CN108303431A - 用于表面异物检测的自动光学检测系统 - Google Patents
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Abstract
一种用于表面异物检测的自动光学检测系统，用以检测面板表面的异物分布，该自动光学检测系统包括有一高指向性光源装置、以及一影像撷取装置。该高指向性光源装置水平设置于该面板的一侧，提供一高指向性光束，经过该面板的上表面或下表面。该影像撷取装置设置于该面板的一侧，用以拍摄该面板以获得一面板影像，并将该面板影像传送至一检测装置，借由该检测装置影像分析该面板影像，以检测该面板上的异物分布。
Description
技术领域
本发明有关于一种自动光学检测系统，尤指一种用于表面异物检测的自动光学检测系统。
背景技术
自动光学检测(Automated Optical Inspection，AOI)，泛指运用机器视觉拍摄待测物的表面以对待测物进行检测的技术。自动光学检测的优点在于改良传统上以人力使用光学仪器进行检测所造成的种种缺失(例如人眼检测的不可靠性、以及检测的效率)，除了瑕疵检测外，自动光学检查亦可应用于国防、民生、医疗、环保、电力等相关领域。
目前于市场上，完整的面板制程，必须至少经过以下几种检测：1.玻璃基板及彩色滤光片的检测。2.面板(panel)、偏光片(polarization sheet)上的亮点、碎亮点检测。3.不均匀(Mura)的检测。4.数组电路工程中的瑕疵检测。
其中，面板及偏光片上的亮点、碎亮点，为面板制程中常见的瑕疵。于偏光片或面板制作完成时，会先借由自动光学检测系统(Automated Optical Inspection，AOI)对偏光片或面板的表面进行非接触式的检查。一般代表性的作法，是利用光学仪器取得成品的表面状态，再以计算机图像处理技术来检出异物或图案异常等瑕疵。这类的亮点、碎亮点的瑕疵影像，被检测出时将会被自动的分类，并被标示为待测点，以供后续的最终质量管理人员(Final Quality Control，FQC)以人工目测的方式进行最后的判定。
现有有关于面板检测的技术，针对这类的亮点、碎亮点，具有固定的检测步骤，其检测步骤如下：将待测面板输送至检测平台，并提供上、下光源(即正光源、背光源)打光于该面板上借以显示出偏光板、或面板上的瑕疵点，显示出的瑕疵点借由摄像装置拍摄后取得。所取得的瑕疵影像借由图像处理器经二值化处理后，将可以取得对应的亮点、碎亮点。借由进一步定义前述亮点、及碎亮点的位置及坐标，所述的瑕疵面板(亮点、碎亮点)可借由激光熔接法进行瑕疵补修，借以提升产品的良率。
但是，借由上、下光源所打出的瑕疵影像，除上述于制程中所产生的亮点、碎亮点外，尚有可能会显示出附着于面板、偏光片上的异物(如灰尘、毛发)，这类的异物将会导致于检测过程中产生误检的情况。
发明内容
本发明的主要目的，在于解决面板检测中透过正面光源或背面光源检测时，无法过滤表面异物导致检测过程中产生误检的情况。
为解决上述问题，本发明提供一种用于表面异物检测的自动光学检测系统，用以检测面板表面的异物分布，该自动光学检测系统包括一高指向性光源装置、以及一影像撷取装置。该高指向性光源装置水平设置于该面板的一侧，提供一高指向性光束，经过该面板的上表面或下表面。该影像撷取装置设置于该面板的一侧，用以拍摄该面板以获得一面板影像，并将该面板影像传送至一检测装置，借由该检测装置影像分析该面板影像，以检测该面板上的异物分布。
本发明可用于面板瑕疵的确认测试，通过将高指向性光束朝面板的表面水平照射，以凸显面板表面上的异物。通过将本发明高指向性光源所获得的面板影像与提供背光源所获得的影像进行比对，可滤除正光源或背光源所获得的面板影像中异物噪声的部分，进而得到面板确实的瑕疵影像，以提升面板的检测正确率。
附图说明
图1，为本发明自动光学检测系统的方块示意图。
图2，为本发明自动光学检测系统的侧面示意图。
图3，为瑕疵分布影像的生成示意图。
图4，为本发明自动光学检测系统第一实施例的配置示意图。
图5，为本发明自动光学检测系统第二实施例的配置示意图。
图6，为本发明自动光学检测系统第三实施例的配置示意图。
图7，为本发明自动光学检测系统第四实施例的配置示意图。
附图标记说明：
100 自动光学检测系统
10 高指向性光源装置
DB 高指向性光束
20 影像撷取装置
30 控制器
40 检测装置
PN 面板
PN1 上表面
PN2 下表面
10A 高指向性光源装置
11A 点型光束发射器
PB 点型光束
12A 枢转装置
10B 高指向性光源装置
11B 点型光束发射器
12B 扇状光束产生透镜
LB 扇状光束
10C 高指向性光源装置
11C 点型光束发射器
12C 平移装置
α1 倾斜角
PT 灰尘
