CN104112689A - 横梁和用于处理衬底的设备 - Google Patents

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CN104112689A CN201410156015.7A CN201410156015A CN104112689A CN 104112689 A CN104112689 A CN 104112689A CN 201410156015 A CN201410156015 A CN 201410156015A CN 104112689 A CN104112689 A CN 104112689A
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Abstract

本发明提供一种横梁和一种衬底处理设备。所述横梁包含:棱柱结构,所述棱柱结构具有正四方柱形状且由金属材料形成,所述棱柱结构通过将多个板形产品耦接而制造;以及碳纤维增强材料,所述碳纤维增强材料绕着所述棱柱结构的外侧缠绕若干次且重复地堆叠。

Description

横梁和用于处理衬底的设备
技术领域
本发明涉及横梁以及用于通过使用横梁来处理衬底的设备。
背景技术
一般来说,施配器是用来在用于制造例如LCD和OLED等平板显示器的过程中将密封剂或液晶涂覆(或滴落)到衬底上的衬底处理设备。也就是说,此类施配器可在衬底设置在台上的状态下通过使用施配头单元将密封剂涂覆到衬底上或将液晶滴落到衬底上。
图1是施配器的视图。所述施配器包含用于支撑施配头单元20的支撑梁10。支撑梁10可设置在框架上以沿着导轨在X轴方向上移动,且施配头单元20可相对于支撑梁10在Y轴和Z轴方向上移动。因此,施配头单元20可在相对于衬底在X轴、Y轴和Z轴方向上相对移动时将密封剂或液晶涂覆到衬底上。
此处,支撑梁10可包含横过放置衬底的台的长的结构。所述结构可沿施配器的X轴方向长长地设置以支撑施配头单元20。支撑梁10可被叫做横梁或大梁(在下文中,支撑梁将被称作横梁)。
一般来说,横梁10可被制造为铸造结构或挤压结构。铸造结构在重量上可能会增加。并且,在铸造结构的特性方面,铸造用砂可以是可从铸造结构移除的。因此,铸造结构可能具有重量重且刚性弱的缺点。并且,在挤压结构的特性方面,挤压结构在长度上可能是有限的。因此,如果梁的长度较长,那么在刚性方面,梁的一部分在结构上可能是弱的。为了解决铸造结构和挤压结构的上述限制,直到最近为止,已以各种方式开发出使用碳纤维增强塑料(CFRP)的方法。例如,第10-0712680号韩国专利揭示了一种用于将圆形CFRP附接到挤压结构内部的方法。
然而,这种方法可利用通过使用螺栓将各自具有板形或圆形形状的CFRP组装到挤压结构或通过使用环氧树脂(树脂)将各自具有板形或圆形形状的CFRP附接到挤压结构的方法。也就是说,在相关技术中,虽然CFRP在直角转角处彼此会合,但CFRP彼此分离。并且,当挤压结构经由挤压(拉拔)制造成长的时,如图2所说明,挤压结构可能具有较差直线度。明确地说,随着平板显示器中衬底变大,设备也可能变大。因此,横梁可具有约4米或4米以上的长度。因此,随着横梁长度增加,直线度可能会恶化。会这样的原因是,施配头单元通过例如横梁等线性运动结构而移动且因此如图2所说明具有较差直线度。
