TW201825886A - 用於表面異物檢測的自動光學檢測系統 - Google Patents

用於表面異物檢測的自動光學檢測系統 Download PDF

Info

Publication number
TW201825886A
TW201825886A TW106100849A TW106100849A TW201825886A TW 201825886 A TW201825886 A TW 201825886A TW 106100849 A TW106100849 A TW 106100849A TW 106100849 A TW106100849 A TW 106100849A TW 201825886 A TW201825886 A TW 201825886A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
panel
image
automatic optical
detection system
optical detection
Prior art date
Application number
TW106100849A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI622764B (zh
Inventor
林伯聰
陳延松
Original Assignee
由田新技股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 由田新技股份有限公司 filed Critical 由田新技股份有限公司
Priority to TW106100849A priority Critical patent/TWI622764B/zh
Priority to CN201710054592.9A priority patent/CN108303431A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI622764B publication Critical patent/TWI622764B/zh
Publication of TW201825886A publication Critical patent/TW201825886A/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined

Abstract

一種用於表面異物檢測的自動光學檢測系統，用以檢測面板表面的異物分布，該自動光學檢測系統包含有一高指向性光源裝置、以及一影像擷取裝置。該高指向性光源裝置係水平設置於該面板的一側，提供一高指向性光束，經過該面板的上表面或下表面。該影像擷取裝置係設置於該面板的一側，用以拍攝該面板以獲得一面板影像，並將該面板影像傳送至一檢測裝置，藉由該檢測裝置影像分析該面板影像，以檢測該面板上的異物分布。

