JP5529781B2 - 直線運動移動体 - Google Patents

Description

本発明は、物品を載置して直線１軸方向に往復移動する移動体に関する。特に、本発明は、上下方向に並設された複数の同長のハニカムセルで形成されるハニカムコアの上下を炭素繊維強化プラスチックの保護強化板で挟み込んだ複合ハニカム構造の直線運動移動体に関する。

金属加工装置、検査装置、測定装置、あるいは半導体製造装置のように、物品を載置して直線１軸方向に往復移動する直線運動移動体を備えた精密機器が知られている。近年、リニアモータの開発が飛躍的に進んだことで、直線運動移動体を最大加速度０．８Ｇ以上の高加速度で最高速度１０ｍ／ｍｉｎを超える高速で移動させることができるようになっている。

数μｍ以下の高い位置決め精度が要求される精密機器では、水平に設置される直線運動移動体に対して高い水平精度が要求される。また、高加速度で高速に移動される直線運動移動体には、物品の荷重に対する強度だけではなく、直線運動移動体に作用するより大きなモーメントに相応する高い剛性が要求される。

そのため、精密機器の直線運動移動体は、高精度で堅牢に製作される必要がある。とりわけ、直線運動移動体を上下に段状に積層する構造を有する精密機器の場合は、下段に位置する直線運動移動体に上段に位置する直線運動移動体の重量と載置される物品の重量が荷重としてかかるので、下段の直線運動移動体に対してより大きい強度が要求される。その結果、下段の直線運動移動体の質量が増加する。

質量が大きい直線運動移動体を高加速度で高速に移動させるためには、移動体を駆動するサーボモータにより大きい推力が要求される。要求される推力が大きくなるとリニアモータの電機子も大きくなるので、一次側が可動子である場合に可動子と直線運動移動体とを含む移動体全体の質量が益々増大して、一層大きい推力が要求されるというジレンマに陥る。

精度と強度を失わずに直線運動移動体をより軽量にするために、直線運動移動体をいわゆるハニカム構造にするアイデアがある。以下の説明では、ハニカム構造体を形成する最小単位の管状体をハニカムセルという。また、複数のハニカムセルが組み合わされて形成されるハニカム構造体をハニカムコアという。ハニカム構造は、直線運動移動体を軽量にして応答性を向上させることができる。

ハニカム構造は比強度が高いが、直線運動移動体の強度がハニカムセルの強度に依存するので軽量化に限界がある。特許文献１は、炭素繊維強化プラスチックのコアに炭素繊維強化プラスチックのシートを積層してなる保護強化板を接着した直線運動移動体を開示している。特許文献１の発明によると、ハニカム構造を補強することで、直線運動移動体をより軽量にすることができる。ハニカムコアの上下に保護強化板を設けて一体化した構造は、複合ハニカム構造（ハニカムサンドイッチ）として知られている。

特開２００５−２４３８０９号公報（段落００３２，００５５）

精密機器における水平直線１軸方向に移動する直線運動移動体は、高い水平精度を有することが求められる。とりわけ、直線運動移動体を上下に段状に積層する構造を有する精密機器における下段の直線運動移動体においては、直線運動移動体の上面が必要な水平精度を有していないと、ガイドレールがうねりを有する状態で敷設され、上段の直線運動移動体の位置決め精度を精密機器として必要十分に得ることができなくなる。

ハニカムコアを金属に比べて比強度が高く高硬度のセラミックあるいは炭素繊維強化プラスチックのような非金属の材料で形成すると、切削、研削、研磨のような加工によって水平精度を出すようにすることが困難である。そのため、直線運動移動体を製作するにあたって相当高度な生産技術が要求され、生産性が著しく低い。したがって、高い水平精度を必要とする直線運動移動体においては、ハニカムコアを加工がしやすい金属または合金で形成することが望まれる。

