TW201713935A - 工件之外觀檢查裝置及工件之外觀檢查方法 - Google Patents

Abstract

可以在搬運台上正確地定位工件，並且不會對工件產生靜電破壞或特性劣化之工件之外觀檢查裝置。 工件之外觀檢查裝置(30)具備：搬運6面體形狀之工件(W)的線性進料器(1)；移載來自線性進料器(1)之工件(W)而被搬運的搬運台(2)；將來自線性進料器(1)之工件(W)移載在搬運台(2)上而使排列的移載排列手段(21)；被配置在搬運台(2)之下方的由導電板(15)所構成之保持手段；及攝影工件(W)之6面的攝影手段(20)。保持手段之導電板(15)沿著連結移載點(4X)和合流點(7X)之直線及較合流點(7X)下游側之工件搬運圓弧而被配置。

Description

工件之外觀檢查裝置及工件之外觀檢查方法

本發明係關於一面搬運6面體之工件，一面攝影該工件之6面體的工件之外觀檢查裝置及工件之外觀檢查方法。

自以往作為6面體形狀之電阻或電容器等之片形電子零件(以下，「工件」)之外觀檢察裝置，所知的有在由玻璃等之透明體所構成之搬運台上載置工件，且使搬運台旋轉一面搬運工件一面藉由攝影機等之攝影手段攝影各面而進行外觀檢查的裝置。

此時，外觀檢查裝置之工件搬運台成為藉由靜電對工件進行靜電吸附而予以搬運。

即是，首先藉由振動，在排列搬運工件之線性進料器上使工件帶電，在搬運台上載置其工件而搬運至特定之作業位置，同時使搬運台之工件載置面與工件呈逆極性帶電，使工件靜電吸附於此(參照專利文獻1)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利第5598912號公報

但是，在以往之工件之外觀檢查裝置具有下述般之問題。

即是，在移載點移載工件之時，工件在搬運台上跳躍使得工件之姿勢產生變化，因此，有無法藉由攝影手段精度佳地攝影工件之情形。

本發明係考慮如此之問題點而創作岀，於將工件從線性進料器移載至搬運台之時可以精度佳地進行定位。

本發明為一種工件之外觀檢查裝置，其特徵在於具備：線性進料器，其係用以搬運6面體形狀之工件；由透明體所構成之旋轉自如的圓形搬運台，其係工件從線性進料器在移載點被移載，在載置該工件之狀態下，在工件搬運圓弧上進行搬運；移載排列手段，其係被配設在線性進料器和搬運台之間，將來自線性進料器之工件移載至搬運台上而予以排列；保持手段，其係由被配置在搬運台之下方的導體所構成，對該導體施加直流電壓而使產生電場，而保持被載置於搬運台之工件；及攝影手段，其 係攝影搬運台上之工件的6面；移載排列手段係被設置在線性進料器之下游側，具有擁有排列工件之從平面觀看呈直線狀之導引面的排列導件，排列導件之導引面在平面上包含移載點，和在移載點之下游側與工件搬運圓弧合流的合流點，並且導引面包含連結移載點和合流點之直線，和較合流點下游側的直線，連結移載點和合流點之直線相對於連結移載點和搬運台之旋轉軸之直線構成銳角，並且較合流點下游側之直線與連結合流點和搬運台之旋轉軸之直線正交，在移載點被移載的工件，一面藉由保持手段被保持，一面被推壓往導引面之連結移載點和合流點之直線而沿著導引面被搬運，保持手段之導體係沿著連結移載點和合流點之直線及較合流點下游側之工件搬運圓弧而被配置。

本發明之工件之外觀檢查裝置係以移載排列手段更具有被設置在線性進料器和搬運台之間的無振動部為特徵。

本發明之工件之外觀檢查裝置係以在搬運台下方，沿著連結移載點和合流點之直線，更配置磁力線產生部以作為跳躍防止手段為特徵。

本發明之工件之外觀檢查裝置係以圓形搬運台由透明之玻璃體所構成為特徵。

本發明之工件之外觀檢查裝置係以藉由搬運台進行的工件之搬運速度大於藉由線性進料器進行的工件之搬運速度為特徵。

本發明之工件之外觀檢查裝置係以排列導件之導引面在平面上相對於連結移載點和搬運台之旋轉軸之直線，形成75度~88度之銳角為特徵。

本發明係一種工件之外觀檢查方法，屬於使用上述記載的工件之外觀檢查裝置的工件之外觀檢查方法，其特徵在於具備：藉由線性進料器搬運6面體形狀之工件的工程；將來自線性進料器之工件經由排列導件而移載至圓形搬運台上之移載點，同時藉由排列導件之導引面使工件排列之工程；在藉由保持手段保持被載置在搬運台之工件之狀態下，在搬運台之工件搬運圓弧上搬運工件之工程；及藉由攝影手段攝影搬運台上之工件之6面的工程。