A1 混合瑕疵表面影像
A2 异物分布影像
H1 异物分布
A3 瑕疵分布影像
H2 瑕疵分布
具体实施方式
有关本发明的详细说明及技术内容，现就配合图式说明如下。再者，本发明中的图式，为说明方便，其比例未必照实际比例绘制，该等图式及其比例并非用以限制本发明的范围，在此先行叙明。
请参阅图1及图2，为本发明自动光学检测系统的方块示意图及侧面示意图，如图所示。
本发明提供一种用于表面异物检测的自动光学检测系统100，用以检测面板PN表面的异物分布。具体而言，该自动光学检测系统100包括有一或多个高指向性光源装置10、一或多个影像撷取装置20、以及一连接至该高指向性光源装置10及该影像撷取装置20的控制器30。
该高指向性光源装置10水平设置于该面板PN的一侧。在本实施例中，该高指向性光源装置10设置于该面板PN的右侧。当然，本发明不以此为限，该高指向性光源装置10可设置于该面板PN的任何一侧。该高指向性光源装置10输出一高指向性光束DB至该面板PN的上表面PN1或下表面PN2借以扫射该面板PN。该高指向性光源装置10用以提供高指向性光束DB(例如扇状光束或点型光束)照亮该面板PN的表面，该高指向性光源装置10可以配合机械或是借由特殊的机构形成该高指向性光束DB，于本发明中不予以限制。
于一较佳实施例中，可于同一站台中同时提供两组该高指向性光源装置10，用以同时对该面板PN的上表面PN1及下表面PN2提供高指向性光束DB，并由上侧及下侧的影像撷取装置20获取该上表面PN1及下表面PN2的影像。于另一较佳实施例中，该高指向性光源装置10可借由平移装置(图未示)于上表面PN1及下表面PN2之间移动，借以将该高指向性光束DB至该面板PN的上表面PN1或下表面PN2扫射该面板PN的上表面PN1或下表面PN2，借以对该面板PN的上表面PN1及下表面PN2进行检测。于另一较佳实施例中，可以将该面板PN于第一站台进行上表面PN1的检测后，通过移载装置(图未示)或翻面装置(图未示)将该面板PN移动至第二站台进行下表面PN2的检测，于本发明中不欲限制于上述的实施例。
如图2所示，值得一提的，该高指向性光源装置10所输出的高指向性光束DB应与该面板PN的表面间实质齐平，使得所送出的高指向性光束DB可直接扫射于该面板PN上的灰尘PT，于扫射到灰尘PT时于该灰尘PT的表面将会产生反射或是漫射，使灰尘PT于面板影像中被凸显出来，由于高指向性光束DB只经过面板PN的上表面PN1或下表面PN2，得以避免内部的瑕疵因高指向性光束DB照射而被显示出来。
该影像撷取装置20设置于该面板PN的上表面PN1及/或下表面PN2，用以拍摄该面板PN以获得一面板影像，并将该面板影像传送至一检测装置40，借由该检测装置40经由影像分析获取该面板PN上的异物分布。具体而言，该影像撷取装置20可为CCD摄影机、CMOS摄影机、或其他类似的影像检测装置，于本发明中不予以限制。该检测装置40可以为连接于该影像撷取装置20的图像处理器或是包括有上述图像处理器的计算机设备，用以于获得该面板PN的面板影像后，以计算机图像处理技术检出面板PN表面上的异物或异常瑕疵。
该控制器30用以控制并协调该高指向性光源装置10及影像撷取装置20的运作，当控制器30侦测到面板PN移动至检测位置时，该控制器30先启动高指向性光源装置10输出高指向性光束DB至该面板PN，进一步启动该影像撷取装置20拍摄该面板PN的影像。于一较佳实施例中，该控制器30可一并给予移载装置或翻面装置控制指令，用以放置或移载该面板PN、或调整该面板PN的位置。
该控制器30例如是中央处理器(Central Processing Unit，CPU)，或是其他可程序化的一般用途或特殊用途的微处理器(Microprocessor)、数字信号处理器(DigitalSignal Processor，DSP)、可程序化控制器、特殊应用集成电路(Application SpecificIntegrated Circuits，ASIC)、可程序化逻辑设备(Programmable Logic Device，PLD)或其他类似装置或这些装置的组合，于本发明中不予以限制。
该高指向性光源装置10发射该高指向性光束DB至面板PN时，该高指向性光束DB接触面板PN上的灰尘或粉尘(Particle)会产生漫射或部分反射，使得灰尘或粉尘(Particle)可被影像撷取装置20撷取，以利后续的计算机图像处理技术检出面板PN表面上的异物，或是可预先清除，从而避免误检。
请参阅图3，为瑕疵分布影像的生成示意图，如图所示。
于一较佳实施例中，该检测装置40可以预先由提供背光源的光学检测站台(图未示)先进行检测，借以获得同时包括有异物噪声及面板瑕疵(例如亮点、碎亮点)的混合瑕疵表面影像A1，再由本发明的自动光学检测系统100获得仅包含有异物分布H1的异物分布影像A2。于获得两组影像后，该检测装置40可依据该异物分布影像A2上的异物分布H1滤除该混合瑕疵表面影像A1上的异物噪声以获得瑕疵分布H2，借此获得该面板PN的瑕疵分布影像A3，进而完成确认测试。
