JPH07167642A - 位置測定装置 - Google Patents
位置測定装置Info
- Publication number
- JPH07167642A JPH07167642A JP4116419A JP11641992A JPH07167642A JP H07167642 A JPH07167642 A JP H07167642A JP 4116419 A JP4116419 A JP 4116419A JP 11641992 A JP11641992 A JP 11641992A JP H07167642 A JPH07167642 A JP H07167642A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- measuring device
- auxiliary
- position measuring
- thermal expansion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
- G01B5/0014—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Vehicle Body Suspensions (AREA)
- Body Structure For Vehicles (AREA)
- Eye Examination Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定目盛板のホルダー本体が付属する対象物
体の熱膨張係数に合っている位置測定装置を提供する。 【構成】 第一対象物体１に連結する走査ユニット６
が、ホルダー本体７ａに配設された測定目盛板１４の目
盛を走査し、ホルダー本体７ａが熱膨張係数の異なる補
助ホルダー１７ａに固定連結し、補助ホルダーを含めた
ホルダー本体の合成熱膨張係数が付属する第二対象物体
２の熱膨張係数に等しいように、ホルダー本体７ａと補
助ホルダー１７ａが設計されている。
体の熱膨張係数に合っている位置測定装置を提供する。 【構成】 第一対象物体１に連結する走査ユニット６
が、ホルダー本体７ａに配設された測定目盛板１４の目
盛を走査し、ホルダー本体７ａが熱膨張係数の異なる補
助ホルダー１７ａに固定連結し、補助ホルダーを含めた
ホルダー本体の合成熱膨張係数が付属する第二対象物体
２の熱膨張係数に等しいように、ホルダー本体７ａと補
助ホルダー１７ａが設計されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、第一対象物体に連結
する走査ユニットが、第二対象物体に固定されているホ
ルダー本体に配設されている測定目盛板を走査し、ホル
ダー本体と第二対象物体が異なった熱膨張係数を有す
る、二つの対象物体の相対位置を測定する位置測定装
置、特に気密にされている位置測定装置に関する。
する走査ユニットが、第二対象物体に固定されているホ
ルダー本体に配設されている測定目盛板を走査し、ホル
ダー本体と第二対象物体が異なった熱膨張係数を有す
る、二つの対象物体の相対位置を測定する位置測定装
置、特に気密にされている位置測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の位置測定装置は、特に工作機械
の場合、加工品に対する工具の相対位置を測定するため
に使用される。
の場合、加工品に対する工具の相対位置を測定するため
に使用される。
【０００３】このような位置測定装置では、二つの対象
物体、例えば工作機械の二つの機械部品の相対位置を測
定するため、一方の対象物体に連結する走査ユニットが
測定目盛板を走査する。この目盛板はホルダー本体の上
に配設されていて、このホルダー本体は他方の対象物体
に固定されている。
物体、例えば工作機械の二つの機械部品の相対位置を測
定するため、一方の対象物体に連結する走査ユニットが
測定目盛板を走査する。この目盛板はホルダー本体の上
に配設されていて、このホルダー本体は他方の対象物体
に固定されている。
【０００４】機械部品の形にされた前記の第二対象物体
は、一般に鼠鋳鉄ないしはスチールで構成されている。
測定目盛板のホルダー本体に対して主にアルミニューム
を使用する。その理由は、特に封止された位置測定装置
の場合、複雑な断面形状を有するホルダー本体を、特に
コスト的に最も有利に押出成形で作製できるからであ
る。
は、一般に鼠鋳鉄ないしはスチールで構成されている。