複合ハニカム構造体が長期間の使用に耐えるためには、保護強化板をハニカムコアに対して堅固に取り付ける必要がある。保護強化板をボルトによって均一に強固にハニカムコアに固定するべきであるが、保護強化板を通してハニカムコアに加えられるボルトの締付力によって金属または合金でなるハニカムセルが折り曲げられたり、押し潰されたりする。その結果、移動体の高さにばらつきが発生して保護強化板が歪んで波打つように取り付けられ、精密機器に要求される水平精度を確保できない。

ハニカムセルの側壁を厚くして強度を増すことが考えられるが、移動体の質量が大きくなるので、複合ハニカム構造の利点が生かせない。一方、金属または合金と炭素繊維強化プラスチックとは本質的な性質が大きく異なるので、現在実用に供されている接着剤による接合では、精密機器の耐用年数に見合う期間取付状態を保持できる耐久性を得ることができない。そのため、金属または合金のハニカムコアに炭素繊維強化プラスチックの保護強化板を容易に高精度に強固に固定する有効な方法がないのが実情である。

本発明は、上記課題に鑑みて、鋼鉄よりも比重の小さい金属または合金で形成されるハニカムコアに対して保護強化板が比較的容易に堅固に取り付けられる複合ハニカム構造の直線運動移動体を提供することを主な目的とする。本発明のいくつかの利点は、具体的な実施の形態の説明において詳しく説明される。

本発明の直線運動移動体は、上記課題を解決するために、比重が鋼鉄よりも小さい金属または合金でなる上下方向に並設された複数の同長のハニカムセル（１０Ａ）で形成されるハニカムコア（１０）と、ハニカムコア（１０）を挟み込むように水平に配設された炭素繊維強化プラスチックでなる上下の保護強化板（２０）と、ハニカムコア（１０）と上下の保護強化板（２０）を貫通して設けられ上下の保護強化板（２０）をハニカムコア（１０）に固定するための複数のボルト（３０）と、下側の保護強化板（２０）に座面（４０Ａ）が接するように配設されボルト（３０）と螺合するナット（４０）と、両端がボルト（３０）の座面（３０Ａ）とナット（４０）の座面（４０Ａ）にそれぞれ接触してボルト（３０）の軸（３０Ｂ）を包囲するように配設されボルト（３０）の締付力以上の強度を有する複数の同長のスペーサ管（５０）と、を備える。

本発明の直線運動移動体は複合ハニカム構造であるので、比強度が高く、軽量である。そして、ハニカムコアが鋼鉄よりも比重の小さい金属または合金でなるから、複合ハニカム構造の直線運動移動体の中でも特に軽量である。また、ハニカムコアが加工容易性を有する金属であるため水平精度を有する直線運動移動体の製作がより容易である。その結果、本発明は、生産性と経済性に優れた効果を発揮する。

特に、両端がボルトとナットの座面に接触するスペーサ管を備えているので、保護強化板をハニカムコアに固定する力を超えるボルトの締付力をスペーサ管が受けることによって、薄い金属または合金で形成されるハニカムセルが折れ曲がったり、押し潰されたりすることがない。そのため、簡単に保護強化板をハニカムコアに固定でき、高い水平精度を得ることができる。また、保護強化板がハニカムコアに堅固に固定され、長期間取付状態が維持される。その結果、本発明は、生産性、経済性、精密性、耐久性の向上に優れた効果を発揮する。

本発明の直線運動移動体の全体構成を示す斜視図である。 図１に示される直線運動移動体の左側面断面図である。 図２に示される直線運動移動体の部分断面図である。

図１に、金属被加工物を切削加工する金属切削加工機械の直線運動移動体が示される。図１に示されている金属切削加工機械は、２つの直線運動移動体を重ねるように上下に段状に積層する構成を有する精密機械の一例である。図１では、直線運動移動体以外の構造物が図示省略されている。

