 속도와 작업량을 향상시킬 수 있는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제1 실시 예에 따른 대면적 스테이지의 빔 제조 방법은, 평판 패널의 패터닝, 디스플레이 장비의 제조 또는 반도체 디바이스의 결함검사 장치에 사용되는 스테이지의 빔 제조 방법에 있어서,
중앙부가 관통된 사각 형상을 갖는 구조물을 제작하는 제1 단계와, 단일 또는 다수의 폼을 형성하여 구조물의 중앙부에 삽입하는 제2 단계와, 구조물의 외부에 금속 브라켓을 체결하는 제3 단계와, 금속 브라켓이 체결된 구조물의 양단에 각각 앤드클로우저를 결합하는 제4 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 아울러, 제1 단계의 구조물은 탄소섬유 또는 케플러섬유의 장섬유강화 복합재료로 제작된 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같은 본 발명의 특징에 따르면, 비강도와 비강성이 높고 감쇠 성능이 우수한 복합재료로 구조물을 제작하고, 구조물에 경량이면서 압축강도에 대한 탄성을 높일 수 있는 폼을 형성 및 삽입하여, 폼이 삽입된 구조물의 외부에 평탄도가 우수하고 연마 가공이 용이한 금속 브라켓을 체결함으로써, 비강성과 비강도가 높고 감쇠 성능이 우수하며 경량이면서 압축 하중에 강한 빔을 제조할 수 있다.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그에 대한 상 세한 설명은 생략하기로 한다.
도 2a는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 빔 제조 방법 중 단일 폼을 형성하여 구조물에 삽입하는 과정을 설명하기 위한 사시도이고, 도 2b는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 빔 제조 방법 중 다수의 폼을 형성하여 구조물에 삽입하는 과정을 설명하기 위한 사시도이며, 도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 빔 제조 방법 중 금속 브라켓을 체결하는 과정을 설명하기 위한 사시도이다.
본 발명의 제1 실시 예에 따른 대면적 스테이지의 빔(100) 제조 방법은, 우선 중앙부가 관통된 사각 형상을 갖는 구조물(105)을 제작하는 제1 단계와, 단일 폼(101) 또는 다수의 폼(102, 103)을 형성하여 구조물(105)의 중앙부에 삽입하는 제2 단계와, 구조물(105)의 외부에 금속 브라켓(104)을 체결하는 제3 단계로 구현된다.
구조물(105)은 탄소섬유 또는 케플러섬유의 장섬유강화 복합재료로 제작할 수 있으며, 중앙부가 관통된 사각 형상을 갖도록 제작한다. 이와 같은 고분자를 기지(matrix)로 하는 복합재료들은 기존의 금속재료들보다 강도와 강성이 높고, 밀도가 철 합금의 20%, 화강암의 55%, 알루미늄의 60% 정도로 낮기 때문에 이로 인해 높은 비강도(강도/밀도)와 비강성(강성/밀도)을 갖게 된다. 따라서 이러한 장섬유강화 복합재료로 빔(100)의 구조물(105)을 제작하면 강성을 유지하면서 무게를 크게 줄일 수 있기 때문에, 빔(100)의 처짐을 방지할 수 있고 철 합금 구조물에 비하여 매우 뛰어난 경량성을 나타냄으로써 구동을 위한 모터의 추력 또한 줄일 수 있다.
한편, 일반적으로 복합재료는 적층각도에 따라 그 물성이 달라지므로 본 발명에서는 길이 방향으로의 강성을 크게 하기 위하여 ±15°이내의 적층각도를 선택하는 것이 중요하다. 그리고 이렇게 제작된 중앙부가 관통된 사각 형상을 갖는 구조물(105)은 오토클레이브 진공백 성형을 통하여 경화시킨다. 오트클레이브 진공백 성형은 대상 구조물 전체를 진공백으로 감싸고 수지의 경화 온도에 해당하는 상온 또는 고온에서 진공 성형하는 방법인데, 이렇게 고온에서 성형을 하는 이유는 온도가 상승하면서 활성화되다가 특정 온도에 다다르면 서로 반응하여 경화되는 수지의 특징 때문에 성형 시 경화 온도에서 일정한 시간을 유지하기 위함이다. 또한, 진공 성형을 하는 이유는 와인딩(winding)이나 프리프레그(prepreg) 적층 시 존재할 수 있는 기포를 제거하여 기포로 인해 발생되는 박리현상을 막고 적층된 각각의 재료들을 서로 압착하여 접착성을 높이기 위함이다.
상술한 바와 같이 중앙부가 관통된 사각 형상을 갖는 구조물(105)의 제작이 완료되면 구조물(105)의 중앙부에 경량이면서 압축강도에 강한 단일 폼(101) 또는 다수의 폼(102, 103)을 형성하여 삽입하게 되며, 단일 폼(101) 또는 다수의 폼(102, 103)을 삽입하는 대신에 허니컴(honeycomb)을 형상하여 삽입할 수도 있다. 일실시 예에 따른 단일 폼(101)은, 용융된 원재료에 기체를 불어놓은 후 응고시킨 것으로 고체와 기체가 조합되어 일반 원재료에 비하여 비중과 충격 에너지 흡수를 향상시킨 재료로써, 폴리우레탄이나 PVC, ABS, 페놀 등을 발포하여 제작한 일반적인 플라스틱 폼 또는 금속 등을 발포하여 제작한 금속 폼으로 형성된 것일 수 있다.