除上述的实施例外，该检测装置40于获得异物瑕疵表面影像后，亦可以通过将异物分布H1的区域上色，后续再透过目视检测的方式，与提供背光源的光学检测站台(图未示)所获得的瑕疵分布影像A3进行比对，借以完成确认测试。
以下系针对本发明的多种不同实施例分别进行说明：
请一并参阅图4，为本发明自动光学检测系统第一实施例的配置示意图，如图所示：
以下是针对本发明的第一实施例进行说明，该影像撷取装置20系设置于该面板PN的一侧，用以拍摄该面板PN的表面影像，并将所获得的面板影像传送至检测装置40进行影像分析获取异物分布影像A2。
于本实施例中的该高指向性光源装置10A包括一点型光束发射器11A，并于该点型光束发射器11A的一侧设置一枢转装置12A，该点型光束发射器11A提供点型光束PB对准至该面板PN的上表面PN1或下表面PN2，该枢转装置12A带动该点型光束发射器11A枢转，借以将该点型光束PB沿该面板PN的表面移动，并由该影像撷取装置20扫描该面板PN，以获得该面板PN的表面影像。其中，该点型光束发射器11A可以为激光发射装置例如氦氖激光器、氪离子激光器、或其他类此的激光发射装置，于另一较佳实施例中，该点型光束发射器11A亦可以为可以产生高指向性光束的发光二极管，于本发明中不予以限制。
于高指向性光源装置10A扫过面板PN的同时，控制器30下达指令至该影像撷取装置20连续拍摄该面板PN的影像，借以获得多个面板影像，所获得的多个面板影像将传送至检测装置40进行影像合成以整合成一异物瑕疵表面影像，进而完成确认测试。
请一并参阅图5，为本发明自动光学检测系统第二实施例的配置示意图，如图所示：
以下是针对本发明的第二实施例进行说明，本实施例与第一实施例的差异点仅在于所选用的高指向性光源装置不同，其余相同部分，以下便不再予以赘述。
于本实施例中的高指向性光源装置10B包括一点型光束发射器11B以及一扇状光束产生透镜12B。该扇状光束产生透镜12B用以将该点型光束发射器11B送出的点型光束PB进行扩束以形成该扇状光束LB。于另一较佳实施例中，除了透过扇状光束产生透镜12B产生扇状光束LB外，亦可以直接提供生成扇状光束LB的激光发射装置或发光二极管达到提供扇状光束LB的效果，于本发明中不予以限制。
于配置上，该高指向性光源装置10B输出的扇状光束LB系对齐至该面板PN的上表面PN1或下表面PN2，借以照亮该面板PN的上表面PN1或下表面PN2，并由该影像撷取装置20拍摄该面板PN，以获得该面板PN的表面影像。
请一并参阅图6，为本发明自动光学检测系统第三实施例的配置示意图，如图所示：
以下是针对本发明的第三实施例进行说明，本实施例与第一实施例的差异点仅在于移动点型光束发射器的方式不同，其余相同的部分，以下便不再予以赘述。
除了前述通过枢转装置12B转动该点型光束发射器11B外，本发明亦可通过以下的方式供该点型光束发射器11B扫过该面板PN上的所有区域，以获得该面板PN的整面影像。
于本实施例中，该高指向性光源装置10C包括一点型光束发射器11C，并于该点型光束发射器11C的一侧设置一平移装置12C，该点型光束发射器11C提供点型光束PB对准至该面板PN的上表面PN1或下表面PN2，该平移装置12C系带动该点型光束发射器11C沿该面板PN的表面移动，并由该影像撷取装置20扫描该面板PN，以获得该面板PN的表面影像。
请一并参阅图7，为本发明自动光学检测系统第四实施例的配置示意图，如图所示：
以下是针对本发明的第四实施例进行说明，本实施例与第一实施例的差异点仅在于影像撷取装置20配置的方式不同，其余相同部分，以下便不再予以赘述。
于本实施例中，该影像撷取装置20设置于该面板PN的上表面PN1或下表面PN2方向，并与该面板PN之间具有一倾斜角α1，以倾斜的角度拍摄该面板PN的影像，经由倾斜角α1拍摄该面板PN，较容易于面板影像中凸显面板PN表面的异物分布H1。
综上所述，本发明可用于面板瑕疵的确认测试，通过将高指向性光束朝面板的表面水平照射，以凸显面板表面上的异物。此外，通过将本发明高指向性光源所获得的面板影像与提供背光源所获得的影像进行比对，可滤除正光源或背光源所获得的面板影像中异物噪声的部分，进而得到面板确实的瑕疵影像，以提升面板的检测正确率。
以上已将本发明做一详细说明，但以上所述，仅是本发明的一较佳实施例而已，当不能以此限定本发明实施的范围，即凡依本发明申请专利范围所作的均等变化与修饰，皆应仍属本发明的专利涵盖范围内。
Claims (10)
1.一种用于表面异物检测的自动光学检测系统，用以检测面板表面的异物分布，其特征在于，该自动光学检测系统包括：
