JP2002018768A - 搬送ロボット用支持部材 - Google Patents

搬送ロボット用支持部材

Info

Publication number
JP2002018768A
JP2002018768A JP2000201409A JP2000201409A JP2002018768A JP 2002018768 A JP2002018768 A JP 2002018768A JP 2000201409 A JP2000201409 A JP 2000201409A JP 2000201409 A JP2000201409 A JP 2000201409A JP 2002018768 A JP2002018768 A JP 2002018768A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
support member
transfer robot
molded body
reinforced plastic
robot according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000201409A
Other languages
English (en)
Inventor
Hironobu Takahama
裕宣 高濱
Hiromi Kimura
浩巳 木村
Masaki Shimada
政紀 島田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Steel Corp
Nippon Steel Chemical and Materials Co Ltd
Original Assignee
Nippon Steel Corp
Nippon Steel Composite Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Steel Corp, Nippon Steel Composite Co Ltd filed Critical Nippon Steel Corp
Priority to JP2000201409A priority Critical patent/JP2002018768A/ja
Publication of JP2002018768A publication Critical patent/JP2002018768A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manipulator (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 軽量で、剛性が高く、撓み量が少なく、しか
も、温度変化に起因する撓み量も少なく、信頼性の高い
搬送ロボット用支持部材を提供する。 【解決手段】 搬送ロボット用支持部材1は、繊維強化
プラスチックにて作製された筐体構造成形体を有する。
筐体構造成形体は、繊維強化プラスチックにて作製され
た扁平リング状成形体2を有し、扁平リング状成形体2
の両側面開口部は、平板5にて閉鎖される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶ディス
プレイ用ガラス基板などの被加工物を搬送する搬送ロボ
ットのハンド或はアームを作製するための支持部材に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、例えば液晶ディスプレイ用ガラス
基板の製造において使用される搬送ロボットのハンド或
いはアームは、主として、ステンレススチール、アルミ
ニウムなどの金属で作製されていた。
【0003】近年、各種電気、電子機器の発展と共にデ
ィスプレイ装置の大型化、低コスト化が求められ、その
結果、製造時により大きなガラス基板を取り扱うことが
要求されている。そのため、必然的に搬送ロボットのス
トロークの長尺化が必要となっている。このストローク
の長尺化の要求を満足するべく、ハンド材の軽量化、高
剛性化が求められている。
【0004】更には、ガラス基板の大型化に伴いストロ
ークのみならず幅方向の長尺化も同時に求められ、ハン
ドのみならず、ハンドを取付けるアームについてもより
軽量化、高剛性化が求められる。
【0005】つまり、アームをステンレススチールカラ
ム材で作製した場合には、重量が大となり、そのため、
ストロークの長尺化に対応してハンドのみならずアーム
も長くなった場合には、アームが長くなるにつれて自重
による撓みが増加する。
【0006】又、重量が大きくなると、慣性モーメント
が大となり、搬送ロボットの運動の開始、停止に時間が
かかり、ロボットの動作速度が遅く、位置決め精度が低
下することとなる。
【0007】更に、ロボットの動作に必要な駆動装置も
大型化せざるを得ず、必然的に設備全体の大型化、重量
増をもたらす。
【0008】そこで、軽量化対策として、ハンド或はア
ームとしてアルミニウムなどの軽金属が用いられてい
る。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、アルミ
ニウムは鉄と比較して曲げ弾性率及び捩じり弾性率が低
く、鉄と同等の撓み量を得るには、材料の厚みを増さね
ばならず、重量軽減の効果が少ない。
【0010】従って、最近では、コア材にアルミニウム
を使用し、コア材の上下面に炭素繊維強化プラスチック
を貼り合わせた構成とし、剛性の向上及び撓み量の低減
が図られている。
【0011】しかしながら、炭素繊維強化プラスチック
は、熱膨張係数が金属と比べて小さいため、炭素繊維強
化プラスチックとアルミニウムのような異質の材料とを
貼り合わせるサンドイッチ構造体の場合、製作時と使用
時の微小な温度差、使用時の温度変化による撓みが発生
するという問題がある。
【0012】従って、本発明の目的は、搬送用ロボット
のハンド或はアームを作製するための、軽量で、剛性が
高く、撓み量が少なく、しかも、温度変化に起因する撓
み量も少なく、信頼性の高い搬送ロボット用支持部材を
提供することである。
【0013】本発明の他の目的は、搬送物積載時のアー
ムの曲がり及び捩じりに起因するハンド先端の垂れ下が
り量が小さく、組立及び操業時の調整作業が簡単な、特
に搬送用ロボットのアームを作製するカラム材として好
適な搬送ロボット用支持部材を提供することである。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記目的は本発明に係る
搬送ロボット用支持部材にて達成される。要約すれば、
