KR102617382B1 - 기판 클램핑 유닛과 이를 포함하는 기판 파지 트레이 - Google Patents

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Abstract

기판 클램핑 유닛과 이를 포함하는 기판 파지 트레이가 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 클램핑 유닛은, 기판의 일면 중 가장자리 일영역을 지지 가능한 제1 클램프; 상기 제1 클램프와 마주보며 힌지 결합되고, 상기 기판의 타면을 지지 가능한 제2 클램프; 상기 제1 클램프 상에 제1 자석과 나란히 적층 배치되어, 상기 제1 자석의 자기 방향을 상기 기판 측으로 유도하는 제1 차폐 블록; 및 상기 제2 클램프 상에 제2 자석 또는 자성체와 나란히 적층 배치되어, 상기 제2 자석의 자기 방향을 상기 기판 측으로 유도하는 제2 차폐 블록 포함할 수 있다.

Description

기판 클램핑 유닛과 이를 포함하는 기판 파지 트레이{SUBSTRATE CLAMPING UNIT AND SUBSTRATE CLAMP TRAY HAVING THE SAME}
본 발명은 기판 지지 유닛과 이를 포함하는 기판 파지 트레이에 관한 것으로, 보다 구체적으로 기판을 안정적으로 지지 가능한 기판 지지 유닛과 이를 포함하는 기판 파지 트레이에 관한 것이다.
기판 파지 트레이는 반도체 소자, 디스플레이 등을 제조하는 데 있어 세정, 건조, 노광 등 다양한 기판 처리 공정에서 기판을 지지하고, 반송하는데 이용된다.
기판 파지 트레이는, 크게 기판 접촉 파지 방식 또는 기판 비접촉 파지 방식에 의해 기판을 지지한다. 기판 접촉 파지 방식으로는, 진공 흡기 방식에 의한 진공 척, 기계적 클램핑 등이 있고, 기판 비접촉 파지 방식으로는, 정전기적 인력에 의한 정전 척 등이 있다.
종래 기판 접촉 파지 방식은, 접촉 면적이 클수록 지지력은 상승하나, 접촉 부위에서 열 응력 등에 의한 기판 불량을 초래하며, 이는 제품 수율을 떨어트리는 문제점이 있었다.
또한 종래 기판 비접촉 파지 방식은, 여러 가지 제조 공정 중 약액 공정을 예로 들 경우, 약액 공정시 기판과 기판을 타고 흐르는 약액의 무게를 지탱할만큼의 큰 파지력을 필요로 하나, 파지력의 세기가 크지 않고, 지지력이 균일하게 가해지지 않아 기판 처짐을 유발하는 등의 문제점이 있었다.
한국공개공보 제10-2019-013651호(공개일자: 2019.11.27.)
본 발명은 종래 기판 클램핑 유닛과 이를 포함하는 기판 파지 트레이의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로서, 기판을 안정적으로 지지하고, 단위 면적당 기판 지지 효율을 높일 수 있는 기판 클램핑 유닛과 이를 포함하는 기판 파지 트레이에 관한 것이다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 기판 클램핑 유닛을 제공한다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 클램핑 유닛은, 기판의 일면 중 가장자리 일영역을 지지 가능한 제1 클램프; 상기 제1 클램프와 마주보며 힌지 결합되고, 상기 기판의 타면을 지지 가능한 제2 클램프; 상기 제1 클램프 상에 제1 자석과 나란히 적층 배치되어, 상기 제1 자석의 자기 방향을 상기 기판 측으로 유도하는 제1 차폐 블록; 및 상기 제2 클램프 상에 제2 자석 또는 자성체와 나란히 적층 배치되어, 상기 제2 자석의 자기 방향을 상기 기판 측으로 유도하는 제2 차폐 블록 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 제1 자석은 상기 기판을 기준으로 대향한 상기 제2 자석과 서로 다른 극성끼리 마주보도록 나란히 배치될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 제1 자석은 상기 기판과 나란하게 N극과 S극이 교대로 배열되로록 적층 배치될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 제1 자석은 상기 기판의 두께 방향과 나란한 방향에서 적어도 두개의 열을 이루어 배치되고, 상기 열마다 서로 다른 개수로 상기 제1 자석이 배치될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 제1 차폐 블록의 너비는 상기 제1 자석의 너비와 같거나 클 수 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 기판 파지 트레이를 제공한다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 파지 트레이는, 청구항 1 내지 5항 중 적어도 어느 하나에 따른 기판 클램핑 유닛; 및 상기 기판의 어느 길이 방향을 따라 상기 제1 클램프는 적어도 둘 이상이 서로 대향하여 상호 이격되도록 형성된 프레임을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 프레임은, 상기 제1 클램프와 나란하게 마련되어, 기판의 일면 중 가장자리 일영역을 지지 가능하도록 형성된 지지 핀을 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 서로 다른 상기 기판 파지 트레이 사이에 구비되어, 상기 기판 파지 트레이 사이의 이격 거리를 35 내지 45 mm로 조절 가능한 지지 블록을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 제1 자석의 자기력이 기판을 파지하는 방향으로 더 강하게 작용하도록 제1 차폐 블록을 구비함으로써, 비접촉 파지 방식에 의한 파지력을 높일 