TW201339571A - 工件的外觀檢查裝置及工件的外觀檢查方法 - Google Patents

工件的外觀檢查裝置及工件的外觀檢查方法 Download PDF

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Abstract

本發明之課題在於提供可以在搬送台上正確地定位工件，而且不會對工件產生靜電破壞或特性劣化的工件的外觀檢查裝置。本發明的解決手段之工件的外觀檢查裝置(30)，具備：搬送6面體形狀的工件(W)之線性給料器(1)，使來自線性給料器(1)的工件(W)移載而搬送的搬送台(2)，使來自線性給料器(1)的工件(W)移載至搬送台(2)上使其排列之移載排列手段(21)，使搬送台(2)的下面帶電而保持工件(W)的帶電手段(6A)，以及攝影工件(W)的6面之攝影手段(20)。移載排列手段(21)具有被設於線性給料器(1)與搬送台(2)之間的無振動部(4)，及排列工件(W)的排列導件(7)。排列導件(7)包含從平面上看成直線狀的導引面(7a)。設有真空抽吸搬送台(2)與排列導件(7)之間的間隙(γ)的真空抽吸手段(17、18)。

Description

工件的外觀檢查裝置及工件的外觀檢查方法
本發明係關於搬送6面體的工件，同時攝影此工件的6面體之工件的外觀檢查裝置及工件的外觀檢查方法。
從前，作為6面體形狀的電阻或電容等晶片形電子零件(以下稱為「工件」)的外觀檢查裝置，在玻璃等透明體所構成的搬送台上載置工件，使搬送台旋轉搬送工件同時藉由攝影機等攝影手段攝影各面而進行外觀檢查的裝置係屬已知。
在此場合，外觀檢查裝置之工件搬送台，藉由靜電來靜電吸附工件進行搬送。
亦即，首先在藉由振動來排列搬送工件的線性給料器上使工件帶電，把該工件載置於搬送台上搬送至特定的作業位置，同時使搬送台的工件載置面帶著與工件為逆極性的靜電，於該處使工件靜電吸附(參照專利文獻1)。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2008-260594號公報
然而，從前的工件的外觀檢查裝置具有如下的問題。
第1個問題是把工件由線性給料器移載到搬送台時的定位是困難的。搬送台上的工件，於搬送方向上有2個面，上下方向有2個面，搬送方向的左右有2個面合計有6個面。為了要攝影此6個面，必須使用固定的攝影手段精度佳地拍攝這6個面。然而，把線性給料器上的工件移載到搬送台時，工件不限於移載在一定的方向，移載後藉由靜電吸附而使工件的姿勢固定，所以攝影時會因為各個工件的姿勢產生微妙的差異，而有攝影精度降低的可能性。
此外，在線性給料器內搬送工件同時使其帶電，所以搬送中會因為靜電的吸附作用而使工件被吸附於線性給料器，而有搬送速度降低的可能性，最壞的場合會使工件停止。
第2個問題是工件移載後的靜電吸附力降低。搬送台的工件載置面與工件總是帶著逆極性的靜電，在工件移載之前可確保充分的吸引力，但是隨著工件移載，工件載置面與工件接觸時，於接觸點電荷中和而其總量減少。亦即，作用於被載置在搬送台上的工件的靜電吸引力降低。
此外，使搬送台的工件載置面帶電的場合，由被設置於搬送台上面的電離器，把電荷朝向工件噴射，該電荷係與使工件帶電的電荷為逆極性的電荷。因此，被移載至搬送台之前的工件的電荷的一部分會被中和，在此場合對被載置於搬送台上的工件所作用的靜電吸附力會降低。
第3個問題是靜電對工件的影響。藉由前述之工件移 載而使工件載置面與工件接觸時，會伴隨著電荷的移動而進行電荷的中和，所以有工件的靜電破壞或是特性劣化等發生之虞。
本發明係考慮到這樣的問題點，目的在於提供把工件由線性給料器移載至搬送台時可以精度佳地進行定位，不會發生工件移載後的靜電吸附力降低，對於工件沒有靜電的影響之工件的外觀檢查裝置及工件的外觀檢查方法。
本發明，為具備：搬送6面體形狀的工件之線性給料器，工件於移載點由線性給料器移載，在載置此工件的狀態下在工件搬送圓弧上進行搬送的透明體所構成的自由旋轉的圓形搬送台，被配設於線性給料器與搬送台之間，把來自線性給料器之工件移載至搬送台上使其排列的移載排列手段，被配置於搬送台下方，保持被載置於搬送台的工件的保持手段，以及攝影搬送台上的工件的6面之攝影手段；移載排列手段具有被設於線性給料器與搬送台之間的無振動部，及設於無振動部的下游側，排列工件的由平面俯視具有直線狀的導引面的排列導件；排列導件的導引面，在平面上，對連結移載點與搬送台的旋轉軸之直線成銳角，且於移載點的下游形成工件搬送圓弧的接線，排列導件位於搬送台上，同時於排列導件設置把排列導件與搬送台之間的間隙抽真空的真空抽吸手段之工件的外觀檢查裝置。
本發明，係特徵為真空抽吸手段具有真空源、以及被設於排列導件，一端開口於搬送台與排列導件之間的間隙，另一端連通於真空源的抽吸通路之工件的外觀檢查裝置。
本發明係特徵為圓形搬送台係由透明的玻璃體所構成的工件的外觀檢查裝置。
本發明係特徵為保持手段係由朝向搬送台的下面噴出帶電離子而使搬送台下面帶電的帶電手段所構成之工件的外觀檢查裝置。
