JPH076785B2 - 長さ又は角度測定装置 - Google Patents
長さ又は角度測定装置Info
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- JPH076785B2 JPH076785B2 JP63078275A JP7827588A JPH076785B2 JP H076785 B2 JPH076785 B2 JP H076785B2 JP 63078275 A JP63078275 A JP 63078275A JP 7827588 A JP7827588 A JP 7827588A JP H076785 B2 JPH076785 B2 JP H076785B2
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- scanning unit
- point
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- scanning
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
- G01B5/0014—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、２つの対象物の相対位置の測定のための長さ
又は角度測定装置にして、その際第１の対象物と測定尺
が結合されており、第２の対象物と連行体を介して結合
された走査ユニットの目盛は少なくとも１つの走査要素
によって走査され、そして対象物、連行体及び走査ユニ
ットは相異なる熱膨張率を有する長さ又は角度測定装置
に関する。
又は角度測定装置にして、その際第１の対象物と測定尺
が結合されており、第２の対象物と連行体を介して結合
された走査ユニットの目盛は少なくとも１つの走査要素
によって走査され、そして対象物、連行体及び走査ユニ
ットは相異なる熱膨張率を有する長さ又は角度測定装置
に関する。
この種の長さ又は角度測定装置は特に工作機械で加工さ
れるべき工作物に関する工具の相対位置の測定のため並
びに座標測定機で検査対象物の位置及び又は寸法の検出
のために使用される。
れるべき工作物に関する工具の相対位置の測定のため並
びに座標測定機で検査対象物の位置及び又は寸法の検出
のために使用される。
例えばそのような長さ測定装置では測定尺は対象物と結
合されており、その目盛は周期的走査信号を得るために
他の対象物に結合された走査ユニットによって走査さ
れ、走査ユニットから後続の評価装置において位置測定
値が得られ、位置測定値はデジタル表示のための位置表
示ユニットに及び又はこの長さ測定機が使用される工作
機械の制御装置に供給される。
合されており、その目盛は周期的走査信号を得るために
他の対象物に結合された走査ユニットによって走査さ
れ、走査ユニットから後続の評価装置において位置測定
値が得られ、位置測定値はデジタル表示のための位置表
示ユニットに及び又はこの長さ測定機が使用される工作
機械の制御装置に供給される。
この種の長さ測定装置は開放形としても密閉形としても
使用される。
使用される。
（従来の技術） 1974年７、８月の発表の「測定、試験及び自動化」にお
けるA.ERNSTの学術論文「光電的長さ測定システムの新
たな開発」には第12a図に開放形長さ測定装置が示さ
れ、その際測定尺は複数のクランプ爪によって一方の対
象物にそして走査ユニットは２つのねじによって他の対
象物に固定さている。
けるA.ERNSTの学術論文「光電的長さ測定システムの新
たな開発」には第12a図に開放形長さ測定装置が示さ
れ、その際測定尺は複数のクランプ爪によって一方の対
象物にそして走査ユニットは２つのねじによって他の対
象物に固定さている。
西独国特許公開公報3113962には密閉形の長さ測定装置
が記載され、その際測定尺及び走査ユニットは周囲の影
響から保護するために密閉されたハウジング内に収容さ
れ、ハウジングは一方の対象物に固定される。走査ユニ
ットは連行体に固定され、連行体はハウジングの緊塞さ
れた縦スリットを通って突き出ており、かつ２つのねじ
によって他の対象物に固定されている。
が記載され、その際測定尺及び走査ユニットは周囲の影
響から保護するために密閉されたハウジング内に収容さ
れ、ハウジングは一方の対象物に固定される。走査ユニ
ットは連行体に固定され、連行体はハウジングの緊塞さ
れた縦スリットを通って突き出ており、かつ２つのねじ
によって他の対象物に固定されている。
前記両長さ測定装置では走査ユニットは測定されるべき
両対象物の案内によって測定尺に関して案内されるが、
測定尺に対する走査ユニットのこの案内は完全な走査機
能の保証のために特定の狭い限界内で行われなければな
らず、その結果走査ユニット又は連行体の測定されるべ
き対象物での走査ユニットとの固定では非常に狭い組立
公差が保持されなければならない。この走査機能必要性
にもかかわらず大きな組立公差を許容するために、西独
国特許公開公報2810341によれば走査ユニットは測定さ
れるべき対象物の案内とは独立な、測定尺またはハウジ
ングの形の補助案内によって案内され、かつ測定方向に
剛固なカップリング要素を介して、連行体に枢支され、
連行体は２つのねじによって測定されるべき対象物に固
定されている。
両対象物の案内によって測定尺に関して案内されるが、
測定尺に対する走査ユニットのこの案内は完全な走査機
能の保証のために特定の狭い限界内で行われなければな
らず、その結果走査ユニット又は連行体の測定されるべ
き対象物での走査ユニットとの固定では非常に狭い組立
公差が保持されなければならない。この走査機能必要性
にもかかわらず大きな組立公差を許容するために、西独
国特許公開公報2810341によれば走査ユニットは測定さ
れるべき対象物の案内とは独立な、測定尺またはハウジ
ングの形の補助案内によって案内され、かつ測定方向に
剛固なカップリング要素を介して、連行体に枢支され、
連行体は２つのねじによって測定されるべき対象物に固
定されている。
普通の方法でスケールは往復台にそして走査ユニットは
工作機械の測定されるべき対象物としてのベッドに固定
されている。例えば光電的走査ユニットでは走査目盛フ
ィールドによって形成される測定尺の目盛の走査のため
の走査ユニットの走査要素の走査点（走査個所）には工
作機械のベッドの形の測定されるべき所属の対象物への
走査ユニットの固定後に測定されるべき対象物（ベッ
ド）の参照点が付設される、この参照点は純粋に仮定的
に又は測定されるべき対象物（ベッド）のマークによっ
て表されることができる。標準温度（例えば20度Ｃ）で
はベッドに関する往復台のスタート位置に測定尺の目盛
零点、走査ユニットの走査点及びベッドの参照点は測定