本発明は、繊維強化プラスチックにて作製された筐体構
造成形体を有することを特徴とする搬送ロボット用支持
部材である。
【0015】本発明の一実施態様によれば、前記筐体構
造成形体は、繊維強化プラスチックにて作製された扁平
リング状成形体を有し、前記扁平リング状成形体の両側
面開口部は、平板にて閉鎖される。
【0016】本発明の他の実施態様によれば、前記筐体
構造成形体は、繊維強化プラスチックにて作製された扁
平リング状成形体を有し、前記扁平リング状成形体の上
下両面開口部は、繊維強化プラスチックにて作製された
平板にて閉鎖される。
【0017】本発明の他の実施態様によれば、前記筐体
構造成形体は、繊維強化プラスチックにて作製された細
長形状とされる異形断面材を有する。ここで、前記異形
断面材は、天井部と、天井部より下方へと平行に延在し
ている梁部と、前記梁部に一端が接続され、前記天井部
と平行に外方へと延在したフランジ部とを有することが
できる。
【0018】本発明の他の実施態様によれば、前記異形
断面材の下面には、繊維強化プラスチックにて作製され
た平板が前記フランジ部を介して固定される。
【0019】本発明の他の実施態様によれば、前記異形
断面材の下面には、繊維強化プラスチックにて作製され
た、凹形溝及びこの溝の両側に配置されたフランジ部を
備えた細長形状の凹形部材が配置され、その両側のフラ
ンジ部を前記異形断面材のフランジ部の下面に当接して
固定される。
【0020】本発明の他の実施態様によれば、前記異形
断面材の下面には、同じ形状構造の他の前記異形断面材
が対称配置され、両異形断面材のフランジ部を互いに当
接して固定される。
【0021】本発明の他の実施態様によれば、前記筐体
構造成形体は、繊維強化プラスチックにて作製された細
長管状体とされる。
【0022】本発明の他の実施態様によれば、前記筐体
構造成形体は、その断面形状が長手方向に沿って次第に
小さくなるように形成することができる。
【0023】本発明によれば、前記筐体構造成形体の捩
じり弾性率は、27GPa以上とされる。
【0024】本発明によれば、前記繊維強化プラスチッ
クは、強化繊維が、炭素繊維、ガラス繊維、又は、アラ
ミド、ナイロン、ポリエステル、PBO(ポリパラフェ
ニレンベンズビスオキサゾール)などの有機繊維を一
種、又は、複数種混入して使用することができ、又、強
化繊維に含浸されるマトリクス樹脂が、エポキシ樹脂、
フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ビニルエス
テル樹脂、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂などの熱硬化
性樹脂、或いは、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ
アミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテ
レフタレート、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテ
ルケトン、ポリエーテルサルホン、ポリイミド、ポリフ
ェニレンサルファイドなどの熱可塑性樹脂とされる。
【0025】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る搬送ロボット
用支持部材を図面に則して更に詳しく説明する。
【0026】図10に、液晶基板をカセット位置と各種
処理作業位置との間で搬送する自動搬送装置、即ち、搬
送ロボット100の概略構成を示す。
【0027】図示される搬送ロボット100は、2アー
ム方式の搬送ロボットであり、第1のアーム機構101
と第2のアーム機構102とを有する。
【0028】第1アーム機構101にて、第1アーム1
1は、第1支点12の周りに回転自在に水平旋回台10
3に支持されており、第1アーム11には第2アーム1
3が第2支点14の周りに回転自在に支持されている。
更に、第2アーム13には、第3支点15の周りに回転
自在に第3アーム16が支持されている。この第3アー
ム16には端部連結固定材17により第3アーム16か
ら所定距離だけ離間して第4アーム18が取付けられ、
この第4アーム18に互いに平行に配置された第1及び
第2ハンド19(19A、19B)が固定されている。
【0029】第2アーム機構102では、第1アーム2
1が、第1支点22の周りに回転自在に水平旋回台10
3に支持されており、第1アーム21には第2アーム2
3が第2支点24の周りに回転自在に支持されている。
更に、第2アーム23には、第3支点25の周りに回転
自在に第3アーム26が支持されており、この第3アー
ム26に搬送用ハンド、即ち、互いに平行に配置された
第1及び第2ハンド27(27A、27B)が固定され
ている。
【0030】上記構成の搬送ロボット100の構成及び
機能は、当業者には周知であるのでこれ以上の説明は省
略する。
【0031】上記搬送ロボット100のハンド19(1
9A、19B)及び27(27A、27B)、更には、
第1アーム機構101の第1、第2、第3、第4アーム
11、13、16、18、及び、第2アーム機構102
の第1、第2、第3アーム21、23、26を形成する
支持部材は、高曲げ剛性、高捩れ剛性、軽量性が求めら
れる。従って、本発明者らは、ハンド及びアームは、筐
体構造を有することが構造力学的に優れていると考え
た。
【0032】しかしながら、一体成形による完全な閉空
間を有する筐体構造体では、特に、アーム用のカラム材
としては、搬送ロボット100の組み付け工程で空気配
管、電気配線などの作業が極めて煩雑となることが分か
った。又、設備の保全の観点から、閉空間内の空気配
管、電気配線などを定期的に点検、補修する必要があ
る。
【0033】従って、本発明では、ハンド或はアームと
して好適に使用することのできる、軽量、高曲げ剛性、
高捩れ剛性を有し、撓みが小さく、作業性、補修性に優
れた搬送ロボット用支持部材を提供する。
【0034】実施例1 図1に、搬送ロボットのハンド或はアームを形成するた
めの、特に、限定されるものではないが、アームとして
好適に使用し得る本発明に係る支持部材1の一実施例を
示す。本実施例によると、支持部材1は、扁平リング状
成形体2を有する。扁平リング状成形体2は、一定の厚
み(T)を有し、平面で見た形状が細長の長円形とされ
る。即ち、扁平リング状成形体1は、所定の間隔(G)
を持って配置された互いに平行な側面部3と、平行な両
側面部3の両端を連結する半径Rとされる湾曲した連結
