TW201530334A - 用於將儲存在液體儲存容器中的液體供應至基板的材料管理系統及方法 - Google Patents

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Abstract

本發明之材料管理系統及方法包含具資訊(即如電子資訊)儲存裝置的材料儲存容器。可將資訊自一儲存裝置傳送至一處理工具控制器，並用以設定或調整一處理工具操作參數。可藉由遠端分析以決定材料資訊，並後續地傳送至一含有此材料之容器的電子資訊儲存裝置。可藉由進一步傳送材料特定資訊以自動地追蹤材料儲存容器在一客戶設施之內的位置與移動。可將產品資訊與經運用於產品製造中之材料特定資訊關聯地儲存。

Description

用於將儲存在液體儲存容器中的液體供應至基板的材料管理系統及方法
本發明在各種特點方面是有關於運用資訊儲存之系統及方法，而特別是電子資訊儲存(即如射頻識別資訊)，藉以管理並運用材料儲存和配發容器及其內容。此外，本發明在各種特點方面是有關於實作並使用該等系統，藉以設定或調整運用自該等容器所配發之材料的處理工具之操作參數。
材料儲存及配發容器運用在廣泛各種工業處理以及商業與個人應用項目上。可將各種類型的液體及氣體放置在像是儲存柱桶的容器之內，以供運送並最終地進行配發。一種需要材料儲存及配發容器應用之產業領域即為半導體裝置製造業。
在半導體裝置的製造作業裡，會將具有各種類型及目的之材料沉積在通常含有像是二氧化矽之單晶材料的半導體基板上。所沉積之材料可包含銅、鋁及其他金屬，藉以在半導體基板的溝槽內構成金屬線路或其他電路特性。可透過製造程序在該半導體基板上構成出額外的電路特性及材料 層。
為如前述構成該等溝槽，首先會將一光阻材料沉積在該半導體基板之上。將光阻材料傳運及遞送至該半導體基板的方式對於該製造程序而言確具關鍵性。例如，就以被毀壞之高價值半導體基板、所耗費之高純度化學物與為以校正此一錯誤所需要的製造程序中斷而言，施加錯誤類型之光阻的成本或會極為昂貴。即便此項事實，光阻材料供應鏈經常是藉由人工系統所管理，此等系統具有內隱的無效率性與高度的錯誤風險，因為典型的供應鏈會牽涉到多方，各者具有獨立的材料追蹤平台而無法相互通聯。
前述之光阻材料通常是按液體形式傳運及遞送至該半導體基板的表面。通常是會運用一旋上製程，藉以跨於該半導體基板的整個表面上施加並散展一光阻薄層。旋上製程的參數係經選定，藉以確保該光阻物在該半導體基板上極為均勻、微薄地分布。通常在該材料施加步驟之後是隨以一將該半導體基板加熱以固化該光組層的步驟。
可藉由傳統蝕刻技術將上述的固體光阻層樣式化，以供在其下方構成溝槽。然而，適當的溝槽構成及其均勻性是部份地依照定義該等溝槽之光阻薄層的均勻性而定。確實，將光阻材料適當地傳運及遞送至該半導體基板對於製造出可靠的半導體裝置而言具有關鍵性。實際上，隨著半導體晶圓設計及處理技術的進步像是金屬線路之特性變得愈來愈小，而在一裝置特性上之光阻非均勻性的負面效應會被放大。
而為達到一均勻微薄的光阻層可能會需要施用一旋 上或是其他運用依據該光阻材料之特定實體及功能特徵的參數之製程。不幸地，光阻材料類型的特徵會逐一批次地，或者是因在該等材料自一起始點至使用點之傳運及儲存裡的環境或時間因素之結果而改變。例如，光阻黏滯性可逐批次或逐容器地改變，並且光阻性質可隨著環境條件(即如高溫)及/或壽命而劣化。而有鑒於不同光阻物之批次及/或容器間的變異性，要建立起用以在一半導體基板上構成一適當均勻光阻層的預設固定參數可能會極為困難。從而，將光阻材料適當地傳運並施用於該半導體基板包含不僅有關提供適當類型之光阻材料，而亦包含有關運用適於提供之特定光阻材料精確特徵的施用參數之挑戰。在生產設施裡，於末端使用之前先對各容器內容進行取樣及個別化測試處理並不切實際，而特別是在高成本生產線上為以高產通量操作尤甚。此外，由於有限的光阻貯藏壽命、有限的儲存容量和通常需要以進行材料分析的時間之故，因此對於一材料(即如化學物)供應商來說，在客戶貨運之前存貯整批次的材料而同時又等待材料分析的結果並無效率可言。