方向に対して垂直な平面内に位置し従って一致する。
工作機械の測定されるべき対象物としてのベッドに固定
されている。例えば光電的走査ユニットでは走査目盛フ
ィールドによって形成される測定尺の目盛の走査のため
の走査ユニットの走査要素の走査点（走査個所）には工
作機械のベッドの形の測定されるべき所属の対象物への
走査ユニットの固定後に測定されるべき対象物（ベッ
ド）の参照点が付設される、この参照点は純粋に仮定的
に又は測定されるべき対象物（ベッド）のマークによっ
て表されることができる。標準温度（例えば20度Ｃ）で
はベッドに関する往復台のスタート位置に測定尺の目盛
零点、走査ユニットの走査点及びベッドの参照点は測定
方向に対して垂直な平面内に位置し従って一致する。
一般に工作機械のベッドは鋳物から成るので、好ましく
は連行体のための材料としてアルミニウムが走査ユニッ
トには合成樹脂がコストを下げるため及び重量節約の理
由から選択される。これらの相異なる材料は異なる熱膨
張率α対象物：α（Ｏ）＝10・10-6・K-1、連行体：α
（Ｍ）＝21・10-6・K-1そして走査ユニット：α（Ａ）
＝35・10-6・K-1を有するので、熱的標準に対して温度
変化がある場合には走査ユニットの走査点、測定される
べき対象物の参照点及び測定尺の目盛零点との間に相対
移動が生じ、測定尺は相応する測定誤差を伴う測定装置
の零点移動に繋がる。
は連行体のための材料としてアルミニウムが走査ユニッ
トには合成樹脂がコストを下げるため及び重量節約の理
由から選択される。これらの相異なる材料は異なる熱膨
張率α対象物：α（Ｏ）＝10・10-6・K-1、連行体：α
（Ｍ）＝21・10-6・K-1そして走査ユニット：α（Ａ）
＝35・10-6・K-1を有するので、熱的標準に対して温度
変化がある場合には走査ユニットの走査点、測定される
べき対象物の参照点及び測定尺の目盛零点との間に相対
移動が生じ、測定尺は相応する測定誤差を伴う測定装置
の零点移動に繋がる。
例えば工作機械で加工工程により標準温度に対する温度
上昇が生じた場合、測定されるべき対象物での両ねじに
よる走査ユニット又は連行体の剛固な固定のために走査
ユニット又は連行体において測定方向に著しい縦応力が
生じる、そのわけは走査ユニットの熱膨張率α（Ａ）と
連行体の熱膨張率α（Ｍ）とは測定されるべき対象物の
熱膨張率α（Ｏ）よりも著しく大きいからである。この
縦応力は対象物の固定点における走査ユニット又は連行
体の特定されない相対移動に繋がり得、そのような相対
移動の方向及び移動量は予測不可能であり、その結果こ
れと関連した測定装置の零点移動が制御できないからで
ある。
上昇が生じた場合、測定されるべき対象物での両ねじに
よる走査ユニット又は連行体の剛固な固定のために走査
ユニット又は連行体において測定方向に著しい縦応力が
生じる、そのわけは走査ユニットの熱膨張率α（Ａ）と
連行体の熱膨張率α（Ｍ）とは測定されるべき対象物の
熱膨張率α（Ｏ）よりも著しく大きいからである。この
縦応力は対象物の固定点における走査ユニット又は連行
体の特定されない相対移動に繋がり得、そのような相対
移動の方向及び移動量は予測不可能であり、その結果こ
れと関連した測定装置の零点移動が制御できないからで
ある。
西独国特許明細書2853771には測長機が記載されてお
り、その際スケールの支持体は両端で固定要素によって
測定されるべき対象物と結合されており、支持体及び対
象物は相異なる熱膨張率を備えた材料から成る。一方ス
ケールの支持体の一端が直接固定要素と結合されている
場合、支持体の他端と固定要素との間には、支持体のこ
の端を測定方向における平面運動の自由度をもって支承
するために、長さ補償要素があり、その結果対象物に関
して支持体の熱的長さ変化が生じた場合にスケール上に
作用しかつ測定精度を損ない得る支持体中の縦力は生じ
ない。
り、その際スケールの支持体は両端で固定要素によって
測定されるべき対象物と結合されており、支持体及び対
象物は相異なる熱膨張率を備えた材料から成る。一方ス
ケールの支持体の一端が直接固定要素と結合されている
場合、支持体の他端と固定要素との間には、支持体のこ
の端を測定方向における平面運動の自由度をもって支承
するために、長さ補償要素があり、その結果対象物に関
して支持体の熱的長さ変化が生じた場合にスケール上に
作用しかつ測定精度を損ない得る支持体中の縦力は生じ
ない。
西独国特許公開公報3243966から測長機が把握され、そ
の際スケールのためのハウジングの形の支持体は中央で
かつ両端ではそれぞれ１つの固定要素によって測定され
るべき体と結合しており、スケールのための支持体及び
対象物は相異なる熱膨張率の材料から成る。スケールの
支持体は中央で直接固定要素と結合しているので、支持
体の両端はそれぞれ１つの長さ補償要素を介して測定方
向における両端の平面運動可能な支承のための固定要素
と結合しており、その結果測定されるべき対象物に関す
るスケールの位置は温度変化があっても保持される。
の際スケールのためのハウジングの形の支持体は中央で
かつ両端ではそれぞれ１つの固定要素によって測定され
るべき体と結合しており、スケールのための支持体及び
対象物は相異なる熱膨張率の材料から成る。スケールの
支持体は中央で直接固定要素と結合しているので、支持
体の両端はそれぞれ１つの長さ補償要素を介して測定方
向における両端の平面運動可能な支承のための固定要素
と結合しており、その結果測定されるべき対象物に関す
るスケールの位置は温度変化があっても保持される。
西独国特許公開公報3106701から工作機械用の測長機が
公知であり、その際機械部分の熱的長さ変化の補償のた
めに、高い熱膨張率の材料から成る伸び棒が一端で機械
部分とかつ他端でスケールと固定されており、その際伸
び棒の熱膨張は機械部分の熱膨張と等しく、その結果機
械部分の熱膨張は測長機によって検出されかつ補償され
る。
公知であり、その際機械部分の熱的長さ変化の補償のた
めに、高い熱膨張率の材料から成る伸び棒が一端で機械
部分とかつ他端でスケールと固定されており、その際伸
び棒の熱膨張は機械部分の熱膨張と等しく、その結果機
械部分の熱膨張は測長機によって検出されかつ補償され
る。
（発明の課題） 本発明は冒頭に記載した種類の長さ又は角度測定装置に
おいて走査ユニットの走査点と測定されるべき対象物の
所属の参照点との間の熱的に制約された相対移動を排除
することを課題とする。
おいて走査ユニットの走査点と測定されるべき対象物の
所属の参照点との間の熱的に制約された相対移動を排除
することを課題とする。
（課題の解決のための手段） 本発明の課題は連行体（Ud、Ue）は第２の対象物（Bd、
Be）に固定点（PUd、PUe）をそして走査ユニット（Ad、