本發明係一種工件之外觀檢查方法，屬於使用上述記載的工件之外觀檢查裝置的工件之外觀檢查方法，其特徵在於具備：藉由線性進料器搬運6面體形狀之工件的工程；將來自線性進料器之工件經由無振動部及排列導件而移載至圓形搬運台上之移載點，同時藉由排列導件之導引面使工件排列之工程；在藉由保持手段保持被載置在搬運台之工件之狀態下，在搬運台之工件搬運圓弧上搬運工件之工程；及藉由攝影手段攝影搬運台上之工件之6面的工程。

若藉由本發明時，由於併用靜電吸附和磁性 吸附而在搬運台上吸附工件，故比起僅有靜電吸附之情況下，可以取得更大的安定吸附力。再者，工件從被載置排列在工件搬運圓弧後短時間持續進行靜電吸附，使工件之姿勢安定。因此，可以防止由於大尺寸或硬度高之工件移載時的跳躍，或於工件搬運時不管其尺寸如何所作用的離心力導致從工件搬運圓弧飛岀。而且，以被載置排列在工件搬運圓弧之工件安定的姿勢被搬運。再者，為了僅以以往技術之靜電吸附取得大的吸附力，必須增加到導電板的施加電壓，此會導致直流電源之大容量化。因此，電源之體積增加，成本變高。另外，在本發明中，附加在以往技術的構件之成本極低，該些配置空間也小。

1‧‧‧線性進料器

2‧‧‧搬運台

3‧‧‧搬運台之中心軸

4‧‧‧無振動部

4x‧‧‧移載點

5‧‧‧工件搬運圓弧

7‧‧‧排列導件

7a‧‧‧導引面

7x‧‧‧合流點

8‧‧‧側面攝影機部

9‧‧‧內面攝影機部

10‧‧‧上面攝影機部

11‧‧‧下面攝影機部

12‧‧‧前面攝影機部

13‧‧‧後面攝影機部

14‧‧‧排出部

15‧‧‧導電板

15e‧‧‧電力線產生部

15f1‧‧‧導電板框

15s‧‧‧導電板之直線部

15w‧‧‧導電板之曲線部

18‧‧‧磁力線產生部

18f‧‧‧磁鐵固定框

18m‧‧‧要素磁鐵

18mb‧‧‧磁鐵塊

18p‧‧‧磁鐵重疊棒

18s‧‧‧輔助構件

20‧‧‧攝影手段

21‧‧‧移載排列手段

30‧‧‧工件之外觀檢查裝置

W‧‧‧工件

Wa、Wb‧‧‧工件之電極

Wd‧‧‧工件之本體

圖1係工件之外觀檢查裝置之俯視圖。

圖2係表示工件的斜視圖。

圖3係表示圖1之區域S的放大俯視圖。

圖4係從箭號Y方向觀看圖1之區域S的透視圖。

圖5係表示工件朝搬運台的吸附之示意圖。

圖6係表示本發明之電力線產生部及磁力線產生部之斜視圖。

圖7係表示圖6中之搬運台及排列導件和電力線產生部及磁力線產生部之上下方向之位置關係圖。

圖8係圖6中之電力線產生部及磁力線產生部附近之 放大俯視圖。

圖9係從圖3中之箭號H方向觀看圖6中之電力線產生部及磁力線產生部附近之矢線圖。

圖10係從圖3中之箭號N方向觀看圖6中之電力線產生部及磁力線產生部附近之矢線圖。

圖11係表示本發明之第2實施型態。

[第1實施型態]

以下，參照附件圖面，針對本發明之實施型態予以說明。圖1至圖10係表示本發明之工件的外觀檢查裝置及工件之外觀檢查方法之第1實施型態的圖示。

首先，藉由圖2，針對藉由工件之外觀檢查裝置被檢查的工件進行說明。

在圖2中，成為電容器或電阻等之晶片零件之工件W構成6面體形狀，具有由絕緣體所構成之本體Wd，和形成在本體Wd之長邊方向之兩端部的由導電體所構成之電極Wa、Wb。於進行該工件W之外觀檢查之情況下，在後述搬運台2上載置工件W，使搬運台2朝圖2中之箭號Z之方向搬運工件W。而且，藉由攝影手段20從箭號A之方向攝影紙張相反側之側面，且從箭號B之方向攝影紙張正前方的側面，從箭號C之方向攝影上面，從箭號D之方向攝影下面，從箭號E之方向攝影前面，從箭號F之 方向攝影後面。此時，藉由使用玻璃製之透明搬運台2，可以在載置工件W之狀態下攝影上述工件W之6面全面。

接著，針對工件之外觀檢查裝置進行說明。如圖1及圖3所示般，工件之外觀檢查裝置30具備：搬運工件W之線性進料器1；從工件W從線性進料器1在移載點4x被移載，且在載置該工件W之狀態下，在工件搬運圓弧5上搬運之由透明體所構成之圓形搬運台2；將來自線性進料器1之工件W移載至搬運台2上並使予以排列之移載排列手段21；和攝影搬運台2上之工件W之6面的攝影手段20。

