JPH06185916A - 測長機 - Google Patents

測長機

Info

Publication number
JPH06185916A
JPH06185916A JP5060458A JP6045893A JPH06185916A JP H06185916 A JPH06185916 A JP H06185916A JP 5060458 A JP5060458 A JP 5060458A JP 6045893 A JP6045893 A JP 6045893A JP H06185916 A JPH06185916 A JP H06185916A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
support
measuring
length
fixed
scale
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP5060458A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2675245B2 (ja
Inventor
Guenther Nelle
ギュンター・ネレ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Publication of JPH06185916A publication Critical patent/JPH06185916A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2675245B2 publication Critical patent/JP2675245B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0011Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
    • G01B5/0014Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、相異なる工作機械で発生するあ
らゆる温度条件下で使用可能な測長機を提供することで
ある。 【構成】 2つの対象物の相対位置の測定のための測
長機にして、一方の対象物と結合された目盛支持体の目
盛が他方の対象物と結合した走査ユニットによって走査
される測長機において、a)目盛5を備えた測定尺支持
体4は第1固定点P1で測定長さの内方で固定されかつ
更に支持体3と縦移動可能に結合されており、b)支持
体3は第2固定点2で測定長さの内方で固定されかつ更
に第1対象物1と縦移動可能に結合されており、そして
c)第1固定点P1及び又は第2固定点P2は測定長さ
の内方で変更可能であることを特徴とする前記測長機。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は2つの対象物の相対位置
の測定のための測長機にして、一方の対象物と結合され
た目盛支持体の目盛が他方の対象物と結合した走査ユニ
ットによって走査される測長機に関する。
【0002】この種の測長機は特に工作機械で加工され
る工作物に関する工具の相対位置の測定のために使用さ
れる。工作機械に使用される測長機では、目盛誤差、機
械誤差及び温度に起因する測定誤差による測定精度が生
ずる。
【0003】そのような温度に起因する誤差の補償は必
要である、そのわけは工作機械による加工において一般
に一定の温度は存在しないからである。同様に大抵工作
機械の温度は加工中に常に変化する。コストの理由から
稀に目盛を有する目盛支持体、目盛支持体のための支持
体及び所属の機械部分の形の測定されるべき対象物は同
様な熱膨張率を有する材料から成るので、この回避でき
ない温度変化では目盛支持体、支持体及び機械部分は相
異なる熱的長さ変化を受け、その結果工作物の加工精度
についての今日の要求では最早耐えることのできない工
作物の加工の際の精度が生じ得る。目盛支持体としてガ
ラス、支持体としてアルミニウム及び機械部分として鋼
又は鋳物が使用される。
【0004】
【従来の技術】西独国公開公報第3243966号から
測長機が公知であり、その際目盛を備えた目盛支持体は
弾性接着層によって支持体と結合しておりかつそれによ
ってその中央に固定した測定基準点を有し、一方目盛支
持体は温度変化の際に測定方向において両側に縦移動可
能である。支持体は両端でそれぞれ1つの長さ補償要素
を介して、測定される機械部分に剛固に固定された固定
要素に結合されており、そして他方ではその中央に追加
の固定要素を介して機械部分に剛固に固定されており、
その結果目盛を備えた目盛支持体は温度変化の際にその
中央で機械部分に関して固定した測定基準点を保持す
る。西独国公開公報3106701から工作機械の測長
機での1つの装置が把握され、その際機械部分の熱的長
さ変化の補償のために、機械部分の熱膨張率よりも大き
い熱膨張率を有する材料から成る伸張要素がその一端で
機械部分とかつその他端で目盛を備えた目盛支持体に固
定されており、その際伸張棒の熱的長さ変化は機械部分
の熱的長さ変化に等しく、その結果機械部分の長さ変化
は測長機によって検出される。
【0005】しかし、前記両測長機はある工作機械での
特別の温度補償にのみ好適で相異なる工作機械での他の
種類の温度問題には好適ではない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、相異なる工
作機械で発生するあらゆる温度条件下で使用可能な上記
の分野の測長機を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の課題は、次の特
徴の総合、即ち a)目盛を備えた測定尺支持体は第1固定点で測定長さ
の内方で固定されかつ更に支持体に縦移動可能に結合さ
れており、 b)支持体は第2固定点で測定長さの内方で固定されか
つ更に第1対象物に縦移動可能に結合されており、そし
て c)第1固定点及び又は第2固定点は測定長さの内方で
変更可能であることによって解決される。
【0008】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて詳しく説明
する。図1及び図2において2つの対象物1、2の相対
位置の測定のための特に密閉型測長機が縦断面図及び横
断面図で示されている。横断面積U型のハウジングの形
の支持体3の内方には目盛を備えた測定尺支持体4が配
設されている、測定尺支持体は一方では弾性接着層6に
よって支持体3と測定方向Xに僅かに縦移動可能に結合
されかつ他方では第1の固定要素F1によって第1の固
定点P1で支持体3に剛固に固定されている。支持体3
は図示しない工作機械の往復台の形の第1対象物1に第
2固定点P2で第2固定要素F2によって剛固に固定さ
れかつ3つの長さ補償要素L1、L2、L3によって測
定方向Xに縦移動可能である。
【0009】この工作機械のベッドの形の第2対象物2
には組立部材7が任意の方法で固定され、組立部材は二
重の剣の形の連行体8を介して走査ユニット9と結合さ
れ、走査ユニットは支持体3の内方において両対象物1
及び2の相対位置のための位置測定値の取得のための測
定尺支持体4上の目盛5を走査する。支持体3の内方は
周囲の影響に対して、二重剣形シールリップ10に当接
する、屋根状に傾いた2つのシールリップ10によって
遮蔽されている。
【0010】工作機械のその都度の温度状態に基づいて
取得された位置測定値での温度に起因する測定誤差の補
償のために、第1の固定点P1は測定尺支持体4と支持
体3との間に変化し、その際支持体3の孔B1〜B9の
列及びねじの形の第1の固定要素F1のための測定尺支
持体4中の相応するねじ孔G1〜G9が設けられてい
る。第1の固定要素F1はその都度選択された第1の固
定点P1における支持体3に対する測定尺支持体4の目
盛5の測定基準点を確定する。
【0011】温度に起因する測定誤差を補償するため
に、第2の固定点F2も支持体3と第1対象物1との間
で変化する。第2の固定要素F2は両端範囲においてね
じ11及び第1対象物におけるねじ孔12によって剛固
に固定されている矩形状の金属部材から成る。更に第1
の固定要素F1は中央範囲においてねじ13及びナット
14によって支持体3の溝15において支持体3と剛固
に固定されている。同様な要素によって長さ補償要素L
1〜L3も第1対象物1及び支持体3と結合している。
これらの長さ補償要素L1〜L3は第2の固定要素と同
様な矩形状の金属部材から成るが、これとは異なり中央
範囲と両端範囲との間にじぐざぐ状の切れ目を備えたそ
れぞれ1つの弾性的範囲を有し、その結果第1対象物1
に対する測定方向Xにおける支持体3の縦移動可能性が
得られる。
【0012】両固定点P1及びP2は測定方向Xに対し
て垂直な平面内に位置し、例えば測定範囲の始端又は終
端又は中央に位置する。両固定点P1及びP2は測定方
向Xにおいて特別に対向距離をも有し、その結果支持体
3は伸張要素の機能を有し、それによって機械部分の長
さ変化は測長機によって検出されることができる。
【0013】目盛5は追加の目盛支持体(例えばガラ
ス)上にも付けられることができかつ目盛支持体3は例
えば弾性的又は硬い接着層を介して追加の目盛支持体を
測定尺支持体4と結合される。
【0014】
【発明の効果】本発明によって得られる利点は、提案さ
れた措置によって測長機が、相異なる加工状態で、相異
なる工作機械の実際に存在する全ての温度状態に、簡単
な方法で使用者自身によって適合させられることがで
き、その結果相異なる温度条件に適合した特別な測長機
が得られることにある。
【図面の簡単な説明】
【図1】密閉型測長機の縦断面図である。
【図2】図1による測長機の横断面図である。
【符号の説明】
1 第1対象物 2 第2固定点 3 支持体 4 測定尺支持体 5 目盛 P1 第1固定点 P2 第2固定点
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ギュンター・ネレ ドイツ連邦共和国、ベルゲン、アイヒエン ヴエーク、12

