JPS59157510A - カプセルに入つた測定装置 - Google Patents

カプセルに入つた測定装置

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JPS59157510A
JPS59157510A JP59022053A JP2205384A JPS59157510A JP S59157510 A JPS59157510 A JP S59157510A JP 59022053 A JP59022053 A JP 59022053A JP 2205384 A JP2205384 A JP 2205384A JP S59157510 A JPS59157510 A JP S59157510A
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JP
Japan
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measuring
housing
measuring device
thermal expansion
rod
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JP59022053A
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ギユンテル・ネーレ
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Publication date
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Publication of JPH056121B2 publication Critical patent/JPH056121B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0011Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
    • G01B5/0014Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Measuring Pulse, Heart Rate, Blood Pressure Or Blood Flow (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は特許請求の範囲第1項の前提概念によるカプセ
ルに入った測定装置に関する。
この種の測定装置では、例えば二つの機械的部分の相対
運動が測定される。機械部分は機械(2) ベッド及び機械往復台によって形成されることができる
。一般に非常に正確な測定装置の保護のために測定尺が
中空形材に嵌入されており、走査装置は同様に中空形材
の内方に配設されて′いる。
この級の精度の装置では相異なる拐料の選択は重要であ
る、そのわけは相異なる熱膨張率の材質が組合わされね
ばならないからである。特異な理由からまれに同−又は
類似の熱膨張率の材質が使用されることができる。度々
ねずみ鋳鉄(機械部分)、アルミニラl、(中空形態)
及び鋼又はカラスが加工物が(鋼から成る)加工される
べき場合に測定尺に組合わされる。
測定尺と基体を例えば高弾性中間層を介して縦移動可能
に結合することが公知である。基体の撓みによる長さ変
化#′i測定尺へ影#1〜ない(西独間特許明細;l)
 1176382 )。更に米国%許明細省38160
G2から測定装置が公知であり、そのハウジングは工作
機械の往復台に固定されている測定尺は一端をハ[゛ノ
ジンクの(6) 内方に固定されており、−刃側定尺の他端は一種のクラ
ンプ装置によってハウジンクの内方に支承されている。
このクランプ装置によってばねを介してハウジングの温
度に依存した長さ変化が補償される。測定尺はとの配列
によってハウジングの温度に依存する長さ変化によって
影響されんいが、測定尺の長さはその固有の熱膨張率に
相応して変化する。このことは測定誤差につながりつる
。従ってこの方法は温度変化によって限定された大きさ
の誤差が許容される制限内でのみ使用可能である。
このような測定装置では例えば加工されるべき加工物の
材質が変わると、他の誤差補償計算が実施されなければ
ならない。相異なる膨張係数の全ての影響力はその作用
法において、各折(−い材質結合ではその都度新たに考
査されねばならない。
西独国特許公開公報2830980において機械部分の
熱膨張のための測定系の調整誤差の修正のための装置が
記載されており、その際工(4) 具の収容のための穴ロッドの形の第一測定区間は機械部
分の測定系の組込平面に1.つかりとクランプされてい
る。この第−測定区間又は穴[−jソドの熱的に制限さ
れた長さ変化目測足糸の組込平面に対する工具平面の相
応した位置変化と[2てあられれる。第−測定区間上こ
