CN103204375A - 工件的外观检查装置及工件的外观检查方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够在输送台上正确地将工件定位且不会产生对于工件的静电破坏和/或特性劣化的工件的外观检查装置和工件的外观检查方法。工件的外观检查装置，具备：输送六面体形状的工件的直线进给器；移载并输送来自直线进给器的工件的输送台；移载整列单元，其将来自直线进给器的工件移载到输送台上并使其整列；带电单元，其使输送台的下表面带电以保持工件；和拍摄工件的六个面的拍摄单元。移载整列单元具有：位于直线进给器与输送台之间的无振动部；和使工件整列的整列导引体。整列导引体包括俯视呈直线状的导引面。设有对输送台和整列导引体之间的间隙抽真空的抽真空单元。

Description

工件的外观检查装置及工件的外观检查方法

技术领域

本发明涉及一边输送六面体的工件一边拍摄该工件的六面体的工件外观检查装置及工件的外观检查方法。

背景技术

一直以来，作为六面体形状的电阻和/或电容器等芯片形电子部件（以下称为“工件”）的外观检查装置，已知如下的装置：在由玻璃等透明体构成的输送台上载置工件，一边使输送台旋转来输送工件一边通过相机等拍摄单元来拍摄各面以进行外观检查。

该情况下，外观检查装置的工件输送台通过静电来静电吸附工件以进行输送。

即、首先在通过振动来整列输送工件的直线进给器上使工件带电，将该工件载置于输送台上并输送直至预定的作业位置，并且使输送台的工件载置面与工件反极性地带电，而在该处静电吸附工件（参照专利文献1）。

现有技术文献

专利文献1：日本特开第2008－260594号公报。

但是，在现有的工件外观检查装置中存在以下的问题。

第一个问题是，难以进行将工件从直线进给器移载到输送台时的定位。输送台上的工件在输送方向上具有两个面、在上下方向上具有两个面、在输送方向的左右具有两个面，总计具有六个面。为了拍摄这六个面，需要使用固定了的拍摄单元来高精度地拍摄这六个面。然而，不限于在将直线进给器上的工件移载到输送台时将工件按一定的朝向上移载，而移载后通过静电吸附来固定工件的姿势，因此有可能在拍摄时各工件的姿势产生微小的差异导致拍摄精度下降。

此外，由于在直线进给器内一边输送工件一边使工件带电，因此有可能在输送中通过静电的吸附作用将工件吸附于直线进给器，导致输送速度下降，最糟糕的情况是工件停止。

第二个问题是，工件移载后的静电吸附力下降。输送台的工件载置面与工件反极性地带电，因此即使在刚要进行工件移载之前确保了足够的吸附力，但如果由于工件移载而使工件移载面和工件接触，则在接触点处电荷中和而使其总量减少。因此，作用于被载置在输送台上的工件的静电吸附力下降。

此外，在使输送台的工件载置面带电的情况下，从设置于输送台上表面的电离器向工件喷射与工件所带电荷反极性的电荷。因此，有时会将刚要移载到输送台之前的工件的电荷的一部分中和掉，该情况下，作用于被载置在工作台上的工件的静电吸附力下降。

第三个问题是，静电对工件的影响。在由于上述的工件移载、工件载置面和工件接触时，伴随电荷的移动进行电荷的中和，因此有可能出现工件的静电破坏或特性劣化等。

发明内容

本发明是考虑这些问题而研制的，其目的是提供能够在将工件从直线进给器移载到输送台时高精度地进行定位、且工件移载后的静电吸附力不会下降、没有静电对工件的影响的外观检查装置及工件的外观检查方法。

本发明的工件的外观检查装置，其特征在于，具备：输送六面体形状的工件的直线进给器；输送台，其为圆形由透明体构成、旋转自如，工件从直线进给器被移载到移载点，该输送台在载置了该工件的状态下将工件在工件输送圆弧上输送；移载整列单元，其配设在直线进给器与输送台之间，使来自直线进给器的工件移载到输送台上并整列；保持单元，其配置于输送台下方，保持被载置在输送台上的工件；和拍摄单元，其拍摄输送台上的工件的六个面，移载整列单元具有：无振动部，其设置于直线进给器与输送台之间；和整列导引体，其设置于无振动部的下游侧，从整列工件的平面观察具有直线状的导引面，整列导引体的导引面，在平面上相对于将移载点和输送台的转轴连接的直线呈锐角，且在移载点的下游形成工件输送圆弧的切线，整列导引体位于输送台上，并且在整列导引体设有对整列导引体和输送台之间的间隙抽真空的抽真空单元。