部4とにて形成される。
【0035】扁平リング状成形体2の具体的寸法の一例
を挙げれば、例えば、厚み(T)が2.5mm、幅
(W)が100mm、高さ(H)が35mm、長さ
(L)が800mm、連結部半径(R)が50mmとさ
れる。
【0036】上記扁平リング状成形体2の上下面開口部
には、繊維強化プラスチックとされる平板5が適当な接
着剤樹脂を用いて、或いは、螺子止めにて固着される。
平板5の板厚は、扁平リング状成形体2と同じ板厚とす
ることができる。
【0037】本実施例の場合、上下面に配置された平板
5の、図2にて右側端部には、端部連結固定材17(図
10)のための取付穴6が形成される。
【0038】上述のように、本発明に係る支持部材1
は、繊維強化プラスチックにて形成された扁平リング状
成形体2を備え、実質的に繊維強化プラスチックからな
る筐体構造とされ、軽量で、高曲げ剛性、高捩れ剛性を
有し、そして、温度変化に伴う撓みの発生を有効に抑制
できる。
【0039】扁平リング状成形体2を構成する強化繊維
としては、炭素繊維、ガラス繊維、又は、アラミド、ナ
イロン、ポリエステル、PBO(ポリパラフェニレンベ
ンズビスオキサゾール)などの有機繊維を一種、又は、
複数種混入して使用することができる。好ましくは、高
弾性率、高熱伝導率、低熱膨張率である炭素繊維が好ま
しい。
【0040】本発明で用いる炭素繊維は、PAN系或い
はピッチ系のいずれでも良く、撓みを低減する観点か
ら、引張弾性率が通常、230GPa以上、望ましく
は、500〜1000GPaである。引張弾性率が23
0GPaに満たないと、十分な曲げ剛性及び捩じり剛性
が得られず、撓みを低減する効果が少ない。
【0041】炭素繊維の繊維径は、通常、3〜30μ
m、好ましくは5〜15μmである。炭素繊維は、長繊
維であることが必要である。
【0042】本発明の支持部材1は、種々の方法で製造
し得るが、炭素繊維を一方向に引き揃えたプリプレグを
用いてハンドレイアップにより作製することができる。
この場合に、プリプレグは、プリプレグの炭素繊維が支
持部材1の長手方向に対して平行となるようにして積層
するのが好ましい。
【0043】別法として、引抜成形方法を用い長手方向
に炭素繊維を引き揃え、成形する方法も可能である。更
には、詳しくは実施例2として後述するが、フィラメン
トワインディング法にて作製することも可能である。
【0044】上記いずれの方法により作製したとして
も、長手方向の強度のみならず、軸方向の捩れ強度を高
く保つことが重要である。その観点から、支持部材1の
長手方向に対して±45°方向に一部の層を配向させる
ことが望ましい。
【0045】又、支持部材1の最外層には、切削、穴あ
け加工時のバリ、割れなどが発生するのを抑制する目的
で、炭素繊維織物(クロス)を使用したプリプレグを配
置することが望ましい。
【0046】図1に示すような、スカラ型搬送ロボット
100に搭載する支持部材1を構成する場合には、強化
繊維に含浸されるマトリクス樹脂としては、エポキシ樹
脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ビニル
エステル樹脂、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂などの熱
硬化性樹脂、或いは、ポリエチレン、ポリプロピレン、
ポリアミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレ
ンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエーテルエ
ーテルケトン、ポリエーテルサルホン、ポリイミド、ポ
リフェニレンサルファイドなどの熱可塑性樹脂が挙げら
れる。とりわけ、熱可塑性樹脂が特に好ましく、成形性
及び各種物性発現の点でエポキシ樹脂が用いられる。
【0047】これらの樹脂には、難燃剤、カップリング
剤、導電性付与剤、無機フィラーなどを配合しても良
い。
【0048】本実施例のように、スカラ型搬送ロボット
用のハンド或はアームを形成するための支持部材1の場
合には、樹脂と炭素繊維との割合は、樹脂が20〜70
重量%、好ましくは30〜50重量%とされる。樹脂の
割合が20重量%より少ないと、炭素繊維を十分含浸す
ることができず、成形体内部にボイドなどの欠陥が発生
し、その結果、強度が低下することがある。一方、70
重量%より多いと、硬化発熱の発生量が多く、成形体内
部にクラックが発生し、同じく、強度が低下することが
ある。
【0049】実施例2 実施例1で説明した支持部材1の筐体構造体を形成する
扁平リング状成形体2は、フィラメントワインディング
により極めて好適に作製することができる。
【0050】先ず、樹脂を含浸させた炭素繊維束を、細
長長円形とされる所望形状の芯金に所定の厚みまで巻き
付ける。このとき、成形品に求められる長手方向の曲げ
弾性率、幅方向の捩じり弾性率を発現するのに必要な量
の繊維を配向させながら巻き付ける。
【0051】芯金に巻き付ける際に使用した含浸樹脂が
熱硬化性樹脂である場合は、芯金ごと加熱し、樹脂を硬
化させ、冷却後、芯金から成形品を取り外す。斯かる方
法により、管状の成形体を短時間で成形することができ
る。
【0052】フィラメントワインディングによる扁平リ
ング状成形体2を製造する際、必要な幅のものを成形し
ても良いが、より効率良く成形するために、大型の芯金
で予め巻き付け成形したものから、切り出し、扁平リン
グ状成形体2として用いることも可能である。
【0053】含浸する樹脂が熱可塑性の場合、加熱、押
圧しながら樹脂含浸を施した炭素繊維束を芯金に巻き付
け、その後、成形品が冷却された時に芯金から取り外
す。
【0054】支持部材1にて、上記扁平リング状成形体
2の開口部に適合される平板状成形体5は、引き揃えた
炭素繊維に予め未硬化の熱硬化性樹脂を含浸させて、一
方、樹脂として熱可塑性樹脂を用いた場合は、引き揃え
た炭素繊維に溶融状態の樹脂を含浸させて、プリプレグ
を作製し、複数枚のプリプレグを炭素繊維が所定の配向
となるように積層した後、加熱硬化或いは加熱成形す
る。
【0055】このようにして得られた扁平リング状成形
体2と平板状成形体5とは所定の形状に切削し、ビス穴
加工を施し、組み合わせ、筐体構造体とされる支持部材
1を形成する。
【0056】斯かる構造とされる支持部材1は、曲げ弾
性率が130GPa以上、好ましくは150〜300G
Paとされる。曲げ弾性率が130GPaより小さい
と、搬送用ロボットのハンドの長さが長いときには撓み