并且,由于挤压结构具有空的结构,因此如果对挤压结构进行处理,那么挤压结构的壁可能会坍塌。因此,可能难以进行用于改善直线度和平面度的过程。根据2008年申请的第10-1029783号韩国专利,为了解决上述限制,可将CFRP彼此组装,且接着,可将各自具有极厚厚度的金属板另外组装到CFRP的外表面(四个表面),从而改善直线度和平面度。虽然不对具有空白空间的挤压结构进行处理,但如第10-1029783号韩国专利中所揭示,可通过使用例如CFRP等金属材料来增补挤压结构的刚性。因此,可进行额外处理过程以确保直线度和平面度以使施配头单元能够直线移动。然而,当进行用于改善长度约4米的横梁中的挤压缺陷的额外处理过程时,对最外金属材料进行处理的深度可为约5毫米。因此,设置在CFRP的各个外表面上的金属板可能要在厚度极厚的情况下进行组装,从而增加最终横梁的重量。
[现有技术文件]
[专利文件]
第10-0712680号韩国专利
发明内容
本发明提供一种经由除了挤压模制之外的其它方法制造以改善其直线度和平面度的横梁。
本发明还提供一种经由除了板式涂布方法之外的其它类型的涂布方法制造的碳纤维增强材料。
本发明还提供一种重量轻且改善自然频率和变形的误差的横梁。
根据一示范性实施例,一种横梁包含:棱柱结构,所述棱柱结构具有正四方柱形状且由金属材料形成,所述棱柱结构通过将多个板形产品耦接而制造;以及碳纤维增强材料,所述碳纤维增强材料绕着所述棱柱结构的外侧缠绕若干次且重复地堆叠。
所述棱柱结构可包含:作为矩形板而提供的第一板形产品,所述第一板形产品具有作为长边的第一长边和作为短边的第一短边,其中所述第一长边比所述第一短边长;作为矩形板而提供的第二板形产品,所述第二板形产品具有作为长边的第二长边和作为短边的第二短边,其中所述第二长边比所述第二短边长;作为矩形板而提供的第三板形产品,所述第三板形产品具有作为长边的第三长边和作为短边的第三短边,其中所述第三长边比所述第三短边长;以及作为矩形板而提供的第四板形产品,所述第四板形产品具有作为长边的第四长边和作为短边的第四短边,其中所述第四长边比所述第四短边长,其中所述第一板形产品、所述第二板形产品、所述第三板形产品以及所述第四板形产品可分别耦接到所述棱柱结构的左表面、顶表面、右表面和底表面以形成正四方柱形状。
所述第一板形产品、所述第二板形产品、所述第三板形产品以及所述第四板形产品中的每一个可具有根据所述横梁的大小来确定长度的所述长边和短边。
所述板形产品中的每一个的所述短边可具有比所述长边的长度的十分之一大的长度。
所述碳纤维增强材料可包含将碳纤维与环氧树脂混合的碳纤维增强塑料(CFRP)。
所述碳纤维增强材料可通过重复地卷绕所述CFRP以环绕所述棱柱结构的左表面、顶表面、右表面和底表面的外侧直到所述CFRP具有所要厚度为止且接着使所述CFRP热固化或自然固化来制造。
线状凹槽可界定于所述棱柱结构的所述左表面和右表面中的至少一个中,且环绕所述棱柱结构的所述碳纤维增强材料可穿过以对应于所述线状凹槽且因此向外暴露。
由金属材料形成的分离支撑件可耦接到所述线状凹槽。
所述横梁可还包含由金属材料形成的增强平台,所述增强平台设置于所述棱柱结构内以支撑所述棱柱结构的左表面、顶表面、右表面和底表面。
根据另一示范性实施例,一种衬底处理设备包含:衬底台,所述衬底搁置在所述衬底台上;以及横梁,所述横梁沿着所述衬底台的上部部分移动,其中横梁包含:棱柱结构,所述棱柱结构具有正四方柱形状且由金属材料形成,所述棱柱结构通过将多个板形产品耦接而制造;以及碳纤维增强材料,所述碳纤维增强材料绕着所述棱柱结构的外侧缠绕若干次且重复地堆叠。
附图说明
可结合附图从以下描述更详细地理解示范性实施例。
图1是包含用于支撑施配头单元的横梁的原材料溶液施配器的透视图。
图2是说明根据相关技术的挤压方法挤压形成的经处理产品的较差表面直线度的实例的视图。