Ae）は連行体（Ud、Ue）に連結点（AKd、AKe）を有し、
走査ユニット（Ad、Ae）の走査要素（AEd、AEe）は第２
対象物（Bd、Be）の連行体（Ud、Ue）の固定点（PUd、P
Ue）と連行体（Ud、Ue）の走査ユニット（Ad、Ae）の連
結点（AKd、AKe）との間に位置し、連行体（Ud、Ue）の
固定点（PUd、PUe）と走査ユニット（Ad、Ae）の連結点
（AKd、AKe）との間に第１の距離ａ並びに走査ユニット
（Ad、Ae）の連結点（AKd、AKe）と走査要素（AEd、AE
e）の走査点（APd、APe）との間に距離ｂが存在し、そ
して第１の距離ａと第２の距離ｂとは条件α（Ud、Ue）
・ａ＝α（Ad、Ae）・ｂを満足し、その際α（Ud、Ue）
は連行体（Ud、Ue）の熱膨張率をそしてα（Ad、Ae）は
走査ユニット（Ad、Ae）の熱膨張率を意味することを特
徴とする前記長さ又は角度測定装置によって解決され
る。
Be）に固定点（PUd、PUe）をそして走査ユニット（Ad、
Ae）は連行体（Ud、Ue）に連結点（AKd、AKe）を有し、
走査ユニット（Ad、Ae）の走査要素（AEd、AEe）は第２
対象物（Bd、Be）の連行体（Ud、Ue）の固定点（PUd、P
Ue）と連行体（Ud、Ue）の走査ユニット（Ad、Ae）の連
結点（AKd、AKe）との間に位置し、連行体（Ud、Ue）の
固定点（PUd、PUe）と走査ユニット（Ad、Ae）の連結点
（AKd、AKe）との間に第１の距離ａ並びに走査ユニット
（Ad、Ae）の連結点（AKd、AKe）と走査要素（AEd、AE
e）の走査点（APd、APe）との間に距離ｂが存在し、そ
して第１の距離ａと第２の距離ｂとは条件α（Ud、Ue）
・ａ＝α（Ad、Ae）・ｂを満足し、その際α（Ud、Ue）
は連行体（Ud、Ue）の熱膨張率をそしてα（Ad、Ae）は
走査ユニット（Ad、Ae）の熱膨張率を意味することを特
徴とする前記長さ又は角度測定装置によって解決され
る。
（発明の効果） 本発明によって得られる利点は特に、走査ユニットの提
案された連結によって直接又は連行体を介して測定され
るべき対象物に簡単な方法で追加的要素なしに対象物、
連行体及び走査ユニットの相異なる熱膨張率にも関わら
ず、温度変化の際に走査ユニットの走査点と測定される
べき対象物の所属の参照点との間に相応した測定誤差を
伴う測長機の零点移動を生じさせるような、走査ユニッ
トの走査点と測定されるべき所属の対象物との間の相対
移動は生じないことにある。これにより得られる測定精
度によって特に工作機械では工作物の品質が向上しかつ
不良品が著しく減少する。
案された連結によって直接又は連行体を介して測定され
るべき対象物に簡単な方法で追加的要素なしに対象物、
連行体及び走査ユニットの相異なる熱膨張率にも関わら
ず、温度変化の際に走査ユニットの走査点と測定される
べき対象物の所属の参照点との間に相応した測定誤差を
伴う測長機の零点移動を生じさせるような、走査ユニッ
トの走査点と測定されるべき所属の対象物との間の相対
移動は生じないことにある。これにより得られる測定精
度によって特に工作機械では工作物の品質が向上しかつ
不良品が著しく減少する。
（実施例） 第１図には第１の開放形の測長機の縦断面が示されてい
る。図示しない工作機械の往復台の形の測定されるべき
第１の対象物Saに測定尺Maが任意の方法で、例えば図示
しないクランプ爪によって固定されている。工作機械の
ベッドの形の測定されるべき第２の対象物Baには中央の
固定点PAaによって走査ユニットAaが固定され、走査ユ
ニットは走査要素AEaによって両対象物Sa、Baの相対位
置の測定のための測定尺Maの目盛Taを走査する。両端に
は走査ユニットAaがそれぞれ固定要素Faによって第２の
対象物Baの他の固定点PFaに固定されている。走査ユニ
ットAaの両端と他の固定点PFaとの間に組み込まれた形
でそれぞれジグザグ状の長さ補償要素Laが両固定要素Fa
に設けられており、固定要素は温度変化の際に測定方向
において走査ユニットAaの両端の平面運動の自由度をも
った支承を可能にする。
る。図示しない工作機械の往復台の形の測定されるべき
第１の対象物Saに測定尺Maが任意の方法で、例えば図示
しないクランプ爪によって固定されている。工作機械の
ベッドの形の測定されるべき第２の対象物Baには中央の
固定点PAaによって走査ユニットAaが固定され、走査ユ
ニットは走査要素AEaによって両対象物Sa、Baの相対位
置の測定のための測定尺Maの目盛Taを走査する。両端に
は走査ユニットAaがそれぞれ固定要素Faによって第２の
対象物Baの他の固定点PFaに固定されている。走査ユニ
ットAaの両端と他の固定点PFaとの間に組み込まれた形
でそれぞれジグザグ状の長さ補償要素Laが両固定要素Fa
に設けられており、固定要素は温度変化の際に測定方向
において走査ユニットAaの両端の平面運動の自由度をも
った支承を可能にする。
走査ユニットAaの走査要素AEaの走査点APa及び第２の対
象物Baの所属の参照点BPaとは標準温度（例えば20℃）
では測定方向Ｘに対して垂直な平面内に位置する。第２
の対象物Baは熱膨張率α（Ba）＝10・10-6・K-1）の鋳
物から成りそして走査ユニットAaは熱膨張率α（Aa）＝
35・-6・K-1の合成樹脂から成る。第２対象物Baでの走
査ユニッAaの走査点PAaは同様に平面Ea内に位置するの
で、標準温度に対して温度変化が生じた場合に走査ユニ
ットAaと第２の対象物Baとの相異なる熱膨張率α（A
a）、α（Ba）にも関わらず、走査ユニットAaの走査点A
Paと第２の対象物Baの所属の参照点BPaとの間の相対移
動は生ぜず、その結果相応した測定誤差を伴う測長機の
零点移動は生じ得ない。工作機械と比較して振動を発生
しない測定機械に測長機を使用する場合は、選択的に固
定要素Fa又は両固定要素Faが長さ補償要素を含めて省略
されることができる。
象物Baの所属の参照点BPaとは標準温度（例えば20℃）
では測定方向Ｘに対して垂直な平面内に位置する。第２
の対象物Baは熱膨張率α（Ba）＝10・10-6・K-1）の鋳
物から成りそして走査ユニットAaは熱膨張率α（Aa）＝
35・-6・K-1の合成樹脂から成る。第２対象物Baでの走
査ユニッAaの走査点PAaは同様に平面Ea内に位置するの
で、標準温度に対して温度変化が生じた場合に走査ユニ
ットAaと第２の対象物Baとの相異なる熱膨張率α（A
a）、α（Ba）にも関わらず、走査ユニットAaの走査点A
Paと第２の対象物Baの所属の参照点BPaとの間の相対移
動は生ぜず、その結果相応した測定誤差を伴う測長機の
零点移動は生じ得ない。工作機械と比較して振動を発生
しない測定機械に測長機を使用する場合は、選択的に固