れと平行な工具の加工平面内の第二測定区間とが剛固に
結合さねている。第一測定区間は第二測定区間よりも大
きな熱膨張率を有し、その結果標準条件の下に同等の長
さの測定区間は温度変化の際長さの差を生ずる。この長
さの差d測定系の組込平面に対する工具の加工平面の位
置変化の認識のために測定系への修正値と1〜て入力さ
れる3、この修正装置は比較的コスト高であり、かつ就
中工作機械では不可能な工具の加−I]平而面での第一
測定区間と第二測定区間の固定を必要とし、その結果こ
の修正装置の使用範囲は限らi、、、 7いる。
西独国%杆公開公報2558625から熱的に制限され
たスピンドル偏位の修正のための側(5) 定尺を備えたI作機械が公知であり、との際測定尺は複
数の相互平行に位置する棒から成り、少々くとも一つの
棒が鋼から成り、機械に固定されており、その自由端に
けアルミニウムから成る少なくとも一つの平行な棒と結
合しており、その自由端は固定点の近くで鋼から成る別
の棒と結合されでおり、その自由端に測定フィーラが配
設されており、測定フイーラは機械ハウジンクの固定点
と共働する。この修正装置1〜定の測定区間の形成のた
めに役立ち、その長さは熱に影響されず、機械部分に平
行で、その熱膨張は補償されるべきである。この一定の
側>y= l4間によって検出されるスピンドル偏位の
測定値はスピンドルを備えた機械部分の駆動制御部に入
力される。
西独間特許明細1.245n322及び西独国特許明細
曹3106701において機械部分の熱的長さ変化の補
償のための装置が開示され′rおり、その際機械部分に
比[2て大きな熱膨張率の伸縮棒が一端で機械部分に、
そ1.て他端で機(6) 械部分に対して測定方向に移動可能の測定尺に固定され
ている。伸縮棒の材料及び長さは測定尺の機械部分の熱
膨張のために測定系の走査平面に対する工具の加工平面
の移動の際同一方向の移動が同一量であるように規制さ
れている。
本発明は冒頭に記載した種類のカプセルに入った測定装
置で簡単な手段によって機械部分の熱的妨害作用を打消
すことを課題の基礎とする。
本発明によればこのd果題は特許請求の範囲第1項の特
徴部分によって解決される。
不発明によって得られる利点は特にカプセルに入った測
定装置が機械部分の熱膨張の補償のための追加的要素を
必要とせず、その結果測定装置がハウジングの二重機能
のために一方では伸縮要素としてそして他方では、測定
尺のためのカプセル要素として、そして走査装fVi構
造及び寸法において実質上変わらず従って高い加工精度
を得るためにコストの安い測定装置が得られることにあ
る。
本発明の有利な他の構成が実施態様項から把(7) 握される。
第1図においてカプセルに入った測定装置の横断面が示
されている。熱膨張率が実際上0である石英カラス(商
標;ヘラジル)から成る測定尺1はねじれ剛固なハウジ
ング2の内方に固定されている。金側定尺長に亘って等
様の温度変化するものではこの固定方法は測定尺1が中
央で一点でハウジング2と固着されるのと同様な特性を
有するハウジング2は中央から測定方向に等様に伸びる
ことができ、その結果測定尺1においてその長さが本質
的に変わらない無視できる応力しか生じない。
相対運動が測定されるべき機械構造部分6へのハウジン
グの固定はクランプ爪5を介して行われる。
第2図にはカプセルに入った測定装置が示されている。
ここではガラス測定尺1がその一端でクランプ装置3に
よってハウジンク2上に剛固にクランプされている。こ
のクランプ個所でけ石英ガラス測定尺1は高弾性接着層
4にょっ(8) てのみハウジンク2に支持さtlており、ハウシンク2
は温度変化の際、伸びるとと全阻止されず、又は収縮す
ることができる。ハウジンク2はクランプ爪5によって
機械構造部分乙に固着される。ハウジング2への測定尺
1の固定点A及びBの位置及び機械構造部分6へのハウ
シング2の位置の選択によってハウジング2と機械構造
部分6の熱膨張を考慮1−7で機械部分の熱変形の際の
温度補償が得られると−とができ、その際ハウジンク2
け前記の作用法によれば追加的に伸縮要素の機能全治゛
する。
測定尺:1は二゛ン′i−ル合金5175・ら成る(二
ともでき、この鋼は17バー又はバコデ・fル6.6ノ
一吋ぼれる。この柚の4Ill定尺の熱膨張はそのよう
な測定尺の温度によるのびが実際ト無祝されつる程小さ
い。
測定尺(()−バー、又は石英ガラス)及びハじ“2シ
フ /7’ I: 7″ルミ二に′、:ム、繊維強化合
成樹111;等)の組合−b止材凋の選択は使用粂件J
:実用i深努のとノ〕、6コス1−に従ってなされ6゜
(9)
【図面の簡単な説明】
第1図はカプセルに入った測定装置の横断面図、そして
第2図d部分正面図である。 図中杓号 1・・・測定尺 2・・・ハウシンク ロ・・・第一対象物 A・・・第1固定点 B・・・第2固定点 代理人 江 崎 光 好 代理人江崎光史 (10) 1iTii:ノ E2