測定目盛板のホルダー本体に対して主にアルミニューム
を使用する。その理由は、特に封止された位置測定装置
の場合、複雑な断面形状を有するホルダー本体を、特に
コスト的に最も有利に押出成形で作製できるからであ
る。
【０００５】アルミニューム製のホルダー本体を鼠鋳鉄
ないしはスチール製の機械部品にボルトで固定すると、
熱膨張係数が非常に異なっているため、加工工程で避け
がたい温度変化がある場合、ホルダー本体の長手方向の
力が大きくなる。この長手方向の力はボルト結合部でホ
ルダー本体に不定のずれをもたらし、測定目盛板の原点
の移動や測定目盛板に再現性のない応力を与え、測定精
度を悪くすることになる。
ないしはスチール製の機械部品にボルトで固定すると、
熱膨張係数が非常に異なっているため、加工工程で避け
がたい温度変化がある場合、ホルダー本体の長手方向の
力が大きくなる。この長手方向の力はボルト結合部でホ
ルダー本体に不定のずれをもたらし、測定目盛板の原点
の移動や測定目盛板に再現性のない応力を与え、測定精
度を悪くすることになる。
【０００６】ドイツ特許第 28 53 771号明細書には、測
定目盛板のケースとなるホルダー本体と走査ユニットが
機械部品の両端で二つの固定部材を介して連結している
位置測定装置が記載されている。ケースの一端は第一固
定部材に直接連結しているが、ケースの他端と第二固定
部材の間に、温度補償用の長手方向の相殺部材が配設さ
れている。その結果、ケースのこの端部は長手方向に並
進の自由度をもって支承されている。機械部品に測定目
盛板のホルダー本体を固定するこの経費の掛かる方法
は、測定目盛板の原点がホルダー本体の固定点の第一固
定部材のなくてなならないことになる。
定目盛板のケースとなるホルダー本体と走査ユニットが
機械部品の両端で二つの固定部材を介して連結している
位置測定装置が記載されている。ケースの一端は第一固
定部材に直接連結しているが、ケースの他端と第二固定
部材の間に、温度補償用の長手方向の相殺部材が配設さ
れている。その結果、ケースのこの端部は長手方向に並
進の自由度をもって支承されている。機械部品に測定目
盛板のホルダー本体を固定するこの経費の掛かる方法
は、測定目盛板の原点がホルダー本体の固定点の第一固
定部材のなくてなならないことになる。
【０００７】ドイツ特許第 39 18 490号明細書によれ
ば、基本体とその上に装着された目盛板を有する目盛ホ
ルダーから成り、機械部品に固定されていて、基本体と
目盛ホルダーは異なった熱膨張係数を有する測定目盛も
公知である。この目盛ホルダーは基本体にメッキで付着
された中間層を介して連結されていて、目盛ホルダーと
基本体の断面は、測定目盛板の合成熱膨張係数が機械部
品の熱膨張係数に一致するように設計されている。
ば、基本体とその上に装着された目盛板を有する目盛ホ
ルダーから成り、機械部品に固定されていて、基本体と
目盛ホルダーは異なった熱膨張係数を有する測定目盛も
公知である。この目盛ホルダーは基本体にメッキで付着
された中間層を介して連結されていて、目盛ホルダーと
基本体の断面は、測定目盛板の合成熱膨張係数が機械部
品の熱膨張係数に一致するように設計されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】この発明の課題は、測
定目盛板のホルダー本体を付属する対象物体の熱膨張特
性に簡単に合わせることのできる冒頭に述べた種類の位
置測定装置を提供することにある。
定目盛板のホルダー本体を付属する対象物体の熱膨張特
性に簡単に合わせることのできる冒頭に述べた種類の位
置測定装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、この発明
により、第一対象物体に連結する走査ユニットが、第二
対象物体に固定されているホルダー本体に配設されてい
る測定目盛板を走査し、ホルダー本体と第二対象物体が
異なった熱膨張係数を有する、二つの対象物体の相対位
置を測定する位置測定装置、特に気密にされている位置
測定装置の場合、ホルダー本体７が補助ホルダー１７に
固定連結し、この補助ホルダーの熱膨張係数が前記ホル
ダー本体７の熱膨張係数とは異なり、補助ホルダー１７
を含めたホルダー本体７の合成熱膨張係数が付属する第
二対象物体２の熱膨張係数に等しくなるように、ホルダ
ー本体７と補助ホルダー１７の断面が設計されているこ
とによって解決されている。
により、第一対象物体に連結する走査ユニットが、第二
