JP4083205B1 - 振動制御用質量体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】振動制御用質量体70、200は、マスクまたは基板を保持して移動する移動体を備えた露光装置において移動体の移動に伴う振動を制御するために移動体に取り付けられる振動制御用質量体であって、複数の部材を備え、複数の部材の各々がタングステン合金からなり、このタングステン合金は主成分としてタングステンを80質量%以上99質量%以下含み、複数の部材は、本体部71と、本体部71を露光装置のリニアガイド502にネジで連結するための連結部材72とを含み、連結部材72の厚みLが5mm以上50mm以下である。
【選択図】図8
Description
まず、質量比率でタングステン(W)粉末:97%、ニッケル(Ni)粉末:2%、鉄(Fe)粉末:1%を配合し、ミキサで30分間乾式混合した。その後、上記の金属混合粉を篩目で1回篩い分けした。タイラ(Tyler)粒度メッシュが#150の篩目を用いた。
まず、質量比率でタングステン(W)粉末:97%、ニッケル(Ni)粉末:2%、鉄(Fe)粉末:1%を配合し、ミキサで30分間乾式混合した。その後、上記の金属混合粉を篩目で1回篩い分けした。タイラ(Tyler)粒度メッシュが#150の篩目を用いた。
Claims (3)
- マスクまたは基板を保持して移動する移動体を備えた露光装置において移動体の移動に伴う振動を制御するために移動体に取り付けられる振動制御用質量体であって、
複数の部材を備え、この複数の部材の各々がタングステン合金からなり、このタングステン合金は主成分としてタングステンを80質量%以上99質量%以下含み、
前記複数の部材は、本体部と、この本体部を露光装置のリニアガイドにネジで連結するための連結部材とを含み、この連結部材の厚みが5mm以上50mm以下である、振動制御用質量体。 - 前記タングステン合金は、0質量%を超え18質量%以下の含有量でニッケルと、鉄、銅およびコバルトからなる群より選ばれた少なくとも1種の金属と、不可避的不純物とを含む、請求項1に記載の振動制御用質量体。
- 前記タングステン合金はタングステンを90質量%以上98質量%以下含み、比重が17.0g/cm3以上である、請求項2に記載の振動制御用質量体。
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