JP6128595B2 - 工作機械 - Google Patents

工作機械 Download PDF

Info

Publication number
JP6128595B2
JP6128595B2 JP2013148090A JP2013148090A JP6128595B2 JP 6128595 B2 JP6128595 B2 JP 6128595B2 JP 2013148090 A JP2013148090 A JP 2013148090A JP 2013148090 A JP2013148090 A JP 2013148090A JP 6128595 B2 JP6128595 B2 JP 6128595B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thermal expansion
machine tool
linear thermal
expansion coefficient
thickness
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2013148090A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2015020223A (ja
Inventor
一朗 新家
一朗 新家
俊一 麻原
俊一 麻原
純文 市川
純文 市川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sodick Co Ltd
Original Assignee
Sodick Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sodick Co Ltd filed Critical Sodick Co Ltd
Priority to JP2013148090A priority Critical patent/JP6128595B2/ja
Publication of JP2015020223A publication Critical patent/JP2015020223A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6128595B2 publication Critical patent/JP6128595B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Machine Tool Units (AREA)

Description

本発明は、工作機械に関し、特に、可動部に、機械の固定部を形成する材料よりも軽量でかつ線熱膨張が同等な複合材料を用いた工作機械に関する。
工作機械は、機械の固定部をなすベースにサドルやワークテーブル等の可動部を搭載して構成されており、構造体の主要部は鋳物や炭素鋼等の鉄系材料で形成されることが多い。しかしながら、工作機械の可動部も鉄系材料等の重量物で形成することとすると、高速かつ高加速の加工に限界を生じ軌跡追従精度を向上させることができない。そこで、特許文献1に開示されるように、可動部をアルミニウム等の軽量物で形成し、高速かつ高加速の加工を実現する工作機械が採用されている。
特開2007−185720号公報
しかしながら、上述の如くサドルやワークテーブルを軽量物とし、ベースを重量物とする等、可動部とこれを搭載する固定部を異なる材料で形成することとすると、線熱膨張係数の違いにより温度変化による固定部に対するひずみが生じ加工精度に大きく影響を及ぼすことがある。このような問題に対し、ベースも軽量物で形成することも考えられるが、ベースを軽量物とすると駆動力に対し発生する反力の影響を受けてしまい工作機械全体が振動する等、性能の低下を引き起こしてしまう。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、可動部の軽量化を図りつつも温度変化による固定部に対するひずみを防止して高速かつ高精度の加工を実現することができる工作機械を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、工作機械に係る請求項1の発明は、機械の固定部をなすベースとワークを加工するための移動可能な可動部を有する工作機械において、可動部は、第1の材料および第2の材料からなる複合材料を用いて形成されるとともに、複合材料は、比重が固定部を形成する材料の比重よりも小さくなるように形成され、かつ、第1の材料および第2の材料は、線熱膨張係数が固定部を形成する材料の線熱膨張係数よりも一方を大きく、他方を小さくし、複合材料は、第1の材料をコアとして第2の材料が第1の材料を挟み込むように貼り合わせて対称に形成されるバイメタルとし、第1の材料および第2の材料は、平板状をなすとともに、温度変化時における第1の材料および第2の材料の固定部を形成する材料に対する線熱膨張の差が解消されるように第1の材料および第2の材料にひずみが生じるときの各材料に作用する力が等しくなるように、厚みを設定することを特徴とする。