本發明，係特徵為保持手段係由被配置於搬送台的下方的導體所構成，對此導體施加直流電壓產生電場之工件的外觀檢查裝置。
本發明係特徵為根據搬送台的工件的搬送速度，比根據線性給料器的工件的搬送速度更大之工件的外觀檢查裝置。
本發明係特徵為排列導件的導引面，於平面俯視，對連結移載點與搬送台的直線，形成75度~88度的銳角之工件的外觀檢查裝置。
本發明係特徵為：係使用工件的外觀檢查裝置的工件的外觀檢查方法，具備：藉由線性給料器搬送6面體形狀的工件之步驟，使來自線性給料器的工件經過無振動部及排列導件移載至圓形搬送台上的移載點，同時藉由排列導件的導引面使工件排列的步驟，藉由保持手段保持被載置於搬送台的工件的狀態下，使工件在搬送台的工件搬送圓 弧上進行搬送的步驟，以及藉由攝影手段攝影搬送台上的工件的6面的步驟之工件的外觀檢查方法。
根據本發明，藉由被配置於搬送台下面的保持手段保持載置於上面的工件，藉以在使工件由線性給料器移載至搬送台時，使用根據保持手段之保持與排列導件，使工件於搬送台上之間隔為約略一定，而且對搬送方向使姿勢一定，藉以可以對工件進行精度佳的定位。因此，提高根據攝影手段的攝影精度，使得高精度的外觀檢查成為可能。此外，不使工件或搬送台的工件載置面帶電，藉由被配置在搬送台下面的保持手段保持工件，所以往搬送台移載工件之後不會因為電荷的中和而使靜電吸附力降低。因此，提高外觀檢查裝置的處理能力，進而因不使工件帶電的緣故，不會有對工件造成靜電破壞或特性劣化等不良影響。
第1實施形態
以下，參照圖面說明本發明之實施形態。圖1至圖9係顯示根據本發明之工件的外觀檢查裝置與工件的外觀檢查方法之第1實施形態之圖。
首先，針對藉由工件的外觀檢查裝置所檢查的工件，藉由圖2來進行說明。
於圖2，電容或電阻等成為晶片零件的工件W成6面 體形狀，具有由絕緣體所構成的本體Wd、及被形成於本體Wd的長邊方向的兩端部的導電體所構成的電極Wa、Wb。進行此工件W的外觀檢查的場合，於後述的搬送台2上載置工件W，使搬送台2旋轉於圖2中的箭頭印Z的方向而搬送工件W。接著，藉由攝影手段20由箭頭A的方向攝影紙面相反側的側面，由箭頭B的方向攝影紙面前方的側面，由箭頭C的方向來攝影上面，由箭頭D的方向攝影下面，由箭頭E的方向攝影前面，箭頭F的方向攝影後面。此時，可以藉由使用玻璃製的透明搬送台2，在載置工件W的狀態攝影前述工件W的6個面全面。
接著說明工件的外觀檢查裝置。如圖1及圖3所示，工件的外觀檢查裝置30具備：搬送工件W的線性給料器1，工件W由線性給料器1於移載點4x移載，在載置此工件W的狀態下在工件搬送圓弧5上進行搬送的透明體所構成的圓形搬送台2，把來自線性給料器1的工件W移載至搬送台2上而使其排列的移載排列手段21，被配置於搬送台2的下方使搬送台2下面帶電而作為保持被載置於搬送台2的工件W的保持手段發揮功能的帶電手段6A，以及攝影搬送台2上的工件W的6面之攝影手段20。
其中，移載排列手段21具有被設於線性給料器1與搬送台2之間的無振動部4，以及排列設於無振動部4的下游側的工件W之排列導件7；排列導件7包含供排列工件W之用的導引面7a。此導引面7a由平面俯視(由上方來看)成直線狀。
此外，攝影手段20，如後所述具有側面攝影機部8、內面攝影機部9、上面攝影機部10、下面攝影機部11、前面攝影機部12、與後面攝影機部13。
接著進而藉由圖1至圖4說明工件的外觀檢查裝置30的各構成部分。
此處，圖1係以圖2所示的形狀的工件W為對象的工件的外觀檢查裝置之平面圖，圖3係以圖1之虛線包圍的區域S的擴大平面圖，圖4係於圖1由箭頭Y的方向來看區域S的透視圖。
於圖1，直線狀的線性給料器1藉由未圖示的驅動源來振動，使被投入位在線性給料器1的上游側的未圖示的零件給料器之工件W排列成一列藉由振動往箭頭N的方向搬送。
設於線性給料器1的下方的搬送台2，為透明的玻璃製，設置為水平，藉由未圖示的驅動源以旋轉軸3為中心順時針方向(圖1的箭頭X方向)旋轉。如圖4所示，線性給料器1朝向搬送台2具有些許的傾斜而下降，於其下端部具有與線性給料器1同等的傾斜同時不進行振動的無振動部4，與搬送台2具有很少的間隙而被接續著。藉此，工件W由線性給料器1起經過無振動部4逐漸下降而被移載至搬送台2。
於搬送台2的上面的外緣部附近，如圖1的單點虛線所示，被形成以旋轉軸3為中心的圓弧之工件搬送圓弧5，工件W由無振動部4移載到搬送台2後，藉由後述的 排列導件7的作用被排列於工件搬送圓弧5上。此處，工件搬送圓弧5是為了排列工件W而設想的目標位置，於搬送台2的上面並沒有任何可識別的印記可以藉由目視來看到工件搬送圓弧5。
此外，帶電手段6A，是作為保持被載置於搬送台2的工件W的保持手段而發揮功能者。此帶電手段6A由設置在無振動部4的位置的稍為前方的電離器6所構成，此電離器6被設於搬送台2的正下方，朝向搬送台2的下面噴出正的離子(以下稱為「電荷」)使搬送台2的下面帶正電。
又，前述各構成部分之中，藉由無振動部4，與具有導引面7a的導件7，構成移載排列手段21。