が大きくなりすぎ、搬送時の位置制御が困難となる。支
持部材1の捩じり弾性率(捩れ剛性)は27GPa以
上、好ましくは30〜60GPaである。捩じり弾性率
が27GPaより小さいと、この支持部材1を用いて作
製されたアームに固着されたハンドにガラス基板が積載
された際、片持ちによる捩れ変形が起こり、同じく、搬
送時の位置制御が困難となる。
【0057】実施例3 図2に本発明に係る支持部材1の他の実施例を示す。本
実施例によると、支持部材1は、扁平リング状成形体2
を有する。扁平リング状成形体2は、一定の厚み(T)
を有し、正面から見た形状が細長の長円形とされる。即
ち、扁平リング状成形体2は、上下に所定の間隔(G)
をもって配置された互いに平行な水平面部3と、平行な
両水平面部3の両端を連結する半径Rとされる湾曲した
連結部4とにて形成される。
【0058】扁平リング状成形体2の具体的寸法の一例
を挙げれば、例えば、厚み(T)が2.5mm、幅
(W)が100mm、高さ(H)が35mm、長さ
(L)が800mm、連結部半径(R)が15mmとさ
れる。
【0059】上記扁平リング状成形体2の両側面開口部
には、両側面と同形状とされる平板5が適当な接着剤樹
脂或いは螺子止めにて固着される。平板5は、繊維強化
プラスチック板とされ、板厚は、扁平リング状成形体2
と同じ板厚、例えば2.5mmとすることができる。
【0060】又、本実施例では、扁平リング状成形体2
の、図2にて右側端部下面側に、端部固定座部17Aが
形成される。この座部17Aは、所要の形状に形成され
たアルミニウム、或いは、繊維強化プラスチックを使用
することができる。
【0061】本実施例の扁平リング状成形体2もまた、
実施例1で説明した材料及び製造方法により、又、実施
例2で説明したと同様の製造方法にて製造することがで
きる。
【0062】実施例4 図3に本発明に係る支持部材1の他の実施例を示す。本
実施例によると、支持部材1は、横断面形状がが異形と
される細長異形断面材30と、平板31とにて筐体構造
成形体とされる。平板31は、用途に応じて省略するこ
とができる。
【0063】つまり、細長異形断面材30は、図4をも
参照するとよりよく理解されるように、天井部32と、
天井部32より下方へと平行に延在している梁部33
と、梁部33に一端が接続され、天井部32と平行に外
方へと延在したフランジ部34とを有する。天井部3
2、梁部33及びフランジ部34は、一定の厚み(T)
を有している。梁部33は、必ずしも左右対称に配置さ
れる必要はない。
【0064】細長異形断面材30の具体的寸法の一例を
挙げれば、例えば、厚み(T)が2.5mm、天井部3
2の幅(W)が100mm、高さ(H)が35mm、両
梁部33の間隔(W1)が80mmとされ、通常、左右
対称構造とされるが、これに限定されるものではない。
本実施例では、図4にて、右側のフランジ部34の幅
(W2)が10mm、左側のフランジ部34の幅(W
3)が10mmとされる。又、細長異形断面材1の長さ
(L)は、800mmである。
【0065】上記細長異形断面材30の下面には、フラ
ンジ部34を利用して平板31が適当な接着剤樹脂或い
は螺子止めにて固着される。平板31は、繊維強化プラ
スチック板とされ、板厚(T1)は、扁平リング状成形
体30と同じ板厚、例えば2.5mmとすることができ
る。
【0066】上記構成の支持部材1は、支持部材1の中
央部及び両側部に空間部S1、S2、S3が形成された
筐体構造成形体とされ、軽量で、高曲げ剛性、高捩れ剛
性を有し、そして、温度変化に伴う撓みの発生を有効に
抑制できる。又、この空間部S1、S2、S3を利用し
て、配管、配線などを行うことができ、極めて好便であ
る。
【0067】本実施例の細長異形断面材30もまた、実
施例1で説明した材料を使用し、プリプレグを積層す
る、所謂、ハンドレイアップ法により製造することがで
きる。
【0068】上記実施例では、細長異形断面材30は、
細長異形断面材30の下面にフランジ部34を利用して
平板31が固着されるものとして説明したが、図5に示
すように、凹形溝41及びこの溝41の両側に配置され
たフランジ部42を備えた細長形状の凹形部材40とす
ることもできる。この場合には、両側のフランジ部42
を細長異形断面材フランジ部34の下面に接着或いは螺
子止めにより固定される。この実施例においては、中央
部により大きな空間S1を有することにより、より大き
な、高曲げ剛性、高捩れ剛性を発揮することができる。
【0069】更に、図6に示すように、本発明の支持部
材1は、上記細長異形断面材30を、対称配置して、そ
れぞれの細長異形断面材30のフランジ部34を利用し
て互いに接着或いは螺子止めにより固定して形成するこ
ともできる。この場合には、更に、大きな、高曲げ剛
性、高捩れ剛性を発揮することができる。又、支持部材
1の中央部に空間部S1を有し、更に、側部には4つに
区分された空間部S2、S3、S4、S5が形成される
ので、配管、配線などを都合よく行うことができる、と
いった利点がある。
【0070】細長異形断面材30は、図7に示すよう
に、その断面形状が長手方向に沿って次第に小さくなる
ように形成することができる。つまり、この場合には、
一端における天井部32の幅(W)及び両梁部33の間
隔(W1)は、他端ではそれぞれ幅W’、W1’となる
ように縮小される。このような変化は、図示するように
連続的な変化とすることもできるが、図示してはいない
が段状に変化する構成とすることも可能である。勿論、
平板31も細長異形断面材30に合わせて変化させるの
が好ましい。
【0071】同様に、実施例1〜3にて説明した図1、
図2に示す筐体構造体においても、扁平リング状成型体
2の断面形状を長手方向に沿って次第に小さくなるよう
に形成することができる。
【0072】実施例5 図8に本発明に係る支持部材1の他の実施例を示す。本
実施例によると、支持部材1は、矩形断面をした細長管
状体50にて構成される。細長管状体50は、一定の厚
み(T)を有する。
【0073】細長管状体50の具体的寸法の一例を挙げ
れば、例えば、厚み(T)が2.5mm、幅(W)が1
00mm、高さ(H)が35mm、長さ(L)が800
mmとされる。
【0074】上記構成の支持部材1は、支持部材1の長
手方向に沿って中央部に空間部S1が形成された筐体構
造成形体とされ、軽量で、高曲げ剛性、高捩れ剛性を有
し、そして、温度変化に伴う撓みの発生を有効に抑制で
きる。又、この空間部S1を利用して、配管、配線など
を行うことができる。
