KR102246219B1 - 전자 부품의 적외선 검사 장치 및 그 방법 - Google Patents
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Abstract
전자 부품의 적외선 검사 장치(1)는 적어도 하나의 제 1 적외선 이미징 유닛(101)은 상기 전자 부품(103)의 제 1 표면을 캡쳐할 수 있고, 상기 제 1 표면은 상기 전자 부품(103)의 상부 표면이고; 상기 제 1 적외선 이미징 유닛(101)은 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 가하는 것을 포함하고; 상기 장치는 적어도 하나의 제 2 적외선 이미징 유닛(105)을 더 포함하고, 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)은 상기 전자 부품의 제 2 표면을 캡쳐할 수 있고, 상기 제 2 표면은 상기 전자 부품의 상기 제 1 표면에 실질적으로 수직이고; 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)은 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 가한다.
Description
전자 부품의 적외선 검사 장치는, 적어도 하나의 제 1 적외선 이미징 유닛이 상기 전자 부품의 제 1 표면을 캡쳐할 수 있고, 상기 제 1 표면은 상기 전자 부품의 상부 표면이고; 상기 제 1 적외선 이미징 유닛은 직접 전방 조명, 직접 후방 조명 또는 이들의 조합을 가하는 것을 포함하고, 상기 장치는 적어도 하나의 제 2 적외선 이미징 유닛을 더 포함하고, 상기 제 2 적외선 이미징 유닛은 상기 전자 부품의 제 2 표면을 캡쳐할 수 있고, 상기 제 2 표면은 상기 전자 부품의 상기 제 1 표면에 실질적으로 수직이고; 상기 제 2 적외선 이미징 유닛은 직접 전방 조명, 직접 후방 조명 또는 이들의 조합을 가한다.
전자 부품의 기존의 내부 결함은 일반 모노크롬 카메라에서 보이지 않는 것으로 잘 알려져 있다. 또한, 측벽(side wall) 이미지는 측벽의 미세 균열을 검사할 때 리젝트를 야기할 수 있는 변형들(variations)을 가지며, 미세 균열은 모노크롬 카메라를 사용하여 검출하기 어렵다.
Prakapenka et. al. WO 2018054895 A1은 반도체 부품(2)의 특성을 검출하기에 적합하게 설계된 광학 검사 장치(200)를 개시하고 있다. 그것은 제 1 조명 장치(4, 6), 제 2 조명 장치(8, 10) 및 이미징 장치(12, 14)를 포함하고, 제 1 조명 장치는 이미징 장치(카메라)로부터 멀리 향하는 반도체 부품의 제 1 표면 상으로 적외선을 방출한다. 적외선은 반도체 부품을 적어도 비례적으로 완전히 투과한다. 제 2 조명 장치는 이미징 장치를 향하는 반도체 부품의 제 2 표면 상으로 가시광선을 방출한다. 이미징 장치는 제 1 및 제 2 조명 장치 모두로부터 방출된 광 스펙트럼을 검출하도록 설계되고, 가시 광선 및 적외선 광 스펙트럼 모두에 기초하여 후속적인 이미지 평가의 결과로서, 반도체 부품의 특성 결함 또는 손상을 결정하기 위해 개별적인 이미지 리덕션(reduction)을 제공한다. 그럼에도 불구하고, WO 2018054895 A1은 적외선 광원을 사용하여 전자 부품의 측면 검사을 하는 것을 개시하지 않았다.
Graf et. al., 미국 특허 제 8154718 B2 호는 샘플이 검사를 위해 놓여질 수 있는 샘플 서포트를 포함하는 미세 구조화된 샘플의 광학 검사 장치 및 미세 구조화된 샘플을 광학적으로 검사하는 방법을 개시하고, 샘플 서포트가 제공되고, 샘플 서포트 위에 샘플이 검사를 위해 배치되고, 샘플이 관찰되는 관찰 수단, 특히 현미경이 제공된다. 상기 발명은 반사광으로서 IR 광을 사용하면서, 다른 것들 중에서 IR 이미지의 콘트라스트를 현저하게 향상시키는 투광(transillumination)을 생성함으로써 달성되며, 따라서 샘플이 반사 또는 투과된 IR 광 및 반사된 가시광선에서 동시에 표시되도록 한다. 그러나, 미국 특허 제 8154718 B2 호는 전자 부품의 후방 조명 및 측면 검사를 개시하지 않았다.