此外，於圖3，具有直線狀導引面7a的排列導件7，於搬送台2的外緣部側的正上方，設為與搬送台2之間具有很小的間隙。於圖3，以虛線K顯示連結移載點4x與搬送台2的旋轉軸3之直線。
如圖3所示，排列導件7係以導引面7a與虛線K的夾角α成為75度~88度的銳角的方式，而且導引面7a比移載點4x在位於工件W的搬送方向下游的工件搬送圓弧5的合流點7x成為與工件搬送圓弧5的接線的方式來設置的。亦即，以虛線L來表示連結合流點7x與搬送台2的旋轉軸3的直線時，虛線L與導引面7a之夾角β為90°。
此外，如圖1所示，於無振動部4的下游側沿著搬送台2的旋轉方向，設有構成攝影手段20的側面攝影機部 8、內面攝影機部9、上面攝影機部10、下面攝影機部11、前面攝影機部12、與後面攝影機部13。藉由此攝影手段20，針對工件搬送圓弧5上的工件W，可以分別攝影圖2之箭頭A~F所示的工件W的各面而進行外觀檢查。此時，於圖2以箭頭Z表示的工件W的搬送方向，一致於圖1之搬送台2的旋轉方向X。
具體而言，對工件W側面攝影機部8攝影紙面相反側的側面A，內面攝影機部9攝影紙面前方的側面B，上面攝影機部10攝影上面C，下面攝影機部11攝影下面D，前面攝影機部12攝影前面E，後面攝影機部13攝影後面F。
進而，如圖1所示，由攝影手段20起在搬送台2的旋轉方向的下游側設有作為排出手段的排出部14。結束外觀檢查的工件W，對應於外觀檢查的結果藉由排出部14由工件搬送圓弧上排出至未圖示的收納箱。
接著詳細說明使用了這樣的構成的工件的外觀檢查裝置之工件的外觀檢查方法。
於圖1，工件W被投入位於線性給料器1的上游側的未圖示的零件給料器，被投入零件給料器的工件W藉著藉由未圖示的驅動源進行振動的線性給料器1之作用而排列成為一列，直線搬送於圖1的箭頭N的方向。此時，工件W以長邊方向一致於搬送方向的方式排列，圖2之箭頭Z成為工件W的搬送方向。亦即，圖2之箭頭Z的方向一致於圖1之箭頭N的方向。
其次，藉由圖4詳述線性給料器1的作用。圖4係顯示藉由線性給料器1搬送的工件W的模樣，係於圖1由箭頭Y的方向來看以虛線包圍的區域S的透視圖。圖4係為了使搬送台2上的工件W的模樣更容易看，而以虛線表示排列導件7的位置之透視圖。此外，對於工件W，把各個構成部分上的工件以工件W0~W6來表示，而不管場所之一般的工件以工件W來表示。
如圖4所示，線性給料器1朝向水平位於其下方的搬送台2具有些許的傾斜，藉由線性給料器1的振動按壓後續的工件W而前進的工件W，如W0所示連續於前後方向而朝向搬送台2稍微下降。線性給料器1會振動，在把工件W由線性給料器1移載至搬送台2時使線性給料器1接近於搬送台2的正上方位置的話，會有線性給料器1與搬送台2抵接之虞。為了防止此情形，在線性給料器1的下游端與搬送台2之間，設置不振動的無振動部4。
此外，起因於線性給料器1的振動的差異，於線性給料器1也會發生工件W的般送速度的差異，所以藉由使無振動部4中介於線性給料器1與搬送台2之間，可以使此搬送速度均一化。
然而，無振動部4具有與線性給料器1同等的傾斜，在與搬送台2之上面之間具有些許的間隙。無振動部4上的工件W與線性給料器1上同樣被後續的工件擠壓而前進，如以W0所示的前後連續朝向搬送台2一點點地下降。
接著，到達無振動部4的下游端的工件W1，被位於之後的工件W0所擠壓，移載至搬送台2上的移載點4x，以後藉由搬送台2的旋轉而被搬送於圖4的箭頭X的方向。此處，無振動部4的長度太短的話，要使搬送速度均一化會變得困難，相反地若是太長，會有工件W的途中停止之虞。於本發明的實施形態，無振動部4的長度為工件的長邊方向的尺寸的8倍，所以不會使工件W停止而可以謀求工件W的搬送速度的均一化。
進而，如前所述於搬送台2的下側設置有電離器6，朝向搬送台2的下面噴出正電電荷而使搬送台2的下面帶正電。於圖4，以+模式顯示此正電的電荷。如此藉由使搬送台2的下面帶正電，移載至移載點4x的工件W被吸附於搬送台2的上面。
其次，藉由圖5至圖7說明搬送台2上之工件W的吸附作用。
其中圖6(a)、(b)係顯示靜電感應的原理之說明圖。於圖6(a)顯示工件W的長邊方向的一端部的電極Wa。電極Wa由導電體所構成，於通常狀態，如圖6(a)所示，於其內部以+所示的正電電荷與以-所示的負電電荷存在於隨機的位置。圖6(b)顯示正電電荷由左方接近此電極Wa時的模樣。
此處，是使帶正電電荷的帶電體T接近。此時，電極Wa內的負電電荷被帶電體T內的正電電荷吸引，負電電荷集中於接近帶電體T的電極Wa的左面WaL側。此外， 電極Wa內的正電電荷排斥帶電體T內的正電電荷，而集中於遠離帶電體T的電極Wa的右面WaR側。此時，於左面WaL側呈現負電電荷，於右面WaR側呈現正電電荷。又，電極Wa係由導電體所構成，內部的電荷可以自由移動，因此於圖6(b)，電極Wa的左面WaL與右面WaR之間的部分不存在著電荷。此現象稱為靜電感應。
此外，藉由靜電感應，集中於電極Wa的左面WaL側的負電電荷與帶電體T內的正電電荷之間，有圖6(b)中箭頭G所示的引力在作用。因此，電極Wa為帶電體T所吸引。帶電體T遠離電極Wa的話，電極Wa內的電荷再度回到圖6(a)的狀態。對於電極Wb也是同樣的。
圖7(a)、(b)係顯示介電分極的原理之說明圖。其中圖7(a)顯示工件W的在長邊方向中央部的本體Wd。本體Wd為絕緣體，於通常狀態，如圖7(a)所示，於其內部以+所示的正電電荷與以-所示的負電電荷為一組之分子(虛線的橢圓)存在於隨機的位置。
圖7(b)顯示正電電荷由左方接近此本體Wd時的模樣。此處，是使帶正電電荷的帶電體T接近。此時，本體Wd內的負的電荷被帶電體T內的正的電荷吸引，同時本體Wd內的正的電荷排斥帶電體T內的正的電荷。因此，本體Wd內的分子的走向，係接近於帶電體T的本體Wd的左面WdL側為負的電荷，遠離帶電體T的本體Wd的右面WdR側排列成為正的電荷。
如圖7(b)所示，本體Wd的左面WdL側呈現負的電 荷，右面WdR側呈現正的電荷。又，本體Wd為絕緣體所以內部的電荷無法自由移動，在左面WdL與右面WdR之間分子排列於一定方向。此現象稱為介電分極。此外，藉由介電分極，呈現於本體Wd的左面WaL側的負的電荷與帶電體T內的正的電荷之間，有圖7(b)中箭頭G所示的引力在作用。因此，本體Wd為帶電體T所吸引。帶電體T遠離本體Wd的話，本體Wd內的分子再度回到圖7(a)的狀態。
其次藉由圖5表示被移載至移載點4x的工件W藉由靜電感應以及介電分極而被吸附於搬送台2的上面的模樣。於圖5，搬送台2的下面藉由電離器6的作用而帶正電。搬送台2的材質之玻璃為絕緣體，所以藉由存在於搬送台2下面的正的電荷引起前述的介電分極，搬送台2的內部之中下面側呈現負的電荷，上面側呈現正的電荷。此外，同樣地，由無振動部4移載到搬送台2上的移載點4x的工件W2，藉由電極Wa及Wb的靜電感應，此外藉由在本體之介電分極，於分別的下面側呈現負的電荷，於上面側呈現正的電荷。
於圖5，在呈現於電極Wa、Wb及本體Wd的下面側的負的電荷，與存在於搬送台2的下面的正的電荷之間，作用著箭頭所示的靜電吸附力G，藉此工件W2被吸附於搬送台2的上面。此時，工件W2的下面及搬送台2的上面藉由靜電感應或是介電分極而呈現電荷，未引起電荷的移動導致的帶電。因此，吸附時不發生電荷的中和，吸附 後也不會發生吸附力降低。如此，工件W2在被吸附於搬送台2的上面的狀態藉由搬送台2的旋轉而被搬送於箭頭X的方向。
接著，由無振動部4被移載至搬送台2上的移載點4x的工件W，表示為工件W2，在被吸附於搬送台2的狀態藉由搬送台2的旋轉而被搬送於箭頭X的方向。
在此場合，根據搬送台2的旋轉的搬送速度比根據線性給料器1及無振動部4的搬送速度更大，搬送台2上的工件間(例如W2與W3之間)變成具有間隔。如此藉由在搬送台2上的工件間具有間隔，圖1的前面攝影機部12攝影圖2所示的工件W的前面E，此外圖1的後面攝影機部13攝影圖2所示的工件W的後面F時，可以確實地攝影面全體。
亦即，工件W由移載點4x移載至搬送台2而搬送時，於圖3之區間P工件是在被靜電吸附的狀態，以W2→W3→W4的方式迅速被加速至搬送台2的搬送速度，於區間Q工件的間隔例如成為W4與W5之間那樣地擴大。
此時，無振動部4與搬送台2之間有些許間隙，而且搬送台2的旋轉導致的搬送速度比無振動部4的搬送速度更大，所以工件W2在未被充分吸附於搬送台2的場合，在由無振動部4移載至搬送台2上的移載點4x的時間點，工件W2會發生微妙的跳起。在此場合，發生於工件W的跳躍在每個工件W上都有差異，使得加速後的搬送 台2上的工件W間隔產生差異。對此，根據本發明的話，工件W2充分被吸附於搬送台2，所以由無振動部4移載到搬送台2上的移載點4x的時間點，工件W2不會跳躍，而被固定於搬送台2上。因此，可以使加速後的工件W的間隔約略保持一定。
然而，在搬送台2的外緣部的移載點4x正上方，具有直線狀導引面7a的排列導件7與搬送台2之間設有些微的間隙。如前所述，於圖3中連結移載點4x與旋轉軸3的直線為虛線K時，排列導件7以導引面7a與虛線K的夾角α成為銳角的方式，而且於導引面7a位於移載點4x的下游方向的合流點7x以成為工件搬送圓弧5的接線的方式來設置。亦即，以虛線L來表示連結合流點7x與旋轉軸3的直線時，虛線L與導引面7a之夾角β為90°。因此，移載點4x對工件搬送圓弧5成為位在搬送台2的外緣部側。亦即，被移載於移載點4x的工件W的搬送方向(箭頭X)成為朝向導引面7a的方向，可以修正移載點4x之工件W的姿勢的微妙差異而使其為相同。
其次藉由圖9(a)、(b)說明排列導件7的排列作用。
此處，圖9(a)，顯示被移載至移載點4x的工件W2E1的姿勢，對於正確方向稍微朝向左的場合。移載點4x的位置對工件搬送圓弧5為搬送台2的外緣部側，於圖9(a)箭頭X所示的搬送台2的旋轉方向，成為與工件搬送圓弧5的軌跡相同的方向，工件W2E1的搬送方向為朝向導引面7a的方向。因此，工件W2E1如工件W2E2那樣在抵接於導 引面7a之後，被按壓於導引面7a。此時，工件W2E1以比與導引面7a之間作用的摩擦力更為強的力吸附於玻璃台2，所以即使在被按壓於導引面7a的狀態-下也可以不減速而以沿著導引面7a的形式搬送。
圖9(b)，顯示被移載至移載點4x的工件W2E3的姿勢，對於正確方向稍微朝向右的場合。在此場合，工件W2E3的搬送方向成為朝向導引面7a的方向，工件W2E3如工件W2E4那樣抵接於導引面7a之後，被按壓於導引面7a，如W2那樣以沿著導引面7a的形式被搬送。如此進行，藉由存在於搬送台2下面的電荷導致的吸附以及導引面7a的作用，使工件W的搬送台2上之間隔為約略一定，同時能夠以使對搬送方向的姿勢成為一定的方式達成精度佳的定位。
然而，如前所述，搬送台2的旋轉導致的搬送速度比線性給料器1及無振動部4導致的搬送速度更大，所以被定位的工件W於圖3之區間P在被靜電吸附的狀態係，以W2→W3→W4的方式迅速地被加速至搬送台2的旋轉導致的搬送速度，於區間Q工件的間隔例如W4與W5之間那樣變寬。接著，工件W5，與區間P同樣被按壓於導引面7a同時被搬送，逐漸接近工件搬送圓弧5。接著，導引面7a到達了接於工件搬送圓弧5的合流點7x之工件W6的搬送方向，於區間R一致於工件搬送圓弧5的方向，工件W6，被搬送於離開導引面7a的方向。亦即，對於搬送台2上的工件W6，作用著存在於搬送台2的下面的正的 電荷之靜電吸引力，所以工件W6在被吸附於搬送台2的狀態離開導引面7a，以後，以被載置排列於工件搬送圓弧5上的狀態被搬送。
此外，如前所述，於圖3在搬送台2的外緣部的移載點4x正上方，排列導件7與搬送台2設有些許的間隙。作為圖3之L線方向箭頭視圖，於圖16顯示此移載點4x附近的排列導件7與搬送台2。
於圖16，工件W2係由無振動部4移載至搬送台2上的移載點4x之後，藉由搬送台2的旋轉開始搬送之後的工件。如前所述，工件W2在被靜電吸附於搬送台2的上面的狀態下，以藉由排列導件7的排列作用沿著導引面7a的形式被搬送。在此場合，搬送台2藉由玻璃形成為圓形，起因於成形加工時的工作精度，搬送台2於外緣部附近具有微小的翹曲。這樣具有翹曲的搬送台2在排列導件7的下側具有些許間隙的狀態下旋轉的話，如圖16的虛線所示，排列導件7的下面7z與搬送台2的上面2s之間隙γ的尺寸會變動。此間隙γ的尺寸變動的話，特別是間隙γ變小時，由排列導件7的下面7z與搬送台2的上面2s之間的間隙γ朝向被載置於搬送台2的上面2s的工件W2由間隙噴射空氣，吹抵工件W2。此處，工件W2，如前所述藉由使搬送台2的下面帶正電，藉由搬送台2的下面產生的正的電荷的作用而被吸附於搬送台2的上面2s。
但是，由前述間隙γ噴射的空氣吹抵工件W2時，隨著當時被施加於工件W2的壓力不同而會使工件W2離開導 引面7a，或者有工件W2的姿勢變得不安定之虞。
為了防止此情形，於排列導件7設置把排列導件7的下面7z與搬送台2的上面2s之間形成的間隙γ予以抽真空的真空抽吸手段17、18。亦即，真空抽吸手段17、18具有真空源17、設於排列導件7內的抽吸通路18；其中抽吸通路18一端18a開口於間隙γ，另一端18b透過連接線17a連接於真空源17。
於圖16，藉由真空源17及抽吸通路18，排列導件7的下面7z與搬送台2的上面2s之間隙γ，在箭頭δ1、δ2、δ3的方向總是被抽真空。藉由此抽真空，搬送台2旋轉時及使前述間隙γ的尺寸有所變動，也使得由間隙朝向工件W2噴出空氣而不會吹抵工件W2。因此，工件W2以在搬送台2的上面2s安定地被靜電吸附的狀態被搬送。
此處，作為對圖16的比較圖，不具有真空抽吸手段17、18的排列導件70在與搬送台2之間設置為具有些許間隙的場合顯示於圖17。如在圖17以虛線所示，排列導件70的下面70z與搬送台2的上面2s的間隙γ的尺寸改變的話，特別是間隙γ的尺寸變小時，存在於間隙的空氣被壓縮，所以會朝向被載置於旋轉的搬送台2的上面2s的工件W2，由間隙朝向箭頭ε的方向噴射空氣而吹抵工件W2。藉由此空氣的壓力，工件W2離開導引面70a，所以即使搬送台2旋轉而工件W2到達圖3之合流點7x，工件W2也無法載置排列於圖3所示的工件搬送圓弧5上，無法達成本發明的目的之精度佳的工件定位。此外，即使 是空氣的壓力沒有大到使工件W2離開導引面70a的程度的場合，也因為在導引面70a附近工件W2的姿勢變得不安定，而終究無法達成本發明的目的之精度佳的工件的定位。
對此，根據本發明的話，排列導件7的下面7z與搬送台2的上面2s之間隙γ總是被抽真空，所以即使由間隙γ噴出空氣也不會吹抵工件W2，可以使工件W2在搬送台2上安定地排列。
工件W於圖3在被載置排列於工件搬送圓弧5上的狀態被搬送的話，其後工件W到達攝影手段20，藉由攝影手段20的側面攝影機部8、內面攝影機部9、上面攝影機部10、下面攝影機部11、前面攝影機部12、與後面攝影機部13，由圖2箭頭印A~F所示的方向攝影各面進行外觀檢查。在此場合，藉由存在於搬送台2的下面的電荷導致的吸附與導引面7的作用使得工件W的定位被精度佳地進行，所以提高根據攝影手段20之攝影精度。結束外觀檢查的工件W到達排出部14，因應於外觀檢查的結果朝向未圖示的收納箱排出。
於排出部14排出工件W的場合，例如可以對圖2之紙面前方的側面B由搬送台2的內周側噴出壓縮空氣，使工件W飛往搬送台2的外周側而導向收納箱。收納箱內的工件W，因為在搬送台2上存在於其下面的正的電荷的緣故而具有圖6(b)、圖7(b)所示的狀態，但是藉由遠離正電荷而回到圖6(a)、圖7(a)的狀態。其間，工件W自身不 會產生靜電導致的帶電。
如前所述，於本實施形態，使用靜電把工件W吸附於搬送台2，但藉由圖8(a)、(b)來說明不會因為靜電而使工件W引起靜電破壞或者產生特性劣化等。
圖8(a)顯示把工件W載置於搬送台2的上面使搬送台2的下面帶正電時，存在於搬送台2的下面的正的電荷所產生的電力線的模樣。如圖8(a)所示，電力線由正的電荷出發而結束於負的電荷。在此場合，負電荷被認為是存在於無限遠，所以電力線E1由存在於搬送台2的下面的正的電荷出發，貫通搬送台2與工件W而朝向上方。另外，雖然也存在著由該正的電荷出發而朝向下方或者左右的電力線，但是與本發明無關所以並未圖示。此時，於工件W的電極Wa及Wb藉由靜電感應，或者於本體Wd藉由介電分極，而於分別的下面呈現負的電荷，同時分別的上面呈現正的電荷。此時，電極Wa及Wb為導電體，於其上面有正的電荷聚集，於下面有負的電荷聚集。因此，藉由這些電荷於電極Wa及Wb的內部產生電力線E2。其方向係由存在於上面的正電荷出發而回到存在於下面的負電荷。
亦即，在電極Wa與Wb內電力線E1與E2相互為逆向所以彼此抵消，如圖8(b)所示於電極Wa與Wb內為不存在電力線的狀態。如此以電極Wa及Wb分斷的電力線於圖8(b)以E1’表示。在此狀態因為電極Wa及Wb內不存在電力線，所以電極Wa與電極Wb為同電位。亦即， 於電極Wa與電極Wb之間不施加電壓，不會引起工件的靜電破壞或者特性劣化。
然而，工件W由無振動部4移載至搬送台2的過渡狀態，可能會因為根據存在於搬送台2的下面的電荷之靜電感應而使工件W的電極Wa、Wb內的電荷移動於各電極內，同時電極Wa、Wb反覆進行與無振動部4及搬送台2之接觸或離開。這樣在電極Wa、Wb之接觸或離開時電極Wa、Wb內的電荷與外部之間移動的話，可能會引起放電導致的靜電破壞。在此場合，無振動部4係藉由與搬送台2同樣的絕緣體等具有高電阻值的材料來構成，所以不會在電極Wa、Wb之間產生電荷的移動。
又，於前述實施形態，顯示使搬送台2的下面帶正電之例，但因應必要使其帶負電亦可。此外，顯示搬送台2由玻璃製的材料所構成之例，但搬送台2的材料只要是透明即可，不限於玻璃。
第2實施形態
以下，藉由圖10至圖15說明本發明之第2實施形態。
圖10至圖15所示的本發明的第2實施形態，僅有替代在搬送台2的下方配置帶電手段6A，而在搬送台2的下方配置了導電板(導體)15這一點有所不同，其他構成與圖1至圖9所示的第1實施形態約略相同。
於圖10至圖15所示的第2實施形態，與圖1至圖9 所示之第1實施形態相同的部分賦予同一符號省略詳細的說明。
此處，圖10係於圖1由箭頭Y的方向來看以虛線包圍的區域S的透視圖，對應於圖4。於圖10在搬送台2的下側，替代圖4之由電離器6所構成的帶電手段6A，而把導體所構成的導電板15配置為與搬送台2的下面只隔著非常少的間隙。導電板15成平面形狀，如圖12所示，其表面15a約略平行於搬送台2。此外，於導電板15被連接直流電源16而被施加直流電壓，構成電場發生手段。藉由圖11顯示導電板15的配置處所。圖11係顯示圖1的虛線所包圍的區域S的擴大平面圖，對應於圖3。於圖11，導電板15細長狀地延伸於水平方向，在對應於由移載點4x到工件W的搬送台2上之工件搬送圓弧5以及排列導件7的導引面7a之搬送台2的下側，以常邊方向沿著工件W的工件搬送圓弧5的方式配置。
其次，以下藉由圖10至圖15說明本發明的第2實施形態之作用。
於圖11，藉由線性給料器1的振動而以一列搬送的工件W，被移載至搬送台2上的移載點4x，藉由根據被連接於直流電源16的導電板15所產生的電荷的作用導致的靜電感應以及介電分極而被吸附於搬送台2的上面。
此吸附作用的模樣顯示於圖12。於圖12，導電板15被配置為與搬送台2的下面只隔著很少的間隙，於導電板15被連接著直流電源16被施加正的直流電壓。因此，於 導電板15呈現正的電荷。
藉由此正的電荷的作用與圖5同樣引起介電分極，對向於導電板15的搬送台2的內部之中於下面側呈現負的電荷，於上面側呈現正的電荷。此外，同樣地，由無振動部4移載到搬送台2上的移載點4x的工件W2，藉由電極Wa及Wb的靜電感應，此外藉由在本體Wd之介電分極，於分別的下面側呈現負的電荷，於上面側呈現正的電荷。
接著，在電極Wa、Wb及本體Wd的下面側呈現的負電荷與導電板15的正電荷之間，有箭頭所示的靜電吸引力G作用，藉此工件W2在被吸附於搬送台2的上面的狀態藉由搬送台2的旋轉而被搬送於箭頭X的方向。
在此場合，與圖8(a)、(b)所示的第1實施形態同樣，於工件W自身不產生靜電導致的帶電，所以工件W不會引起靜電破壞或者產生特性劣化。
又，於前述實施形態的說明，說明了導電板15的面約略平行於搬送台2的面的情形，但導電板15之面與搬送台2之面的位置關係並不限於此。圖11之L方向箭頭視圖擴大圖顯示於圖13，於圖13中顯示由導電板15的正的電荷出發的電力線的模樣。
如圖13所示，藉由電力線貫通搬送台2及工件W引起靜電感應以及介電分極，於工件W的下面產生負電荷，於工件W的上面產生正電荷。此處，為了簡單，藉由介電分極而在搬送台2內產生的電荷並未圖示。
如圖13所示，從導電板15上的正電荷出發的電力線 之中，存在於導電板15的端面15x附近的由正電荷出發者(圖中的Ex)，具有朝向電荷不存在之側，亦即朝向導電板15的外側彎曲的性質。因此，替代圖13所示的構成，而如圖14那樣使導電板15以其表面15a與搬送台2成為約略直角的方式來配置亦可。在此場合，導電板15細長狀延伸於水平方向，於對應排列導件7的導引面7a的搬送台2的下側，以長邊方向成為約略平行於工件W的工件搬送圓弧5的方式配置。
於圖14，從導電板15的正的電荷出發的電力線之中由端面15x附近的正電荷出發的電力線貫通搬送台2及工件W。因此，與圖13所示的場合同樣，藉由靜電感應及介電分極而在工件W的下面產生負的電荷，於工件W的上面產生正電荷。
進而，如圖15所示，設置具有L字形狀的剖面的導電板15亦可。此場合，導電板15之交叉的2表面15b、15c之中，以使表面15b約略正交於搬送台2的方式配置，以使表面15c約略平行於搬送台2的方式配置亦可。在此場合，導電體15細長狀延伸於水平方向，於對應排列導件7的導引面7a的搬送台2的下側，以長邊方向成為約略平行於工件W的工件搬送圓弧5的方式配置。
於圖15，電力線彼此有不相交的性質，所以從導電板15的正的電荷出發的電力線之中由存在於端面15x附近的正電荷出發的電力線貫通搬送台2及工件W。因此，與圖13同樣，藉由靜電感應及介電分極而在工件W的下面產 生負的電荷，於工件W的上面產生正電荷。
又，於前述第2實施形態的說明，顯示使導電板15帶正電之例，但因應必要使其帶負電亦可。
1‧‧‧線性給料器
2‧‧‧搬送台
3‧‧‧搬送台之中心軸
4‧‧‧無振動部
4x‧‧‧移載點
5‧‧‧工件搬送圓弧
6‧‧‧電離器
6A‧‧‧帶電手段
7‧‧‧排列導件
7a‧‧‧導引面
7x‧‧‧合流點
8‧‧‧側面攝影機部
9‧‧‧內面攝影機部
10‧‧‧上面攝影機部
11‧‧‧下面攝影機部
12‧‧‧前面攝影機部
13‧‧‧後面攝影機部
14‧‧‧排出部
15‧‧‧導電板
17‧‧‧真空源
17a‧‧‧連結線
18‧‧‧抽吸通路
18a‧‧‧抽吸通路之一端
18b‧‧‧抽吸通路之另一端
20‧‧‧攝影手段
21‧‧‧移載排列手段
30‧‧‧工件的外觀檢查裝置
W‧‧‧工件
Wa、Wb‧‧‧工件的電極
Wd‧‧‧工件本體
圖1係根據本發明的第1實施形態之工件的外觀檢查裝置之平面圖。
圖2係顯示工件之立體圖。
圖3係顯示圖1的區域S之擴大平面圖。
圖4係由箭頭Y方向來看圖1的區域S之透視圖。
圖5係顯示本發明的第1實施形態的工件之往搬送台的吸附之模式圖。
圖6(a)及圖6(b)係顯示本發明的第1實施形態之靜電感應的原理之說明圖。
圖7(a)及圖7(b)係顯示本發明的第1實施形態之感應分極的原理之說明圖。
圖8(a)及圖8(b)係顯示本發明的第1實施形態之電力線之說明圖。
圖9(a)及圖9(b)係顯示本發明的第1實施形態之排列導件的作用說明圖。
圖10係根據本發明的第2實施形態之工件的外觀檢查裝置的透視圖，係對應於第1實施形態之圖4之圖。
圖11係根據本發明的第2實施形態之工件的外觀檢查裝置之擴大平面圖。
圖12係顯示本發明的第2實施形態的工件之往搬送台的吸附之模式圖。
圖13係顯示本發明之第2實施形態電力線之說明圖。
圖14係顯示本發明之第2實施形態電力線之說明圖。
圖15係顯示本發明之第2實施形態電力線之說明圖。
圖16係顯示被設於排列導件的真空抽吸手段之圖，圖3之L線方向箭頭視圖。
圖17係顯示排列導件與搬送台之關係之與圖16相同的方向所見之圖。
1‧‧‧線性給料器
2‧‧‧搬送台
4‧‧‧無振動部
4x‧‧‧移載點
5‧‧‧工件搬送圓弧
7‧‧‧排列導件
7a‧‧‧導引面
7x‧‧‧合流點
W0~W9‧‧‧工件
K，L‧‧‧虛線
α，β‧‧‧夾角
P，Q，R‧‧‧區間
N，X‧‧‧箭頭
21‧‧‧移載排列手段

Claims (8)

  1. 一種工件的外觀檢查裝置，其特徵為具備：搬送6面體形狀的工件之線性給料器，工件於移載點由線性給料器移載，在載置此工件的狀態下在工件搬送圓弧上進行搬送的透明體所構成的自由旋轉的圓形搬送台，被配設於線性給料器與搬送台之間，把來自線性給料器之工件移載至搬送台上使其排列的移載排列手段，被配置於搬送台下方，保持被載置於搬送台的工件的保持手段，以及攝影搬送台上的工件的6面之攝影手段；移載排列手段具有被設於線性給料器與搬送台之間的無振動部，及設於無振動部的下游側，由排列工件的平面俯視具有直線狀的導引面的排列導件；排列導件的導引面，在平面上，對連結移載點與搬送台的旋轉軸之直線成銳角，且於移載點的下游形成工件搬送圓弧的接線，排列導件位於搬送台上，同時於排列導件設置把排列導件與搬送台之間的間隙抽真空的真空抽吸手段。
  2. 如申請專利範圍第1項之工件的外觀檢查裝置，其中真空抽吸手段具有真空源、以及被設於排列導件，一端開口於搬送台與排列導件之間的間隙，另一端連通於真空源的抽吸通路。
  3. 如申請專利範圍第1項之工件的外觀檢查裝置，其中圓形搬送台，係由透明的玻璃體所構成。
  4. 如申請專利範圍第1項之工件的外觀檢查裝置，其中保持手段係由朝向搬送台的下面噴出帶電離子而使搬送台下面帶電的帶電手段所構成。
  5. 如申請專利範圍第1項之工件的外觀檢查裝置，其中保持手段係由被配置於搬送台的下方的導體所構成，對此導體施加直流電壓產生電場。
  6. 如申請專利範圍第1項之工件的外觀檢查裝置，其中根據搬送台的工件的搬送速度，比根據線性給料器的工件的搬送速度更大。
  7. 如申請專利範圍第1項之工件的外觀檢查裝置，其中排列導件的導引面，於平面俯視，對連結移載點與搬送台的直線，形成75度~88度的銳角。
  8. 一種工件的外觀檢查方法，其特徵為：係使用申請專利範圍第1項之工件的外觀檢查裝置的工件的外觀檢查方法，具備：藉由線性給料器搬送6面體形狀的工件之步驟，使來自線性給料器的工件經過無振動部及排列導件移 載至圓形搬送台上的移載點，同時藉由排列導件的導引面使工件排列的步驟，藉由保持手段保持被載置於搬送台的工件的狀態下，使工件在搬送台的工件搬送圓弧上進行搬送的步驟，以及藉由攝影手段攝影搬送台上的工件的6面的步驟。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104007124A (zh) * 2014-04-29 2014-08-27 雄华机械(苏州)有限公司 一种带止回组件的外观检查设备
TWI814542B (zh) * 2022-08-17 2023-09-01 產台股份有限公司 工件外觀檢查機之整列裝置

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6344031B2 (ja) * 2014-04-21 2018-06-20 シンフォニアテクノロジー株式会社 パーツフィーダ用画像処理装置およびパーツフィーダ
JP6529170B2 (ja) * 2015-08-26 2019-06-12 株式会社 東京ウエルズ ワークの外観検査装置およびワークの外観検査方法
CN106018422B (zh) * 2016-07-13 2018-09-18 河北工业大学 基于匹配的异形冲压件轮廓缺陷视觉检测系统及方法
CN107777298A (zh) * 2017-08-09 2018-03-09 珠海市奥德维科技有限公司 微小产品导正机构及使用其的外观视觉检测设备
JP7205846B2 (ja) * 2017-11-07 2023-01-17 株式会社 東京ウエルズ 搬送装置、搬送方法、及び外観検査装置
CN108015016A (zh) * 2017-12-22 2018-05-11 珠海市奥德维科技有限公司 Nr磁芯外观六面分拣设备
CN107838056A (zh) * 2017-12-22 2018-03-27 珠海市奥德维科技有限公司 电容六面体检查机
JP7244823B2 (ja) * 2019-01-15 2023-03-23 株式会社ダイシン 搬送管理システム及び搬送装置
JPWO2023127315A1 (zh) * 2021-12-27 2023-07-06

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3690257B2 (ja) * 2000-08-28 2005-08-31 株式会社村田製作所 チップ部品の搬送装置
CN1968876B (zh) * 2004-04-13 2012-10-31 Tdk株式会社 片式部件搬送装置以及外观检查装置
JP2008105811A (ja) * 2006-10-26 2008-05-08 Ishikawa Seisakusho Ltd ワークの外観検査装置
CN102079448B (zh) * 2009-11-27 2013-09-04 东京威尔斯股份有限公司 工件的外观检查装置以及工件的外观检查方法
JP5598912B2 (ja) * 2009-11-27 2014-10-01 株式会社 東京ウエルズ ワークの外観検査装置およびワークの外観検査方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104007124A (zh) * 2014-04-29 2014-08-27 雄华机械(苏州)有限公司 一种带止回组件的外观检查设备
CN104007124B (zh) * 2014-04-29 2017-01-25 雄华机械(苏州)有限公司 一种带止回组件的外观检查设备
TWI814542B (zh) * 2022-08-17 2023-09-01 產台股份有限公司 工件外觀檢查機之整列裝置

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