보다 구체적으로, 도 2a에 도시된 바와 같이 하나의 재질로 형성된 단일 폼(101)을 우선 구조물(105)의 관통된 중앙부에 삽입될 수 있는 크기로 절삭하고, 단일 폼(101)의 재단면을 따라 적정 간격과 형상 및 크기를 갖는 다수의 홈(101a)을 판다. 이후 다수의 홈(101a)이 형성된 단일 폼(101)의 외부 표면에 수지를 도포하고 구조물(105) 내부로 삽입하며, 구조물(105)에 삽입된 단일 폼(101)에 형성된 각각의 홈(101a)에 액상 수지를 충진한다. 이렇게 홈(101a)으로 흘러들어간 수지는 단일 폼(101)에 함침됨으로써, 결과적으로 경화 후에는 단일 폼(101)을 둘러싸고 있는 구조물(105)과의 접착력을 강화시키게 된다.
한편, 또 다른 실시 예에 따라 구조물(105)의 중앙부에는 도 2b에 도시된 바와 같이 재질이 상이한 다수의 폼(102, 103)을 삽입할 수도 있다. 이러한 방법을 통하여 기계적 성질이 상이한 두 종류의 폼(102, 103)을 혼재 사용함으로써 원하는 성질을 나타낼 수 있다. 상술한 바와 같은 구조물(105)은 중앙부가 관통되어 있고 외부에는 후술하는 금속 브라켓(104) 등이 체결되기 때문에, 예컨대 플라스틱 폼을 단일 폼(101)으로 사용했을 시에는 구조물(105)의 중앙부에서는 처짐이 발생할 수 있다. 따라서 이러한 문제점을 해결하기 위해, 구조물(105)의 중앙부에는 플라스틱 폼(102)에 비하여 높은 비탄성율과 비강도 및 압축하중에 대한 탄성이 가능한 금속 폼(103)을 구조물(105)의 중앙 공간에 삽입하고, 상기 플라스틱 폼(102)을 양측 공간에 각각 삽입한다.
보다 구체적으로 금속 폼(103)과, 두 개의 플라스틱 폼(102)을 우선 구조물(105)의 관통된 중앙부에 삽입될 수 있는 크기로 절삭하고, 각각의 폼(102, 103) 의 재단면을 따라 적정 간격과 형상 및 크기를 갖는 다수의 홈(102a, 103a)을 판다. 다수의 홈(102a, 103a)이 각각 형성된 플라스틱 폼(102) 및 금속 폼(103)의 외부 표면에 각각 수지를 도포하고 구조물(105) 내부로 삽입하되, 금속 폼(103)은 구조물(105)의 중앙 공간에 삽입하고 두 개의 플라스틱 폼(102)은 각각 구조물(105)의 양측 공간에 삽입한다.
이후 구조물(105)에 삽입된 두 개의 플라스틱 폼(102) 및 금속 폼(103)에 형성된 각각의 홈(102a, 103a)에 액상 수지를 충진한다. 이렇게 홈(102a, 103a)으로 흘러들어간 수지는 각각의 플라스틱 폼(102)과 금속 폼(103)에 함침됨으로써, 결과적으로 경화 후에는 두 개의 플라스틱 폼(102)과 금속 폼(103)을 둘러싸고 있는 구조물(105)과의 접착력을 강화시키게 된다.
한편, 복합재료로 제작된 구조물(105)의 외부 표면은 평탄도가 떨어질 뿐만 아니라 가공성이 나쁘기 때문에, 이러한 문제점들을 해결하기 위하여 구조물(105)의 중앙부에 하나의 재질로 형성된 단일 폼(101) 또는 재질이 상이한 다수 폼(102, 103)의 삽입이 완료되면, 도 3에 도시된 바와 같이 구조물(105)의 외부 표면에 금속 브라켓(104)을 체결하게 된다. 구체적으로 구조물(105)의 외부 표면에 금속 브라켓(104)을 체결하기 위해, 구조물(105)의 외부 표면에 유리섬유강화 복합재료(109)를 증착시키거나 필름형 에폭시 접착제를 도포시킬 수 있다.
이러한 과정은 금속 브라켓(104)이 만약 알루미늄인 경우에는 탄소섬유와 알루미늄의 접촉에 따른 갈바닉 부식(Galvanic Corrosion)이 발생하므로 이를 방지하는 기능이 있을 뿐만 아니라, 금속 브라켓(104)과 구조물(105)을 접착하는 기능도 있다. 또한, 유리섬유강화 복합재료(109)는 내충격성을 향상시켜 주는 기능도 한다. 한편, 유리섬유강화 복합재료(109) 대신에 상술한 바와 같이 필름형 에폭시의 접착제를 사용할 수도 있는데, 필름형 에폭시의 접착제 또한 금속과 탄소섬유를 분리시키는 역할을 하면서 금속 브라켓(104)과 구조물(105)을 접착하는 기능을 한다.