其中，移載排列手段21具有排列工件W之排列導件7，排列導件7包含用以排列工件W之導引面7a。該導引面7a從平面觀看(從上方觀看)構成直線狀。

再者，攝影手段20如後述般具有側面攝影機部8、內面攝影機部9、上面攝影機部10、下面攝影機部11、前面攝影機部12和後面攝影機部13。

接著，針對工件之外觀檢查裝置30之各構成部分，進一步藉由圖1至圖4進行說明。

在此，圖1係以圖2所示之形狀之工件W為對象的工件之外觀檢查裝置之俯視圖，圖3為以圖1之虛線包含之區域S之放大俯視圖，圖4為在圖1中從箭號Y方向觀看區域S之透視圖。

在圖1中，直線狀之線性進料器1藉由無圖 示之驅動源而振動，且使被投入位於線性進料器1之上游側的無圖示之零件進料器的工件W排列成一列，藉由振動搬運至箭號N之方向。

被設置在線性進料器1之下方的搬運台2為透明之玻璃製而被水平設置，藉由無圖示之驅動源，以旋轉軸3為中心而繞時鐘方向(圖1之箭號X方向)。如圖4所示般，線性進料器1具有些許傾斜朝搬運台2下降。依此，工件W從線性進料器1逐漸下降而被移載至搬運台2。

在搬運台2之上面之外緣部附近，如圖1之一點鏈線所示般，以旋轉軸3為中心之圓弧，形成工件搬運圓弧5，工件W從無振動部4被移載至搬運台2之後，藉由後述排列導件7之作用，排列在工件搬運圓弧5上。在此，工件搬運圓弧5係為了使工件W排列而被假設的目標位置，並非在搬運台2之上面標示能夠藉由目視辨識工件搬運圓弧5之記號。

在此，圖4係從箭號Y之方向觀看在圖1中以虛線包圍之區域S的透視圖。在圖4中，於搬運台2之下側，與搬運台2之下面隔著些許間隙配置由導體所構成之導電板15。導電板15構成平面形狀，如圖5所示般，其表面15a與搬運台2略成為平行。再者，在導電板15連接直流電源16而被施加直流電壓，構成電場產生手段。藉由圖3表示導電板15之配置處。圖3為以圖1之虛線包圍之區域S之放大俯視圖。在圖3中，導電板15 係在水平方向以細長狀延伸，且以長邊方向沿著工件W之工件搬運圓弧5之方式，被配置成從移載點4x至與工件W之搬運台2上之工件搬運圓弧5及排列導件7之導引面7a對應之搬運台2之下側。

另外，藉由上述各構成部分中，具有導引面7a之導件7，構成移載排列手段21。

再者，在圖3中，具有直線狀之導引面7a之排列導件7，與搬運台2具有些許間隙而被設置在搬運台2之外緣部側之正上方。圖3係以虛線K表示連結移載點4x和搬運台2之旋轉軸3。

如圖3所示般，排列導件7係被設置成導引面7a和虛線K構成的角度α成為75度~88度之銳角，並且導引面7a在較移載點4a更靠工件W之搬運方向下游之工件搬運圓弧5之合流點7x成為工件搬運圓弧5之接線。即是，以虛線L表示合流點7x和搬運台2之旋轉軸3之直線之時，虛線L和導引面7a構成之角度β成為90°。

再者，如圖1所示般，沿著搬運台2之旋轉方向，構成攝影手段20之側面攝影機部8、內面攝影機部9、上面攝影機部10、下面攝影機部11、前面攝影機部12、後面攝影機部13。藉由該攝影手段20，針對工件搬運圓弧5上之工件W，攝影在圖2中分別以箭號A~F所示之工件W之各面而進行外觀檢查。此時，在圖2中以箭號Z表示之工件W之搬運方向與圖1中之搬運台2 之旋轉方向X一致。

具體而言，對工件W，側面攝影機部8攝影紙張相反側之側面A，內面攝影機部9攝影紙張正前方之側面B，上面攝影機部10攝影上面C，下面攝影機部11攝影下面D，前面攝影機部12攝影前面E，後面攝影機部13攝影後面F。

而且，如圖1所示般，從攝影手段20到搬運台2之旋轉方向之下游側設置有當作排出手段之排出部14。結束外觀檢查之工件W與外觀檢查之結果對應，藉由排出部14從工件搬運圓弧上被排岀至無圖示之收納箱。

然而，在搬運台2之下方設置有電力線產生部15e及磁力線產生部18。在此，圖6係本發明中之電力線產生部15e及磁力線產生部18之斜視圖。在圖6與圖3相同，作為被搬運之工件W(圖2)，在圖3中僅記載在從線性進料器1被移載至移載點4x之後的工件W2及合流點7x，從導引面7a間隔開而在工件搬運圓弧5上搬運的工件W9。再者，圖7係表示圖6中之搬運台2及排列導件7和電力線產生部15e及磁力線產生部18之上下方向之位置關係圖。而且，圖8係圖6中之電力線產生部15e及磁力線產生部18附近之放大俯視圖。為了便於說明，將一部分設為透視圖。再者，圖9係從圖3中之箭號H方向觀看圖6中之電力線產生部15e及磁力線產生部18附近之矢線圖。而且，圖10係從圖3中之箭號N方向觀 看圖6中之電力線產生部15e及磁力線產生部18附近之矢線圖。另外，作為在圖8至圖10中被搬運之工件W(圖2)，在圖3中僅記載在從線性進料器1被移載至移載點4x之後的工件W2及合流點7x，從導引面7a間隔開而在工件搬運圓弧5上搬運的工件W9。