따라서, 직접 전방 조명, 후방 조명 또는 이들의 조합을 가하여, 전자 부품의 적외선 상부, 하부 또는 측면의 검사를 위한 장치를 구비함으로써, 단점들을 완화시키는 것이 유리할 것이다.
따라서, 본 발명의 주된 목적은 전자 부품의 내부 결함, 예컨대 미세-균열, 스크래치 등과 같은 내부 결함을 검출할 수 있는 전자 부품의 적외선 검사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 전자 부품의 리젝트를 감소시킬 수 있는 전자 부품의 적외선 검사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 최소 결함을 갖는 우수한 품질의 전자 부품을 제공할 수 있는 전자 부품의 적외선 검사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 프로세스의 초기 단계에서 전자 부품의 내부 결함을 검출할 수 있는 전자 부품의 적외선 검사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 추가적인 목적은 본 발명의 하기 상세한 설명의 이해 또는 실제로 본 발명의 적용에 의해 명백해질 것이다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따르면 다음의 장치가 제공된다:
전자 부품의 적외선 검사 장치(1)로서,
적어도 하나의 제 1 적외선 이미징 유닛(101)은 상기 전자 부품(103)의 제 1 표면을 캡쳐할 수 있고, 상기 제 1 표면은 상기 전자 부품(103)의 상부 표면이고;
상기 제 1 적외선 이미징 유닛(101)은 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 가하는 것을 포함하고;
상기 장치는 적어도 하나의 제 2 적외선 이미징 유닛(105)을 더 포함하고, 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)은 상기 전자 부품의 제 2 표면을 캡쳐할 수 있고, 상기 제 2 표면은 상기 전자 부품의 상기 제 1 표면에 실질적으로 수직이고;
상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)은 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 가하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 실시 예에서, 다음의 장치가 제공된다:
전자 부품의 적외선 검사 장치(1)로서,
적어도 하나의 제 3 적외선 이미징 유닛(111)은 상기 전자 부품(103)의 제 3 표면을 캡쳐할 수 있고, 상기 제 3 표면은 상기 전자 부품(103)의 하부 표면이고;
상기 제 3 적외선 이미징 유닛(111)은 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 가하는 것을 포함하고;
상기 장치는 적어도 하나의 제 2 적외선 이미징 유닛(105)을 더 포함하고, 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)은 상기 전자 부품(103)의 제 2 표면을 캡쳐할 수 있고, 상기 제 2 표면은 상기 전자 부품(103)의 상기 제 3 표면에 실질적으로 수직이고;
상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)은 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 가하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 실시 예에서, 다음의 방법이 제공된다:
3-차원 이미지를 생성하기 위한 전자 부품의 적외선 검사 방법(2)으로서,
(i) 적어도 하나의 제 2 이미징 유닛(105)에 의해 상기 전자 부품(103)의 제 2 표면의 적어도 하나의 이미지 캡쳐를 수행하는 동안, 적어도 하나의 제 1 적외선 이미징 유닛(101)에 의해 적어도 하나의 전자 부품(103)의 제 1 표면의 적어도 하나의 이미지 캡쳐를 수행하는 단계(201);
(ii) 상기 제 1 적외선 이미징 유닛(101)과 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)에 의해 각각 투영된 2 개의 투영 광선의 교차점을 결정하기 위해 삼각 측량을 수행하는 단계(203)로서, 상기 교차점은 3-차원 점이고;를 포함하고,
상기 제 2 표면은 상기 전자 부품(103)의 상기 제 1 표면에 실질적으로 수직이고, 상기 제 1 표면은 상기 전자 부품(103)의 상부 표면이고, 상기 제 1 적외선 이미징 유닛(101)과 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)은 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 가하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 실시 예에서, 다음의 방법이 제공된다:
3-차원 이미지를 생성하기 위한 전자 부품의 적외선 검사 방법(3)으로서,
(i) 적어도 하나의 제 2 이미징 유닛(105)에 의해 상기 전자 부품(103)의 제 2 표면의 적어도 하나의 이미지 캡쳐를 수행하는 동안, 적어도 하나의 제 3 적외선 이미징 유닛(111)에 의해 적어도 하나의 전자 부품(103)의 제 3 표면의 적어도 하나의 이미지 캡쳐를 수행하는 단계(301);
(ii) 상기 제 3 적외선 이미징 유닛(111)과 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)에 의해 각각 투영된 2 개의 투영 광선의 교차점을 결정하기 위해 삼각 측량을 수행하는 단계(303)로서, 상기 교차점은 3-차원 점이고;를 포함하고,
상기 제 2 표면은 상기 전자 부품(103)의 상기 제 3 표면에 실질적으로 수직이고, 상기 제 3 표면은 상기 전자 부품(103)의 하부 표면이고, 상기 제 1 적외선 이미징 유닛(101)과 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)은 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 가하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 측면 및 이점들은 첨부 도면과 함께 상세한 설명을 살펴보면, 이해될 것이다.