图3(a)、图3(b)是说明根据示范性实施例的将多个板式的经处理产品彼此耦接以制造棱柱形结构的过程的透视图。
图4(a)、图4(b)是说明根据示范性实施例的将碳纤维增强塑料(CFRP)绕着棱柱形结构的外表面缠绕且重复地堆叠的过程的视图。
图5(a)、图5(b)是说明根据示范性实施例的支撑件安装于线状凹槽中的状态的视图。
图6是说明根据示范性实施例的棱柱形结构是通过将肋状物安装于其中而增强的状态的视图。
主要元件标号说明:
10:支撑梁
20:施配头单元
100:棱柱形结构
110:板形产品
110a:第一长边
110a′:第一A长边
110a″:第一B长边
110b:第一短边
110b′:第一A短边
110b″:第一B短边
120:板形产品
120a:第二长边
120a′:第二A长边
120a″:第二B长边
120b:第二短边
130:板形产品
130a:第三长边
130a′:第三A长边
130a″:第三B长边
130b:第三短边
140:板形产品
140a:第四长边
140a′:第四A长边
140a″:第四B长边
140b:第四短边
150:线状凹槽
160:支撑件
200:碳纤维增强材料
300:增强平台
H:垂直方向上的横截面的长度
L:横梁的纵向方向上的长度
W:水平方向上的横截面的长度
具体实施方式
下文中,将参看附图详细描述特定实施例。然而,本发明可按不同形式体现且不应视为限于本文中阐述的实施例。而是,提供这些实施例以使得本发明将为详尽且完整的,且将向所属领域的技术人员全面地传达本发明的范围。在图式中,相同参考数字在全文中指相同元件。
图3(a)、图3(b)是说明根据示范性实施例的对棱柱形结构进行处理的过程的透视图,且图4(a)、图4(b)是说明根据示范性实施例的将碳纤维增强塑料(CFRP)绕着棱柱形结构的外表面缠绕且重复地堆叠的过程的视图。
根据示范性实施例的横梁可包含棱柱形结构100,所述棱柱形结构100是通过将各自由金属材料形成且具有薄且长的形状的板形产品组装而制造成。并且,由使用碳纤维作为增强材料的复合材料形成的碳纤维增强材料200可在棱柱形结构100的外表面上重复地堆叠若干次。因此,为了改善根据相关技术的挤压结构中由挤压特性所致的较差直线度,不同于所述挤压结构,可通过将具有相对优良的直线度和平面度的金属板组装起来而制造根据示范性实施例的正方形结构。因此,不同于相关技术,可在不进行额外处理过程的情况下制造重量轻且具有优良直线度的横梁。此处,直线度可表示用数值表达笔直程度的值。因此,随着直线度增加,产品可具有与直线形状类似的形状。
根据示范性实施例的横梁包含:棱柱结构100,所述棱柱结构100具有棱柱形状并且由金属材料形成且通过将多个板形产品耦接而制造;以及碳纤维增强材料200,所述碳纤维增强材料200绕着棱柱结构100的外表面缠绕若干次。
棱柱结构100不是经由拉拔处理制造的挤压结构,而是具有正四方柱形状的结构,所述结构是通过将多个板形产品110、120、130和140彼此耦接而制造(如图3(a)所说明)。板形产品110、120、130和140中的每一个可以是具有长边和短边的矩形板。也就是说,板形产品110、120、130和140中的每一个可具有薄且长的板形状,所述板形状具有短边以及比短边长的长边。