定要素Fa又は両固定要素Faが長さ補償要素を含めて省略
されることができる。
第２図において第２の開放形測長機の縦断面図が示され
ている。図示しない工作機械の往復台の形の測定される
べき第１の対象物Sbには測定尺Mbが任意の方法で、例え
ば図示しないクランプ爪によって固定されている。工作
機械のベッドの形の測定されるべき第２の対象物Bbには
連行体Ubが中央の固定点PUb及び両端では固定点PUbによ
って固定されており、中央の固定点PUbと両他の固定点P
Ubとの間にそれぞれ１つのジグザグ状の長さ補償要素LU
bが連行体Ub内に組み込まれた形で設けられている。走
査ユニットAaの連結点AKbにおける中央の固定点PAbによ
って連行体Ubに固定されそして走査要素AEbによって両
対象物Sb、Bbの相対位置の測定のための測定具現体Mbの
目盛Tbを走査する。両端には走査ユニットAbはそれぞれ
１つの固定要素Fbによって連行体Ubの他の固定点PFbに
固定されている。走査ユニットAbの両端と他の固定点PF
bとの間に組み込まれた形でそれぞれ１つのジグザグ状
の長さ補償要素Lbが両固定要素Fbに設けられている。連
行体Ubの両ジグザク状の長さ補償要素LUb及び走査ユニ
ットAbの両長さ補償要素Lbは温度変化の際に連行体Ubの
両端と走査ユニットAbの両端との間のそれぞれ測定方向
Ｘにおける平面運動の自由度をもった支承を可能にす
る。
ている。図示しない工作機械の往復台の形の測定される
べき第１の対象物Sbには測定尺Mbが任意の方法で、例え
ば図示しないクランプ爪によって固定されている。工作
機械のベッドの形の測定されるべき第２の対象物Bbには
連行体Ubが中央の固定点PUb及び両端では固定点PUbによ
って固定されており、中央の固定点PUbと両他の固定点P
Ubとの間にそれぞれ１つのジグザグ状の長さ補償要素LU
bが連行体Ub内に組み込まれた形で設けられている。走
査ユニットAaの連結点AKbにおける中央の固定点PAbによ
って連行体Ubに固定されそして走査要素AEbによって両
対象物Sb、Bbの相対位置の測定のための測定具現体Mbの
目盛Tbを走査する。両端には走査ユニットAbはそれぞれ
１つの固定要素Fbによって連行体Ubの他の固定点PFbに
固定されている。走査ユニットAbの両端と他の固定点PF
bとの間に組み込まれた形でそれぞれ１つのジグザグ状
の長さ補償要素Lbが両固定要素Fbに設けられている。連
行体Ubの両ジグザク状の長さ補償要素LUb及び走査ユニ
ットAbの両長さ補償要素Lbは温度変化の際に連行体Ubの
両端と走査ユニットAbの両端との間のそれぞれ測定方向
Ｘにおける平面運動の自由度をもった支承を可能にす
る。
走査ユニットAbの走査要素AEbの走査点APb及び第２の対
象物Bbの所属の参照点BPbは標準温度では測定方向Ｘに
対して垂直な平面Eb内に位置する。第２の対象物Baは熱
膨張率α（Ba）＝10・10-6・K-1）の鋳物から成り、連
行体Ubは熱膨張率α（Ub）＝21・10-6・K-1のアルミニ
ウムから成り、そして走査ユニットAbは熱膨張率α（A
b）＝35・10-6・K-1の合成樹脂から成る。第２対象物Bb
での連行体Ubの中央の固定点PUb及び連行体Ubの連結点A
Kdにおける走査ユニッAbの固定点PAbは同様に平面Eb内
に位置するので、標準温度に対して温度変化が生じた場
合に走査ユニットAbと第２の対象物Bbとの相異なる熱膨
張率α（Ab）、α（Bb）にも関わらず、走査ユニットAb
の走査点APbと第２の対象物Bbの所属の参照点BPbとの間
の相対移動は生ぜず、その結果相応した測定誤差を伴う
測長機の零点移動は生じ得ない。工作機械と比較して振
動を発生しない測定機械に測長機を使用する場合は、選
択的に固定要素Fb又は両固定要素Fbが長さ補償要素を含
めて省略されることができる。同様なことが連行体Ubで
も１つ又は両他の固定点PUbが長さ補償要素LUbを含めて
省略されることができる。
象物Bbの所属の参照点BPbは標準温度では測定方向Ｘに
対して垂直な平面Eb内に位置する。第２の対象物Baは熱
膨張率α（Ba）＝10・10-6・K-1）の鋳物から成り、連
行体Ubは熱膨張率α（Ub）＝21・10-6・K-1のアルミニ
ウムから成り、そして走査ユニットAbは熱膨張率α（A
b）＝35・10-6・K-1の合成樹脂から成る。第２対象物Bb
での連行体Ubの中央の固定点PUb及び連行体Ubの連結点A
Kdにおける走査ユニッAbの固定点PAbは同様に平面Eb内
に位置するので、標準温度に対して温度変化が生じた場
合に走査ユニットAbと第２の対象物Bbとの相異なる熱膨
張率α（Ab）、α（Bb）にも関わらず、走査ユニットAb
の走査点APbと第２の対象物Bbの所属の参照点BPbとの間
の相対移動は生ぜず、その結果相応した測定誤差を伴う
測長機の零点移動は生じ得ない。工作機械と比較して振
動を発生しない測定機械に測長機を使用する場合は、選
択的に固定要素Fb又は両固定要素Fbが長さ補償要素を含
めて省略されることができる。同様なことが連行体Ubで
も１つ又は両他の固定点PUbが長さ補償要素LUbを含めて
省略されることができる。
第３図には図式的に第１の密閉形の測長機の縦断面が示
されている。図示しない工作機械の往復台の形の測定さ
れるべき対象物Scには測定尺Mcのためのハウジングの形
の支持対象物Gcが任意の方法で、例えば図示しないねじ
によって固定されている。ハウジングGcの内面には測定
尺Mcが図示しない接着剤によって固定されている。工作
機械のベッドの形の測定されるべき第２の対象物Bcには
連行体Ucが中央の固定点PUcと両端の２つの固定点PUcに
よって固定されており、中央の固定点PUcと両他の固定
点PUcとの間にはそれぞれ１つのジグザグ状の長さ補償
要素LCcが連行体Uc中に組み込まれた形で設けられてお
り、長さ補償要素は温度変化の際に測定方向Ｘにおける
平面運動の自由度をもって連行体Ucにおける両端の支承
を可能にする。走査ユニットAcはローラRcによって測定
尺Mc上にかつ図示しない方法で他のローラによって測定
されるべき対象物Sc、Bcの案内とは独立した補助案内と
してハウジングGcの内面上をローラによって案内されか
つ走査要素AEcによって両対象物Bb、Bcの相対位置の測
定のための測定尺Mcの目盛Tcを走査する。連行体Ucは図
示しないシールリップによって締塞された横断面両剣状
の下部分UTcを備えたハウジングGcの縦スリットGLcを通
って突出し、連行体Ucには連行体Ucでの連結点AKc内に
おける走査ユニットAcの枢支のための測定方向Ｘに剛固
なクラッチ要素KEcが固定されており、走査ユニットAc
は固定点PAcとしての連結点AKc内において図示しないば
