CN118103190A - 树脂密封装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的课题在于提供一种能够提高生产性并且能够实现装置结构的简化的树脂密封装置。作为解决手段，本发明的树脂密封装置(1)使用包括具有上模(204)及下模(206)的密封模具的压制装置(250)并通过树脂(R)对工件(W)进行密封而加工为成形品(Wp)，且所述树脂密封装置包括沿着引导件(120)在左右方向上往复移动来进行工件(W)及成形品(Wp)的搬送的装载器(122)，装载器(122)具有：载入器部(124)，以能够在前后方向上移动的方式构成且将工件(W)向密封模具(202)内搬入；以及载出器部(126)，以能够在前后方向上移动的方式构成且将成形品(Wp)向密封模具(202)外搬出，载入器部(124)及载出器部(126)沿着左右方向并列配设。

Description

树脂密封装置
技术领域
本发明涉及一种树脂密封装置。
背景技术
作为通过密封树脂(以下，有时简称为“树脂”)对在基材上搭载有电子零件的工件进行密封而加工为成形品的树脂密封装置的例子，已知有利用转注成形方式或压缩成形方式的例子。
转注成形方式为以下技术：设置罐来向设置于包括上模及下模而构成的密封模具的一对密封区域(模腔)供给规定量的树脂，在与所述各密封区域对应的位置分别配置工件，通过利用上模及下模夹持并自罐向模腔注入树脂的操作进行树脂密封。另外，压缩成形方式为以下技术(参照专利文献1：日本专利特开2019-145550号公报)：向设置于包括上模及下模而构成的密封模具的密封区域(模腔)供给规定量的树脂，并且在所述密封区域配置工件，通过利用上模与下模夹持的操作进行树脂密封。作为一例，已知有在使用在上模设置有模腔的密封模具的情况下，向工件上的中心位置一并供给树脂来进行成形的技术等。另一方面，已知有在使用在下模设置有模腔的密封模具的情况下，供给覆盖包含所述模腔的模具的面的膜及树脂而进行成形的技术等。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利特开2019-145550号公报
发明内容
发明所要解决的问题
在现有的树脂密封装置中存在如下那样的课题。即，在对外形较大(作为一例，600mm见方等)的工件进行树脂密封的树脂密封装置中，在自密封模具搬出成形后的制品(成形品)并搬入下一成形对象品(工件)时，通常实施下述工序。具体而言，在一台装载器的情况下，实施如下工序：自密封模具搬出成形品并向下一工序阶段搬送，其后再次使用装载器将下一工件向密封模具内搬入。因此，在将成形品向下一工序阶段搬送之前的期间，无法进行向密封模具的工件搬入以及成形(树脂密封)，而存在生产性降低的课题。特别是，在设置两台以上的包括密封模具的压制单元的情况下，成形品(及工件)的搬送距离进一步变长，从而更显著地发生生产性的降低。另一方面，在两台装载器(即载入器以及载出器分别分离独立的结构)的情况下，虽抑制了生产性的降低，但装置内部的结构复杂化，并且会导致装置的成本上升。
针对所述课题，研究了在一台装载器各别地设置工件保持机构以及成形品保持机构来实现生产性降低的抑制。例如，如专利文献1等所示，研究了如下结构：在装载器的前后方向(与向密封模具的搬入/搬出方向一致的方向)上并列设置工件保持机构以及成形品保持机构。但是，由于成为在前后方向上长的装载器形状，因此在假定特别大的工件的情况下，可能会新产生如下课题：在悬臂支撑构造上外伸变长，为了确保强度而加以大型化。另一方面，也研究了在装载器的上表面与下表面分别设置工件保持机构以及成形品保持机构的结构。但是，由在成为上下厚的装载器形状，因此可能会新产生上模与下模的隔开距离变大，模具开闭需要耗费时间的课题。
解决问题的技术手段
本发明是鉴于所述情况而成，其目的在于提供一种树脂密封装置，能够缩短使用装载器将工件向密封模具内搬入并自密封模具搬出成形品的一系列工序的节拍时间，提高生产性，并且能够实现装置结构的简化。
本发明通过如以下作为一实施方式记载那样的解决手段来解决所述课题。