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 차폐 블록과 제1 자석, 기판, 제2 자석, 제2 차폐 블록 순으로 배치함으로써, 제1 자석과 제2 자석의 자기력 세기가 기판에 집중되도록 하여, 제1 자석과 제2 자석을 작은 크기로 구현하더라도 기판을 안정적으로 파지할 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 제1 차폐 블록과 제2 차폐 블록을 구비함으로써, 제1 자석과 제2 자석의 크기는 최소화하되 제1 자석과 제2 자석 사이 방향으로 파지력이 집중됨으로써, 서로 다른 기판 파지 트레이로의 자기력이 최소화되어 복수개의 기판 파지 트레이간 적층시 공간 활용성을 높일 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판을 지지하는 기판 파지 트레이를 보여주는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 파지 트레이를 보여주는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 파지 트레이를 보여주는 정면도이다.
도 4는 도 3에서 기판 클램프 유닛을 개략적으로 보여주는 확대도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 에 의해 제1 자석의 자기력선 세기 조정에 사용되는 제1 차폐 블록을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 파지 트레이를 보여주는 평면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 파지 트레이를 보여주는 평면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 파지 트레이를 보여주는 평면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 기판 파지 트레이가 적층된 모습을 보여주는 정면도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시 예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 통상의 기술자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 형상 및 크기는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
또한, 본 명세서의 다양한 실시 예들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서 어느 한 실시 예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시 예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시 예는 그것의 상보적인 실시 예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.
명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 또한, 본 명세서에서 "연결"은 복수의 구성 요소를 간접적으로 연결하는 것, 및 직접적으로 연결하는 것을 모두 포함하는 의미로 사용된다.
또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.
이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판 파지 방향이라는 표현을 사용한다.
기판 파지 트레이(10)는, 기판(S)을 사이에 개재하여 기판(S)의 임의 길이 방향에 직교하는 방향에서 파지력을 제공해 기판(S)을 지지, 고정할 수 있다. 이때 기판 파지 방향이란, 기판(S)의 상하 방향에서 기판(S)에 가해지는 외력의 방향일 수 있다. 기판 파지 방향은, 일정한 두께를 가지는 기판(S)에 대해 기판 두께 방향일 수 있다.
일 실시예에 따르면 기판(S)을 수평 방향으로 지지, 고정할 경우, 기판 파지 방향이란 수직 방향을 가리킨다. 기판(S)은 직교 좌표계의 XY 평면과 나란하게 마련되고, 이때 기판 파지 방향은 Z축을 지칭하기로 한다.
다른 실시예에 따르면 기판(S)을 수직 방향으로 지지, 고정할 경우, 기판 파지 방향이란 수평 방향을 가리킨다. 기판(S)은 직교 좌표계의 Z축과 나란하게 놓이고, 이때 기판 파지 방향은 X축 또는 Y축일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판(S)을 지지하는 기판 파지 트레이(10)를 보여주는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 파지 트레이(10)를 보여주는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 파지 트레이(10)를 보여주는 정면도이고, 도 4는 도 3에서 기판 클램프 유닛(100)을 개략적으로 보여주는 확대도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 자석(M1)의 자기력선 세기 조정에 사용되는 제1 차폐 블록(130)을 설명하기 위한 도면이고, 도 6은 발명의 일 실시예에 따른 기판 파지 트레이(10)를 보여주는 평면도이고, 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 파지 트레이(10)를 보여주는 평면도이고, 도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 파지 트레이(10)를 보여주는 평면도이며, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 기판 파지 트레이(10)가 적층된 모습을 보여주는 정면도이다.