Description

用於表面異物檢測的自動光學檢測系統
本發明係有關於一種自動光學檢測系統，尤指一種用於表面異物檢測的自動光學檢測系統。
自動光學檢測(Automated Optical Inspection,AOI)，泛指運用機器視覺拍攝待測物的表面以對待測物進行檢測的技術。自動光學檢測的優點在於改良傳統上以人力使用光學儀器進行檢測所造成的種種缺失(例如人眼檢測的不可靠性、以及檢測的效率)，除了瑕疵檢測外，自動光學檢查亦可應用於國防、民生、醫療、環保、電力等相關領域。
目前於市場上，完整的面板製程，必須至少經過以下幾種檢測：1.玻璃基板及彩色濾光片的檢測。2.面板(panel)、偏光片(polarization sheet)上的亮點、碎亮點檢測。3.不均勻(Mura)的檢測。4.陣列電路工程中的瑕疵檢測。
其中，面板及偏光片上的亮點、碎亮點，係為面板製程中常見的瑕疵。於偏光片或面板製作完成時，會先藉由自動光學檢測系統(Automated Optical Inspection,AOI)對偏光片或面板 的表面進行非接觸式的檢查。一般代表性的作法，係利用光學儀器取得成品的表面狀態，再以電腦影像處理技術來檢出異物或圖案異常等瑕疵。這類的亮點、碎亮點的瑕疵影像，被檢測出時將會被自動的分類，並被標示為待測點，以供後續的最終品質管制人員(Final Quality Control,FQC)以人工目測的方式進行最後的判定。
習知有關於面板檢測的技術，針對這類的亮點、碎亮點，具有固定的檢測步驟，其檢測步驟如下：將待測面板輸送至檢測平台，並提供上、下光源(即正光源、背光源)打光於該面板上藉以顯示出偏光板、或面板上的瑕疵點，顯示出的瑕疵點係藉由攝像裝置拍攝後取得。所取得的瑕疵影像藉由影像處理器經二值化處理後，將可以取得對應的亮點、碎亮點。藉由進一步定義前述亮點、及碎亮點的位置及座標，所述的瑕疵面板(亮點、碎亮點)可藉由雷射熔接法進行瑕疵補修，藉以提升產品的良率。
惟，藉由上、下光源所打出的瑕疵影像，除上述於製程中所產生的亮點、碎亮點外，尚有可能會顯示出附著於面板、偏光片上的異物(如灰塵、毛髮)，這類的異物將會導致於檢測過程中產生誤檢(overkill)的情事。
本發明的主要目的，在於解決面板檢測中透過正面光源或背面光源檢測時，無法過濾表面異物導致檢測過程中產生誤檢(overkill)的情事。
為解決上述問題，本發明係提供一種提供雷射光源的自動光學檢測系統，用以檢測面板表面的異物分布，該自動光學檢測系統包含一高指向性光源裝置、以及一影像擷取裝置。該高指向性光源裝置係水平設置於該面板的一側，提供一高指向性光束經過該面板的上表面或下表面。該影像擷取裝置係設置於該面板的一側，用以拍攝該面板以獲得一面板影像，並將該面板影像傳送至一檢測裝置，藉由該檢測裝置影像分析該面板影像，以檢測該面板上的異物分布。
本發明係可用於面板瑕疵的確認測試，透過將高指向性光束朝面板的表面水平照射，以凸顯面板表面上的異物。透過將本發明高指向性光源所獲得的面板影像與提供背光源所獲得的影像進行比對，可濾除正光源或背光源所獲得的面板影像中異物雜訊的部分，進而得到面板確實的瑕疵影像，以提升面板的檢測正確率。
100‧‧‧自動光學檢測系統
10‧‧‧高指向性光源裝置
DB‧‧‧高指向性光束
20‧‧‧影像擷取裝置
30‧‧‧控制器
40‧‧‧檢測裝置
PN‧‧‧面板
PN1‧‧‧上表面
PN2‧‧‧下表面
10A‧‧‧高指向性光源裝置
11A‧‧‧點型光束發射器
PB‧‧‧點型光束
12A‧‧‧樞轉裝置
10B‧‧‧高指向性光源裝置
11B‧‧‧點型光束發射器
12B‧‧‧扇狀光束產生透鏡
LB‧‧‧扇狀光束
10C‧‧‧高指向性光源裝置
11C‧‧‧點型光束發射器
12C‧‧‧平移裝置
α1‧‧‧傾斜角
PT‧‧‧灰塵
A1‧‧‧混和瑕疵表面影像
A2‧‧‧異物分布影像
H1‧‧‧異物分布
A3‧‧‧瑕疵分布影像
H2‧‧‧瑕疵分布
圖1，係本發明自動光學檢測系統的方塊示意圖。
圖2，係本發明自動光學檢測系統的側面示意圖。
圖3，係瑕疵分布影像的生成示意圖。
圖4，係本發明自動光學檢測系統第一實施態樣的配置示意圖。
圖5，係本發明自動光學檢測系統第二實施態樣的配置示意圖。
圖6，係本發明自動光學檢測系統第三實施態樣的配置示意圖。
圖7，係本發明自動光學檢測系統第四實施態樣的配置示意圖。
有關本發明之詳細說明及技術內容，現就配合圖式說明如下。再者，本發明中之圖式，為說明方便，其比例未必照實際比例繪製，該等圖式及其比例並非用以限制本發明之範圍，在此先行敘明。
請參閱「圖1」及「圖2」，係本發明自動光學檢測系統的方塊示意圖及側面示意圖，如圖所示。
