JP2675245B2 - 測長機 - Google Patents
測長機Info
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- JP2675245B2 JP2675245B2 JP5060458A JP6045893A JP2675245B2 JP 2675245 B2 JP2675245 B2 JP 2675245B2 JP 5060458 A JP5060458 A JP 5060458A JP 6045893 A JP6045893 A JP 6045893A JP 2675245 B2 JP2675245 B2 JP 2675245B2
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- JP
- Japan
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- support
- measuring
- length
- scale
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
- G01B5/0014—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Measuring And Recording Apparatus For Diagnosis (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は２つの対象物の相対位置
の測定のための測長機にして、一方の対象物と結合され
た目盛支持体の目盛が他方の対象物と結合した走査ユニ
ットによって走査される測長機に関する。
の測定のための測長機にして、一方の対象物と結合され
た目盛支持体の目盛が他方の対象物と結合した走査ユニ
ットによって走査される測長機に関する。
【０００２】この種の測長機は特に工作機械で加工され
る工作物に対する工具の相対位置の測定のために使用さ
れる。工作機械に使用される測長機では、目盛誤差、機
械誤差及び温度に起因する測定誤差による測定精度が生
ずる。
る工作物に対する工具の相対位置の測定のために使用さ
れる。工作機械に使用される測長機では、目盛誤差、機
械誤差及び温度に起因する測定誤差による測定精度が生
ずる。
【０００３】そのような温度に起因する誤差の補償は必
要である、そのわけは工作機械による加工において一般
に一定の温度は存在しないからである。大抵工作機械の
温度は加工中に常に変化する。コスト上の理由から稀に
目盛を有する目盛支持体、目盛支持体のための支持体及
び所属の機械部分の形の測定されるべき対象物は同様な
熱膨張率を有する材料から作られるが、この回避できな
い温度変化では目盛支持体、支持体及び機械部分は相異
なる熱的長さ変化を受け、その結果工作物の加工の際工
作物の加工精度についての今日の要求には最早耐えるこ
とのできない精度が生じ得る。目盛支持体としてガラ
ス、支持体としてアルミニウム及び機械部分として鋼又
は鋳物が使用される。
要である、そのわけは工作機械による加工において一般
に一定の温度は存在しないからである。大抵工作機械の
温度は加工中に常に変化する。コスト上の理由から稀に
目盛を有する目盛支持体、目盛支持体のための支持体及
び所属の機械部分の形の測定されるべき対象物は同様な
熱膨張率を有する材料から作られるが、この回避できな
い温度変化では目盛支持体、支持体及び機械部分は相異
なる熱的長さ変化を受け、その結果工作物の加工の際工
作物の加工精度についての今日の要求には最早耐えるこ
とのできない精度が生じ得る。目盛支持体としてガラ
ス、支持体としてアルミニウム及び機械部分として鋼又
は鋳物が使用される。
【０００４】
【従来の技術】西独国公開公報第３２４３９６６号から
測長機が公知であり、その際目盛を備えた目盛支持体は
弾性接着層によって支持体と結合しており、それによっ
てその中央に固定した測定基準点を有し、一方目盛支持
体は温度変化の際に測定方向において両側に縦変位可能
である。支持体は両端でそれぞれ１つの長さ補償要素を
介して、測定される機械部分に剛固に固定された固定要
素に結合されており、他方ではその中央で追加の固定要
素を介して機械部分に剛固に固定されており、その結果
目盛を備えた目盛支持体は温度変化の際にその中央で機
械部分に関して固定した測定基準点を保持する。西独国
公開公報３１０６７０１から工作機械の測長機での１つ
の装置が把握され、その際機械部分の熱的長さ変化の補
償のために、機械部分の熱膨張率よりも大きい熱膨張率
を有する材料から成る伸張要素がその一端で機械部分
と、その他端で目盛を備えた目盛支持体に固定されてお
り、その際伸張棒の熱的長さ変化は機械部分の熱的長さ
変化に等しく、その結果機械部分の長さ変化は測長機に
よって検出される。