在圖6中，電力線產生部15e係被設置在與搬運台2隔著些許間隙而被設置在搬運台2之下方的由絕緣體所構成之導電板框15f1。再者，磁力線產生部18被收納在導電板框15f1之內部。圖7表示該些之位置關係。即是，於組裝電力線產生部15e及磁力線產生部18之時，使表示於圖7之最下部的磁力線產生部18移動至箭號U1方向(垂直上方)，收納於圖7之中央部所示之電力線產生部15e之導電板框15f1之內部。而且，使在內部收納磁力線產生部18之導電板框15f1移動至箭號U2方向(垂直上方)，配置成與圖7之最上部所示之搬運台2之正下方僅隔著些許間隙。如此被組裝之全體表示在圖6中。在此，搬運台2和導電板框15f1之上下方向之位置關係成為圖9及圖10所示般。

接著，針對電力線產生部15e之詳細構成，使用圖8予以說明。圖6及圖7所示之電力線產生部15e藉由導電板框15f1被構成。配置導電板框15f1之範圍如圖8所示般，從移載點4x之正下方位置沿著排列導件7經由合流點7x，到位於工件搬運圓弧5上之工件W9被搬運之下游位置即排列導件7之前面7b為止的沿著工件W 之搬運路徑的部分。其中，從移載點4x之正下方位置至合流點7x之稍微下游的位置為止的導電板框15f1之上面，形成有長方形狀之凹部的直線收容溝15sd。在直線收容溝15sd內收容有由導電體(導體)所構成的被形成薄長方形狀之導電板之直線部15s(以後記載成直線部15s)。當從上方觀看直線部15s時，長邊為沿著工件W之搬運方向的長方形，在其短邊之略中點之正上方位有導引面7a。

再者，在圖8中，在較成為上述合流點7x之稍微下游的位置更下游，沿著搬運台2上之工件搬運圓弧5，與直線收容溝15sd連接設置有具有與直線收容溝15sd相同之深度的凹部即曲線收容溝15wd。而且，在曲線收容溝15wd內，收容有與直線部15s電性連接的由導電體所構成的被形成薄板狀之導電板之曲線部15w(以後記載成曲線部15w)。曲線部15w如圖8所示般，在工件W之搬運方向成為直角之水平之寬度方向的略中點沿著工件搬運圓弧5之正下方的形狀。而且，當比較接近於直線部15s之位置即是在上游側的寬度15wb1和遠離的位置即是在下游側的寬度15wb2時，具有15wb1>15wb2之關係。即是，曲線部15w沿著其寬度往下游變窄。而且，在工件W之搬運路徑中之導電板框15f1之最下游點，曲線部15w之前端15t尖，變尖的點相對於圖2中以一點鏈線所示之W90，即是構成工件W之相向的2面Ws1及Ws2之短邊的寬度We，位於連結寬度Wem成為Wem=We/2的該短邊之中點彼此的線W90之略正下方。直線部15s及 曲線部15w雖然與圖5所示之直流電源16連接，但是在圖6至圖10中，無圖示直流電源16。

藉由該些導電板框15f1、直線部15s、曲線部15w及圖5所示之直流電源16，構成電力線產生部15e。而且，藉由直線部15s及曲線部15w，構成當作保持手段之導體板(也稱為導體)15。

接著，針對磁力線產生部18之詳細構成，使用圖8至圖10予以說明。圖6及圖7所示之磁力線產生部18如上述般被收納在導電板框15f1內。磁力線產生部18之主要構件為圖8至圖10所示之要素磁鐵18m。要素磁鐵18m為永久磁鐵，如圖9及圖10所示般，將以使其長邊方向沿著工件W之搬運方向之方式在上下方向3段載置的磁鐵塊18mb，在工件W之搬運方向排列3列，在搬運方向成為直角的水平方向排列2列。磁鐵塊18mb之配置位置如圖8所示般，排列導件7之導引面7a之略正下方。再者，被配置的範圍係從移載點4x之正下方位置沿著排列導件7而到合流點7x之稍微下游位置的沿著工件W之搬運路徑的部分。

在圖9中，對可以目視之範圍的9個要素磁鐵18m個別地標示[m11]至[m33]的號碼。在此，當設為i=1,2,3之時，[mi1]至[mi3]成為一個磁鐵塊18mb。在圖8至圖10中，雖然將磁鐵塊18mb在工件W之搬運方向排列3列，在搬運方向成為直角之水平方向排列2列，但是磁鐵塊18mb之列數並不限定於此。再者，若可以將大的 永久磁鐵當作要素磁鐵18m使用，且以1個要素磁鐵18m構成磁鐵塊18mb，或是以1個要素磁鐵18m構成配置成3列或2列之磁鐵塊18mb全體時，即使以如此之方式亦可。