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)二つの対象物の相対位置の測定のためのカプセル
    に入った測定装置にして、第一の被測定対象と結合した
    ハウジング内に第二の被測定対象と結合した走査装置に
    よって走査される測定尺が配設されているものにおいて
    、第1の被測定対象(6)の熱膨張の補償のためにそれ
    自体公知の伸縮要素が設けられており、その際伸縮要素
    は測定尺(1)のためのハウジング(2)によって形成
    されており、ハウジング(2)は第一固定点(A)で第
    一対象物(6)と結合され、第二固定点(B)で測定尺
    (1)に固足されており、測定尺(1)はハウジンク(
    2)内で測定方向に僅かに移動可能に配設されているこ
    とを特徴とするカプセルに入った。測定装置。
  2. (2)ハウジング(2)が少なくとも一つのクランプ爪
    (5)によって第一対象物(6)と結合して(1) いる、特許請求の範囲第1項記載の測定装置。
  3. (3)第一対象物(6)に対して大きな熱膨張率を有し
    、伸縮要素を構成するハウジング(2)がアルミニウム
    から成る、特許請求の範囲第1項記載の測定装置。
  4. (4)測定尺(1)が高弾性接着剤(4)を介してハウ
    ジング(2)内で僅かに移動可能に配設されている、特
    許請求の範囲第1項記載の測定装置。
  5. (5)測定尺(1)の熱膨張率が殆んどゼロである、特
    許請求の範囲第1項記載の測定装置。
  6. (6)測定尺(1)がニッケル鋼から成る、特許請求の
    範囲第5項記載の測定装置。
  7. (7)測定尺(1)が石英ガラスから成る、特許請求の
    範囲第5項記載の測定装置。
JP59022053A 1983-02-12 1984-02-10 カプセルに入つた測定装置 Granted JPS59157510A (ja)

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AU48956/85A AU4895685A (en) 1984-02-10 1985-10-21 Coated particulate materials and method for manufacture thereof

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DE8304009 1983-02-12

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JPS59157510A true JPS59157510A (ja) 1984-09-06
JPH056121B2 JPH056121B2 (ja) 1993-01-25

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EP (1) EP0118607B1 (ja)
JP (1) JPS59157510A (ja)
AT (1) ATE40594T1 (ja)
DE (1) DE3379112D1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01162607U (ja) * 1988-04-28 1989-11-13
JPH07139935A (ja) * 1993-06-23 1995-06-02 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 位置測定装置
JP2017533104A (ja) * 2014-09-15 2017-11-09 デッケル マホ プフロンテン ゲーエムベーハーDECKEL MAHO Pfronten GmbH 工作機械で使用する位置測定装置