一高指向性光源装置，水平设置于该面板的一侧，提供一高指向性光束，经过该面板的上表面或下表面；以及
一影像撷取装置，设置于该面板的一侧，用以拍摄该面板以获得一面板影像，并将该面板影像传送至一检测装置，借由该检测装置影像分析该面板影像，以检测该面板上的异物分布。
2.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其特征在于，该高指向性光源装置包括一点型光束发射器及一扇状光束产生透镜；其中该扇状光束产生透镜用以将点型光束进行扩束以形成一扇状光束。
3.如权利要求2所述的自动光学检测系统，其特征在于，该扇状光束对齐至该面板的该上表面或该下表面，借以照亮该面板的该上表面或该下表面，并由该影像撷取装置拍摄该面板，以获得该面板的表面影像。
4.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其特征在于，该高指向性光源装置包括一点型光束发射器以及一设置于该点型光束发射器一侧的枢转装置。
5.如权利要求4所述的自动光学检测系统，其特征在于，该点型光束发射器提供点型光束对准至该面板的该上表面或该下表面，其中该枢转装置带动该点型光束发射器枢转，借以将该点型光束沿该面板的该上表面或该下表面移动，并由该影像撷取装置拍摄该面板，以获得该面板的表面影像。
6.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其特征在于，该高指向性光源装置包括一点型光束发射器以及一设置于该点型光束发射器一侧的平移装置。
7.如权利要求6所述的自动光学检测系统，其特征在于，该点型光束发射器提供点型光束，对准至该面板的该上表面或该下表面；其中该平移装置带动该点型光束发射器沿该面板的该上表面或该下表面移动，并由该影像撷取装置拍摄该面板，以获得该面板的整面影像。
8.如权利要求2至7中任一项所述的自动光学检测系统，其特征在于，该点型光束发射器为激光发射装置或产生高指向性光束的发光二极管。
9.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其特征在于，该影像撷取装置垂直设置于该面板的上表面及/或下表面。
10.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其特征在于，该影像撷取装置设置于该面板的上表面及/或下表面方向，并与该面板之间具有一倾斜角。
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|---|---|
| CN (1) | CN108303431A (zh) |
| TW (1) | TWI622764B (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110132981A (zh) * | 2019-05-21 | 2019-08-16 | 东莞市瑞图新智科技有限公司 | 一种滤光片中片外观和尺寸一体化检测设备及检测方法 |
| CN110286132A (zh) * | 2019-06-21 | 2019-09-27 | 上海天马微电子有限公司 | 显示面板的光学检测方法及设备 |
| CN111443509A (zh) * | 2020-05-13 | 2020-07-24 | 深圳市全洲自动化设备有限公司 | 一种用于检测lcd液晶屏黑白斑和闪烁类缺陷的方法 |
| CN114428412A (zh) * | 2020-10-29 | 2022-05-03 | 中强光电股份有限公司 | 影像辨识装置以及影像辨识方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101175986A (zh) * | 2005-04-06 | 2008-05-07 | 康宁股份有限公司 | 玻璃检测系统及其使用方法 |
| CN101506962A (zh) * | 2007-03-06 | 2009-08-12 | 拓普康株式会社 | 表面检查方法与装置 |
| CN102680496A (zh) * | 2011-04-15 | 2012-09-19 | 京东方科技集团股份有限公司 | 异物检测装置及方法 |
| CN202947713U (zh) * | 2012-12-06 | 2013-05-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板异物检测装置及曝光机 |