再者，如圖9及圖10所示般，各要素磁鐵18m被配置成接近搬運台2之側成為N極，遠離之側成為S極。但是，N極和S極之配置並不限定於此，即使配置成接近搬運台2之側成為S極，遠離之側成為N極亦可。

在磁鐵塊18mb上，朝向與各要素磁鐵18m之長邊方向一致之長邊方向配置有由磁性體所構成之磁性重疊棒18p。磁性重疊棒18p係沿著工件W之搬運方向從移載點4x延伸至導電板框15f1之端部即是曲線部15w之前端15t的附近。再者，在此，如圖10所示般，由於在搬運方向成為直角之水平方向排列2列磁鐵塊18mb，故各列上也配置磁性重疊棒18p，成為2列。藉由將磁性重疊棒18p配置在此，抑制從磁鐵塊18mb之N極引岀的磁力線在周圍擴散，集中在被載置於搬運台2之上面的工件W。

再者，如圖9及圖10所示般，各磁鐵塊18mb之下方配置有由非磁性體所構成的輔助構件18s。圖9中，對與各磁鐵塊18mb對應之各輔助構件18s賦予[S1]至[S3]之號碼。輔助構件18s調整磁鐵塊18mb之最上面和搬運台2之上面的距離，係用以使最佳大小的磁性吸附 力作用於被載置於搬運台2之上面的工件W的構件。而且，如圖9及圖10所示般，以L字形包圍各磁鐵塊18mb及各輔助構件18s之下側及側面，配置由非磁性體所構成之磁鐵固定框18f。圖9中，對與各磁鐵塊18mb及各輔助構件18s對應之各磁鐵固定框18f賦予[F1]至[F3]之號碼。與各磁鐵塊18mb對應之輔助構件18s及磁鐵固定框18f係藉由磁性重疊棒18p和無圖示之固定用螺絲與導電板框15f1一體性地被固定。

藉由該些要素磁鐵18m、磁性重疊棒18p、輔助構件18s及磁鐵固定框18f，構成磁力線產生部18。而且，藉由要素磁鐵18m和磁性重疊棒18p，構成跳躍防止手段。

接著，針對使用由如此之構成形成的工件之外觀檢查裝置之工件的外觀檢查方法詳細說明。

在圖1中，工件W被投入位於線性進料器1之上游側的無圖示之零件進料器，被投入至零件進料器的工件W藉由利用無圖示之驅動源振動的線性進料器1的作用，排列成1列，在圖1之箭號N之方向被串聯搬運。此時，工件W被排列成長邊方向在搬運方向一致，圖2中之箭號Z成為工件W之搬運方向。即是，圖2中之箭號Z之方向在圖1中之箭號N之方向一致。

接著，藉由圖4，詳細敘述線性進料器1之作用。圖4係表示藉由線性進料器1被搬運工件W之樣子，在圖1中，從箭號Y之方向觀看以虛線包圍之區域S 的透視圖。圖4係為了容易觀看搬運台2上之工件W之樣子，成為以虛線表示排列導件7之位置的透視圖。再者，針對工件W，以工件W0~W6表示各個構成部分上之工件，不管地點如何，以工件W表示一般的工件。

如圖4所示般，線性進料器1在其下方具有朝向位於水平之搬運台2些微的傾斜，藉由線性進料器1之振動，被推壓於後續之工件W而前進的工件W，如W0所示般，在前後方向連續朝向搬運台2一點一點地下降。

在圖3中，藉由線性進料器1之振動，以一列被搬運之工件W，被移載在搬運台2上之移載點4x，藉由產生在與直流電源16連接之導電板15的電荷之作用所致的靜電感應或介電極化而被吸附於搬運台2之上面。

圖5表示該吸附作用的樣子。在圖5中，與搬運台2之下面隔著些許間隙配置導電板15，在導電板15連接直流電源16而被施加正的直流電壓。因此，在導電板15出現正的電荷。

藉由該正的電荷之作用引起介電極化，在與導電板15相向之搬運台2之內部中於下面側出現負的電荷，在上面側出現正的電荷。再者，同樣在從線性進料器1被移載至搬運台2上之移載點4x之工件W2中，電極Wa及Wb藉由靜電感應，再者在本體Wd藉由介電極化，分別在下面側出現負的電荷，在上面側出現正的電荷。

而且，在出現於電極Wa、Wb及本體Wd之 下面側的負的電荷和導電板15之正的電荷之間，作用箭號所示之靜電吸附力G，依此工件W2在被吸附於搬運台2之上面的狀態下藉由搬運台2之旋轉被搬運至箭號X之方向。

接著，被移載在搬運台2上之移載點4x的工件W，以工件W2表示，在吸附於搬運台2之狀態下藉由搬運台2之旋轉被搬運至箭號X之方向。

此時，使藉由搬運台2之旋轉進行的搬運速度大於藉由線性進料器1進行的搬運速，使搬運台2上之工件間(例如，W2和W3之間)持有間隔。如此一來，藉由使搬運台2上之工件間持有間隔，圖1之前面攝影機部12攝影圖2所示之工件W之前面E，再者，圖1之後面攝影機部13攝影圖2所示之工件W之後面F之時，能夠確實地攝影面全體。