図１に示される金属切削加工機械は、直線運動移動体であるサドル１と、サドル１に移動可能に搭載される直線運動移動体であるテーブル２と、サドル１を移動可能に搭載するベッド３と、を備える。サドル１は、水平直線１軸方向（Ｙ軸方向）に往復移動する直線運動移動体である。テーブル２は、Ｙ軸方向に直交する水平直線１軸方向（Ｘ軸方向）に往復移動する直線運動移動体である。したがって、実施の形態の金属切削加工機械は、サドル１とテーブル２を段状に積層する構造を有する。

サドル１とテーブル２は、複合ハニカム構造体であり、同じ材質のリブ構造の直線運動移動体と比べて軽量である。複合ハニカム構造では、材料の強度が比較的小さい場合でも直線運動移動体として必要な強度と剛性を得ることができる。また、テーブル２が複合ハニカム構造であるので、サドル１にかかる荷重が軽減され、サドル１を一層軽量にすることが期待できる。ベッド３は、リブ構造の鉄鋳造体である。ベッド３は、十分な重量を有するが、直線運動移動体が軽量化されているので、ベッド３の重量を低減してベッド３に要する鉄の量を削減できるとともに、金属切削加工機械全体の重量も軽量化できる。

サドル１とテーブル２のハニカムコア１０の材質は鋼鉄よりも比重が小さい金属または合金である。実用上は、比重が５．０以下の金属または合金であり、特に、比重３．０以下の金属または合金である。比重が５．０以下の金属は、いわゆる軽金属であって、移動体の構造材料としては、具体的に、チタン（比重４．５），β型チタン合金（比重４．８），アルミニウム（比重２．７），ジュラルミン（比重２．７），難燃性マグネシウム合金（比重１．７）がある。

ハニカムコアの材質が構造材料として有効な軽金属である場合、ハニカムコア形成後の加工が容易である。特に、精密機器の直線運動移動体の水平精度を得ることが容易である。そのため、直線運動移動体の生産性に優れる。また、複合ハニカム構造は比強度を高くすることができる。そのため、実施の形態の直線運動移動体は、構造物を形成する材料の量を減らすことができ、生産コストが削減されるので、経済性を向上させる。

直線運動移動体が軽量であるとは、リニアモータの最大推力を小さくすることができる。リニアモータの最大推力が小さいほど一次側可動子の電機子が小さくなる。可動子の質量が低減されることで、可動子と直線運動移動体を含む移動体全体が軽量になるため、直線運動移動体の応答性が向上する。また、消費電力が減少し、電機子コイルの発熱が抑制されることで熱損失が小さくなるので、実施の形態の直線運動移動体は、経済性に優れる。

サドル１は、ガイド４に案内されて走行する。ガイド４は、２本のガイドレール４Ａと各ガイドレール４Ａを受ける複数の軸受４Ｂとでなる。２本のガイドレール４Ａは、互いに平行であるようにベッド３の上に水平に敷設される。軸受４Ｂは、ガイドレール４Ａに対向配置されるようにサドル１の下面に設けられる。複数の軸受４Ｂは、荷重を分散するとともにバランスを保持するために、水平面上に均等に配設される。金属切削加工機械に適する軸受方式は、玉軸受または空気静圧軸受である。

テーブル２は、ガイド５に案内されて走行する。ガイド５は、２本のガイドレール５Ａと各ガイドレール５Ａを受ける複数の軸受５Ｂとでなる。２本のガイドレール５Ａは、互いに平行であるようにサドル１の上に水平に敷設される。軸受５Ｂは、ガイドレール５Ａに対向配置されるようにテーブル２の下面に設けられる。複数の軸受５Ｂは、荷重を分散するとともにバランスを保持するために、水平面上に均等に配設される。

図２は、図１に示される金属切削加工機械を左側面から見た断面図である。サドル１は、リニアモータ６によって移動される。リニアモータ６は、一次側可動子６Ａと二次側固定子６Ｂとでなる。リニアモータ６は、交流同期コアレスリニアモータである。一次側可動子６Ａの電機子は、サドル１の下面に取り付けられる。二次側固定子６Ｂは、基板上に固定される複数の永久磁石を含む磁石板である。永久磁石は、サドル１が移動するＹ軸方向に沿って２本のガイドレール４Ａの間に所定間隔で配列される。磁石板は、各永久磁石が一次側可動子６Ａのコイルとの間の所定のギャップが均一に維持されるように水平に設置される。

テーブル２は、リニアモータ７によって移動される。リニアモータ７は、一次側可動子７Ａと二次側固定子７Ｂとでなる。リニアモータ７は、リニアモータ６と協働できる交流同期コアレスリニアモータである。一次側可動子７Ａの電機子は、テーブル２の下面に取り付けられる。二次側固定子７Ｂは、基板上に固定される複数の永久磁石を含む磁石板である。永久磁石は、テーブル２が移動するＸ軸方向に沿って２本のガイドレール５Ａの間に所定間隔で配列される。磁石板は、各永久磁石が一次側可動子７Ａのコイルとの間の所定のギャップが均一に維持されるように水平に設置される。

サドル１とテーブル２は、それぞれハニカムコア１０と上下の保護強化板２０とでなる。ハニカムコア１０は、鋼鉄よりも比重が小さい金属または合金でなる上下方向に並設された複数の同長のハニカムセル１０Ａでなる。ハニカムコア１０は、複数の隣接するハニカムセル１０Ａ間で側壁を共有するように固着され、ハニカムセル１０Ａが組み合わせて形成されている。保護強化板２０は、炭素繊維強化プラスチックでなり、ハニカムコア１０を挟み込むようにハニカムコア１０の上下に水平に配設される。

実施の形態のサドル１とテーブル２のハニカムコア１０を形成するハニカムセル１０Ａの材質は、具体的に、アルミニウムである。アルミニウムは、特に常温における加工がしやすい点で有益である。また、材料が入手しやすく他の軽金属に比べて低廉である点で有利である。

直線運動移動体本体のサイズが４００ｍｍ×３００ｍｍの場合、アルミニウムのハニカムコア１０の上下に炭素繊維強化プラスチックの保護強化板２０を固定して直線運動移動体本体を構成することによって直線運動移動体本体の質量を約５ｋｇまで軽量化することができた。テーブル２に金属被加工物を載置しない状態で上記構成のサドル１を移動させる試験運転を行なった結果、サドル１に変形は見られず、数μｍ以下の位置決め精度を得ることができる十分な強度と剛性を有することが確認された。

図２に示される実施の形態の直線運動移動体のハニカムコア１０を形成する最小単位の個体であるハニカムセル１０Ａは、断面が正六角形のアルミニウムの管状体である。複数のハニカムセル１０Ａどうしが側壁を共有する場合、各ハニカムセル１０Ａは、厳密には管状の体裁をなしていない。しかしながら、本発明においてハニカムセル１０Ａが単体で説明されるとき、共有する側壁を含めて管状体とする。

ハニカムセル１０Ａは、図３に示される中心軸線１０Ｂと平行な長手方向に加わる負荷に対して強度を有する。したがって、複数のハニカムセル１０Ａは、各ハニカムセル１０Ａの中心軸線１０Ｂが物品が載置される方向１０Ｃに対して平行になるように縦方向に並べて配置される。

ハニカムセル１０Ａの側壁の厚さは、ハニカムセル１０Ａの材料固有の比強度によって異なる。ハニカムセル１０Ａの側壁の厚さは、材料に対応して必要な強度を得ることができる範囲で可能な限り小さくされる。直線運動移動体を重ねて配置する実施の形態の金属切削加工機械のサドル１とテーブル２においては、設計上、上下の保護強化板２０をハニカムコア１０に固定した状態で予定される最大質量の金属被加工物をテーブル２に搭載したときの荷重に耐えるようにハニカムセル１０Ａの単体の強度が計算される。

サドル１とテーブル２は、ハニカムコア１０が鋼鉄よりも小さい金属または合金で形成されているので、ハニカムコア１０をセラミックまたは炭素繊維強化プラスチックのような非金属材料で形成した直線運動移動体に比べて生産性と経済性に圧倒的に優れている。ただし、比強度の点で非金属材料のハニカムコア１０が有利である。

実施の形態の直線運動移動体であるサドル１とテーブル２では、ハニカムコア１０の荷重が加わる上面と反対の下面とに熱硬化性樹脂の炭素繊維強化プラスチック製の保護強化板２０を設けて強度を得る。熱硬化性樹脂の炭素繊維強化プラスチック板は、一般に鉄板の１０倍以上の強度を有する。ハニカムコア１０の上下に炭素繊維強化プラスチックの保護強化板を堅固に固定することで、比強度の高い非金属材料でなるハニカムコアを有する直線運動移動体に比べて遜色のない強度を得ることができる。

特に、実施の形態のサドル１とテーブル２では、ハニカムコア１０の上側に固定される保護強化板２０に適数のリブ２０Ｂが一体成形されている。複数のリブ２０Ｂは、上側の保護強化板２０の基板２０Ａの上面に水平１軸方向に沿って形成される。リブ２０Ｂは、直線運動移動体に載置される物品と附属品および搭載される直線運動移動体の設置を妨げない範囲で適当な位置に設けられる。例えば、サドル１の上側の保護強化板２０のリブ２０Ｂは、テーブル２の移動方向であるＸ軸方向に平行に設けられる。

リブ２０Ｂは、保護強化板２０を製造する過程で一体成形される。リブ２０Ｂは、保護強化板２０の曲げ強度を高めて、基板２０Ａを補強する。リブ２０Ｂは、設計上の許容範囲内で曲げ強度を高める効果が有効な適する厚さで適数形成される。リブ２０Ｂが形成されている場合、強度を一層大きくできる点で有益である。

実施の形態の直線運動移動体の保護強化板２０は、具体的に、方向性が揃えられていない炭素繊維を型内に配置して型内にエポキシ樹脂のような溶融樹脂を流し込んで型締成形をし、２００℃ないし２５０℃で１０分から３０分程度焼成して生成されている。保護強化板２０は、炭素繊維強化プラスチックのシートを複数重ね合わせて一体化することで強度を得るようにすることができる。

アルミニウムのような軽金属でハニカムセル１０Ａを形成した場合、ハニカムセル１０Ａが中心軸線１０Ｂに直交する方向から受ける衝撃に対して大きい強度を有していない。言い換えると、ハニカムコア１０の側面は、比較的強度が低い。そこで、サドル１またはテーブル２には、ハニカムセル１０Ａが剥き出しにならないように、ハニカムコア１０の側面を覆って保護する図示しない側壁板が設けられる。側壁板は、ハニカムコア１０を補強する機能が要求されない。

次に、アルミニウムのハニカムコア１０に保護強化板２０を取り付ける実施の形態を説明する。図３に、ボルトによってハニカムコアに保護強化板を堅固に固定する状態が示されている。図３では、ボルト３０の断面を示すが、説明の便宜上、ボルトの側面のねじ山が示されている。

保護強化板２０は、複数のボルト３０によってハニカムコア１０に固定される。複数のボルト３０は、ハニカムコア１０の空隙部位１０Ｄと上下の保護強化板２０に予め穿設されている貫通孔を貫通して設けられる。ハニカムコア１０の空隙部位１０Ｄは、ハニカムセル１０Ａの中空部位に相当する。ボルト３０は、例えば、六角ボルトである。

ボルト３０は、保護強化板２０をハニカムコア１０に堅固に一体的に取り付けて水平に固定するために必要十分な数設けられる。また、ボルト３０は、保護強化板２０の上面において水平面上で可能な限り均等に配設される。ボルト３０の座面３０Ａと保護強化板２０との間に座金を設けることができる。

ボルト３０と螺合するナット４０は、下側の保護強化板２０の外側に座面４０Ａが接するように配設される。ナット４０は、六角ナットである。ナット４０の座面４０Ａと下側の保護強化板２０との間にナット４０の座面よりも大きい面積の図示しない座金が設けられる。ナット４０と保護強化板２０との間に設けられる座金は、ボルト３０の緩みを防止するとともに、ハニカムコア１０の下側においてハニカムセル１０Ａの破損を防止する。

サドル１またはテーブル２０のハニカムコア１０に保護強化板２０をボルト３０とナット４０とで取り付けて固定するときに特別なスペーサ管５０が設けられる。スペーサ管５０は、ボルト３０をナット４０に締結するときに、ハニカムセル１０Ａの中心軸線１０Ｂと平行な方向にボルト３０とナット４０を位置決めする管体である。スペーサ管５０は、ボルト３０およびナット４０と同数設けられる。

スペーサ管５０は、ハニカムコア１０の高さに上下の保護強化板２０の厚さを加えた長さを有する。実施の形態のサドル１またはテーブル２における複数のスペーサ管５０は、誤差±５μｍ以下の範囲で同長である。

スペーサ管５０は、両端がボルト３０の座面３０Ａとナット４０の座面４０Ａにそれぞれ接触するように配設される。また、スペーサ管５０は、ボルト３０の軸３０Ｂを包囲するように配設される。スペーサ管５０は、図３に具体的に示されるように、一端がボルト３０の座面３０Ａと密着し、他端がボルト４０の座面４０Ａと密着する外径を有する。また、スペーサ管５０は、ボルト３０をボルト３０の締付方向に回転可能にボルト３０を貫通させ、ボルト３０の軸３０Ｂを完全に包囲する内径を有する。

スペーサ管５０は、ボルト３０の締付力以上の強度を有する。スペーサ管５０の断面形状は任意である。実施の形態のスペーサ管５０の断面形状は、円形またはハニカムセル１０Ａと相似の正六角形である。スペース管５０は、鋼管のように長手方向における圧縮強度が高い金属材料でなる。スペース管５０は、材質に関わりなく、実質的に移動体全体の質量を増大させない。

ハニカムコア１０に保護強化板２０を固定する締結力を超えたボルト３０とナット４０による締結力をスペーサ管５０が受けるので、アルミニウムのような金属または合金でなるハニカムセル１０Ａが折り曲がったり、押し潰されたりすることがない。その結果、保護強化板２０が全面にわたって同長の複数のスペーサ管５０が規制する同一の高さでハニカムコア１０に固定され、波打つように取り付けられない。そして、保護強化板２０をボルト３０によってハニカムコア１０に強固に取り付けることが可能になる。なお、接着剤を併用して保護強化板２０をハニカムコア１０に固着することができる。

以上に説明されるように、実施の形態の直線運動移動体は、ハニカムコアの加工が容易で生産性が高く、質量が小さく、強度と剛性が高い。そして、ハニカムコアに材料の性質が異なる保護強化板をボルトとナットで取り付けることができるので、生産性が高く、経済性に優れ、耐久性を有する。また、スペーサ管によってハニカムコアを破損することなく高さが規制されるので、高い水平精度を得ることができ、精密性が高い。

実施の形態のサドル１またはテーブル２には、上側の保護強化板２０とボルト３０の首３０Ｃとの間に締結補助板８が設けられる。締結補助板８は、ハニカムコア１０を跨って梁のように敷設される金属板である。締結補助板８は、曲げ強度の大きい鉄または鉄系の合金、例えばステンレスである。締結補助板８によって、より強度が大きく高剛性を有する堅牢で高精密の移動体が提供される。補助締結板８は、実質的に移動体全体の質量の増大に影響を与えない。

締結補助板８は、保護強化板２０に直接ボルト３０が接触して圧力が加えられるときに、保護強化板２０のひび割れまたは潰れのような損傷を発生させる可能性を低減させる。また、締結補助板８がスペーサ管５０と合わせて保護強化板２０の水平精度を保持しやすくする。その結果、生産性と精密性を向上させる点で優位である。