対象物体に固定されているホルダー本体に配設されてい
る測定目盛板を走査し、ホルダー本体と第二対象物体が
異なった熱膨張係数を有する、二つの対象物体の相対位
置を測定する位置測定装置、特に気密にされている位置
測定装置の場合、ホルダー本体７が補助ホルダー１７に
固定連結し、この補助ホルダーの熱膨張係数が前記ホル
ダー本体７の熱膨張係数とは異なり、補助ホルダー１７
を含めたホルダー本体７の合成熱膨張係数が付属する第
二対象物体２の熱膨張係数に等しくなるように、ホルダ
ー本体７と補助ホルダー１７の断面が設計されているこ
とによって解決されている。
【００１０】この発明による他の有利な構成は、特許請
求の範囲の従属項に記載されている。
求の範囲の従属項に記載されている。
【００１１】
【実施例】以下、図面に基づきこの発明の実施例をより
詳しく説明する。図１と図２には、二つの対象物体１，
２の相対位置を測定するために使用する密閉された位置
測定装置の縦断面と横断面が示してある。図示していな
い工作機械の固定台である第一対象物体１には、組立部
材３がボルト４で固定されている。この組立部材３は、
二重剣状の連行体５を介して、走査ユニット６に連結し
ている。
詳しく説明する。図１と図２には、二つの対象物体１，
２の相対位置を測定するために使用する密閉された位置
測定装置の縦断面と横断面が示してある。図示していな
い工作機械の固定台である第一対象物体１には、組立部
材３がボルト４で固定されている。この組立部材３は、
二重剣状の連行体５を介して、走査ユニット６に連結し
ている。
【００１２】上記工作機械の移動台である第二対象物体
２には、断面がＵ字状のケースをしているホルダー本体
７ａの両端がそれぞれ固定部材８，９を用いてボルト１
０，１１により固定されている。これ等の両固定部材
８，９は、ホルダー本体７ａの両端の前面の隔離部分を
形成し、図示していない任意の方法で両端に固定されて
いる。
２には、断面がＵ字状のケースをしているホルダー本体
７ａの両端がそれぞれ固定部材８，９を用いてボルト１
０，１１により固定されている。これ等の両固定部材
８，９は、ホルダー本体７ａの両端の前面の隔離部分を
形成し、図示していない任意の方法で両端に固定されて
いる。
【００１３】このホルダー本体７ａの内部には、内部通
路１２の上に接着層１３によって、目盛を有する測定目
盛板１４が測定方向Ｘにほんの僅か移動できるように配
設されている。測定目盛板１４の目盛は、公知の方法に
より、ホルダー本体７ａの内部にある走査ユニット６に
よって走査される。走査ユニット６に対する連行体５
は、二つの気密舌部１５で閉ざされているホルダー本体
７の長手スリッド１６に嵌まっている。
路１２の上に接着層１３によって、目盛を有する測定目
盛板１４が測定方向Ｘにほんの僅か移動できるように配
設されている。測定目盛板１４の目盛は、公知の方法に
より、ホルダー本体７ａの内部にある走査ユニット６に
よって走査される。走査ユニット６に対する連行体５
は、二つの気密舌部１５で閉ざされているホルダー本体
７の長手スリッド１６に嵌まっている。
【００１４】通常、工作機械の移動台である第二対象物
体２は、熱膨張係数がαSt＝ 11 ・10-6Ｋ-1のスチール
と、熱膨張係数がαAl＝ 22 ・10-6Ｋ-1のアルミニュー
ム製の測定目盛板１４のホルダー本体７ａで構成されて
いる。工作機械の加工工程の間に避けがたい温度変化の
ため、第二対象物体２とホルダー本体７ａは異なった膨
張係数αSt，αAlのため、長手方向の異なった長さ変化
を受ける。これ等の長さ変化は、冒頭に説明した両方の
固定部材８，９のボルト結合１０，１１に不定のずれを
もたらし、測定の不正確さを与える。
体２は、熱膨張係数がαSt＝ 11 ・10-6Ｋ-1のスチール
と、熱膨張係数がαAl＝ 22 ・10-6Ｋ-1のアルミニュー
ム製の測定目盛板１４のホルダー本体７ａで構成されて
いる。工作機械の加工工程の間に避けがたい温度変化の
ため、第二対象物体２とホルダー本体７ａは異なった膨
張係数αSt，αAlのため、長手方向の異なった長さ変化
を受ける。これ等の長さ変化は、冒頭に説明した両方の
固定部材８，９のボルト結合１０，１１に不定のずれを
もたらし、測定の不正確さを与える。
【００１５】それ故、この発明によれば、アルミニュー
ム製のホルダー本体７ａがその端面１８に板状のインバ
ール製の補助ホルダー１７ａに固定連結している。この
インパールの熱膨張係数はαIn＝ 1・ 10 -6であって、