도 1은 상부 및 측면 적외선 검사의 예시적인 도면을 도시한다.
도 2는 하부 및 측면 적외선 검사의 예시적인 도면을 도시한다.
도 3은 상부, 하부 및 측면 적외선 검사의 예시적인 도면을 도시한다.
도 4는 상부 및 측면 적외선 검사의 예시적인 방법 흐름을 도시한다.
도 5는 하부 및 측면 적외선 검사의 예시적인 방법 흐름을 도시한다.
도 1은 상부 및 측면 적외선 검사의 예시적인 도면을 도시한다.
도 2는 하부 및 측면 적외선 검사의 예시적인 도면을 도시한다.
도 3은 상부, 하부 및 측면 적외선 검사의 예시적인 도면을 도시한다.
도 4는 상부 및 측면 적외선 검사의 예시적인 방법 흐름을 도시한다.
도 5는 하부 및 측면 적외선 검사의 예시적인 방법 흐름을 도시한다.
다음의 상세한 설명에서, 본 발명의 철저한 이해를 제공하기 위해 다수의 특정 세부 사항이 제시된다. 그러나, 당업자는 본 발명이 이러한 특정 세부 사항 없이도 실시될 수 있음을 이해할 것이다. 다른 경우에, 공지의 방법, 절차 및/또는 구성 요소는 본 발명을 모호하게 하지 않기 위해 상세히 설명되지 않았다.
본 발명은 그 실시 예에 대한 다음의 설명으로부터 명백하게 이해될 것이며, 첨부 도면을 참조하여 단지 실시 예로서 주어진 것이며, 도면은 일정한 비율로 도시되어 있지 않다.
본 명세서 및 첨부된 청구 범위에서 사용된 바와 같이, 단수 형태 "a", "an"및 "the"는 문맥 상 명확하게 달리 지시하지 않는 한 복수 대상을 포함한다.
본 명세서의 개시 및 청구 범위에서, "포함한다(comprise)" 및 "포함하는(comprising)"와 "포함한다(comprises)와 같은 단어의 변형은 "포함하지만 이에 제한되지 않는다"을 의미하고, 예를 들어 다른 구성요소, 정수 또는 단계를 배제하도록 의도된 것이 아니다. "예시적인"은 "의 예"를 의미하며, 바람직한 또는 이상적인 실시 예에 대한 표시를 전달하기 위한 것이 아니며, "와 같은(such as)"은 제한된 의미로 사용되지 않고 설명을 위해 사용된다.
도 1을 참조하면, 도 1에는 상부 및 측면 적외선 검사의 예시적인 도면이 도시되어 있다. 전자 부품의 적외선 검사 장치(1)는, 적어도 하나의 제 1 적외선 이미징 유닛(101)은 상기 전자 부품(103)의 제 1 표면을 캡쳐할 수 있고, 상기 제 1 표면은 상기 전자 부품(103)의 상부 표면이고; 상기 제 1 적외선 이미징 유닛(101)은 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 가하는 것을 포함하고; 상기 장치는 적어도 하나의 제 2 적외선 이미징 유닛(105)을 더 포함하고, 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)은 상기 전자 부품의 제 2 표면을 캡쳐할 수 있고, 상기 제 2 표면은 상기 전자 부품(103)의 상기 제 1 표면에 실질적으로 수직이고; 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)은 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 가한다.