도 1 내지 도 9를 참조하면 본 발명의 일 실시예에 기판 파지 트레이(10)는, 기판 처리 공정 상에서 기판(S) 이송시 기판(S)을 파지, 고정할 수 있다. 보다 구체적으로 기판 파지 트레이(10)는, 기계적 클램핑에 의한 기판 접촉 파지 방식은 물론 자력을 이용한 기판 비접촉 파지 방식에 의해 기판(S)을 파지하고, 작은 자력의 세기로도 높은 파지력을 구현해 안정적으로 기판(S)을 파지할 수 있다.
기판 파지 트레이(10)는, 기판 클램핑 유닛(100)과 프레임(200)을 포함하고, 나아가 지지 블록(300)을 더 포함할 수 있다.
다시 도 1과 도 2, 도 4 내지 도 9를 참조하면 기판 클램핑 유닛(100)은, 기계적 클램핑에 의한 기판 접촉 파지 방식은 물론 자력을 이용한 기판 비접촉 파지 방식에 의해 기판(S)을 파지할 수 있다. 기판 클램핑 유닛(100)은, 제1 클램프(110)와 제2 클램프(120), 제1 차폐 블록(150), 제2 차폐 블록(160)을 포함할 수 있다.
제1 클램프(110)는, 기판(S)의 일면 중 가장자리 일영역을 지지할 수 있다. 제1 클램프(110)의 일 단부는, 기판(S) 가장자리 일영역과 면 접촉할 수 있다.
제2 클램프(120)는, 제1 클램프(110)와 마주보며 한 쌍을 이루어 기판(S)의 일면 중 가장자리 일영역을 지지할 수 있다. 제2 클램프(120)는, 제1 클램프(110)와 마주보며 힌지 결합될 수 있다. 제2 클램프(120)는, 기판(S)의 타면 중 가장자리 일영역을 지지하며, 제1 클램프(110)와 한 쌍을 이룰 수 있다. 즉 기판(S)의 가장자리 일영역에 대해, 제1 클램프(110)는 기판(S)의 일면을, 제2 클램프(120)는 기판(S)의 타면을 제1 방향에서 지지할 수 있다. 제2 클램프(120)의 일 단부는, 기판(S) 가장자리 일영역과 접촉할 수 있다.
제1 자석(130)은, 판형 자석일 수 있다. 제1 자석(130)은, 한 쌍의 N극과 S극을 가지며, 기판 파지 방향으로 N 극과 S극이 적층되도록 배치될 수 있다. 즉 제1 자석의 N극과 S극은, 기판 파지 방향을 따라 순차적으로 적층 배치될 수 있다.
제1 자석(130)은, 기판(S)을 사이에 두고 제2 자석(140)과 대향할 수 있다. 이때 제1 자석(130)은, 기판 파지 방향에서 제2 자석(140)과 서로 다른 극성끼리 마주보도록 나란히 배치될 수 있다. 일 실시예에 따른 제1 자석(130)은, 네오디움 자석일 수 있다.
보다 구체적으로 N극과 S극이 한 쌍으로 이루어진 제1 자석(130)은, 기판(S)에 인접한 쪽이 N극일 경우, 제2 자석(140)에서 기판(S)에 인접한 쪽으로 S극이 놓이도록 배열될 수 있다.
제1 자석(130)은, 제1 클램프(110) 내부에 복수개가 마련될 수 있다. 제1 자석(130)은, 기판 두께 방향과 나란한 방향에서 두 개의 열을 이루어 배치될 수 있다. 제1 자석(130)은 각 열마다 서로 다른 개수로 배치될 수 있다.
일 실시예에 따르면 기판(S)에 인접할수록 더 많은 수의 제1 자석(130)이 배열되도록 제1 자석(130)을 배치할 수 있다. 즉 복수개의 제1 자석(130)은 제1 클램프(110) 내부에서 기판(S)에 인접한 방향으로 호를 이루며, 부채꼴 형상으로 배치될 수 있다. 기판(S)에 인접할수록 제1 자석(130)의 수량를 많게 함으로써 기판(S)에 작용하는 파지력을 효과적으로 높일 수 있다.