ホルダー本体７の熱膨張係数αAlとは大きさ相違があ
る。この硬く組み込まれた連結は、任意の方法で、例え
ば硬化接着剤、リベットあるいはボルトで行われる。
ム製のホルダー本体７ａがその端面１８に板状のインバ
ール製の補助ホルダー１７ａに固定連結している。この
インパールの熱膨張係数はαIn＝ 1・ 10 -6であって、
ホルダー本体７の熱膨張係数αAlとは大きさ相違があ
る。この硬く組み込まれた連結は、任意の方法で、例え
ば硬化接着剤、リベットあるいはボルトで行われる。
【００１６】ホルダー本体７ａと補助ホルダー１７ａの
両方の熱膨張係数αAl，αInと両方の弾性率ＥAl，ＥIn
とに応じて、ホルダー本体７ａと補助ホルダー１７ａの
断面ＦAl，ＦInは、補助ホルダー１７ａを含めたホルダ
ー本体７ａの合成熱膨張係数αres が付属する第二対象
物体２の熱膨張係数αStに等しいように設計される。従
って、測定精度への熱の影響は最早生じない。
両方の熱膨張係数αAl，αInと両方の弾性率ＥAl，ＥIn
とに応じて、ホルダー本体７ａと補助ホルダー１７ａの
断面ＦAl，ＦInは、補助ホルダー１７ａを含めたホルダ
ー本体７ａの合成熱膨張係数αres が付属する第二対象
物体２の熱膨張係数αStに等しいように設計される。従
って、測定精度への熱の影響は最早生じない。
【００１７】ホルダー本体７ａの弾性率ＥAl＝ 70 ・ 1
03 N/mm2と補助ホルダー１７ａの弾性率ＥIn＝ 145・ 1
03 N/mm2を用いると、ホルダー本体７ａと補助ホルダー
１７ａの断面比がＦAl/ ＦIn＝２の場合、補助ホルダー
１７ａを含めたホルダー本体７ａの合成熱膨張係数α
res は、 となる。従って、この熱膨張係数は第二対象物体２の熱
膨張係数αSt＝ 11 ・１０-6Ｋ-1に正確に一致する。
03 N/mm2と補助ホルダー１７ａの弾性率ＥIn＝ 145・ 1
03 N/mm2を用いると、ホルダー本体７ａと補助ホルダー
１７ａの断面比がＦAl/ ＦIn＝２の場合、補助ホルダー
１７ａを含めたホルダー本体７ａの合成熱膨張係数α
res は、 となる。従って、この熱膨張係数は第二対象物体２の熱
膨張係数αSt＝ 11 ・１０-6Ｋ-1に正確に一致する。
【００１８】図３には、第二番目のホルダー本体７ｂが
示してある。このホルダー本体は両端面１９で２部品の
補助ホルダー１７ｂに固定連結されている。図４には、
第三番目のホルダー本体７ｃが示してある。このホルダ
ー本体は二つの繰り抜き部分２０で二本の棒にした二部
品の補助ホルダー１７ｃに固定連結されている。
示してある。このホルダー本体は両端面１９で２部品の
補助ホルダー１７ｂに固定連結されている。図４には、
第三番目のホルダー本体７ｃが示してある。このホルダ
ー本体は二つの繰り抜き部分２０で二本の棒にした二部
品の補助ホルダー１７ｃに固定連結されている。
【００１９】第二対象物体２，ホルダー本体７および補
助ホルダー１７は、他の材料の組み合わせでもよい。ホ
ルダー本体７の複雑な断面に比べて、補助ホルダー１７
の単純な断面によって、ホルダー本体７と補助ホルダー
１７から成る組込連結部を容易に作製することができ
る。
助ホルダー１７は、他の材料の組み合わせでもよい。ホ
ルダー本体７の複雑な断面に比べて、補助ホルダー１７
の単純な断面によって、ホルダー本体７と補助ホルダー
１７から成る組込連結部を容易に作製することができ
る。
【００２０】
【発明の効果】この発明によって得られる利点は、特に
測定目盛板のホルダー本体を、ここに提唱する手段によ
って、熱膨張係数に相違があっても、付属物体と同じ熱
による長さ変化を与える点にある。従って、ホルダー本
体は、補助ホルダーと共に、異なった材料であるにも係
わらず、付属する対象物体の熱膨張係数に一致する合成
熱膨張係数を有する。その結果、熱による測定精度の劣
化を防止できる。ホルダー本体と付属する対象物体が同
じ温度特性を有するので、ホルダー本体をこの対象物体
に固定することが簡単に、例えばボルト連結法によって
問題なく行える。更に、それぞれの応用に応じて測定目
盛板の原点を任意に選べる。
測定目盛板のホルダー本体を、ここに提唱する手段によ
って、熱膨張係数に相違があっても、付属物体と同じ熱
による長さ変化を与える点にある。従って、ホルダー本
体は、補助ホルダーと共に、異なった材料であるにも係
わらず、付属する対象物体の熱膨張係数に一致する合成
熱膨張係数を有する。その結果、熱による測定精度の劣