이제, 도 2를 참조하면, 도 2에는 하부 및 측면 적외선 검사의 예시적인 도면이 도시되어 있다. 전자 부품의 적외선 검사 장치(1)는, 적어도 하나의 제 3 적외선 이미징 유닛(111)은 상기 전자 부품(103)의 제 3 표면을 캡쳐할 수 있고, 상기 제 3 표면은 상기 전자 부품(103)의 하부 표면이고; 상기 제 3 적외선 이미징 유닛(111)은 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 가하는 것을 포함하고; 상기 장치는 적어도 하나의 제 2 적외선 이미징 유닛(105)을 더 포함하고, 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)은 상기 전자 부품(103)의 제 2 표면을 캡쳐할 수 있고, 상기 제 2 표면은 상기 전자 부품(103)의 상기 제 3 표면에 실질적으로 수직이고; 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)은 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 가한다.
이제, 도 3을 참조하면, 도 3에는 상부, 하부 및 측면 적외선 검사의 예시적인 도면이 도시되어 있다. 도 1 및 도 2에서 언급된 2 개의 배열 또는 구성 이외에. 본 발명은 상부, 하부 및 측면 적외선 검사를 수행할 수 있은 장치를 더 포함한다. 적어도 하나의 제 1 적외선 이미징 유닛(101)을 포함하는 상기 장치는 상기 전자 부품(103)의 제 1 표면을 캡쳐할 수 있고, 상기 제 1 표면은 상기 전자 부품(103)의 상부 표면이고; 상기 제 1 적외선 이미징 유닛(101)은 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 가하고, 상기 장치는 적어도 하나의 제 2 적외선 이미징 유닛(105)을 더 포함하고, 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)은 상기 전자 부품(103)의 제 2 표면을 캡쳐할 수 있고, 상기 제 2 표면은 상기 전자 부품(103)의 제 1 표면에 실질적으로 수직이고; 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)은 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 가한다. 또한, 상기 장치는 상기 전자 부품(103)의 제 3 표면을 캡쳐할 수 있은 적어도 하나의 제 3 적외선 이미징 유닛(111)을 더 포함하고, 상기 제 3 표면은 상기 전자 부품(103)의 하부 표면이다. 상기 직접 전방 조명(107) 및 상기 직접 후방 조명은(109)는 700nm 내지 3000nm 범위의 파장을 갖는다. 한편, 상기 전자 부품(103)은 실리콘, 갈륨 비소 또는 유리형 재료로 이루어지고, 상기 유리형 재료는 리튬 니오베이트를 포함한다.
이제, 도 4를 참조하면, 도 4에는 상부 및 측면 적외선 검사의 예시적인 방법 흐름이 도시되어 있다. 본 발명의 프로세스 흐름은 3-차원 이미지를 생성하기 위한 전자 부품의 적외선 검사 방법(2)을 포함하는데, 이는 적어도 하나의 제 2 이미징 유닛(105)에 의해 상기 전자 부품(103)의 제 2 표면의 적어도 하나의 이미지 캡쳐를 수행하면서, 적어도 하나의 제 1 적외선 이미징 유닛(101)에 의해 적어도 하나의 전자 부품(103)의 제 1 표면의 적어도 하나의 이미지 캡쳐를 수행하는 단계(201); 상기 제 1 적외선 이미징 유닛(101)과 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)에 의해 각각 투영된 2 개의 투영 광선의 교차점을 결정하기 위해 삼각 측량을 수행하는 단계(203)로서, 상기 교차점은 3-차원 점이고; 상기 제 2 표면은 상기 전자 부품(103)의 상기 제 1 표면에 실질적으로 수직이고, 상기 제 1 표면은 상기 전자 부품(103)의 상부 표면이고, 상기 제 1 적외선 이미징 유닛(101)과 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)는 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 포함한다. 이에 더하여, 상기 방법은 적어도 하나의 제 3 이미징 유닛(111)에 의해 적어도 하나의 전자 부품(103)의 제 3 표면의 적어도 하나의 이미지 캡쳐를 수행하는 단계(205)를 더 포함하고, 상기 제 3 표면은 상기 전자 부품(103)의 하부 표면이다.