상술한 바와 같이 금속 브라켓(104)은 유리섬유강화 복합재료(109) 또는 필름형 에폭시 접착제를 통해 구조물(105)과의 접착이 이루어지지만, 보다 강고한 체결을 위하여 추가적인 볼트 체결을 하게 된다. 금속 브라켓(104)의 볼트 체결 시 구조물(105)에 대한 금속 브라켓(104)의 압축강도를 유지시키기 위하여, 금속 브라켓(104)은 ㄱ 형으로 한 쌍(104a, 104b)이 제작되고 상부 금속 브라켓(104a)과 하부 금속 브라켓(104b)이 볼트 체결됨으로써, 구조물(105)에 대한 압축강도를 크게 할 수 있다.
한편, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 빔(100)의 제조 방법은 단일 폼(101) 또는 다수의 폼(102, 103)이 외부로 노출되면 외관상 좋지 않을 뿐만 아니라 이물질 등이 내부로 유입되는 것을 방지하기 위하여, 금속 브라켓(104)이 체결된 구조물(105)의 양단에 각각 앤드클로우저(110)를 결합하게 된다. 이하, 도 4a와 도 4b 및 도 4c를 참조하여 앤드클로우저(110)에 대해 설명하기로 한다. 도 4a는 본 발명의 실시 예에 따른 앤드클로우저의 사시도이고, 도 4b는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 앤드클로우저의 사시도이며, 도 4c는 도 4a의 앤드클로우저를 결합하는 과정을 설명하기 위한 측면도이다.
앤드클로우저(110)는 금속 브라켓(104)의 단면적과 같은 금속 평판이 될 수 있으며, 도 4a 또는 도 4b와 같이 단일 또는 다수의 돌출부(111)가 구비되어 구조물(105) 내부로 삽입된다. 앤드클로우저(110)의 돌출부(111)가 구조물(105) 내부로 삽입되기 위해 구조물(105)에는 도 4c에 도시된 바와 같이 돌출부(111)가 삽입될 수 있는 삽입 홈(110a)이 확보되어 있어야 하며, 상기 삽입 홈(110a)은 가공의 편의성을 고려하여 단일 폼(101) 또는 다수의 폼(102, 103)이 구조물(105)에 삽입되기 전에 형성시키는 것이 바람직하다. 구체적으로 앤드클로우저(110)의 돌출부(111)를 포함한 한쪽 면에 강력접착제를 도포하고는 상기 삽입 홈(110a)으로 돌출부를 삽입시키며, 이후 더욱 강고한 체결을 위하여 금속 브라켓(104)과 맞닿는 부분에 볼트 체결하는 것이 바람직하다.
따라서, 상술한 바와 같이 본 발명의 제1 실시 예에 따라 단일 폼(101) 또는 다수의 폼(102, 103), 구조물(105), 금속 브라켓(104), 앤드클로우저(110)로 제조된 빔(100)은, 비강성과 비강도가 높고 감쇠 성능이 우수하며 경량이면서 압축 하중에 강한 장점을 갖는다.
이하, 도 5a와 도 5b 및 도 5c를 참조하여 본 발명의 제2 실시 예에 따른 대면적 스테이지의 빔(100) 제조 방법에 대해 설명하기로 한다. 도 5a는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 빔 제조 방법 중 단일 또는 다수의 폼을 형성하여 I형 프레임에 삽입하는 과정을 설명하기 위한 사시도이고, 도 5b는 도 5a의 단일 폼이 삽입된 I형 프레임을 구비한 빔의 사시도이며, 도 5c는 또 다른 제2 실시 예에 따라 제조된 I형 프레임을 구비한 빔의 사시도이다.
본 발명의 제2 실시 예에 따른 스테이지의 빔(100) 제조 방법은, I형 프레 임(120)을 제작하는 제1 단계와, 제작된 I형 프레임(120)의 양측에 각각 단일 폼(101) 또는 다수의 폼(102, 103)을 형성하여 삽입하는 제2 단계와, 단일 폼(101) 또는 다수의 폼(102, 103)이 각각 양측에 삽입된 I형 프레임(120)의 외부에 금속 브라켓(104)을 체결하는 제3 단계와, 금속 브라켓이 체결된 I형 프레임의 양단에 각각 앤드클로우저(110)를 결합하는 제4 단계로 구현된다.
우선, 도 5a 및 도 5b를 참조하면 본 발명의 제2 실시 예에 따른 I형 프레임(120)을 구비한 대면적 스테이지의 빔(100) 제조 방법의 일실시 예에 따르면, 경량이고 단면 면적당 굽힘 강성이 큰 형태이면서 비강성이 큰 복합재료를 사용한 I형 프레임(120)을 제작한다. I형 프레임(120)은 단면 면적당 굽힘 강성이 우수한 형태이기 때문에 같은 양의 재료를 사용하더라도 강성이 높아 결과적으로는 빔(100)의 무게를 줄일 수 있는 장점이 있으며, 부가적으로는 I형 프레임(120)의 외부에 체결되는 금속 브라켓(104)에 의한 처짐 현상 또한 방지할 수 있는 장점이 있다.
