JP3418824B2 - 平面被加工物の移送保持装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する分野】本発明は、平面被加工物の移送ラ
イン上で当該平面被加工物を保持し，加工することが可
能な移送保持装置に関し，とくに，平面被加工物の移送
を妨げることなく，平面被加工物の両側端部および前後
端部を保持することができる移送保持装置に関する。

【０００２】

【従来の技術および発明の解決しようとする課題】ガラ
ス基板，シリコンウエハー，セラミック基板などの平面
被加工物は，最終製品とするために，種々の加工が施さ
れる。その加工のための装置は，平面被加工物が移送さ
れる移送ラインの近傍にあるものの，ハンドリング装置
により，移送ラインから加工装置へ，加工後は加工装置
から移送ラインへと個々に平面被加工物を移動させる必
要がある。そして，この移動は各加工装置について行わ
れることになる。

【０００３】平面被加工物は通常，水平にして移送する
必要があるため，その移送ラインは横幅をとらざるを得
ない。それにも拘らず，加工装置は，前述のように移送
ラインの近傍に配置しなけらばならない。そのため，平
面被加工物の加工ラインについてはより広い平面的な場
所を確保しなければならない。

【０００４】さらに，移送ラインと加工装置との間の移
動に利用されるハンドリング装置も必要となりさらに平
面的な場所を必要とすることになる。

【０００５】前述のように平面被加工物は水平状態で移
送，移動させることから，その移送，移動空間を十分に
確保する必要がある。そのための空間が不十分なとき，
被加工物は他の装置などと接触し，所定の位置に配置，
移動できない場合が生じる。

【０００６】さらにまた，平面被加工物を水平に維持し
た状態で移動させる際に，平面被加工物を縁だけで保持
しようとすると，被加工物の自重により破損しかねな
い。そのため，加工装置への移動には，平面被加工物の
寸法，重さについて限界がある。

【０００７】この限界は，ハンドリング装置を特殊化，
大型化することである程度は克服できるが，ライン全体
のコストが高くなり，ハンドリング装置の設置場所を広
くせざるを得なくなる。

【０００８】本発明は，かかる課題を解消するためにな
されたもので，平面被加工物を水平に維持したまま移送
する移送ライン上で，当該平面被加工物を加工するため
に保持する移送保持装置を提供することを目的とする。

【０００９】本発明の他の目的は，平面被加工物の大き
さ，重さに関係なく，移動ライン上で保持する上記移送
保持装置を提供することである。

【００１０】さらに，本発明の目的は，移送ライン上で
の平面被加工物の移送を妨げることのない上記移送保持
装置を提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の移動保持装置は，両側端部ならびに前端部および後
端部を有する平面被加工物に関するもので，平面被加工
物を進行方向へ移送する移送手段と，両側端部に当接す
る側端保持部材を，それぞれ引き込み位置と保持位置と
の間で移動するための，移送手段の両側に対称的に配置
される一対の側端部保持手段と，前端部および後端部に
当接する端部保持部材を，それぞれ引き込み位置と保持
位置との間で移動するための，移送手段の前端付近およ
び後端付近に位置する一対の先端部保持手段と，を有す
る。

【００１２】ここで，移送手段がその上に配置される平
面被加工物を側端部保持手段の間に移送させるまで，側
端部保持手段および先端部保持手段は，それぞれ保持部
材を引き込み位置に保持し，移送手段が平面被加工物を
側端部保持手段の間に移送させたとき，側端部保持手段
および先端部保持手段は，それぞれ保持部材を保持位置
へと移動させる。これにより，それぞれの保持部材は，
平面被加工物の前後端部および両側端部と当接して保持
することができる。

【００１３】先端部保持手段は，好適には，移送手段が
平面被加工物を移送する間は，端部保持部材をそれぞ
れ，記移送手段の前端および後端の下方の引き込み位置
に位置させ，移送手段が平面被加工物を側端部保持手段
の間に位置させたとき，端部保持部材を，下方の引き込
み位置から，移送手段の上の保持位置へと移動させる。

【００１４】移送手段は，回転ロッドにかけられた移送
ベルトを有することが望ましい。側端部保持手段は，空
気シリンダー機構を備え，この空気シリンダー機構によ
り，側端保持部材を，引き込み位置と保持位置との間で
移動させることが望ましい。

【００１５】また，好適には，先端部保持手段は，それ
ぞれ移送手段の前方および後方の側方に，走行する補助
ベルトを有し，各補助ベルトは，移送手段の面にそった
水平部と移送手段の端部から下方に伸びる下方部とを含
み，端部保持部材は，移送手段を横切って補助ベルトに
連結される。