本発明によれば、可動部は、第1の材料および第2の材料からなる複合材料を用いて形成されるとともに、複合材料は、比重が固定部を形成する材料の比重よりも小さくなるように形成され、かつ、第1の材料および第2の材料は、線熱膨張係数が固定部を形成する材料の線熱膨張係数よりも一方を大きく、他方を小さくし、複合材料は、第1の材料をコアとして第2の材料が第1の材料を挟み込むように貼り合わせて対称に形成されるバイメタルとし、第1の材料および第2の材料は、平板状をなすとともに、温度変化時における第1の材料および第2の材料の固定部を形成する材料に対する線熱膨張の差が解消されるように第1の材料および第2の材料にひずみが生じるときの各材料に作用する力が等しくなるように、厚みを設定することとしたので、機械の固定部をなすベースに対し可動部が軽量化されるとともに、可動部の線熱膨張と固定部の線熱膨張を容易に同等とすることができる。また、本発明によれば、温度変化時のバイメタルの線熱膨張係数の相違による湾曲を相殺、つまり第1の材料と一方の第2の材料との間に生じる線熱膨張係数の相違による湾曲および第1の材料と他方の第2の材料との間に生じる線熱膨張係数の相違による湾曲を相互に相殺しつつ、固定部を形成する材料に対する第1の材料および第2の材料の線熱膨張の差を解消することができる。これにより可動部の軽量化を図りつつも温度変化による固定部に対するひずみを防止して高速かつ高精度の加工を実現することができる。
第1の材料および第2の材料は、いずれも比重を固定部を形成する材料の比重よりも小さくすることとすれば、複合材料の比重を固定部を形成する材料の比重よりも確実に小さく整理することができ、可動部の軽量化を確実に実現することができる(請求項2)。
第1の材料および第2の材料は、詳しくは、厚みを、線熱膨張係数とヤング率に基づいて設定することができ(請求項)、更に詳しくは、厚みを、
[数1]
t1/t2=E2/E1×(K0−K2)/(K1−K0)
ただし、t1:第1の材料の厚み、t2:第2の材料の厚み、E1:第1の材料のヤング率、E2:第2の材料のヤング率、K0:固定部を形成する材料の線熱膨張係数、K1:第1の材料の線熱膨張係数、K2:第2の材料の線熱膨張係数を用いて設定することができる(請求項)。
第2の材料は、第1の材料よりもヤング率が高い材料とすることとすれば、複合材料の外側にヤング率の高い材料が配設されるので、曲げ弾性係数を高くすることができ、可動部の曲げ剛性を向上させることができる。また、複合材料の内部を切削性の良い材料とすることでタップを容易に立てることもできる(請求項)。ベースとともに固定部をなすコラムを含んで、ベースに対する可動部をサドルまたはワークテーブルとしコラムに対する可動部を加工ヘッドとすることができる(請求項)。
第1の材料は、アルミニウムとし、第2の材料は、炭素繊維強化プラスチックとすることとすれば、可動部の比重をベースの比重よりも確実に小さく設定することができ、鉄系材料の線熱膨張係数よりも一方を大きく、他方を小さく設定することができ、可動部を形成する複合材料の外側にヤング率の高い材料を配設することができるので好ましい(請求項)。固定部を形成する材料は、例えば鉄系材料または石材とすることができる(請求項)。
本発明によれば、可動部の軽量化を図りつつも温度変化による固定部に対するひずみを防止して高速かつ高精度の加工を実現することができる。
本発明の実施形態に係る工作機械の全体概要を示す側面図である。 同工作機械の全体概要を示す正面図である。 サドル乃至テーブルに用いられる複合材料の構成を示す図である。 複合材料の温度変化時のひずみが発生した状態を説明するための図である。 複合材料の湾曲が発生した状態および湾曲が相殺される状態を説明するための図である。 複合材料の温度変化時のひずみが解消される状態を説明するための第2の図 である。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図1および図2は本発明の実施形態に係る工作機械の概略を示す構成図である。なお、以下においては、工作機械1の正面側から見て左右方向をX軸方向、前後方向をY軸方向、上下方向をZ軸方向として説明するものとする。
これらの図を参照して工作機械の概要を説明すると、工作機械1は、ベース2、サドル3、ワークテーブル4、コラム5、および加工ヘッド6を有している。ベース2は、機械の基部であり固定部をなしている。サドル3は、第1のリニアモーションガイド7を介してベース2の上面に設けられており、X軸方向に移動可能な可動部となっている。ワークテーブル4は、第2のリニアモーションガイド8を介してサドル3の上面に設けられており、ワークを載置可能となっている。ワークテーブル4は、Y軸方向に移動可能な可動部となっている。コラム5は、ベース2の上面後部から立設しており、上部で90°屈曲して前方に延出している。コラム5は、ベース2とともに機械の固定部をなしている。加工ヘッド6は、コラム5の延出部5aの前面に設けられており、Z軸方向に移動可能な可動部となっている。
機械の固定部であるベース2およびコラム3と機械の部品部分である第1のリニアモーションガイド7および第2のリニアモーションガイド8は、鋳物や炭素鋼等の鉄系材料または石材を用いて形成されている。機械の可動部であるサドル3、ワークテーブル4、および加工ヘッド6は、第1の材料10および第2の材料20からなる複合材料30を用いて形成されており、図示せぬ防塵カバーで覆われている。