本发明的工件的外观检查装置，其特征在于，抽真空单元具有：真空源；和吸引通路，其一端向输送台与整列导引体之间的间隙开口，另一端与真空源连通。

本发明的工件的外观检查装置，其特征在于，圆形输送台由透明的玻璃体构成。

本发明的工件的外观检查装置，其特征在于，保持单元包括带电单元，该带电单元向输送台的下表面喷出带电离子使输送台下表面带电。

本发明的工件的外观检查装置，其特征在于，保持单元由在输送台下方配置的导体构成，向该导体施加直流电压而产生电场。

本发明的工件的外观检查装置，其特征在于，输送台的工件的输送速度比直线进给器的工件的输送速度大。

本发明的工件的外观检查装置，其特征在于，整列导引体的导引面，在平面上相对于将移载点和输送台连接的直线形成75度~88度的锐角。

本发明的工件的外观检查方法，使用权利要求1记载的工件的外观检查装置，其特征在于，包括：通过直线进给器输送六面体形状的工件的工序；将来自直线进给器的工件经由无振动部和整列导引体而移载到圆形输送台上的移载点，并且通过整列导引体的导引面使工件整列的工序；在由保持单元保持了被载置于输送台上的工件的状态下，将工件在输送台的工件输送圆弧上输送的工序；和通过拍摄单元拍摄输送台上的工件的六个面的工序。

根据本发明，通过由配置于输送台下表面的保持单元来保持载置于上表面的工件，在将工件从直线进给器移载到输送台时，使用保持单元所进行的保持和整列导引体将工件在输送台上的间隔大体设为一定，一并使其相对于输送方向的姿势为一定，从而能够对于工件进行高精度的定位。因此，拍摄单元的拍摄精度提高，能够进行高精度的外观检查。此外，由于不使工件和/或输送台的工件载置面带电，而由配置于输送台下表面的保持单元来保持工件，因此在工件向输送台移载了后不会因电荷的中和而使静电吸附力下降。因此，外观检查装置的处理能力提高，再有，不使工件带电，因此能够消除对工件的静电破坏和/或特性劣化等不良影响。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式涉及的工件外观检查装置的俯视图。

图2是表示工件的立体图。

图3是表示图1的区域S的放大俯视图。

图4是从箭头Y的方向观察图1的区域S的透视图。

图5是表示本发明的第一实施方式中向输送台吸附工件的示意图。

图6（a）及图6（b）是表示本发明的第一实施方式中的静电感应的原理的说明图。

图7（a）及图7（b）是表示本发明的第一实施方式中的电介质极化的原理的说明图。

图8（a）及图8（b）是本发明的第一实施方式中的电力线的说明图。

图9（a）及图9（b）是本发明的第一实施方式中的整列导引体的作用说明图。

图10是本发明的第二实施方式涉及的工件的外观检查装置的透视图，且是与第一实施方式中的图4相对应的图。

图11是本发明的第二实施方式涉及的工件的外观检查装置的放大俯视图。

图12是表示本发明的第二实施方式中向输送台吸附工件的示意图。

图13是本发明的第二实施方式中的电力线的说明图。

图14是本发明的第二实施方式中的电力线的说明图。

图15是本发明的第二实施方式中的电力线的说明图。

图16是表示设置于整列导引体的真空吸附单元的图，是图3的L线方向视图。

图17是表示整列导引体与输送台的关系的从与图16同样的方向观察的图。

附图标记说明：

1  直线进给器；          2  输送台；           3  输送台的中心轴；

4  无振动部；            4x  移载点；          5  工件输送圆弧；

6  电离器；              6A  带电单元；        7  整列导引体；

7a  导引面；             7x  合流点；          8  侧面相机部；

9  内表面相机部；            10  上表面相机部；

11  下表面相机部；           12  前表面相机部；

13  后表面相机部；           14  排出部；

15  导电板；       17  真空源；          17a  连接线；

18  吸引通路；     18a  吸引通路的一端；

18b  吸引通路的另一端；      20  拍摄单元；

21  移载整列单元；           30  工件的外观检查装置；

W  工件；   Wa、Wb  工件的电极；   Wd  工件的主体

具体实施方式

第一实施方式

下面，参照附图来说明本发明的实施方式。图1至图9是表示本发明涉及的工件的外观检查装置及工件的外观检查方法的第一实施方式的图。

首先，通过图2来说明由工件的外观检查装置检查的工件。

在图2中，电容和/或电阻等成为芯片部件的工件W，呈六面体形状，具有由绝缘体构成的主体Wd和在主体Wd的较长方向两端部形成的由导电体构成的电极Wa、Wb。在进行该工件W的外观检查的情况下，在后述的输送台2上载置工件W，使输送台2向图2中的箭头Z的方向旋转来输送工件W。而且，由拍摄单元20从箭头A的方向拍摄纸面相反侧的侧面，从箭头B的方向拍摄纸面跟前的侧面，从箭头C的方向拍摄上表面，从箭头D的方向拍摄下表面，从箭头E的方向拍摄前表面，从箭头F的方向拍摄后表面。此时，通过使用玻璃制的透明输送台2，可在载置了工件W的状态下拍摄上述工件W的全部六个面。

其次，说明工件的外观检查装置。如图1及图3所示，工件的外观检查装置30具备：输送工件W的直线进给器1；从直线进给器1将工件W移载到移载点4x，在载置了该工件W的状态下在工件输送圆弧5上输送的由透明体构成的圆形输送台2；将来自直线进给器1的工件W移载到输送台2上而使其整列的移载整列单元21；配置于输送台2的下方且使输送台2下表面带电而保持被载置于输送台2上的工件W的、作为保持单元发挥功能的带电单元6A；和拍摄输送台2上的工件W的六个面的拍摄单元20。

