TW201909325A - 非接觸式處置器及使用非接觸式處置器處置工件之方法 - Google Patents
非接觸式處置器及使用非接觸式處置器處置工件之方法 Download PDFInfo
- Publication number
- TW201909325A TW201909325A TW107125195A TW107125195A TW201909325A TW 201909325 A TW201909325 A TW 201909325A TW 107125195 A TW107125195 A TW 107125195A TW 107125195 A TW107125195 A TW 107125195A TW 201909325 A TW201909325 A TW 201909325A
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- contact
- positioning plate
- lifted
- effect
- handler
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
- B65G47/911—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers with air blasts producing partial vacuum
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
- B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
- B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
- B25J15/0675—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum of the ejector type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
Abstract
一種非接觸式處置器,其包括一上部本體部分及可移動地耦接至該上部本體部分的一下部本體部分。該下部本體部分包括經組態以提昇一物件之一非接觸式定位盤及自該定位盤向下延伸之複數個圍阻柵欄。所述複數個圍阻柵欄被配置在待提昇之該物件的一周邊周圍。
Description
本申請案有關於非接觸式處置器及使用非接觸式處置器處置工件之方法。
本申請案主張2017年7月21日申請之美國臨時申請案第62/535,427號之權益,該申請案以全文引用之方式併入本文中。
存在許多期望處置物件而同時排除或最小化與該物件之機械接觸之情形。此在物件上部表面之物理狀態在產品操作或質量之成果中係關鍵因素時,尤其成立。此種情形常見於諸如商業印刷、印刷電路板製造及微光刻行業中,其試圖對通常精密且機械敏感表面作出高度精密修改。
在用於處置物件之自動化或半自動化系統中,常用若干方法。一個方法為使用機械方法運輸物件。為了最小化由機械處置所引起之可能的損壞,此類型的典型方法依賴於機構以減小接觸物件上部表面之量,抑或減小此種接觸強加之機械影響。
另一個方法為使用真空移動及固持物件。採用此方法係因為真空方法大致並不需要移動之物件之深入機械處置,且係因為真空盤(亦被稱作 吸盤)通常由相對軟及彈性材料製成以增強它們與表面作出之密封。然而,使用真空拿起物件需要機械接觸以產生與物件上部表面之必需密封,且真空盤之物理衝擊在玷污成像表面方面可與無意的手或機械夾持器之影響效果一樣。
另一個方法為使用非接觸式(亦被稱作「無接觸」)處置器,例如柏努利型或漩渦機型處置器。柏努利型及漩渦機型處置器不同之處在於它們的特定操作模式,但大致排放流體流(通常為空氣)以在物件表面與周圍流體介質(通常為空氣)之間產生壓力差。此種非接觸式處置器對於處置相對較小、脆弱及較薄(甚至帶孔)物件良好地起作用。
儘管有用,但柏努利型處置器可能將物件側向拋離處置器,而漩渦機型處置器可能旋離物件。此外,當柏努利型或漩渦機處置器拾取物件時,物件上部表面可能在自該處置器被拋離或旋離之前,接觸處置器(例如,歸因於隨物件提昇所致之其向上動量)。
在一個具體實例中,非接觸式處置器包括上部本體部分及可移動地耦接至上部本體部分之下部本體部分。該下部本體部分包括非接觸式定位盤,其經組態以提昇一物件,及自該定位盤向下延伸之複數個圍阻柵欄。該複數個圍阻柵欄被配置在待提昇之該物件的一周邊周圍。
圖1根據本發明的一個具體實例說明非接觸式處置器的側視圖。
圖2說明圖1中所示之非接觸式處置器中之下部本體部分的部分橫截面圖。
圖3,及圖5至圖7說明底部平面視圖,其示出相對於圖1中所示之非接觸式 處置器處置之物件的圍阻柵欄配置,其可以根據一些具體實例實施。