即是，當工件W從移載點4x被移載至搬運台2時，在圖3中之區間P靜電吸附工件W之狀態下，如W2→W3→W4般迅速地加速搬運台2之搬運速度，在區間Q，工件之間隔例如W4和W5之間般變寬。

接著，針對電力線產生部15e及磁力線產生部18之作用，使用圖8至圖10予以說明。在圖8中被移載在移載點4x的工件W(圖2)係藉由直線部15s產生之電力線所致的靜電吸附，還有磁鐵塊18mb(在圖9中之[m11][m12][m13]所構成)產生之磁力線所致的磁性吸附，被吸附在搬運台2之上面。在此，針對磁鐵塊18mb產生 的磁力線，使用圖9及圖10進行說明。在圖9及圖10係利用虛線表示以各磁鐵塊18m之上面之N極為起點，以下面之S極為終點的磁力線。磁力線中，圖9中之磁鐵塊18mb之兩端附近的磁力線 0a1及 0b1表示從起點至終點為的全部。但是，除此之外的磁力線 1N1及 1S1由於從起點到達至極遠方(視情況有無限遠之時)後才到終點，故僅表示起點附近及終點附近。針對圖10中之磁力線 0c1及 0d1和磁力線 1N2及 1S2也相同。在此，在移載點4x中，作用於工件W之磁性吸附，係藉由貫通搬運台2之磁力線，即是圖9中之磁力線 1N1及圖10中之磁力線 1N2產生。如此一來，由於在在移載點4x併用靜電吸附和磁性吸附，故比起以往技術般僅有靜電吸附之情況下可以實現安定的吸附。因此，即使尺寸大且具有重量之工件，或是硬度高的工件，在落下於移載點4x之時點不會跳躍，立即被吸附於搬運台2之上面，以正確的姿勢被載置。

接著，圖8中被移載至移載點4x之工件W係在藉由靜電吸附及磁性吸附被吸附在搬運台2之上面的狀態下，藉由搬運台2之箭號X方向之旋轉，被推壓至排列導件7之導引面7a而如工件W2被搬運。而且，從移載點4x朝向合流點7x之期間，工件W被加速至搬運台2之旋轉速度，在合流點7x從導引面7a間隔間在工件搬運圓弧5上載置排列而被搬運。在此，工件W從導引面7a間隔開而被載置排列在工件搬運圓弧5上後一會的期間， 具體而言，在圖8中到達曲線部15w之前端15t即是工件W9之位置為止的期間，位於工件搬運圓弧5之正下方的曲線部15w所致的靜電吸附作用於工件W。因此，工件W到達至與曲線部15w之前端15t對應之工件W9之位置為止，被吸附在搬運台2之上面而被搬運。如此一來，從移載點4x至合流點7x為止之期間，併用靜電吸附和磁性吸附，故比起以往技術般僅有靜電吸附之情況下可以實現安定的吸附。因此，即使在工件W從移載點4x被搬運至合流點7x之期間，被施加大的加速度時，亦可以實現安定的吸附。藉由該安定之吸附，工件W到達合流點7x後在工件搬運圓弧5上被載置排列而被搬運之時，工件W不會藉由不管其尺寸如何所作用的離心力而飛岀工件搬運圓弧5之外側。而且，緊接著被載置排列在工件搬運圓弧5上之後的工件W，藉由曲線部15w所致的靜電吸附被吸附在搬運台2之上面持續一會時間，故可以進行更安定的搬運。

再者，在本發明中，設置有曲線部15w及磁力線產生部18。該些成本如後述般比起為了僅以作用於工件W之靜電吸附取得大的吸附力，故使直流電源大電容化之情況下的成本低很多。再者，曲線部15w及磁力線產生部18之配置方法係指在較導體板框15f0稍微大的導電板框15f1之上面配置曲線部15w，且在內部收納磁力線產生部18。依此配置空間的增加比起使直流電源大容量化之情況的體積之增加小很多。

然而，如上述般，為了使搬運台2之旋轉所進行的搬運速度大於線性進料器1進行的搬運速度，被定位之工件W在圖3中之區間P被靜電吸附的狀態下，如W2→W3→W4般迅速被加速至藉由搬運台2之旋轉進行的搬運速度，在區間Q工件之間隔例如W4和W5之間般變寬。而且，工件W5與區間P相同一面被推壓至導引面7a一面被搬運，逐漸接近於工件搬運圓弧5。而且，到達至導引面7a與工件搬運圓弧5相接的合流點7x之工件W6之搬運方向，在區間R中與工件搬運圓弧5之方向一致，工件W6被搬運至從導引面7a離開之方向。即是，由於相對於搬運台2上之工件W6，從存在於搬運台2之下面的電漿之電荷作用靜電吸附力，故維持工件W6被吸附在搬運台2之狀態下，從導引面7a離開，以後在被載置排列在工件搬運圓弧5上之狀態下被搬運。