其中，移载整列单元21具有设于直线进给器1与输送台2之间的无振动部4和设于无振动部4的下游侧的将工件W整列的整列导引体7，整列导引体7包括用于将工件W整列的导引面7a。该导引面7a从俯视观察（从上方观察）呈直线状。

此外，拍摄单元20如后述那样具有：侧面相机部8、内表面相机部9、上表面相机部10、下表面相机部11、前表面相机部12和后表面相机部13。

其次，进一步通过图1至图4来说明工件的外观检查装置30的各构成部分。

在此，图1是以图2所示的形状的工件W为对象的工件的外观检查装置的俯视图，图3是图1的由虚线包围的区域S的放大俯视图，图4是从箭头Y的方向观察图1中区域S的透视图。

在图1中，直线状的直线进给器1通过未图示的驱动源而振动，将投入到位于直线进给器1的上游侧的未图示的送料器中的工件W整列成一列、通过振动向箭头N的方向输送工件W。

设于直线进给器1下方的输送台2为透明的玻璃制、水平地设置，通过未图示的驱动源以转轴3为中心而绕顺时针方向（图1的箭头X方向）旋转。如图4所示，直线进给器1朝向输送台2稍有倾斜地下降，在其下游端具有与直线进给器1同等的倾斜且不振动的无振动部4，与输送台2具有微小间隙地连接。这样，工件W从直线进给器1经由无振动部4逐渐下降而被移载到输送台2。

在输送台2的上表面的外缘部附近，如图1中的单点划线所示，作为以转轴3为中心的圆弧而形成有工件输送圆弧5，工件W在从无振动部4被移载到输送台2后，通过后述的整列导引体7的作用而在工件输送圆弧5上被整列。在此，工件输送圆弧5是为了将工件W整列而假定的目标位置，在输送台2的上表面没有标注能够通过目视来识别工件输送圆弧5的任何标记。

此外，带电单元6A作为保持被载置于输送台2上的工件W的保持单元发挥功能。该带电单元6A由设置于无振动部4的位置的稍靠跟前处的电离器6构成，该电离器6设于输送台2的正下方向输送台2的下表面喷出正离子（以下简称为“电荷”）以使输送台2的下表面带正电。

再有，上述各构成部分中，由无振动部4和具有导引面7a的导引体7构成移载整列单元21。

另外，在图3中，具有直线状的导引面7a的整列导引体7，与输送台2具有微小间隙地设置于输送台2的外缘部侧的正上方。在图3中，将连接移载点4x和输送台2的转轴3的直线表示为虚线K。

如图3所示，整列导引体7设置成，导引面7a和虚线K所成的角α为75度~88度的锐角，且导引面7a在位于比移载点4x靠工件W的输送方向下游的工件输送圆弧5的合流点7x处成为工件输送圆弧5的切线。即、在将连接合流点7x和输送台2的转轴3的直线用虚线L表示时，虚线L和导引面7a所成的角β为90°。

此外，如图1所示，在无振动部4的下游侧，沿输送台2的旋转方向设有构成拍摄单元20的侧面相机部8、内表面相机部9、上表面相机部10、下表面相机部11、前表面相机部12和后表面相机部13。能够通过该拍摄单元20，对工件输送圆弧5上的工件W分别拍摄图2中箭头A~F所示的工件W的各面以进行外观检查。此时，图2中箭头Z表示的工件W的输送方向与图1中的输送台2的旋转方向X一致。

具体地，对工件W，侧面相机部8拍摄纸面相反侧的侧面A，内表面相机部9拍摄纸面跟前的侧面B，上表面相机部10拍摄上表面C，下表面相机部11拍摄下表面D，前表面相机部12拍摄前表面E，后表面相机部13拍摄后表面F。

再有，如图1所示，在从拍摄单元10靠输送台2的旋转方向的下游侧设有作为排出单元的排出部14。已结束了外观检查的工件W，与外观检查的结果相对应地由排出部14从工件输送圆弧上排出到未图示的收置箱中。

其次，详细说明使用具有该构成的工件的外观检查装置的工件的外观检查方法。

在图1中，工件W被投入到位于直线进给器1的上游侧的未图示的送料器，已投入送料器中的工件W通过利用未图示的驱动源而振动的直线进给器1的作用而整列为一列，向图1的箭头N的方向被顺序输送。此时，将工件W整列以使较长方向与输送方向一致，图2中的箭头Z成为工件W的输送方向。即、图2中的箭头Z的方向与图1中的箭头N的方向一致。

其次，通过图4来详述直线进给器1的作用。图4是表示由直线进给器1输送的工件W的情况的图，是从箭头Y的方向观察图1中由虚线包围的区域S的透视图。为了便于观察输送台2上的工件W的情况，图4成为用虚线表示整列导引体7的位置的透视图。此外，对于工件W，将每个构成部分上的工件表示为工件W₀～W₆，在任何地点都将一般的工件表示为工件W。

如图4所示，直线进给器1朝向在其下方位置水平的输送台2稍有倾斜，由于直线进给器1的振动而被后继的工件W推压而前进的工件W，如W₀表示那样在前后方向上连续地朝向输送台2一点一点地下降。直线进给器1振动，因此如果在将工件W从直线进给器1移载到输送台2时使直线进给器1接近直至输送台2的正上位置，则直线进给器1和输送台2有可能抵接。为防止该情况，在直线进给器1的下游端与输送台2之间，设有不振动的无振动部4。

此外，也要考虑到由于直线进给器1的振动的波动而导致在直线进给器1中产生工件W的输送速度的波动，通过在直线进给器1与输送台2之间存在无振动部4，能够使该输送速度均匀化。

然而，无振动部4具有与直线进给器1同等的倾斜，在与输送台2的上表面之间具有微小的间隙。无振动部4上的工件W与直线进给器1同样地由后继的工件推压而前进，如W₀所示那样前后连续地朝向输送台2一点一点地下降。

而且，到达了无振动部4的下游端的工件W₁被位于正后的工件W₀推压，而被移载到输送台2上的移载点4x，以后通过输送台2的旋转而向图4的箭头X的方向被输送。在此，如果无振动部4的长度过短、则难以使输送速度均匀化，反之，如果该长度过长则工件W有可能在中途停止。在本发明的实施方式中，无振动部4的长度为工件的较长方向的尺寸的8倍，能够不使工件W停止地实现工件W的输送速度的均匀化。

再有，如上述那样在输送台2的下侧设置有电离器6，该电离器6朝输送台2的下表面喷出正电荷而使输送台2的下表面带正电。在图4中，将该正电荷示意地用＋表示。通过如上述那样使输送台2的下表面带正电，将被移载到了移载点4x的工件W吸附在输送台2的上表面。

其次，通过图5至图7来说明输送台2上的工件W的吸附作用。

其中，图6（a）、（b）是表示静电感应的原理的说明图。在图6（a）中，示出了工件W的较长方向的一个端部的电极Wa。电极Wa由导电体构成，在通常状态下，如图6（a）所示，在其内部在随机位置存在由“＋”表示的正电荷和由“﹣”表示的负电荷。在图6（b）示出了正电荷从左方接近了该电极Wa时的状况。

在此，使带有正电荷的带电体接近T。此时，电极Wa内的负电荷被带电体T内的正电荷吸引，负电荷集中于靠近带电体T的电极Wa的左面WaL侧。此外，电极Wa内的正电荷与带电体T内的正电荷相斥，集中于离带电体T远的电极Wa的右面WaR侧。此时，在左面WaL侧出现负电荷，在右面WaR侧出现正电荷。再有，电极Wa由带电体构成，内部的电荷能够自由移动，因此，在图6（b）中，电荷不会存在于电极Wa的左面WaL与右面WaR之间的部分。将该现象称为静电感应。

此外，通过静电感应，在集中于电极Wa的左面WaL侧的负电荷与带电体T内的正电荷之间作用图6（b）中箭头G所示的引力。因此，电极Wa被带电体T吸引。如果带电体T从电极Wa远离，则电极Wa内的电荷再次回到图6（a）的状态。对于电极Wb也同样。

图7（a）、（b）是表示电介质极化的原理的说明图。其中，图7（a）示出工件W的位于较长方向中央部的主体Wd。主体Wd是绝缘体，在通常状态下，如图7（a）所示，其内部在随机位置存在将由“＋”表示的正电荷和由“﹣”表示的负电荷为一组而成的分子（虚线的椭圆）。

在图7（b）中示出了正电荷从左方接近了该主体Wd时的状况。这里，使带正电荷的带电体T接近。此时，主体Wd内的负电荷被带电体T内的正电荷吸引，并且主体Wd内的正电荷与带电体T内的正电荷相斥。因此，主体Wd内的分子的朝向整列为，接近带电体T的主体Wd的左面WdL侧为负电荷，从带电体T远离的主体Wd的右面WdR侧为正电荷。

如图7（b）所示，在主体Wd的左面WdL侧出现负电荷，在右面WdR侧出现正电荷。再有，主体Wd为绝缘体，因此内部的电荷不能自由移动，在左面WdL与右面WdR之间分子按一定方向整列。将该现象称为电介质极化。此外，通过电介质极化，在出现于主体Wd的左面WaL侧的负电荷与带电体T内的正电荷之间作用图7（b）中箭头G所示的引力。因此，主体Wd被带电体T吸引。如果带电体T从主体Wd远离，则主体Wd内的电荷再次回到图7（a）的状态。

其次，通过图5来表示被移载到移载到4x的工件W，通过静电感应和电介质极化而被吸附于输送台2的上表面的状况。在图5中，输送台2的下表面通过电离器6的作用而带正电。作为输送台2的材质的玻璃是绝缘体，因此由于在输送台2的下表面存在的正电荷而发生上述电介质极化，在输送台2的内部中，在下表面侧出现负电荷，在上表面侧出现正电荷。此外，同样地，对于从无振动部4被移载到输送台2上的移载点4x的工件W₂，在电极Wa及Wb通过静电感应，另外在主体Wd通过电介质极化，分别在下表面侧出现负电荷，在上表面侧出现正电荷。

在图5中，在电极Wa及Wb及主体Wd的下表面侧出现的负电荷与在输送台2的下表面存在的正电荷之间，作用箭头所示的静电吸附力G，从而工件W₂被吸附在输送台2的上表面。此时，仅通过在工件W₂的下表面及输送台2的下表面通过静电感应或电介质极化而出现电荷，就不会发生电荷的移动所导致的带电。因此，在吸附时不会发生电荷的中和，吸附后吸附力也不会下降。这样，工件W₂在被吸附于输送台2的上表面的状态下、通过输送台2的旋转而向箭头X的方向被输送。

其次，从无振动部4被移载到输送台2上的移载点4x的工件W作为工件W₂示出，在被吸附于输送台2的状态下通过输送台2的旋转而向箭头X的方向被输送。

该情况下，输送台2的旋转所产生的输送速度比直线进给器1及无振动部4所产生的输送速度大，在输送台2上的工件间（例如W₂和W₃之间）具有间隔。通过如上述那样在输送台2上的工件间具有间隔，在图1的前表面相机部12拍摄图2所示的工件W的前表面E、图1的后表面相机部13拍摄图2所示的工件W的后表面F时，能够可靠地拍摄整个面。

即、如果工件W从移载点4x被移载到输送台2而被输送，则在工件W被静电吸附在图3中的区间P中的状态下，如W₂→W₃→W₄那样迅速地加速直到输送台2的输送速度，在区间Q中工件的间隔扩展得例如W₄与W₅之间那样。

此时，无振动部4与输送台2之间存在微小的间隙、并且输送台2的旋转所产生的输送速度比无振动部4所产生的输送速度大，因此在工件W₂没有充分被吸附于输送台2的情况下，有时在从无振动部4被移载到输送台2上的移载点4x的时间点工件W₂会发生微小的跳跃。该情况下，由于在工件W产生的跳跃按每个工件W而波动，因此在加速后的输送台2上的工件W的间隔发生波动。相对于此，根据本发明，由于工件W₂充分地被吸附于输送台2上，因此在从无振动部4被移载到输送台2上的移载点4x的时间点工件W₂不会发生跳跃，而是被固定于输送台2上。因此，能够将加速后的工件W的间隔大体保持一定。

然而，在输送台2的外缘部的移载点4x正上方，具有直线状导引面7a的整列导引体7与输送台2具有微小间隙地设置。如上所述，在图3中，在将连接移载点4x和转轴3的直线设为虚线K时，整列导引体7设置成，导引面7a与虚线K所成的角α为锐角，并且导引面7a在位于移载点4x的下游方向的合流点7x处成为工件输送圆弧5的切线。即、在用虚线L表示连接合流点7x和转轴3的直线时，虚线L和导引面7a所成的角β为90°。因此，移载点4x相对于工件输送圆弧5位于输送台2的外缘部侧。因此，被移载到移载点4x的工件W的输送方向（箭头X）成为朝向导引面7a的方向，能够校正移载点4x处的工件W的姿势的微小差异使其相同。

其次，用图9（a）、（b）来说明整列导引体7所产生的整列作用。

在此，图9（a）示出了被移载到移载点4x的工件W_2E1的姿势相对于正确的方向稍偏左的情况。移载点4x的位置相对于工件输送圆弧5为输送台2的外缘部侧，在图9（a）中由箭头X表示的输送台2的旋转方向成为与工件输送圆弧5的轨迹相同的方向，工件W_2E1的输送方向成为朝向导引面7a的方向。因此，工件W_2E1在如工件W_2E2那样抵接于导引面7a后，由导引面7a推压。此时，工件W_2E1以比在与导引面7a之间作用的摩擦力强的力被吸附于玻璃台2上，因此即使在被导引面7a推压的状态下也不减速地以沿导引面7a的形状被输送。

图9（b）示出了被移载到移载点4x的工件W_2E3的姿势相对于正确的方向稍偏右的情况。该情况下，工件W_2E3的输送方向也成为朝向导引面7a的方向，工件W_2E3在如工件W_2E4那样抵接于导引面7a后，被导引面7a推压，如W₂那样以沿导引面7a的形状被输送。通过如上述那样由在输送台2的下表面存在的电荷所形成的吸附和导引面7a的作用，能够进行高精度的定位以使工件W在输送台2上的间隔大体为一定、一并使相对于输送方向的姿势为一定。

然而，如上所述，输送台2的旋转所形成的输送速度比直线进给器1及无振动部4所形成的输送速度大，因此已定位的工件W在图3的区间P中被静电吸附的状态下，如W₂→W₃→W₄那样迅速地加速直至输送台2的旋转所形成的输送速度，在区间Q中工件的间隔扩展得例如W₄和W₅之间那样。而且，工件W₅与在区间P中同样地一边被推压到导引面7a上一边输送，逐渐接近工件输送圆弧5。而且，到达了导引面7a与工件输送圆弧5接触的合流点7x的工件W₆的输送方向，在区间R中与工件输送圆弧5的方向一致，工件W₆向从导引面7a远离的方向被输送。即、从在输送台2的下表面存在的正电荷对输送台2上的工件W₆作用静电吸附力，因此工件W₆在被吸附于输送台2的状态下从导引面7a远离，而后在工件输送圆弧5上被载置整列了的状态下被输送。

此外，如上所述，在图3中输送台2的外缘部的移载点4x正上，整列导引体7与输送台2具有微小间隙地设置。作为图3的L线方向视图，在图16中表示该移载点4x附近的整列导引体7和输送台2。

在图16中，工件W₂是在从无振动部4被移载到输送台2上的移载点4x后、通过输送台2的旋转来刚开始输送后的工件。如上所述，工件W₂在被静电吸附于输送台2的上表面的状态下、通过整列导引体7的整列作用而以沿导引面7a的形状被输送。该情况下，输送台2由玻璃形成为圆形，由于成型加工时的工作精度导致输送台2在外缘部附近具有微小的翘起。如果具有此类翘起的输送台2在整列导引体7的下侧以具有微小间隙的状态旋转，则如图16的虚线所示，整列导引体7的下表面7z与输送台2的上表面2s的间隙γ的尺寸变化。如果该间隙γ的尺寸变化，则特别在间隙γ小时，从整列导引体7的下表面7z与输送台2的上表面2s之间的间隙γ向载置于输送台2的上表面2s的工件W₂从间隙喷射空气，空气碰到工件W₂。在此，工件W₂通过如上述那样使输送台2的下表面带正电，通过在输送台2的下表面产生的正电荷的作用被吸附于输送台2的上表面2s。

但是，如果从上述间隙γ喷射的空气碰到工件W₂，则此时由于在工件W₂施加的压力、工件W₂有可能从导引面7a远离或者工件W₂的姿势变得不稳定。

为了防止该情况，在整列导引体7设有将在整列导引体7的下表面7z与输送台2的上表面2s之间形成的间隙γ抽真空的抽真空单元17、18。即、抽真空单元17、18具有真空源17和设置于整列导引体7内的吸引通路18，其中，吸引通路18的一端18a向间隙γ开口，另一端18b经由连接线17a与真空源17连接。

在图16中，通过真空源17和吸引通路18，整列导引体7的下表面7z与输送台2的上表面2s的间隙γ在箭头δ1、δ2、δ3的方向上总是被抽成真空。通过该抽真空，即使在输送台2的旋转时上述间隙γ的尺寸变化，空气也不会从间隙向工件W₂喷出而碰到工件W₂。因此，工件W₂以在输送台2的上表面2s稳定地被静电吸附的状态被输送。

在此，作为相对于图16的比较图，在图17示出了不具有抽真空单元17、18的整列导引体70与输送台2具有微小间隙而设置的情况。如图17中虚线所示，如果整列导引体70的下表面70z与输送台2的上表面2s的间隙γ的尺寸变化，则特别在间隙γ的尺寸变得小时，存在于间隙的空气被压缩，因此空气从会间隙向箭头ε的方向朝载置于旋转的输送台2的上表面2s上的工件W₂喷射而碰到工件W₂。由于该空气的压力，工件W₂从导引面70a远离，因此即使输送台2旋转而工件W₂到达图3中的合流点7x，工件W₂也不能在图3所示的工件输送圆弧5上载置整列，不能进行作为本发明的目的的高精度的工件的定位。此外，即使在空气没有使工件W₂从导引面70a远离那样大的情况下，由于工件W₂的姿势在导引面70a附近变得不稳定等，也不能实现作为本发明的目的的高精度的工件定位。

相对于此，根据本发明，由于整列导引体7的下表面7z与输送台2的上表面2s的间隙γ总是被抽成真空，因此空气不会从间隙γ喷出而碰到工件W₂，能够在输送台2上稳定地使工件W₂整列。

如果工件在图3中在被载置整列于工件输送圆弧5上的状态下被输送，则随后工件W到达拍摄单元20，由拍摄单元20的侧面相机部8、内表面相机部9、上表面相机部10、下表面相机部11、前表面相机部12、后表面相机部13从图2中箭头A~F所示的方向拍摄各面而进行外观检查。该情况下，通过在输送台2的下表面存在的电荷所形成的吸附和导引面7的作用，高精度地进行了工件W的定位，因此拍摄单元20的拍摄精度提高。已结束外观检查的工件W到达排出部14，根据外观检查的结果向未图示的收置箱排出。

在排出部14排出工件W的情况下，能够从输送台2的内周侧对例如图2中的纸面跟前的侧面B喷出压缩空气，使工件W飞到输送台2的外周侧向收置箱导向。收置箱内的工件W，在输送台2上由于其下表面存在的正电荷而具有图6（b）、图7（b）所示的状态，但是，通过从正电荷远离而回到图6（a）、图7（a）的状态。其间，工件W自身不会产生静电所形成的带电。

如上所述，虽然在本实施方式中使用静电将工件W吸附到输送台2上，但是，利用图8（a）、（b）来说明工件W不会因静电而发生静电破坏或产生特性劣化等。

图8（a）示出在工件W已载置于输送台2的上表面而使输送台2的下表面带了正电时、由在输送台2的下表面存在的正电荷产生的电力线的状况。如图8（a）所示，电力线从正电荷发出而终止于负电荷。在该情况下，可以认为负电荷存在于无限远处，因此电力线E1从存在于输送台2的下表面的正电荷发出而贯穿输送台2和工件W朝向上方。另外也存在从该正电荷发出而朝向下方或左右的电力线，但是，由于与本发明无关，因此未图示。此时，在工件W的电极Wa及Wb通过静电感应，另外在主体Wd通过电介质极化，而在各自的下表面出现负电荷，同时在各自的上表面出现正电荷。此时，由于电极Wa及Wb是导电体，因此在其上表面集中正电荷，在下表面集中负电荷。因此，由于这些电荷而在电极Wa及Wb的内部产生电力线E2。该电力线的朝向从存在于上表面的正电荷发出而终止于存在于下表面的负电荷。

因此，在电极Wa及Wb内电力线E1和E2互相反向存在，因此抵消，如图8（b）所示那样成为在电极Wa及Wb内不存在电力线的状态。这样在图8（b）中用E1’示出在电极Wa及Wb内断开了的电力线。在该状态下，在电极Wa及Wb内不存在电力线，因此电极Wa及Wb为相同电位。即、在电极Wa及电极Wb之间不作用电压，不会发生工件的静电破坏或特性劣化等。

然而，还要考虑到如下情况：在工件W从无振动部4被移载到输送台2的过渡状态中，工件W的电极Wa、Wb内的电荷由于基于在输送台2的下表面存在的电荷而产生的静电感应，在各电极内移动，同时电极Wa及Wb重复相对于无振动部4及输送台2接触或远离。还要考虑到如果在此类电极Wa、Wb的接触或远离时电极Wa、Wb内的电荷在与外部之间移动、则会发生放电所导致的静电破坏的情况。该情况下，无振动部4与输送台2同样地使用绝缘体等具有高电阻值的材料构成，因此不会在电极Wa、Wb之间产生电荷的移动。

再有，在上述实施方式中，表示了使输送台2的下表面带正电的例子，但是，也可根据需要使其带负电。此外，虽然表示了输送台2由玻璃制的材料构成的例子，但是，输送台2的材料只要是透明体则不限于玻璃。

第二实施方式

下面，利用图10至图15来说明本发明的第二实施方式。

图10至图15所示的本发明的第二实施方式，仅在输送台2的下方配置导电板（导体）15以代替在输送台2的下方配置带电单元6A的方面不同，其他结构与图1至图9所示的第一实施方式大体相同。

在图10至图15所示的第二实施方式中，对与图1至图9所示的第一实施方式相同的部分标注相同标记而省略详细说明。

在此，图10是从箭头Y的方向观察在图1中由虚线包围的区域S的透视图，与图4相对应。在图10中输送台2的下侧，由导体构成的导电板15与输送台2的下表面隔着微小间隔地配置，以代替图4中的由电离器6构成的带电单元6A。导电板15呈平面形状，如图12所示，其表面15a与输送台2大体平行。此外，在导电板15连接直流电源16而施加直流电压，构成电场产生单元。由图11表示导电板15的配置部位。图11表示由图1的虚线包围的区域S的放大俯视图，与图3相对应。在图11中，导电板15在水平方向上细长状地延伸，且配置成，从移载点4x向工件W的输送台2上的工件输送圆弧5及与整列导引体7的导引面7a相对应的输送台2的下侧，较长方向沿工件W的工件输送圆弧5。

其次，下面利用图10至图15来说明本发明的第二实施方式的作用。

在图11中，通过直线进给器1的振动而以一列被输送的工件W，被移载到输送台2上的移载点4x，通过在与直流电源16连接的导电板15产生的电荷的作用所形成的静电感应和电介质极化而被吸附于输送台2的上表面。

在图12中示出该吸附作用的状况。在图12中，导电板15与输送台2的下表面隔着微小间隙地配置，在导电板15连接直流电源16而施加正直流电压。因此，在导电板15出现正电荷。

由于该正电荷的作用与图5同样地引发电介质极化，在与导电板15相对的输送台2的内部在下表面侧出现负电荷，在上表面侧出现正电荷。另外同样地，在从无振动部4被移载到了输送台2上的移载点4x的工件W₂中，在电极Wa以及Wb由于静电感应、另外在主体Wb由于电介质极化，分别在下表面侧出现负电荷，在上表面侧出现正电荷。

而且，箭头所示的静电吸附力G作用于在电极Wa、Wb以及主体Wd的下表面侧出现的负电荷与导电板15的正电荷之间，由于工件W₂在被吸附在输送台2的上表面的状态下通过输送台2的旋转而向箭头X的方向被输送。

该情况下，与图8（a）、（b）所示的第一实施方式同样地，在工件W自身不会产生由于静电所导致的带电，所以攻击W不会发生静电破坏、也不会发生特性劣化。

此外，在上述实施方式的说明中，说明了导电板15的面与输送台2的面大致平行，但是导电板15的面与输送台2的面的位置关系并不限定于此。图13示出图11中的L方向放大视图，图13中示出从导电板15的正电荷发出的电力线的状况。

如图13所示，由于电力线贯通输送台2以及工件W，产生静电感应以及电介质极化，在工件W的下表面产生负电荷，在工件W的上表面产生正电荷。在此，为了简便，未图示由于电介质极化而在输送台2内产生的电荷。

如图13所示，从导电板15上的正电荷发出的电力线中的、从在导电板15的端面15x附近存在的正电荷发出的电力线（图中的Ex）具有向不存在电荷的一侧即导电板15的外侧弯曲的性质。因此，也可以如图14那样将导电板15配置成其表面15a与输送台2大体成直角，以代替图13所示的结构。该情况下，导电板15，在水平方向上细长状地延伸，且配置成在与整列导引体7的导引面7a相对应的输送台2的下侧，较长方向与工件W的工件输送圆弧5大体平行。

在图14中，从导电板15的正电荷发出的电力线中的、从端面15x附近的正电荷发出的电力线贯穿输送台2及工件W。因此，与图13所示的情况同样地，通过静电感应和电介质极化而在工件W的下表面产生负电荷，在工件W的上表面产生正电荷。

再有，如图15所示，也以设置具有L形状的截面的导电板15。该情况下，也可以将导电板15的相交的两个表面15b、15c中的表面15b配置成与输送台2成大体直角，将表面15c配置成与输送台2大体平行。该情况下，导电体15，在水平方向上细长状地延伸，且配置成在与整列导引体7的导引面7a相对应的输送台2的下侧，较长方向与工件W的工件输送圆弧5大体平行。

在图15中，电力线彼此具有不相交的性质，因此从导电板15的正电荷发出的电力线中的、从存在于端面15x附近的正电荷发出的电力线贯穿输送台2及工件W。因此，与图13同样地，通过静电感应和电介质极化而在工件W的下表面产生负电荷，在工件W的上表面产生正电荷。

再有，在上述第二实施方式的说明中，表示了使导电板15带正电的例子，但是，也可以根据需要使其带负电。

Claims (8)

1.一种工件的外观检查装置，其特征在于，具备：

输送六面体形状的工件的直线进给器；

输送台，其为圆形由透明体构成、旋转自如，工件从直线进给器被移载到移载点，该输送台在载置了该工件的状态下将工件在工件输送圆弧上输送；

移载整列单元，其配设在直线进给器与输送台之间，使来自直线进给器的工件移载到输送台上并整列；

保持单元，其配置于输送台下方，保持被载置在输送台上的工件；和

拍摄单元，其拍摄输送台上的工件的六个面，

移载整列单元具有：无振动部，其设置于直线进给器与输送台之间；和整列导引体，其设置于无振动部的下游侧，从整列工件的平面观察具有直线状的导引面，

整列导引体的导引面，在平面上相对于将移载点和输送台的转轴连接的直线呈锐角，且在移载点的下游形成工件输送圆弧的切线，

整列导引体位于输送台上，并且在整列导引体设有对整列导引体和输送台之间的间隙抽真空的抽真空单元。

2.根据权利要求1所述的工件的外观检查装置，其特征在于，

抽真空单元具有：真空源；和吸引通路，其一端向输送台与整列导引体之间的间隙开口，另一端与真空源连通。

3.根据权利要求1所述的工件的外观检查装置，其特征在于，

圆形输送台由透明的玻璃体构成。

4.根据权利要求1所述的工件的外观检查装置，其特征在于，

保持单元包括带电单元，该带电单元向输送台的下表面喷出带电离子使输送台下表面带电。

5.根据权利要求1所述的工件的外观检查装置，其特征在于，

保持单元由在输送台下方配置的导体构成，向该导体施加直流电压而产生电场。

6.根据权利要求1所述的工件的外观检查装置，其特征在于，

输送台的工件的输送速度比直线进给器的工件的输送速度大。

7.根据权利要求1所述的工件的外观检查装置，其特征在于，

整列导引体的导引面，在平面上相对于将移载点和输送台连接的直线形成75度~88度的锐角。

8.一种工件的外观检查方法，使用权利要求1记载的工件的外观检查装置，包括：

通过直线进给器输送六面体形状的工件的工序；

将来自直线进给器的工件经由无振动部和整列导引体而移载到圆形输送台上的移载点，并且通过整列导引体的导引面使工件整列的工序；

在由保持单元保持了被载置于输送台上的工件的状态下，将工件在输送台的工件输送圆弧上输送的工序；和

通过拍摄单元拍摄输送台上的工件的六个面的工序。

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