圖4,及圖8到圖10說明底部平面視圖,其示出相對於圖1中所示之非接觸式處置器處置的物件的工件支撐件配置,其可以根據一些具體實例實施。
本文中參看隨附圖式描述實例具體實例。除非另外明確地陳述,否則在圖式中,組件、特徵、元件等的大小、位置等以及其間的任何距離未必依據比例,而是出於明晰之目的而放大。在圖式中,相同編號通篇指代相同元件。因此,可能在參考其他圖式時描述相同或類似數字,即使該等數字在對應圖式中未提及亦未描述。又,即使未經參考數字指示之元件亦可參考其他圖式加以描述。
本文中所使用之術語僅出於描述特定實例具體實例之目的,且並不意欲為限制性的。除非另外定義,否則本文中所使用之所有術語(包括技術及科學術語)具有一般熟習此項技術者通常所理解之相同意義。如本文中所使用,除非上下文另外明確地指示,否則單數形式「一」及「該」意欲亦包括複數形式。應認識到,術語「包含」在用於本說明書中時指定所陳述之特徵、整體、步驟、操作、元件及/或組件之存在,但並不排除一或多個其他特徵、整體、步驟、操作、元件、組件及/或其群組之存在或添加。除非另外指定,否則在敍述值範圍時,值範圍包括該範圍之上限及下限兩者以及在其間的任何子範圍。除非另外指示,否則諸如「第一」、「第二」等術語僅用於區別一個元件與另一元件。舉例而言,一個節點可稱為「第一節點」,且類似地,另一節點可稱為「第二節點」,或反之亦然。
除非另外指示,否則術語「約」、「大約」等意謂量、尺寸、配方、參數及其他數量及特性並非且不必係確切的,而是可按需要為近似的及/ 或較大或較小的,從而反映容限、轉換因子、捨位、量測錯誤等等,及熟習此項技術者已知的其他因子。空間相對術語,諸如「以下」、「下方」、「下部」、「以上」及「上部」等等可在本文中用於描述如在圖式中所說明的一個元件或特徵與其他元件或特徵之關係。應認識到,該等空間相對術語意欲涵蓋除圖式中所描繪之定向之外的不同定向。舉例而言,若將圖式中之物件翻轉,則描述為在其他元件或特徵「以下」或「下方」之元件將定向為在其他元件或特徵「以上」。因此,例示性術語「以下」可涵蓋以上及以下兩者之定向。物件或物品可以其他方式定向(例如,旋轉90度或處於其他定向),且本文中所使用的空間相對描述詞可相應地進行解釋。
圖1根據一個具體實例說明非接觸式處置器的側視平面圖。圖2說明圖1中所示之下部本體部分之部分橫截面圖。
參考圖1及圖2,非接觸式處置器100可包括上部本體部分102及藉由複數個負載彈簧之銷釘106耦接至上部本體部分之下部本體部分104。儘管未說明,但非接觸式處置器100亦可以包括致動器,其經組態以相對於上部本體部分102移動下部本體部分104(例如,沿軸線A)。
上部本體部分102通常耦接至機器人運動系統(例如,笛卡爾機器人、Scara機器人、鉸接式機器人等)(圖中未示),其經組態以移動非接觸式處置器100。例如,非接觸式處置器100可以在固持複數個物件(例如,待分別提昇)之卡匣或暗匣與經組態以處理該複數個物件中之一者的系統之間移動。此種系統之實例包括LT3100及LT3110,其全部由電子科學工業公司製造。上述的非接觸式處置器100的致動器可以被驅動以相對於上部本體部分102升高或降低下部本體部分104,以有助於自非接觸式處置器100拾取物件或排放物件。
該複數個負載彈簧之銷釘106經組態以防止下部本體部分104在 高減速度或加速度(例如,由機器人運動系統施加)移動期間不合需要地振動或者以其他方式移動。
下部本體部分104包括支撐板108、複數個柵欄支撐件110、複數個圍阻柵欄112,及視情況,複數個工件支撐件114(亦即,該複數個工件支撐件114可省略)。然而,在一替代具體實例中,若非接觸式處置器100包括複數個工件支撐件114,則該複數個圍阻柵欄112可省略。支撐板108被固定至負載彈簧之銷釘106,而該複數個柵欄支撐件110被固定至支撐板108。該複數個圍阻柵欄112及工件支撐件114被固定至柵欄支撐件110之各別者。例如,至少一個圍阻柵欄112及至少一個工件支撐件114可被固定至通用柵欄支撐件110。
下部本體部分104亦包括非接觸式定位盤,諸如定位盤116(示出為虛線矩形),其配置在複數個柵欄支撐件110之間。如圖2中最佳地示出,定位盤116包括定位盤本體200(藉由其形成本體通道202),及附接至定位盤本體200之末端效應板204。