本发明的树脂密封装置是使用包括具有上模及下模的密封模具的压制装置并通过树脂对工件进行密封而加工为成形品的树脂密封装置，且其必要条件在于包括沿着引导件在左右方向上往复移动来进行所述工件及所述成形品的搬送的装载器，所述装载器具有：载入器部，以能够在前后方向上移动的方式构成且将所述工件向所述密封模具内搬入；以及载出器部，以能够在前后方向上移动的方式构成且将所述成形品向所述密封模具外搬出，所述载入器部及所述载出器部沿着左右方向并列配设。
由此，可在使工件保持于载入器部的状态下通过载出器部自密封模具内搬出成形品。其后，仅通过稍微移动直至载入器部与密封模具一致的位置，便可通过载入器部将工件向密封模具内搬入。因此，可缩短进行工件的搬入及成形品的搬出的工序中的节拍时间。
另外，优选为所述载入器部在下表面具有对所述工件进行保持的工件保持部，所述载出器部在下表面具有对所述成形品进行保持的成形品保持部。由此，在包括在上模设置有模腔且在下模设置有工件保持部的密封模具的装置结构中，可实现在一个装载器上以并列配置的方式设置对工件进行保持的工件保持部以及对成形品进行保持的成形品保持部的结构。
另外，优选为还包括进行所述工件的预加热的工件加热器，所述工件加热器配设于沿着所述引导件的规定位置中较所述装载器更靠下方的位置，所述装载器构成为，所述载入器部的所述工件保持部所保持的所述工件朝向所述工件加热器而露出。由此，在将工件保持于配设在载入器部的下表面的工件保持部的状态下，能够利用工件加热器对所述工件进行预加热。
另外，优选为所述装载器具有：第一升降机构，使所述载入器部上下升降；以及按压机构，将所述载入器部的所述工件保持部所保持的所述工件按压于所述工件加热器。由此，特别是可在对使用玻璃面板构成的工件等施加压力的状态下进行预加热，因此可防止所述工件的裂纹损伤。
另外，优选为所述按压机构构成为，能够在按压过程中阶段性地改变将所述工件按压于所述工件加热器的压力。由此，特别是在对使用玻璃面板构成的工件等进行预加热时，可进一步防止裂纹损伤。
另外，优选为所述装载器具有：第二升降机构，使所述载出器部上下升降；以及一个马达，进行所述第一升降机构及所述第二升降机构此两者的驱动。由此，作为第一升降机构及第二升降机构的驱动源的马达可共用一个，因此可实现结构的简化及装置的成本降低。
优选为所述压制装置配设有两台，所述装载器配设有一台，所述树脂密封装置包括进行所述压制装置及所述装载器的工作控制的控制部，所述控制部进行如下控制：在时间上错开实施两台所述压制装置各自的树脂密封工序，并且使用一台所述装载器实施相对于两台所述压制装置而言的所述工件的搬入及所述成形品的搬出。由此，在利用一台压制装置进行成形的期间，可通过一台装载器实施其他压制装置中的工件的搬入及成形品的搬出，因此不需要分别独立地驱动两台装载器的结构等，从而可实现装置的简化及成本降低。
发明的效果
根据本发明，特别是通过将使用装载器的工件的搬入及成形品的搬出动作效率化，可缩短进行树脂密封的一系列工序中的节拍时间，从而实现生产性的提高。另外，可实现装置结构的简化。
附图说明
[图1]图1是表示本发明的实施方式的树脂密封装置的例子的平面图。
[图2]图2是表示图1的树脂密封装置的密封模具的例子的正面剖面图。
[图3]图3是表示图1的树脂密封装置的装载器的例子的正面剖面图。
具体实施方式
(整体结构)
以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。图1是表示本实施方式的树脂密封装置1的例子的平面图(概略图)。此外，为了便于说明，有时在图中通过箭头来说明树脂密封装置1的前后、左右、上下的方向。另外，在用于说明各实施方式的所有图中，对具有相同的功能的构件标注相同的符号，有时省略其重复的说明。
本实施方式的树脂密封装置1为使用包括上模204及下模206的密封模具202对工件(被成形品)W进行树脂密封的装置。以下，作为树脂密封装置1，列举压缩成形装置为例进行说明，所述压缩成形装置利用下模206保持工件W，以离型膜(release film，以下有时简称为“膜”)F覆盖以对应的配置设置于上模204的模腔208(包含模具面204a的一部分)，进行上模204与下模206的夹持动作，利用树脂R对工件W进行密封。
首先，作为成形对象的工件W包括以下结构：在基材Wa上矩阵状地搭载有多个电子零件Wb。更具体而言，作为基材Wa的例子，可列举：形成为长方形形状、圆形形状等的树脂基板、陶瓷基板、金属基板、托板(carrier plate)、引线框架、晶片等板状构件。另外，作为电子零件Wb的例子，可列举半导体芯片、微机电系统(micro electromechanical system，MEMS)芯片、被动元件、散热板、导电构件、间隔件等。但是，并不限定于这些。