【００１６】

【発明の実施の形態】図１は，本発明の移送保持装置1
およびその前後に平面被加工物を搬入，搬出する装置
2，3の正面図である。移送保持装置1は，保持された平
面被加工物を加工する装置，たとえば研磨テープを走行
し，かつ全体を回転させて研磨する研磨装置4（例：特
開平11-19859号）が取り付けられている。研磨装置に代
えて種々の装置を取り付けることができることはいうま
でもないことである。

【００１７】本発明の移送保持装置1の斜示図が図２，
その平面図が図３に示されている（装置の構成を見やす
くするために研磨装置を保持する部分は省略されてい
る）。装置1は，作業の安全の観点から，また加工によ
り生ずる，廃液，屑などが飛び散らないようにハウジン
グ10により覆われている。

【００１８】ハウジング10内には，被加工物Wを進行方
向へ移送するための移送装置11が配置されている。この
移送装置11は，平行に固定されたフレーム12a，12bの前
後端部に回転可能に支持された回転ロッド13a，13bを有
する。この回転ロッド13a，13bの間に移送ベルト14がか
けられている。これら図には示されていないが，移送ベ
ルト14を走行するためのロッドおよびモータが組み込ま
れている。

【００１９】以下で説明するように，平面被加工物Wを
加工のために支持するための支持台15が移送ベルト14の
下方に位置している。この支持台15は，負圧をかけて吸
引力で平面被加工物Wを支持できるように真空源に連結
されている（図３）。

【００２０】この移送ベルト14は，その上にある平面被
加工物Wに対して負圧による吸引力が作用できるよう
に，少なくとも中央にそって，通気が可能なように複数
の穴14aが設けられている。したがって，支持台15によ
り負圧がかかると，通気性をもつ移送ベルト14を介して
平面被加工物Wを吸引保持できる。

【００２１】この実施例では，平面被加工物を負圧によ
る吸引力も利用して保持する場合であり，以下で説明す
る保持動作の保持で足りるときは，ベルトの通気性，真
空源も不要である。また，移送ベルトに代えて，複数の
回転ローラを使用してもよい。

【００２２】フレーム12a，12bの外側に同様のフレーム
16a，16bが配置され，それらのほぼ中央で，移送ベルト
14の両側に，被加工物Wの両側端部を保持するための一
対の側端部保持装置20a，20bが据え付けられている。そ
れら装置は同じ構造をもつものである。

【００２３】側端部保持装置20a（側端部保持装置20bも
同様）は，移送ベルト14の上側に位置するように，水平
に側端保持プレート21aを備え，空気シリンダー機構
（図示せず）により，プレート21aを，移送ベルト14に
より移送される平面被加工物Wの進行方向への移送を邪
魔しない引き込み位置と，移送ベルト14の中央に位置す
る平面被加工物Wの側端部に当接し，保持できる保持位
置との間で移動できる。ここで，プレート21a（21b）の
幅（ベルトの進行方向の長さ）は，平面被加工物の側端
の長さと等しくする。

【００２４】したがって，両装置20a，20bが側端保持プ
レート21a，21bを保持位置へと移動させると，両装置の
間で，平面被加工物Wをその側端部の全長と当接して保
持することができる。

【００２５】フレーム16a，16bの前方および後方に，平
面被加工物Wの前端部および後端部と当接し保持する一
対の先端部保持装置30a，30bが取り付けられている。

【００２６】図４は，後端部に取り付けられた先端部保
持装置30aの斜示図を示す（先端部保持装置30bも同じの
構成をもつ）（図４において，移送ベルトに設けられた
通気のための穴は省略されている）。図示のように，先
端部保持装置30a（先端部保持装置30bも同様）におい
て，フレーム16a（フレーム16bも同様）の外側に，それ
ぞれ少なくとも三つのローラ31a，31b，31c（図４では
手前側のみを示す）が取り付けられ，それらに補助ベル
ト32a（フレーム16ｂ側については，補助ベルト32b）が
かけられている。ここで，ローラ31a，31b，31cは，ベ
ルト32aが，移送ベルト14の面にそった水平部32a’と，
移送ベルト14の端部から下方に伸びた下方部32a”が形
成されるように配置され，そのうちの一つのローラには
補助ベルト32aを走行させるモータ33aが連結されてい
る。

【００２７】補助ベルト32a，32bには，移送ベルト14を
横切るように，平面被加工物Wの後端部と当接できる端
部保持プレート34aが連結されている。端部保持プレー
ト34aはベルト32a，32bとともに移動するが，端部保持
プレートの幅は，ローラの周りを回りきることができる
よう程度とする。より幅の広いプレートが必要なとき
は，図示のように，複数のプレートを並置して取り付け
る。