本體通道202經組態以收納經加壓之流體源之出口末端(例如,連接至諸如空氣之加壓氣體的儲集器的軟管或導管)。末端效應板204包括延伸穿過其的一或多個效應通道。至少一個效應通道與本體通道流體連通,使得經加壓之流體(例如,諸如空氣的氣體)可自經加壓之流體源的出口末端輸送,穿過本體通道202,及進入形成在末端效應板204中之效應通道。在所說明之具體實例中,末端效應板204包括單效應通道,其包括第一部分206a及第二部分206b。效應通道之第一部分206a與本體通道202對準,以便直接收納穿過本體通道202輸送之經加壓流體。如本領域中已知,儘管未說明,但第二部分206b與第一部分206a流體連通(例如,在圖2中所示之橫截面視圖平面之外)。一般而言,且如本領域中已知,第二部分206b延伸到末端效應板204的效應表面208,且經組態以自末端效應板204排放流體流(通常為空氣)以在物 件210表面與末端效應板204與物件210之外的周圍流體介質(通常為空氣)之間產生壓力差。因此,效應通道可以經組態以與常規的柏努利型或漩渦機處置器相同之方式排放流體流。
物件210可為陶瓷基底、表面安裝裝置(surface-mount device;SMD)電路板等,其可能帶孔或不帶孔。若為陶瓷基底、表面安裝裝置(SMD)電路板或類似者,則物件210上部表面(例如,如圖2中所說明)支撐諸如薄膜電阻器、厚膜電阻器、SMD電阻器之裝置,或其類似者,或其任何組合。
當物件210在非接觸式處置器100鄰近處(例如,末端效應板204附近)變為可操作時,末端效應板204排放的流體流產生的壓力差足以導致物件210被朝向末端效應板204提昇。
如上所述,常規的柏努利型及漩渦機型處置器可能將物件自處置器拋離或旋離。然而,在非接觸式處置器100中,複數個圍阻柵欄112朝下延伸,至效應表面208以下,且經配置以便隨物件210提昇而環繞其周邊。非接觸式處置器100可包括至少兩個(例如,兩個、三個、四個、五個、六個、七個、八個等)圍阻柵欄112,其經配置以便隨物件210提昇而環繞其周邊(例如,四個圍阻柵欄112,如圖3中所說明例示性地配置)。因此,當物件210朝向末端效應板204提昇時,物件210(例如,四個圍阻柵欄112)被提昇至複數個圍阻柵欄112底部以上,且由此避免自非接觸式處置器100被拋離或旋離。如圖1及圖2中示出,複數個圍阻柵欄112中之每一者包括傾斜的導引表面112a,其經組態以在非接觸式處置器100在物件210被提昇之前未理想地與其對準的情況下,隨物件210被提昇而與其一或多個邊緣接合。
如上文亦提到的,常規的柏努利型或漩渦機處置器可能拾取物件,使得物件之向上動量足以導致物件上部表面接觸處置器。然而,在非接觸 式處置器100中,複數個工件支撐件114朝下延伸,至效應表面208以下,且具有經組態以接觸被提昇物件210之上部表面邊緣的傾斜表面114a(且不接觸其上部表面)。因此,當物件210被朝向末端效應板204提昇時,物件210上部表面被避免與非接觸式處置器100之任何部分接觸。非接觸式處置器100可包括至少三個(例如,三個、四個、五個、六個、七個、八個等)工件支撐件114(例如,四個工件支撐件114,如圖4中所說明例示性地配置)。各工件支撐件114之傾斜的表面114a以在0.5至3mm(例如,1.5mm左右)範圍內之長度沿接觸線接觸被提昇物件210之上部表面邊緣。在所說明之具體實例中,各工件支撐件114包括可固定至定位盤本體200(例如,藉由螺釘、銷釘等)之工件支撐件本體部分114b。一般而言,工件支撐件114之材料可能以足夠的摩擦力接觸被提昇物件210之上部表面邊緣,以最小化或防止該被提昇物件210之側向移動。因此,若非接觸式處置器100包括複數個工件支撐件114,則複數個圍阻柵欄112可被省略。
複數個圍阻柵欄112及複數個工件支撐件114可由聚合材料形成,諸如聚苯硫醚(polyphenylene sulfide;PPS)(例如,以TECHTRON商標出售)、聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene;PTFE)(例如,以TEFLON商標出售),或類似者,或其任何組合。一般而言,製備任何圍阻柵欄112或工件支撐件114之材料可基於其對耗散靜電電荷、耐化學性等的適用性而選擇。
在圖2中所說明的具體實例中,效應通道的第一部分206a被說明為僅部分延伸穿過末端效應板204之厚度,使得經由本體通道202輸送且進入效應通道之經加壓之流體的力在自末端效應板204被排放之前,被散佈或擴散至第二部分206b中。然而,在一替代具體實例中,效應通道的第一部分206a可以完全穿過末端效應板204之厚度延伸(例如,以便與效應表面208相交)。在此替代具體實例中,經由本體通道202輸送且進入效應通道的經加壓之流體的一 部分自第一部分206a直接傳輸穿過末端效應板204(亦即同時避開第二部分206b),同時經由本體通道202輸送且進入效應通道的經加壓之流體的一部分在自末端效應板204被排放之前,被散佈或擴散至第二部分206b中。如下文所論述,當待提昇的物件210帶孔時,直接自第一部分206a(亦即同時避開第二部分206b)使部分經加壓之流體傳輸穿過末端效應板204可為有利的。
通常,待被非接觸式處置器100處置的物件在通用卡匣或暗匣中彼此堆疊。有時,由自末端效應板204排放的流體流產生的上述壓力差產生的提昇力足以在物件210彼此堆疊(或者以其他方式彼此非常接近)時提昇多個帶孔物件210。若如上文所論述,效應通道的第一部分206a完全穿過末端效應板204延伸,則經由末端效應板204直接自第一部分206a(亦即,同時避開第二部分206b)傳輸的經加壓之流體(例如,自效應表面208中心)可能有益地穿過待提昇的非上部物件210中之穿孔被傳輸,且防止其下方的物件210亦被提昇。已發現,若下部本體部分104並不包括複數個工件支撐件114,則僅提昇最上部帶孔物件210之能力被強化。然而,一般而言,諸位發明人已發現,為避免拾取多個帶孔物件210,應在物件210受末端效應板204產生之提昇力影響時干擾物件210周圍之氣流,由於帶孔物件周圍氣流中之干擾,因此最上部帶孔物件210傾向於導致下部物件210掉離非接觸式處置器100。
亦發現,當物件210帶孔時,在非接觸式處置器100已提昇帶孔物件210且被提昇物件210在固體表面之上時,物件210可能不合需要地振動。在此狀況下,被排放之流體傳輸穿過帶孔物件210,隨後衝擊固體表面,隨後穿過帶孔物件210被重新傳回,且將下部本體部分102中之組分反射回至帶孔物件210之上,以引起振動。為防止或者以其他方式最小化此振動,複數個工件支撐件114可被省略。
前文說明本發明之具體實例及實例,且不應解釋為對其之限 制。雖然已參看圖式描述幾個特定具體實例及實例,但熟習此項技術者將易於瞭解,對所揭示具體實例及實例以及其他具體實例的諸多修改在不顯著背離本發明之新穎教示及優點的情況下為可能的。
例如,圍阻柵欄112中之每一者已被描述為沿物件210周邊在單個方向上延伸之結構。在另一個具體實例中,一或多個圍阻柵欄112可以沿物件210周邊在多個方向上延伸(例如,如圖5或圖6中例示性地說明)。在另一個具體實例中,非接觸式處置器100可包括單個圍阻柵欄112(例如,如圖7中例示性地說明地那樣組態)。
在另一實例中,工件支撐件114中之每一者已被描述為線性結構,其經配置以便在其轉角區域附近接觸物件210。在另一個具體實例中,工件支撐件114可被提供為線性結構,其經配置以便在其側面區域附近接觸物件210(例如,如圖8中例示性地說明)。在其他具體實例中,一或多個工件支撐件114可被提供為經配置以便在其多個離散區接觸物件210之結構(例如,如圖9或圖10中例示性地說明)。
在又一實例中,儘管導引表面112a被說明為傾斜的,但應瞭解,導引表面112a可不同地組態(例如,去角)。
相應地,所有此等修改意欲包括於如申請專利範圍中所界定的本發明之範圍內。舉例而言,熟習此項技術者將瞭解,任何句子、段落、實例或具體實例之標的物可與其他句子、段落、實例或具體實例之一些或全部之標的物組合,除非此等組合彼此互斥。本發明之範圍因此應由以下申請專利範圍判定,且該等技術方案之等效物包括於本發明之範圍中。
Claims (9)
- 一種非接觸式處置器,其包含:一上部本體部分;及一下部本體部分,其可移動地耦接至該上部本體部分,其中該下部本體部分包括:一非接觸式定位盤,其經組態以提昇一物件;及複數個圍阻柵欄,其自該定位盤向下延伸,所述複數個圍阻柵欄配置在待提昇之該物件之一周邊周圍。
- 如請求項1所述之非接觸式處置器,其中該非接觸式定位盤係柏努利型非接觸式定位盤。
- 如請求項1所述之非接觸式處置器,其中該非接觸式定位盤係漩渦機型非接觸式定位盤。
- 如請求項1所述之非接觸式處置器,其中所述複數個圍阻柵欄中之至少一者包括一導引表面,其經組態以隨該物件被提昇而與待提昇之該物件之一邊緣接合。
- 如請求項1所述之非接觸式處置器,其進一步包含耦接至該非接觸式定位盤之一工件支撐件,該工件支撐件經組態以在該物件藉由該非接觸式定位盤提昇時,接觸待提昇之該物件之一邊緣。
- 如請求項1所述之非接觸式處置器,其中該非接觸式定位盤包括:一定位盤本體,其具有一本體通道,該本體通道經組態以收納一經加壓之流體源的一出口末端;及一末端效應板,其附接至該定位盤本體,其中該末端效應板包括背離該定位盤本體之一效應表面。
- 如請求項6所述之非接觸式處置器,其中該末端效應板包括:一效應通道,其延伸穿過該末端效應板,其中該效應通道包括與該本體通道流體連通之一第一部分,及與該第一部分流體連通且與該效應表面相交之一第二部分。
- 如請求項7所述之非接觸式處置器,其中該效應通道之該第一部分延伸穿過該末端效應板以與該效應表面相交。
- 如請求項8所述之非接觸式處置器,其中該效應通道之該第一部分與該效應表面之一中心相交。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201762535427P | 2017-07-21 | 2017-07-21 | |
US62/535,427 | 2017-07-21 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201909325A true TW201909325A (zh) | 2019-03-01 |
TWI791561B TWI791561B (zh) | 2023-02-11 |
Family
ID=65015617
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW107125195A TWI791561B (zh) | 2017-07-21 | 2018-07-20 | 非接觸式處置器及使用非接觸式處置器處置工件之方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11254014B2 (zh) |
EP (1) | EP3655352A4 (zh) |
JP (1) | JP7374075B2 (zh) |
KR (1) | KR102523381B1 (zh) |
CN (1) | CN110869299A (zh) |
TW (1) | TWI791561B (zh) |
WO (1) | WO2019018786A1 (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI745690B (zh) * | 2019-05-15 | 2021-11-11 | 鴻鉑科技有限公司 | 薄板堆疊裝置及其使用方法 |
Family Cites Families (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3438668A (en) * | 1965-08-26 | 1969-04-15 | Gen Electric | Contactless lifter |
US3523706A (en) * | 1967-10-27 | 1970-08-11 | Ibm | Apparatus for supporting articles without structural contact and for positioning the supported articles |
US3539216A (en) * | 1968-01-11 | 1970-11-10 | Sprague Electric Co | Pickup device |
JPS5790956A (en) * | 1980-11-28 | 1982-06-05 | Hitachi Ltd | Gripper for wafer |
JPS5948938B2 (ja) | 1981-06-03 | 1984-11-29 | 新日本製鐵株式会社 | 焼結機における顕熱回収並びに排ガス処理方法 |
JPS58141536A (ja) * | 1982-02-17 | 1983-08-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体ウエハ−の吸着ヘツド |
JPS5948938A (ja) * | 1982-09-14 | 1984-03-21 | Toshiba Corp | ウエハ−チヤツク |
JPS60151922A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-10 | 株式会社トーキン | 温度スイツチ |
US5067762A (en) * | 1985-06-18 | 1991-11-26 | Hiroshi Akashi | Non-contact conveying device |
JP2865690B2 (ja) * | 1989-02-17 | 1999-03-08 | 株式会社日立製作所 | 嵌合挿入装置 |
JP2507587B2 (ja) * | 1989-03-27 | 1996-06-12 | 九州日本電気株式会社 | 吹き付け式半導体基板等吸着装置 |
US4969676A (en) * | 1989-06-23 | 1990-11-13 | At&T Bell Laboratories | Air pressure pick-up tool |
US5169196A (en) * | 1991-06-17 | 1992-12-08 | Safabakhsh Ali R | Non-contact pick-up head |
US5997588A (en) * | 1995-10-13 | 1999-12-07 | Advanced Semiconductor Materials America, Inc. | Semiconductor processing system with gas curtain |
US6099056A (en) * | 1996-05-31 | 2000-08-08 | Ipec Precision, Inc. | Non-contact holder for wafer-like articles |
DE19755694C2 (de) * | 1997-12-16 | 2000-05-31 | Sez Semiconduct Equip Zubehoer | Handhabungsvorrichtung für dünne, scheibenförmige Gegenstände |
JP2001170880A (ja) * | 1999-12-16 | 2001-06-26 | Murata Mach Ltd | ロボットハンド |
EP1233442B1 (en) * | 2001-02-20 | 2009-10-14 | Harmotec Corporation | Non-contacting conveyance equipment |
JP2004193195A (ja) * | 2002-12-09 | 2004-07-08 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 搬送装置 |
ATE420751T1 (de) * | 2003-11-21 | 2009-01-15 | Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd | Vakuumsaugkopf und vakuumsaugvorrichtung und tisch, der diese/n verwendet |
GB0522552D0 (en) * | 2005-11-04 | 2005-12-14 | Univ Salford The | Handling device |
JP4243766B2 (ja) * | 2006-10-02 | 2009-03-25 | Smc株式会社 | 非接触搬送装置 |
JP5080090B2 (ja) * | 2007-01-15 | 2012-11-21 | リンテック株式会社 | 保持装置及び保持方法 |
JP2010114101A (ja) | 2007-02-23 | 2010-05-20 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP5009179B2 (ja) * | 2008-01-25 | 2012-08-22 | 株式会社ディスコ | ウェーハ搬送装置およびウェーハ加工装置 |
KR100859835B1 (ko) * | 2008-05-13 | 2008-09-23 | 한국뉴매틱(주) | 비접촉식 진공패드 |
JP5110480B2 (ja) * | 2010-05-11 | 2012-12-26 | Smc株式会社 | 非接触搬送装置 |
JP5524766B2 (ja) * | 2010-08-19 | 2014-06-18 | 株式会社ディスコ | 平行度確認治具 |
US9010827B2 (en) * | 2011-11-18 | 2015-04-21 | Nike, Inc. | Switchable plate manufacturing vacuum tool |
US8904629B2 (en) | 2012-03-09 | 2014-12-09 | LG CNS Co. Ltd. | Light-emitting diode (LED) wafer picker |
WO2014082196A1 (en) * | 2012-11-27 | 2014-06-05 | Acm Research (Shanghai) Inc. | Substrate supporting apparatus |
JP2014136263A (ja) | 2013-01-15 | 2014-07-28 | Sinfonia Technology Co Ltd | 吸着装置及びこれを備えた搬送装置 |
TWI644390B (zh) * | 2014-05-16 | 2018-12-11 | 大陸商盛美半導體設備(上海)有限公司 | Substrate support device |
CN204748618U (zh) * | 2015-05-15 | 2015-11-11 | 楚天科技股份有限公司 | 一种智能码垛机器人 |
JP6853646B2 (ja) * | 2016-10-04 | 2021-03-31 | 株式会社ディスコ | ロボットハンド及び搬送ロボット |
-
2018
- 2018-07-20 US US16/621,630 patent/US11254014B2/en active Active
- 2018-07-20 CN CN201880043732.5A patent/CN110869299A/zh active Pending