한편, 상술한 복합재료로 제작되는 I형 프레임(120)의 경우에는 펄트루전 또는 오토클레이브 진공백 성형을 통하여 제작이 가능하다. 오토클레이브 진공백 성형은 앞서 설명한바 생략하며, 펄트루전은 길고 곧으며 단면적이 일정한 구조재를 제조하기 위하여 사용되는 방법으로, 레진에 함침된 복합재료를 원하는 구조재의 모양으로 제작된 다이(Die)를 통하게 함으로서 복합재료를 성형하는 방법이다. I형 프레임(120)을 제작하는 과정에서도 상술한 바와 같이 적층각도에 따라 물성이 달라지는 복합재료의 특성을 고려하여, 길이방향으로의 강성을 크게 할 수 있는 ±15 °이내의 적층각도를 선택하는 것이 중요하다.
I형 프레임(120)의 제작이 완료되면 I형 프레임(120) 양측에는 각각 상술한 바와 같은 단일 폼(101) 또는 재질이 상이한 다수의 폼(102, 103)을 삽입하게 되는데, 본 실시 예 또한 단일 폼(101) 또는 다수의 폼(102, 103) 대신에 허니컴을 형성하여 삽입할 수도 있다. 이하 단일 폼(101)을 I형 프레임(120)의 양측에 삽입하는 실시 예에 대해서만 설명하기로 한다.
I형 프레임(120)의 양측에 각각 삽입되는 단일 폼(101)들은 상술한 바와 같이 다수의 홈(101a)이 형성되어 있고, 단일 폼(101)의 외부표면에 필름형 에폭시 접착제를 도포하여 I형 프레임(120)의 양측에 각각 삽입되어 접착되며, 이후 각각의 홈(101a)에 액상 수지가 충진된다. 아울러 I형 프레임(120)의 양측에 각각 삽입된 단일 폼(101)이 측면이 외부로 노출되는 것을 방지하고 단일 폼(101)의 측면을 보강하며, 작업부(10)의 비대칭적인 하중에 따른 빔의 비틀림 변형을 방지할 수 있는 형태의 빔(100) 단면을 형성하기 위하여, 탄소섬유 또는 케플러섬유의 장섬유강화 복합재료로 제조된 구조재(106)가 각각의 단일 폼(101) 일측에 형성된다.
한편, I형 프레임(120)의 양측에 각각 단일 폼(101)의 삽입이 완료되면, I형 프레임(120)의 외부 표면에 금속 브라켓(104)을 체결하게 되는데, 조립되어 있는 I형 프레임(120)과 각각의 단일 폼(101)이 압축력과 비틀림에 의해 변형되는 것을 방지하기 위하여, 금속 브라켓(104)을 체결하기 전에 유리섬유강화 복합재료(109)를 I형 프레임(120)의 외부 표면에 증착한다. 유리섬유강화 복합재료(109)를 I형 프레임(120)의 외부 표면에 증착할 때에는 내부에 압축력을 가할 수 있을 정도로 충분히 두껍게 증착되는 것이 바람직하며, 유리섬유강화 복합재료(109)를 I형 프레임(120)의 외부 표면에 증착함으로써 상술한 바와 같이 금속 브라켓(104)과의 접착과 갈바닉 부식의 방지 및 내충격성 향상 등의 기능 또한 있다.
이하, 단일 폼(101)이 양측에 각각 삽입된 I형 프레임(120)의 외부 표면에 금속 브라켓(104)을 체결하는 제조 방법과 앤드클로우저(110)를 결합하는 제조 방법 등은 앞서 설명한 바와 동일함으로 생략하기로 한다.
도 5c를 참조하여 본 발명의 제2 실시 예에 따른 I형 프레임(120)을 구비한 대면적 스테이지의 빔(100) 제조 방법의 또 다른 실시 예에 따르면, 상술한 바와 같이 I형 프레임(120)의 제작이 완료되면 I형 프레임(120)의 양측에 각각 단일 폼(101) 또는 재질이 상이한 다수의 폼(102, 103)을 삽입하게 되는데, 본 실시 예 또한 허니컴을 형성하여 삽입할 수도 있다. 이하 단일 폼(101)을 I형 프레임(120)의 양측에 삽입하는 실시 예에 대해서만 설명하기로 한다.
I형 프레임(120)의 양측에 각각 삽입되는 단일 폼(101)은 작업부(10)의 비대칭적인 하중에 따른 빔의 비틀림 변형을 최소화하며 측면 강도를 높이기 위하여 앞서 설명한 바와 같은 중앙부가 관통된 사각 형상을 갖는 구조물(105)에 삽입된다. 보다 구체적으로 각각의 단일 폼(101)을 우선 탄소섬유 또는 케플러섬유의 장섬유강화 복합재료로 제조된 구조물(105)의 중앙부에 삽입될 수 있는 크기로 절삭하고, 단일 폼(101)의 재단면을 따라 적정 간격과 형상 및 크기를 갖는 다수의 홈(101a)을 판다. 이후 다수의 홈(101a)이 형성된 단일 폼(101)의 외부 표면에 수지를 도포하고 구조물(105)의 관통된 중앙부 내부로 삽입하고, 구조물(105)에 삽입된 단일 폼(101)에 형성된 다수의 홈(101a)에 각각 액상 수지를 충진한다. 이후 단일 폼(101)이 삽입된 구조물(105) 각각의 외부 표면에 필름형 에폭시 접착제를 도포하여 I형 프레임(120)의 양측에 각각 삽입한다.