本發明係提供一種用於表面異物檢測的自動光學檢測系統100，用以檢測面板PN表面的異物分布。具體而言，該自動光學檢測系統100包含有一或複數個高指向性光源裝置10、一或複數個影像擷取裝置20、以及一連接至該高指向性光源裝置10及該影像擷取裝置20的控制器30。
該高指向性光源裝置10係水平設置於該面板PN的一側。在本實施例中，該高指向性光源裝置10係設置於該面板PN的右側。當然，本發明不以此為限，該高指向性光源裝置10可設置於該面板PN的任何一側。該高指向性光源裝置10輸出一高指向性光束DB至該面板PN的上表面PN1或下表面PN2藉以掃射該面板PN。該高指向性光源裝置10係用以提供高指向性光束 DB(例如扇狀光束或點型光束)照亮該面板PN的表面，該高指向性光源裝置10可以配合機械或是藉由特殊的機構形成該高指向性光束DB，於本發明中不予以限制。
於一較佳實施態樣中，係可於同一站台中同時提供兩組該高指向性光源裝置10，用以同時對該面板PN的上表面PN1及下表面PN2提供高指向性光束DB，並由上側及下側的影像擷取裝置20獲取該上表面PN1及下表面PN2的影像。於另一較佳實施態樣中，該高指向性光源裝置10可藉由平移裝置(圖未示)於上表面PN1及下表面PN2之間移動，藉以將該高指向性光束DB至該面板PN的上表面PN1或下表面PN2掃射該面板PN的上表面PN1或下表面PN2，藉以對該面板PN的上表面PN1及下表面PN2進行檢測。於另一較佳實施態樣中，可以將該面板PN於第一站台進行上表面PN1的檢測後，透過移載裝置(圖未示)或翻面裝置(圖未示)將該面板PN移動至第二站台進行下表面PN2的檢測，於本發明中不欲限制於上述的實施態樣。
如「圖2」所示，值得一提的，該高指向性光源裝置10所輸出的高指向性光束DB應與該面板PN的表面間實質齊平，使得所送出的高指向性光束DB可直接掃射於該面板PN上的灰塵PT，於掃射到灰塵PT時於該灰塵PT的表面將會產生反射或是漫射，使灰塵PT於面板影像中被凸顯出來，由於高指向性光束DB只經過面板PN的上表面PN1或下表面PN2，得以避免內部的瑕疵因高指向性光束DB照射而被顯示出來。
該影像擷取裝置20設置於該面板PN的上表面PN1及/或下表面PN2，用以拍攝該面板PN以獲得一面板影像，並將該面板影像傳送至一檢測裝置40，藉由該檢測裝置40經由影像分析獲取該面板PN上的異物分布。具體而言，該影像擷取裝置20係可為CCD攝影機、CMOS攝影機、或其他類似的影像檢測裝置，於本發明中不予以限制。該檢測裝置40可以為連接於該影像擷取裝置20的影像處理器或是包含有上述影像處理器的電腦設備，用以於獲得該面板PN的面板影像後，以電腦影像處理技術檢出面板PN表面上的異物或異常瑕疵。
該控制器30係用以控制並協調該高指向性光源裝置10及影像擷取裝置20的運作，當控制器30偵測到面板PN移動至檢測位置時，該控制器30先啟動高指向性光源裝置10輸出高指向性光束DB至該面板PN，進一步啟動該影像擷取裝置20拍攝該面板PN的影像。於一較佳實施態樣中，該控制器30係可一併給予移載裝置或翻面裝置控制指令，用以放置或移載該面板PN、或調整該面板PN的位置。
該控制器30例如是中央處理器(Central Processing Unit,CPU)，或是其他可程式化之一般用途或特殊用途的微處理器(Microprocessor)、數位訊號處理器(Digital Signal Processor,DSP)、可程式化控制器、特殊應用積體電路(Application Specific Integrated Circuits,ASIC)、可程式化邏輯裝置(Programmable Logic Device,PLD)或其他類似裝置或這些裝置的組合，於本發 明中不予以限制。
該高指向性光源裝置10發射該高指向性光束DB至面板PN時，該高指向性光束DB接觸面板PN上的灰塵或粉塵(Particle)會產生漫射或部分反射，使得灰塵或粉塵(Particle)可被影像擷取裝置20擷取，以利後續的電腦影像處理技術檢出面板PN表面上的異物，或是可預先清除，從而避免誤檢(overkill)。
請參閱「圖3」，係瑕疵分布影像的生成示意圖，如圖所示。
於一較佳實施態樣中，該檢測裝置40係可以預先由提供背光源的光學檢測站台(圖未示)先進行檢測，藉以獲得同時包括有異物雜訊及面板瑕疵(例如亮點、碎亮點)的混和瑕疵表面影像A1，再由本發明的自動光學檢測系統100獲得僅包含有異物分布H1的異物分布影像A2。於獲得兩組影像後，該檢測裝置40係可依據該異物分布影像A2上的異物分布H1濾除該混和瑕疵表面影像A1上的異物雜訊以獲得瑕疵分布H2，藉此獲得該面板PN的瑕疵分布影像A3，進而完成確認測試。