測長機が公知であり、その際目盛を備えた目盛支持体は
弾性接着層によって支持体と結合しており、それによっ
てその中央に固定した測定基準点を有し、一方目盛支持
体は温度変化の際に測定方向において両側に縦変位可能
である。支持体は両端でそれぞれ１つの長さ補償要素を
介して、測定される機械部分に剛固に固定された固定要
素に結合されており、他方ではその中央で追加の固定要
素を介して機械部分に剛固に固定されており、その結果
目盛を備えた目盛支持体は温度変化の際にその中央で機
械部分に関して固定した測定基準点を保持する。西独国
公開公報３１０６７０１から工作機械の測長機での１つ
の装置が把握され、その際機械部分の熱的長さ変化の補
償のために、機械部分の熱膨張率よりも大きい熱膨張率
を有する材料から成る伸張要素がその一端で機械部分
と、その他端で目盛を備えた目盛支持体に固定されてお
り、その際伸張棒の熱的長さ変化は機械部分の熱的長さ
変化に等しく、その結果機械部分の長さ変化は測長機に
よって検出される。
【０００５】しかし、前記両測長機はある工作機械での
特別の温度補償にのみ好適でこれとは異なる工作機械で
の他の温度条件には好適ではない。
特別の温度補償にのみ好適でこれとは異なる工作機械で
の他の温度条件には好適ではない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、相異なる工
作機械で発生するあらゆる温度条件下で使用可能な上記
の分野の測長機を提供することである。
作機械で発生するあらゆる温度条件下で使用可能な上記
の分野の測長機を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の課題は、２つの
対象物の相対位置の測定のための測長機にして、その際
一方の対象物と結合した目盛支持体の目盛は、他方の対
象物と結合した走査ユニットによって走査される、前記
測長機において、ａ）目盛を備えた測定尺支持体（４）
は、測定路程上目盛の領域に位置する第１固定点（Ｐ
１）で支持体（３）と位置固定又は縦変位可能に結合さ
れており、ｂ）支持体（３）は、測定路程上目盛の領域
に位置する第２固定点（Ｐ２）で一方の対象物（１）と
位置固定又は縦変位可能に結合されており、ｃ）第１固
定点（Ｐ１）及び又は第２固定点（Ｐ２）の位置はそれ
ぞれ測定方向において変更可能であり、ｃ１）第１固定
点（Ｐ１）のために、測定尺支持体（４）と支持体
（３）との間において、支持体（３）に測定方向に配設
された一連の孔（Ｂ１〜Ｂ９）及び測定尺支持体（４）
に第１固定要素（Ｆ１）のためのねじ孔（Ｇ１〜Ｇ９）
がそれぞれ設けられており、第１固定要素（Ｆ１）はね
じの形に形成されておりその結果測定尺支持体（４）と
支持体（３）との間の剛固な結合が達成されそしてｃ
２）第２固定点（Ｐ２）のために、矩形状の金属部材が
支持体（３）と対象物（１）との間に設けられており、
前記金属部材はねじ（１１、１３）を介して支持体
（３）と対象物（１）との間の剛固な結合を可能にし、
前記ねじは一方では支持体（３）のねじ孔にそして他方
では対象物（１）のねじ孔に進入しており、多数の前記
ねじ孔が測定方向に亘って設けられていることを特徴と
する前記測長機により解決される。
対象物の相対位置の測定のための測長機にして、その際
一方の対象物と結合した目盛支持体の目盛は、他方の対
象物と結合した走査ユニットによって走査される、前記
測長機において、ａ）目盛を備えた測定尺支持体（４）
は、測定路程上目盛の領域に位置する第１固定点（Ｐ
１）で支持体（３）と位置固定又は縦変位可能に結合さ
れており、ｂ）支持体（３）は、測定路程上目盛の領域
に位置する第２固定点（Ｐ２）で一方の対象物（１）と
位置固定又は縦変位可能に結合されており、ｃ）第１固
定点（Ｐ１）及び又は第２固定点（Ｐ２）の位置はそれ
ぞれ測定方向において変更可能であり、ｃ１）第１固定
点（Ｐ１）のために、測定尺支持体（４）と支持体
（３）との間において、支持体（３）に測定方向に配設
された一連の孔（Ｂ１〜Ｂ９）及び測定尺支持体（４）
に第１固定要素（Ｆ１）のためのねじ孔（Ｇ１〜Ｇ９）
がそれぞれ設けられており、第１固定要素（Ｆ１）はね
じの形に形成されておりその結果測定尺支持体（４）と
支持体（３）との間の剛固な結合が達成されそしてｃ
２）第２固定点（Ｐ２）のために、矩形状の金属部材が
支持体（３）と対象物（１）との間に設けられており、
前記金属部材はねじ（１１、１３）を介して支持体
（３）と対象物（１）との間の剛固な結合を可能にし、
前記ねじは一方では支持体（３）のねじ孔にそして他方
では対象物（１）のねじ孔に進入しており、多数の前記
ねじ孔が測定方向に亘って設けられていることを特徴と
する前記測長機により解決される。
【０００８】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて詳しく説明