이제, 도 5를 참조하면, 도 5에는 하부 및 측면 적외선 검사의 예시적인 방법 흐름이 도시되어 있다. 3-차원 이미지를 생성하기 위한 전자 부품의 적외선 검사 방법(3)은, 적어도 하나의 제 2 이미징 유닛(105)에 의해 상기 전자 부품(103)의 제 2 표면의 적어도 하나의 이미지 캡쳐를 수행하면서, 적어도 하나의 제 3 적외선 이미징 유닛(111)에 의해 적어도 하나의 전자 부품(103)의 제 3 표면의 적어도 하나의 이미지 캡쳐를 수행하는 단계(301); (ii) 상기 제 3 적외선 이미징 유닛(111)과 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)에 의해 각각 투영된 2 개의 투영 광선의 교차점을 결정하기 위해 삼각 측량을 수행하는 단계(303)로서, 상기 교차점은 3-차원 점이고; 상기 제 2 표면은 상기 전자 부품(103)의 상기 제 3 표면에 실질적으로 수직이고, 상기 제 3 표면은 상기 전자 부품(103)의 하부 표면이고, 상기 제 1 적외선 이미징 유닛(101)과 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)는 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 가하고, 상기 직접 전방 조명(107) 및 상기 직접 후방 조명(109)은 700 nm 내지 3000 nm 범위의 파장을 갖는다. 또한, 상기 전자 부품(103)은 실리콘, 갈륨 비소 또는 유리형 물질로 만들어지고, 상기 유리형 재료는 리튬 니오베이트를 포함한다.
Claims (12)
- 전자 부품의 적외선 검사 장치(1)로서,
상기 전자 부품(103)의 제 1 표면을 캡쳐할 수 있는 적어도 하나의 제 1 적외선 이미징 유닛(101)으로서, 상기 제 1 표면은 상기 전자 부품(103)의 상부 표면이고; 상기 제 1 적외선 이미징 유닛(101)은 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 인가하고; 및
상기 전자 부품(103)의 제 2 표면을 캡쳐할 수 있는 적어도 하나의 제 2 적외선 이미징 유닛(105)으로서, 상기 제 2 표면은 상기 전자 부품(103)의 상기 제 1 표면에 실질적으로 수직이고; 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)은 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 인가하고;
를 포함하고,
상기 검사 장치는 다음의 단계들:
(i) 적어도 하나의 제 2 이미징 유닛(105)에 의해 상기 전자 부품(103)의 제 2 표면의 적어도 하나의 이미지 캡쳐를 수행하는 동안, 적어도 하나의 제 1 적외선 이미징 유닛(101)에 의해 적어도 하나의 전자 부품(103)의 제 1 표면의 적어도 하나의 이미지 캡쳐를 수행하는 단계(201);
(ii) 상기 제 1 적외선 이미징 유닛(101)과 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)에 의해 각각 투영된 2 개의 투영 광선의 교차점을 결정하기 위해 삼각 측량을 수행하는 단계(203)로서, 상기 교차점은 3-차원 점이고;
에 의해 3-차원 이미지를 생성할 수 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 적외선 검사 장치(1). - 제1항에 있어서, 상기 장치는 적어도 하나의 제 3 적외선 이미징 유닛(111)을 더 포함하고, 상기 제 3 적외선 이미징 유닛(111)은 상기 전자 부품(103)의 제 3 표면을 캡쳐할 수 있고, 상기 제 3 표면은 상기 전자 부품(103)의 하부 표면인 것을 특징으로 하는 전자 부품의 적외선 검사 장치(1).
- 전자 부품의 적외선 검사 장치(1)로서,
상기 전자 부품(103)의 제 3 표면을 캡쳐할 수 있는 적어도 하나의 제 3 적외선 이미징 유닛(111)으로서, 상기 제 3 표면은 상기 전자 부품(103)의 하부 표면이고, 상기 제 3 적외선 이미징 유닛(111)은 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 인가하고; 및
상기 전자 부품(103)의 제 2 표면을 캡쳐할 수 있는 적어도 하나의 제 2 적외선 이미징 유닛(105)로서, 상기 제 2 표면은 상기 전자 부품(103)의 상기 제 3 표면에 실질적으로 수직이고; 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)은 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 인가하고;
를 포함하고,
상기 검사 장치는 다음의 단계들:
(i) 적어도 하나의 제 2 이미징 유닛(105)에 의해 상기 전자 부품(103)의 제 2 표면의 적어도 하나의 이미지 캡쳐를 수행하는 동안, 적어도 하나의 제 3 적외선 이미징 유닛(111)에 의해 적어도 하나의 전자 부품(103)의 제 3 표면의 적어도 하나의 이미지 캡쳐를 수행하는 단계(301);
(ii) 상기 제 3 적외선 이미징 유닛(111)과 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)에 의해 각각 투영된 2 개의 투영 광선의 교차점을 결정하기 위해 삼각 측량을 수행하는 단계(303)로서, 상기 교차점은 3-차원 점이고;
에 의해 3-차원 이미지를 생성할 수 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 적외선 검사 장치(1). - 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 직접 전방 조명(107) 및 상기 직접 후방 조명(109)은 700 nm 내지 3000 nm 범위의 파장을 갖는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 적외선 검사 장치(1).