作为在基材Wa上搭载电子零件Wb的方法的例子，有利用打线接合安装、覆晶(flipchip)安装等的搭载方法。或者，在树脂密封后自成形品Wp剥离基材(玻璃制或金属制的托板)Wa的结构的情况下，也有以下方法：使用具有热剥离性的粘着带或通过紫外线照射进行硬化的紫外线硬化性树脂来贴附电子零件Wb。
另一方面，作为树脂R的例子，可使用液状的热硬化性树脂(例如，含有填料的环氧系树脂等)。此外，树脂R并不限定于所述状态，可为粒状(用作颗粒状、粉碎状、粉末状等的总称)、板状、片状等其他状态(形状)，也可为环氧系热硬化性树脂以外的树脂。
另外，作为膜F的例子，可优选地使用耐热性、剥离容易性、柔软性、伸展性优异的膜材，例如聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene，PTFE)、乙烯-四氟乙烯共聚物(ethylene-tetrafluoroethylene，ETFE)(聚四氟乙烯聚合物)、聚对苯二甲酸乙二酯(polyethylene terephthalate，PET)、氟化乙烯丙烯(fluorinated ethylene propylene，FEP)、氟含浸玻璃布、聚丙烯、聚偏二氯乙烯等。在本实施方式中，可使用辊状的膜作为膜F。此外，作为其他例，也可设为使用短条状的膜的结构(未图示)。
接着，对本实施方式的树脂密封装置1的概要进行说明。如图1所示，树脂密封装置1包括以下构件作为主要结构：工件单元100A，主要进行作为树脂密封对象的工件W及树脂R的供给(包括自前一工序的送入)；压制单元100B，对工件W进行树脂密封而主要进行对成形品Wp的加工；以及成形品单元100C，主要进行树脂密封后的成形品Wp的收纳(包括向下一工序的送出)。进而，包括搬送机构100D，所述搬送机构100D在各单元间移动而进行工件W、树脂R及成形品Wp的搬送。此外，进行各机构的工作控制的控制部150配置于工件单元100A，但也可采用配置于其他单元的机构。
此外，树脂密封装置1可通过改变单元的结构，从而变更整体的结构形态。例如，图1所示的结构为设置有两台压制单元100B的例子，但也能够为仅设置一台压制单元100B或者设置三台以上的压制单元100B的结构等。另外，也能够为追加设置其他单元的结构等(均未图示)。
(工件单元)
接着，对树脂密封装置1所包括的工件单元100A进行详细说明。
作为一例，工件单元100A包括用于收容工件W的工件存储器(work stocker)102以及载置工件W的供给工作台104。由此，成为使用公知的推进器等(未图示)自工件存储器102取出工件W并载置于供给工作台104上的结构。此外，对于工件存储器102，使用公知的堆叠料盒(stack magazine)、狭缝料盒等，能够一并收容多个工件W。
或者，作为其他例子，也可采用使用移动装置(输送机等)自实施前一工序的其他单元搬送工件W并载置于供给工作台104上的结构(未图示)。
另外，在工件单元100A(也可设为其他单元)设置有分配器(未图示)，所述分配器向载置于供给工作台104上(也可另外设置树脂散布工作台)的工件W的上表面供给树脂R。工件W在上表面载置有树脂R的状态下由装载器122向密封模具202搬送。但是，并不限定于此，也可采用包括与工件W不同地将树脂R直接向密封模具202内搬入的树脂装载器(未图示)。
此外，在工件单元100A等中，也可采用包括进行工件W的外观检查的检查机构的结构(均未图示)。
(压制单元)
接着，对树脂密封装置1所包括的压制单元100B进行详细说明。此处，图2中示出树脂密封装置1的密封模具202的正面剖面图(概略图)。
压制单元100B包括：密封模具202，具有开闭的一对模具(例如将多个区块、板、柱等或其他构件组装而成)。在本实施方式中，作为一对模具，包括铅垂方向上方侧的上模204以及下方侧的下模206。成为通过所述上模204与下模206相互接近、远离而闭模、开模的结构。即，铅垂方向(上下方向)成为模开闭方向。