일 실시예에 따르면 제1 자석(130)은, 제1 자석(130)의 두께 대비 제2 자석(140)과 1.5 내지 2의 비율로 기판 파지 방향에서 제2 자석(140)과 이격 거리를 유지할 수 있다.
제1 자석 두께(mm) 5
제1 자석과 제2 자석 이격 거리(mm) 2 2.5 3 3.5 4 5
파지력(kg) 5.3 4 2.9 2.5 1.8 1.1
제1 자석의 두께 대비, 제1 자석과 제2 자석의 간극에 따른 기판 파지력 차이
기판(S)을 파지하는 데 있어 적정한 세기의 파지력을 가지는 것이 중요하다. 파지력이 너무 강한 경우 기판(S)을 강하게 파지할 수 있으나, 기판(S)에 가하는 힘이 너무 강하면 기판(S)에 손상을 가할 수 있고 기판(S)에 가하는 힘이 너무 약하면 기판(S)을 파지하기 어려울 수 있다. 바람직하게는 제1 자석(130) 두께 대비, 위 표 1와 같은, 제1 자석(130)과 제2 자석(140)의 이격 거리를 가질 수 있다.
제1 자석(130)과 제2 자석(140)이 제1 자석(130)의 두께 대비 제2 자석(140)과 1.5 내지 2의 비율로 간극이 형성되도록, 이때 제1 클램프(110) 또한, 제2 클램프(120)와 이격되어 간극을 형성할 수 있다. 기판 약액 공정시, 제1 클램프(110)와 제2 클램프(120) 사이의 간극을 따라 약액의 유동 경로를 확보하기 위함이다.
제1 차폐 블록(150)은, 제1 자석의 자기 방향을 기판 측으로 유도할 수 있다. 보다 구체적으로 제1 차폐 블록은, 기판 파지 방향으로 제1 자석의 자기 방향을 유도할 수 있다.
제1 차폐 블록(150)은, 자성을 띄는 자성체일 수 있다. 제1 차폐 블록(150)은, 제1 자석(130)의 자력 밀도를 상승시키고, 제1 차폐 블록 방향으로 미치는 제1 자석(130)의 자기력을 가둘 수 있다. 제1 자석(130)의 자기력은 제1 차폐 블록 방향으로는 더 이상 뻗어나가지 못하고, 그 반대편인 기판 파지 방향으로 자기력선이 더 멀리 뻗어나가게 된다. 즉, 제1 차폐 블록(150)은, 기판 파지 방향으로 제1 자석(130)의 자기력 세기가 강해지도록 유도할 수 있다.
제1 차폐 블록(150)은, 기판 파지 방향과 나란하게 제1 자석(130)과 적층 배치될 수 있다. 제1 차폐 블록(150)은, 제1 클램프(110)에 구비될 수 있다. 일 실시예에 따르면 제1 차폐 블록(150)은, 제1 클램프(110) 내부에 매립 배치될 수 있다. 이때 제1 차폐 블록(150)은, 제1 클램프(110)의 중공부에 제1 자석(130)과 함께 순차 적층되도록 삽입되고, 용접 등에 의해 제1 클램프(110)에 고정될 수 있다.
제1 차폐 블록 너비는, 제1 자석(130)의 너비과 같거나 클 수 있다.
제1 자석 너비(mm) 12
제1 차폐 블록 너비(mm) 10 11 12 13 14 15
파지력(kgf) 2.2 2.4 2.6 3.0 2.7 2.4
제1 차폐 블록과 제1 자석의 너비 차이
바람직하게는 제1 자석(130)이 적정한 세기의 파지력으로 기판(S)을 파지하기 위해 제1 차폐 블록(150)은, 표 2와 같이 제1 자석(130) 너비 대비 1 내지 1.18의 비율의 너비를 가질 수 있다. 즉 제1 자석(130) 너비가 12mm인 경우, 제1 차폐 블록(150)은 12 내지 14mm의 너비를 가질 수 있다.