除上述的實施態樣外，該檢測裝置40於獲得異物瑕疵表面影像後，亦可以透過將異物分布H1的區域上色，後續再透過目視檢測的方式，與提供背光源的光學檢測站台(圖未示)所獲得的瑕疵分布影像A3進行比對，藉以完成確認測試。
以下係針對本發明的多種不同實施態樣分別進行說明： 請一併參閱「圖4」，係本發明自動光學檢測系統第一實施態樣的配置示意圖，如圖所示：以下係針對本發明的第一實施態樣進行說明，該影像擷取裝置20係設置於該面板PN的一側，用以拍攝該面板PN的表面影像，並將所獲得的面板影像傳送至檢測裝置40進行影像分析獲取異物分布影像A2。
於本實施態樣中的該高指向性光源裝置10A包括一點型光束發射器11A，並於該點型光束發射器11A的一側設置一樞轉裝置12A，該點型光束發射器11A係提供點型光束PB對準至該面板PN的上表面PN1或下表面PN2，該樞轉裝置12A係帶動該點型光束發射器11A樞轉，藉以將該點型光束PB沿該面板PN的表面移動，並由該影像擷取裝置20掃描該面板PN，以獲得該面板PN的表面影像。其中，該點型光束發射器11A可以為雷射發射裝置例如氦氖雷射器、氪離子雷射器、或其他類此的雷射發射裝置，於另一較佳實施態樣中，該點型光束發射器11A亦可以為可以產生高指向性光束的發光二極體，於本發明中不予以限制。
於高指向性光源裝置10A掃過面板PN的同時，控制器30係下達指令至該影像擷取裝置20連續拍攝該面板PN的影像，藉以獲得複數個面板影像，所獲得的複數個面板影像將傳送至檢測裝置40進行影像合成以整合成一異物瑕疵表面影像，進而完成確認測試。
請一併參閱「圖5」，係本發明自動光學檢測系統第 二實施態樣的配置示意圖，如圖所示：以下係針對本發明的第二實施態樣進行說明，本實施態樣與於第一實施態樣的差異點僅在於所選用的高指向性光源裝置不同，其餘相同部分，以下便不再予以贅述。
於本實施態樣中的高指向性光源裝置10B包括一點型光束發射器11B以及一扇狀光束產生透鏡12B。該扇狀光束產生透鏡12B用以將該點型光束發射器11B送出的點型光束PB進行擴束以形成該扇狀光束LB。於另一較佳實施態樣中，除了透過扇狀光束產生透鏡12B產生扇狀光束LB外，亦可以直接提供生成扇狀光束LB的雷射發射裝置或發光二極體達到提供扇狀光束LB的效果，於本發明中不予以限制。
於配置上，該高指向性光源裝置10B輸出的扇狀光束LB係對齊至該面板PN的上表面PN1或下表面PN2，藉以照亮該面板PN的上表面PN1或下表面PN2，並由該影像擷取裝置20拍攝該面板PN，以獲得該面板PN的表面影像。
請一併參閱「圖6」，係本發明自動光學檢測系統第三實施態樣的配置示意圖，如圖所示：以下係針對本發明的第三實施態樣進行說明，本實施態樣與於第一實施態樣的差異點僅在於移動點型光束發射器的方式不同，其餘相同的部分，以下便不再予以贅述。
除了前述透過樞轉裝置12B轉動該點型光束發射器11B外，本發明亦可透過以下的方式供該點型光束發射器11B掃 過該面板PN上的所有區域，以獲得該面板PN的整面影像。
於本實施態樣中，該高指向性光源裝置10C包括一點型光束發射器11C，並於該點型光束發射器11C的一側設置一平移裝置12C，該點型光束發射器11C係提供點型光束PB對準至該面板PN的上表面PN1或下表面PN2，該平移裝置12C係帶動該點型光束發射器11C沿該面板PN的表面移動，並由該影像擷取裝置20掃描該面板PN，以獲得該面板PN的表面影像。
請一併參閱「圖7」，係本發明自動光學檢測系統第四實施態樣的配置示意圖，如圖所示：以下係針對本發明的第四實施態樣進行說明，本實施態樣與於第一實施態樣的差異點僅在於影像擷取裝置20配置的方式不同，其餘相同部分，以下便不再予以贅述。
於本實施態樣中，該影像擷取裝置20係設置於該面板PN的上表面PN1或下表面PN2方向，並與該面板PN之間具有一傾斜角α1，以傾斜的角度拍攝該面板PN的影像，經由傾斜角α1拍攝該面板PN，較容易於面板影像中凸顯面板PN表面的異物分布H1。
綜上所述，本發明係可用於面板瑕疵的確認測試，透過將高指向性光束朝面板的表面水平照射，以凸顯面板表面上的異物。此外，透過將本發明高指向性光源所獲得的面板影像與提供背光源所獲得的影像進行比對，可濾除正光源或背光源所獲得的面板影像中異物雜訊的部分，進而得到面板確實的瑕疵影 像，以提升面板的檢測正確率。
以上已將本發明做一詳細說明，惟以上所述者，僅惟本發明之一較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即凡依本發明申請專利範圍所作之均等變化與修飾，皆應仍屬本發明之專利涵蓋範圍內。