因此,所述棱柱结构包含:作为矩形板而提供的第一板形产品110,所述第一板形产品110具有作为长边的第一长边110a和作为短边的第一短边110b,其中第一长边110a比第一短边110b长;作为矩形板而提供的第二板形产品120,所述第二板形产品120具有作为长边的第二长边120a和作为短边的第二短边120b,其中第二长边120a比第二短边120b长;作为矩形板而提供的第三板形产品130,所述第三板形产品130具有作为长边的第三长边130a和作为短边的第三短边130b,其中第三长边130a比第三短边130b长;以及作为矩形板而提供的第四板形产品140,所述第四板形产品140具有作为长边的第四长边140a和作为短边的第四短边140b,其中第四长边140a比第四短边140b长。如图3(b)所说明,第一板形产品110的左表面、第二板形产品120的顶表面、第三板形产品130的右表面以及第四板形产品140的底表面可彼此耦接以制造长度与长边的长度相等的正四方柱结构100。
第一板形产品110具有由第一A长边110a′和第一B长边110a″构成的第一长边110a以及由第一A短边110b′和第一B短边110b″构成的第一短边110b。并且,其余的第二、第三和第四产品中的每一个具有板形状,所述板形状具有两条长边和两条短边。因此,第一板形产品110的第一B长边110a″和第二板形产品120的第二A长边120a′彼此耦接。类似地,第二板形产品120的第二B长边120a″和第三板形产品130的第三A长边130a′彼此耦接,第三板形产品130的第三B长边130a″和第四板形产品140的第四A长边140a′彼此耦接,且第四板形产品140的第四B长边140a和第一板形产品110的第一A长边110a彼此耦接,从而制造正四方柱结构。仅供参考,第一板形产品110、第二板形产品120、第三板形产品130和第四板形产品140可经由各种耦接方法(例如,粘结耦接方法、螺栓耦接方法或使用耦接突起的啮合耦接)而彼此耦接。并且,第一板形产品110、第二板形产品120、第三板形产品130和第四板形产品140中的每一个可由轻金属材料形成。例如,可使用例如铝(A1)等轻金属材料。
第一板形产品110、第二板形产品120、第三板形产品130和第四板形产品140中的每一个可具有根据横梁的大小而确定长度的长边和短边。例如,当横梁的纵向方向上的长度L被定义为参考符号A,垂直方向上的横截面的长度H被定义为参考符号B,且水平方向上的横截面的长度W被定义为参考符号C时,第一板形产品110、第二板形产品120、第三板形产品130和第四板形产品140中的每一个的长边的长度可被确定为参考符号A。并且,第一板形产品110的第一短边110b和第三板形产品130的第三短边130b的长度中的每一个可被定义为参考符号B,且第二板形产品120的第二短边120b和第四板形产品140的第四短边140b的长度中的每一个可被确定为参考符号C。
板形产品110、120、130和140中的每一个的短边可具有比长边的长度的十分之一大的长度。例如,为了充当原材料溶液施配器中的横梁,第一短边110b的长度/第一长边110a的长度的比、第二短边120b的长度/长边120a的长度的比以及第三短边130b的长度/第三长边130a的长度的比以及第四短边140b的长度/第四长边140a的长度的比中的每一个可大于约1/10的比。
会这样的原因是,仅当在棱柱结构的截面区域中一条短边的长度比长边的长度的十分之一大使得棱柱结构100充当施配器中的横梁时,用于支撑施配头单元的头支撑件才稳定地移动。如果棱柱结构具有过小的截面区域,那么在头支撑件移动时,棱柱结构可能会晃动。
如图4(a)、图4(b)所说明,通过将第一板形产品110、第二板形产品120、第三板形产品130和第四板形产品140彼此耦接而制造的棱柱结构的外表面可用碳纤维增强材料200环绕若干次且因此强度得到改善。棱柱结构100的外壁可用碳纤维增强材料200环绕若干次且因此强度得到改善。
碳纤维增强材料200可以是作为通过仅混合例如碳纤维和环氧树脂(树脂)等两种材料而制成的复合材料的碳纤维增强塑料(CFRP)。一般来说,使用碳纤维(CF)作为增强材料的基于塑料的复合材料可被叫做碳纤维增强塑料(CFRP)。CFRP可具有与用于轻结构的材料一样优良的特性。例如,CFRP的比强度可比钢的比强度大六倍且比GFRP(玻璃纤维增强塑料)的比强度大两倍,并且CFRP的比模量比钢的比模量大三倍且比GFRP的比模量大四倍。并且,CFRP可具有静强度、优良的疲劳特性以及优良的耐磨性。
如上所述,由于CFRP是通过仅将例如碳纤维和环氧树脂(树脂)等两种材料彼此混合而制成,因此CFRP在初始混合状态下可由于环氧树脂的液态特性而处于软状态。在此状态下,厚度约1毫米的CFRP可缠绕且附接在通过上述技术处理的正四方柱结构100的外表面上(例如,将CFRP重复堆叠十二次)。也就是说,CFRP可绕着棱柱结构100的左表面、顶表面、右表面和底表面重复地环绕且缠绕,直到CFRP具有所要厚度为止。当CFRP重复地缠绕若干次时,可获得具有所要厚度的CFRP。此后,可使环氧树脂(树脂)热固化或自然固化,使得CFPR紧密地附接到正四方柱结构,以充当碳纤维增强材料200,从而制造横梁。可由工人或分离的机械驱动器来缠绕作为CFRP的碳纤维增强材料200。或者,棱柱结构100可卷绕在作为CFRP的碳纤维增强材料200上,使得碳纤维增强材料200绕着棱柱结构100缠绕。如上所述,CFRP是经过热固化的碳纤维增强材料200所耦接到的横梁的刚性可大于通过将板形增强材料与根据相关技术的现有挤压结构组装或将板形增强材料的表面附接到根据相关技术的现有挤压结构而制造的横梁的刚性。
根据第10-1029783号韩国专利中揭示的增强材料,碳纤维增强材料在直角转角处彼此会合,但彼此分离。另一方面,根据示范性实施例的碳纤维增强材料可在卷绕时进行附接。因此,碳纤维增强材料可在直角转角处整合,使得在与根据相关技术的情况相比时改善刚性。
在示范性实施例中,碳纤维增强材料200设置在棱柱结构的外表面上。碳纤维增强材料200可能没有足够的支撑力来支撑施配头单元。由于碳纤维增强材料是CFRP,因此在结构附接到碳纤维增强材料的外表面时,可将碳纤维增强材料分离。因此,用于支撑例如施配头单元等外部结构的支撑件设置在棱柱结构上。为此,如图5(a)所说明,可在棱柱结构的左表面和右表面中的至少一个中沿着长边或短边界定线状凹槽150。此处,环绕棱柱结构100的碳纤维增强材料200可穿过以对应于线状凹槽150且因此向外暴露。如图5(b)所说明,为由金属材料形成的分离结构的支撑件160耦接到线状凹槽150。棱柱结构100的外表面与支撑件160可经由粘合或螺栓耦接而彼此耦接。因此,例如施配头单元等外部结构可附接到支撑件160且由支撑件160支撑。
为了改善棱柱结构的刚性,可另外在棱柱结构内提供由金属材料形成的增强平台。图6是说明根据示范性实施例的棱柱结构是通过将肋状物安装于其中而增强的状态的视图。
参看图6,在横梁10中,可向由金属材料形成的增强平台300提供裂缝形状,所述增强平台设置在棱柱结构内以支撑棱柱结构的左表面、顶表面、右表面和底表面。可提供多个肋状物以充当增强平台300,所述肋状物是由薄金属材料形成以支撑棱柱结构内部的左/右/上部/下部部分的经处理产品。为了提供高刚性,可提供由金属材料形成的多个增强平台300。在根据相关技术的挤压结构中,由于横梁在纵向方向上具有相同形状,因此横梁可能非常重。然而,在示范性实施例中,由于仅组装适当数目的增强平台,因此在与根据相关技术的横梁相比时,所述横梁可能相对较轻且具有优良的刚性。仅供参考,四个板形产品可附接到增强平台的外侧以制造棱柱形产品。另一方面,可首先制造棱柱形产品,且接着,可将增强平台安装在棱柱形产品内。