- 2018-07-20 TW TW107125195A patent/TWI791561B/zh active
- 2018-07-20 JP JP2020502102A patent/JP7374075B2/ja active Active
- 2018-07-20 KR KR1020207000030A patent/KR102523381B1/ko active IP Right Grant
- 2018-07-20 EP EP18834637.3A patent/EP3655352A4/en active Pending
- 2018-07-20 WO PCT/US2018/043121 patent/WO2019018786A1/en unknown
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI745690B (zh) * | 2019-05-15 | 2021-11-11 | 鴻鉑科技有限公司 | 薄板堆疊裝置及其使用方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI791561B (zh) | 2023-02-11 |
JP7374075B2 (ja) | 2023-11-06 |
EP3655352A1 (en) | 2020-05-27 |
KR20200022425A (ko) | 2020-03-03 |
EP3655352A4 (en) | 2021-04-21 |
JP2020527862A (ja) | 2020-09-10 |
KR102523381B1 (ko) | 2023-04-20 |
CN110869299A (zh) | 2020-03-06 |
US11254014B2 (en) | 2022-02-22 |
WO2019018786A1 (en) | 2019-01-24 |
US20200156264A1 (en) | 2020-05-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4724562B2 (ja) | 真空吸着ヘッド、その真空吸着ヘッドを用いた真空吸着装置及びテーブル | |
JP4680657B2 (ja) | 基板搬送システム | |
JP5512052B2 (ja) | 非接触吸着盤 | |
TWI689031B (zh) | 基板搬送用手臂及基板處理裝置 | |
JP2017522738A (ja) | 基板移送ロボットエンドエフェクタ | |
JP7248465B2 (ja) | 基板処理装置のスピンチャック | |
TW202002147A (zh) | 校準裝置、半導體晶圓處理裝置及校準方法 | |
US9004564B2 (en) | Wafer handling apparatus | |
TWI791561B (zh) | 非接觸式處置器及使用非接觸式處置器處置工件之方法 | |
TWI611499B (zh) | 搬送機構 | |
KR20140120822A (ko) | 척 테이블 | |
JP2003245886A (ja) | 吸着機構 | |
JP6842948B2 (ja) | 位置決め装置および位置決め方法 | |
JP2006321562A (ja) | パッケージング装置用の保持ラッチ | |
WO2002013244A2 (en) | Apparatus and method for handling and testing of wafers | |
JP7425061B2 (ja) | スラブ状の基板用のエンドエフェクタ | |
TWI833844B (zh) | 用於板形基材之末端執行器 | |
US20240165829A1 (en) | Vacuum suction head and apparatus for transferring semiconductor product using the same | |
JP5105971B2 (ja) | 真空ピンセットおよびこれを用いた基板搬送装置ならびに基板処理装置 | |
JP7316033B2 (ja) | 基板搬送装置および基板搬送方法 | |
JP2004165276A (ja) | 吸着装置および搬送装置 | |
JP2010225671A (ja) | ワーク搬送用機器およびワーク搬送方法 | |
JP2002210686A (ja) | 半導体収納容器搬送装置及び搬送方法及びそれに用いる吸着パッド | |
JP2005086047A (ja) | 吸着コレット及びそれを用いた半導体製造装置 | |
JP2015153795A (ja) | 基板吸着離脱機構及び真空装置 |