化を防止できる。ホルダー本体と付属する対象物体が同
じ温度特性を有するので、ホルダー本体をこの対象物体
に固定することが簡単に、例えばボルト連結法によって
問題なく行える。更に、それぞれの応用に応じて測定目
盛板の原点を任意に選べる。
【図１】第一実施例のホルダー本体と補助ホルダーを備
えた位置測定装置の縦断面図である。
えた位置測定装置の縦断面図である。
【図２】図１の位置測定装置の横断面図である。
【図３】補助ホルダーと一緒にした第二実施例のホルダ
ー本体の横断面図である。
ー本体の横断面図である。
【図４】補助ホルダーと一緒にした第三実施例のホルダ
ー本体の横断面図である。
ー本体の横断面図である。
１，２ 対象物体 ３ 組立部材 ４ ボルト ５ 連行体 ６ 走査ユニット ７，７ａ ホルダー本体 ８，９ 固定部材 １０，１１ ボルト １２ 内部通路 １３ 接着層 １４ 測定目盛板 １５ 気密舌部 １６ 長手スリット １７ａ，１７ｂ，１７ｃ 補助ホルダー １８ 端面 １９ 側面 ２０ 長手方向の繰り抜き部分
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年３月１８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、この発明
により、第一対象物体に連結する走査ユニットが、第二
対象物体に固定されているホルダー本体に配設されてい
る測定目盛板を走査し、ホルダー本体と第二対象物体が
異なった熱膨張係数を有する、二つの対象物体の相対位
置を測定する位置測定装置、特に気密にされている位置
測定装置の場合、ホルダー本体７が補助ホルダー１７に
固定連結し、この補助ホルダーの熱膨張係数が前記ホル
ダー本体７の熱膨張係数とは異なり、補助ホルダー１７
を含めたホルダー本体７の合成熱膨張係数が付属する第
二対象物体２の熱膨張係数に等しくなるように、ホルダ
ー本体７と補助ホルダー１７の熱膨張係数、弾性定数お
よび断面が互いに調節されていることによって解決され
ている。
により、第一対象物体に連結する走査ユニットが、第二
対象物体に固定されているホルダー本体に配設されてい
る測定目盛板を走査し、ホルダー本体と第二対象物体が
異なった熱膨張係数を有する、二つの対象物体の相対位
置を測定する位置測定装置、特に気密にされている位置
測定装置の場合、ホルダー本体７が補助ホルダー１７に
固定連結し、この補助ホルダーの熱膨張係数が前記ホル
ダー本体７の熱膨張係数とは異なり、補助ホルダー１７
を含めたホルダー本体７の合成熱膨張係数が付属する第
二対象物体２の熱膨張係数に等しくなるように、ホルダ
ー本体７と補助ホルダー１７の熱膨張係数、弾性定数お
よび断面が互いに調節されていることによって解決され
ている。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ギュンテル・ネレ ドイツ連邦共和国、ベルゲン、アイヒェン ウエーク、12
Claims (8)
- 【請求項１】 第一対象物体に連結する走査ユニット
が、第二対象物体に固定されているホルダー本体に配設
されている測定目盛板を走査し、ホルダー本体と第二対
象物体が異なった熱膨張係数を有する、二つの対象物体
の相対位置を測定する位置測定装置、特に気密にされて
いる位置測定装置において、ホルダー本体７が補助ホル
ダー１７に固定連結し、この補助ホルダーの熱膨張係数
が前記ホルダー本体７の熱膨張係数とは異なり、補助ホ
ルダー１７を含めたホルダー本体７の合成熱膨張係数が
付属する第二対象物体２の熱膨張係数に等しくなるよう
に、ホルダー本体７と補助ホルダー１７の断面が設計さ
れていることを特徴とする位置測定装置。 - 【請求項２】 補助ホルダー１７は単品あるいは複数の
部品で構成されていることを特徴とする請求項１に記載
の位置測定装置。 - 【請求項３】 ホルダー本体７ａは、端面１８で板状の
単品の補助ホルダー１７ａに固定連結していることを特
徴とする請求項１に記載の位置測定装置。 - 【請求項４】 ホルダー本体７ｂは、両側面で二つの板
状の２部品の補助ホルダー１７ｂに固定連結しているこ
とを特徴とする請求項１に記載の位置測定装置。 - 【請求項５】 ホルダー本体７ｃは、二つの長手方向の
繰り抜き部分２０で二つの棒状の２部品の補助本体１７
ｃに固定連結していることを特徴とする請求項１に記載
の位置測定装置。 - 【請求項６】 ホルダー本体７はアルミニューム製であ
り、補助ホルダー１７はインパール製であることを特徴