I형 프레임(120)의 양측에 단일 폼(101)이 삽입된 구조물(105)의 삽입이 완료되면, 상술한 바와 같이 유리섬유강화 복합재료(109)를 I형 프레임(120)의 외부 표면에 증착하고, 금속 브라켓(104)을 체결한다. 이하, I형 프레임(120)의 외부 표면에 금속 브라켓(104)을 체결하는 제조 방법과 앤드클로우저(110)를 결합하는 제조 방법 등은 앞서 설명한 바와 동일함으로 생략하기로 한다.
이하, 6a와 도 6b 및 도 6c를 참조하여 본 발명의 제3 실시 에에 따른 ㅁ형 프레임을 구비한 대면적 스테이지의 빔(100) 제조 방법에 대해 설명하기로 한다. 도 6a는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 빔 제조 방법 중 단일 또는 다수의 폼을 형성하여 중복 ㅁ형 프레임에 삽입하는 과정을 설명하기 위한 사시도이고, 도 6b는 도 6a의 단일 폼이 삽입된 중복 ㅁ형 프레임을 구비한 빔의 사시도이며, 도 6c는 도 6a의 다수의 폼이 삽입된 중복 ㅁ형 프레임을 구비한 빔의 사시도이다.
본 발명의 제3 실시 예에 따른 스테이지의 빔(100) 제조 방법은, 중앙부가 관통된 사각 형상을 갖는 다수의 ㅁ형 프레임(140)을 제작하는 제1 단계와, 단일 폼(101) 또는 다수의 폼(102, 103)을 형성하여 ㅁ형 프레임(140)의 중앙부 각각에 삽입하는 제2 단계와, 단일 폼(101) 또는 다수의 폼(102, 103)이 삽입된 각각의 ㅁ형 프레임(140)을 접착하여 중복 ㅁ형 프레임을 형성하고 중복 ㅁ형 프레임의 상부와 하부에 보강판(141)을 접착하는 제3 단계와, 중복 ㅁ형 프레임의 상부 및 하부 에 접착된 보강판(141)의 외부에 금속 브라켓(104)을 체결하는 제4 단계와, 금속 브라켓(104)이 체결된 중복 ㅁ형 프레임의 양단에 각각 앤드클로우저(110)를 결합하는 제5 단계로 구현된다.
보다 구체적으로, 상술한 바와 같이 경량이고 단면 면적당 굽힘 강성이 큰 형태이면서 비강성이 큰 복합재료를 사용하여 ㅁ형 프레임(140)을 적어도 두 개 이상 제작한다. ㅁ형 프레임(140)은 앞서 설명한 I형 프레임(120)과 마찬가지로 단면 면적당 굽힘 강성이 우수한 형태로써 빔(100)의 무게를 줄일 수 있는 장점이 있으며, 측면 강도에 약한 I형 프레임(120)이 갖는 문제점 또한 해결할 수 있다.
ㅁ형 프레임(140)의 제작이 완료되면 도 6a에 도시된 바와 같이 관통된 중앙부 각각에 단일 폼(101) 또는 재질이 상이한 다수의 폼(102, 103)이 각각 삽입되는데, 단일 폼(101) 또는 다수의 폼(102, 103) 대신에 허니컴을 형성하여 삽입할 수도 있다.
단일 폼(101) 또는 다수의 폼(102, 103)이 각각 삽입된 ㅁ형 프레임(140)은 각각의 일측에 필름형 에폭시 접착제를 사용하여 서로 접착시켜 중복 ㅁ형 프레임을 형성하고, 더욱 강고한 체결을 위하여 프리프레그를 적층시켜 형성된 보강판(141)을 상기 중복 ㅁ형 프레임의 상부 및 하부에 필름형 에폭시 접착제를 사용하여 접착한다. 이후 중복 ㅁ형 프레임의 상부 및 하부에 접착된 보강판(141)의 외부 표면에는 유리섬유강화 복합재료(109)를 증착하고, 금속 브라켓(104)을 체결하게 된다. 이하 단일 폼(101) 또는 다수의 폼(102, 103)을 형성하여 ㅁ형 프레임(140)에 삽입하는 제조 방법과 금속 브라켓(104)을 체결하는 제조 방법 및 앤드 클로우저(110)를 결합하는 제조 방법 등은 앞서 설명한 바와 동일함으로 생략하기로 한다.
이하, 도 7a 및 도 7b를 참조하여 본 발명의 제4 실시 예에 따른 대면적 스테이지의 빔(100) 제조 방법에 대해 설명하기로 한다. 도 7a는 본 발명의 제4 실시 예에 따른 빔 제조 방법을 개략적으로 설명하기 위한 사시도이고, 도 7b는 본 발명의 제4 실시 예에 따라 제조된 단일 폼을 구비한 빔의 사시도.
본 발명의 제4 실시 예에 따른 대면적 스테이지의 빔(100) 제조 방법은 중앙부가 관통된 사각 형상을 갖는 금속 브라켓(104) 및 탄소섬유 또는 케플러섬유의 장섬유강화 복합재료로 구조물(105)을 제작하는 제1 단계와, 단일 폼(101) 또는 다수의 폼(102, 103)을 형성하여 금속 브라켓(104)의 중앙부에 삽입하는 제2 단계와, 단일 폼(101) 또는 다수의 폼(102, 103)이 삽입된 금속 브라켓(104)을 구조물(105)에 삽입하는 제3 단계와, 금속 브라켓(104)이 삽입된 구조물(105)의 외부 표면에 수지를 도포하여 수지층(108)을 형성하는 제4 단계와, 금속 브라켓(104)이 삽입된 구조물(105)의 양단에 각각 앤드클로우저(110)를 결합하는 제5 단계로 구현된다.
앞서 설명된 실시 예들은 크게 단일 폼(101) 또는 다수의 폼(102, 103), 구조물(105) 또는 프레임(120, 140) 및 금속 브라켓(104) 순으로 제조된 빔(100)의 제조 방법에 관한 것이었지만, 본 실시 예에서는 단일 폼(101) 또는 다수의 폼(102, 103), 금속 브라켓(104), 구조물(105) 순으로 제조되는 빔(100)의 제조 방법에 관한 것이다.
보다 구체적으로 본 실시 예에서는 우선 중앙부가 관통된 사각 형상을 갖는 금속 브라켓(104)과 탄소섬유 또는 케플러섬유의 장섬유강화 복합재료로 중앙부가 관통된 사각 형상을 갖는 구조물(105)을 제작하되, 금속 브라켓(104)은 구조물(105)의 중앙부에 삽입될 수 있는 크기로 제작한다. 금속 브라켓(104)과 구조물(105)의 제작이 완료되면, 상술한 바와 같이 단일 폼(101) 또는 재질이 상이한 다수의 폼(102, 103)을 금속 브라켓(104) 내부로 삽입하게 되는데, 본 실시 예 또한 단일 폼(101) 또는 다수의 폼(102, 103) 대신에 허니컴을 형성하여 삽입할 수도 있다. 이하 단일 폼(101)을 금속 브라켓(104)에 삽입하는 실시 예에 대해서만 설명하기로 한다.
상술한 바와 같이 금속 브라켓(104)과 구조물(105)의 제작이 완료되면 다수의 홈(101a)이 형성된 단일 폼(101)의 외부 표면에 수지를 도포하고 금속 브라켓(104) 내부로 삽입하며, 다수의 홈(101a)에 수지를 충진함으로써 단일 폼(101)을 둘러싸고 있는 금속 브라켓(104)과의 접착력을 강화시키게 된다. 이후 단일 폼(101)이 삽입된 금속 브라켓(104)은 외부 표면에 유리섬유강화 복합재료(109)를 증착하거나 접착제를 도포하여 구조물(105)에 삽입한다.
앞서 설명한 실시 예들은 평판도와 가공성이 좋지 않은 복합재료로 제작되는 구조물(105)이 갖는 단점을 극복하기 위하여 금속 브라켓(104)이 외부에 체결되었다. 그러나 본 실시 예에서는 재료의 영률(young's modulus)이 큰 구조물(105)을 최외각에 구현시킴으로써, 단면 2차 관성모멘트의 크기를 최대로 하여 결과적으로 굽힘 강성을 높이려 한다. 그러나 구조물(105)을 최외각으로 구현하기 위해서는 평탄도와 가공성이 좋지 않은 단점을 해결해야 한다.
따라서 본 실시 예에서는 구조물(105)을 최외각으로 구현했을 시 발생하는 평탄도의 문제점을 해결을 위하여, 최외각에 구현되는 구조물(105)의 위에 수지만으로 이루어진 수지층(108)을 더 형성시킨다. 섬유가 포함되지 않고 기지만으로 이루어진 수지층(108)은 충분한 연마가 가능하며 좋은 평탄도를 낼 수 있다. 또한, 구조물(105)을 최외각으로 구현했을 시 발생하는 가공성의 문제점을 해결하기 위하여, 금속 브라켓(104)에 탭을 내어 금속 브라켓(104) 자체를 보강블록처럼 사용함으로써 기계적 체결에 따른 충분한 압축하중을 지지할 수 있다.
즉, 복합재료로 제조되는 구조물(105)은 우선적으로 기계적 체결(볼트, 리벳 등)을 위한 암나사부 등의 가공이 어렵고, 가공을 하더라도 내부의 섬유부가 노출되면서 암나사부가 일정하게 형성되지 않으며 조임 등에 의해 압축력이 가해지는 부분은 움푹 들어가게 되는 문제점들이 있다. 따라서 일반적으로 이러한 문제점들을 해결하기 위하여 보강블록을 사용하게 되는데, 본 실시 예에서는 금속 브라켓(104) 자체가 보강블록의 역할을 하게 됨으로써 상술한 문제점들을 해결할 수 있다. 물론 금속 브라켓(104)이 구조물(105)의 내부에 삽입되기 전에 볼트 등이 체결될 위치에 암나사부 등을 가공하여 구조물(105)에 삽입하는 것이 바람직하다. 이하 단일 폼(101)을 형성하여 금속 브라켓(104)에 삽입하는 제조 방법과 앤드클로우저(110)를 결합하는 제조 방법 등은 앞서 설명한 바와 동일함으로 생략하기로 한다.
상술한 바와 같은 본 발명의 특징에 따르면, 비강성과 비강도가 높고 감쇠 성능이 우수하며 경량이면서 압축 하중에 강한 대면적 스테이지의 빔을 통해, 스테이지의 작업 속도와 작업량을 향상시킬 수 있는 장점을 갖는다.
또한 강성을 유지하면서 무게를 줄일 수 있기 때문에 빔을 이동시키기 위한 모터의 용량을 줄일 수 있는 장점을 갖는다.
본 발명은 도면에 도시된 실시 예들을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에 통상의 지식을 지닌 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

Claims (18)

  1. 평판 패널의 패터닝 장비, 디스플레이 제조 장비 또는 반도체 디바이스의 결함검사 장비에서 위치결정 시스템으로 사용되는 대면적 스테이지(stage)의 빔(beam) 제조 방법에 있어서,
    중앙부가 관통된 사각 형상을 갖는 구조물을 제작하는 제1 단계와;
    단일 또는 다수의 폼(form)을 형성하여 상기 구조물의 중앙부에 삽입하는 제2 단계와;
    상기 구조물의 외부에 금속 브라켓을 체결하는 제3 단계와;
    상기 금속 브라켓이 체결된 구조물의 양단에 각각 앤드클로우저(end closure)를 결합하는 제4 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제1 단계는:
    탄소섬유 또는 케플러섬유의 장섬유강화 복합재료로 상기 구조물을 제작하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 제2 단계는:
    상기 단일 또는 다수의 폼을 상기 구조물의 중앙부에 삽입될 수 있는 크기로 각각 절삭하는 단계와,
    상기 절삭된 단일 폼 또는 다수의 폼 각각에 다수의 홈을 파는 단계와,
    상기 다수의 홈이 형성된 단일 또는 다수의 폼 외부 표면에 수지를 도포하고 상기 구조물 내부로 삽입하는 단계와,
    상기 구조물에 삽입된 단일 또는 다수의 폼 각각에 형성된 다수의 홈에 액상 수지를 충진하는 단계,
    를 포함하는 하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 제3 단계는:
    상기 단일 또는 다수의 폼이 삽입된 구조물의 외부 표면에 유리섬유강화 복합재료를 증착하거나 접착제를 도포하는 단계와,
    상기 유리섬유강화 복합재료가 증착되거나 접착제가 도포된 상기 구조물에 상기 금속 브라켓을 접착하고 볼트 체결하는 단계,
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법.
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 단일 폼은 하나의 재질로 형성된 폼이며, 상기 다수의 폼은 재질이 상이한 다수의 단일 폼인 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법.
  6. 평판 패널의 패터닝 장비, 디스플레이 제조 장비 또는 반도체 디바이스의 결함검사 장비에서 위치결정 시스템으로 사용되는 대면적 스테이지(stage)의 빔(beam) 제조 방법에 있어서,
    I형 프레임을 제작하는 제1 단계와,
    단일 또는 다수의 폼(form)을 형성하여 상기 I형 프레임의 양측 각각에 삽입하는 제2 단계와;
    상기 단일 또는 다수의 폼이 양측에 삽입된 I형 프레임의 외부에 금속 브라켓을 체결하는 제3 단계와;
    상기 금속 브라켓이 체결된 I형 프레임의 양단에 각각 앤드클로우저(end closure)를 결합하는 제4 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 제2 단계는:
    상기 단일 또는 다수의 폼을 상기 I형 프레임의 양측에 삽입될 수 있는 크기로 각각 절삭하는 단계와,
    상기 절삭된 단일 폼 또는 다수의 폼 각각에 다수의 홈을 파는 단계와,
    상기 다수의 홈이 형성된 단일 또는 다수의 폼 외부 표면에 수지를 도포하고 상기 I형 프레임의 양측에 각각 삽입하는 단계와,
    상기 I형 프레임의 양측에 각각 삽입된 단일 또는 다수의 폼에 형성된 다수의 홈에 액상 수지를 충진하는 단계,
    를 포함하는 하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 I형 프레임의 양측에 삽입되는 각각의 단일 또는 다수의 폼은:
    일측에 탄소섬유 또는 케플러섬유의 장섬유강화 복합재료로 제조된 구조재가 형성된 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법.
  9. 제 7 항에 있어서, 상기 I형 프레임의 양측에 삽입되는 각각의 단일 또는 다수의 폼은:
    탄소섬유 또는 케플러섬유의 장섬유강화 복합재료로 제조되고 중앙부가 관통된 사각 형상을 갖는 구조물에 삽입되는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법.
  10. 제 6 항에 있어서, 상기 제3 단계는:
    상기 단일 또는 다수의 폼이 양측에 삽입된 I형 프레임의 외부 표면에 유리섬유강화 복합재료를 증착하는 단계와,
    상기 유리섬유강화 복합재료가 증착된 상기 I형 프레임에 상기 금속 브라켓을 접착하고 볼트 체결하는 단계,
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법.
  11. 제 6 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 단일 폼은 하나의 재질로 형성된 폼이며, 상기 다수의 폼은 재질이 상이한 다수의 단일 폼인 것을 특징 으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법.
  12. 평판 패널의 패터닝 장비, 디스플레이 제조 장비 또는 반도체 디바이스의 결함검사 장비에서 위치결정 시스템으로 사용되는 대면적 스테이지(stage)의 빔(beam) 제조 방법에 있어서,
    중앙부가 관통된 사각 형상을 갖는 다수의 ㅁ형 프레임을 제작하는 제1 단계와;
    단일 또는 다수의 폼을 형성하여 상기 ㅁ형 프레임의 중앙부 각각에 삽입하는 제2 단계와;
    상기 단일 또는 다수의 폼이 삽입된 각각의 ㅁ형 프레임을 접착하여 중복 ㅁ형 프레임을 형성하고, 상기 중복 ㅁ형 프레임의 상부와 하부에 보강판을 접착하는 제3 단계와;
    상기 중복 ㅁ형 프레임의 상부 및 하부에 접착된 보강판의 외부에 금속 브라켓을 체결하는 제4 단계와;
    상기 금속 브라켓이 체결된 중복 ㅁ형 프레임의 양단에 각각 앤드클로우저(end closure)를 결합하는 제5 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 제2 단계는:
    상기 단일 또는 다수의 폼을 상기 ㅁ형 프레임 각각의 중앙부에 삽입될 수 있는 크기로 각각 절삭하는 단계와,
    상기 절삭된 단일 또는 다수의 폼 각각에 다수의 홈을 파는 단계와,
    상기 단일 또는 다수의 폼 외부 표면에 수지를 도포하고 상기 ㅁ형 프레임의 내부로 각각 삽입하는 단계,
    상기 ㅁ형 프레임에 삽입된 단일 또는 다수의 폼 각각에 형성된 다수의 홈에 액상 수지를 충진하는 단계,
    를 포함하는 하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법.
  14. 제 12 항에 있어서, 상기 제4 단계는:
    상기 중복 ㅁ형 프레임의 상부 및 하부에 접착된 각 보강판의 외부 표면에 유리섬유강화 복합재료를 증착하는 단계와,
    상기 유리섬유강화 복합재료가 증착된 상기 보강판에 상기 금속 브라켓을 접착하고 볼트 체결하는 단계,
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법.
  15. 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서, 상기 단일 폼은 하나의 재질로 형성된 폼이며, 상기 다수의 폼은 재질이 상이한 다수의 단일 폼인 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법.
  16. 평판 패널의 패터닝 장비, 디스플레이 제조 장비 또는 반도체 디바이스의 결 함검사 장비에서 위치결정 시스템으로 사용되는 대면적 스테이지(stage)의 빔(beam) 제조 방법에 있어서,
    중앙부가 관통된 사각 형상을 갖는 금속 브라켓 및 탄소섬유 또는 케플러섬유의 장섬유강화 복합재료로 구조물을 제작하는 제1 단계와;
    단일 또는 다수의 폼을 형성하여 상기 금속 브라켓의 중앙부에 삽입하는 제2 단계와;
    상기 단일 또는 다수의 폼이 삽입된 금속 브라켓을 상기 구조물에 삽입하는 제3 단계와;
    상기 금속 브라켓이 삽입된 구조물의 외부 표면에 수지를 도포하여 수지층을 형성하는 제4 단계와;
    상기 금속 브라켓이 삽입된 구조물의 양단에 각각 앤드클로우저(end closure)를 결합하는 제5 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법.
  17. 제 16 항에 있어서, 상기 제2 단계는:
    상기 단일 또는 다수의 폼을 상기 구조물의 중앙부에 삽입될 수 있는 크기로 각각 절삭하는 단계와,
    상기 절삭된 단일 또는 다수의 폼 각각에 다수의 홈을 파는 단계와,
    상기 다수의 홈이 형성된 단일 또는 다수의 폼 외부 표면에 수지를 도포하고 상기 금속 브라켓의 내부로 삽입하는 단계와,
    상기 금속 브라켓에 삽입된 단일 또는 다수의 폼 각각에 형성된 다수의 홈에 액상 수지를 충진하는 단계,
    를 포함하는 하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법.
  18. 제 16 항 또는 제 17 항에 있어서, 상기 단일 폼은 하나의 재질로 형성된 폼이며, 상기 다수의 폼은 재질이 상이한 다수의 단일 폼인 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법.
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