【００２８】移送ベルト14が走行している間は，その上
に位置する平面被加工物Wの走行の邪魔にならないよう
に，端部保持プレート34aが，図４に示されているよう
に，補助ベルトの下方部32a”，32b”に位置するよう
に，補助ベルトを走行する（この位置が引き込み位置と
なる）。モータ33aが駆動すると，ベルト32a，32bの走
行とともに，端部保持プレート34aはローラ31aを次々に
回り込み，図２または図３に示されているように，水平
部32a’，32b’に移動し，移送ベルト14の上側で平行に
移動する。

【００２９】そして，移送ベルト14の中央に位置する平
面被加工物Wの後端部に端部保持プレート34aが当接す
る。同様に，平面被加工物Wの後端部に端部保持プレー
ト34bが当接する(この位置が保持位置となる)。

【００３０】かくして，四つの端部保持プレート（21
a，21b，34a，34b）により，平面被加工物Wは，それを
移送してきた移送ベルト14上で保持される。

【００３１】動 作 本発明の移動保持装置を使用して，平面被加工物を移送
し保持する動作を，図５〜７図を参照して説明する。

【００３２】まず，平面被加工物を移送するときは，前
述のとおり，側端保持保持装置20a，20bおよ先端保持装
置30a，30bは，それぞれの保持プレートを引き込み位置
に保持している。そこに，搬入装置2（図１）により，
平面被加工物Wが搬入されると，図５に示されているよ
うに，平面被加工物Wは，走行している移送ベルト14上
におかれる。

【００３３】移送ベルト14の走行により，平面被加工物
Wは移送ベルト14の中央へと移送される。平面被加工物W
がほぼ中央にきたときに，移送ベルトの走行は停止す
る。

【００３４】そして，側端部保持装置20a，20bが駆動し
て，側端保持プレート21aおよび21bはそれぞれ引き込み
位置から，保持位置へと移動する。また，先端部保持装
置30a，30bも駆動して，端部保持プレート34aおよび34b
はそれぞれ移送ベルト14上へと移動する（図６）。

【００３５】側端部保持装置20a，20bおよび先端部保持
装置30a，30bにより，側端保持プレート21a，21b，およ
び端部保持プレート34a，34bが，それぞれ平面被加工物
Wの両側端部および前後端部に当接することで，平面被
加工物Wは，所定の保持位置へと移動し，保持される。
ここで，真空源が稼動することで，支持台15は通気性の
あるベルト14を通して吸引保持する。かくして，平面被
加工物Wは保持位置で，保持されることになる（図
７）。

【００３６】このとき，図１に示された研磨装置4の研
磨部が，平面被加工物Wに接するまで下降し，テープを
送りながら，全体が回転することで，平面被加工物Wの
全体を研磨加工する。

【００３７】図７に示されているように，保持プレート
が幅広いのは，平面被加工物Wの縁を加工するときに，
移送ベルト14に加工装置が接しないようにしているもの
で，もし，平面被加工物Wの中央のみを加工するとき
は，保持プレートは幅の狭い（端部保持プレートの場合
は，複数枚ではなく，一枚とする）ものでもよい。

【００３８】この実施例では，平面被加工物は矩形であ
るが，種々の形状であってもよい。ただし，その場合
は，被加工物の形状にそった縁をもつ保持プレートを用
意する必要がある。

【００３９】

【発明の効果】本発明の移送保持装置においては，その
装置上に平面被加工物を保持できることから，装置上で
平明被加工物を加工することができ，したがって，加工
装置を中に組み込むことができ，そのため，製造，加工
ラインの設置スペースを減少させることができる。

【００４０】また，本発明の移送保持装置において，平
面被加工物の移送を妨げず，加工の際にのみ，平面被加
工物をその装置上で保持することができることから，従
来，ラインとその近傍にあった加工装置との間で被加工
物を移動させるために必要であったハンドリング装置も
不要となり，ラインの機構の簡略化を図ることができ
る。

【００４１】さらに，移送保持装置上で平面被加工物を
保持することで，所定の位置に位置決めすることができ
ることから，付加的な位置決め装置が不要となり，装置
の全体を簡素化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は，本発明の移送保持装置の正面図を，搬
入・搬出装置の正面図とともに示す。

【図２】図２は，本発明の移送保持装置の部分斜示図で
ある。

【図３】図３は，本発明の移送保持装置の平面図であ
る。

【図４】図４は，先端保持装置を示す，移送保持装置の
部分拡大斜示図である。

【図５】図５は，各保持プレートが引き込み位置にあっ
て，平面被加工物がベルト上に搬入された状態を示す，
本発明の移送保持装置の平面図である。

【図６】図６は，平面被加工物がベルトの中央に位置
し，各保持プレートが引き込み位置から保持位置へと移
動する状態を示す，本発明の移送保持装置の平面図であ
る

【図７】図７は，各保持プレートが保持位置に位置し
て，平面被加工物を保持した状態を示す，本発明の移送
保持装置の平面図である

【符号の説明】

1 移送保持装置 10 ハウジング 11 移送装置 12a，12b フレーム 14 移送ベルト 14a 穴 15 支持台 16a，16b フレーム 20a，20b 側端部保持装置 21a，21b 側端保持プレート 30a，30b 端部保持装置 32a，32b 補助ベルト 32a’，32b’水平部 34a，34b 先端部保持プレート

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森川 要 和歌山県日高郡印南町大字西ノ地1333番 地 アイエムティー株式会社内 (72)発明者 中田 弘 和歌山県日高郡印南町大字西ノ地1333番 地 アイエムティー株式会社内 (56)参考文献 特開 平５−228776（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−36599（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−86442（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−58515（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−56321（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B23Q 3/06 B23Q 7/03

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】両側端部ならびに前端部および後端部を有
   する平面被加工物の移送保持装置であって，平面被加工
   物を進行方向へ移送する移送手段と，前記両側端部に当
   接する側端保持部材を，それぞれ引き込み位置と保持位
   置との間で移動するための，前記移送手段の両側に対称
   的に配置される一対の側端部保持手段と，前記前端部お
   よび後端部に当接する端部保持部材を，それぞれ引き込
   み位置と保持位置との間で移動するための，前記移送手
   段の前端付近および後端付近に位置する一対の先端部保
   持手段と，を有して構成され，前記移送手段がその上に
   配置される前記平面被加工物を前記側端部保持手段の間
   に移送させるまで，前記側端部保持手段および先端部保
   持手段は，それぞれ保持部材を引き込み位置に保持し，
   前記移送手段が前記平面被加工物を前記側端部保持手段
   の間に移送させたとき，前記側端部保持手段および先端
   部保持手段は，それぞれ保持部材を保持位置へと移動さ
   せ，これにより，それぞれの保持部材は，前記平面被加
   工物の前後端部および両側端部と当接して保持するとこ
   ろの装置。
2. 【請求項２】請求項1に記載の装置であって，前記移送
   手段は，回転ロッドにかけられた移送ベルトを有する，
   ところの装置。
3. 【請求項３】請求項1に記載の装置であって，前記側端
   部保持手段は，空気シリンダー機構を備え，この空気シ
   リンダー機構により，前記側端保持部材を，前記引き込
   み位置と前記保持位置との間で移動させる，ところの装
   置。
4. 【請求項４】請求項1に記載の装置であって，前記先端
   部保持手段は，前記移送手段が前記平面被加工物を移送
   する間は，前記端部保持部材をそれぞれ，記移送手段の
   前端および後端の下方の引き込み位置に位置させ，前記
   移送手段が前記平面被加工物を前記側端部保持手段の間
   に位置させたとき，前記端部保持部材を，前記下方の引
   き込み位置から，前記移送手段の上の前記保持位置へと
   移送させる，ところの装置。
5. 【請求項５】請求項４に記載の装置であって，前記先端
   部保持手段は，それぞれ前記移送手段の前方および後方
   の側方に，走行する補助ベルトを有し，前記各補助ベル
   トは，前記移送手段の面にそった水平部と前記移送手段
   の端部から下方に伸びる下方部とを含み，前記端部保持
   部材は，前記移送手段を横切って前記補助ベルトに連結
   される，ところの装置。
6. 【請求項６】請求項２に記載の装置であって，さらに，
   前記移送ベルトの下方に，前記平面被加工物を，前記移
   送ベルトを介して支持する支持台を含み，前記移送ベル
   トは通気性をもち，前記支持台は，吸引力により，前記
   平面被加工物を保持するために真空源に連結される，と
   ころの装置。
7. 【請求項７】請求項６に記載の装置であって，さらに，
   前記移送手段の上方に，前記平面被加工物を加工する加
   工装置を有する，ところの装置。
8. 【請求項８】請求項５に記載の装置であって，さらに，
   当該装置の前後に，前記移送手段に整合して，前記平面
   被加工物を搬入し，搬出する搬入・搬出手段を有する，
   ところの装置。