する。図１及び図２において２つの対象物１、２の相対
位置の測定のための特に密閉型測長機が縦断面図及び横
断面図で示されている。横断面Ｕ型のハウジングの形の
支持体３の内方には目盛を備えた測定尺支持体４が配設
されている、測定尺支持体は一方では弾性接着層６によ
って支持体３と測定方向Ｘに僅かに縦変位可能に結合さ
れかつ他方では第１固定要素Ｆ１によって第１固定点Ｐ
１で支持体３に剛固に固定されている。支持体３は図示
しない工作機械の往復台の形の第１対象物１に第２固定
点Ｐ２で第２固定要素Ｆ２によって剛固に固定されかつ
３つの長さ補償要素Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３によって測定方向
Ｘに縦変位可能である。
する。図１及び図２において２つの対象物１、２の相対
位置の測定のための特に密閉型測長機が縦断面図及び横
断面図で示されている。横断面Ｕ型のハウジングの形の
支持体３の内方には目盛を備えた測定尺支持体４が配設
されている、測定尺支持体は一方では弾性接着層６によ
って支持体３と測定方向Ｘに僅かに縦変位可能に結合さ
れかつ他方では第１固定要素Ｆ１によって第１固定点Ｐ
１で支持体３に剛固に固定されている。支持体３は図示
しない工作機械の往復台の形の第１対象物１に第２固定
点Ｐ２で第２固定要素Ｆ２によって剛固に固定されかつ
３つの長さ補償要素Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３によって測定方向
Ｘに縦変位可能である。
【０００９】この工作機械のベッドの形の第２対象物２
には取付部７が任意の方法で固定され、取付部７は諸刃
の剣の形の連結部材８を介して走査ユニット９と結合さ
れ、走査ユニット９は支持体３の内方において両対象物
１及び２の相対位置のための位置測定値の取得のために
測定尺支持体４上の目盛５を走査する。支持体３の内方
は周囲の影響に対して、諸刃剣形シールリップ１０に当
接する、屋根状に傾いた２つのシールリップ１０によっ
て遮蔽されている。
には取付部７が任意の方法で固定され、取付部７は諸刃
の剣の形の連結部材８を介して走査ユニット９と結合さ
れ、走査ユニット９は支持体３の内方において両対象物
１及び２の相対位置のための位置測定値の取得のために
測定尺支持体４上の目盛５を走査する。支持体３の内方
は周囲の影響に対して、諸刃剣形シールリップ１０に当
接する、屋根状に傾いた２つのシールリップ１０によっ
て遮蔽されている。
【００１０】工作機械のその都度の温度状態に基づいて
取得された位置測定値での温度に起因する測定誤差の補
償のために、測定尺支持体４と支持体３との間の第１固
定点Ｐ１はその位置を変更されることができ、支持体３
の一連の孔Ｂ１〜Ｂ９及びねじの形の第１固定要素Ｆ１
のための測定尺支持体４中の相応するねじ孔Ｇ１〜Ｇ９
が設けられている。支持体３の熱膨張率及び温度の双方
並びに測定尺支持体４の熱膨張率と温度の双方の相違に
よる運転中の所定の温度状態における支持体３と測定尺
支持体４との間の長さ変化の相違を、前記所定の運転中
における支持体３及び測定尺支持体４における熱膨張率
及び温度の相違から生じる長さの変化が等しくなるよう
な間隔に固定ねじを配することにより（図１におけるＢ
１〜Ｂ９及びＰ１）、前記長さの変化の相違による測定
結果に影響するような応力を支持体３、測定尺支持体４
に生じさせないように図るためである。第１固定要素Ｆ
１はその都度選択された第１固定点Ｐ１における支持体
３に対する測定尺支持体４の目盛５の測定基準点を確定
する。
取得された位置測定値での温度に起因する測定誤差の補
償のために、測定尺支持体４と支持体３との間の第１固
定点Ｐ１はその位置を変更されることができ、支持体３
の一連の孔Ｂ１〜Ｂ９及びねじの形の第１固定要素Ｆ１
のための測定尺支持体４中の相応するねじ孔Ｇ１〜Ｇ９
が設けられている。支持体３の熱膨張率及び温度の双方
並びに測定尺支持体４の熱膨張率と温度の双方の相違に
よる運転中の所定の温度状態における支持体３と測定尺
支持体４との間の長さ変化の相違を、前記所定の運転中
における支持体３及び測定尺支持体４における熱膨張率
及び温度の相違から生じる長さの変化が等しくなるよう
な間隔に固定ねじを配することにより（図１におけるＢ
１〜Ｂ９及びＰ１）、前記長さの変化の相違による測定
結果に影響するような応力を支持体３、測定尺支持体４
に生じさせないように図るためである。第１固定要素Ｆ
１はその都度選択された第１固定点Ｐ１における支持体
３に対する測定尺支持体４の目盛５の測定基準点を確定
する。
【００１１】温度に起因する測定誤差を補償するため
に、第２固定点Ｐ２も支持体３と第１対象物１との間で
その位置を変更可能である。対象物１の熱膨張率及び温
度の双方、支持体３の熱膨張率及び温度の双方の相違に
よる運転中の所定の温度状態における対象物１と支持体