之後的工件W到達至攝影手段20，藉由攝影手段20之側面攝影機部8、內面攝影機部9、上面攝影機部10、下面攝影機部11、前面攝影機部12、後面攝影機部13，從圖2中以箭號A~F所示之方向攝影各面而進行外觀檢查。此時，由於藉由存在於搬運台2之下面的電荷所致的吸附和導引面7之作用，精度佳地進行工件W之定位，故提升攝影手段20的攝影精度。結束外觀檢查之工件W到達至排出部14，因應外觀檢查之結果而朝向無圖示之收納箱被排岀。

如此一來，若藉由本實施型態時，發揮下述 般之作用效果。

一般而言，工件W之尺寸大之況下，或是工件W之硬度變高之時，於被移載至移載點4x之時，搬運台2上之工件W之姿勢容易變化。在圖3中，工件W從線性進料器1被移載至移載點4x之時，雖然從極低之高度，但落下於搬運台2之上面。在此，尺寸大的工件W之重量變大，落在搬運台2之上面之時的反彈變大。同樣，硬度高之工件W落在搬運台2之上面之時的反彈也變大。因此，有工件W落在搬運台2之上面跳躍後再次落在搬運台2之上面而被靜電吸附之情形。而且，被移載至移載點4x之工件W的搬運係從藉由至此之線性進料器1之振動進行的搬運切換至藉由搬運台2之旋轉進行的搬運，工件W藉由搬運台2之旋轉迅速被加速。藉由該搬運之切換搬運速度急遽變大也係成為工件W容易跳躍之一原因。而且，由於藉由跳躍，被移載之工件W變化成不正確之姿勢而如此地被搬運，故無法從正確之方向攝影。

再者，於工件W被載至於搬運台2上而被搬運之時，有由於作用於工件W之離心力，使得工件W容易從工件搬運圓弧5上偏離之情形。如上述般，被載置於搬運台2之上面的工件W係如圖3所示般，從移載點4x被搬運至合流點7x之期間，被加速至搬運台2之旋轉速度。而且，有由於搬運台2之旋轉所引起之離心力，作用於在合流點7x從排列導件7之導引面7a間隔開之後的工件W9而飛岀至工件搬運圓弧5之外側的情形。即使在此 情況下，由於工件W變化成不正確之姿勢而如此地被搬運，故無法從正確之方向攝影。另外，上述離心力不管工件W之大小如何，也同樣作用在任何的工件上。簡單說明其理由。當將離心力設為F，將工件W之質量設為m，將搬運台2之旋轉速度設為v時，成為下式。

然而，在圖3中，在線性進料器1搬運之工件W之數量，和搬運台2之旋轉速度之間，具有下述關係。於質量m大之工件W，即是尺寸大之工件W之情況下，線性進料器1在單位時間搬運的工件W之數量少。此時，由於被供給至搬運台2之每單位時間之工件W之數量少，故搬運台2之旋轉速度v小。另外，於質量m小之工件W，即是尺寸小之工件W之情況下，線性進料器1在單位時間搬運的工件W之數量多。

此時，由於被供給至搬運台2之每單位時間之工件W之數量多，故搬運台2之旋轉速度v大。即是，當工件W之質量m大時，搬運台2之旋轉速度v變小，工件W之質量m小時，搬運台2之旋轉速度v變大。當將該關係代入式(1)時，可知不管工件W之質量m之大小即是尺寸之大小如何，在工件W也作用相同大小之離心力。

為了防止由於上述般之移載時之跳躍及搬運 時之離心力所引起之工件W之姿勢的變化，需要增大作用於被載置於搬運台2上之工件W之靜電吸附力。因此，可想提高施加於直線導電板5s之電壓。但是，為了實現此，需要直流電源之大電容化，依此直流電源之體積變大，再者，成本也變高。

對此，若藉由本實施型態時，於工件朝搬運台移載時及藉由搬運台之搬運時，工件以充分之力量且安定地被吸附在搬運台上。依此，可以工件可以正確之姿勢被搬運而正確地進行攝影。

[第2實施型態]

以下，針對本發明之第2實施型態，藉由圖11進行說明。

圖11所示之第2實施型態係在第1實施型態附加無振動部4之構成，其他之構成與圖1至圖10所示之第1實施型態略相同。在圖11所示之第2實施型態中，對與圖1至圖10所示之第1實施型態相同之部分賦予相同符號而省略詳細之說明。

即是，如圖11所示般，在線性進料器1之下游端，連接有具有與線性進料器1同等之傾斜並且不進行振動的無振動部4。無振動部4之下游端和圖4中之線性進料器1之下游端相同，與搬運台2具有些許間隙。依此，工件W從線性進料器1經無振動部4逐漸下降而被移載至搬運台2。線性進料器1在其下方具有朝向位於水 平之搬運台2些微的傾斜，藉由線性進料器1之振動，被推壓於後續之工件W而前進的工件W，如W0所示般，在前後方向連續朝向搬運台2一點一點地下降。由於線性進料器1振動，故於將工件W從線性進料器1移載至搬運台2之時，使線性進料器1接近於搬運台2之正上方位置，有線性進料器1和搬運台2抵接之虞。為了防止此，在線性進料器1之下游端和搬運台2之間，設置有不振動的無振動部4。