【0075】又、本実施例では、細長管状体50の、図
8にて右側端部には、端部連結固定部材17Bが形成さ
れる。この部材17Bは、例えば矩形状といった所要の
形状に形成されたアルミニウム、或いは、繊維強化プラ
スチック製の基体51と、該基体51に一体に形成さ
れ、細長管状体50の外側或いは内側穴部に嵌合して一
体とされる接続部52が形成される。
【0076】本実施例の細長管状体50もまた、実施例
1で説明した材料及び製造方法により、又、実施例2で
説明したと同様のフィラメントワインディング方法にて
製造することができる。
【0077】本実施例においても、実施例4と同様に、
細長管状体50の断面形状を長手方向に沿って次第に小
さくなるように形成することができる。
【0078】実施例6 実施例1にて説明した図1に示す構成の支持部材1を使
用して、図10に示すスカラ型搬送ロボットの第1アー
ム機構101における第3アーム16及び第4アーム1
8を作製した。
【0079】第3アーム16及び第4アーム18は、図
9に示すように、その一端をスチール製連結軸17にて
一体的に連結して一体とし、第4アーム18の下面に炭
素繊維強化プラスチック製のハンド19A、19Bが2
本平行に固定された。
【0080】第3アーム及び第4アーム16、18を形
成した支持部材1の扁平リング状成形体2は、強化繊維
として炭素繊維、樹脂としてエポキシ樹脂を用いて、実
施例2で説明したフィラメントワインディング方法によ
り作製した。
【0081】又、第3アーム16の扁平リング状成形体
2は、幅(W)100mm、高さ(H)25mm、長さ
(L)500mm、厚さ(T)5mmであり、第4アー
ム18の扁平リング状成形体2は、幅(W)100m
m、高さ(H)24mm、長さ(L)800mm、厚さ
(T)3mmであった。又、各扁平リング状成形体2に
は、その開口部にそれぞれ同じ厚さとされる5mm厚の
炭素繊維強化プラスチック製平板5を接着樹脂にて貼り
付けた。
【0082】得られた炭素繊維強化プラスチック製支持
部材1の物性は、曲げ弾性率が136GPa、捩じり弾
性率が33.7GPa、比重が1.7であった。
【0083】第3及び第4アーム用支持部材1は、所定
の機械加工を施し、上述のように、その一端をスチール
製連結固定材17にて一体的に連結して一体とした。
【0084】ハンド19(19A、19B)は、各扁平
リング状成形体2を作製した炭素繊維と同じ物性を有す
る炭素繊維を使用した炭素繊維強化プラスチック製とさ
れ、その断面形状は、図9に示すように、図3に示す細
長異形断面材30と同じ形状のものとされ、天井部32
が第4アーム18に螺子止めして一体とされた。具体的
には、ハンド19は、幅(w)60mm、(w1)26
mm、高さ(h)11mm、長さ(l)1000mm、
厚さ(t)2mmであった。両ハンドの固定位置は、中
心間距離で300mm離間していた。
【0085】上記構成にて、第4アーム18の2本のハ
ンド19(19A、19B)に4kgのガラス基板を積
載した際の各部位に起因するハンド先端の撓み量を表1
に示す。ただし、第1及び第2ハンド19(19A、1
9B)の積載による撓み量は含まない。
【0086】
【表1】
【0087】比較例1 図10の搬送ロボットの第3及び第4アーム16、18
をアルミニウムを使用して、実施例6で説明したと同様
の形状にて作製した。使用したアルミニウムの物性は、
曲げ弾性率が70.3GPa、捩じり弾性率が26.1
GPa、比重が2.7であった。
【0088】ハンド19(19A、19B)は、実施例
6と同じ炭素繊維強化プラスチック製のハンドとされ、
実施例6と同様に、第4アーム18に螺子止めにより一
体に固定した。両ハンド19(19A、19B)の固定
位置は中心間距離で300mm離間していた。
【0089】上記構成にて、第4アーム18の2本のハ
ンド19(19A、19B)に4kgのガラス基板を積
載した際の各部位に起因するハンド先端の撓み量を表1
に示す。ただし、第1及び第2ハンド19(19A、1
9B)の積載による撓み量は含まない。
【0090】実施例7 実施例1にて説明した図1に示す構成の支持部材1を使
用して、図10に示すスカラ型搬送ロボットの第2のア
ーム機構102における第3アーム26を作製した。
【0091】支持部材1の扁平リング状成形体2は、強
化繊維として炭素繊維、樹脂としてエポキシ樹脂を用い
て、実施例2で説明したフィラメントワインディング方
法により作製した。
【0092】又、第3アーム26を作製した支持部材1
の扁平リング状成形体2は、幅(W)94mm、高さ
(H)30mm、長さ(L)800mm、厚さ(T)3
mmであった。又、各扁平リング状成形体2には、その
開口部にそれぞれ同じ厚さとされる3mm厚の炭素繊維
強化プラスチック製平板5を接着樹脂にて貼り付けた。
【0093】得られた炭素繊維強化プラスチック製支持
部材の1物性は、曲げ弾性率が175.2GPa、捩じ
り弾性率が43.8GPa、比重が1.7であった。
【0094】ハンド27(27A、27B)は、実施例
6と同じ構成のものを使用し、同じ態様で、第3アーム
26に螺子止めにより一体に固定した。両ハンド27
(27A、27B)の固定位置は300mm離間してい
た。
【0095】上記構成にて、第3アーム26の2本のハ
ンド27(27A、27B)に4kgのガラス基板を積
載した際の各部位に起因するハンド先端の撓み量を表2
に示す。ただし、第1及び第2ハンド27(27A、2
7B)の積載による撓み量は含まない。
【0096】
【表2】
【0097】比較例2 図10の搬送ロボット100の第3アーム26をアルミ
ニウムを使用して、実施例7で説明したと同様の形状に
て作製した。使用したアルミニウムの物性は、曲げ弾性
率が70.3GPa、捩じり弾性率が26.1GPa、
比重が2.7であった。
【0098】ハンド27(27A、27B)は、実施例
7と同じ炭素繊維強化プラスチック製のハンドとされ、
実施例7と同様に、第3アーム26に螺子止めにより一
体に固定した。両ハンド27(27A、27B)の固定
位置は中心間距離で300mm離間していた。
【0099】上記構成にて、第3アーム26の2本のハ
ンド27(27A、27B)に4kgのガラス基板を積
載した際の各部位に起因するハンド先端の撓み量を表2
に示す。ただし、第1及び第2ハンド27(27A、2
7B)の積載による撓み量は含まない。
【0100】実施例8 実施例4にて説明した図3に示す構成の支持部材1を使
用して、図10に示すスカラ型搬送ロボットの第1のア
ーム機構101における第3アーム16及び第4アーム
18を作製した。図9に示すように、第3アーム16及
び第4アーム18のための支持部材1は、その一端をス
チール製連結固定材17にて一体的に連結して一体と
し、第4アーム18の下面に炭素繊維強化プラスチック
製のハンド19(19A、19B)が2本平行に固定さ
れた。
【0101】支持部材1の異形断面材30は、強化繊維
として炭素繊維、樹脂としてエポキシ樹脂を用いて作製
したプリプレグをハンドレイアップ法にて積層して作製
した。
【0102】又、第3アームの異形断面材30は、図4
をも参照して、厚み(T)が3.0mm、天井部32の
幅(W)が100mm、高さ(H)が35mm、両梁部
33の間隔が80mmとされ、細長異形断面材の長さ
(L)は、500mmであった。又、異形断面材30に
は、その下面側に厚さ3.0mmの炭素繊維強化プラス
チック製平板31を接着樹脂にて貼り付けた。
【0103】又、第4アーム18の異形断面材30は、
厚み(T)が3.0mm、天井部32の幅(W)が10
0mm、高さ(H)が35mm、両梁部33の間隔が8
0mmとされ、細長異形断面材の長さ(L)は、800
mmであった。又、異形断面材30には、その下面側に
厚さ3.0mmの炭素繊維強化プラスチック製平板31
を接着樹脂にて貼り付けた。
【0104】得られた炭素繊維強化プラスチック製支持
部材1の物性は、曲げ弾性率が136GPa、捩じり弾
性率が33.7GPa、比重が1.7であった。
【0105】第3及び第4アーム用支持部材1は、所定
の機械加工を施し、その一端をスチール製連結軸17に
て一体的に連結して一体とした。
【0106】ハンド19(19A、19B)は、実施例
6、7で使用したと同じ材料、構成とされ、第4アーム
18に螺子止めして一体とされた。具体的には、ハンド
19(19A、19B)は、幅(w)60mm、(w
1)26mm、高さ(h)11mm、長さ(l)100
0mm、厚さ(t)2mmであった。両ハンド19(1
9A、19B)の固定位置は、中心間距離で300mm
離間していた。
【0107】上記構成にて、第4アーム18の2本のハ
ンド19(19A、19B)に4kgのガラス基板を積
載した際の各部位に起因するハンド先端の撓み量を表1
に示す。ただし、第1及び第2ハンド19(19A、1
9B)の積載による撓み量は含まない。
【0108】実施例9 実施例4にて説明した図3に示す構成の支持部材1を使
用して、図10に示すスカラ型搬送ロボットの第2のア
ーム機構102における第3アーム26を作製した。
【0109】支持部材1の異形断面材30は、強化繊維
として炭素繊維、樹脂としてエポキシ樹脂を用いて作製
したプリプレグをハンドレイアップ法にて積層して作製
した。
【0110】又、第3アーム26の異形断面材30は、
図4をも参照して、厚み(T)が5mm、天井部32の
幅(W)が100mm、高さ(H)が35mm、両梁部
33の間隔が80mmとされ、細長異形断面材30の長
さ(L)は、800mmであった。又、異形断面材30
には、その下面側に厚さ5mmの炭素繊維強化プラスチ
ック製平板31を接着樹脂にて貼り付けた。
【0111】得られた炭素繊維強化プラスチック製支持
部材1の物性は、曲げ弾性率が136GPa、捩じり弾
性率が33.7GPa、比重が1.7であった。
【0112】ハンド部材は、実施例8と同じものを使用
し、同じ態様で、第3アーム26に螺子止めにより一体
に固定した。両ハンド27(27A、27B)の固定位
置は300mm離間していた。
【0113】上記構成にて、第3アーム26の2本のハ
ンドに4kgのガラス基板を積載した際の各部位に起因
するハンド先端の撓み量を表2に示す。ただし、第1及
び第2ハンド27(27A、27B)の積載による撓み
量は含まない。
【0114】本発明の搬送ロボット用支持部材は、軽量
であるため組立作業性に優れるのみならず、可動時の動
作精度、制振性に優れている。
【0115】又、表1及び表2から分かるように、ガラ
ス基板積載時のアーム26の曲がり及び捩じりに起因す
るハンド先端の垂れ下がり量が小さく、且つ、2本の垂
れ下がり量の差が小さく抑えることができる。その結
果、組立及び操業時の調整作業が簡単な上、搬送物の収
納ケース間隔を狭くでき、収納スペースをコンパクトに
できるといった利点をも有している。
【0116】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る搬送
ロボット用支持部材は、繊維強化プラスチックにて作製
された筐体構造成形体を有する構成とされるので、 (1)軽量で、剛性が高く、撓み量が少なく、しかも、
温度変化に起因する撓み量も少なく、信頼性が高い。 (2)搬送物積載時のアームの曲がり及び捩じりに起因
するハンド先端の垂れ下がり量が小さく、組立及び操業
時の調整作業が簡単である。 (3)搬送物積載時のアームの曲がり及び捩じりに起因
するハンド先端の垂れ下がり量が小さく、且つ、2本の
アームの垂れ下がり量の差が小さく抑えることができ
る、それによって、搬送物の収納ケース間隔を狭くで
き、収納スペースをコンパクトにできる。といった効果
を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る搬送ロボット用支持部材の一実施
例の分解斜視図である。
【図2】本発明に係る搬送ロボット用支持部材の他の置
実施例の分解斜視図である。
【図3】本発明に係る搬送ロボット用支持部材の他の実
施例の分解斜視図である。
【図4】本発明に係る搬送ロボット用支持部材の他の実
施例の断面図である。
【図5】本発明に係る搬送ロボット用支持部材の他の実
施例の断面図である。
【図6】本発明に係る搬送ロボット用支持部材の他の実
施例の断面図である。
【図7】本発明に係る搬送ロボット用支持部材の他の実
施例のの分解斜視図である。
【図8】本発明に係る搬送ロボット用支持部材の他の実
施例の斜視図である。
【図9】本発明に係る搬送ロボット用支持部材を搬送ロ
ボットのアームに使用した構成を示す概略正面図であ
る。
【図10】本発明に係る搬送ロボット用支持部材を適用
し得る搬送ロボットの一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 支持部材 2 扁平リング状成形体 5 平板 30 異形断面材 31 平板 32 天井部 33 梁部 34 フランジ部 40 凹形部材 41 凹形溝 42 フランジ部 50 細長管状体 100 搬送ロボット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木村 浩巳 東京都中央区日本橋小舟町3−8 日鉄コ ンポジット株式会社内 (72)発明者 島田 政紀 東京都千代田区大手町2−6−3 新日本 製鐵株式会社内 Fターム(参考) 3F060 AA01 AA07 BA06 EA05 EB12 EC12

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 繊維強化プラスチックにて作製された筐
    体構造成形体を有することを特徴とする搬送ロボット用
    支持部材。
  2. 【請求項2】 前記筐体構造成形体は、繊維強化プラス
    チックにて作製された扁平リング状成形体を有し、前記
    扁平リング状成形体の両側面開口部は、平板にて閉鎖さ
    れることを特徴とする請求項1に記載の搬送ロボット用
    支持部材。
  3. 【請求項3】 前記筐体構造成形体は、繊維強化プラス
    チックにて作製された扁平リング状成形体を有し、前記
    扁平リング状成形体の上下両面開口部は、繊維強化プラ
    スチックにて作製された平板にて閉鎖されることを特徴
    とする請求項1に記載の搬送ロボット用支持部材。
  4. 【請求項4】 前記筐体構造成形体は、繊維強化プラス
    チックにて作製された細長形状とされる異形断面材を有
    することを特徴とする請求項1に記載の搬送ロボット用
    支持部材。
  5. 【請求項5】 前記異形断面材は、天井部と、天井部よ
    り下方へと平行に延在している梁部と、前記梁部に一端
    が接続され、前記天井部と平行に外方へと延在したフラ
    ンジ部とを有することを特徴とする請求項4に記載の搬
    送ロボット用支持部材。
  6. 【請求項6】 前記異形断面材の下面には、繊維強化プ
    ラスチックにて作製された平板が前記フランジ部を介し
    て固定されることを特徴とする請求項5に記載の搬送ロ
    ボット用支持部材。
  7. 【請求項7】 前記異形断面材の下面には、繊維強化プ
    ラスチックにて作製された、凹形溝及びこの溝の両側に
    配置されたフランジ部を備えた細長形状の凹形部材が配
    置され、その両側のフランジ部を前記異形断面材のフラ
    ンジ部の下面に当接して固定されることを特徴とする請
    求項5に記載の搬送ロボット用支持部材。
  8. 【請求項8】 前記異形断面材の下面には、同じ形状構
    造の他の前記異形断面材が対称配置され、両異形断面材
    のフランジ部を互いに当接して固定されることを特徴と
    する請求項5に記載の搬送ロボット用支持部材。
  9. 【請求項9】 前記筐体構造成形体は、繊維強化プラス
    チックにて作製された細長管状体とされることを特徴と
    する請求項1に記載の搬送ロボット用支持部材。
  10. 【請求項10】 前記筐体構造成形体は、その断面形状
    が長手方向に沿って次第に小さくなるように形成される
    ことを特徴とする請求項1〜9のいずれかの項に記載の
    搬送ロボット用支持部材。
  11. 【請求項11】 前記筐体構造成形体の捩じり弾性率が
    27GPa以上であることを特徴とする請求項1〜10
    のいずれかの項に記載の搬送ロボット用支持部材。
  12. 【請求項12】 前記繊維強化プラスチックは、強化繊
    維が、炭素繊維、ガラス繊維、又は、アラミド、ナイロ
    ン、ポリエステル、PBO(ポリパラフェニレンベンズ
    ビスオキサゾール)などの有機繊維を一種、又は、複数
    種混入して使用されることを特徴とする請求項1〜11
    のいずれかの項に記載の搬送ロボット用支持部材。
  13. 【請求項13】 前記繊維強化プラスチックは、強化繊
    維に含浸されるマトリクス樹脂が、エポキシ樹脂、フェ
    ノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ビニルエステル
    樹脂、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂などの熱硬化性樹
    脂、或いは、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアミ
    ド、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフ
    タレート、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケ
    トン、ポリエーテルサルホン、ポリイミド、ポリフェニ
    レンサルファイドなどの熱可塑性樹脂とされることを特
    徴とする請求項1〜12のいずれかの項に記載の搬送ロ
    ボット用支持部材。
JP2000201409A 2000-07-03 2000-07-03 搬送ロボット用支持部材 Pending JP2002018768A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000201409A JP2002018768A (ja) 2000-07-03 2000-07-03 搬送ロボット用支持部材

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000201409A JP2002018768A (ja) 2000-07-03 2000-07-03 搬送ロボット用支持部材

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002018768A true JP2002018768A (ja) 2002-01-22

Family

ID=18699108

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000201409A Pending JP2002018768A (ja) 2000-07-03 2000-07-03 搬送ロボット用支持部材

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002018768A (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005305569A (ja) * 2004-04-19 2005-11-04 Mitsubishi Kagaku Sanshi Corp 機械用構造材およびロボットアーム装置用ハンド
JPWO2005102618A1 (ja) * 2004-04-20 2008-03-13 新日本石油株式会社 産業ロボット用ハンド及びその製造方法
JP2009190149A (ja) * 2008-02-18 2009-08-27 Toray Ind Inc 繊維強化プラスチック製リンク構造体
JP2009195998A (ja) * 2008-02-19 2009-09-03 Toray Ind Inc 繊維強化プラスチック製リンク構造体の関節構造
JP2010201823A (ja) * 2009-03-04 2010-09-16 Kyocera Chemical Corp 搬送用シャフト
JP2013018058A (ja) * 2011-07-07 2013-01-31 Ulvac Japan Ltd 搬送ロボット
WO2017060734A1 (en) * 2015-10-09 2017-04-13 Automata Technologies Limited Robot arm
WO2019030959A1 (ja) * 2017-08-07 2019-02-14 株式会社タマス 卓球ラケットのブレード
JP2020015127A (ja) * 2018-07-25 2020-01-30 ファナック株式会社 ロボットアームとその製造方法およびロボット

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4696467B2 (ja) * 2004-04-19 2011-06-08 三菱樹脂株式会社 ロボットアーム装置用ハンド
JP2005305569A (ja) * 2004-04-19 2005-11-04 Mitsubishi Kagaku Sanshi Corp 機械用構造材およびロボットアーム装置用ハンド
JPWO2005102618A1 (ja) * 2004-04-20 2008-03-13 新日本石油株式会社 産業ロボット用ハンド及びその製造方法
JP4980712B2 (ja) * 2004-04-20 2012-07-18 Jx日鉱日石エネルギー株式会社 ロボットハンド部材、その製造方法及びロボットハンド
JP2009190149A (ja) * 2008-02-18 2009-08-27 Toray Ind Inc 繊維強化プラスチック製リンク構造体
JP2009195998A (ja) * 2008-02-19 2009-09-03 Toray Ind Inc 繊維強化プラスチック製リンク構造体の関節構造
JP2010201823A (ja) * 2009-03-04 2010-09-16 Kyocera Chemical Corp 搬送用シャフト
JP2013018058A (ja) * 2011-07-07 2013-01-31 Ulvac Japan Ltd 搬送ロボット
WO2017060734A1 (en) * 2015-10-09 2017-04-13 Automata Technologies Limited Robot arm
WO2019030959A1 (ja) * 2017-08-07 2019-02-14 株式会社タマス 卓球ラケットのブレード
JP2020015127A (ja) * 2018-07-25 2020-01-30 ファナック株式会社 ロボットアームとその製造方法およびロボット
CN110774261A (zh) * 2018-07-25 2020-02-11 发那科株式会社 机器人臂与其制造方法以及机器人
US11926050B2 (en) 2018-07-25 2024-03-12 Fanuc Corporation Robot arm, manufacturing method therefor, and robot

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI468272B (zh) 碳纖維強化塑膠製搬送用構件及利用此搬送用構件之機械手
US7833455B2 (en) Robot hand member and method of producing the same
KR20180056649A (ko) 하우징
JP2002018768A (ja) 搬送ロボット用支持部材
EP2674265A1 (en) Shaped pipe body
JP2010524241A (ja) 基板を搬送するためのエンドエフェクタおよびロボット
JP2000343476A (ja) 搬送用部材
US5554430A (en) Low CTE boron/carbon fiber laminate
JP2008279590A (ja) 搬送用ロボットハンド
KR101307627B1 (ko) Cfrp 제 반송용 부재 및 그것을 사용한 로봇 핸드
US5916682A (en) Carbon fiber reinforced composite material
CN102806667B (zh) 基板收纳盒用纤维增强树脂制支承杆的制造方法
KR101029783B1 (ko) 평판 디스플레이 제조장비에 이용되는 지지대용 빔 및 이를구비한 디스펜서
JP5277338B2 (ja) 基板収納カセット用繊維強化樹脂製サポートバーの製造方法
JP4696467B2 (ja) ロボットアーム装置用ハンド
JP3632846B2 (ja) ロボットハンド部材及びその製造方法
JP5920943B2 (ja) 受け台用横梁及びこれを適用した基板処理装置
KR102165562B1 (ko) 기판이송로봇용 포크장치
US20150182824A1 (en) Shaft made of fiber-reinforced composite material
JP2006123209A (ja) 精密機器用複合構造材、精密機器用複合構造材の製造方法及び精密機器用部品
KR100760168B1 (ko) 반송용 부재
JPH11354608A (ja) 搬送装置用ハンド
JPH02169633A (ja) 繊維強化複合材料
KR20140138032A (ko) 파이프 성형체
US20250001735A1 (en) Structure, method of manufacturing structure, and processing apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040224

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20040629