Claims (10)

  1. 一種用於表面異物檢測的自動光學檢測系統，用以檢測面板表面的異物分布，該自動光學檢測系統包含：一高指向性光源裝置，係水平設置於該面板的一側，提供一高指向性光束，經過該面板的上表面或下表面；以及一影像擷取裝置，係設置於該面板的一側，用以拍攝該面板以獲得一面板影像，並將該面板影像傳送至一檢測裝置，藉由該檢測裝置影像分析該面板影像，以檢測該面板上的異物分布。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的自動光學檢測系統，其中該高指向性光源裝置包括一點型光束發射器及一扇狀光束產生透鏡；其中該扇狀光束產生透鏡用以將點型光束進行擴束以形成一扇狀光束。
  3. 如申請專利範圍第2項所述的自動光學檢測系統，其中該扇狀光束係對齊至該面板的該上表面或該下表面，藉以照亮該面板的該上表面或該下表面，並由該影像擷取裝置拍攝該面板，以獲得該面板的表面影像。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的自動光學檢測系統，其中該高指向性光源裝置包括一點型光束發射器、以及一設置於該點型光 束發射器一側的樞轉裝置。
  5. 如申請專利範圍第4項所述的自動光學檢測系統，其中該點型光束發射器提供點型光束對準至該面板的該上表面或該下表面，其中該樞轉裝置帶動該點型光束發射器樞轉，藉以將該點型光束沿該面板的該上表面或該下表面移動，並由該影像擷取裝置掃描該面板，以獲得該面板的表面影像。
  6. 如申請專利範圍第1項所述的自動光學檢測系統，其中該高指向性光源裝置包括一點型光束發射器、以及一設置於該點型光束發射器一側的平移裝置。
  7. 如申請專利範圍第6項所述的自動光學檢測系統，其中該點型光束發射器提供點型光束，對準至該面板的該上表面或該下表面；其中該平移裝置帶動該點型光束發射器沿該面板的該上表面或該下表面移動，並由該影像擷取裝置掃描該面板，以獲得該面板的整面影像。
  8. 如申請專利範圍第2至7項中任一項所述的自動光學檢測系統，其中該點型光束發射器係為雷射發射裝置或產生高指向性光束的發光二極體。
  9. 如申請專利範圍第1項所述的自動光學檢測系統，其中該影像擷取裝置垂直設置於該面板的上表面及/或下表面。
  10. 如申請專利範圍第1項所述的自動光學檢測系統，其中該影像擷取裝置設置於該面板的上表面及/或下表面方向，並與該面板之間具有一傾斜角。
TW106100849A 2017-01-11 2017-01-11 用於表面異物檢測的自動光學檢測系統 TWI622764B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW106100849A TWI622764B (zh) 2017-01-11 2017-01-11 用於表面異物檢測的自動光學檢測系統
CN201710054592.9A CN108303431A (zh) 2017-01-11 2017-01-22 用于表面异物检测的自动光学检测系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW106100849A TWI622764B (zh) 2017-01-11 2017-01-11 用於表面異物檢測的自動光學檢測系統

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TWI622764B TWI622764B (zh) 2018-05-01
TW201825886A true TW201825886A (zh) 2018-07-16

