JP2005011924A - 基板用カセット - Google Patents
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Abstract
【課題】基板の撓みの発生を防止するとともに基板用カセットの軽量化を可能とし、さらに、基板受け部材の取付位置の正確さを確保するとともに、容易に組立てることを可能とする、基板用カセットを提供する。
【解決手段】奥行き方向に２組となるように支持支柱１０５ａ，１０５ｂが配置されている。一組の支持支柱１０５ａ，１０５ｂには、縦方向に４０段の基板受け部材１１０が配列された単一の成形品１１０Ａが取りつけられている。この成形品１１０Ａは、同一部材をプレス加工により打ち抜き、その後曲げ加工が施された屈曲部材から構成されている。
【選択図】 図１
【解決手段】奥行き方向に２組となるように支持支柱１０５ａ，１０５ｂが配置されている。一組の支持支柱１０５ａ，１０５ｂには、縦方向に４０段の基板受け部材１１０が配列された単一の成形品１１０Ａが取りつけられている。この成形品１１０Ａは、同一部材をプレス加工により打ち抜き、その後曲げ加工が施された屈曲部材から構成されている。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、基板用カセットに関し、より特定的には、基板用カセットに設けられる基板受け部材の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
フラットパネルディスプレイ等にはガラス基板が用いられているが、その製造プロセスにおいては、工程間におけるガラス基板の搬送・ストック等のために、このガラス基板を複数枚蓄積させた状態で保持する基板用カセットが用いられる。
【０００３】
この基板用カセットとしては、以下に示す特許文献１等に開示されるものがある。特許文献１に開示される基板用カセットは、外枠フレームの両側面から内方に向かって延びる長尺リブ（基板受け部材）を張出させ、基板の両側面側から基板を支持する構造が採用されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−１４６２９５号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記構成からなる基板用カセットの場合、長尺リブにより線状に基板を受けるため、ガラス基板の撓みの発生を防止し、また、ガラス基板への応力の集中化を回避するためには、複数の長尺リブを設ける必要がある。しかし、長尺リブの本数を増加させることは、基板用カセットの重量が増加することになり、基板用カセットの軽量化が望まれる今日においては、好ましくない。
【０００６】
また、上記構成からなる基板用カセットを組立てる場合には、外枠フレームに対して、長尺リブを一つ一つ取りつける必要がある。この作業には、長尺リブの上下間隔を一定範囲内にする必要があるため、高い取付位置精度が求められる。そのため、基板用カセットを組立てる工程に多くの時間が必要とされ、基板用カセットの製造コスト削減を妨げる要因となっている。
【０００７】
したがって、この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、基板の撓みの発生を防止するとともに基板用カセットの軽量化を可能とし、さらに、基板受け部材の取付位置の正確さを確保するとともに、容易に組立てることを可能とする、基板用カセットを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明に基づいた基板用カセットにおいては、前面側から基板の出し入れを可能とし、上記基板を積層状態に収容するための基板用カセットであって、外枠フレームと、上記基板を支持するため、上下方向に所定の間隔で複数配置され、上記外枠フレームから内方に向かって延びるように設けられる基板受け部材とを備え、上記基板受け部材は、屈曲部材からなり、この屈曲部材の一端と他端とは、上記外枠フレームの同一側に固定されていることを特徴とする。
【０００９】
このように、基板受け部材として屈曲部材を用いることにより、平面的に基板を支持することが可能となる。これにより、基板の撓み歪を解消しながらも、基板受け部材の設置数量を多くする必要がないため、基板用カセットの重量増加を招くことなく、基板を安定的に保持することが可能となる。