ねによって常にクラッチ要素KEcと接触するようにな
る。
されている。図示しない工作機械の往復台の形の測定さ
れるべき対象物Scには測定尺Mcのためのハウジングの形
の支持対象物Gcが任意の方法で、例えば図示しないねじ
によって固定されている。ハウジングGcの内面には測定
尺Mcが図示しない接着剤によって固定されている。工作
機械のベッドの形の測定されるべき第２の対象物Bcには
連行体Ucが中央の固定点PUcと両端の２つの固定点PUcに
よって固定されており、中央の固定点PUcと両他の固定
点PUcとの間にはそれぞれ１つのジグザグ状の長さ補償
要素LCcが連行体Uc中に組み込まれた形で設けられてお
り、長さ補償要素は温度変化の際に測定方向Ｘにおける
平面運動の自由度をもって連行体Ucにおける両端の支承
を可能にする。走査ユニットAcはローラRcによって測定
尺Mc上にかつ図示しない方法で他のローラによって測定
されるべき対象物Sc、Bcの案内とは独立した補助案内と
してハウジングGcの内面上をローラによって案内されか
つ走査要素AEcによって両対象物Bb、Bcの相対位置の測
定のための測定尺Mcの目盛Tcを走査する。連行体Ucは図
示しないシールリップによって締塞された横断面両剣状
の下部分UTcを備えたハウジングGcの縦スリットGLcを通
って突出し、連行体Ucには連行体Ucでの連結点AKc内に
おける走査ユニットAcの枢支のための測定方向Ｘに剛固
なクラッチ要素KEcが固定されており、走査ユニットAc
は固定点PAcとしての連結点AKc内において図示しないば
ねによって常にクラッチ要素KEcと接触するようにな
る。
走査ユニットAcの走査要素AEcの走査点APc及び第２の対
象物Bcの所属の参照点BPcは標準温度では測定方向Ｘに
対して垂直な平面Ec内に位置する。更に鋳物から成る第
２の対象物Bc、アルミニウムから成る連行体Uc及び合成
樹脂から成る走査ユニットAcが使用されることができ
る。第２の対象物Bcとの連行体Ucの中央の固定点PUc及
び運行体Ucの走査ユニットAcの連結点AKcは同様に平面
内に位置するので、標準温度から変化した場合に走査ユ
ニットAc、連行体Uc及び第２の対象物Bcの所属の参照点
BPcの相異なる熱膨張率にも関わらず、走査ユニットAc
の走査点APcと第２の対象物Bcの所属の参照点BPcとの間
の相対移動は生ぜず、その結果相応した測定誤差を伴う
測長機の零点移動は生じ得ない。測定機械に測長機を使
用する場合連行体Ucでは１つ又は両固定点PUcが長さ補
償要素LUcを含めて省略されることができる。
象物Bcの所属の参照点BPcは標準温度では測定方向Ｘに
対して垂直な平面Ec内に位置する。更に鋳物から成る第
２の対象物Bc、アルミニウムから成る連行体Uc及び合成
樹脂から成る走査ユニットAcが使用されることができ
る。第２の対象物Bcとの連行体Ucの中央の固定点PUc及
び運行体Ucの走査ユニットAcの連結点AKcは同様に平面
内に位置するので、標準温度から変化した場合に走査ユ
ニットAc、連行体Uc及び第２の対象物Bcの所属の参照点
BPcの相異なる熱膨張率にも関わらず、走査ユニットAc
の走査点APcと第２の対象物Bcの所属の参照点BPcとの間
の相対移動は生ぜず、その結果相応した測定誤差を伴う
測長機の零点移動は生じ得ない。測定機械に測長機を使
用する場合連行体Ucでは１つ又は両固定点PUcが長さ補
償要素LUcを含めて省略されることができる。
第４図には第２の密閉形の測長機の縦断面図が示されて
いる。図示しない工作機械の往復台の形の測定されるべ
き第２の対象物Sdに測定尺Mdのためのハウジングの形の
支持体Gdが任意の方法で、例えばねじによって固定され
ている。ハウジングGdの内面には図示しない接着層によ
って固定されている。工作機械のベッドの形の測定され
るべき第２の体Bdには連行体Udが第１端では第２の固定
点素PUdによってそして第２端では第２の固定点PUdによ
って固定されている。層Adは第１の端で第１の固定点AK
dによって連結点AKdで連行体Udと固定されそして走査要
素AEdによって両対象物Sd、Bdの相対位置の測定のため
の測定尺Mdの目盛Tdを走査する。第２端では走査ユニッ
トAdは連行体Udの固定要素PFdと固定されている。走査
ユニットAdの第２端と第２の固定点PFdとの間に組み込
まれた形でジグザグ状の長さ補償要素Ldが固定要素Fd内
に設けられている。連行体Udの走査ユニットAdの連結点
AKdと第２の対象物Bdの連行体Udの第２の固定点PUdの間
にはジグザグ状の長さ補償要素LUdが連行体Ud内への組
み込まれたかたちで設けられている。走査ユニットAdの
ジグザグ状の長さ補償要素Ld及び連行体Udのジグザグ状
のの長さ補償要素LUdは温度変化の際に走査ユニットAd
の第２の端と連行体Udのそれぞれ測定方向Ｘに平面運動
を可能にされるような支承を可能にする。
いる。図示しない工作機械の往復台の形の測定されるべ
き第２の対象物Sdに測定尺Mdのためのハウジングの形の
支持体Gdが任意の方法で、例えばねじによって固定され
ている。ハウジングGdの内面には図示しない接着層によ
って固定されている。工作機械のベッドの形の測定され
るべき第２の体Bdには連行体Udが第１端では第２の固定
点素PUdによってそして第２端では第２の固定点PUdによ
って固定されている。層Adは第１の端で第１の固定点AK
dによって連結点AKdで連行体Udと固定されそして走査要
素AEdによって両対象物Sd、Bdの相対位置の測定のため
の測定尺Mdの目盛Tdを走査する。第２端では走査ユニッ
トAdは連行体Udの固定要素PFdと固定されている。走査
ユニットAdの第２端と第２の固定点PFdとの間に組み込
まれた形でジグザグ状の長さ補償要素Ldが固定要素Fd内
に設けられている。連行体Udの走査ユニットAdの連結点
AKdと第２の対象物Bdの連行体Udの第２の固定点PUdの間
にはジグザグ状の長さ補償要素LUdが連行体Ud内への組
み込まれたかたちで設けられている。走査ユニットAdの
ジグザグ状の長さ補償要素Ld及び連行体Udのジグザグ状
のの長さ補償要素LUdは温度変化の際に走査ユニットAd
の第２の端と連行体Udのそれぞれ測定方向Ｘに平面運動
を可能にされるような支承を可能にする。
走査ユニットAdの走査要素AEdの走査点APd及び所属の第
２の対象物Bdの参照点BPdは標準温度では測定方向Ｘに
対して垂直な平面内に位置する。更に第２の対象物Baは
熱膨張率α（Ba）＝10・10-6・K-1）の鋳物から成り、
連行体Udは熱膨張率α（Ud）＝21・10・Ｋ）のアルミニ
ウムからそして走査ユニットAdは熱膨張率α（Ad）＝35
・10・Ｋ）の合成樹脂から成る。走査ユニットAdの走査