Family

ID=62872385

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW106100849A TWI622764B (zh) 2017-01-11 2017-01-11 用於表面異物檢測的自動光學檢測系統

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN108303431A (zh)
TW (1) TWI622764B (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110132981A (zh) * 2019-05-21 2019-08-16 东莞市瑞图新智科技有限公司 一种滤光片中片外观和尺寸一体化检测设备及检测方法
CN110286132A (zh) * 2019-06-21 2019-09-27 上海天马微电子有限公司 显示面板的光学检测方法及设备
CN111443509B (zh) * 2020-05-13 2022-11-22 深圳市全洲自动化设备有限公司 一种用于检测lcd液晶屏黑白斑和闪烁类缺陷的方法
CN114428412A (zh) * 2020-10-29 2022-05-03 中强光电股份有限公司 影像辨识装置以及影像辨识方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008536127A (ja) * 2005-04-06 2008-09-04 コーニング インコーポレイテッド ガラス検査装置及びその使用方法
JP2008218799A (ja) * 2007-03-06 2008-09-18 Topcon Corp 表面検査方法及び装置
TWM375870U (en) * 2009-08-14 2010-03-11 Taiwan Nano Technology Applic Corp Detection platform structure of extraneous matter check-up apparatus
WO2011037121A1 (ja) * 2009-09-25 2011-03-31 宇部興産株式会社 金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法及び製造方法
CN102680496B (zh) * 2011-04-15 2016-04-20 京东方科技集团股份有限公司 异物检测装置及方法
CN102645437A (zh) * 2012-04-11 2012-08-22 法国圣戈班玻璃公司 光学测量装置和光学测量方法
KR20140011777A (ko) * 2012-07-19 2014-01-29 삼성전기주식회사 표면 이물질 검사 시스템 및 그 제어 방법
CN202947713U (zh) * 2012-12-06 2013-05-22 京东方科技集团股份有限公司 一种基板异物检测装置及曝光机
CN203054450U (zh) * 2013-01-28 2013-07-10 京东方科技集团股份有限公司 一种异物检查处理装置及曝光机
CN105214906A (zh) * 2015-08-26 2016-01-06 武汉华星光电技术有限公司 一种涂布装置及其清除异物误报的方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN108303431A (zh) 2018-07-20
TWI622764B (zh) 2018-05-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI663394B (zh) 在工作件中用於缺陷偵測的裝置，方法及電腦程式產品
JP5583102B2 (ja) ガラス基板の表面不良検査装置および検査方法
TWI622764B (zh) 用於表面異物檢測的自動光學檢測系統
US7760350B2 (en) Glazing inspection
JPWO2007141857A1 (ja) 外観検査装置
JP4847128B2 (ja) 表面欠陥検査装置
US20170053394A1 (en) Inspection apparatus, inspection method, and article manufacturing method
KR101203210B1 (ko) 결함 검사장치
TWI502186B (zh) A bright spot detection device for filtering foreign matter noise and its method
CN110208269A (zh) 一种玻璃表面异物与内部异物区分的方法及系统
TW201346250A (zh) 光學複檢系統及其檢測方法
KR101211438B1 (ko) 결함 검사장치
KR101151274B1 (ko) 결점 검사장치
KR100863341B1 (ko) 중복 영상을 이용한 에프피디 기판 및 반도체 웨이퍼검사시스템
TWI711816B (zh) 一種檢驗物件的系統及方法
TWI229186B (en) Dual-view-angle 3D figure image line-scan inspection device
TWM514002U (zh) 光學檢測設備
TWI289662B (en) The defect testing apparatus for testing the backside of glass substrate
KR20160032576A (ko) 고속 카메라 및 적외선 광학계를 이용한 이미지 분석 시스템 및 방법
JP2004347525A (ja) 半導体チップ外観検査方法およびその装置
TWM457889U (zh) 面板瑕疵檢測之裝置
JP6752670B2 (ja) 透明体の検査方法及び装置
JP2001012931A (ja) 外観検査装置
JP2007010640A (ja) 表面欠陥検査装置
TWM608800U (zh) 表面檢驗裝置