再者，雖然也考慮由於線性進料器1之振動的偏差，在線性進料器1中產生工件W之搬運速度之偏差，但是藉由使無振動部4介於線性進料器1和搬運台2之間，可以使該搬運速度均勻化。

然而，無振動部4具有與線性進料器1同等之傾斜，且在與搬運台2之上面之間具有些許間隙。無振動部4上之工件W與線性進料器1上相同被推壓至後續之工件而前進，如W0表示般，以前後連續朝向搬運台2一點一點地下降。

而且，到達至無振動部4之下游端的工件W1被推壓至位在緊接著之後的工件W0，被移載至搬運台2上之移載點4x，以後藉由搬運台2之旋轉被搬運至圖4之箭號x之方向。在此，有當無振動部4之長邊過短時，難以使搬運速度均勻化，相反地當該長度過長時，工件W在途中停止之虞。在本發明之實施型態中，由於無振動部4之長度成為工件之長邊方向之尺寸之8倍，故不會使工 件W停止，可以謀求工件W之搬運速度之均勻化。

另外，在第2實施型態中，藉由無振動部4和圖1所示之排列導件7構成移載排列手段21。該第2實施型態除如上述般附加無振動部4之外其他與第1實施型態相同。即是，在第1實施型態中說明的電力線產生部15e及磁力線產生部18之構成及作用與第1實施型態相同。

1‧‧‧線性進料器

2‧‧‧搬運台

4x‧‧‧移載點

5‧‧‧工件搬運圓弧

7‧‧‧排列導件

7a‧‧‧導引面

7x‧‧‧合流點

21‧‧‧移載排列手段

W0~W9‧‧‧工件

Claims (8)

1. 一種工件之外觀檢查裝置，其特徵在於具備：線性進料器，其係用以搬運6面體形狀之工件；由透明體所構成之旋轉自如的圓形搬運台，其係工件從線性進料器在移載點被移載，在載置該工件之狀態下，在工件搬運圓弧上進行搬運；移載排列手段，其係被配設在線性進料器和搬運台之間，將來自線性進料器之工件移載至搬運台上而予以排列；保持手段，其係由被配置在搬運台之下方的導體所構成，對該導體施加直流電壓而使產生電場，而保持被載置於搬運台之工件；及攝影手段，其係攝影搬運台上之工件的6面；移載排列手段係被設置在線性進料器之下游側，具有擁有排列工件之從平面觀看呈直線狀之導引面的排列導件，排列導件之導引面在平面上包含移載點，和在移載點之下游側與工件搬運圓弧合流的合流點，並且導引面包含連結移載點和合流點之直線，和較合流點下游側的直線，連結移載點和合流點之直線相對於連結移載點和搬運台之旋轉軸之直線構成銳角，並且較合流點下游側之直線與連結合流點和搬運台之旋轉軸之直線正交，在移載點被移載的工件，一面藉由保持手段被保持，一面被推壓往導引面之連結移載點和合流點之直線而沿著導引面被搬運， 保持手段之導體係沿著連結移載點和合流點之直線及較合流點下游側之工件搬運圓弧而被配置。
2. 如請求項1所記載之工件之外觀檢查裝置，其中移載排列手段更具有被設置在線性進料器和搬運台之間的無振動部。
3. 如請求項1或2所記載之工件之外觀檢查裝置，其中在搬運台下方，沿著連結移載點和合流點之直線，更配置磁力線產生部以作為跳躍防止手段。
4. 如請求項1至3中之任一項所記載之工件之外觀檢查裝置，其中圓形搬運台係由透明之玻璃體所構成。
5. 如請求項1至4中之任一項所記載之工件之外觀檢查裝置，其中藉由搬運台進行的工件之搬運速度大於藉由線性進料器進行的工件之搬運速度。
6. 如請求項1至5中之任一項所記載之工件之外觀檢查裝置，其中排列導件之導引面在平面上相對於連結移載點和搬運台之旋轉軸之直線，形成75度~88度之銳角。
7. 一種工件之外觀檢查方法，屬於使用請求項1所記載之工件之外觀檢查裝置的工件之外觀檢查方法，其特徵在於具備：藉由線性進料器搬運6面體形狀之工件的工程； 將來自線性進料器之工件經由排列導件而移載至圓形搬運台上之移載點，同時藉由排列導件之導引面使工件排列之工程；在藉由保持手段保持被載置在搬運台之工件之狀態下，在搬運台之工件搬運圓弧上搬運工件之工程；及藉由攝影手段攝影搬運台上之工件的6面之工程。
8. 一種工件之外觀檢查方法，屬於使用請求項2所記載之工件之外觀檢查裝置的工件之外觀檢查方法，其特徵在於具備：藉由線性進料器搬運6面體形狀之工件的工程；將來自線性進料器之工件經由無振動部及排列導件而移載至形圓搬運台上之移載點，同時藉由排列導件之導引面使工件排列之工程；在藉由保持手段保持被載置在搬運台之工件之狀態下，在搬運台之工件搬運圓弧上搬運工件之工程；及藉由攝影手段攝影搬運台上之工件的6面之工程。