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 2つの対象物の相対位置の測定のための
    測長機にして、一方の対象物と結合された目盛支持体の
    目盛が他方の対象物と結合した走査ユニットによって走
    査される測長機において、 a)目盛(5)を備えた測定尺支持体(4)は第1固定
    点(P1)で測定長さの内方で固定されかつ更に支持体
    (3)に縦移動可能に結合されており、 b)支持体(3)は第2固定点(2)で測定長さの内方
    で固定されかつ更に第1対象物(1)に縦移動可能に結
    合されており、そして c)第1固定点(P1)及び又は第2固定点(P2)は
    測定長さの内方で変更可能であることを特徴とする前記
    測長機。
  2. 【請求項2】 両固定点(P1、P2)は不連続段にお
    いて変更可能である、請求項1 記載の測長機。
  3. 【請求項3】 両固定点(P1、P2)の少なくとも1
    つが連続的に変更可能である、請求項1 記載の測長機。
  4. 【請求項4】 測定尺支持体(4)上に目盛(5)を備
    えた目盛支持体が固定されている、請求項1 記載の測長
    機。
JP5060458A 1992-04-18 1993-03-19 測長機 Expired - Fee Related JP2675245B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4212970A DE4212970A1 (de) 1992-04-18 1992-04-18 Längenmeßeinrichtung
DE4212970:2 1992-04-18

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06185916A true JPH06185916A (ja) 1994-07-08
JP2675245B2 JP2675245B2 (ja) 1997-11-12

Family

ID=6457076

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5060458A Expired - Fee Related JP2675245B2 (ja) 1992-04-18 1993-03-19 測長機

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5375338A (ja)
EP (1) EP0566828B1 (ja)
JP (1) JP2675245B2 (ja)
AT (1) ATE150542T1 (ja)
DE (2) DE4212970A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007078684A (ja) * 2005-09-14 2007-03-29 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 測定尺の担持体を固定するための構造体と担持体を固定するための方法、ならびに測長装置
JP2008545978A (ja) * 2005-06-11 2008-12-18 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング スケール用の保持具
JP2013024865A (ja) * 2011-07-20 2013-02-04 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 長さ測定装置

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9215767D0 (en) * 1992-07-24 1992-09-09 Lk Ltd Scale assembly
DE4406799C2 (de) * 1994-03-02 1997-11-06 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE19512892C2 (de) * 1995-04-06 1998-11-05 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE19543647C2 (de) * 1995-11-23 2000-05-04 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längenmeßeinrichtung zur Messung der Relativlage zweier Objekte
DE19711271C2 (de) * 1997-03-18 1999-04-29 Zeiss Carl Jena Gmbh Längenmeßsystem
JP4174096B2 (ja) * 1998-03-31 2008-10-29 ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社 位置検出装置
DE19857132A1 (de) * 1998-12-11 2000-06-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Verfahren und Anordnung zur Verringerung temperaturbedingter Maßabweichungen bei parallel angeordneten Meßsystemen
JP4024600B2 (ja) * 2002-06-25 2007-12-19 株式会社ミツトヨ 枠多点固定タイプのユニット型直線変位測定装置、及び、その固定方法
DE102006044358A1 (de) 2006-09-20 2008-04-03 Etel S.A. Positioniereinrichtung in Portalbauweise
JP2009180525A (ja) * 2008-01-29 2009-08-13 Mitsutoyo Corp 測定装置
EP2418455B1 (en) 2010-07-20 2017-03-29 Fagor, S. Coop. Optoelectronic measuring device with a plurality of carrier bodies, and method for aligning said carrier bodies
JP2014224705A (ja) * 2013-05-15 2014-12-04 キヤノン株式会社 スケール保持装置、およびエンコーダ
ES2618855T3 (es) * 2014-10-14 2017-06-22 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Dispositivo de medición de posición con dispositivo para la compensación de errores por dilatación térmica de una regla graduada
ES2618065T3 (es) * 2015-04-08 2017-06-20 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Dispositivo de medición de la longitud
ES2693900T3 (es) * 2016-08-02 2018-12-14 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Dispositivo de medición de la longitud
EP3657134A1 (en) * 2018-11-21 2020-05-27 Fagor Arrasate, S.Coop. Optolectronic measuring device
EP3705850B1 (de) * 2019-03-06 2021-12-29 Etel S.A. Anordnung mit einem hauptträger, einem auf dem hauptträger angeordneten zwischenträger und einem auf dem zwischenträger angeordneten massstab
IT202100010292A1 (it) * 2021-04-22 2021-07-22 Givi Misure S R L Riga ottica o magnetica con posizione selezionabile del punto nullo di dilatazione termica

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6255081A (ja) * 1985-09-05 1987-03-10 Toyobo Co Ltd 安定なキサンチン酸化酵素組成物

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1050061A (ja) * 1900-01-01
US3816002A (en) * 1972-10-10 1974-06-11 H Wieg Apparatus for measuring displacement between two relatively movable members
DE2853771C2 (de) * 1978-12-13 1986-08-28 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Längenmeßeinrichtung
DE3106701C2 (de) * 1981-02-23 1982-12-02 Maho Werkzeugmaschinenbau Babel & Co, 8962 Pfronten Meßsystem für Werkzeugmaschinen
DE3224005A1 (de) * 1982-06-26 1984-01-05 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Laengen- oder winkelmesssystem
US4503157A (en) * 1982-09-25 1985-03-05 Ina Seito Co., Ltd. Sintered apatite bodies and composites thereof
DE3243966A1 (de) * 1982-11-27 1984-05-30 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Laengenmesseinrichtung
ATE40594T1 (de) * 1983-02-12 1989-02-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Gekapselte messeinrichtung.
DE8315835U1 (ja) * 1983-05-30 1988-02-25 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De
DE3625795A1 (de) * 1986-07-30 1988-02-04 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Laengenmesseinrichtung
DE8717712U1 (ja) * 1987-04-02 1989-08-31 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De
DE3719409A1 (de) * 1987-06-11 1988-12-22 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmesseinrichtung
DE59102125D1 (de) * 1991-05-11 1994-08-11 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmesseinrichtung.

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6255081A (ja) * 1985-09-05 1987-03-10 Toyobo Co Ltd 安定なキサンチン酸化酵素組成物

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008545978A (ja) * 2005-06-11 2008-12-18 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング スケール用の保持具
JP2007078684A (ja) * 2005-09-14 2007-03-29 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 測定尺の担持体を固定するための構造体と担持体を固定するための方法、ならびに測長装置
JP2013024865A (ja) * 2011-07-20 2013-02-04 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 長さ測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2675245B2 (ja) 1997-11-12
DE4212970A1 (de) 1993-10-21
EP0566828B1 (de) 1997-03-19
ATE150542T1 (de) 1997-04-15
EP0566828A2 (de) 1993-10-27
US5375338A (en) 1994-12-27
DE59305827D1 (de) 1997-04-24
EP0566828A3 (en) 1994-06-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH06185916A (ja) 測長機
US4776098A (en) Length measuring apparatus with temperature compensation
JPS5813843B2 (ja) 防護覆蓋測長装置
US4808048A (en) Method and apparatus for error compensation
EP1749247B1 (en) A measurement configuration based on linear scales able to measure to a target also moving perpendicular to the measurement axis
US5182867A (en) Position measuring apparatus
JPS59157510A (ja) カプセルに入つた測定装置
EP0381703A1 (en) Apparatus for temperature compensation of sensing means of a machine
CN108151689B (zh) 高精度位移传感器
EP0498780B1 (en) A method and arrangement for determining the linear (heat) expansion of elongated bodies
US5511321A (en) Linear encoder
US2846769A (en) Measuring device
US5555633A (en) Scale assembly
CN111664323B (zh) 带有主承载件、布置在主承载件上的中间承载件和布置在中间承载件上的比例尺的组件
US4184262A (en) Device for determining the exact position of two members linearly displaceable relative to each other
US7024789B2 (en) Position measuring device with a temperature correction device
JPH076785B2 (ja) 長さ又は角度測定装置
EP0349783A3 (de) Verfahren zum Messen und Ausgleichen thermisch bedingter Dehnungen an Maschinen und Apparaten
JPH05209741A (ja) 表面形状測定の方法および装置
JPH02179409A (ja) 直線変位検出器
Beers et al. Interferometric measurement of length scales at the National Bureau of Standards
JP2582210B2 (ja) 変位測定装置
JPH04231810A (ja) 位置測定装置
CN210922554U (zh) 一种用于测量工件的大直径量具校准器
JPH05312557A (ja) ワークの内径測定値補正方法および補正値表示装置

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19970610

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees