JP2004241619A - 基板用カセット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上下方向に延びるように所定の間隔を隔てて対向配置される第1挟持部材101および第2挟持部材102を有している。また、上下方向に所定の間隔で配置され、この間隔が維持されるようにその後端部が第1挟持部材101および第2挟持部材102により挟みこまれた状態で第1挟持部材101および第2挟持部材102に固定される複数の支持部材103を有している。複数の支持部材103の上下方向においては、開口領域S1が形成される。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、基板用カセットに関し、より特定的には、基板用カセットに設けられる基板支持部材の構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
フラットパネルディスプレイ等にはガラス基板が用いられているが、その製造プロセスにおいては、工程間におけるガラス基板の搬送・ストック等のために、このガラス基板を複数枚蓄積させた状態で保持する基板用カセットが用いられる。
【0003】
この基板用カセットとしては、以下に示す特許文献1等に開示されるものがある。特許文献1に開示される基板用カセットは、フレームの両側面から内方に向かって延びる長尺リブを張出させ、基板の両側面側から基板を支持する構造が採用されている。
【0004】
【特許文献1】
特開2001−146295号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
近年、フラットパネルディスプレイ等の大型化が進んでおり、たとえば、液晶ディスプレイに用いられるガラス基板の大きさは、従来は、1100mm(短辺寸法)×1300mm(長辺寸法)が最大サイズであったが、より大きくなり1500mm(短辺寸法)×1800mm(長辺寸法)や1800mm(短辺寸法)×2100mm(長辺寸法)等が考えられており、その後も、ガラス基板の大きさはより大型化されるものと思われる。その結果、ガラス基板の大型化に伴い基板用カセットも大型化することになる。また、ガラス基板の厚さについても、今後は薄型化されるものと思われる。そのため、基板の大型化および薄型化により、大型基板の自重による撓みも無視することのできない問題となる。
【0006】
ここで、大型基板の自重による撓みを回避するため、後部側から前側に向かうバックサポートフレームを設ける方法が考えられる。このバックサポートフレーム200の構成としては、図9に示すように、生産性を考慮した場合アルミダイキャスト製のバックサポートフレーム201を上下方向に積重ねる構造が考えられる。しかし、バックサポートフレーム201には、比較的厚肉の形状が採用されるため、ヒケ・反りの原因を解消するために肉ヌスミ部202を設ける必要が生じる。
【0007】
その結果、この肉ヌスミ部202を積層した場合に空間部Sが生じ、ガラス基板および基板用カセットの洗浄時に、この空間部Sが洗浄液等の液溜まりになってしまう問題が生じる。
【0008】
また、バックサポートフレーム201を上下方向に積重ねる構造においては、各バックサポートフレーム201の寸法誤差が、バックサポートフレーム201を積重ねることにより累積され、結果的に大きな寸法誤差を生じさせる問題が生じる。
【0009】
上記各問題は、バックサポートフレームだけでなく、側面側から基板を支持するサイドサポートフレームにおいても、同様の問題が生じる。
【0010】
したがって、この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、基板および基板用カセットの洗浄時に、洗浄液等の液溜まりが生じることのない構造、および寸法精度誤差の少ない構造を備える基板用カセットを提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明に基づいた基板用カセットにおいては、前面側から基板の出し入れを可能とし、上記基板を積層状態に収容するための基板用カセットであって以下の構成を備えることを特徴とする。
【0012】
まず、外枠フレームと、上記基板を支持するため、上記外枠フレームから内方に向かって延びるように設けられる基板支持部材とを備えている。さらに、上記基板支持部材は、上記外枠フレームに固定され、上下方向に延びるように所定の間隔を隔てて対向配置される第1および第2挟持部材と、上下方向に所定の間隔で配置され、この間隔が維持されるようにその後端部が上記第1および第2挟持部材により挟みこまれた状態で上記第1および第2挟持部材に固定される複数の支持部材とを有している。
【0013】
上記構成によれば、第1および第2挟持部材によって固定される、複数の支持部材の上下方向においては、開口領域が形成されることになる。その結果、従来のような袋状部分が形成されることを回避できるため、基板および基板用カセットの洗浄時に、洗浄液等の液溜まりを生じさせることなく洗浄水の流れが良くなり、洗浄性能の向上を図ることが可能になる。
【0014】
また、本構造によれば、支持部材の第1挟持部材および第2挟持部材への固定に関しては、たとえばピン等を用いて固定することが可能になるため、支持部材の第1挟持部材および第2挟持部材への位置決めを正確に行なうことができ、支持部材の取付ピッチの精度を向上させて、基板用カセットとしての寸法精度を安定させることが可能となる。
【0015】
また、上記発明において好ましくは、上記基板支持部材は、複数の上記支持部材が後部側から前方に向かって延びるように上記外枠フレームに設けられる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に基づいた基板用カセットの各実施の形態について、図を参照しながら説明する。
【0017】
(実施の形態1)
図1を参照して、実施の形態1における基板用カセットに適用される、基板支持部材100の基本構造について説明する。なお、図1は、この基板支持部材100の構成を示す全体斜視図である。
【0018】
(基板支持部材100の構造)
この基板支持部材100は、上下方向に延びるように所定の間隔を隔てて対向配置される第1挟持部材101および第2挟持部材102を有している。また、上下方向に所定の間隔で配置され、この間隔が維持されるようにその後端部が第1挟持部材101および第2挟持部材102により挟みこまれた状態で第1挟持部材101および第2挟持部材102に固定される複数の支持部材103を有している。本実施の形態においては、支持部材103を5段設ける場合について図示しているが、支持部材103の段数については、適宜選択されるものである。
【0019】
また、支持部材103の第1挟持部材101および第2挟持部材102への固定については、ピン104を用いて固定している。ピン104を用いた場合、ピン孔は機械加工により形成できるため、支持部材103の第1挟持部材101および第2挟持部材102への位置決めを正確に行なうことができる。その結果、支持部材103の取付ピッチの精度を向上させることができ、基板用カセット全体としての寸法精度を安定させることが可能となる。
【0020】
(作用・効果)
以上、本実施の形態における基板支持部材100によれば、複数の支持部材103の上下方向においては、開口領域S1が形成されるため、基板および基板用カセットの洗浄時に、液溜まりを生じさせることなく洗浄水の流れが良くなり、洗浄性能の向上を図ることができる。
【0021】
また、支持部材103の第1挟持部材101および第2挟持部材102への固定については、ピン104を用いて固定していることから、支持部材103の第1挟持部材101および第2挟持部材102への位置決めを正確に行なうことができ、支持部材103の取付ピッチの精度を向上させて、基板用カセット全体としての寸法精度を安定させることが可能となる。
【0022】
(実施の形態2)
次に、図2から図8を参照して、実施の形態2における基板用カセット1000の構造について説明する。この基板用カセット1000は、上記基板支持部材の構造をバックサポートフレームに適用したものである。なお、図2は、この基板用カセット1000の構成を示す正面図(A)および側面図(B)であり、図3は、バックサポートユニット1100の正面図であり、図4は、バックサポートユニット1100の側面図であり、図5は、基板支持バー1103の平面図であり、図6は、図4中VI−VI線矢視断面図であり、図7は、図4中VII−VII線矢視断面図であり、図8は、図5中VIII−VIII線矢視断面図である。
【0023】
(基板用カセット1000の全体構造)
まず、図2(A),(B)を参照して、基板用カセット1000の全体構造について説明する。外枠フレームとして、上部フレーム1001、下部フレーム1002、および、上部フレーム1001と下部フレーム1002とを連結する側板1003,1004,1005,1006,1007が設けられている。この外枠フレームの外径寸法の一例としては、高さ892mm、幅1160、奥行1350mmである。
【0024】
側板1003〜1007には、それぞれ側板1003〜1007から内方に向かって延びるように設けられるサイドサポートピンを含む基板支持リブ1010が、上下方向に所定の間隔で取り付けられている。
【0025】
なお、側板1003〜1007には、表面が所定の樹脂等により覆われたステンレス(SUS)部材、アルミ(Al)部材、ポリカーボネイト等が用いられる。
【0026】
また、外枠フレームの後側の略中央部分には、外枠フレームから前方に向かって延びるように設けられるバックサポートユニット1100が取り付けられ、このバックサポートユニット1100の両側には、ストッパ支柱1008,1009が取り付けられている。
【0027】
(バックサポートユニット1100の構造)
次に、図4から図8を参照して、バックサポートユニット1100の構造について説明する。
【0028】
まず、図4および図5を参照して、このバックサポートユニット1100は、上下方向に延びるように所定の間隔を隔てて対向配置される第1挟持フレーム1101および第2挟持フレーム1102を有している。また、上下方向に所定の間隔で配置され、この間隔が維持されるようにその後端部が第1挟持フレーム1101および第2挟持フレーム1102により挟みこまれた状態で第1挟持フレーム1101および第2挟持フレーム1102に固定される複数の基板支持バー1103を有している。本実施の形態においては、基板支持バー1103を20段設ける場合について図示しているが、基板支持バー1103の段数については、適宜選択されるものである。
【0029】
また、基板支持バー1103の第1挟持フレーム1101および第2挟持フレーム1102への固定については、ピン1104を用いて固定している(図6参照)。また、第1挟持フレーム1101と第2挟持フレーム1102とを連結する連結プレート1110が4箇所、ボルトネジ1111により各挟持フレームに固定されている(図7参照)。
【0030】
基板支持バー1103は、図5に示すように、先端部側から後端部側に向かうにしたがって徐々にその幅が大きくなる外径形状を有する本体フレーム1103Aを有し、この本体フレーム1103Aの表面側の所定の位置に(4箇所)、基板に対して接する樹脂ピン1103Bが嵌め込められている(図8参照)。なお、本体フレーム1103Aには、ステンレス(SUS)部材、アルミ(Al)部材等が用いられる。また、ボルトネジ1111およびピン1104には、ステンレス(SUS)部材等が用いられる。また、樹脂ピン1103Bには、粘りのある発塵防止性または耐磨耗性の良い樹脂等が用いられ、発塵防止性の良い樹脂としてエラストマー系樹脂、耐磨耗性の良い樹脂としてポリエーテルエーテルケトン等が挙げられる。
【0031】
(作用・効果)
以上、本実施の形態におけるバックサポートユニット1100を備える基板用カセット1000によれば、バックサポートユニット1100の後端部には図3に示すように開口領域S1が形成されるため、基板および基板用カセットの洗浄時に、洗浄液等の液溜まりを生じさせることなく洗浄水の流れが良くなり、洗浄性能の向上を図ることができる。
【0032】
また、基板支持バー1103の第1挟持フレーム1101および第2挟持フレーム1102への固定については、ピン1104を用いて固定していることから、基板支持バー1103の第1挟持フレーム1101および第2挟持フレーム1102への位置決めを正確に行なうことができ、基板支持バー1103の取付ピッチの精度を向上させて、基板用カセット1000全体としての寸法精度を安定させることが可能となる。
【0033】
なお、上記基板用カセット1000においては、基板支持部材の構造をバックサポートユニット1100に適用した場合について説明したが、基板支持リブに本発明に基づく基板支持部材の構造を適用することも可能である。
【0034】
したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施の形態のみによって解釈されるのではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【0035】
【発明の効果】
本発明に基づく基板用カセットによれば、基板および基板用カセットの洗浄時に、液溜まりを生じさせることなく洗浄水の流れが良くなり、洗浄性能の向上を図ることが可能となる。また、支持部材の第1挟持部材および第2挟持部材への位置決めを正確に行なうことができ、支持部材の取付ピッチの精度を向上させて、基板用カセットとしての寸法精度を安定させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態1における基板支持部材の構成を示す全体斜視図である。
【図2】実施の形態2における基板用カセットの構成を示す正面図(A)および側面図(B)である。
【図3】実施の形態2におけるバックサポートユニットの正面図である。
【図4】実施の形態2におけるバックサポートユニットの側面図である。
【図5】実施の形態2における基板支持バーの平面図である。
【図6】実施の形態2における図4中VI−VI線矢視断面図である。
【図7】実施の形態2における図4中VII−VII線矢視断面図である。
【図8】実施の形態2における図5中VIII−VIII線矢視断面図である。
【図9】従来の技術におけるバックサポートユニットの構造を示す縦断面図である。
【符号の説明】
100 基板支持部材、101 第1挟持部材、102 第2挟持部材、103 支持部材、104 ピン、1000 基板用カセット、1001 上部フレーム、1002 下部フレーム、1003,1004,1005,1006,1007 側板、1008,1009 ストッパ支柱、1010 基板支持リブ、1100 バックサポートユニット、1101 第1挟持フレーム、1102 第2挟持フレーム、1103 基板支持バー、1103A 本体フレーム、1103B 樹脂ピン、1104 ピン、1110 連結プレート、1111 ボルトネジ、S1 開口領域。
Claims (2)
- 前面側から基板の出し入れを可能とし、前記基板を積層状態に収容するための基板用カセットであって、
外枠フレームと、
前記基板を支持するため、前記外枠フレームから内方に向かって延びるように設けられる基板支持部材と、を備え、
前記基板支持部材は、
前記外枠フレームに固定され、上下方向に延びるように所定の間隔を隔てて対向配置される第1および第2挟持部材と、
上下方向に所定の間隔で配置され、この間隔が維持されるようにその後端部が前記第1および第2挟持部材により挟みこまれた状態で前記第1および第2挟持部材に固定される複数の支持部材と、
を有する、基板用カセット。 - 前記基板支持部材は、複数の前記支持部材が後部側から前方に向かって延びるように前記外枠フレームに設けられる、請求項1に記載の基板用カセット。
Priority Applications (1)
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JP2003029449A JP4189230B2 (ja) | 2003-02-06 | 2003-02-06 | 基板用カセット |
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---|---|---|---|---|
JP2011211160A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-10-20 | Index:Kk | ビーム材及び構造材並びにガラス基板支持ビーム及び基板カセット |
-
2003
- 2003-02-06 JP JP2003029449A patent/JP4189230B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2011211160A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-10-20 | Index:Kk | ビーム材及び構造材並びにガラス基板支持ビーム及び基板カセット |
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