図3に示すように、第1の材料10および第2の材料20は、いずれも平板状となっている。複合材料30は、第1の材料10をコアとして、第2の材料20が第1の材料10を挟み込むように対称に形成されている。複合材料30は、接着剤40を介して第1の材料10および第2の材料20を貼り合わせて形成される。第1の材料10にはアルミニウムが、第2の材料20には炭素繊維強化プラスチック(CFRP)が、採用されている。
表1に示すように、アルミニウムおよび炭素繊維強化プラスチックの比重はいずれも固定部を形成する鉄系材料より小さくなっている(以下においては、固定部を形成する材料は主に鉄系材料として説明するものとする)。つまり、複合材料30は比重が鉄系材料の比重よりも小さくなるように形成されている。
更に、アルミニウムの線熱膨張係数は、鉄系材料よりも大きく、炭素繊維強化プラスチックの線熱膨張係数は、鉄系材料よりも小さくなっており、第1の材料(アルミニウム)10と第2の材料(炭素繊維強化プラスチック)20の線熱膨張係数の中間値は略鉄系材料の線熱膨張係数となっている。複合材料30は、線熱膨張係数の異なる材料を貼り合わせて形成されるバイメタルとなっている。
このように複合材料30を対称構造のバイメタルとすることにより、複合材料30において第1の材料10および第2の材料20の線熱膨張の差を解消しながら、鉄系材料の線熱膨張と同等に設定することができる。すなわち、図4に示すように、設計温度Tで鉄系材料、第1の材料10、および第2の材料20の長さがいずれもLの状態(図4(a)、線熱膨張に差のないように機械が設計された状態)から周囲の環境温度がT+dTに変化して鉄系材料、第1の材料10、および第2の材料20がそれぞれ線熱膨張し各材料の長さがそれぞれL0、L1、L2となった状態(図4(b))において、第1の材料10および第2の材料20をそれぞれ単体で見たときは、線熱膨張係数の相違から各材料10,20は鉄系材料に対して線熱膨張にそれぞれ差(L0−L1),(L0−L2)を生じた状態となる。この線熱膨張の差(L0−L1),(L0−L2)は、複合材料30において第1の材料10および第2の材料20を対称に配置することにより、対称に発生することとなる。
つまり、一般に、バイメタルは温度変化時に線熱膨張の相違により湾曲を生じることが知られているが、複合材料30を対称に形成することにより、図5に示すように、第1の材料10と一方の第2の材料20との間に生ずる熱膨張係数の相違による湾曲50(図5(a))と第1の材料10と他方の第2の材料20との間に生ずる熱膨張係数の相違による湾曲60(図5(b))が相互に反対方向に生じ、これら湾曲50,60が相互に相殺されることとなる(図5(c))。
更に、図6に示すように、第1の材料10と第2の材料20を、接着剤40を介して接合することにより、第1の材料10および第2の材料20の鉄系材料に対する線熱膨張の差(L0−L1),(L0−L2)を解消する方向に各材料10,20に力F1,F2が対称に作用し、複合材料30に線熱膨張の差(L0−L1),(L0−L2)を解消する方向にひずみが生じると考えられる。この力F1,F2およびひずみの相関関係は、ヤング率によれば第1の材料10および第2の材料20の厚みt1,t2に応じて変化すると考えられる。
つまり、数1に示すように、温度変化時における第1の材料10および第2の材料20の鉄系材料に対する線熱膨張の差(L0−L1),(L0−L2)が解消されるように第1の材料10および第2の材料20にひずみ(L0−L1),(L0−L2)が生じるときの各材料10,20に作用する力F1,F2が等しくなるように、線熱膨張係数とヤング率に基づいて、各材料10,20の厚みt1,t2を設定することができると考えられる。このように複合材料30の厚みを設定することで、鉄系材料に対する線熱膨張の差(L0−L1),(L0−L2)を解消することができる。
[数1]
t1/t2=E2/E1×(K0−K2)/(K1−K0)
ただし、
t1:第1の材料の厚み
t2:第2の材料の厚み
E1:第1の材料のヤング率
E2:第2の材料のヤング率
K0:鉄の線熱膨張係数
K1:第1の材料の線熱膨張係数
K2:第2の材料の線熱膨張係数
ここで、数1の誘導について詳細に説明すると次のようになる。
すなわち、周囲の環境温度が設計温度TからT+dTに変化したとき、設計温度Tの状態からの材料の伸び量dLは熱膨張の式より数2のように表される。したがって、鉄系材料、第1の材料10、および第2の材料20の伸び量dL0、dL1、およびdL2は数2を用いるとそれぞれ数3のように表される。
[数2]
dL=K×L×dT
[数3]
dL0=dT×K0×L
dL1=dT×K1×L
dL2=dT×K2×L
ただし、
dL:伸び量
dL0:鉄系材料の伸び量
dL1:第1の材料10の伸び量
dL2:第2の材料20の伸び量
dT:温度変化
K:線熱膨張係数
K0:鉄系材料の線熱膨張係数
K1:第1の材料10の線熱膨張係数
K2:第2の材料20の線熱膨張係数
L:設計温度Tの状態の鉄系材料、第1の材料10、および第2の材料20の長さ
更にまた、温度変化dT時の鉄系材料、第1の材料10、および第2の材料20の長さL0、L1、およびL2は、数3の伸び量dL0、dL1、およびdL2を用いると数4のように表される。したがって、温度変化dT時における第1の材料10および第2の材料20の鉄系材料に対する線熱膨張の差(L0−L1),(L0−L2)は数4を用いてそれぞれ数5および数6のように表される。
[数4]
L0=L+dT×K0×L
L1=L+dT×K1×L
L2=L+dT×K2×L
[数5]
L0−L1=dT×L×(K0−K1)
[数6]
L0−L2=dT×L×(K0−K2)
ここで、ヤング率E、応力σ、およびひずみ量εの関係は数7のように表され、更に力F、応力σ、および材料の断面積Sの関係は数8のように表される。よって、σ=E×εとして数8に代入すると、力Fはヤング率E、ひずみ量ε、断面積Sを用いて数9のように表される。
[数7]
E=σ/ε
[数8]
F=σ×S
[数9]
F=E×S×ε
更にまた、第1の材料10の厚みをt1、幅をaとすると、温度変化時dT時においても第1の材料10の長さL1を鉄系材料の長さL0と同じとするために第1の材料10に作用する力F1はひずみ量εを線熱膨張の差L0−L1として数10のように表され、更にL0−L1に数5を代入して数11のように表される。
[数10]
F1=E1×(a×t1)×(L0−L1)
[数11]
F1=E1×(a×t1)×dT×L×(K0−K1)
同様に第2の材料20の厚みをt2、幅をaとすると、温度変化時においても第2の材料20の長さL2を鉄系材料の長さL0と同じとするために第2の材料20に作用する力F2はひずみ量εを線熱膨張の差L0−L2として数12のように表され、更にL0−L2に数6を代入して数13のように表される。
[数12]
F2=E2×(a×t2)×(L0−L2)
[数13]
F2=E2×(a×t2)×dT×L×(K0−K2)
F1とF2は常に釣り合いの状態となるため数14のように等式で結ばれ、数14に数12および数13を代入して数15が得られ、各材料の厚みt1,t2、ヤング率E1,E2、線熱膨張係数K0,K1,K2の相関関係が数16つまり数1の如く得られる。
[数14]
F1=−F2
[数15]
E1×(a×t1)×dT×L×(K0−K1)
=−E2×(a×t2)×dT×L×(K0−K2)
[数16]([数1])
t1/t2=E2/E1×(K0−K2)/(K1−K0)
表1に計算例を示すように、第1の材料10をアルミニウム、第2の材料20を炭素繊維強化プラスチック(CFRP)としたときは、第1の材料10の厚みを第2の材料の厚み20の約2.5倍に設定することで、温度変化時における第1の材料10および第2の材料20の固定部を形成する材料に対する線熱膨張の差が解消される。
Figure 0006128595
ここで、本発明においては、第2の材料(炭素繊維強化プラスチック)20は、第1の材料(アルミニウム)10よりもヤング率が高くなっており、複合材料30は外側にヤング率の高い材料が配設されている。このように外側にヤング率の高い材料を配設することで、曲げ弾性係数を高くすることができ、可動部であるサドル3、ワークテーブル4、および加工ヘッド6の曲げ剛性を向上させることができる。複合材料30の内部を切削性の良い材料とすることでタップを容易に立てることもできる。
以上説明したように本発明によれば、可動部であるサドル3、ワークテーブル4、および加工ヘッド6は、第1の材料10および第2の材料20からなる複合材料30を用いて形成されるとともに、複合材料30は、比重が固定部を形成する材料の比重よりも小さくなるように形成され、より詳しくは第1の材料10および第2の材料20は、いずれも比重を固定部を形成する材料の比重よりも小さく設定され、かつ、第1の材料10および第2の材料20は、線熱膨張係数が固定部を形成する材料の線熱膨張係数よりも一方を大きく、他方を小さくすることとしたので、機械の固定部をなすベース2とコラム5に対し可動部が軽量化されるとともに、可動部の線熱膨張と固定部の線熱膨張を同等とすることができる。これにより可動部の軽量化を図りつつも温度変化による固定部に対するひずみを防止して高速かつ高精度の加工を実現することができる。工作機械1の可動部を軽量かつ剛性の高い構造とすることで、駆動系から見た固有振動数が上がり、高い制御ゲインを設定することができ、高速高加速での軌跡追従精度の向上を実現する。
また、複合材料30は、第1の材料10をコアとして第2の材料20が第1の材料10を挟み込むように貼り合わせて対称に形成されることとしたので、温度変化時のバイメタルの線熱膨張係数の相違による湾曲を相殺しつつ、固定部を形成する材料に対する第1の材料10および第2の材料20の線熱膨張の差を解消することができる。
本発明は、工作機械の軽量化を図る場合に役立つ。
1:工作機械
2:ベース
3:サドル
4:ワークテーブル
5:コラム
5a:延出部
6:加工ヘッド
7:第1のリニアモーションガイド
8:第2のリニアモーションガイド
10:第1の材料
20:第2の材料
30:複合材料
40:接着剤
50,60:湾曲
t1:第1の材料10の厚み
t2:第2の材料20の厚み
E1:第1の材料10のヤング率
E2:第2の材料20のヤング率
L0:鉄材の長さ
L1:第1の材料10の長さ
L2:第2の材料20の長さ
ε1:第1の材料10のひずみ(鉄系材料に対する第1の材料10の線熱膨張の差)
ε2:第2の材料20のひずみ(鉄系材料に対する第2の材料20の線熱膨張の差)

Claims (8)

  1. 機械の固定部をなすベースとワークを加工するための移動可能な可動部を有する工作機械において、
    前記可動部は、第1の材料および第2の材料からなる複合材料を用いて形成されるとともに、前記複合材料は、比重が前記固定部を形成する材料の比重よりも小さくなるように形成され、かつ、前記第1の材料および前記第2の材料は、線熱膨張係数が前記固定部を形成する材料の線熱膨張係数よりも一方を大きく、他方を小さくし、
    前記複合材料は、前記第1の材料をコアとして前記第2の材料が前記第1の材料を挟み込むように貼り合わせて対称に形成されるバイメタルとし、
    前記第1の材料および前記第2の材料は、平板状をなすとともに、温度変化時における前記第1の材料および前記第2の材料の前記固定部を形成する材料に対する前記線熱膨張の差が解消されるように前記第1の材料および前記第2の材料にひずみが生じるときの前記各材料に作用する力が等しくなるように、厚みを設定することを特徴とする工作機械。
  2. 前記第1の材料および前記第2の材料は、いずれも比重を前記固定部を形成する材料の比重よりも小さくすることを特徴とする請求項1に記載の工作機械。
  3. 前記厚みを、線熱膨張係数とヤング率に基づいて設定することを特徴とする請求項1または2に記載の工作機械。
  4. 前記厚みを、
    [数1]
    t1/t2=E2/E1×(K0−K2)/(K1−K0)
    ただし、t1:第1の材料の厚み、t2:第2の材料の厚み、E1:第1の材料のヤング率、E2:第2の材料のヤング率、K0:固定部を形成する材料の線熱膨張係数、K1:第1の材料の線熱膨張係数、K2:第2の材料の線熱膨張係数を用いて設定することを特徴とする請求項に記載の工作機械。
  5. 前記第2の材料は、前記第1の材料よりもヤング率が高い材料とすることを特徴とする請求項に記載の工作機械。
  6. 前記ベースとともに前記固定部をなすコラムを含んで、前記ベースに対する前記可動部をサドルまたはワークテーブルとし前記コラムに対する前記可動部を加工ヘッドとすることを特徴とする請求項に記載の工作機械。
  7. 前記第1の材料は、アルミニウムとし、前記第2の材料は、炭素繊維強化プラスチックとすることを特徴とする請求項に記載の工作機械。
  8. 前記固定部を形成する材料は、鉄系材料または石材とすることを特徴とする請求項1に記載の工作機械。
JP2013148090A 2013-07-17 2013-07-17 工作機械 Expired - Fee Related JP6128595B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013148090A JP6128595B2 (ja) 2013-07-17 2013-07-17 工作機械