３との間の長さ変化の相違を、対象物１と支持体３にお
ける熱膨張率及び温度の相違から生じる長さの変化が等
しくなるような間隔に固定ねじ１３を配しかつこの個所
に長さ補償要素Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３を配することにより
（図１におけるＰ２及びＬ１、Ｌ２、Ｌ３）、前記長さ
の変化の相違による測定結果に影響するような応力を支
持体３に生じさせないように図るためである。第２固定
要素Ｆ２は両端範囲においてねじ１１及び第１対象物に
おけるねじ孔１２によって剛固に固定されている矩形状
の金属部材から成る。更に第１固定要素Ｆ１は中央範囲
においてねじ１３及びナット（即ち、ねじ孔）１４によ
って支持体３の溝１５中で支持体３と剛固に固定されて
いる。同様な要素によって長さ補償要素Ｌ１〜Ｌ３も第
１対象物１及び支持体３と結合している。これらの長さ
補償要素Ｌ１〜Ｌ３は第２固定要素と同様な矩形状の金
属部材から成るが、これとは異なり中央範囲と両端範囲
との間にじぐざぐ状の切れ目を備えたそれぞれ１つの弾
性領域を有し、その結果第１対象物１に対する測定方向
Ｘにおける支持体３の縦変位可能性が得られる。
に、第２固定点Ｐ２も支持体３と第１対象物１との間で
その位置を変更可能である。対象物１の熱膨張率及び温
度の双方、支持体３の熱膨張率及び温度の双方の相違に
よる運転中の所定の温度状態における対象物１と支持体
３との間の長さ変化の相違を、対象物１と支持体３にお
ける熱膨張率及び温度の相違から生じる長さの変化が等
しくなるような間隔に固定ねじ１３を配しかつこの個所
に長さ補償要素Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３を配することにより
（図１におけるＰ２及びＬ１、Ｌ２、Ｌ３）、前記長さ
の変化の相違による測定結果に影響するような応力を支
持体３に生じさせないように図るためである。第２固定
要素Ｆ２は両端範囲においてねじ１１及び第１対象物に
おけるねじ孔１２によって剛固に固定されている矩形状
の金属部材から成る。更に第１固定要素Ｆ１は中央範囲
においてねじ１３及びナット（即ち、ねじ孔）１４によ
って支持体３の溝１５中で支持体３と剛固に固定されて
いる。同様な要素によって長さ補償要素Ｌ１〜Ｌ３も第
１対象物１及び支持体３と結合している。これらの長さ
補償要素Ｌ１〜Ｌ３は第２固定要素と同様な矩形状の金
属部材から成るが、これとは異なり中央範囲と両端範囲
との間にじぐざぐ状の切れ目を備えたそれぞれ１つの弾
性領域を有し、その結果第１対象物１に対する測定方向
Ｘにおける支持体３の縦変位可能性が得られる。
【００１２】両固定点Ｐ１及びＰ２は測定方向Ｘに対し
て垂直な平面内に位置し、例えば測定範囲の始端又は終
端又は中央に位置する。両固定点Ｐ１及びＰ２は測定方
向Ｘにおいてその都度特定される相互間隔をも有し、そ
の結果支持体３は、対象物１の長さ変化が測長機によっ
て検出されることができるように、伸張要素の機能を有
する。
て垂直な平面内に位置し、例えば測定範囲の始端又は終
端又は中央に位置する。両固定点Ｐ１及びＰ２は測定方
向Ｘにおいてその都度特定される相互間隔をも有し、そ
の結果支持体３は、対象物１の長さ変化が測長機によっ
て検出されることができるように、伸張要素の機能を有
する。
【００１３】目盛５は追加の目盛支持体（例えばガラ
ス）上にも付けられることができかつ目盛支持体３は例
えば弾性接着層又は剛固な接着層を介して追加の目盛支
持体を測定尺支持体４に結合する。
ス）上にも付けられることができかつ目盛支持体３は例
えば弾性接着層又は剛固な接着層を介して追加の目盛支
持体を測定尺支持体４に結合する。
【００１４】
【発明の効果】本発明によって得られる利点は、提案さ
れた措置によって測長機が、種々の加工状態で、種々の
工作機械の実際に存在する全ての温度状態に、簡単な方
法で使用者自身によって適合させられることができ、そ
の結果種々の温度条件に適合して使用される特別な測長
機が得られることにある。
れた措置によって測長機が、種々の加工状態で、種々の
工作機械の実際に存在する全ての温度状態に、簡単な方
法で使用者自身によって適合させられることができ、そ
の結果種々の温度条件に適合して使用される特別な測長
機が得られることにある。
【図１】密閉型測長機の縦断面図である。
【図２】図１による測長機の横断面図である。
１ 第１対象物 ２ 第２対象物 ３ 支持体 ４ 測定尺支持体 ５ 目盛 Ｐ１ 第１固定点 Ｐ２ 第２固定点 Ｂ１ 孔 Ｂ２ 孔 Ｂ３ 孔 Ｂ４ 孔 Ｂ５ 孔 Ｂ６ 孔 Ｂ７ 孔 Ｂ８ 孔 Ｂ９ 孔 Ｇ１ ねじ孔 Ｇ２ ねじ孔 Ｇ３ ねじ孔 Ｇ４ ねじ孔 Ｇ５ ねじ孔 Ｇ６ ねじ孔 Ｇ７ ねじ孔 Ｇ８ ねじ孔 Ｇ９ ねじ孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特公 昭62−55081（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (3)