| CN203054450U (zh) * | 2013-01-28 | 2013-07-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种异物检查处理装置及曝光机 |
| CN103575738A (zh) * | 2012-07-19 | 2014-02-12 | 三星电机株式会社 | 表面异物检查系统及其控制方法 |
| CN105214906A (zh) * | 2015-08-26 | 2016-01-06 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种涂布装置及其清除异物误报的方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWM375870U (en) * | 2009-08-14 | 2010-03-11 | Taiwan Nano Technology Applic Corp | Detection platform structure of extraneous matter check-up apparatus |
| WO2011037121A1 (ja) * | 2009-09-25 | 2011-03-31 | 宇部興産株式会社 | 金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法及び製造方法 |
| CN102645437A (zh) * | 2012-04-11 | 2012-08-22 | 法国圣戈班玻璃公司 | 光学测量装置和光学测量方法 |
-
2017
- 2017-01-11 TW TW106100849A patent/TWI622764B/zh active
- 2017-01-22 CN CN201710054592.9A patent/CN108303431A/zh active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101175986A (zh) * | 2005-04-06 | 2008-05-07 | 康宁股份有限公司 | 玻璃检测系统及其使用方法 |
| CN101506962A (zh) * | 2007-03-06 | 2009-08-12 | 拓普康株式会社 | 表面检查方法与装置 |
| CN102680496A (zh) * | 2011-04-15 | 2012-09-19 | 京东方科技集团股份有限公司 | 异物检测装置及方法 |
| CN103575738A (zh) * | 2012-07-19 | 2014-02-12 | 三星电机株式会社 | 表面异物检查系统及其控制方法 |
| CN202947713U (zh) * | 2012-12-06 | 2013-05-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板异物检测装置及曝光机 |
| CN203054450U (zh) * | 2013-01-28 | 2013-07-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种异物检查处理装置及曝光机 |
| CN105214906A (zh) * | 2015-08-26 | 2016-01-06 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种涂布装置及其清除异物误报的方法 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110132981A (zh) * | 2019-05-21 | 2019-08-16 | 东莞市瑞图新智科技有限公司 | 一种滤光片中片外观和尺寸一体化检测设备及检测方法 |
| CN110286132A (zh) * | 2019-06-21 | 2019-09-27 | 上海天马微电子有限公司 | 显示面板的光学检测方法及设备 |
| CN111443509A (zh) * | 2020-05-13 | 2020-07-24 | 深圳市全洲自动化设备有限公司 | 一种用于检测lcd液晶屏黑白斑和闪烁类缺陷的方法 |
| CN111443509B (zh) * | 2020-05-13 | 2022-11-22 | 深圳市全洲自动化设备有限公司 | 一种用于检测lcd液晶屏黑白斑和闪烁类缺陷的方法 |
| CN114428412A (zh) * | 2020-10-29 | 2022-05-03 | 中强光电股份有限公司 | 影像辨识装置以及影像辨识方法 |
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