要素AEdは第２の対象物Bdでの連結点AKdの第１の固定点
PUdと連行体Udでの走査ユニットAdの連結点AKdとの間に
位置し、かつ連行体Udの第１の固定点PUdと走査ユニッ
トAdの連結点AKdとの間に第１の距離ａがそして走査ユ
ニットAdの連結点AKdと走査要素AEdの連結点APdとの間
に第２の距離ｂが存在し、その際第１の距離ａ及び第２
の距離ｂは条件α（Ud）・ａ＝α（Ad）・ｂを満足する
ので、標準温度に対して温度変化が生じた場合に、走査
ユニットAd、連行体Ud及び第２の対象物Bdの熱膨張率が
相異なるにも関わらず、走査ユニットAdの走査点APdの
第２の対象物Bdの所属の参照点BPdとの間の相対移動は
生ぜず、その結果相応した測定誤差を伴う測長機の零点
移動は生じ得ない。
２の対象物Bdの参照点BPdは標準温度では測定方向Ｘに
対して垂直な平面内に位置する。更に第２の対象物Baは
熱膨張率α（Ba）＝10・10-6・K-1）の鋳物から成り、
連行体Udは熱膨張率α（Ud）＝21・10・Ｋ）のアルミニ
ウムからそして走査ユニットAdは熱膨張率α（Ad）＝35
・10・Ｋ）の合成樹脂から成る。走査ユニットAdの走査
要素AEdは第２の対象物Bdでの連結点AKdの第１の固定点
PUdと連行体Udでの走査ユニットAdの連結点AKdとの間に
位置し、かつ連行体Udの第１の固定点PUdと走査ユニッ
トAdの連結点AKdとの間に第１の距離ａがそして走査ユ
ニットAdの連結点AKdと走査要素AEdの連結点APdとの間
に第２の距離ｂが存在し、その際第１の距離ａ及び第２
の距離ｂは条件α（Ud）・ａ＝α（Ad）・ｂを満足する
ので、標準温度に対して温度変化が生じた場合に、走査
ユニットAd、連行体Ud及び第２の対象物Bdの熱膨張率が
相異なるにも関わらず、走査ユニットAdの走査点APdの
第２の対象物Bdの所属の参照点BPdとの間の相対移動は
生ぜず、その結果相応した測定誤差を伴う測長機の零点
移動は生じ得ない。
第５図には図式的に第３の密閉形測長機の縦断面図が示
されている。図示しない工作機械の往復台の形の測定さ
れるべき第１の対象物Seに測定具現体Meのためのハウジ
ングの形の支持体Geが任意の方法で、例えば図示しない
ねじによって固定されている。ハウジングGeの内面には
測定尺Meが図示しない接着層によって固定されている。
工作機械のベッドの形の測定されるべき第２の対象物Be
には連行体Ueが第１の端で第１の固定点PUeによってそ
して第２の端では第２の固定点PUeによって固定されて
いる。走査ユニットAeはローラReによって測定尺Me上に
そして図示しない方法で他のローラによって測定される
べき対象物Se、Beとは独立した補助案内としてのハウジ
ングGeの内面上に案内されそして両対象物Se、Beの相対
位置の測定のための測定尺Meの目盛Teが走査要素AEeに
よって走査される。連行体Ueは図示しないシールパッキ
ングによって締塞された、横断面両剣形の下部分を備え
たハウジングGeの縦スリットGLeを通って突出してお
り、下部分UTeには連行体Ueでの連結点AKeに走査ユニッ
トAeを枢支連結するための、測定方向Ｘに剛固なクラッ
チ要素AEeが固定されている。走査ユニットAeは連結点A
Keにおいて図示しないばねによって常にカップリング要
素KEeと接触している。連行体Ueでの走査ユニットAeの
連結点AKeと第２の対象物Beでの連行体Ueの第２の固定
要素PUeとの間に連行体Ueに組み込まれた形でジグザグ
状の長さ補償要素LUeが設けられており、連行体Ueのジ
グザグ状の長さ補償要素LUeは温度変化の際に連行体Ue
の第２の端の測定方向Ｘに平面運動の自由度を有する支
承を可能にする。
されている。図示しない工作機械の往復台の形の測定さ
れるべき第１の対象物Seに測定具現体Meのためのハウジ
ングの形の支持体Geが任意の方法で、例えば図示しない
ねじによって固定されている。ハウジングGeの内面には
測定尺Meが図示しない接着層によって固定されている。
工作機械のベッドの形の測定されるべき第２の対象物Be
には連行体Ueが第１の端で第１の固定点PUeによってそ
して第２の端では第２の固定点PUeによって固定されて
いる。走査ユニットAeはローラReによって測定尺Me上に
そして図示しない方法で他のローラによって測定される
べき対象物Se、Beとは独立した補助案内としてのハウジ
ングGeの内面上に案内されそして両対象物Se、Beの相対
位置の測定のための測定尺Meの目盛Teが走査要素AEeに
よって走査される。連行体Ueは図示しないシールパッキ
ングによって締塞された、横断面両剣形の下部分を備え
たハウジングGeの縦スリットGLeを通って突出してお
り、下部分UTeには連行体Ueでの連結点AKeに走査ユニッ
トAeを枢支連結するための、測定方向Ｘに剛固なクラッ
チ要素AEeが固定されている。走査ユニットAeは連結点A
Keにおいて図示しないばねによって常にカップリング要
素KEeと接触している。連行体Ueでの走査ユニットAeの
連結点AKeと第２の対象物Beでの連行体Ueの第２の固定
要素PUeとの間に連行体Ueに組み込まれた形でジグザグ
状の長さ補償要素LUeが設けられており、連行体Ueのジ
グザグ状の長さ補償要素LUeは温度変化の際に連行体Ue
の第２の端の測定方向Ｘに平面運動の自由度を有する支
承を可能にする。
走査ユニットAeの走査要素AEeの走査点APe及び所属の第
２の対象物Beの参照点BPeとは標準温度でと測定方向Ｘ
に対して垂直な平面内に位置する。更に第２の対象物Be
が熱膨張率α（Be）＝10・10・Ｋの鋳物から、連行体Ue
が熱膨張率α（Ue）＝21・10・Ｋのアルミニウムからそ
して走査ユニットAeが熱膨張率α（Ae）＝35・10・Ｋの
合成樹脂から成ることができる。走査ユニットAeの走査
要素AEeは第２の対象物Beでの連行体Ueの第１の固定点P
Ueと連行体Ueでの走査ユニットAeの連結点Aeとの間に位
置し、かつ連行体Ueの第１の固定点PUeと走査ユニットA
eの連結点AKeとの間に第１の距離ａが、そして走査ユニ
ットAeの連結点AKeと走査要素AEeの走査点APeとの間に
第２の距離ｂが存在し、その際第１の距離ａと第２の距
離ｂとは条件α（Ue）・ａ＝α（Ae）・ｂを満足するの
で、標準温度から温度変化が生じた場合に、走査ユニッ
トAe、連行体Ue及び第２の対象物Beの熱膨張率が相異な
るにも関わらず、走査ユニットAeの走査点APeと第２の
対象物Beの所属の参照点BPeとの間の相対移動は生ぜ
ず、その結果相応した測定誤差を伴う測長機の零点移動
は生じ得ない。
２の対象物Beの参照点BPeとは標準温度でと測定方向Ｘ
に対して垂直な平面内に位置する。更に第２の対象物Be
が熱膨張率α（Be）＝10・10・Ｋの鋳物から、連行体Ue