【００１０】
また、上記発明の好ましい形態として、上記外枠フレームは、対向する一対の側部フレームを有し、上記基板受け部材は、それぞれの上記側部フレームから内方に向かうように設けられる。
【００１１】
この構成により、基板の基板用カセットへの搬入・搬出方向の側部側で基板を支持する構成となるため、基板の中央領域を開放させることができる。これにより、搬入・搬出のためのロボットアーム等の出し入れが可能となる。
【００１２】
また、上記発明の好ましい形態として、上記基板受け部材は、平面的に見て、略Ｕ字形状および略コ字形状のいずれかの形状を有する。この形状を採用することにより、より確実に基板を平面的に支持するとともに、基板へのダメージを低減させることが可能となる。
【００１３】
また、上記発明の好ましい形態として、縦方向に配列される複数の上記基板受け部材は、同一部材を用いたプレス加工またはレーザ加工により打ち抜かれた部材を折り曲げた単一の成形品から構成される。
【００１４】
基板受け部材としてプレス加工またはレーザ加工の曲げ成形品を用いることにより、機械加工に基づく加工精度が得られるため、基板受け部材の上下間の寸法精度を高く維持させることが可能となる。また、複数の基板受け部材が単一の成形品から構成されていることにより、外枠フレームへの取付が容易に行なえ、基板用カセットの組立て工数を大幅に削減することが可能となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に基づいた基板用カセットの各実施の形態について、図を参照しながら説明する。
【００１６】
（実施の形態１）
図１および図２を参照して、実施の形態１における基板用カセット１の構成について説明する。なお、図１は、基板用カセット１の構成を示す全体斜視図であり、図２は、基板受け部材１１０の構造を示す部分拡大断面図である。
【００１７】
＜基板用カセット１の構成＞
まず、図１を参照して、本実施の形態における基板用カセット１は、前面側から基板の出し入れを可能とし、基板を積層状態に収容するためのものである。収容される基板としては、液晶パネルに用いられるセル基板、その他のフラットパネルが挙げられる。
【００１８】
この基板用カセット１は、上フレーム１０１、下フレーム１０２、上フレーム１０１と下フレーム１０２とを連結し、四隅に配置されるコーナ支柱１０４、および、両側面側において後述の基板受け部材１１０を固定するための支持支柱１０５ａ，１０５ｂ、背面側に設けられる背面支柱１０６を有する。本実施の形態においては、各側面に４本（合計８本）の支持支柱１０５ａ，１０５ｂが設けられ、支持支柱１０５ａ，１０５ｂの２本を一組として用いられる。これらのフレームおよび支柱により基板用カセット１の外枠フレームが構成される。なお、各フレームおよび支柱の材料としては、軽量化の観点からアルミ部材が用いられる。一例であるが、この基板用カセット１の外形寸法は、幅約７８０ｍｍ、奥行き約４８３ｍｍ、高さ約８００ｍｍ程度である。
【００１９】
２本を一組として用いられる支持支柱１０５ａ，１０５ｂには、基板を支持するため、上下方向に所定の間隔で複数配置され、側部から内方に向かって延びるように設けられる基板受け部材１１０が設けられている。本実施の形態においては、４０枚の基板の収容が可能なように、４０段の基板受け部材１１０が設けられている。また、支持支柱１０５ａ，１０５ｂは基板用カセット１の奥行き方向に２組設けることにより、大きさが異なる２種類の基板の収容を可能とする。また、背面支柱１０６には、基板の撓みの発生を防止する観点から、前方に向かう支持ピン１４０が縦方向に沿って複数設けられている。
【００２０】
＜基板受け部材１１０＞
次に、図２を参照して、基板受け部材１１０の詳細構造について説明する。本実施の形態においては、四組の支持支柱１０５ａ，１０５ｂが設けられ、奥行き方向に２組となるように支持支柱１０５ａ，１０５ｂが配置されている。一組の支持支柱１０５ａ，１０５ｂには、縦方向に４０段の基板受け部材１１０が配列された単一の成形品１１０Ａが取りつけられている。
【００２１】
この成形品１１０Ａは、同一部材をプレス加工またはレーザ加工により打ち抜き、その後曲げ加工が施された屈曲部材から構成されている。材料としては、外枠フレームと同様のアルミ部材等（厚さ０．５ｍｍ〜３．０ｍｍ程度）が用いられる。
【００２２】
成形品１１０Ａの具体的構成としては、図２に示すように、屈曲部材領域からなる基板受け部材１１０、上下に配置される複数の基板受け部材１１０の一方端を連結する第１連結フレーム１１８、および基板受け部材１１０の他方端を連結する第２連結フレーム１１９を備えている。
【００２３】
基板受け部材１１０は、全体としてはコ字状に折り曲げられており、連続する第１支持フレーム１１１、第２支持フレーム１１２、および第３支持フレーム１１３を有している。また、第１支持フレーム１１１には、折り曲げにより形成された第１および第２受けプレート１１４，１１５が設けられ、第２支持フレーム１１２には、同様に折り曲げにより形成された第３受けプレート１１６が設けられ、第３支持フレーム１１３には、同様に折り曲げにより形成された第４受けプレート１１７が設けられている。
【００２４】
さらに、第１〜第４受けプレート１１４〜１１７の上面には、基板の滑りを防止するための滑り防止シート１２０〜１２３が貼着されている。この滑り防止シート１２０〜１２３としては、たとえば、バイトンゴム、エラストマー系のゴム、ＰＥＥＫ等が用いられる。
【００２５】
また、成形品１１０Ａの第１連結フレーム１１８の支持支柱１０５ａへの固定、および、第２連結フレーム１１９の支持支柱１０５ｂへの固定には、ネジ部材、接着部材、リベット止め等を用いた固定方法が採用される。また、成形品１１０Ａおよび支持支柱１０５ａを樹脂成形する場合には、両者の一体成形も可能である。
【００２６】
＜作用・効果＞
以上、本実施の形態における基板用カセット１によれば、基板受け部材１１０として略コ字状に曲げられた屈曲部材を用いることにより、平面的に基板を支持することが可能となる。これにより、基板の撓み発生を防止しながらも、基板受け部材１１０の設置数量を多くする必要がないため、基板用カセット１の重量増加を招くことなく、基板を安定的に保持することが可能となる。
【００２７】
また、両側から内方に向けて基板受け部材１１０を設けることにより、基板の基板用カセット１への搬入・搬出方向の側部側で基板を支持する構成となり、基板の中央領域を開放させることができる。これにより、搬入・搬出のためのロボットアーム等の出し入れが可能となる。
【００２８】
また、基板受け部材１１０としてプレス加工またはレーザ加工の曲げ成形品１１０Ａを用いることにより、機械加工に基づく加工精度が得られるため、基板受け部材１１０の上下間の寸法精度を高く維持させることが可能となる。また、複数の基板受け部材１１０が単一の成形品１１０Ａから構成されていることにより、支持支柱１０５ａ，１０５ｂへの取付が容易に行なえ、基板用カセット１の組立て工数を大幅に削減することが可能となる。
【００２９】
（実施の形態２）
次に、実施の形態２における基板用カセット１の構成について説明する。なお、本実施の形態の特徴は、基板受け部材２００の形状、および、この基板受け部材２００の支持支柱１０５ａ，１０５ｂへの取付構造にある。したがって、基板用カセット１の外枠フレームの構成は同じであるため、以下の説明において実施の形態１と同様の構成については同一の参照番号を付し、重複する説明は繰返さないこととする。
【００３０】
＜基板受け部材２００＞
図３および図４を参照して、本実施の形態における基板受け部材２００の詳細構造について説明する。なお、図３は本実施の形態における基板受け部材２００の構造を示す第１拡大図であり、図４は本実施の形態における基板受け部材２００の構造を示す第２拡大図である。
【００３１】
この基板受け部材２００は、コ字状に屈曲成形された丸棒から構成されている。材料としては、アルミ、カーボン、ステンレス（ＳＵＳ３０４）部材等が用いられる。本実施の形態においては、上記実施の形態のように縦方向に配置される基板受け部材が単一の成形品から構成されるものでなく、基板受け部材２００のそれぞれが単一部品である。
【００３２】
基板受け部材２００の具体的構成としては、図３に示すように、全体としてはコ字状に折り曲げられており、連続する第１支持フレーム２０１、第２支持フレーム２０２、および第３支持フレーム２０３を有している。
【００３３】
図４に示すように、第１支持フレーム２０１および第３支持フレーム２０３の端部には、後に説明する基板受け部材２００の支持支柱１０５ａ，１０５ｂへの固定に用いられる、固定溝２０５が全周に設けられている。
【００３４】
一方、支持支柱１０５ａ，１０５ｂのそれぞれには、第１支持フレーム２０１および第３支持フレーム２０３を貫通させるための固定穴２２２が上下方向に所定のピッチで設けられている。また、支持支柱１０５ａ，１０５ｂの背面には、固定プレート２１０（後述）を位置決めするための位置決め溝２２０が、支持支柱１０５ａ，１０５ｂの上下方向に沿って設けられている。
【００３５】
固定プレート２１０は、第１支持フレーム２０１および第３支持フレーム２０３を貫通させる第１開口２１１と、固定溝２０５にのみ嵌り込む第２開口２１２とからなる固定穴２１３が設けられている。この固定プレート２１０は、基本的には、一つの支持支柱に対して１枚設けられ、複数（本実施の形態においては４０個）の固定穴２１３が設けられている。なお、支持支柱が長い場合には、固定プレート２１０を複数に分割させることも可能である。
【００３６】
＜作用・効果＞
以上、本実施の形態における基板用カセット１によれば、上記実施の形態における基板用カセット１と略同様の作用効果を得ることができる。また、図３に示すように、支持支柱１０５ａ，１０５ｂに基板受け部材２００を固定する場合には、すべての基板受け部材２００を支持支柱１０５ａ，１０５ｂに取りつけた後に、固定プレート２１０を位置決め溝２２０に沿ってスライドさせることにより、それぞれの第２開口２１２が各フレームの固定溝２０５に嵌合して、複数の支持フレームの固定を容易に行なうことが可能となる。
【００３７】
なお、上記各実施の形態の形態において、基板受け部材１１０，２００の平面形状として、コ字形状に折り曲げたものを採用しているが、Ｕ字形状、台形形状、その他基板を平面的に受けることができるものであれば、他の形状の採用も可能である。
【００３８】
また、基板受け部材１１０の断面は矩形形状、基板受け部材２００の断面は円形形状であるが、楕円形状、多角形形状等の採用も可能である。
【００３９】
また、基板受け部材として、プレス加工またはレーザ加工の曲げ成形品、棒状部材の曲げ成形品を用いる場合について説明したが、上記各実施の形態と同等の機能を有する樹脂成形品からなる基板受け部材を用いることも可能である。
【００４０】
したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施の形態のみによって解釈されるのではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００４１】
【発明の効果】
本発明に基づく基板用カセットによれば、基板の撓みの発生を防止するとともに基板用カセットの軽量化を可能とし、さらに、基板受け部材の取付位置の正確さを確保するとともに、容易に組立てることを可能とする、基板用カセットを提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に基づいた実施の形態１における基板用カセットの構成を示す全体斜視図である。
【図２】本発明に基づいた実施の形態１における基板受け部材の構造を示す部分拡大断面図である。
【図３】本発明に基づいた実施の形態２における基板受け部材の構造を示す第１拡大図である。
【図４】本発明に基づいた実施の形態２における基板受け部材の構造を示す第２拡大図である。
【符号の説明】
１ 基板用カセット、１０１ 上フレーム、１０２ 下フレーム、１０４ コーナ支柱、１０５ａ，１０５ｂ 支持支柱、１０６ 背面支柱、１１０ 基板受け部材、１１０Ａ 成形品、１１８ 第１連結フレーム、１１９ 第２連結フレーム、１１１，２０１ 第１支持フレーム、１１２，２０２ 第２支持フレーム、１１３，２０３ 第３支持フレーム、１１４ 第１受けプレート、１１５ 第２受けプレート、１１６ 第３受けプレート、１１７ 第４受けプレート、１２０，１２１，１２２，１２３ 滑り防止シート、１４０ 支持ピン、２００ 基板受け部材、２０５ 固定溝、２１０ 固定プレート、２１１ 第１開口、２１２ 第２開口、２１３ 固定穴、２２０ 位置決め溝、２２２ 固定穴。
【発明の属する技術分野】
この発明は、基板用カセットに関し、より特定的には、基板用カセットに設けられる基板受け部材の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
フラットパネルディスプレイ等にはガラス基板が用いられているが、その製造プロセスにおいては、工程間におけるガラス基板の搬送・ストック等のために、このガラス基板を複数枚蓄積させた状態で保持する基板用カセットが用いられる。
【０００３】
この基板用カセットとしては、以下に示す特許文献１等に開示されるものがある。特許文献１に開示される基板用カセットは、外枠フレームの両側面から内方に向かって延びる長尺リブ（基板受け部材）を張出させ、基板の両側面側から基板を支持する構造が採用されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−１４６２９５号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記構成からなる基板用カセットの場合、長尺リブにより線状に基板を受けるため、ガラス基板の撓みの発生を防止し、また、ガラス基板への応力の集中化を回避するためには、複数の長尺リブを設ける必要がある。しかし、長尺リブの本数を増加させることは、基板用カセットの重量が増加することになり、基板用カセットの軽量化が望まれる今日においては、好ましくない。
【０００６】
また、上記構成からなる基板用カセットを組立てる場合には、外枠フレームに対して、長尺リブを一つ一つ取りつける必要がある。この作業には、長尺リブの上下間隔を一定範囲内にする必要があるため、高い取付位置精度が求められる。そのため、基板用カセットを組立てる工程に多くの時間が必要とされ、基板用カセットの製造コスト削減を妨げる要因となっている。
【０００７】
したがって、この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、基板の撓みの発生を防止するとともに基板用カセットの軽量化を可能とし、さらに、基板受け部材の取付位置の正確さを確保するとともに、容易に組立てることを可能とする、基板用カセットを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明に基づいた基板用カセットにおいては、前面側から基板の出し入れを可能とし、上記基板を積層状態に収容するための基板用カセットであって、外枠フレームと、上記基板を支持するため、上下方向に所定の間隔で複数配置され、上記外枠フレームから内方に向かって延びるように設けられる基板受け部材とを備え、上記基板受け部材は、屈曲部材からなり、この屈曲部材の一端と他端とは、上記外枠フレームの同一側に固定されていることを特徴とする。
【０００９】
このように、基板受け部材として屈曲部材を用いることにより、平面的に基板を支持することが可能となる。これにより、基板の撓み歪を解消しながらも、基板受け部材の設置数量を多くする必要がないため、基板用カセットの重量増加を招くことなく、基板を安定的に保持することが可能となる。
【００１０】
また、上記発明の好ましい形態として、上記外枠フレームは、対向する一対の側部フレームを有し、上記基板受け部材は、それぞれの上記側部フレームから内方に向かうように設けられる。
【００１１】
この構成により、基板の基板用カセットへの搬入・搬出方向の側部側で基板を支持する構成となるため、基板の中央領域を開放させることができる。これにより、搬入・搬出のためのロボットアーム等の出し入れが可能となる。
【００１２】
また、上記発明の好ましい形態として、上記基板受け部材は、平面的に見て、略Ｕ字形状および略コ字形状のいずれかの形状を有する。この形状を採用することにより、より確実に基板を平面的に支持するとともに、基板へのダメージを低減させることが可能となる。
【００１３】
また、上記発明の好ましい形態として、縦方向に配列される複数の上記基板受け部材は、同一部材を用いたプレス加工またはレーザ加工により打ち抜かれた部材を折り曲げた単一の成形品から構成される。
【００１４】
基板受け部材としてプレス加工またはレーザ加工の曲げ成形品を用いることにより、機械加工に基づく加工精度が得られるため、基板受け部材の上下間の寸法精度を高く維持させることが可能となる。また、複数の基板受け部材が単一の成形品から構成されていることにより、外枠フレームへの取付が容易に行なえ、基板用カセットの組立て工数を大幅に削減することが可能となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に基づいた基板用カセットの各実施の形態について、図を参照しながら説明する。
【００１６】
（実施の形態１）
図１および図２を参照して、実施の形態１における基板用カセット１の構成について説明する。なお、図１は、基板用カセット１の構成を示す全体斜視図であり、図２は、基板受け部材１１０の構造を示す部分拡大断面図である。
【００１７】
＜基板用カセット１の構成＞
まず、図１を参照して、本実施の形態における基板用カセット１は、前面側から基板の出し入れを可能とし、基板を積層状態に収容するためのものである。収容される基板としては、液晶パネルに用いられるセル基板、その他のフラットパネルが挙げられる。
【００１８】
この基板用カセット１は、上フレーム１０１、下フレーム１０２、上フレーム１０１と下フレーム１０２とを連結し、四隅に配置されるコーナ支柱１０４、および、両側面側において後述の基板受け部材１１０を固定するための支持支柱１０５ａ，１０５ｂ、背面側に設けられる背面支柱１０６を有する。本実施の形態においては、各側面に４本（合計８本）の支持支柱１０５ａ，１０５ｂが設けられ、支持支柱１０５ａ，１０５ｂの２本を一組として用いられる。これらのフレームおよび支柱により基板用カセット１の外枠フレームが構成される。なお、各フレームおよび支柱の材料としては、軽量化の観点からアルミ部材が用いられる。一例であるが、この基板用カセット１の外形寸法は、幅約７８０ｍｍ、奥行き約４８３ｍｍ、高さ約８００ｍｍ程度である。
【００１９】
２本を一組として用いられる支持支柱１０５ａ，１０５ｂには、基板を支持するため、上下方向に所定の間隔で複数配置され、側部から内方に向かって延びるように設けられる基板受け部材１１０が設けられている。本実施の形態においては、４０枚の基板の収容が可能なように、４０段の基板受け部材１１０が設けられている。また、支持支柱１０５ａ，１０５ｂは基板用カセット１の奥行き方向に２組設けることにより、大きさが異なる２種類の基板の収容を可能とする。また、背面支柱１０６には、基板の撓みの発生を防止する観点から、前方に向かう支持ピン１４０が縦方向に沿って複数設けられている。
【００２０】
＜基板受け部材１１０＞
次に、図２を参照して、基板受け部材１１０の詳細構造について説明する。本実施の形態においては、四組の支持支柱１０５ａ，１０５ｂが設けられ、奥行き方向に２組となるように支持支柱１０５ａ，１０５ｂが配置されている。一組の支持支柱１０５ａ，１０５ｂには、縦方向に４０段の基板受け部材１１０が配列された単一の成形品１１０Ａが取りつけられている。
【００２１】
この成形品１１０Ａは、同一部材をプレス加工またはレーザ加工により打ち抜き、その後曲げ加工が施された屈曲部材から構成されている。材料としては、外枠フレームと同様のアルミ部材等（厚さ０．５ｍｍ〜３．０ｍｍ程度）が用いられる。
【００２２】
成形品１１０Ａの具体的構成としては、図２に示すように、屈曲部材領域からなる基板受け部材１１０、上下に配置される複数の基板受け部材１１０の一方端を連結する第１連結フレーム１１８、および基板受け部材１１０の他方端を連結する第２連結フレーム１１９を備えている。
【００２３】
基板受け部材１１０は、全体としてはコ字状に折り曲げられており、連続する第１支持フレーム１１１、第２支持フレーム１１２、および第３支持フレーム１１３を有している。また、第１支持フレーム１１１には、折り曲げにより形成された第１および第２受けプレート１１４，１１５が設けられ、第２支持フレーム１１２には、同様に折り曲げにより形成された第３受けプレート１１６が設けられ、第３支持フレーム１１３には、同様に折り曲げにより形成された第４受けプレート１１７が設けられている。
【００２４】
さらに、第１〜第４受けプレート１１４〜１１７の上面には、基板の滑りを防止するための滑り防止シート１２０〜１２３が貼着されている。この滑り防止シート１２０〜１２３としては、たとえば、バイトンゴム、エラストマー系のゴム、ＰＥＥＫ等が用いられる。
【００２５】
また、成形品１１０Ａの第１連結フレーム１１８の支持支柱１０５ａへの固定、および、第２連結フレーム１１９の支持支柱１０５ｂへの固定には、ネジ部材、接着部材、リベット止め等を用いた固定方法が採用される。また、成形品１１０Ａおよび支持支柱１０５ａを樹脂成形する場合には、両者の一体成形も可能である。
【００２６】
＜作用・効果＞
以上、本実施の形態における基板用カセット１によれば、基板受け部材１１０として略コ字状に曲げられた屈曲部材を用いることにより、平面的に基板を支持することが可能となる。これにより、基板の撓み発生を防止しながらも、基板受け部材１１０の設置数量を多くする必要がないため、基板用カセット１の重量増加を招くことなく、基板を安定的に保持することが可能となる。
【００２７】
また、両側から内方に向けて基板受け部材１１０を設けることにより、基板の基板用カセット１への搬入・搬出方向の側部側で基板を支持する構成となり、基板の中央領域を開放させることができる。これにより、搬入・搬出のためのロボットアーム等の出し入れが可能となる。
【００２８】
また、基板受け部材１１０としてプレス加工またはレーザ加工の曲げ成形品１１０Ａを用いることにより、機械加工に基づく加工精度が得られるため、基板受け部材１１０の上下間の寸法精度を高く維持させることが可能となる。また、複数の基板受け部材１１０が単一の成形品１１０Ａから構成されていることにより、支持支柱１０５ａ，１０５ｂへの取付が容易に行なえ、基板用カセット１の組立て工数を大幅に削減することが可能となる。
【００２９】
（実施の形態２）
次に、実施の形態２における基板用カセット１の構成について説明する。なお、本実施の形態の特徴は、基板受け部材２００の形状、および、この基板受け部材２００の支持支柱１０５ａ，１０５ｂへの取付構造にある。したがって、基板用カセット１の外枠フレームの構成は同じであるため、以下の説明において実施の形態１と同様の構成については同一の参照番号を付し、重複する説明は繰返さないこととする。
【００３０】
＜基板受け部材２００＞
図３および図４を参照して、本実施の形態における基板受け部材２００の詳細構造について説明する。なお、図３は本実施の形態における基板受け部材２００の構造を示す第１拡大図であり、図４は本実施の形態における基板受け部材２００の構造を示す第２拡大図である。
【００３１】
この基板受け部材２００は、コ字状に屈曲成形された丸棒から構成されている。材料としては、アルミ、カーボン、ステンレス（ＳＵＳ３０４）部材等が用いられる。本実施の形態においては、上記実施の形態のように縦方向に配置される基板受け部材が単一の成形品から構成されるものでなく、基板受け部材２００のそれぞれが単一部品である。
【００３２】
基板受け部材２００の具体的構成としては、図３に示すように、全体としてはコ字状に折り曲げられており、連続する第１支持フレーム２０１、第２支持フレーム２０２、および第３支持フレーム２０３を有している。
【００３３】
図４に示すように、第１支持フレーム２０１および第３支持フレーム２０３の端部には、後に説明する基板受け部材２００の支持支柱１０５ａ，１０５ｂへの固定に用いられる、固定溝２０５が全周に設けられている。
【００３４】
一方、支持支柱１０５ａ，１０５ｂのそれぞれには、第１支持フレーム２０１および第３支持フレーム２０３を貫通させるための固定穴２２２が上下方向に所定のピッチで設けられている。また、支持支柱１０５ａ，１０５ｂの背面には、固定プレート２１０（後述）を位置決めするための位置決め溝２２０が、支持支柱１０５ａ，１０５ｂの上下方向に沿って設けられている。
【００３５】
固定プレート２１０は、第１支持フレーム２０１および第３支持フレーム２０３を貫通させる第１開口２１１と、固定溝２０５にのみ嵌り込む第２開口２１２とからなる固定穴２１３が設けられている。この固定プレート２１０は、基本的には、一つの支持支柱に対して１枚設けられ、複数（本実施の形態においては４０個）の固定穴２１３が設けられている。なお、支持支柱が長い場合には、固定プレート２１０を複数に分割させることも可能である。
【００３６】
＜作用・効果＞
以上、本実施の形態における基板用カセット１によれば、上記実施の形態における基板用カセット１と略同様の作用効果を得ることができる。また、図３に示すように、支持支柱１０５ａ，１０５ｂに基板受け部材２００を固定する場合には、すべての基板受け部材２００を支持支柱１０５ａ，１０５ｂに取りつけた後に、固定プレート２１０を位置決め溝２２０に沿ってスライドさせることにより、それぞれの第２開口２１２が各フレームの固定溝２０５に嵌合して、複数の支持フレームの固定を容易に行なうことが可能となる。
【００３７】
なお、上記各実施の形態の形態において、基板受け部材１１０，２００の平面形状として、コ字形状に折り曲げたものを採用しているが、Ｕ字形状、台形形状、その他基板を平面的に受けることができるものであれば、他の形状の採用も可能である。
【００３８】
また、基板受け部材１１０の断面は矩形形状、基板受け部材２００の断面は円形形状であるが、楕円形状、多角形形状等の採用も可能である。
【００３９】
また、基板受け部材として、プレス加工またはレーザ加工の曲げ成形品、棒状部材の曲げ成形品を用いる場合について説明したが、上記各実施の形態と同等の機能を有する樹脂成形品からなる基板受け部材を用いることも可能である。
【００４０】
したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施の形態のみによって解釈されるのではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００４１】
【発明の効果】
本発明に基づく基板用カセットによれば、基板の撓みの発生を防止するとともに基板用カセットの軽量化を可能とし、さらに、基板受け部材の取付位置の正確さを確保するとともに、容易に組立てることを可能とする、基板用カセットを提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に基づいた実施の形態１における基板用カセットの構成を示す全体斜視図である。
【図２】本発明に基づいた実施の形態１における基板受け部材の構造を示す部分拡大断面図である。
【図３】本発明に基づいた実施の形態２における基板受け部材の構造を示す第１拡大図である。
【図４】本発明に基づいた実施の形態２における基板受け部材の構造を示す第２拡大図である。
【符号の説明】
１ 基板用カセット、１０１ 上フレーム、１０２ 下フレーム、１０４ コーナ支柱、１０５ａ，１０５ｂ 支持支柱、１０６ 背面支柱、１１０ 基板受け部材、１１０Ａ 成形品、１１８ 第１連結フレーム、１１９ 第２連結フレーム、１１１，２０１ 第１支持フレーム、１１２，２０２ 第２支持フレーム、１１３，２０３ 第３支持フレーム、１１４ 第１受けプレート、１１５ 第２受けプレート、１１６ 第３受けプレート、１１７ 第４受けプレート、１２０，１２１，１２２，１２３ 滑り防止シート、１４０ 支持ピン、２００ 基板受け部材、２０５ 固定溝、２１０ 固定プレート、２１１ 第１開口、２１２ 第２開口、２１３ 固定穴、２２０ 位置決め溝、２２２ 固定穴。
Claims (5)
- 前面側から基板の出し入れを可能とし、前記基板を積層状態に収容するための基板用カセットであって、
外枠フレーム（１０１，１０２，１０３，１０４，１０５ａ，１０５ｂ）と、
前記基板を支持するため、上下方向に所定の間隔で複数配置され、前記外枠フレームから内方に向かって延びるように設けられる基板受け部材（１１０）と、を備え、
前記基板受け部材（１１０）は、屈曲部材からなり、この屈曲部材の一端と他端とは、前記外枠フレーム（１０１，１０２，１０３，１０４，１０５ａ，１０５ｂ）の同一側に固定されていることを特徴とする、基板用カセット。 - 前記外枠フレームは、対向する一対の側部フレーム（１０５ａ，１０５ｂ）を有し、
前記基板受け部材（１１０）は、それぞれの前記側部フレーム（１０５ａ，１０５ｂ）から内方に向かうように設けられる、請求項１に記載の基板用カセット。 - 前記基板受け部材（１１０）は、平面的に見て、略Ｕ字形状および略コ字形状のいずれかの形状を有する、請求項１または２に記載の基板用カセット。
- 縦方向に配列される複数の前記基板受け部材（１１０）は、同一部材を用いたプレス加工またはレーザ加工により打ち抜かれた部材を折り曲げた単一の成形品（１１０Ａ）から構成される、請求項１から３のいずれかに記載の基板用カセット。
- 縦方向に配列される複数の前記基板受け部材（１１０）は、棒状部材を折り曲げた成形品（２００）からなり、複数の前記成形品（２００）は、前記外枠フレーム（１０５ａ，１０５ｂ）に対して、共通の固定部材（２１０）により固定される、請求項１から３のいずれかに記載の基板用カセット。
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