- 【請求項１】 ２つの対象物の相対位置の測定のための
測長機にして、その際一方の対象物と結合した目盛支持
体の目盛は、他方の対象物と結合した走査ユニットによ
って走査される、前記測長機において、 ａ）目盛を備えた測定尺支持体（４）は、測定路程上目
盛の領域に位置する第１固定点（Ｐ１）で支持体（３）
と位置固定又は縦変位可能に結合されており、 ｂ）支持体（３）は、測定路程上目盛の領域に位置する
第２の固定点（Ｐ２）で一方の対象物（１）と位置固定
又は縦変位可能に結合されており、 ｃ）第１固定点（Ｐ１）及び又は第２固定点（Ｐ２）の
位置はそれぞれ測定方向において変更可能であり、 ｃ１）その際、第１固定点（Ｐ１）のために、 測定尺支持体（４）と支持体（３）との間において、支
持体（３）に測定方向に亘って配設された一連の孔（Ｂ
１〜Ｂ９）がそして測定尺支持体（４）に第１固定要素
（Ｆ１）のための一連のねじ孔（Ｇ１〜Ｇ９）がそれぞ
れ設けられており、その際第１固定要素（Ｆ１）はねじ
の形に形成されており、その結果測定尺支持体（４）と
支持体（３）との間の剛固な結合が達成され、そして ｃ２）第２固定点（Ｐ２）のために、 矩形状の金属部材が支持体（３）と対象物（１）との間
に設けられており、前記金属部材はねじ（１１、１３）
を介して支持体（３）と対象物（１）との間の剛固な結
合を可能にし、前記ねじは一方では支持体（３）のねじ
孔にそして他方では対象物（１）のねじ孔に進入してお
り、多数の前記ねじ孔が測定方向に亘って設けられてい
ることを特徴とする前記測長機。 - 【請求項２】 両固定点（Ｐ１、Ｐ２）の位置が測定長
さに亘ってステップ状に変更可能である、請求項１記載
の測長機。 - 【請求項３】 目盛（５）を備えた目盛支持体が測定尺
支持体（４）に固定されている、請求項１記載の測長
機。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4212970A DE4212970A1 (de) | 1992-04-18 | 1992-04-18 | Längenmeßeinrichtung |
| DE4212970:2 | 1992-04-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06185916A JPH06185916A (ja) | 1994-07-08 |
| JP2675245B2 true JP2675245B2 (ja) | 1997-11-12 |
Family
ID=6457076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5060458A Expired - Fee Related JP2675245B2 (ja) | 1992-04-18 | 1993-03-19 | 測長機 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5375338A (ja) |
| EP (1) | EP0566828B1 (ja) |
| JP (1) | JP2675245B2 (ja) |
| AT (1) | ATE150542T1 (ja) |
| DE (2) | DE4212970A1 (ja) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB9215767D0 (en) * | 1992-07-24 | 1992-09-09 | Lk Ltd | Scale assembly |
| DE4406799C2 (de) * | 1994-03-02 | 1997-11-06 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| DE19512892C2 (de) * | 1995-04-06 | 1998-11-05 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| DE19543647C2 (de) * | 1995-11-23 | 2000-05-04 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längenmeßeinrichtung zur Messung der Relativlage zweier Objekte |
| DE19711271C2 (de) * | 1997-03-18 | 1999-04-29 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Längenmeßsystem |