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전자 부품(103)은 실리콘, 갈륨 비소 또는 유리형 물질로 만들어지는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 적외선 검사 장치(1).
- 제5항에 있어서, 상기 유리형 재료는 리튬 니오베이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 적외선 검사 장치(1).
- 3-차원 이미지를 생성하기 위한 전자 부품의 적외선 검사 방법으로서,
(i) 적어도 하나의 제 2 이미징 유닛(105)에 의해 상기 전자 부품(103)의 제 2 표면의 적어도 하나의 이미지 캡쳐를 수행하는 동안, 적어도 하나의 제 1 적외선 이미징 유닛(101)에 의해 적어도 하나의 전자 부품(103)의 제 1 표면의 적어도 하나의 이미지 캡쳐를 수행하는 단계(201);
(ii) 상기 제 1 적외선 이미징 유닛(101)과 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)에 의해 각각 투영된 2 개의 투영 광선의 교차점을 결정하기 위해 삼각 측량을 수행하는 단계(203)로서, 상기 교차점은 3-차원 점이고;를 포함하고,
상기 제 2 표면은 상기 전자 부품(103)의 상기 제 1 표면에 실질적으로 수직이고, 상기 제 1 표면은 상기 전자 부품(103)의 상부 면이고, 상기 제 1 적외선 이미징 유닛(101)과 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)은 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 가하는 것을 특징으로 하는 3-차원 이미지를 생성하기 위한 전자 부품의 적외선 검사 방법. - 제7항에 있어서, 상기 방법은 적어도 하나의 제 3 이미징 유닛(111)에 의해 적어도 하나의 전자 부품(103)의 제 3 표면의 적어도 하나의 이미지 캡쳐를 수행하는 단계를 더 포함하고, 상기 제 3 표면은 상기 전자 부품(103)의 하부 표면인 것을 특징으로 하는 3-차원 이미지를 생성하기 위한 전자 부품의 적외선 검사 방법.
- 3-차원 이미지를 생성하기 위한 전자 부품의 적외선 검사 방법으로서,
(i) 적어도 하나의 제 2 이미징 유닛(105)에 의해 상기 전자 부품(103)의 제 2 표면의 적어도 하나의 이미지 캡쳐를 수행하는 동안, 적어도 하나의 제 3 적외선 이미징 유닛(111)에 의해 적어도 하나의 전자 부품(103)의 제 3 표면의 적어도 하나의 이미지 캡쳐를 수행하는 단계(301);
(ii) 상기 제 3 적외선 이미징 유닛(111)과 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)에 의해 각각 투영된 2 개의 투영 광선의 교차점을 결정하기 위해 삼각 측량을 수행하는 단계(303)로서, 상기 교차점은 3-차원 점이고;를 포함하고,
상기 제 2 표면은 상기 전자 부품(103)의 상기 제 3 표면에 실질적으로 수직이고, 상기 제 3 표면은 상기 전자 부품(103)의 하부 표면이고, 상기 제 3 적외선 이미징 유닛(111)과 상기 제 2 적외선 이미징 유닛(105)은 직접 전방 조명(107), 직접 후방 조명(109) 또는 이들의 조합을 가하는 것을 특징으로 하는 3-차원 이미지를 생성하기 위한 전자 부품의 적외선 검사 방법. - 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 직접 전방 조명(107) 및 상기 직접 후방 조명(109)은 700 nm 내지 3000 nm 범위의 파장을 갖는 것을 특징으로 하는 3-차원 이미지를 생성하기 위한 전자 부품의 적외선 검사 방법.
- 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전자 부품(103)은 실리콘, 갈륨 비소 또는 유리형 물질로 만들어지는 것을 특징으로 하는 3-차원 이미지를 생성하기 위한 전자 부품의 적외선 검사 방법.
- 제11항에 있어서, 상기 유리형 재료는 리튬 니오베이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 3-차원 이미지를 생성하기 위한 전자 부품의 적외선 검사 방법.
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Patent Citations (3)
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