が熱膨張率α（Ue）＝21・10・Ｋのアルミニウムからそ
して走査ユニットAeが熱膨張率α（Ae）＝35・10・Ｋの
合成樹脂から成ることができる。走査ユニットAeの走査
要素AEeは第２の対象物Beでの連行体Ueの第１の固定点P
Ueと連行体Ueでの走査ユニットAeの連結点Aeとの間に位
置し、かつ連行体Ueの第１の固定点PUeと走査ユニットA
eの連結点AKeとの間に第１の距離ａが、そして走査ユニ
ットAeの連結点AKeと走査要素AEeの走査点APeとの間に
第２の距離ｂが存在し、その際第１の距離ａと第２の距
離ｂとは条件α（Ue）・ａ＝α（Ae）・ｂを満足するの
で、標準温度から温度変化が生じた場合に、走査ユニッ
トAe、連行体Ue及び第２の対象物Beの熱膨張率が相異な
るにも関わらず、走査ユニットAeの走査点APeと第２の
対象物Beの所属の参照点BPeとの間の相対移動は生ぜ
ず、その結果相応した測定誤差を伴う測長機の零点移動
は生じ得ない。
走査ユニットの走査要素の走査点は走査要素の中心点
（重心）であると理解され、例えば走査要素として走査
目盛フィールドを備えた光電走査ユニットでは走査点は
この走査目盛フィールドの中心点（面積重心）によって
形成される。
（重心）であると理解され、例えば走査要素として走査
目盛フィールドを備えた光電走査ユニットでは走査点は
この走査目盛フィールドの中心点（面積重心）によって
形成される。
本発明はインクリメンタル位置測定装置としてもアブソ
リュート位置測定装置としても、例えば光学的、光電
的、電磁的、容量的又は誘導的作業方法に基づく作用に
よって使用可能である。
リュート位置測定装置としても、例えば光学的、光電
的、電磁的、容量的又は誘導的作業方法に基づく作用に
よって使用可能である。
第１図は第１の開放形測長機、第２図は第２の開放形測
長機、第３図は第１の密閉形測長機、第４図は第２の密
閉形測長機そして第５図は第３の密閉形測長機を示す。
長機、第３図は第１の密閉形測長機、第４図は第２の密
閉形測長機そして第５図は第３の密閉形測長機を示す。
Claims (5)
- 【請求項１】２つの対象物の相対位置の測定のための長
さ又は角度測定装置にして、その際第１の対象物と測定
尺が結合されており、第２の対象物と連行体を介して結
合された走査ユニットの目盛は少なくとも１つの走査要
素によって走査され、そして対象物、連行体及び走査ユ
ニットは相異なる熱膨張率を有する長さ又は角度測定装
置において、 連行体（Ud、Ue）は第２の対象物（Bd、Be）に固定点
（PUd、PUe）をそして走査ユニット（Ad、Ae）は連行体
（Ud、Ue）に連結点（AKd、AKe）を有し、走査ユニット
（Ad、Ae）の走査要素（AEd、AEe）は第２対象物（Bd、
Be）の連行体（Ud、Ue）の固定点（PUd、PUe）と連行体
（Ud、Ue）の走査ユニット（Ad、Ae）の連結点（AKd、A
Ke）との間に位置し、連行体（Ud、Ue）の固定点（PU
d、PUe）と走査ユニット（Ad、Ae）の連結点（AKd、AK
e）との間に第１の距離ａ並びに走査ユニット（Ad、A
e）の連結点（AKd、AKe）と走査要素（AEd、AEe）の走
査点（APd、APe）との間に第２の距離ｂが存在し、そし
て第１の距離ａと第２の距離ｂとは条件α（Ud、Ue）・
ａ＝α（Ad、Ae）・ｂを満足し、その際α（Ud、Ue）は
連行体（Ud、Ue）の熱膨張率を、そしてα（Ad、Ae）は
走査ユニット（Ad、Ae）の熱膨張率を表わすことを特徴
とする前記長さ又は角度測定装置。 - 【請求項２】連行体（Ud、Ue）は第１端の第１の固定点
（PUd、PUe）に加えて、第２端で第２の固定点（PUd、P
Ue）によって第２の対象物（Bd、Be）に固定されてお
り、かつ連行体（Ud、Ue）への走査ユニット（Ab、Ac）
の連結点（AKd、AKe）と第２の対象物（Bd、Be）への連
行体（Ud、Ue）の第２の固定点（PUd、PUe）との間に長
さ補償要素（LUd、LUe）が配設されている、請求項１記
載の長さ又は角度測定装置。 - 【請求項３】走査ユニット（Ad）は連結点（AKd）にお
ける第１端の第１の固定点（PAd）に加えて、第２端で
第２の固定点（PFd）を備えた固定要素（Fd）によって
連行体（Ud）に固定され、そして走査ユニット（Ad）の
第２端と固定要素（Fd）との間に長さ補償要素（Ld）が
配設されている請求項１又は２記載の長さ又は角度測定
装置。 - 【請求項４】走査ユニット（Ae）は測定されるべき対象
物（Se、Be）の案内とは独立に補助案内で及び又は測定
尺（Me）のための支持体（Ge）で案内されており、かつ
連行体（Ue）には測定方向Ｘにおいて剛固なカップリン
グ要素（KEe）によって連結点（AKe）に枢支されてい
る、請求項１又は２記載の長さ又は角度測定装置。 - 【請求項５】長さ補償要素（LUd、LUe）が連行体（Ud、
Ue）内に組み込まれている、請求項１記載の長さ又は角
度測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19873711070 DE3711070A1 (de) | 1987-04-02 | 1987-04-02 | Laengen- oder winkelmesseinrichtung |
| DE3711070.5 | 1987-04-02 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63256807A JPS63256807A (ja) | 1988-10-24 |
| JPH076785B2 true JPH076785B2 (ja) | 1995-01-30 |
Family
ID=6324691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63078275A Expired - Lifetime JPH076785B2 (ja) | 1987-04-02 | 1988-04-01 | 長さ又は角度測定装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5050311A (ja) |
| EP (1) | EP0284730B1 (ja) |
| JP (1) | JPH076785B2 (ja) |
| DE (3) | DE8717712U1 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5008619A (en) * | 1988-11-18 | 1991-04-16 | Amp-Akzo Corporation | Multilevel circuit board precision positioning |