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013148090A JP6128595B2 (ja) 2013-07-17 2013-07-17 工作機械

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015020223A JP2015020223A (ja) 2015-02-02
JP6128595B2 true JP6128595B2 (ja) 2017-05-17

Family

ID=52485157

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013148090A Expired - Fee Related JP6128595B2 (ja) 2013-07-17 2013-07-17 工作機械

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6128595B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105108504A (zh) * 2015-10-10 2015-12-02 太仓金凡机械制造有限公司 一种机床鞍座

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5314397A (en) * 1992-07-31 1994-05-24 Ford Motor Company Positioning apparatus for multiple-spindle machining
JP2002263972A (ja) * 2001-03-13 2002-09-17 Micron Seimitsu Kk 工作機械ベッド構造、および工作機械ベッドの構成方法
GB2406533B (en) * 2003-10-02 2005-11-02 Leica Microsys Lithography Ltd Stage for a workpiece
JP2005262358A (ja) * 2004-03-17 2005-09-29 Shinkawa Ltd 直動テーブル
JP5529781B2 (ja) * 2011-02-15 2014-06-25 株式会社ソディック 直線運動移動体

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015020223A (ja) 2015-02-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101722519B (zh) 夹持设备及包括该夹持设备的系统
Li et al. Design and analysis of a totally decoupled flexure-based XY parallel micromanipulator
Jiang et al. Stiffness modeling of compliant parallel mechanisms and applications in the performance analysis of a decoupled parallel compliant stage
JP6128595B2 (ja) 工作機械
EP3612797B1 (en) Load bearing structure
CN102123823A (zh) 用于非圆形的工件的制造机床
JP4762934B2 (ja) ホーン取付用アーム
JPH07167642A (ja) 位置測定装置
JP2020517940A (ja) 位置決め装置
KR101624818B1 (ko) 중공 부재
US20090001243A1 (en) Method of producing a support and a support
CN107784138A (zh) 基于结构力学分析的点云重力变形修正方法
US20140053670A1 (en) Biaxial linear-motion micro drive apparatus
JP5529781B2 (ja) 直線運動移動体
JP6096699B2 (ja) Smt実装機において少なくとも1つの実装ヘッドを位置決めするためのガントリ装置、及び当該ガントリ装置の製造方法
US7994688B2 (en) Mechanical design of laminar weak-link mechanisms with centimeter-level travel range and sub-nanometer positioning resolution
Ast et al. An adaptronic approach to active vibration control of machine tools with parallel kinematics
Qi et al. A novel 2-DOF compound compliant parallel guiding mechanism
JP2006205279A (ja) X−yステージ装置
JP5786226B2 (ja) 工作機械
JP6514768B2 (ja) 製造作業機
JP4126147B2 (ja) プリント基板加工機
Wang et al. Running accuracy analysis of a 3-RRR parallel kinematic machine considering the deformations of the links
Wan et al. Design of a new compliant XY micro-positioning stage based on Roberts mechanism
JP5849265B2 (ja) 弾性表面波型加速度センサおよびセンサ素子基体

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20141009

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160128

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160128

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20161116

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20161122

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170117

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170406

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170406

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6128595

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees