JP7425061B2 - スラブ状の基板用のエンドエフェクタ - Google Patents
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Description
最新技術では、例えば1つ以上の真空カップを使用することで、真空による吸引を使用してエンドエフェクタによって基板を把持することが知られている。これは、基板を処理する側で使用すると、そのような真空カップが表面の大部分を占めるという欠点を有している。しかしながら、多くの製造工程では、基板を処理するのと同じ側から基板を把持することが望ましい。さらに、吸引領域の力は肉薄の基板を変形させる傾向がある。また、狭いリムセクションのみで基板を把持することはできない。
本発明の目的は、クリーン環境で使用することができ、基板の表面の大部分を占有せず、迅速に動作することができ、エンドエフェクタによる大きな変形なしに基板をハンドリングすることができるエンドエフェクタを提供することである。
本発明の主題はエンドエフェクタである。このエンドエフェクタは、ガイドによってエンドエフェクタの支持装置に対して相対的にガイドされる押圧装置を備える。したがって、エンドエフェクタは、それぞれ異なる厚さの基板または基板の厚さ方向に異なる位置を有するリムセクションを有する変形した基板を、リムセクションのそれぞれ異なる場所、換言すれば、均一ではないリムセクションでクランプすることができる。クランプ工程では、エンドエフェクタの移動が基板に対して相対的に行われ、基板をクランプする工程中、エンドエフェクタの押圧領域と支持領域との間の開口の大きさを変化させる。このような移動は、ガイドの移動を引き起こすことができる。このようにして、押圧装置は、基板をクランプするのに適切な支持装置に対して相対的な位置に到達することができる。ガイドの移動は、厚さ方向の差異を補償して、基板をその厚さまたは変形とは無関係にクランプすることができる。変形とは、均一な基板の場合に真っ直ぐまたは平坦から逸脱していることを意味する。
2 基板
3 基板の第1の表面
4 基板の第2の表面
5 基板主表面における基板のリムセクション
6 基板主表面における基板の外縁
10 押圧装置
11 押圧領域
12 ガイドばね
13 押圧接触要素
14 溝
15 ガイド
20 支持装置
21 支持領域
22 安全装置
23 支持接触要素
24 支持突出部
30 アクチュエータ
31 ピストン
32 開放用の真空供給ライン
33 閉鎖用の真空供給ライン
40 ホルダ
41 接続セクション
50 エンドエフェクタマウント
60 ロボットアダプタ
61 アダプタリング
62 アダプタバー
100 把持器具
Claims (15)
- 基板主平面内に少なくともほぼかつ少なくとも部分的に配置されたリムセクション(5)を有する、スラブ状の基板(2)をクランプするためのエンドエフェクタ(1)であって、
前記エンドエフェクタ(1)は、
少なくとも押圧領域(11)を提供する少なくとも押圧装置(10)と、
少なくとも支持領域(21)を提供する少なくとも支持装置(20)と、
前記支持装置(20)に対して相対的に前記押圧装置(10)を案内するためのガイド(15)と、を備え、
前記エンドエフェクタ(1)が、前記基板(2)のクランプ状態において、前記基板(2)を第1の表面(3)において前記押圧装置(10)の前記押圧領域(11)により前記基板(2)の厚さ方向にクランプし、かつ前記第1の表面(3)に対して前記基板(2)の反対側に配置された第2の表面(4)において前記支持装置(20)の前記支持領域(21)によりクランプするように構成されている、エンドエフェクタ(1)において、
前記支持装置(20)の前記支持領域(21)が、前記押圧装置(10)の側から見て、前記基板(2)の外側から前記基板(2)の裏側の位置に前記基板(2)の外縁を少なくとも部分的に横切って移動可能であるように、前記支持装置(20)が、前記押圧装置(10)に対して相対的に前記基板主平面に対して平行な方向に移動可能であることを特徴とする、エンドエフェクタ(1)。 - 前記ガイド(15)が、前記ガイド(15)の相対移動中に前記基板(2)に弾性押圧力を加えるように配設された弾性ガイドを備える、請求項1記載のエンドエフェクタ(1)。