또한 제1 차폐 블록 두께는, 제1 자석(130)의 두께보다 얇을 수 있다. 제1 차폐 블록(150)이 제1 자석(130)의 두께와 일정 비율의 두께를 갖게 함으로써 기판(S)에 미치는 파지력의 세기를 조정할 수 있다.
제1 자석 두께(mm) 5
제1 차폐 블록 두께(mm) 0.5 1 1.5 2
파지력(kgf) 2.4 3.0 2.7 2.4
제1 차폐 블록과 제1 자석의 두께 차이
바람직하게는 제1 자석(130)이 적정한 세기의 파지력으로 기판(S)을 파지하기 위해 제1 차폐 블록(150)은, 표 3과 같이 제1 자석(130) 두께 대비 0.2 내지 0.3의 비율로 두께를 가질 수 있다. 즉 제1 자석(130) 두께가 5mm인 경우, 제1 차폐 블록(150)은 1 내지 1.5mm의 두께를 가질 수 있다.
제2 자석(140)은, 판형 자석일 수 있다. 제2 자석(140)은, 한 쌍의 N극과 S극을 가지며, 기판 파지 방향으로 N 극과 S극이 적층되도록 배치될 수 있다. 즉 제2 자석의 N극과 S극은, 기판 파지 방향을 따라 순차적으로 적층 배치될 수 있다.제2 자석(140)은, 네오디움 자석일 수 있다.
제2 자석(140)은, 기판(S)을 사이에 두고 제1 자석(140)과 마주보도록 배치될 수 있다. 제2 자석(140)은, 제1 자석(130)과 자력이 작용하여 사이에 개재된 기판(S)을 파지할 수 있다.
제2 차폐 블록(160)은, 제2 자석(140)의 자기 방향을 기판(S) 측으로 유도할 수 있다. 보다 구체적으로 제2 차폐 블록(160)은, 기판 파지 방향으로 제2 자석(140)의 자기 방향을 유도할 수 있다.
제2 차폐 블록(160)은, 자성을 띄는 자성체일 수 있다. 제2 차폐 블록(160)은, 제2 자석(140)의 자력 밀도를 상승시키고, 제2 차폐 블록 방향으로 미치는 제2 자석(140)의 자기력을 가둘 수 있다. 제2 자석(140)의 자기력은 제2 차폐 블록 방향으로는 더 이상 뻗어나가지 못하고, 그 반대편인 기판 파지 방향으로 자기력선이 더 멀리 뻗어나가게 된다. 즉, 제2 차폐 블록(160)은, 기판 파지 방향으로 제2 자석(140)의 자기력 세기가 강해지도록 유도할 수 있다.
제2 차폐 블록(160)은, 기판 파지 방향과 나란하게 제2 자석(140)과 적층 배치될 수 있다. 제2 차폐 블록(160)은, 제2 클램프(120)에 구비될 수 이다. 일 실시예에 따르면 제2 차폐 블록(160)은, 제2 클램프(120) 내부에 매립 배치될 수 있다. 이때 제2 차폐 블록(160)은, 제2 클램프(120)의 중공부에 제2자석(140)과 함께 순차 적층되도록 삽입되고, 용접 등에 의해 제2 클램프(120)에 고정될 수 있다.
다시 도 1 과 도 2, 도 6 내지 도 9를 참조하면 프레임(200)은, 제1 클램프(110)가 상호 이격되도록 형성될 수 있다. 프레임(200)은, 기판(S)에 대응되는 형상을 가질 수 있다. 프레임(200)은, 소정의 폭과 너비를 가지며, 내부에 중공부가 형성되도록 중공부를 감싸는 지지대를 가질 수 있다. 프레임(200)은, 지지 핀(210)을 더 포함할 수 있다.
프레임(200)은, 지지대에 적어도 둘 이상의 제1 클램프(110)가 형성될 수 있다.
제1 클램프(110)는, 기판(S)의 어느 길이 방향을 따라 둘 이상이 서로 대향하며 상호 이격되어 프레임(200)에 형성될 수 있다. 즉 제1 클램프(110)를 포함한 기판 클램핑 유닛(100)은 기판(S)의 가장자리 일 영역을 지지하되, 기판(S)의 가장자리를 따라 형성된 프레임(200)의 지지대를 따라 제1 클램프(110)가 일체형으로 형성 마련될 수 있다.