| JP4174096B2 (ja) * | 1998-03-31 | 2008-10-29 | ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社 | 位置検出装置 |
| DE19857132A1 (de) | 1998-12-11 | 2000-06-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren und Anordnung zur Verringerung temperaturbedingter Maßabweichungen bei parallel angeordneten Meßsystemen |
| JP4024600B2 (ja) * | 2002-06-25 | 2007-12-19 | 株式会社ミツトヨ | 枠多点固定タイプのユニット型直線変位測定装置、及び、その固定方法 |
| DE102005027025B4 (de) * | 2005-06-11 | 2015-04-30 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Halterung für einen Maßstab |
| DE102005044000A1 (de) * | 2005-09-14 | 2007-03-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Anordnung zum Befestigen eines Trägers einer Maßverkörperung und Verfahren zum Befestigen des Trägers |
| DE102006044358A1 (de) | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Etel S.A. | Positioniereinrichtung in Portalbauweise |
| JP2009180525A (ja) * | 2008-01-29 | 2009-08-13 | Mitsutoyo Corp | 測定装置 |
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|---|---|---|---|---|
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-
1992
- 1992-04-18 DE DE4212970A patent/DE4212970A1/de not_active Withdrawn
-
1993
- 1993-01-30 EP EP93101483A patent/EP0566828B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1993-01-30 DE DE59305827T patent/DE59305827D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-01-30 AT AT93101483T patent/ATE150542T1/de not_active IP Right Cessation
- 1993-03-19 JP JP5060458A patent/JP2675245B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1993-04-08 US US08/044,127 patent/US5375338A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06185916A (ja) | 1994-07-08 |
| DE4212970A1 (de) | 1993-10-21 |
| EP0566828A3 (en) | 1994-06-08 |
| EP0566828B1 (de) | 1997-03-19 |
| DE59305827D1 (de) | 1997-04-24 |
| US5375338A (en) | 1994-12-27 |
| EP0566828A2 (de) | 1993-10-27 |
| ATE150542T1 (de) | 1997-04-15 |
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|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970610 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
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|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |