TW201936358A - 樹脂成形裝置以及樹脂成形品製造方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種能降低成形對象物從上模掉落的可能性，並且盡可能增大所製造的樹脂成形品的樹脂成形裝置。樹脂成形裝置具備：上模，在下側具有保持成形對象物的保持面；下模，與所述上模相向地配置，且具有模腔；成形對象物吸附機構，設於所述保持面；爪部，以從所述保持面所保持的成形對象物的側方朝向下方延伸的方式設於所述上模；爪部移動機構，將所述上模與所述下模鎖模時，當所述上模與所述下模接近到爪部移動開始距離以下時，使所述爪部移動到較保持於所述保持面的成形對象物更靠外側。

Description

樹脂成形裝置以及樹脂成形品製造方法

本發明是有關於一種樹脂成形裝置及使用此樹脂成形裝置的樹脂成形品製造方法。

為了保護電子零件不受光、熱、濕氣等環境的影響，電子零件通常由樹脂密封。因此，利用壓縮成形法或轉移成形法等來進行樹脂成形。壓縮成形法中通過以下方式進行樹脂成形：使用包含下模和上模的樹脂成形用成形模具，在下模的模腔（cavity）中供給樹脂材料，將成形對象物（例如安裝有電子零件的基板）安裝於上模後，為了使樹脂材料熔融而將下模和上模加熱並且將兩者鎖模。轉移成形法中通過以下方式進行樹脂成形：在上模和下模的一者中設置模腔，將成形對象物安裝於另一者後，將下模和上模加熱並且將兩者鎖模，利用柱塞（plunger）將樹脂供給於模腔。

專利文獻1中，作為用於將成形對象物安裝於上模的構成，示出兩個例子。第一例中，具備在上模內穿過並在此上模的夾持面（下表面）具有開口的空氣回路，利用真空泵從開口經由空氣回路而抽吸氣體，藉此使成形對象物吸附於此夾持面。第二例中，在上模的夾持面上設置夾爪，利用此夾爪來握持成形對象物的外周部。 [現有技術文獻]

[專利文獻] [專利文獻1] 日本專利特開2016-198945號公報（[0021]等）

[發明所要解決的問題] 在通過利用真空泵抽吸氣體而使成形對象物吸附於夾持面的情況下，當由於某些原因而真空泵停止時，氣體的抽吸停止而無法維持抽吸吸附，成形對象物從上模掉落。

另一方面，在利用夾爪握持成形對象物的情況下，在成形對象物中被夾爪所握持的部分無法進行樹脂成形，因此樹脂成形品的大小受到限制。

本發明所欲解決的問題在於提供一種樹脂成形裝置及樹脂成形品製造方法，所述樹脂成形裝置能降低成形對象物從上模掉落的可能性，並且盡可能增大所製造的樹脂成形品。 [解決問題的技術手段]

為了解決所述問題而成的本發明的樹脂成形裝置的第一實施方式的特徵在於具備： a）上模，在下側具有保持成形對象物的保持面； b）下模，與所述上模相向地配置，且具有模腔； c）成形對象物吸附機構，設於所述保持面； d）爪部，以從所述保持面所保持的成形對象物的側方朝向下方延伸的方式設於所述上模； e）爪部移動機構，將所述上模與所述下模鎖模時，當所述上模與所述下模接近到爪部移動開始距離以下時，使位於所述保持面所保持的成形對象物的下方的所述爪部移動到較所述成形對象物更靠外側。

本發明的樹脂成形裝置的第二實施方式的特徵在於具備： a）上模，在下側具有保持成形對象物的保持面； b）下模，與所述上模相向地配置，且具有模腔； c）第一成形對象物吸附機構，設於所述保持面，且通過利用真空泵的氣體抽吸使成形對象物吸附於所述保持面； d）第二成形對象物吸附機構，設於所述保持面，且通過利用真空泵的氣體抽吸以外的方式使成形對象物吸附於所述保持面。

本發明的樹脂成形品製造方法的第一實施方式為使用所述第一實施方式的樹脂成形裝置來製造樹脂成形品的方法，且其特徵在於包括以下步驟： 成形對象物保持步驟，在利用所述成形對象物吸附機構使成形對象物吸附於所述保持面的狀態下，使所述爪部延伸到成形對象物的下方； 樹脂材料供給步驟，對所述模腔供給樹脂材料； 爪部移動步驟，使所述上模與所述下模逐漸接近，當所述上模與所述下模接近到所述爪部移動開始距離以下時，利用所述爪部移動機構使所述爪部移動到較所述成形對象物更靠外側； 鎖模步驟，將所述上模與所述下模鎖模；以及 樹脂材料硬化步驟，將所述模腔內的樹脂材料加熱到所述樹脂材料軟化或熔融的溫度後，使所述樹脂材料硬化。

本發明的樹脂成形品製造方法的第二實施方式為使用所述第二實施方式的樹脂成形裝置來製造樹脂成形品的方法，且其特徵在於包括以下步驟： 成形對象物保持步驟，利用所述第一成形對象物吸附機構及所述第二成形對象物吸附機構使成形對象物吸附於所述保持面； 樹脂材料供給步驟，對所述模腔供給樹脂材料； 鎖模步驟，將所述上模與所述下模鎖模；以及 樹脂材料硬化步驟，將所述模腔內的樹脂材料加熱到所述樹脂材料軟化或熔融的溫度後，使所述樹脂材料硬化。

本發明的樹脂成形品製造方法的第三實施方式為使用所述第一實施方式的樹脂成形裝置來製造樹脂成形品的方法，且其特徵在於包括以下步驟： 成形對象物保持步驟，在利用所述成形對象物吸附機構使成形對象物吸附於所述保持面的狀態下，使所述爪部延伸到成形對象物的下方； 爪部移動步驟，使所述上模與所述下模逐漸接近，當所述上模與所述下模接近到所述爪部移動開始距離以下時，利用所述爪部移動機構使所述爪部移動到較所述成形對象物更靠外側； 鎖模步驟，將所述上模與所述下模鎖模； 樹脂材料供給步驟，對所述模腔內供給經軟化或熔融的樹脂材料；以及 樹脂材料硬化步驟，使供給至所述模腔內的樹脂材料硬化。

本發明的樹脂成形品製造方法的第四實施方式為使用所述第二實施方式的樹脂成形裝置來製造樹脂成形品的方法，且其特徵在於包括以下步驟： 成形對象物保持步驟，利用所述第一成形對象物吸附機構及所述第二成形對象物吸附機構使成形對象物吸附於所述保持面； 鎖模步驟，將所述上模與所述下模鎖模； 樹脂材料供給步驟，對所述模腔內供給經軟化或熔融的樹脂材料；以及 樹脂材料硬化步驟，使供給至所述模腔內的樹脂材料硬化。 [發明的效果]

根據本發明，能降低成形對象物從上模掉落的可能性，並且盡可能增大所製造的樹脂成形品。

（1）第一實施方式的樹脂成形裝置 第一實施方式的樹脂成形裝置中，成形對象物是利用設於保持面的成形對象物吸附機構而吸附於保持面，由上模所保持。而且，在成形對象物的下方（因此為成形對象物的內側）配置有爪部。因此，即便由於某些原因而利用成形對象物吸附機構的成形對象物對保持面的吸附未發揮作用，成形對象物也不會掉落。

另一方面，當上模與下模接近到爪部移動開始距離以下時，利用爪部移動機構使爪部移動到較成形對象物更靠外側，因此能對在此之前在下方配置有爪部的成形對象物表面的部分也進行樹脂密封。藉此，能增大所製作的樹脂成形品。此處所謂「爪部移動開始距離」，是以即便成形對象物吸附機構未發揮功能而成形對象物從上模掉落（即便在成形對象物的下方未配置有爪部）也不產生問題的上模與下模的距離來定義。

此外，爪部是用於在無法利用成形對象物吸附機構使成形對象物吸附於保持面時防止成形對象物掉落，因此在成形對象物的下方配置有爪部時，成形對象物的表面與爪部也可存在少許間隙。

本發明中，成形對象物例如為基板，更具體而言，例如可舉出基材（substrate）、樹脂基板、佈線基板、晶圓、玻璃、金屬板等。然而，本發明的成形對象物不限定於這些基板，為任意基板。另外，本發明中，成形對象物可在其一個面上安裝有晶片等構件，也可不安裝。

第一實施方式的樹脂成形裝置中，所述爪部移動機構理想的是當所述上模與所述下模接近到所述爪部移動開始距離以下時，使所述爪部移動到較所述保持面所保持的成形對象物的下端更靠上側。

對其原因進行說明。樹脂成形裝置中，通常為了使成形後的樹脂成形品容易地自模腔脫模，在對模腔供給樹脂材料前，在模腔的內表面鋪設脫模膜。為了在此後取出樹脂成形品，另外為了使上下模的夾持面可靠地密接，脫模膜必須將較上下模的夾持面（密接面）更大的範圍覆蓋。專利文獻1的樹脂成形裝置中，在下模的夾持面中設有用於在利用夾爪保持成形對象物狀態下鎖模時收容此夾爪的退避部，在此退避部上也鋪設脫模膜。於是，有可能在鎖模時夾爪將脫模膜擠壓到退避部中，藉此脫模膜產生皺褶，此皺褶被轉印到樹脂成形品上。相對於此，第一實施方式樹脂成形裝置中，使用當上模與下模接近到爪部移動開始距離以下時使爪部移動到較成形對象物的下端更靠上側的爪部移動機構，根據此構成，無需在下模中設置退避部，藉此也不會發生爪部將脫模膜擠壓到退避部中的情況。因此，能防止脫模膜產生皺褶，從而能防止將皺褶轉印到樹脂成形品上。

第一實施方式的樹脂成形裝置中，所述爪部移動機構進而理想的是在將所述上模與所述下模開模時，當此上模與此下模相距較第二爪部移動開始距離遠時，使所述爪部移動到所述保持面所保持的成形對象物的下側。藉此，在開模時，也在無法利用成形對象物吸附機構使成形對象物吸附於保持面的情況下，利用爪部保持成形對象物，因此成形對象物不會掉落。此外，所述爪部移動開始距離與所述第二爪部移動開始距離可相同也可不同。

第一實施方式的樹脂成形裝置理想的是： 還具備擠壓部、及向所述保持面所保持的成形對象物的下方對所述爪部施力的施力機構， 所述爪部具有大致水平的轉動軸及被擠壓部，此被擠壓部是設於較所述轉動軸更靠所述保持面外側的下部，且當所述上模與所述下模接近到所述爪部移動開始距離以下時被所述擠壓部所擠壓。

根據具備此種被擠壓部、擠壓部及施力機構的第一實施方式的樹脂成形裝置，在鎖模時上模與下模接近到爪部移動開始距離以下之前，施力機構對爪部施力，藉此將此爪部配置在成形對象物的下方。另一方面，當上模與下模接近到爪部移動開始距離以下時，擠壓部擠壓被擠壓部，藉此爪部以從成形對象物的下方移動到成形對象物的外側的方式以轉動軸為中心轉動，因此發揮上文所述的效果。

此處，若使爪部轉動，則能使爪部移動到成形對象物的外側中較成形對象物的下端更靠上方。

具備所述被擠壓部、擠壓部及施力機構的第一實施方式的樹脂成形裝置理想的是：所述爪部還在較所述轉動軸更靠所述保持面外側且與所述被擠壓部不同的位置具備第二被擠壓部。此種第二被擠壓部能在使保持面保持成形對象物時及將成形對象物從保持面取下時，用於使爪部移動到成形對象物的外側。此時，以與所述擠壓部不同的第二擠壓部來擠壓第二被擠壓部，但第二擠壓部只要設於第一實施方式的樹脂成形裝置之外即可。由於將第二被擠壓部設於與被擠壓部不同的位置，因此第二擠壓部與擠壓部不會干擾。

具備所述第二被擠壓部的第一實施方式的樹脂成形裝置更理想的是還具備成形對象物搬送機構，此成形對象物搬送機構具有： 成形對象物載置臺，載置成形對象物； 第一升降機構，使所述成形對象物載置臺升降； 第二升降機構，載置所述第一升降機構，使此第一升降機構升降； 第二擠壓部，在所述第二升降機構的上端且隔著所述成形對象物載置臺的兩側方，與所述第二被擠壓部的橫向位置對應地設置； 橫向移動機構，使所述第二升降機構在所述成形對象物載置臺上載置的成形對象物成為所述上模與所述下模之間且所述保持面正下方的位置、和自所述上模與所述下模之間離開的位置間橫向移動。

可使用此成形對象物搬送機構將如以下那樣進行樹脂成形之前的成形對象物搬入至上模的保持面。首先，將成形對象物載置在成形對象物載置臺上後，利用橫向移動機構使第二升降機構（以及直接或間接地載置於其上的第一升降機構、成形對象物載置臺及成形對象物）移動到上模與下模之間。此時，使第二擠壓部與爪部的第二被擠壓部的橫向位置對應。然後使第二升降機構上升，藉此第二擠壓部擠壓第二被擠壓部。於是，爪部移動到保持面的外側。接著，第一升降機構上升直到成形對象物抵接於保持面。此時，爪部位於保持面的外側，因此不會成為障礙。利用成形對象物吸附機構使成形對象物吸附於保持面後，第一升降機構及第二升降機構下降。藉此，第二擠壓部遠離第二被擠壓部，爪部移動到保持面及此保持面所保持的成形對象物的下部。然後，能利用橫向移動機構使第二升降機構（以及第一升降機構及成形對象物載置臺）移動到自上模與下模之間離開的位置，進行壓縮成形。

另外，也能使用此成形對象物搬送機構將進行樹脂成形後的成形對象物從上模的保持面搬出。此情況下，首先利用橫向移動機構使第二升降機構（以及第一升降機構及成形對象物載置臺）移動到上模與下模之間後，使第二升降機構上升，借此第二擠壓部擠壓第二被擠壓部，藉此爪部移動到保持面的外側。然後第一升降機構上升，因此通過解除成形對象物吸附機構的吸附而將成形對象物載置在成形對象物載置臺上。然後，第一升降機構及第二升降機構下降後，利用橫向移動機構使第二升降機構（以及第一升降機構、成形對象物載置臺及成形對象物）移動到自上模與下模之間離開的位置，藉此將成形對象物搬出。

具備所述被擠壓部、擠壓部及施力機構的第一實施方式的樹脂成形裝置理想的是還具備： 下模按壓部，從所述上模向下方延伸，當所述上模與所述下模接近到所述爪部移動開始距離時下端抵接於所述下模的上表面，且安裝有所述擠壓部； 彈性構件，設於所述上模與所述下模按壓部之間。

根據具備此種下模按壓部及彈性構件的第一實施方式的樹脂成形裝置，當鎖模時上模與下模接近到爪部移動開始距離以下時，安裝於下模按壓部的擠壓部擠壓被擠壓部，藉此爪部從成形對象物的下方移動到較此成形對象物的下端更靠上方且成形對象物的外側。藉此，僅利用上模與下模的相對移動機構（鎖模機構）的動力使爪部移動，因此不另需要用於使爪部移動的動力。並且，下模按壓部的下端抵接於下模的上表面，因此尤其在使用脫模膜的情況下，能利用下模按壓部來保持延伸到模腔外側的脫模膜。此情況下，所述爪部移動開始距離能以下模按壓部的下端抵接於下模的上表面時的上模與下模的距離來定義。

（2）第二實施方式的樹脂成形裝置 第二實施方式的樹脂成形裝置中，使用通過利用真空泵的氣體抽吸使成形對象物吸附於所述保持面的第一成形對象物吸附機構、及通過利用真空泵的氣體抽吸以外的方式使成形對象物吸附於所述保持面的第二成形對象物吸附機構，藉此即便因某些原因而真空泵停止，也能利用第二成形對象物吸附機構來維持成形對象物的吸附。另一方面，即便第二成形對象物吸附機構的動作停止，也能利用第一成形對象物吸附機構來維持成形對象物的吸附。如此，通過將兩個系統的成形對象物吸附機構並用，能降低成形對象物從上模掉落的可能性。

另外，第二實施方式的樹脂成形裝置中無需使用爪部，因此能增大所製作的樹脂成形品。

進而，無需使用爪部，藉此在使用脫模膜的情況下，能防止脫模膜產生皺褶，從而防止將皺褶轉印到樹脂成形品上。

能使用真空噴射器、伯努利吸盤、靜電吸盤等作為第二成形對象物吸附機構。這些中，真空噴射器利用已蓄積的壓縮空氣而動作，所以通常在短暫期間內不需要電力，因此即便因停電或操作員的非常停止操作而電力被切斷也能暫時維持成形對象物的吸附，因此理想。

（3）第一實施方式～第四實施方式的樹脂成形品製造方法 第一實施方式的樹脂成形品製造方法使用第一實施方式的樹脂成形裝置通過壓縮成形法來製造樹脂成形品。第二實施方式的樹脂成形品製造方法使用第二實施方式的樹脂成形裝置通過壓縮成形法來製造樹脂成形品。第三實施方式的樹脂成形品製造方法使用第一實施方式的樹脂成形裝置通過轉移成形法來製造樹脂成形品。第四實施方式的樹脂成形品製造方法使用第二實施方式的樹脂成形裝置通過轉移成形法來製造樹脂成形品。任一樹脂成形品製造方法中均使樹脂成形裝置如上文所述那樣動作，此方面與現有的樹脂成形品製造方法不同，除此以外的方面與現有的樹脂成形品製造方法相同。

（4）第一實施方式及第二實施方式的樹脂成形裝置、以及第一實施方式～第四實施方式的樹脂成形品製造方法的具體實施形態 以下，使用圖1（a）及圖1（b）～圖15，對第一實施方式及第二實施方式的樹脂成形裝置、以及使用這些樹脂成形裝置的樹脂成形品製造方法的更具體的實施形態進行說明。

（4-1）第一實施方式的樹脂成形裝置及第一實施方式的樹脂成形品製造方法的一實施形態（第一實施形態） （4-1-1）第一實施形態的樹脂成形裝置的構成 圖1（a）及圖1（b）中示出作為第一實施方式的樹脂成形裝置的一實施形態（第一實施形態）的樹脂成形裝置10。圖1（a）中示出樹脂成形裝置10總體，圖1（b）中將成形模具及其周圍放大表示。第一實施形態的樹脂成形裝置10為進行壓縮成形的裝置，且具備基盤111、豎立設置於基盤111上的兩根系杆（tie-bar）112、以能上下移動的方式保持於系杆112的下可動平板（platen）121及上可動平板122、固定於系杆112的上端的固定平板123、以及設於基盤111上且使下可動平板121上下移動的肘杆（toggle link）113。另外，樹脂成形裝置10在下可動平板121的上表面具備第一下模152A，在上可動平板122的下表面具備第一上模151A，在上可動平板122的上表面具備第二下模152B，在固定平板123的下表面具備第二上模151B。由第一上模151A和第一下模152A構成第一成形模具15A，由第二上模151B和第二下模152B構成第二成形模具15B。樹脂成形裝置10進而在各平板與上模或下模之間，靠平板而具備隔熱材141，靠上模或下模而具備加熱器142。本實施形態中，隔熱材141是使用將多根柱狀的隔熱構件配置成二維狀而成的材料，也可使用板狀的隔熱材等其他隔熱材。

接下來，一面參照圖1（b）一面對第一成形模具15A及第二成形模具15B的構成進行說明。第一成形模具15A和第二成形模具15B具有相同構成。因此，以下對第一成形模具15A的各構成元件進行說明。將此說明中的末尾為「A」的符號變更為「B」即為第二成形模具15B的構成元件。

第一成形模具15A包含第一上模151A和第一下模152A。

第一上模151A的下表面成為保持成形對象物的第一保持面1511A，在此第一保持面1511A上設有氣體抽吸孔1512A。氣體抽吸孔1512A經由設於第一上模151A及加熱器142內的氣體抽吸管1513A、以及連接於此氣體抽吸管1513A且具有可撓性的連接管（未圖示）而連接於真空泵191。由這些氣體抽吸孔1512A、氣體抽吸管1513A、連接管及真空泵191構成成形對象物吸附機構19。此外，也可使用真空噴射器（vacuum ejector）代替真空泵191。或者，也可使用伯努利吸盤（Bernoulli Chuck）或靜電吸盤等代替此處所示的成形對象物吸附機構19作為成形對象物吸附機構。

第一下模152A具有包含平面形狀（俯視）為長方形的框的周壁構件1521A、裝入至周壁構件1521A的框內的長方體的底面構件1522A、及設於周壁構件1521A的下表面的彈性構件1523A。由這些周壁構件1521A及底面構件1522A包圍的空間成為供給樹脂材料的模腔C。此外，周壁構件1521A的平面形狀能根據要製造的樹脂成形品的形狀而取長方形以外的圓形等形狀，底面構件1522A的形狀可根據周壁構件1521A的平面形狀而適當變更。

隔著第一上模151A的第一保持面1511A，在此第一保持面1511A的兩側方設有爪部16。圖2（a）中示出爪部16的立體圖，圖2（b）中示出側面圖。爪部16具備爪部本體161、轉動軸162、第一被擠壓部（相當於所述被擠壓部）163、第二被擠壓部164及施力機構165。爪部本體161從第一保持面1511A的外側向內側延伸，在經施力機構165施力的狀態下，配置於第一保持面1511A及此第一保持面1511A所保持的成形對象物的下側（圖1（b））。轉動軸162為大致水平，且整個爪部16能以此轉動軸162為中心而轉動。第一被擠壓部163及第二被擠壓部164均較轉動軸162更靠第一保持面1511A的外側，且在整個爪部16中設於下部。在轉動軸162延伸的方向上，第二被擠壓部164是配置於爪部16的中央側，第一被擠壓部163是配置於第二被擠壓部164的兩側方（即兩處）。另外，第二被擠壓部164是配置於較第一被擠壓部163更靠下側。施力機構165以爪部本體161以轉動軸162為中心從第一保持面1511A的外側向下側轉動的方式，對整個爪部16施力。當通過此施力機構165的施力而爪部本體161位於第一保持面1511A的下側位置時，後述擠壓部173抵接於第一被擠壓部163，藉此整個爪部16不會進一步轉動而將爪部本體161保持於此位置。因此，擠壓部173、第一被擠壓部163及施力機構165作為爪部移動機構而發揮功能。

在第一保持面1511A的側方且較爪部16更靠外側，設有下模按壓部17（圖1（b））。下模按壓部17具有下模按壓部本體171、下模按壓部彈性構件172及擠壓部173。下模按壓部本體171為在與第一上模151A之間隔著下模按壓部彈性構件172而設置的向下方延伸的棒材。擠壓部173為從下模按壓部本體171向爪部16延伸的棒材，被設為在未鎖模時與第一被擠壓部163接觸的高度。與在一個爪部16中設有兩處第一被擠壓部163相對應，在一個下模按壓部17中設有兩個擠壓部173。

進而，樹脂成形裝置10具有成形對象物搬送機構80。如圖3所示那樣，成形對象物搬送機構80具有載置成形對象物的成形對象物載置臺81、使成形對象物載置臺81升降的第一升降機構82、載置第一升降機構82並使此第一升降機構82升降的第二升降機構83、在第二升降機構83的上端且隔著成形對象物載置臺81而在其兩側方設置的第二擠壓部84、以及使第二升降機構83橫向（大致水平方向。圖1（a）及圖3的與紙面垂直的方向）移動的橫向移動機構85。橫向移動機構85使第二升降機構83在成形對象物載置臺81上載置的成形對象物成為第一上模151A與第一下模152A之間且第一保持面1511A正下方的位置、和自第一上模151A與第一下模152A之間離開的位置間橫向移動。當使成形對象物載置臺81與第一保持面1511A的橫向位置對準時，第二擠壓部84的橫向位置與爪部16的第二被擠壓部164的橫向位置一致。此外，此處以第一成形模具15A為例進行了說明，但對第二成形模具15B也設置同樣的成形對象物搬送機構80。

（4-1-2）第一實施形態的樹脂成形裝置的動作及樹脂成形品製造方法 使用圖4（a）～圖4（f）及圖5（a）～圖5（d），對第一實施形態的樹脂成形裝置10的動作及樹脂成形品製造方法進行說明。圖4（a）～圖4（f）中示出第一實施形態的樹脂成形裝置10的總體動作，圖5（a）～圖5（d）中將樹脂成形裝置10中的爪部16及其周邊的構成元件的動作放大表示。實際上第一成形模具15A與第二成形模具15B同時進行相同動作，但以下除了特別提及的情況以下，僅說明第一成形模具15A的動作。

在動作開始前，如上文所述那樣，爪部16的爪部本體161位於第一保持面1511A的下表面的下側（圖5（a））。

首先，在成形對象物搬送機構80的成形對象物載置臺81上載置成形對象物S後，利用橫向移動機構85，使第二升降機構83以及直接或間接地載置於其上的第一升降機構82、成形對象物載置臺81及成形對象物S移動到第一成形模具15A的第一上模151A與第一下模152A之間。並且，使設於第一升降機構82的上端的第二擠壓部84的橫向位置與第二被擠壓部164的橫向位置對準。接著，利用第二升降機構83使第一升降機構82上升，利用第二擠壓部84擠壓第二被擠壓部164（圖4（a））。藉此，爪部16轉動，爪部本體161移動到第一上模151A的第一保持面1511A的外側（圖5（b））。在此狀態下利用第一升降機構82使成形對象物載置臺81上升，使成形對象物載置臺81上的成形對象物S抵接於第一保持面1511A（圖4（b））。此時，爪部本體161位於第一保持面1511A的外側，爪部本體161不會妨礙成形對象物載置臺81的上升。

接著，使真空泵191動作，經由氣體抽吸管1513A從氣體抽吸孔1512A抽吸空氣，藉此使成形對象物載置臺81上的成形對象物S吸附於第一保持面1511A。然後，利用第一升降機構82使成形對象物載置臺81下降，並且利用第二升降機構83使第一升降機構82下降，進而利用橫向移動機構85使第二升降機構83、第一升降機構82及成形對象物載置臺81移動到在橫向上自第一上模151A與第一下模152A之間離開的位置（圖4（c））。此處，在使第一升降機構82下降時，第二擠壓部84對第二被擠壓部164的擠壓被解除，因此爪部16朝與擠壓時相反的方向轉動，爪部本體161移動到第一保持面1511A的下方（內側）（圖5（c））。

接著，利用未圖示的脫模膜鋪設機構在第一下模152A的模腔C的內表面鋪設脫模膜F。具體來說，脫模膜F的鋪設是通過以下方式進行：在覆蓋模腔C的上側及其周圍的周壁構件1521A的上表面的狀態下，利用真空泵191從周壁構件1521A與底面構件1522A之間抽吸空氣。此時，脫模膜F不僅存在於模腔C的內表面，而且也存在於周壁構件1521A的上表面。接著，利用未圖示的樹脂材料供給機構將樹脂材料P供給至模腔C內（圖4（d））。然後，通過利用加熱器142進行加熱而使樹脂材料P熔融。

模腔C內的樹脂材料P熔融時，利用肘杆113使下可動平板121上升。藉此，下可動平板121上的第一下模152A抵接於第一上模151A而將此第一上模151A及上可動平板122上推，進而上可動平板122上的第二下模152B抵接於第二上模151B。由於將第二上模151B固定於固定平板123，因此將第一上模151A與第一下模152A、及第二上模151B與第二下模152B鎖模。

再次著眼於第一成形模具15A，將第一成形模具15A鎖模時第一下模152A逐漸接近第一上模151A。此階段中，爪部本體161存在於第一保持面1511A的下側，即便萬一真空泵191停止等而導致停止將成形對象物S吸附於第一保持面1511A，成形對象物S也被爪部本體161接住，因此能防止成形對象物S掉落。若第一下模152A進一步向第一上模151A接近到第一距離（所述爪部移動開始距離），則下模按壓部本體171抵接於第一下模152A的周壁構件1521A的上表面。即，所述爪部移動開始距離能以下模按壓部本體171抵接於周壁構件1521A的第一上模151A與第一下模152A的距離來定義。若第一下模152A向第一上模151A進一步靠近，則下模按壓部彈性構件172逐漸被壓縮，並且擠壓部173將爪部16的第一被擠壓部163上推。藉此，爪部16轉動，爪部本體161移動到第一上模151A的第一保持面1511A的外側（圖5（d））。第一距離及後述第二距離是設定為假設此處成形對象物吸附機構不發揮功能而成形對象物從上模掉落也不產生問題那樣的距離。因此，在隨後進行鎖模、進而開模而第一上模151A與第一下模152A相距第二距離之前，雖然不利用爪部本體161進行保護，但即便成形對象物掉落也不產生問題。

然後，第一下模152A向第一上模151A進一步逐漸接近，將第一上模151A與第一下模152A鎖模（圖4（e））。接著，維持模腔C內的樹脂材料進行硬化的溫度直到此樹脂材料硬化為止。此時，爪部本體161存在於第一保持面1511A的外側，因此爪部本體161不會成為障礙，能在成形對象物S內的廣範圍內進行樹脂成形。另外，此階段中，爪部本體161是配置於較第一保持面1511A所保持的成形對象物S的下端更靠上側（圖5（d））。因此，爪部本體161不會抵接於周壁構件1521A的上表面，無需在周壁構件1521A的上表面設置用於使爪部本體161退避的凹部（退避部）。因此，不會發生爪部本體161按壓脫模膜F而此脫模膜F產生皺褶的情況。

模腔C內的樹脂材料硬化後，利用肘杆113使下可動平板121下降，藉此將第一成形模具15A及第二成形模具15B開模（圖4（f））。著眼於第一成形模具15A，當第一上模151A與第一下模152A相距達到第二距離（本實施形態中與第一距離相同）時，下模按壓部本體171離開周壁構件1521A的上表面，並且擠壓部173對第一被擠壓部163的擠壓被解除，因此爪部16朝與擠壓時相反的方向轉動，爪部本體161移動到第一保持面1511A的下方（內側）。此處，視形成於成形對象物S下側的樹脂成形品PS的厚度不同，有時爪部本體161也不到達樹脂成形品PS的下表面而是與樹脂成形品PS的側面接觸，但並不妨礙第一保持面1511A上的成形對象物S的吸附停止時利用爪部本體161來防止成形對象物S的掉落。

開模後，利用成形對象物搬送機構80將形成有樹脂成形品PS的成形對象物S從第一保持面1511A搬出。具體來說，首先利用橫向移動機構85將第二升降機構83、第一升降機構82及成形對象物載置臺81搬送到第一上模151A與第一下模152A之間，使第二擠壓部84的橫向位置與第二被擠壓部164的橫向位置對準。接著，利用第二升降機構83使第一升降機構82及第二擠壓部84上升，藉此使爪部本體161移動到第一保持面1511A的外側（與圖5（b）相同），進而利用第一升降機構82使成形對象物載置臺81上升，藉此使成形對象物載置臺81接觸樹脂成形品PS的下表面。然後，停止成形對象物吸附機構19對成形對象物S的吸附，利用第一升降機構82使成形對象物載置臺81下降並且利用第二升降機構83使第一升降機構82下降。接著，利用橫向移動機構85使第二升降機構83、第一升降機構82、成形對象物載置臺81及成形對象物S從第一上模151A與第一下模152A之間向外側移動，藉此能將成形對象物S搬出。

此外，也能使用圖6所示的成形對象物搬送機構80A代替所述成形對象物搬送機構80。成形對象物搬送機構80A具有成形對象物載置臺81A、設於成形對象物載置臺81A的下方且使此成形對象物載置臺81A升降的升降機構83A、配置於成形對象物載置臺81A的周圍且至少一部分包含彈性構件的作為銷（pin）的第二擠壓部84A、以及使升降機構83A橫向移動的橫向移動機構85A。此變形例中所用的升降機構83A能以兩個階段來切換將成形對象物載置臺81A上推的力的強弱。將成形對象物載置臺81A上推的力中，較弱的力是設為將第二擠壓部84A按壓於第二被擠壓部164時彈性構件不撓曲的程度的力，較強的力是設為將第二擠壓部84A按壓於第二被擠壓部164時彈性構件撓曲的力。成形對象物載置臺81A與第二擠壓部84A的位置關係固定（在此方面，與可利用第二升降機構83使成形對象物載置臺81與第二擠壓部84的上下方向的位置關係變化的成形對象物搬送機構80不同），成形對象物載置臺81A的上表面位於第二擠壓部84A的上端與下端之間。

對成形對象物搬送機構80A的動作進行說明。在成形對象物載置臺81A上載置成形對象物後，利用升降機構83A以強弱兩個階段中較弱的力將成形對象物載置臺81A上推，使第二擠壓部84A抵接於第二被擠壓部164。藉此，第二擠壓部84A在彈性構件不撓曲的情況下擠壓第二被擠壓部164，使爪部16轉動，使爪部本體161移動到第一上模151A的第一保持面1511A的外側（參照圖5（b））。在此時刻，成形對象物載置臺81A的上表面位於較第二擠壓部84A的上端更靠下側，因此成形對象物載置臺81A上的成形對象物並未到達第一保持面1511A。

然後，利用升降機構83A以強弱兩個階段中較強的力將成形對象物載置臺81A上推。於是，第二擠壓部84A的彈性構件撓曲，成形對象物載置臺81A的上表面移動到較彈性構件撓曲前高的位置。藉此，使成形對象物載置臺81A上的成形對象物抵接於第一保持面1511A。此時，由於爪部本體161位於第一保持面1511A的外側，因此爪部本體161不妨礙成形對象物載置臺81A的上升。接著，通過從氣體抽吸孔1512A抽吸空氣而使成形對象物吸附於第一保持面1511A。然後，利用升降機構83A使成形對象物載置臺81A下降，藉此爪部16朝與擠壓時相反的方向轉動，爪部本體161移動到第一保持面1511A的下方（內側）（參照圖5（c））。

（4-2）第二實施方式的樹脂成形裝置及第二實施方式的樹脂成形品製造方法的一實施形態 （4-2-1）第二實施形態的樹脂成形裝置的構成 圖7（a）及圖7（b）中示出作為第二實施方式的樹脂成形裝置的一實施形態（第二實施形態）的樹脂成形裝置20。圖7（a）中示出樹脂成形裝置20總體，圖7（b）中將成形模具及其周圍放大表示。第二實施形態的樹脂成形裝置20具有與第一實施形態的樹脂成形裝置10相同的基盤111、系杆112、下可動平板121、上可動平板122、肘杆113、隔熱材141及加熱器142。在下可動平板121的上表面具備第一下模252A，在上可動平板122的下表面具備第一上模251A，在上可動平板122的上表面具備第二下模252B，在固定平板123的下表面具備第二上模251B。由第一上模251A和第一下模252A構成第一成形模具25A，由第二上模251B和第二下模252B構成第二成形模具25B。第一成形模具25A及第二成形模具25B具有相同構成，因此以下對第一成形模具25A的各構成元件進行說明。將此說明中的末尾為「A」的符號變更為「B」即為第二成形模具25B的構成元件。

第一上模251A的下表面成為保持成形對象物的第一保持面2511A，在此第一保持面2511A上設有第一氣體抽吸孔2512A1及第二氣體抽吸孔2512A2。第一氣體抽吸孔2512A1經由設於第一上模251A及加熱器142內的第一氣體抽吸管2513A1以及具有可撓性的連接管（未圖示）而連接於真空泵291。第二氣體抽吸孔2512A2經由設於第一上模251A及加熱器142內的第二氣體抽吸管2513A2以及具有可撓性的連接管（未圖示）而連接於真空噴射器292。真空噴射器292利用從壓縮空氣罐供給的壓縮空氣而動作，從壓縮機（未圖示）對此壓縮空氣罐供給壓縮空氣。當因停電等而無法使壓縮機動作時，在短暫期間中能利用壓縮空氣罐的壓縮空氣使真空噴射器292動作。第一氣體抽吸孔2512A1、第一氣體抽吸管2513A1、連接管及真空泵291構成第一成形對象物吸附機構，第二氣體抽吸孔2512A2、第二氣體抽吸管2513A2、連接管及真空噴射器292構成第二成形對象物吸附機構。

第一下模252A具有與第一實施形態的第一下模152A相同的周壁構件1521A、底面構件1522A及彈性構件1523A。

樹脂成形裝置20具備具有下模按壓部本體271及下模按壓部彈性構件272的下模按壓部27。但是，下模按壓部27不具有相當於第一實施形態的下模按壓部17中的擠壓部173的構成。

進而，樹脂成形裝置20具有成形對象物搬送機構80B。如圖8所示那樣，成形對象物搬送機構80B具有載置成形對象物的成形對象物載置臺81B、使成形對象物載置臺81B升降的升降機構83B、以及使成形對象物載置臺81B及升降機構83B橫向移動的橫向移動機構85B。成形對象物搬送機構80B不具有相當於第一實施形態的樹脂成形裝置10中的成形對象物搬送機構80所具有的第二擠壓部或第二升降機構的構成。

此外，在樹脂成形裝置20中未設置爪部。另外，此處使用具有真空噴射器292的第二成形對象物吸附機構，也能取而代之而使用伯努利吸盤或靜電吸盤等。

（4-2-2）第二實施形態的樹脂成形裝置的動作及樹脂成形品製造方法 使用圖9（a）～圖9（d），對第二實施形態的樹脂成形裝置20的動作及樹脂成形品製造方法進行說明。首先，在成形對象物搬送機構80B的成形對象物載置臺81B上載置成形對象物S後，利用橫向移動機構85B使升降機構83B及成形對象物載置臺81B移動到第一成形模具25A的第一上模251A與第一下模252A之間。接著，利用升降機構83B使成形對象物載置臺81B上升，使成形對象物載置臺81B上的成形對象物S抵接於第一保持面2511A（圖9（a））。然後，使真空泵291動作，經由第一氣體抽吸管2513A1從第一氣體抽吸孔2512A1抽吸空氣，並且使真空噴射器292啟動，經由第二氣體抽吸管2513A2從第二氣體抽吸孔2512A2抽吸空氣，藉此使成形對象物載置臺81B上的成形對象物S吸附於第一保持面2511A。然後，利用升降機構83B使成形對象物載置臺81B下降，利用橫向移動機構85B使升降機構83B及成形對象物載置臺81B移動到在橫向上自第一上模251A與第一下模252A之間離開的位置。

接著，利用未圖示的脫模膜鋪設機構在第一下模252A的模腔C的內表面鋪設脫模膜F。脫模膜F的鋪設能利用與第一實施形態的樹脂成形裝置10相同的方法來進行。然後，利用未圖示的樹脂材料供給機構將樹脂材料P供給至模腔C內（圖9（b））。

然後，通過利用加熱器142進行加熱而使樹脂材料P熔融。模腔C內的樹脂材料P熔融時，利用肘杆113使下可動平板121上升。藉此與第一實施形態的樹脂成形裝置10同樣地，將第一成形模具25A及第二成形模具25B分別鎖模（圖9（c）中示出第一成形模具25A的鎖模狀態）。鎖模後，維持模腔C內的樹脂材料進行硬化的溫度直到此樹脂材料硬化為止。然後，利用肘杆113使下可動平板121下降，藉此將第一成形模具25A及第二成形模具25B開模（圖9（d））。

開模後，利用成形對象物搬送機構80B將形成有樹脂成形品PS的成形對象物S從第一保持面2511A搬出。具體來說，首先利用橫向移動機構85使升降機構83B及成形對象物載置臺81B移動到第一成形模具25A的第一上模251A與第一下模252A之間。接著，利用升降機構83B使成形對象物載置臺81B上升，使成形對象物載置臺81B上的成形對象物S抵接於第一保持面2511A（與圖9（a）相同）。然後，使利用真空泵291及真空噴射器292的成形對象物S的吸附均停止。接著，利用升降機構83B使成形對象物載置臺81B下降，利用橫向移動機構85使升降機構83B及成形對象物載置臺81B從第一上模251A與第一下模252A之間向外側移動，藉此能將成形對象物S搬出。

到此為止的動作中，利用使用真空泵291的第一成形對象物吸附機構、及使用真空噴射器292的第二成形對象物吸附機構，藉此即便因停電而真空泵291及壓縮機停止，也能暫時維持從第二成形對象物吸附機構的壓縮空氣罐向真空噴射器292的壓縮空氣的供給，藉此能暫時維持成形對象物S的吸附。另外，即便因壓縮機長時間故障等緣由而真空噴射器292停止，也能利用第一成形對象物吸附機構來維持成形對象物S的吸附。出於以上原因，能利用第二實施形態的樹脂成形裝置20降低成形對象物從上模掉落的可能性。

另外，第二實施形態的樹脂成形裝置20中不使用爪部，因此能不受爪部妨礙而增大所製造的樹脂成形品，並且能防止脫模膜產生皺褶。

（4-3）第一實施方式的樹脂成形裝置的另一實施形態（第三實施形態）、及第三實施方式的樹脂成形品製造方法的一實施形態 （4-3-1）第三實施形態的樹脂成形裝置的構成 圖10（a）及圖10（b）中示出第三實施形態的樹脂成形裝置30的構成。圖10（a）中示出樹脂成形裝置30總體，圖10（b）中將成形模具及其周圍放大表示。此樹脂成形裝置30為進行轉移成形的裝置，且具備基盤311、豎立設置於基盤311上的兩根系杆312、以能上下移動的方式保持於系杆312的可動平板321、固定於系杆312的上端的固定平板323、以及設於基盤311上且使可動平板321上下移動的肘杆313。到此為止所描述的各構成元件除了僅設有一個可動平板321的方面以外，與第一實施形態的樹脂成形裝置10相同。

樹脂成形裝置30還具備成形模具35。成形模具35具有設於可動平板的上表面的下模352、及設於固定平板323的下表面的上模351。下模352中，如圖10（b）及圖11（a）所示那樣，形成有兩個由周壁構件3521及底面構件3522所包圍的模腔C，在兩個周壁構件3521及底面構件3522的組之間配置有筒（pot）381。在筒381內從下側穿插有柱塞382。在周壁構件3521的上表面，設有將筒381與模腔C連接的流道（runner）383。筒381及流道383的上表面通常開放，僅在進行鎖模時由後述筒流道塊關閉。在周壁構件3521的上表面，設有多個用於抽吸脫模膜F的抽吸口（圖11（a）中以圓圈記號表示）。

上模351具有分別設於下模352的兩組周壁構件3521及模腔C的上側的保持面3511、針對兩個保持面3511各自而設於兩側方的爪部16、以及設於較此爪部16更靠外側的下模按壓部17。這些爪部16及下模按壓部17的各構成元件均與第一實施形態相同，因此直接標注第一實施形態中所標注的符號後，省略詳細說明。在保持面3511上設有氣體抽吸孔3512。氣體抽吸孔3512經由氣體抽吸管3513及具有可撓性的連接管（未圖示）而連接於真空泵391。另外，在筒381及流道383的正上方設有筒流道塊（圖11（b））。筒流道塊是在圖11（b）的上下方向上隔著下模按壓部17（因此，位置不與下模按壓部17干擾）而設有一對，與此對應，筒381及流道383也是在圖11（a）的上下方向上並列而設有一對。

樹脂成形裝置30還具有與第一實施形態的樹脂成形裝置10相同的成形對象物搬送機構80。

（4-3-2）第三實施形態的樹脂成形裝置的動作及樹脂成形品製造方法 使用圖12（a）～圖12（d），對第三實施形態的樹脂成形裝置30的動作及樹脂成形品製造方法進行說明。此外，圖12中，示出下模352的兩組周壁構件3521及底面構件3522以及上模351的兩組保持面3511、爪部16及下模按壓部17等中的僅一組，但這些兩組的各構成元件同樣地動作。

首先，使用成形對象物搬送機構80，通過與第一實施形態的樹脂成形裝置10相同的動作，使成形對象物搬送機構80移動到上模351與下模352之間的位置後，利用第二升降機構83使第一升降機構82上升，利用第二擠壓部84擠壓第二被擠壓部164，進而利用第一升降機構82使成形對象物載置臺81上升，使成形對象物S接觸保持面3511（圖12（a））。此時，與第一實施形態的情況同樣地，通過利用成形對象物搬送機構80的第二擠壓部84擠壓爪部16的第二被擠壓部164而爪部16轉動，爪部本體161移動到保持面3511的外側（參照圖5（b）），所以此爪部本體161不會妨礙成形對象物載置臺81的上升。通過在如此這樣成形對象物S接觸保持面3511的狀態下使真空泵391動作，而使保持面3511吸引成形對象物S。然後，若使成形對象物載置臺81下降，則爪部16轉動，爪部本體161移動到保持面3511及成形對象物S的下側。藉此，即便真空泵391停止，也能利用爪部本體161承接成形對象物S，因此能防止成形對象物S掉落。然後，將成形對象物搬送機構80從上模351與下模352之間的位置除去。

然後，在筒381內投入固體的樹脂材料P，並且在模腔C的內表面鋪設脫模膜F（圖12（b））。在鋪設脫模膜F時，從設於周壁構件3521的上表面的抽吸口抽吸氣體。

接著，通過利用肘杆313使可動平板321上升而進行鎖模。此時，若上模351與下模352接近到爪部移動開始距離以下，則下模按壓部本體171抵接於下模352的周壁構件3521的上表面，若上模351與下模352進一步接近，則下模按壓部彈性構件172被逐漸壓縮並且擠壓部173將爪部16的第一被擠壓部163上推。藉此爪部16轉動，爪部本體161移動到上模351的保持面3511的外側（參照圖5（d））。藉此，爪部本體161不會成為障礙，能在成形對象物S內的廣範圍內進行樹脂成形。另外，爪部本體161並未抵接周壁構件3521的上表面，無需在周壁構件3521的上表面設置用於使爪部本體161退避的凹部（退避部）。因此，不會發生爪部本體161擠壓脫模膜F而使此脫模膜F產生皺褶的情況。

鎖模後，通過利用未圖示的加熱器將筒381內的樹脂材料P加熱而使其熔融，利用柱塞382將樹脂材料P從筒381中擠出（圖12（c））。從筒381中擠出的樹脂材料P經過流道383而被供給至模腔C內。模腔C內的樹脂材料P硬化後，通過利用肘杆313使可動平板321下降而開模（圖12（d））。接著，利用與第一實施形態的情況相同的方法將成形對象物S從上模351的保持面3511取下，藉此完成一個樹脂成形品PS的製造。

（4-4）第二實施方式的樹脂成形裝置的另一實施形態（第四實施形態）、及第四實施方式的樹脂成形品製造方法的一實施形態 （4-4-1）第四實施形態的樹脂成形裝置的構成 圖13（a）及圖13（b）中示出第四實施形態的樹脂成形裝置40的構成。圖13（a）中示出樹脂成形裝置40總體，圖13（b）中將成形模具及其周圍放大表示。第四實施形態的樹脂成形裝置40具有與第三實施形態的樹脂成形裝置30相同的基盤311、系杆312、肘杆313、可動平板321及固定平板323。在可動平板321的上表面設有下模352，在固定平板323的下表面設有上模451，由這些上模451及下模352構成成形模具。下模352具有與第三實施形態的樹脂成形裝置30的下模相同的構成，因此標注與第三實施形態相同的符號後，省略說明。

上模451的下表面成為保持成形對象物的保持面4511，在此保持面4511上設有第一氣體抽吸孔45121及第二氣體抽吸孔45122。第一氣體抽吸孔45121經由第一氣體抽吸管45131及具有可撓性的連接管（未圖示）而連接於真空泵491。第二氣體抽吸孔45122經由第二氣體抽吸管45132及具有可撓性的連接管（未圖示）而連接於真空噴射器492。與第二實施形態的情況同樣地，真空噴射器492使用從壓縮機供給於壓縮空氣罐的壓縮空氣而動作。

在上模451中設有與第三實施形態的樹脂成形裝置30相同的下模按壓部17及筒流道塊（未圖示）。然而，本實施形態中未設置第三實施形態的樹脂成形裝置30的下模按壓部17所具有的擠壓部173。另外，本實施形態中未設置第三實施形態的樹脂成形裝置30所具有的爪部16。

樹脂成形裝置40還具備與第二實施形態的樹脂成形裝置20相同的成形對象物搬送機構80A。

（4-4-2）第四實施形態的樹脂成形裝置的動作及樹脂成形品製造方法 使用圖14（a）～圖14（d），對第四實施形態的樹脂成形裝置40的動作及樹脂成形品製造方法進行說明。首先，利用與第二實施形態的樹脂成形裝置20相同的方法，使用成形對象物搬送機構80A使成形對象物S吸附於保持面4511（圖14（a））。此處，對保持面4511的吸附是通過以下方式進行：使真空泵491動作，經由第一氣體抽吸管45131從第一氣體抽吸孔45121抽吸空氣，並且使真空噴射器492啟動，經由第二氣體抽吸管45132從第二氣體抽吸孔45122抽吸空氣。藉此，即便因停電而真空泵491及壓縮機停止，也能暫時維持從壓縮空氣罐向真空噴射器492的壓縮空氣的供給，藉此能暫時維持成形對象物S的吸附。另外，即便因壓縮機長時間故障等緣由而真空噴射器492停止，也能維持使用真空泵491的成形對象物S的吸附。

接著，在筒381內投入固體的樹脂材料P，並且在模腔C的內表面鋪設脫模膜F（圖14（b））。然後，通過利用肘杆313使可動平板321上升而進行鎖模。本實施形態中不使用爪部，因此爪部不會成為障礙，能在成形對象物S內的廣範圍內進行樹脂成形。另外，爪部並未抵接於周壁構件3521的上表面，無需在周壁構件3521的上表面設置用於使爪部退避的凹部（退避部），因此不會發生爪部使脫模膜F產生皺褶的情況。

鎖模後，通過利用未圖示的加熱器將筒381內的樹脂材料P加熱而使其熔融，利用柱塞382將樹脂材料P從筒381中擠出，經由流道383而供給至模腔C內（圖14（c））。模腔C內的樹脂材料P硬化後，通過利用肘杆313使可動平板321下降而開模（圖14（d））。接著，利用與第二實施形態的情況相同的方法，將成形對象物S從上模451的保持面4511取下，藉此完成一個樹脂成形品PS的製造。

（4-5）將模塊組合而成的樹脂成形單元 圖15中示出使用所述第一實施形態或第二實施形態的樹脂成形裝置（進行壓縮成形的樹脂成形裝置）的任一個的樹脂成形單元50。此外，圖15及以下的說明中，以使用第一實施形態的樹脂成形裝置10的例子進行說明，但也能將第一實施形態的樹脂成形裝置10替換為第二實施形態的樹脂成形裝置20。

樹脂成形單元50具有材料接收模塊51、成形模塊52及送出模塊53。材料接收模塊51為從外部接收樹脂材料P及成形對象物S並送出到成形模塊52的裝置，且具有樹脂材料供給裝置510及成形對象物接收部511。一台成形模塊52具備一組所述樹脂成形裝置10。圖15中示出三台成形模塊52，但能在樹脂成形單元50中設置任意台數的成形模塊52。另外，即便在組裝樹脂成形單元50並開始使用後，也能增減成形模塊52。送出模塊53將成形模塊52中製造的樹脂成形品從成形模塊52搬入並保持，且具有樹脂成形品保持部531。

在樹脂成形單元50中，以貫穿材料接收模塊51、一台或多台成形模塊52及送出模塊53的方式，設有搬送成形對象物S、樹脂材料輸送盤58及樹脂成形品的主搬送裝置56。另外，在各模塊內，在主搬送裝置56與此模塊內的裝置之間設有搬送成形對象物S、樹脂材料輸送盤58及樹脂成形品的副搬送裝置57。此外，樹脂成形單元50具有用於使所述各模塊動作的電源及控制部（均未圖示）。

對樹脂成形單元50的動作進行說明。由操作員將成形對象物S保持於材料接收模塊51的成形對象物接收部511。主搬送裝置56及副搬送裝置57將成形對象物S從成形對象物接收部511搬送到位於成形模塊52中的一台中的樹脂成形裝置10中，將成形對象物S載置在此樹脂成形裝置10內的成形對象物搬送機構80的成形對象物載置臺81上。然後，在樹脂成形裝置10中利用上文所述的方法將成形對象物S安裝於第一保持面1511A、第二保持面。然後，在樹脂成形裝置10中，在第一下模152A及第二下模152B的模腔C中鋪設脫模膜F。

接著，主搬送裝置56及副搬送裝置57將樹脂材料輸送盤58搬入到樹脂材料供給裝置510中。在樹脂材料供給裝置510中，對樹脂材料輸送盤58供給樹脂材料P。

主搬送裝置56及副搬送裝置57將經供給有樹脂材料P的樹脂材料輸送盤58搬送到已將成形對象物S安裝於第一保持面1511A、第二保持面的成形模塊52的樹脂成形裝置10。然後，在此樹脂成形裝置10的第一下模152A及第二下模152B的模腔C中供給樹脂材料P。接著，在此樹脂成形裝置10中進行壓縮成形。通過在利用此樹脂成形裝置10進行壓縮成形的期間中，對處於其他成形模塊52中的樹脂成形裝置10進行與到此為止相同的操作，能在多個成形模塊52間將時間錯開且一併進行壓縮成形。

通過壓縮成形所得的樹脂成形品是利用成形對象物搬送機構80通過上文所述的方法從第一保持面1511A、第二保持面取下後，通過主搬送裝置56及副搬送裝置57從樹脂成形裝置10搬出，被搬入到送出模塊53的樹脂成形品保持部531中並保持。用戶適當從樹脂成形品保持部531中取出樹脂成形品。

本發明不限定於以上所說明的實施形態，能由本領域中具有通常知識的人員在本發明的技術思想內進行多種變形。

10、20、30、40‧‧‧樹脂成形裝置

15A、25A‧‧‧第一成形模具

15B、25B‧‧‧第二成形模具

16‧‧‧爪部

17、27‧‧‧下模按壓部

19‧‧‧成形對象物吸附機構

35‧‧‧成形模具

50‧‧‧樹脂成形單元

51‧‧‧材料接收模塊

52‧‧‧成形模塊

53‧‧‧送出模塊

56‧‧‧主搬送裝置

57‧‧‧副搬送裝置

58‧‧‧樹脂材料輸送盤

80、80A、80B‧‧‧成形對象物搬送機構

81、81A、81B‧‧‧成形對象物載置臺

82‧‧‧第一升降機構

83‧‧‧第二升降機構

83A、83B‧‧‧升降機構

84、84A‧‧‧第二擠壓部

85、85A、85B‧‧‧橫向移動機構

111、311‧‧‧基盤

112、312‧‧‧系杆

113、313‧‧‧肘杆

121‧‧‧下可動平板

122‧‧‧上可動平板

123、323‧‧‧固定平板

141‧‧‧隔熱材

142‧‧‧加熱器

151A、251A‧‧‧第一上模

151B、251B‧‧‧第二上模

152A、252A‧‧‧第一下模

152B、252B‧‧‧第二下模

161‧‧‧爪部本體

162‧‧‧轉動軸

163‧‧‧第一被擠壓部

164‧‧‧第二被擠壓部

165‧‧‧施力機構

171、271‧‧‧下模按壓部本體

172、272‧‧‧下模按壓部彈性構件

173‧‧‧擠壓部

191、291、391、491‧‧‧真空泵

292、492‧‧‧真空噴射器

321‧‧‧可動平板

323‧‧‧固定平板

351、451‧‧‧上模

352‧‧‧下模

381‧‧‧筒

382‧‧‧柱塞

383‧‧‧流道

510‧‧‧樹脂材料供給裝置

511‧‧‧成形對象物接收部

531‧‧‧樹脂成形品保持部

1511A、2511A‧‧‧第一保持面

1512A、3512‧‧‧氣體抽吸孔

1513A、3513‧‧‧氣體抽吸管

1521A、2521A、3521‧‧‧周壁構件

1522A、2522A、3522‧‧‧底面構件

1523A、2523A‧‧‧彈性構件

2512A1、45121‧‧‧第一氣體抽吸孔

2512A2、45122‧‧‧第二氣體抽吸孔

2513A1、45131‧‧‧第一氣體抽吸管

2513A2、45132‧‧‧第二氣體抽吸管

3511、4511‧‧‧保持面

C‧‧‧模腔

F‧‧‧脫模膜

P‧‧‧樹脂材料

PS‧‧‧樹脂成形品

S‧‧‧成形對象物

圖1（a）為表示第一實施方式的樹脂成形裝置的一實施形態（第一實施形態）的概略構成圖，以及圖1（b）為將此樹脂成形裝置的成形模具及其周圍放大表示的圖。 圖2（a）為第一實施形態的樹脂成形裝置中的爪部的立體圖，圖2（b）為第一實施形態的樹脂成形裝置中的爪部的側面圖。 圖3為表示第一實施形態的樹脂成形裝置所具有的成形對象物搬送機構的概略構成圖。 圖4（a）～圖4（f）為表示第一實施形態的樹脂成形裝置的動作及樹脂成形品製造方法的圖。 圖5（a）～圖5（d）為表示第一實施形態的樹脂成形裝置及樹脂成形品製造方法中的爪部及其周圍的構成元件的動作的放大圖。 圖6為表示成形對象物搬送機構的變形例的概略構成圖。 圖7（a）為表示第二實施方式的樹脂成形裝置的一實施形態（第二實施形態）的概略構成圖，以及圖7（b）為將此樹脂成形裝置的成形模具及其周圍放大表示的圖。 圖8為表示第二實施形態的樹脂成形裝置所具有的成形對象物搬送機構的概略構成圖。 圖9（a）～圖9（d）為表示第二實施形態的樹脂成形裝置的動作及樹脂成形品製造方法的圖。 圖10（a）及圖10（b）為表示第一實施方式的樹脂成形裝置的另一實施形態（第三實施形態）的概略構成圖。 圖11（a）為第三實施形態的樹脂成形裝置所具有的下模的俯視圖，圖11（b）為第三實施形態的樹脂成形裝置所具有的上模的仰視圖。 圖12（a）～圖12（d）為表示第三實施形態的樹脂成形裝置的動作及樹脂成形品製造方法的圖。 圖13（a）及圖13（b）為表示第二實施方式的樹脂成形裝置的另一實施形態（第四實施形態）的概略構成圖。 圖14（a）～圖14（d）為表示第四實施形態的樹脂成形裝置的動作及樹脂成形品製造方法的圖。 圖15為表示經模塊化的樹脂成形單元的一例的概略構成圖。

Claims (4)

1. 一種樹脂成形裝置，其特徵在於，包括： 上模，在下側具有保持成形對象物的保持面； 下模，與所述上模相向地配置，且具有模腔； 第一成形對象物吸附機構，設於所述保持面，通過利用真空泵的氣體抽吸使成形對象物吸附於所述保持面；以及 第二成形對象物吸附機構，設於所述保持面，通過利用真空泵的氣體抽吸以外的方式使成形對象物吸附於所述保持面。
2. 如申請專利範圍第1項所述的樹脂成形裝置，其中，所述第二成形對象物吸附機構通過利用真空噴射器的氣體抽吸使成形對象物吸附於所述保持面。
3. 一種樹脂成形品製造方法，其特徵在於：使用如申請專利範圍第1項或第2項所述的樹脂成形裝置來製造樹脂成形品，其中，包括以下步驟： 成形對象物保持步驟，利用所述第一成形對象物吸附機構及所述第二成形對象物吸附機構使成形對象物吸附於所述保持面； 樹脂材料供給步驟，對所述模腔供給樹脂材料； 鎖模步驟，將所述上模與所述下模鎖模；以及 樹脂材料硬化步驟，將所述模腔內的樹脂材料加熱到所述樹脂材料軟化或熔融的溫度後，使所述樹脂材料硬化。
4. 一種樹脂成形品製造方法，其特徵在於：使用如申請專利範圍第1項或第2項所述的樹脂成形裝置來製造樹脂成形品，其中，包括以下步驟： 成形對象物保持步驟，利用所述第一成形對象物吸附機構及所述第二成形對象物吸附機構使成形對象物吸附於所述保持面； 鎖模步驟，將所述上模與所述下模鎖模； 樹脂材料供給步驟，對所述模腔內供給經軟化或熔融的樹脂材料；以及 樹脂材料硬化步驟，使供給至所述模腔內的樹脂材料硬化。