지지 핀(210)은, 기판(S)의 일면 중 가장자리 일영역을 면접촉한 상태로 지지할 수 있다. 지지 핀(210)은, 프레임(200)의 지지대를 따라 제1 클램프(110)와 나란하게 마련될 수 있다.
기판 파지 트레이(10)는, 서로 다른 기판(S)을 파지할 수 있다. 기판(S)의 사양에 따라 기판 파지 트레이(10)는, 프레임(200)의 지지대 상에서, 도 6 내지 도 8에 도시된 대로 다양한 실시형태로 제1 클램프(110)와 지지 핀(210)이 구비될 수 있다.
다시 도 9를 참조하면 서로 다른 기판 파지 트레이(10, 10')는, 각각 적층되도록 배치될 수 있다. 지지 블록(300)은, 서로 다른 기판 파지 트레이(10, 10') 사이에 배치되어, 서로 다른 기판 파지 트레이(10)의 이격 거리만큼 간극을 형성할 수 있다. 일 실시예에 따른 지지 블록(300)은, 서로 다른 기판 파지 트레이(10, 10') 사이의 이격 거리를 35 내지 45mm로 조절할 수 있다.
제1 차폐 블록(150) 및 제2 차폐 블록(160)에 의해 각각 제1 자석(130)과 제2 자석(140)은 기판 파지 방향으로만 자기력이 작용하므로, 기판 파지 방향의 배면, 즉 다른 기판 파지 트레이(10') 방향으로는 자기력이 미치지 않아, 이격 거리를 좁게 유지할 수 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
10 : 기판 파지 트레이
100 : 기판 클램핑 유닛 110 : 제1 클램프
120 : 제2 클램프 130 : 제1 자석
140 : 제2 자석 150 : 제1 차폐 블록
160 : 제2 차폐 블록
200 : 프레임 210 : 지지 핀
300 : 지지 블록
S : 기판

Claims (8)

  1. 기판의 일면 중 가장자리 일영역을 지지 가능한 제1 클램프;
    상기 제1 클램프와 마주보며 힌지 결합되고, 상기 기판의 타면을 지지 가능한 제2 클램프;
    상기 제1 클램프 상에 제1 자석과 상기 제1 자석의 두께 방향으로 나란히 적층 배치되어, 상기 제1 자석의 자기 방향을 상기 기판 측으로 유도하는 제1 차폐 블록; 및
    상기 제2 클램프 상에 제2 자석 또는 자성체와 상기 제2 자석 또는 상기 자성체의 두께 방향으로 나란히 적층 배치되어, 상기 제2 자석의 자기 방향을 상기 기판 측으로 유도하는 제2 차폐 블록;
    상기 기판의 어느 길이 방향을 따라 상기 제1 클램프는 적어도 둘 이상이 서로 대향하여 상호 이격되도록 형성된 프레임; 및
    서로 다른 기판 파지 트레이 사이에 구비되어 상기 기판 파지 트레이 간의 이격 공간을 제공하는 지지 블록을 포함하는, 기판 파지 트레이.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 자석은 상기 기판을 기준으로 대향한 상기 제2 자석과 서로 다른 극성끼리 마주보도록 나란히 배치된, 기판 파지 트레이.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 자석은 상기 기판의 두께 방향으로 나란하게 N극과 S극이 교대로 배열되로록 적층 배치된, 기판 파지 트레이.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 자석은 상기 기판의 두께 방향과 나란한 방향에서 적어도 두개의 열을 이루어 배치되고,
    상기 열마다 서로 다른 개수로 상기 제1 자석이 배치되는, 기판 파지 트레이.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 차폐 블록의 너비는 상기 제1 자석의 너비와 같거나 큰, 기판 파지 트레이.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 차폐 블록은, 상기 제1 자석의 두께 대비 0.2 내지 0.3 비율로 두께를 가지는, 기판 파지 트레이.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 프레임은,
    상기 프레임의 지지대를 따라 상기 제1 클램프와 이격 마련되어, 기판의 일면 중 가장자리 일영역을 지지 가능하도록 형성된 지지 핀을 더 포함하는, 기판 파지 트레이.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지 블록은 서로 다른 상기 기판 파지 트레이들 간의 이격 거리를 35 내지 45 mm로 조절 가능한, 기판 파지 트레이.
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