此外，密封模具202由公知的压制装置250进行模开闭。例如，压制装置250包括以下构件而构成：一对压盘(platen)、供架设一对压盘的多个连结机构(系杆(tie bar)或柱部)、使压盘可动(升降)的驱动源(例如，电动马达)及驱动传递机构(例如，滚珠螺杆或肘节连杆(toggle link)机构)等(均未图示)。另外，密封模具202配设于所述压制装置250的一对压盘之间。在本实施方式中，成为固定模的上模204组装于固定压盘(固定于连结机构的压盘)，成为可动模的下模206组装于可动压盘(沿着连结机构升降的压盘)。但是，并不限定于所述结构。
接着，对密封模具202的上模204进行详细说明。如图2所示，上模204包括上板222、模腔嵌件226、夹持器228等，且是将这些组装而构成。在本实施方式中，在上模204的下表面(下模206侧的面)设置有模腔208。
更具体而言，模腔嵌件226相对于上板222的下表面固定地组装。另一方面，夹持器228以包围模腔嵌件226的方式构成为环状，并且经由施力构件232相对于上板222的下表面远离(浮动)且能够上下移动地组装。所述模腔嵌件226构成模腔208的内里部(底部)，夹持器228构成模腔208的侧部。此外，在本实施方式中，在一个上模204上设置有一个模腔208。但是，并不限定于所述结构，也可采用在左右方向(或者前后方向)上并列设置多个的结构。
另外，在本实施方式中，设置有将自膜供给机构214(后述)供给的膜F抽吸保持于上模204的吸附机构。作为一例，所述吸附机构经由贯通夹持器228而配设的抽吸路230a、抽吸路230b及贯通上板222、模腔嵌件226而配设的抽吸路230c，与抽吸装置(未图示)连通。此外，在夹持器228的内周面与模腔嵌件226的外周面之间配设有密封构件234(例如，O形环)。
如此，通过设置覆盖模腔208的内表面及上模204的模具面204a(一部分)的膜F，而可使成形品Wp的上表面上的树脂R的部分容易地剥离，因此能够将成形品Wp自密封模具202(上模204)容易地取出。
另外，在本实施方式中，设置有将上模204加热至规定温度的上模加热机构。所述上模加热机构包括加热器(例如，电热丝加热器)、温度传感器、电源等(均未图示)，通过控制部150进行加热控制。作为一例，加热器成为如下结构(后述)，即内置于上板222或收容这些的模具基部(未图示)，主要对上模204整体及树脂R施加热。由此，将上模204调整并加热至规定温度(例如100℃～200℃)。
另外，在本实施方式中，设置有膜供给机构214，所述膜供给机构214将辊状且在片材面无开口(孔)的膜F向密封模具202的内部搬送(供给)。所述膜供给机构214成为如下结构，即未使用的膜F自卷出部214A送出并供给至经开模的密封模具202，在由密封模具202用于树脂密封之后，作为使用完毕的膜F由卷绕部214B卷绕。此外，卷出部214A与卷绕部214B也可在左右方向上相反地配置(未图示)。
接着，对密封模具202的下模206进行详细说明。如图2所示，下模206包括下板224、保持板236等，且是将这些组装而构成。此处，保持板236相对于下板224的上表面(上模204侧的面)固定地组装。
另外，在本实施方式中，设置有工件保持部205，所述工件保持部205将工件W保持于保持板236的上表面(即，模具面206a)上的规定位置。作为一例，所述工件保持部205经由贯通保持板236及下板224而配设的抽吸路240a而与抽吸装置(未图示)连通。此外，也可采用以下结构：与包括抽吸路240a的结构并列设置，包括夹持工件W的外周的保持爪(未图示)。
在本实施方式中，成为如下结构，即与所述上模204的结构(设置有一个模腔208的结构)对应地，在一个下模206设置有一个工件保持部205，对工件W逐个进行树脂密封。但是，并不限定于所述结构。
另外，在本实施方式中，设置有将下模206加热至规定温度的下模加热机构。所述下模加热机构包括加热器(例如，电热丝加热器)、温度传感器、电源等(均未图示)，通过控制部150进行加热控制。作为一例，加热器成为如下结构，即内置于下板224或收容这些的模具基部(未图示)，主要对下模206整体及工件W施加热。由此，将下模206调整并加热至规定温度(例如100℃～200℃)。
另外，压制单元100B包括工件加热器116(此外，也可采用不包括工件加热器116的结构)，所述工件加热器116自下表面侧(基材Wa侧)对由装载器122(详细情况将于下文叙述)搬送的工件W进行加热。本实施方式的工件加热器116配设于沿着引导件120的左右方向上的规定位置(在本实施方式中，装载器122的载入器部124与密封模具202在左右方向上一致的位置)、且为相对于装载器122铅垂方向上的下方位置。
作为一例，工件加热器116具有上表面形成为平面状、且能够升温并维持在规定温度的加热工作台117。根据所述结构，可使用装载器122使工件W的下表面与加热工作台117抵接，从而对所述工件W进行加热。因此，可在将工件W向密封模具202内搬入之前进行预加热。此外，作为使加热工作台117升温的机构，可使用公知的加热机构(例如，电热丝加热器、铠装加热器等)。
或者，作为其他的例子，工件加热器116也可在上表面包括红外线加热器或者电热丝加热器等，且采用以非接触的方式对保持于装载器122的工件W进行加热的结构(未图示)。
(成形品单元)
接着，对树脂密封装置1所包括的成形品单元100C进行详细说明。
作为一例，成形品单元100C包括载置成形品Wp的收容工作台114以及用于收容成形品Wp的成形品存储器112。由此，成为如下结构：使用装载器122搬送的成形品Wp使用公知的拾取器等(未图示)载置于收容工作台114上后使用公知的推进器等(未图示)搬入至成形品存储器112。此外，关于成形品存储器112，可使用公知的堆叠料盒、狭缝料盒等，能够一并收容多个成形品Wp。
或者，作为其他例子，也可采用以下结构(未图示)：使用移动装置(输送机等)自收容工作台114上搬送成形品Wp，使其向实施下一工序的其他单元移动。
此外，在成形品单元100C等中，也可采用包括进行成形品Wp的外观检查的检查机构等的结构(未图示)。
(搬送机构)
接着，对树脂密封装置1所包括的搬送机构100D进行详细说明。
作为一例，搬送机构100D包括一台装载器122，所述装载器122构成为能够沿着引导件120在左右方向上往复移动，将工件W及树脂R向压制单元100B搬入并且将成形品Wp自压制单元100B搬出。此处，图3中示出装载器122的正面剖面图(图1的III-III线剖面图)。
具体而言，装载器122包括保持工件W的载入器部124以及保持成形品Wp的载出器部126。由此，装载器122起到在工件单元100A(作为一例，供给工作台104)中接收工件W(载置有树脂R的状态)并向压制单元100B搬送的作用。进而，起到在压制单元100B中接收成形品Wp并向成形品单元100C(作为一例，收容工作台114)搬送的作用。此外，也可适当并用公知的拾取机构等。
此处，载入器部124具有能够保持工件W的工件保持部125，并且以能够相对于装载器122的主体在前后方向上移动的方式构成。由此，可通过工件保持部125接收保持于供给工作台104上的工件W(载置有树脂R的状态)并进行保持，从而向密封模具202内搬入并向下模206载置。
另外，载出器部126具有能够保持成形品Wp的成形品保持部127，并且以能够相对于装载器122的主体在前后方向上移动的方式构成。由此，可通过成形品保持部127接收保持于上模204上的成形品Wp并进行保持，从而向密封模具202外搬出并向收容工作台114载置。
进而，如图1所示，载入器部124及载出器部126沿着左右方向并列(即，沿左右方向排列)配置。
根据包括所述结构的装载器122，能够解决所述课题。即，通过在左右方向上并列设置载入器部124及载出器部126的装载器122的结构，可在使工件W保持于载入器部124的状态下通过载出器部126自密封模具202内搬出成形品Wp。其后，仅通过稍微移动(即，载入器部124与载出器部126的中心间程度的距离)直至载入器部124与密封模具202在左右方向上一致的位置，便可通过载入器部124将工件W向密封模具202内搬入。因此，与现有的结构、即通过具有一个保持部的一台装载器进行工件的搬入及成形品的搬出此两者的结构相比较，可大幅度地缩短一系列工序中的节拍时间，从而能够提高生产性。特别是压制单元100B的台数越增加，越可获得更大的效果。
进而，对于在一台装载器上各别地设置工件保持机构以及成形品保持机构的现有的结构也可获得有利的效果。例如，与将这些配置于装载器的前后方向的现有结构相比较，可实现装置结构的小型化、简化，从而可实现装置成本的降低。或者，与将这些配置于装载器的上表面及下表面的现有的结构相比较，可实现模开闭时间的缩短，从而可实现节拍时间的缩短。特别是在使用两台以上的压制装置250进行大型的工件W的树脂密封(成形)的情况下，成形时耗费3分钟～10分钟左右的时间。关于所述方面，根据本实施方式，在利用一台压制装置250进行成形的期间，可通过一台装载器122实施其他压制装置250中的工件W的搬入及成形品Wp的搬出，因此不需要例如分别独立地驱动两台装载器(载入器部及载出器部)的结构等。如此，在通过一台压制装置250进行成形的期间可进行其他压制装置250中工件W的搬入及成形品Wp的搬出的方面成为大的优点。因此，例如，即使在包括三台以上的压制装置的情况下(未图示)等下通过错开各压制装置中的树脂密封工序的实施时机，也能够利用一台装载器进行搬送(工件W的搬入及成形品Wp的搬出)。
此处，如图3所示，本实施方式的装载器122在载入器部124的下表面设置有保持工件W的工件保持部125，在载出器部126的下表面设置有保持成形品Wp的成形品保持部127。例如，工件保持部125采用具有夹盘125A及支撑部(框体等)125B而夹持工件W的结构，成形品保持部127采用具有夹盘127A及支撑部(框体等)127B而夹持成形品Wp的结构，但并不限定于此，也可采用具有与抽吸装置连通的抽吸孔而进行吸附的结构等(未图示)。另外，虽采用分别保持一个工件W及成形品Wp的结构，但并不限定于此，也可采用保持多个工件W及成形品Wp的结构(未图示)。
根据所述结构，在包括在上模204设置模腔208且在下模206设置工件保持部205的密封模具202的装置结构中，可实现在一个装载器122上以并列配置的方式设置保持工件W的工件保持部125以及保持成形品Wp的成形品保持部127的结构。
另外，装载器122为了通过配设于所述压制单元100B上的工件加热器116进行工件W的预加热而包括以下的结构。具体而言，装载器122构成为载入器部124的工件保持部125所保持的工件W(在此情况下为下表面)朝向工件加热器116而露出。根据所述结构，可利用工件加热器116所发出的热对工件保持部125所保持的工件W进行加热(预加热)。
如上所述，本实施方式的工件加热器116包括使工件W的下表面抵接而进行加热的加热工作台117。与所述结构相对应地，本实施方式的装载器122包括：第一升降机构131，使载入器部124(整体或者工件保持部125)上下升降；以及按压机构133，将载入器部124的工件保持部125所保持的工件W按压于工件加热器116(在此情况下为加热工作台117的上表面)。根据所述结构，特别是在工件W使用玻璃面板构成的情况等下，可在施加压力的状态下进行预加热，从而可防止工件W的裂纹破损。此外，作为变形例，可采用第一升降机构兼用作按压机构的结构，也可采用不包括按压机构的结构(未图示)。
另外，所述按压机构133优选为构成为在按压过程中能够阶段性地改变将工件W按压于工件加热器116的压力(换言之，控制部150成为如下结构，即进行在按压过程中阶段性地改变将工件W按压于工件加热器116的压力的控制)。由此，可在阶段性地改变压力的同时进行工件W的预加热，因此，特别是对于所述那样的使用玻璃面板构成的工件W而言，可更进一步防止裂纹破损。
另一方面，装载器122包括使载出器部126(整体或者成形品保持部127)上下升降的第二升降机构132。由此，可接收保持于密封模具202(在此情况下为上模204)的树脂密封后的成形品Wp并进行保持而加以搬送。
在本实施方式中，可采用以下结构：由一个驱动源(作为一例，为马达134)驱动第一升降机构131以及第二升降机构132此两者。根据所述结构，第一升降机构131及第二升降机构132的驱动源可共用一个马达134，因此可实现装置结构的简化以及成本降低。但是，并不限定于此，也可采用分别通过不同的驱动源驱动第一升降机构131以及第二升降机构132的结构(未图示)。
(树脂密封动作)
接着，对使用本实施方式的树脂密封装置1进行树脂密封的动作进行说明。此处，列举以下结构为例：在一个上模204上设置一组模腔208，并且在一个下模206上配置一个工件W进行树脂密封，获得一个成形品Wp。但是，并不限定于所述结构，也可采用配置多个工件W进行树脂密封的结构。
作为准备工序，实施通过上模加热机构将上模204调整并加热至规定温度(例如，100℃～200℃)的加热工序(上模加热工序)。另外，实施通过下模加热机构将下模206调整并加热至规定温度(例如，100℃～200℃)的加热工序(下模加热工序)。进而，实施以下工序(膜供给工序)：通过膜供给机构214自卷出部214A向卷绕部214B搬送(送出)膜F，向密封模具202中的规定位置(上模204与下模206之间的位置)供给膜F。
继而，实施通过公知的推进器等(未图示)自工件存储器102将工件W逐个搬出并向供给工作台104上载置的工序(此外，也可并用公知的拾取机构等)。或者，如上所述，也可设为自前一工序的实施单元送入工件W并向供给工作台104上载置的工序。
继而，实施自分配器(未图示)向载置于供给工作台104上的工件W的上表面供给规定量的树脂R并载置的工序(树脂供给工序)。此外，树脂供给工序也可不在供给工作台104上实施，而是另外设置树脂散布工作台(未图示)而在其上实施，或者也可在其他单元(例如前一工序的实施单元等)中实施。
继而，实施通过装载器122将工件W向压制单元100B搬送的工序(工件搬送工序)。更详细而言，装载器122进行移动，以使载入器部124位于与供给工作台104在左右方向上一致的位置。继而，载入器部124对载置于供给工作台104上的工件W(在本实施方式中为载置有树脂R的状态)进行保持。继而，装载器122进行移动，以使载入器部124位于与工件加热器116在左右方向上一致的位置(在本实施方式中，也与密封模具202的位置在左右方向上一致)。继而，在停止状态下的装载器122中，载入器部124进行移动，以使工件保持部125位于与工件加热器116在前后方向上一致的位置(或者，也可设定为在装载器122停止的位置上工件保持部125与工件加热器116一致)。继而，对载入器部124的第一升降机构131及按压机构133进行驱动，使工件W下降，使其下表面与工件加热器116的加热工作台117的上表面抵接，施加与工件W对应的压力(也可阶段性地变化)，对所述工件W进行预加热。此时，加热工作台117处于预先升温至与工件W对应的规定温度的状态。此外，也可省略所述预加热工序。
继而，实施通过装载器122将工件W向密封模具202内搬入并设置于下模206上的工序(工件设置工序)。更详细而言，载入器部124进行移动，以使工件保持部125位于与密封模具202(在本实施方式中为下模206)在前后方向上一致的位置。继而，将载入器部124的工件保持部125所保持的工件W载置于下模206的工件保持部205上。
继而，实施进行密封模具202的闭模而利用上模204及下模206夹持工件W进行树脂密封的工序(树脂密封工序)。此时，在模腔208中，模腔嵌件226相对地下降，针对工件W将树脂R加热加压。由此，树脂R热硬化而进行树脂密封(压缩成形)，形成成形品Wp。
此处，在本实施方式中，在实施树脂密封工序的期间，实施第二次的工件搬送工序。
继而，实施进行密封模具202的开模而通过装载器122自密封模具202内取出成形品Wp的工序(成形品取出工序)。更详细而言，装载器122进行移动，以使载出器部126位于与密封模具202在左右方向上一致的位置。继而，载出器部126进行移动，以使成形品保持部127位于与密封模具202(在本实施方式中为上模204)在前后方向上一致的位置。继而，载出器部126的成形品保持部127接收保持于上模204的成形品Wp并进行保持。继而，保持有成形品Wp的状态下的载出器部126进行移动以返回至装载器122的规定收容位置(最前位置)。根据所述结构，可在使工件W保持于载入器部124的状态下通过载出器部126自密封模具202内搬出成形品Wp。
此外，与成形品取出工序并行地(或者其后)，实施通过利用膜供给机构214自卷出部214A向卷绕部214B搬送膜F而送出使用完毕的膜F的工序。
此处，在本实施方式中，在实施成形品取出工序之后，实施第二次的工件设置工序。此时，通过所述成形品取出工序的实施，装载器122在载出器部126与密封模具202在左右方向上一致的位置停止，通过第二次的工件设置工序的开始，装载器122移动至载入器部124与密封模具202在左右方向上一致的位置。根据所述结构，仅通过使装载器122移动微小的距离(载入器部124与载出器部126的中心间的距离)直至载入器部124与密封模具202一致的位置，便可通过载入器部124将工件W向密封模具202内搬入。因此，与现有的通过具有一个保持部的一台装载器进行工件的搬入及成形品的搬出此两者的结构相比较，可大幅度地缩短一系列工序中的节拍时间，从而可提高生产性。特别是，压制单元100B的台数越增加，越可获得更大的效果。
继而，实施通过装载器122将成形品Wp向成形品单元100C搬送的工序(成形品搬送工序)。更详细而言，装载器122进行移动，以使保持有成形品Wp的状态下的载出器部126成为与收容工作台114在左右方向上一致的位置。继而，载出器部126将成形品Wp载置于收容工作台114上(此外，也可并用公知的拾取机构等)。另外，在所述成形品搬送工序的中途，也可设置进行成形品Wp的后固化的工序等。
继而，实施通过公知的推进器等(未图示)将成形品Wp向成形品存储器112搬入的工序。或者，如上所述，也可设为将收容工作台114上的成形品Wp向下一工序的实施单元送出的工序。
以上是使用树脂密封装置1进行的树脂密封的一系列动作。但是，所述工序为一例，只要无妨碍，则能够变更先后顺序或并行实施。例如，在本实施方式中，由于为包括两台压制单元100B的结构，因此通过并行实施所述动作，能够有效率地形成成形品。具体而言，在配设有两台压制单元100B(即，压制装置250为两台)、且配置有一台装载器122的本实施方式的情况下，控制部150进行如下控制：在时间上错开(并非完全相同的时机)实施使用两台压制装置250实施的各树脂密封工序，并且在时间上错开(并非完全相同的时机)实施使用一台装载器实施的相对于两台压制装置250而言的工件W的搬入及成形品Wp的搬出。
如以上说明那样，根据本发明的树脂密封装置，特别是通过将使用装载器的工件的搬入及成形品的搬出动作效率化，可缩短进行树脂密封的一系列工序中的节拍时间，从而实现生产性的提高。另外，可实现装置结构的简化。
此外，本发明并不限定于所述实施方式，能够在不脱离本发明的范围内进行各种变更。特别是，列举在上模包括模腔的压缩成形装置为例进行了说明，但并不限定于此。例如，也能够适用于将工件保持于装载器上并供给至上模而自上模取出成形品的结构。进而，也能够适用于转注成形方式的树脂密封装置等。另外，通过一次压制而成形的工件的数量也并不限定于一个。

Claims (7)

1.一种树脂密封装置，使用包括具有上模及下模的密封模具的压制装置并通过树脂对工件进行密封而加工为成形品，所述树脂密封装置的特征在于包括：
装载器，沿着引导件在左右方向上往复移动来进行所述工件及所述成形品的搬送，
所述装载器具有：载入器部，以能够在前后方向上移动的方式构成且将所述工件向所述密封模具内搬入；以及载出器部，以能够在前后方向上移动的方式构成且将所述成形品向所述密封模具外搬出，
所述载入器部及所述载出器部沿着左右方向并列配设。
2.根据权利要求1所述的树脂密封装置，其特征在于，
所述载入器部在下表面具有对所述工件进行保持的工件保持部，
所述载出器部在下表面具有对所述成形品进行保持的成形品保持部。
3.根据权利要求2所述的树脂密封装置，其特征在于，还包括：
工件加热器，进行所述工件的预加热，
所述工件加热器配设于沿着所述引导件的规定位置中较所述装载器更靠下方的位置，
所述装载器构成为，所述载入器部的所述工件保持部所保持的所述工件朝向所述工件加热器而露出。
4.根据权利要求3所述的树脂密封装置，其特征在于，
所述装载器具有：第一升降机构，使所述载入器部上下升降；以及按压机构，将所述载入器部的所述工件保持部所保持的所述工件按压于所述工件加热器。
5.根据权利要求4所述的树脂密封装置，其特征在于，
所述按压机构构成为，能够在按压过程中阶段性地改变将所述工件按压于所述工件加热器的压力。
6.根据权利要求5所述的树脂密封装置，其特征在于，
所述装载器具有：第二升降机构，使所述载出器部上下升降；以及一个马达，进行所述第一升降机构及所述第二升降机构此两者的驱动。
7.根据权利要求1所述的树脂密封装置，其特征在于，
所述压制装置配设有两台，
所述装载器配设有一台，
所述树脂密封装置包括进行所述压制装置及所述装载器的工作控制的控制部，
所述控制部进行如下控制：在时间上错开实施两台所述压制装置各自的树脂密封工序，并且使用一台所述装载器实施相对于两台所述压制装置而言的所述工件的搬入及所述成形品的搬出。
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