如上所述,由于在通过使用所述多个板形产品制造棱柱结构之后可将CFRP绕着棱柱结构的外表面缠绕若干次,因此横梁可具有极少变形和高刚性,从而改善设备性能的稳定性。也就是说,安装有作为施配器的极重要组件的施配头单元的横梁可具有极少变形和高刚性以显著改善设备性能的稳定性。在例如第七代或第八代施配器等大型施配器中,横梁(或大梁)具有本身可直线移动的结构。因此,如果为了减少惯性效应而减少横梁的重量,那么可改善处理质量,并且还可以减少作为用于直线运动的驱动源的线性电动机的容量以降低制造成本。
当自然频率为fn,刚性为k且重量为m时,自然频率可通过以下表达式而获得: fn ( Hz ) = 1 2 π k m
经由新方法制造的横梁(重量轻且具有高刚性)可具有高的自然频率。由于在安装有设备的FAB中经常发生约20赫兹到约40赫兹的振荡(它具有相对较低的频带),因此横梁必须具有高的自然频率,使得设备不会受到外部振荡影响。明确地说,横梁可具有约100赫兹或100赫兹以上的自然频率。此处,由于横梁具有高的自然频率,因此横梁可不受外部振荡影响。根据示范性实施例,由于横梁的刚性高、重量轻且自然频率高,因此横梁可不受外部振荡影响。
仅供参考,表1说明关于根据相关技术经由铸造制造(第一实验)以及根据示范性实施例通过使用第10-1029783号韩国专利中揭示的技术制造(第二实验)的横梁的特性的实验结果。当根据示范性实施例制造通过使用多个板形产品制造的横梁(第三实验)时,可看出,当与经由铸造制造(第一实验)以及通过使用第10-1029783号韩国专利中揭示的技术制造(第二实验)的横梁相比时,所述横梁具有低的重量以及偏转现象得以改善。另外,可看出,自然频率超过第一和第二实验中的那些自然频率达约100赫兹或100赫兹以上的频率。
表1
并且,当通过使用多个板形产品来制造棱柱结构且接着应用碳纤维增强材料以制造横梁时,横梁可具有与几乎为零类似的热膨胀系数。表2说明由于热收缩和热膨胀程度低而使尺寸可靠性增加的效应,热收缩和热膨胀取决于根据示范性实施例制造的横梁的温度变化。
表2根据板结构的CFRP梁的温度改变而发生的变化
测得温度 CFRP 铝变化 CFRP变化 铝CFRP误差
100℃ 291.03 291.87 0.33 0.17 0.16
90℃ 291.95 291.83 0.25 0.13 0.12
80℃ 291.9 291.81 0.2 0.11 0.09
70℃ 291.87 291.79 0.17 0.09 0.08
60℃ 291.83 291.76 0.13 0.06 0.07
50℃ 291.79 291.75 0.09 0.05 0.04
40℃ 291.75 291.74 0.05 0.04 0.01
30℃ 291.73 291.72 0.03 0.02 0.01
20℃ 291.69 291.7 0.01 0 0.01
(初始温度22℃) 291.7 291.7 0 0 0
经由上述方法制造的横梁可应用于各种设备。例如,当制造平板显示器时,可将横梁应用于用于喷洒原材料的原材料溶液施配器的衬底处理设备。也就是说,用于处理衬底的衬底处理设备包含搁置有衬底的衬底台以及可沿着衬底台的上部部分移动的横梁。此处,横梁可由以下各者构成:由金属材料形成的正四方柱结构,所述正四方柱结构通过将多个板形产品彼此耦接而制造;以及碳纤维增强材料,所述碳纤维增强材料绕着棱柱结构的外侧重复地缠绕若干次。
在根据相关技术的增强材料中,碳纤维增强材料可在直角转角处彼此会合,但彼此分离。另一方面,根据示范性实施例的碳纤维增强材料可在卷绕时进行附接。因此,碳纤维增强材料可在直角转角处整合,使得与根据相关技术的情况相比改善了刚性。
并且,由于正四方柱结构是通过将板形产品组装而制造,且作为CFRP的碳纤维增强材料在棱柱结构的外侧上重复地堆叠若干次,因此可制造重量轻且刚性高的横梁。
并且,当横梁应用于例如施配器等设备时,施配器由于横梁的高刚性而可能不会变形且不会发生热膨胀,这是CFRP的特性,从而改善尺寸稳定性。并且,可增加自然频率以提供振荡衰减效应。
尽管横梁和用于处理衬底的设备已参看特定实施例而得以描述,但其不限于此。因此,所属领域的技术人员应易于理解,在不脱离由所附权利要求书定义的本发明的精神和范围的情况下可对其进行各种修改和改变。

Claims (10)

1.一种横梁,其特征在于包括:
棱柱结构,所述棱柱结构具有正四方柱形状且由金属材料形成,所述棱柱结构通过将多个板形产品耦接而制造;以及
碳纤维增强材料,所述碳纤维增强材料绕着所述棱柱结构的外侧缠绕若干次且重复地堆叠。
2.根据权利要求1所述的横梁,其中所述棱柱结构包括:
作为矩形板而提供的第一板形产品,所述第一板形产品具有作为长边的第一长边和作为短边的第一短边,其中所述第一长边比所述第一短边长;
作为矩形板而提供的第二板形产品,所述第二板形产品具有作为长边的第二长边和作为短边的第二短边,其中所述第二长边比所述第二短边长;
作为矩形板而提供的第三板形产品,所述第三板形产品具有作为长边的第三长边和作为短边的第三短边,其中所述第三长边比所述第三短边长;以及
作为矩形板而提供的第四板形产品,所述第四板形产品具有作为长边的第四长边和作为短边的第四短边,其中所述第四长边比所述第四短边长,
其中所述第一板形产品、所述第二板形产品、所述第三板形产品以及所述第四板形产品分别耦接到所述棱柱结构的左表面、顶表面、右表面和底表面以形成正四方柱形状。
3.根据权利要求2所述的横梁,其中所述第一板形产品、所述第二板形产品、所述第三板形产品以及所述第四板形产品中的每一个具有根据所述横梁的大小来确定长度的所述长边和所述短边。
4.根据权利要求2所述的横梁,其中所述板形产品中的每一个的所述短边具有比所述长边的长度的十分之一大的长度。
5.根据权利要求1所述的横梁,其中所述碳纤维增强材料包括将碳纤维与环氧树脂混合的碳纤维增强塑料。
6.根据权利要求5所述的横梁,其中所述碳纤维增强材料是通过重复地卷绕所述碳纤维增强塑料以环绕所述棱柱结构的左表面、顶表面、右表面和底表面的外侧直到所述碳纤维增强塑料具有所要厚度为止且接着使所述碳纤维增强塑料热固化或自然固化来制造。
7.根据权利要求1所述的横梁,其中线状凹槽界定于所述棱柱结构的所述左表面和所述右表面中的至少一个中,且
环绕所述棱柱结构的所述碳纤维增强材料穿过以对应于所述线状凹槽且因此向外暴露。
8.根据权利要求7所述的横梁,其中由金属材料形成的分离支撑件耦接到所述线状凹槽。
9.根据权利要求1所述的横梁,还包括由金属材料形成的增强平台,所述增强平台设置于所述棱柱结构内以支撑所述棱柱结构的左表面、顶表面、右表面和底表面。
10.一种用于处理衬底的衬底处理设备,所述衬底处理设备包括:
衬底台,所述衬底搁置在所述衬底台上;以及
横梁,所述横梁沿着所述衬底台的上部部分移动,
其中所述横梁包括根据权利要求1到9中任一项所述的横梁。
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