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3637628C1 (de) * 1986-11-05 1988-02-11 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Verfahren zur Herstellung einer Massverkoerperung
DE8717712U1 (de) * 1987-04-02 1989-08-31 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
DE3719409A1 (de) * 1987-06-11 1988-12-22 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmesseinrichtung
AT401819B (de) * 1990-10-02 1996-12-27 Rsf Elektronik Gmbh Längenmesssystem
EP0513406B1 (de) * 1991-05-11 1994-07-06 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Positionsmesseinrichtung
DE4212970A1 (de) * 1992-04-18 1993-10-21 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längenmeßeinrichtung
GB9215767D0 (en) * 1992-07-24 1992-09-09 Lk Ltd Scale assembly
ES2065260B1 (es) * 1993-02-22 1995-09-01 Garcia Roberto Celso Rodriguez Sistema de medicion para piezas de aluminio y patrones de medicion obtenidos por dicho sistema.
DE4406797C2 (de) * 1994-03-02 1997-11-27 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE59404828D1 (de) * 1994-05-06 1998-01-29 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Temperatur-kompensierte Positionsmesseinrichtung
DE19526517C2 (de) * 1995-07-20 2000-08-24 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zur Befestigung einer Längenmeßeinrichtung
JPH0953638A (ja) * 1995-08-11 1997-02-25 Nippon Thompson Co Ltd 位置検出装置並びにこれを具備した軌道台ユニット及び案内ユニット
ATE230103T1 (de) * 1996-10-11 2003-01-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Massstab einer längenmesseinrichtung sowie verfahren zur anbringung eines massstabs
DE19821558B4 (de) * 1997-08-08 2007-09-13 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Maßstab und Verfahren zur Herstellung eines Maßstabes sowie Positionsmeßeinrichtung
DE19918654B4 (de) 1999-04-16 2004-07-15 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Sicherungsvorrichtung für den Transport und die Montage einer Meßeinrichtung
US6820348B2 (en) * 2001-02-09 2004-11-23 Acu-Rite, Inc. Mounting tool for linear encoders
EP1406783B1 (en) * 2001-07-18 2006-02-15 Intier Automotive Inc. Seat track assembly for a motor vehicle having an integrated position sensor
US7322605B2 (en) 2004-07-09 2008-01-29 Intier Automotive Inc. Seat track assembly for a motor vehicle having an integrated position sensor
US7299562B2 (en) * 2005-09-22 2007-11-27 Acu-Rite Companies, Inc. Device and method for mounting a position measuring device onto a machine tool, and position measuring system
DE102011079464A1 (de) * 2011-07-20 2013-01-24 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Längenmesseinrichtung
DE102011082755A1 (de) 2011-09-15 2013-03-21 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Montagevorrichtung eines Längenmesssystems
EP2684643A3 (de) * 2012-05-22 2014-04-16 Schneider GmbH & Co. KG Vorrichtung und Verfahren zur Bearbeitung eines optischen Werkstücks

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55157713U (ja) * 1979-05-01 1980-11-13
JPS57157110A (en) * 1981-02-23 1982-09-28 Maho Werkzeugmaschbau Babel Measuring apparatus

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1176382B (de) * 1959-09-30 1964-08-20 Wenczler & Heidenhain Patentve Teilungstraeger fuer Praezisionsteilungen
US3816002A (en) * 1972-10-10 1974-06-11 H Wieg Apparatus for measuring displacement between two relatively movable members
DE2450322C3 (de) * 1974-10-23 1978-05-18 Friedrich Deckel Ag, 8000 Muenchen Einrichtung zur Kompensation der Wärmedehnung eines Werkzeugmaschinenteils
DE2505587C3 (de) * 1975-02-11 1980-10-09 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Längenmeßeinrichtung
DE2558625A1 (de) * 1975-12-24 1977-07-14 Norte Klessmann & Co Kg Werkzeugmaschine, insbesondere bohr- oder fraesmaschine
DE2724858A1 (de) * 1977-06-02 1978-12-07 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Laengenmessgeraet mit korrektureinrichtung
DE2810341C2 (de) * 1978-03-10 1980-01-31 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Längenmeßeinrichtung
DE2830980A1 (de) * 1978-07-14 1980-01-24 Waldrich Werkzeugmasch Verfahren und vorrichtung zur korrektur von einstellfehlern in messsystemen
JPS58174806A (ja) * 1982-04-07 1983-10-13 Mitsutoyo Mfg Co Ltd 直線型変位測定機

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55157713U (ja) * 1979-05-01 1980-11-13
JPS57157110A (en) * 1981-02-23 1982-09-28 Maho Werkzeugmaschbau Babel Measuring apparatus

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01162607U (ja) * 1988-04-28 1989-11-13
JPH0537205Y2 (ja) * 1988-04-28 1993-09-21
JPH07139935A (ja) * 1993-06-23 1995-06-02 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 位置測定装置
JP2017533104A (ja) * 2014-09-15 2017-11-09 デッケル マホ プフロンテン ゲーエムベーハーDECKEL MAHO Pfronten GmbH 工作機械で使用する位置測定装置
US10391601B2 (en) 2014-09-15 2019-08-27 Deckel Maho Pfronten Gmbh Position measuring device for use on a machine tool

Also Published As

Publication number Publication date
ATE40594T1 (de) 1989-02-15
US4593471A (en) 1986-06-10
JPH056121B2 (ja) 1993-01-25
EP0118607A3 (en) 1987-02-04
DE3379112D1 (en) 1989-03-09
EP0118607B1 (de) 1989-02-01
EP0118607A2 (de) 1984-09-19

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