締結補助板８が設けられる場合、ボルト３０は、保護強化板２０の上面と座面３０Ａとの間に締結補助板８を介在させてナット４０に締結される。したがって、スペーサ管５０は、一端が締結補助板８の取付部位８Ａにおける下面に接触し、他端がナット４０の座面４０Ａに接触するように配設される。ただし、締結補助板８がボルト３０の座面３０Ａの全面に密着するので、締結補助板８を設けたときのスペーサ管５０の長さと外径、および作用効果は、締結補助板８が設けられていない場合と実質的に同じである。

直線運動移動体がテーブル２を搭載するサドル１であるとき、締結補助板８がテーブル２の走行を案内するガイドレール５Ａを上の保護強化板２０上に敷設するためのガイドレール取付板を兼用する。締結補助板８がガイドレール取付板を兼用するときは、締結補助板８のボルト３０を締結する位置に予め座繰穴８Ｂが穿設される。そして、ボルト３０は、ボルト３０の首３０Ｃが座繰穴８Ｂの中に収容されるように締結補助板８に埋設される。そのため、ボルト３０がガイドレール５Ａの取付けの障害にならない。

締結補助板８にガイドレール５Ａが取り付けられる場合、ガイドレール５Ａを高い水平精度で取り付けるために、締結補助板８を上側の保護強化板２０にボルト３０で固定した後に、締結補助板８においてキサゲによる精密な水平出しが行なわれる。キサゲを行いやすくするために、保護強化板２０の締結補助板８の近くに形成されるリブ２０Ｂがキサゲの作業の障害にならない高さに制限される。

締結補助板８の上に締結補助板８と同じ大きさで締結補助板８よりも薄い平板を重ねて取り付けることで、締結補助板８の座繰穴８Ｂを平板で塞いでキサゲの作業をより行ないやすくすることができる。平板を設けた場合は、平板にキサゲが行なわれる。

以上に説明される実施の形態の直線運動移動体は、金属被加工物を切削する金属切削加工機械のサドルとサドルに搭載されるテーブルであるので、本発明の技術思想を逸脱しない範囲で直線運動移動体の具体的な構成の相違に合わせて実施の形態の直線運動移動体を変形することができる。

本発明は、物品を搭載して水平直線１軸方向に往復移動する直線運動移動体を備えた精密機器に適用できる。本発明の直線運動移動体は、高い強度と水平精度を有し、軽量であるとともに製作が容易であり、生産性、経済性、精密性、耐久性に優れた効果を発揮する。本発明は、工作機械産業ないし産業機械産業の発展に寄与する。

１ サドル
２ テーブル
３ ベッド
４，５ ガイド
６，７ リニアモータ
８ 締結補助板
１０ ハニカムコア
１０Ａ ハニカムセル
２０ 保護強化板
２０Ａ 基板
２０Ｂ リブ
３０ ボルト
４０ ナット
５０ スペーサ管

Claims (3)

1. 鋼鉄よりも比重が小さい金属または合金でなる上下方向に並設された複数の同長のハニカムセルで形成されるハニカムコアと、前記ハニカムコアを挟み込むように水平に配設された炭素繊維強化プラスチックでなる上下の保護強化板と、前記ハニカムコアと前記上下の保護強化板を貫通して設けられ前記上下の保護強化板を前記ハニカムコアに固定するための複数のボルトと、下側の前記保護強化板に座面が接するように配設され前記ボルトと螺合するナットと、両端が前記ボルトの座面と前記ナットの座面にそれぞれ接触して前記ボルトの軸を包囲するように配設され前記ボルトの締付力以上の強度を有する複数の同長のスペーサ管と、を備えた直線運動移動体。
2. 上側の前記保護強化板が上面側に適数のリブが一体成形されていることを特徴とする請求項１に記載の直線運動移動体。
3. 前記ハニカムセルがアルミニウムまたはアルミニウム合金でなる請求項１に記載の直線運動移動体。

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