- 前記ガイド(15)が、ガイド要素としてばね(12)を備える、請求項2記載のエンドエフェクタ(1)。
- 前記支持装置(20)を移動させるためのアクチュエータ(30)を備える、請求項1から3までのいずれか1項記載のエンドエフェクタ(1)。
- 前記アクチュエータ(30)が、前記支持装置(20)を前記基板主平面に対して平行な方向に移動させるように配置されており、
前記エンドエフェクタ(1)が、前記基板主平面に対して垂直に延びる部分と、前記基板主平面に対して平行に延び、かつ前記基板主平面に対して垂直に延びる部分に接続された部分(24)とを備える爪状部分を備え、
前記爪状部分が、前記アクチュエータ(30)と前記支持装置(20)とを備え、かつ前記アクチュエータ(30)が、前記基板主平面に対して垂直に延びる前記部分に対して相対的に前記支持装置(20)を移動させるように配置されているか、または前記支持装置(20)が、前記爪状部分を備える、
請求項4記載のエンドエフェクタ(1)。 - 前記アクチュエータ(30)が、真空シリンダを備え、選択的に、前記支持装置(20)が、前記真空シリンダ内の真空の作用によって前記基板(2)から離れるように移動可能である、請求項4または5記載のエンドエフェクタ。
- 前記支持装置(20)が、互いに間隔を有する複数の支持領域(21)を有する、請求項1から6までのいずれか1項記載のエンドエフェクタ(1)。
- 請求項1から7までのいずれか1項記載の少なくとも1つのエンドエフェクタ(1)を備える把持器具。
- 前記少なくとも1つのエンドエフェクタ(1)を保持するように配置されたエンドエフェクタホルダ(50)を備え、前記エンドエフェクタホルダ(50)が、基板(2)に対して相対的に基板主平面を横切る方向に少なくとも部分的に移動可能である、請求項8記載の把持器具。
- 補助支持体が設けられており、
前記補助支持体に対して前記エンドエフェクタ(1)が所定の相対位置に到達するまでは、前記把持器具が、前記基板(2)に対して相対的に前記エンドエフェクタ(1)を移動させるように構成されている、
請求項8または9記載の把持器具。 - 前記エンドエフェクタホルダ(50)が、前記基板(2)の少なくともほぼ反対側に配置された少なくとも2つのエンドエフェクタ(1)を保持している、例えば、それぞれ異なる方向から前記基板(2)を把持するように配置された少なくとも3つのエンドエフェクタ(1)を保持している、請求項9を引用する請求項10記載の把持器具。
- 基板(2)をクランプするための方法であって、請求項1から7までのいずれか1項記載の少なくとも1つのエンドエフェクタ(1)が、前記基板(2)をクランプするために使用され、前記エンドエフェクタ(1)が、前記基板(2)に向かって移動させられ、前記エンドエフェクタ(1)が前記基板(2)に向かって移動する間、押圧装置(10)が、前記基板(2)に接触し、かつ支持装置(20)に対して相対的に移動させられる、方法。
- 前記基板(2)の第2の表面(4)の側において、支持領域(21)が前記基板(2)に対して相対的に配置される所定の位置に到達するまでは、前記基板(2)に向かう前記エンドエフェクタ(1)の移動が実施され、前記所定の位置においては、前記支持領域(21)が、前記基板(2)の外縁(6)を横切って移動させられる、請求項12記載の方法。
- 前記支持領域(21)を前記基板(2)の前記外縁(6)を横切って移動させた後、前記支持領域(21)が前記基板(2)の前記第2の表面(4)に接触するまでは、前記エンドエフェクタ(1)が、前記基板(2)から離れるように移動させられる、請求項13記載の方法。
- 前記エンドエフェクタ(1)が前記基板(2)に向かって移動する間、前記基板(2)がその第2の表面(4)において補助支持体によって支持される、請求項12から14までのいずれか1項記載の方法。
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