| AT401819B (de) * | 1990-10-02 | 1996-12-27 | Rsf Elektronik Gmbh | Längenmesssystem |
| EP0513406B1 (de) * | 1991-05-11 | 1994-07-06 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Positionsmesseinrichtung |
| DE4212970A1 (de) * | 1992-04-18 | 1993-10-21 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längenmeßeinrichtung |
| DE19534425A1 (de) * | 1995-09-16 | 1997-03-20 | Zeiss Carl Fa | Koordinatenmeßgerät, dessen Taster über mehrere Drehachsen beweglich gelagert ist |
| DE19543647C2 (de) * | 1995-11-23 | 2000-05-04 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längenmeßeinrichtung zur Messung der Relativlage zweier Objekte |
| JP4763914B2 (ja) * | 2001-05-17 | 2011-08-31 | キヤノン株式会社 | 回転角度検出装置 |
| DE102005027025B4 (de) * | 2005-06-11 | 2015-04-30 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Halterung für einen Maßstab |
| DE102007058643A1 (de) * | 2007-12-04 | 2009-06-10 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Abtastbaueinheit |
| JP2009180525A (ja) * | 2008-01-29 | 2009-08-13 | Mitsutoyo Corp | 測定装置 |
| ES2618855T3 (es) * | 2014-10-14 | 2017-06-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Dispositivo de medición de posición con dispositivo para la compensación de errores por dilatación térmica de una regla graduada |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3816002A (en) * | 1972-10-10 | 1974-06-11 | H Wieg | Apparatus for measuring displacement between two relatively movable members |
| DE2735154C2 (de) * | 1977-08-04 | 1984-04-05 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längen- oder Winkelmeßsystem |
| DE2810341C2 (de) * | 1978-03-10 | 1980-01-31 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
| DE2820753C2 (de) * | 1978-05-12 | 1980-03-06 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Einrichtung zur Fehlerkorrektur bei Positionsmeßsystemen |
| DE2853771C2 (de) * | 1978-12-13 | 1986-08-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
| DE3106701C2 (de) * | 1981-02-23 | 1982-12-02 | Maho Werkzeugmaschinenbau Babel & Co, 8962 Pfronten | Meßsystem für Werkzeugmaschinen |
| DE3113962C2 (de) * | 1981-04-07 | 1987-04-02 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
| DE3243966A1 (de) * | 1982-11-27 | 1984-05-30 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengenmesseinrichtung |
| DE3379112D1 (en) * | 1983-02-12 | 1989-03-09 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Encapsulated measuring device |
| DD225497A1 (de) * | 1984-04-02 | 1985-07-31 | Zeiss Jena Veb Carl | Einrichtung und verfahren zum messen und einstellen von laengen |
-
1987
- 1987-04-02 DE DE8717712U patent/DE8717712U1/de not_active Expired
- 1987-04-02 DE DE19873711070 patent/DE3711070A1/de active Granted
-
1988
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1990
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| Publication number | Publication date |
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