JP2007111830A - 工作機械等の駆動用ステージ部材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】純マグネシウムまたはマグネシウムを主成分とする合金と異種金属が接合したクラッド材からなることを特徴とする駆動用ステージ部材。
【選択図】なし
Description
特許文献4は、マグネシウムまたはその合金とアルミニウムまたはその合金からなるクラッド材が開示されているが、駆動用ステージ部材に用いることに関しては何ら記載が無く、示唆もされていない。
[1] 純マグネシウムまたはマグネシウムを主成分とする合金と異種金属が接合したクラッド材からなることを特徴とする駆動用ステージ部材。
[2] 前記異種金属が2層以上であることを特徴とする[1]記載の駆動用ステージ部材
[3] 前記異種金属の外側の層がステンレスであることを特徴とする[1]及び[2]記載の駆動用ステージ部材
[4] 純マグネシウムまたはマグネシウムを主成分とする合金と異種金属の接合方法が爆発圧着法であることを特徴とする[1]〜[3]記載の駆動用ステージ部材。
[5] 設備との取り付けが、前記異種金属層を介して行われていることを特徴とする[1]から[4]記載の駆動用ステージ部材。
異種金属はその目的と使用環境により、マグネシウム合金の片面、または両面に接合される。接合界面が晒されている端面は、電解腐食等を防止するため腐食環境と遮断することが好ましい。例えば、マグネシウム合金の両面に異種金属を接合したクラッドの端面に、前記異種金属と同材質のカバープレートを外面に晒されたマグネシウム合金を覆うようにして配置し、前記異種金属の端部と全線に渡り溶接することで完全にマグネシウム合金と腐食環境を遮断できる。または樹脂等によりコーティングする方法も有効である。
[実施例1]
マシニングセンター用のステージ部材として、板厚15mmのマグネシウム合金の両面に、板厚0.5mmのJIS G 4305 SUS304Lを爆発圧着法により接合させた後、外周50mmを切断除去して500×500mmの3層クラッド板を製作した。切断端面は、4面とも板厚0.5mmのSUS304Lを前記三層クラッドの両面のSUS304Lと全線にわたり溶接して取り付け、外部と遮断した。切断除去した端部よりJIS G 0601のせん断試験片を作製し、試験を行った結果、破断はマグネシウム合金部で生じ、接合は健全に行われていることを確認した。マシニングセンター本体へは、ネジにより取り付け、ネジとクラッド材表面は溶接し、切削液の浸入を防止した。組立て終了後、ステージを高速で移動させたが、極めて良好な位置精度を有していた。また、耐食性、耐磨耗性も良好で、ステージ部材として優れた性能を持つことが確認された。
[実施例2]
半導体製造装置用のステージ部材として、板厚30mmのマグネシウム合金の片面に、板厚2mmのJIS H 4000 A1100P−Oを介して板厚3mmのJIS H 4600 TP270を、もう一方には板厚0.5mmのSUS304Lをそれぞれ爆発圧着により接合した。外周は実施例1と同様に切断除去し、切断端面は軟質ゴムを塗布しコーティングを行った。せん断試験での破断は全て素材破断であり十分な接合強度を有していた。装置本体へは、ステージ部のSUS304L部と溶接により取り付けた。取り付け後、各種試験をおこなったが、いずれもステージ部材として優れた性能を有していることが確認された。
Claims (5)
- 純マグネシウムまたはマグネシウムを主成分とする合金と異種金属が接合したクラッド材からなることを特徴とする駆動用ステージ部材。
- 前記異種金属が2層以上であることを特徴とする請求項1記載の駆動用ステージ部材。
- 前記異種金属の外側の層がステンレスであることを特徴とする請求項1及び2記載の駆動用ステージ部材。
- 純マグネシウムまたはマグネシウムを主成分とする合金と異種金属の接合方法が爆発圧着法であることを特徴とする請求項1〜3記載の駆動用ステージ部材。
- 設備との取り付けが、前記異種金属層を介して行われていることを特徴とする請求項1〜4記載の駆動用ステージ部材。
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