とする請求項１に記載の位置測定装置。 - 【請求項７】 ホルダー本体７はプラスチック製であ
り、補助ホルダー１７はスチール製であることを特徴と
する請求項１に記載の位置測定装置。 - 【請求項８】 ホルダー本体７と補助ホルダー１７との
間の固定連結は、ボルト、リベットあるいは硬化接着剤
で行われることを特徴とする請求項１に記載の位置測定
装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP91107677A EP0513406B1 (de) | 1991-05-11 | 1991-05-11 | Positionsmesseinrichtung |
| DE91107677:6 | 1991-05-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07167642A true JPH07167642A (ja) | 1995-07-04 |
| JPH07119597B2 JPH07119597B2 (ja) | 1995-12-20 |
Family
ID=8206717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4116419A Expired - Fee Related JPH07119597B2 (ja) | 1991-05-11 | 1992-05-08 | 位置測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5182867A (ja) |
| EP (1) | EP0513406B1 (ja) |
| JP (1) | JPH07119597B2 (ja) |
| AT (1) | ATE108271T1 (ja) |
| DE (2) | DE59102125D1 (ja) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4212970A1 (de) * | 1992-04-18 | 1993-10-21 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längenmeßeinrichtung |
| GB9215767D0 (en) * | 1992-07-24 | 1992-09-09 | Lk Ltd | Scale assembly |
| DE4303222A1 (de) * | 1993-02-04 | 1994-08-11 | Krupp Foerdertechnik Gmbh | Verlegefahrzeug für verlegbare Brücken |
| DE4320728C2 (de) * | 1993-06-23 | 2001-08-02 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lagemeßeinrichtung |
| DE4406797C2 (de) * | 1994-03-02 | 1997-11-27 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| JPH08178694A (ja) * | 1994-12-27 | 1996-07-12 | Canon Inc | 変位センサ用のスケール |
| DE19510998C2 (de) * | 1995-03-25 | 1998-09-03 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| DE19526518C1 (de) * | 1995-07-20 | 1996-12-12 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Anordnung zur formschlüssigen Aufnahme eines Maßstabs |
| DE19543647C2 (de) * | 1995-11-23 | 2000-05-04 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längenmeßeinrichtung zur Messung der Relativlage zweier Objekte |
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