前文中既已描述與光阻材料使用上相關的多項挑戰，而關聯於多款運用在半導體製程及其他各式工業處理之材料存在有類似或同比的困難處。因而，本發明並不限於光阻或半導體材料上的應用項目。與處置各種材料相關聯的限制包含管理龐大數量且具有不同內容之容器的相當難處。例如，在一運用經儲存在具類似型態之容器內的各式化學反應劑或先質材料之製造程序裡，可能會難以執行下列的任何工 作：確保在每一實例裡是運用適合於經放置在一特定容器內之特定材料的製程參數；防止供應鏈中斷；防止材料過庫存；運用在時間上最先收到之材料而同時避免使用劣化或不適地陳舊(「逾期」)材料；針對潛在的安全或品質收回問題對經發送至客戶的內含材料容器進行追蹤；遵照法定的儲存及/或卸貨限制，以及遵照法定的卸貨限制。而會特別地希望能夠在一材料末端使用處理設施裡，對不僅是容器搬運進入一材料運入(接收)區域，而亦在各式運作區域之間，進行追蹤，藉此有助於識別並取回經決定為自受污染之生產批集或批次所散發的材料，且/或有助於供應鏈管理。所欲者即為提供能夠解決該等及其他問題的系統及方法。而傳統的材料管理工具(即如條碼系統)並非良好地適合於解決定此等問題，這是由於該等缺少動態更新功能、需要視線式掃描、仰賴於其他的人工動作，並且在提供容器識別資訊上經常是受到限制。
為改善材料處置及運用、強化處理效能及分析並且降低材料容器誤連錯誤的功能性，會希望能夠將自一材料儲存容器至一材料耗用處理工具的資訊供應作業加以自動化。此自動化作業會最好是不僅能夠解決通訊硬體及相關介面的問題，同時解決通訊模式，以及協定格式與特定資料內容的問題。
在像是半導體製造的敏感且化學密集處理程序裡，會希望能夠將一製造產品關聯於有關在其製造作業中所使用之材料的資訊。此關聯性對於製程最佳化以及進行中品質確保與品質控制具有高度的可用性。例如，可能會直到所製造 之產品經嚴格檢測後才會偵測出肇因於特定來源材料的產品瑕疵或效能問題-是否在材料規格之內。將裝置效能關聯於來源材料之能力可有助於製程最佳化及改善材料規格，而不需必然地要求進行所有產品的整體品質確保測試。然至目前為止尚未實現此等益處，因為尚未將產品資訊均勻且可靠地關聯於有關運用在產品製造材料的資訊。
前揭背景討論呈現出對於經改善之材料管理系統及方法的需要。
本發明在各種特點方面是有關於運用資訊儲存之系統及方法，即如電子資訊儲存，藉以管理並運用材料儲存/配發容器及其內容。
在一第一個別特點裡，本發明是有關於一種含有下列步驟之方法：將表示一供應商標定之運用參數之任一者的資訊，以及一處理工具操作指令，自與一內含材料儲存容器相關聯之資訊儲存裝置傳通至一與一處理工具相關聯的控制裝置；以及運用該所傳通資訊來設定或調整該處理工具之一操作參數。
在一第二個別特點裡，本發明是有關於一種方法，其中包含如下步驟，即自一與一材料儲存容器相關聯之資訊儲存裝置接收表示一供應商標定之運用參數之任一者的資訊及一處理工具操作指令；以及運用該所收資訊來設定或調整一處理工具的操作參數。
在一第三個別特點裡，本發明是有關於一種方法， 其中包含，在將一具有一相關聯資訊儲存裝置之內含材料的材料儲存容器運送至一材料末端使用者處理設施的過程中或之後，將下列任一者記錄至該資訊儲存裝置：(i)表示一批次特定材料性質之資訊，(ii)表示一容器特定材料性質之資訊，以及(iii)一批次特定或容器特定之材料性質資訊的記錄之識別碼。
在一第四個別特點裡，本發明是有關於一種運用複數個無線資訊讀取裝置以管理複數個具有相關電子資訊之材料儲存容器的方法，該方法包含下列步驟：對一第一材料儲存容器進入一材料末端使用處理設施之材料運入工作區域內進行偵測；將關聯於該第一材料儲存容器，並且表示一批次特定材料性質、一容器特定材料性質、一處理工具操作指令以及一材料特定運用參數之任一者的資訊自動地傳送至一資料貯庫；監視該第一材料儲存容器在該材料末端使用處理設施內之複數個工作區域間的任何位置及移動；以及將表示容器位置及容器移動之任一者的資訊自動地傳送至該資料貯庫。
在一第五個別特點裡，本發明是有關於一種含有下列步驟之方法：[I]自一與一內含材料之材料儲存容器相關聯的資訊儲存裝置至一與一處理工具相關聯之控制裝置，接收表示下列任一者之資訊：(a)該材料之識別資料，(b)該材料之組成成分，(c)該材料之來源，(d)該材料之數量，(e)該材料之批次，(f)該材料之批次特定性質，(g)該材料之容器特定性質，以及(h)容器識別資料；[II]以一運用自該材料儲存容器所收到 之材料的處理工具製造或處理一產品；以及[III]將該所收資訊關聯性地儲存於表示下列任一者的產品資訊，即(i)產品識別資料，(ii)產品批次識別資料，以及(iii)該產品之製造或處理日期或時間。
本發明之另一個別特點是有關於包含自動化系統而用以實作前述方法的系統。在本發明之另一個別特點裡，可將前揭任何特點加以合併以獲額外優點。
當閱覽後文揭示及隨附申請專利範圍時，將即能顯知本發明之該等及其他的特點與優點。
10‧‧‧材料儲存容器
10A-C‧‧‧容器
11‧‧‧孔徑定義頸部
15‧‧‧儲存及配發組裝
20‧‧‧覆帽
22‧‧‧探針孔徑
23‧‧‧薄膜
25‧‧‧電子資訊儲存構件
25A-C‧‧‧第一電子資訊儲存構件
40‧‧‧探針連接器
42‧‧‧探針連接器
43‧‧‧配發探針
45‧‧‧天線
46‧‧‧配接器連管
48‧‧‧模組化天線線路
50‧‧‧電子資訊儲存構件
50A-C‧‧‧第二電子資訊儲存構件
100‧‧‧系統
102‧‧‧材料供應站台
104‧‧‧程式設計介面
106‧‧‧共同控制器
115‧‧‧週遭感測器
120‧‧‧材料儲存容器監視系統
121‧‧‧第二天線
122‧‧‧RFID讀/寫裝置
123‧‧‧室體/機櫃/包體
125‧‧‧通訊網路
126‧‧‧資料儲存/擷取構件(資料貯庫)
128‧‧‧監視終端
200‧‧‧材料管理系統
201A-Q‧‧‧材料儲存容器
202‧‧‧網路
204‧‧‧局處或審查單位
206‧‧‧遠端接取裝置
210‧‧‧供應商設施
213‧‧‧填入站台
215‧‧‧資料通訊站台
216‧‧‧感測器構件
217‧‧‧分析構件/站台
219‧‧‧電子資訊(RFID)通訊站台
220‧‧‧配送設施
221‧‧‧第一電子資訊通訊站台
225‧‧‧資料通訊站台
226‧‧‧感測器構件
229‧‧‧第二電子資訊通訊站台
230‧‧‧材料處理末端使用(生產)設施
232‧‧‧通訊網路
233A-B‧‧‧防火牆
234‧‧‧資料儲存/擷取裝置
235‧‧‧監視構件
236‧‧‧中央控制器
238‧‧‧使用者介面
240‧‧‧材料接收/運入區域
241‧‧‧第一電子資訊通訊站台
245‧‧‧資料通訊構件
246‧‧‧環境感測器構件
249‧‧‧第二電子資訊通訊站台
250‧‧‧冷儲存區域
251‧‧‧第一電子資訊通訊站台
255‧‧‧資料通訊構件
256‧‧‧環境感測器構件
259‧‧‧第二電子資訊通訊站台
260‧‧‧階備區域
261‧‧‧第一電子資訊通訊站台
265‧‧‧資料通訊構件
266‧‧‧環境感測器構件
269‧‧‧第二電子資訊通訊站台
270‧‧‧製造區域
271‧‧‧第一電子資訊通訊站台
272A-B‧‧‧處理工具
273A-B‧‧‧材料包體/儲箱
275‧‧‧資料通訊構件
276A-B‧‧‧本地控制構件
278A-B‧‧‧本地控制構件
279‧‧‧第二電子資訊通訊站台
280‧‧‧貨運/廢棄物管理區域
281‧‧‧第一電子資訊通訊站台
285‧‧‧資料通訊構件
289‧‧‧第二電子資訊通訊站台
290‧‧‧處分/回收設施
291‧‧‧電子資訊通訊站台
295‧‧‧資料通訊構件
320A‧‧‧鍵環局部
325‧‧‧RFID標籤
350‧‧‧凹入
350A‧‧‧上方局部
351‧‧‧環狀墊圈固持器
352‧‧‧絕緣墊圈
355‧‧‧上部目標覆帽
360‧‧‧機械鍵設探針介面
360A-D‧‧‧探針介面凹入
365‧‧‧視覺指示器
現併同於隨附圖式而參照於後文說明藉以更完整地瞭解本發明及其優點，其中：第1圖係一材料儲存容器之外觀組裝視圖，該容器具有一電子資訊儲存構件而經放置在其一覆帽內，該容器具備一相關探針連接器，其具有一連接器接頭以及一自此延伸的探針。
第2A圖係一用於流體儲存及配發容器之覆帽的鍵環局部之外觀組裝視圖，該鍵環局部係經調適以接收一電子資訊儲存構件(即如一RFID標籤)，並且具有一機械鍵設探針連接器介面。
第2B圖係一第2A圖之鍵環局部，以及具有相關之固持元件的電子資訊儲存構件，的揚昇且部分切離組裝視圖。
第3圖係一用於一材料儲存容器之填入系統的略視圖，此容器具有至少一相關的電子資訊儲存構件。
第4圖係一材料儲存容器監視系統之略視圖。
第5圖係一材料管理系統之略視圖，圖中顯示所沿行之材料傳送方向，以及在一材料末端使用處理設施內以及在多個外部設施間之各種構件的互連情況。
第6圖係一邏輯圖，圖中描繪第一材料儲存容器管理方法之各項步驟。
第7圖係一邏輯圖，圖中描繪第二材料儲存容器管理方法之各項步驟。
第8圖係一邏輯圖，圖中描繪第三材料儲存容器管理方法之各項步驟。
下列美國專利及專利申請案之揭示案文提供用於本發明的情境，並在此依其個別整體按參考方式併入本案：於2003年12月19日申審(且於2004年9月2日公開如美國專利申請案公開號第2004/0172160號)，依Kevin T.O'Dougherty、Robert E.Andrews、Tripunithura V.Jayaraman、Joseph P.Menning及Chris A.Baye-Wallace之名義，標題為「SECURE READER SYSTEM」的美國專利申請案第10/742,125號；於2002年5月3日申審，依Kevin O'Dougherty及Robert E.Andrews之名義，標題為「LIQUID HANDLING SYSTEM WITH ELECTRONIC INFORMATION STORAGE」的美國專利申請案第10/139,104號；於2005年8月22日申審，依James V.McManus、Jerrold D.Sameth及Frank DiMeo,Jr.之名義，標題為「MATERIAL CONTAINMENT SYSTEM」的 美國專利申請案第60/710,216；於2005年6月6日申審，依John Kingery、Dennis Brestovansky、Kevin O'Dougherty、Glenn M.Tom、Kirk Mikkelsen、Matthew Smith、Don Ware、Greg Nelson、Bob Haapala、Russ Oberg、Tim Hoyt、Jason Gerold、Kevin Nesdahl及John Jancsek之名義，標題為「MATERIAL STORAGE AND DISPENSING SYSTEMS AND PROCESSES」的美國專利申請案第60/687,896號；於2002年12月17日核發，按James V.McManus、Michael Wodjenski及Edward E.Jones之名義，標題為「MATERIAL STORAGE AND DISPENSING SYSTEM FEATURING EX-SITU STRAIN GAUGE PRESSURE MONITORING ASSEMBLY」的美國專利案第6,494,343號。
本發明是有關於運用與材料儲存及配發容器相關聯之資訊儲存(最好是電子資訊儲存)構件的系統及方法，其中可操縱並使用所儲存資訊，藉以管理且促進有效率地運用材料儲存容器及其內容。
該詞彙「材料」在該材料儲存及配發容器與其內容的情境下可廣泛地指稱任何固體(即如按粉末或顆粒之形式)、液體、氣體、電漿、溶液、混合物、漿劑或懸浮液，並且可指稱任何在用於製造或實驗處理程序上具有關鍵性的材料，這包含，然不限於此，用於半導體、醫療、藥品、生物、核能及奈米技術領域的先質及耗材。
在此所使用之詞彙「流體」是指任何液體、氣體、電漿、溶液、混合物、漿劑及懸浮液。從而，「流體」可包 含顯著的固體內容，並且可在一材料儲存容器內進一步供置有固體以作為一吸收媒體。在一較佳具體實施例裡，一材料儲存容器包含一大致純淨流體。
本發明所慮及之容器包含廣泛各種材料儲存及配發設備。在此除依如限制或另提供者外，一般而言本揭中所描述之容器可為任何適合於材料用途的容器。該等容器可包含氣壓容器、超氣壓容器或是次氣壓容器，像是任何下列美國專利之案文中所敘述者：5,518,528、5,704,965、5,704,967、5,935,305、6,406,519、6,204,180、5,837,027、6,743,278、6,089,027、6,101,816、6,343476、6,660,063、6,592,653、6,132,492、5,851,270、5,916,245、5,761,910、6,083,298、6,592,653及5,707,424，茲將該等全部依其個別整體而按參考方式併入本案。
如本揭所述之材料儲存容器進一步包含含有實體吸收媒體的容器，此媒體可用以吸收留存一氣體，並用以儲存且在去吸收與配發的條件下後續地配發氣體。對此特點，一吸收媒體可包含一固體、溶劑、流體、半固體或是其他具有作為一儲存媒體之功能性的材料。例如，一材料儲存媒體可包含一可逆反反應液體媒體，即如一離子液體媒體，其能夠在一第一步驟裡反應吸收流體，並且在一第二步驟裡反應釋出先前所吸收的流體，其中該等第一及第二步驟係彼此相關聯之逆反反應，以定義一可逆反反應法則。在另一具體實施例裡，一容器是利用一像是美國專利申請案公開號第2004/0206241號所揭示之液體吸收劑，茲將該案依參考方式 併入本案。
如本揭所述之材料管理容器進一步包含具有可移除管線之容器，使得外部容器能夠作為一選擇性壓化外裝，以有助於儲存控制與可控制的內容配發處理。該等容器可如2004年3月2日核發予Richard Wertenberger之名的美國專利第6,698,619號案文所揭示者，茲將該案依其整體併入本案。
一材料儲存及配發組裝之範例可如第1圖中所示。廣義而言，該組裝包含一材料儲存容器10、一覆帽20及一具有一配發探針43之探針連接器40。該材料儲存容器10包含一孔徑定義頸部11。可藉由傳統裝置，像是螺紋交接、卡扣合配、真空嵌封或溶劑融連與其他的傳統方法，將該覆帽20固接於該容器10。即如圖示，該覆帽20含有一電子資訊儲存構件25。此一構件之範例即為一RFID標籤(最好是含有一可寫入RFID標籤)，其具備一被動RF傳發器、一天線及一可程式化記憶體(即如一可擦拭可程式化唯讀記憶體(EEPROM)、可程式化唯讀記憶體(PROM)、快閃記憶體，或是非揮發性隨機存取記憶體(RAM))，以供儲存任何所欲資訊。此記憶體最好是在當經施用於一材料儲存容器而獲佈署使用時，可予動態更新以供將資訊寫入於此。可進一步使用磁性儲存構件。所儲存之資訊可例如表示下列任何項目：一批次特定及/或容器特定之材料性質、一容器特定之目前及/或歷史環境條件，以及材料特定之運用參數，像是用於一處理工具的設定值或指令。可經儲存在該記憶體內之資訊的更特定範例包含，然不限於此，表示材料組成成分、材料密度、材料黏滯性、材 料壓力、材料溫度、材料容積、材料質量、批次識別資料、製造商識別資料、填入日期、材料逾期日期、一供應商特定之識別碼、一客戶特定之識別碼、分析認證(即如將批次特定或容器特定的材料性質資訊具體化者)、一分析之認證或是類似記錄的識別碼之資訊，以及其他類似可用的資訊。
可考量各種類型的電子資訊儲存構件25，包含短和長範圍之RFID標籤、EEPROM以及類似的儲存裝置。至少部分的資訊可為按「電子產品碼(EPC)」資料格式所儲存。在一具體實施例裡，一獨特識別碼係經儲存在一與一特定容器相關聯的電子資訊儲存構件之內，而其他的容器或材料特定之資訊則是遠端地儲存在一資料貯庫內(即如一動態資料庫)，而可藉該獨特識別碼進行詢查，俾以獲得有關該容器的所欲資訊。在一進一步具體實施例裡，一用於一特定容器之電子資訊儲存構件包含一具有限大小的本地記憶體，並且進一步包含一連至一外部資料貯庫之鏈結(最好為一雙向鏈結，並可供對該電子資訊儲存裝置進行讀/寫兩者功能)，此貯庫具有一遠較大量的記憶體，以供儲存有關於該容器及/或其材料內容的歷史與其他資訊。一電子資訊儲存構件可含有一或更多的所存識別碼，該等可供存取至經儲存在該資料貯庫之內的相對應記錄，像是在分析認證內所具體化之批次特定或容器特定材料性質資訊的記錄。可視需要，或適用於一特定末端使用應用項目者，將具有各種類型的多個電子資訊儲存構件25加以合併。
一電子資訊儲存構件25可進一步包含一處理器，其 可為一一般目的或應用特定之積體電路，且最好是含有一相關A/D轉換器，藉以接收像是來自感測器的輸入信號。該處理器最好是經調適以進行算術與其他的傳統處理運算。
在一具體實施例裡，可將非電子資訊儲存構件，像是傳統條碼，關聯於材料儲存容器。在另一具體實施例裡，可合併運用電子及非電子資訊儲存。例如，可將部分的資訊按唯讀格式而儲存在一非電子媒體中且關聯於一材料儲存容器，並且該容器可進一步含有至少一電子資訊儲存構件，最好是能夠提供讀取及寫入兩者功能，以作為一進一步儲存構件。在一具體實施例裡，一非電子資訊儲存構件含有資訊，此資訊為經儲存在一與該相同容器相關聯之電子資訊儲存構件內的至少部分資訊之備援，而該非電子資訊儲存構件可作為一次要或備份資料來源，例如，藉以強化在萬一電子資訊儲存構件故障或另受損之情況下的可靠性。
即如圖示，該容器10及該覆帽20係經調適以匹配於一具有一配發探針43之探針連接器40，藉以構成一儲存及配發組裝15。該覆帽20含有一探針孔徑22，藉以除如前述之電子資訊儲存構件25以外，可另接受一配發探針43。該連接器40含有一天線45(即如一射頻(RF)天線)、模組化天線線路48、一配接器連管46及探針43。在一較佳具體實施例裡，該覆帽20係經螺紋連接於該容器10的頸部。而在將該容器10及該覆帽20傳運至該所欲位置處後，即可曝出該薄膜23。該連接器40係經組態設定以互連於該覆帽20。
為組合該組裝15，該探針連接器40係經互連於經 接合至該容器10之覆帽20。該探針尖端42穿過經刻劃可破之薄膜23並經由該探針孔徑22而突入至該容器10的內部容積之內。接著，該連接器40上的連續壓力可讓該連接器40立即地移動而鄰近於該覆帽20。然後該探針43即通聯於該容器10的內部。而按此即可將該連接器40架置於該容器10上。該配接器連管46提供一自該容器10之內部至一外部幫浦(未以圖示)的液體通道。按此方式，即可透過該探針43、該配接器連管46及該幫浦以自該容器10擷取出材料而供應至一製造處理工具，像是一半導體晶圓處理工具。一典型的材料處理系統可含有複數個容器10與從屬物，然為簡便目的僅繪列一單一容器10。
最好是透過一運用自一第一電子資訊儲存裝置25所擷取之資訊的外部控制器(未以圖示)，來啟動、控制或另調節自該容器10的材料配發作業。例如，一控制單元可將自該第一電子資訊儲存裝置25所收到的資訊與關於一待予執行之處理程序的資訊(即如所需材料的識別資料及數量)加以比較，並且據此啟動材料傳送作業。若該容器10含有非所欲或未經預期的材料，則可防阻材料傳送作業。對此，可利用該電子資訊儲存裝置25而按基於資訊之方式防止誤連，且/或禁制進一步傳送一已逾期或劣化(即如因環境受曝之故)的材料。相反地，若該容器10含有一該製程所需要的材料，則可啟動該注流，而可利用自該第一電子資訊儲存裝置25所收到的資訊來監管該注流基本資料。
即如圖示，該覆帽20與該連接器40之間的緊密鄰 近性相符於該第一電子資訊儲存裝置25的短信號接收範圍及弱信號強度。這在例如牽涉到相互鄰近地放置許多容器10的應用項目上而為防止串音問題或會希望如此，藉以提供正面的套裝至連接器/探針信號相關性與事件管理。亦可設置具有較大接收範圍的電子資訊儲存裝置，以補充或彌補此一短範圍裝置。長範圍電子資訊儲存裝置可藉由能夠以較少數量，及/或空間較遠隔，之天線或讀取裝置感測多個容器以簡化一般套裝管理。在一具體實施例裡，一材料儲存含有一短範圍及一長範圍電子資訊儲存裝置兩者，前者(短範圍)電子資訊儲存裝置適用於防止誤連，並且提供正面的容器至工具關聯性以進行配發服務，而該後者(長範圍)電子資訊儲存裝置則適用於其他容器管理工作，包含介接於外部讀取裝置、儲存並傳送感測器(即如環境)資料、儲存及傳送分析認證(材料特定之)資料等等。
在一具體實施例裡，該覆帽及該連接器含有經調適以防止誤連的機械鍵碼構件，像是美國專利第6,015,068號，標題為「Liquid chemical dispensing system with a key code ring for connecting the proper chemical to the proper attachment」案文所述者，茲將該案依參考方式併入本案。例如，該覆帽20可包含一鍵物碼環局部(即如包含至少一突出、凹入、刻格、溝槽等等)，並且該連接器40可包含一鍵物樣式(即如至少一突出、凹入、刻格、溝槽等等)，其係經組態設定以匹配於該覆帽20的鍵物碼環局部。可對各個經儲存在一貨櫃內之不同材料指配以一具一特定鍵碼組態之覆帽20，而不 同材料則具有相異的鍵碼。當嘗試將一覆帽接合於一經鍵設為不同材料之連接器時，即可藉由不相容鍵物樣式以防止該等元件間的座置；僅一經鍵設以對應於另一者之覆帽與連接器能夠適當地接合。此組態可用以防止與一具有不相容於一特定處理工具之材料的貨櫃間之誤連。此機械鍵設方式雖為已知，並且可藉由擷取與操縱來自如本揭所提供之經容器架置的資訊儲存構件之資訊以有助於誤連防止功能性，然在一些情況下或會希望提供機械及電子誤連防止設施兩者，而可選擇共同，或替換地，佈署該等誤連防止技術。
現參照第2A-2B圖，一種用於一材料儲存及配發組裝的雙互鎖設計提供兩種獨立誤連防止裝置-換言之，一電子資訊儲存構件及一機械鍵設探針介面兩者-該等可依據末端使用者之偏好而個別地或共同地加以運用。第2A-2B圖之說明應併同如前關聯於第1圖所敘述的組裝15而解讀，然將第1圖覆帽20之一局部取代為第2A-2B圖中所說明的鍵環局部320A。
該鍵環局部320A係經調適以在一具有一外展上方局部350A的凹入350處接受一RFID標籤325。詳細地說，首先將一環狀墊圈固持器351插入該凹入350，隨後為一絕緣墊圈352，接著為該RFID標籤325，最後是以一上部目標覆帽355為頂。可藉由壓配、膠黏或任何其他適當方式以將這些元件351、352、325、355固持於該凹入350處。
該鍵環局部320A進一步含有一機械鍵設探針介面360(包含沿該上部邊界所定義的凹入360A-360D)。該匹 配探針連接器40含有相對應的匹配結構(未以圖示)，其係經調適以匹配於該機械鍵設探針介面360。例如，該介面360可含有一探針介面凹入(360A-360D)及/或一探針介面突出，並且該覆帽介面結構可含有一具相對應大小、形狀及位置的覆帽介面突出及/或覆帽介面凹入，使得若該探針連接器40和該覆帽20之鍵環局部320A確經適當地鍵設於另一者，則該等元件僅能與另一者相耦接。
在一較佳具體實施例裡，該機械鍵設探針介面360具有一相對應的文數字鍵碼，並且該覆帽20包含一視覺指示器365，以表示該文數字鍵碼。即如第2A圖所示，在該鍵環局部320A上供置有數碼「3-12」及「14-23」作為該鍵碼的視覺指示器365。此視覺表示可讓一使用者能夠例如藉由注視任何探針介面凹入(360A-360D)，及/或一探針介面突出，相對於該視覺指示器365的位置以視覺地確認該鍵碼。在第2A圖所示範例裡，該鍵碼為「4-10-16-22」，此為對應於沿該鍵環局部320A之週邊而在位置上最靠近該等凹入360A360D的數字。
在一單一流體儲存容器內出現該機械鍵設探針介面360及該RFID標籤325兩者可提供備援性誤連防止-其一方式為機械性，而另一者則為電子式，即如關聯於該RFID標籤。可由一特定末端使用者運用兩者方式，或是另一末端使用者可運用單一誤連防止裝置。此彈性有助於製造商減少為以生產及庫存的零件數量，並且提供可按該末端使用者選擇所運用的替代性或連同性誤連防止裝置來輔助該末端使用 者。此彈性特別適用於將一末端使用者設施自一類型之誤連防止系統移傳至另一類型，這是由於可藉新近與舊有管理裝置兩者以互換地使用一組液體儲存容器。此外，可於一材料末端使用者設施處，在一新近系統的試用過程中佈署此誤連防止系統。
現參照第1圖，可按各種方式及組態將電子資訊儲存構鍵固接於，或另關聯於，材料儲存容器。前文中雖既已說明該第一，且最好為短範圍，電子資訊儲存構件25，然該容器10進一步含有一第二，且最好是長範圍，電子資訊儲存構件50，並沿其一外部表面所設置。該第二電子資訊儲存構件50可含有一內置RFID標籤。此一電子資訊儲存構件50可整體地連同一容器本體所構成(即如藉由模鑄處理)、經固接於一容器本體之外部、經固接於或連同一容器之覆帽所構成，或者是按任何其他的簡便組態所供置。長範圍電子資訊儲存構件最好是沿一外部表面所供置，藉此將穿過介涉材料(即如一貨櫃邊壁)的信號衰減最小化。
可併同於具有電子資訊儲存構件之材料儲存容器以運用各種感測器與從屬元件，無論此等感測器為連同容器所運送(即如同經固接於其上)，或是在一給定時段裡與該等容器所共享之環境內而按一靜止方式所利用者皆然。在一較佳具體實施例裡，一或更多的感測器係經整合或另通聯耦接於一(即如第二)電子資訊儲存構件50，並且可沿一容器10之外部表面而設置。由該等感測器所產生的信號最好是傳送至一與一材料儲存容器相關聯的電子資訊儲存裝置(即如第二電子資 訊儲存裝置50)，然亦可直接地或以中繼方式傳送至一外部信號接收裝置。感測器可例如用以感測一材料儲存容器在一供應商設施與一材料末端使用設施之間，或者甚至在一材料末端使用設施之內，所體驗到的環境條件，藉以在進行其計畫性使用之前，先評估所針對的特定材料是否既已劣化。若一材料既已違反部份的環境限制，像是壽命、溫度、衝撞等等，則可防止將流體傳送至一處理工具，或者偵測到該等違反情況正在使用中，則可停止進一步的材料傳送作業。
所欲之感測器類型包含：溫度、壓力、應變(即如產生一壓力回應信號)、化學物(即如胺感測器、氧感測器及其他適合於偵測一特定容器內之材料內容出現溢漏的化學物感測器)、溼度、加速度及材料位準(即如藉由光學或音響裝置)。即如在電子資訊儲存構件25、50的情況般，感測器可為未經供電、自我供電(即如藉由電池、電容器、光電池或其他電荷產生或儲存構件)，或是遠端供電(即如由修整一入方高頻RF信號以產生可用電荷)。遠端供電裝置可運用ISO 14444(-A、-B或-C)或是ISO 15693通訊。可視需要將各種感測器整合於另一者，及/或(多個)電子資訊儲存構件。可使用傳統規模或是MEMS感測器。
可使用各種類型的壓力感測器，然所偏好的並不要求直接接觸於待予感測之材料的感測器。在一具體實施例裡，將應變回應性感測器設置在該容器的外部表面上，並予調適以產生一壓力表示信號，而此信號係關聯於當該容器回應於跨在容器邊壁上之壓力差變化而膨脹及收縮時在該容器 內之材料的壓力，像是美國專利第6,494,343號案文所述者。可利用壓力信號以感測溢漏或空洞貨櫃(即如特徵為傾斜或低壓)，或是用以感測危險的壓力過大情況。比較來自壓力感測器之輸出信號與經預設或使用者定義的門檻值，而在一具體實施例裡，最好是將高或低壓狀態信號儲存在一電子資訊儲存構件的記憶體之內。
可提供各種類型的溫度感測器，藉以感測在一容器內之材料、一容器之表面或是一容器所位處之環境內的溫度。溫度感測器可在溫度方面進一步用以補償壓力表示信號。適當的溫度感測器類型之範例包含熱耦器、熱敏電阻及電阻溫度裝置。溫度信號可運用在許多情境下。高溫會造成像是光阻物的敏感性材料出現劣化，而有些受於冷儲存處理之材料則需要在被配發至一處理工具前先回返至一經精確控制的較高溫度範圍。比較來自溫度感測器之輸出信號與經預設或使用者定義的門檻值，而在一具體實施例裡，最好是將高或低溫狀態信號儲存在一電子資訊儲存構件的記憶體之內。
可提供一或更多的加速度回應感測器，藉以測量一材料儲存容器所體驗到的衝撞或加速度。可基於各種原因對一材料儲存容器的衝撞或加速度進行監視，像是識別對於該容器的潛在損害性撞擊或衝撞，及/或偵測可能會改變一容器之內容物狀態的條件。例如，若一容器含有一漿劑、具有夾帶固體之懸浮液或是包含表面活性劑的材料，則撞擊衝撞或 其他的高加速度事件可能導致所不欲之晃動、分離、沫化，或是造成所不樂見的非均勻條件。可提供多個感測器以測量在互補方向上的衝撞或加速度，及/或在萬一單個衝撞或加速度感測器失效的情況下，可提供備援衝撞或加速度測量作業。一加速度感測器之範例包含Analog Devices,Inc公司(Norwood，MA)所製造的型號ADXL320，以及在美國專利申請案公開第2003/0153116號，標題為「Encapsulation of MEMS devices using pillar-supported caps」案文中所揭示之設計(茲按參考方式併入本案)。比較來自加速度感測器之輸出信號與經預設或使用者定義的門檻值，而在一具體實施例裡，最好是將高加速度狀態信號儲存在一電子資訊儲存構件的記憶體之內。
可提供各種類型的材料(化學物)感測器，像是用以識別在一容器的外部出現一或更多特定材料(即如按液體或氣體形式)，並且將一或更多輸出信號傳送至一電子資訊儲存裝置及/或一遠端監視器。比較來自材料感測器之輸出信號與一經預設或使用者定義的門檻值，藉以啟動一警示或一回應動作。此比較作業可在一具有一整合處理器之電子資訊儲存構件內按本地方式進行，假設出現一適當處理器，並且該電子資訊儲存構件之記憶體內常駐有一經預設或使用者定義的門檻值(即如自一外部來源所傳獲並經儲存於本地處)；或另者，可藉由週期性地，或依需要，將表示感測器信號之資訊傳送至一工業控制器或電腦的處理器(即如第5圖中所示之控制構件236)，而按外部方式進行此比較作業。化學物偵測設施可 適用於例如識別出自一儲存容器或其他來源所散發的溢漏。具特定類型而待予感測之材料包含氧、胺以及其他類型而可能出現在一儲存容器內的材料。一種可用的材料感測器172之一範例包含由Karlsruhe Research Center或是Forschungszentrum Karlsruhe GmbH(Karlsruhe，德國)所開發的KAMINA梯度微陣列晶片。可用之材料感測器172的進一步範例包含在美國專利申請公開第2004/0163444號，標題為「Nickel-Coated Free-Standing Silicon Carbide Structure for Sensing Fluoro or Halogen Species in Semiconductor Processing Systems,and Processes of Making and Using Same」案文所揭示的氟及鹵素感測器，茲將該案按參考方式併入本案。
可提供各種類型的感測器以在該容器內識別出材料位準及/或辨識材料類型。例如，可使用光學及/或音響收發器或感測器。相比於氣體而言，音響測量可為較佳地適用於液體媒體。在一具體實施例裡，一音響收發器之傳送器局部傳送一初始音響信號至該容器的外部邊壁，並且其一接收器局部偵測該所傳信號的消散情況。該音響能量的一部分會消散在該容器以及在其內所含之材料內，而在該材料內消散之音響能量的量值係根據所出現之材料的數量及/或類型而定。不同的材料類型可提供不同的音響消散特徵，像是與材料密度差相關聯者。可透過實驗室測試產生含有不同位準之材料及/或具各種類型之材料的各種容器類型之音響消散實驗性資料，並予儲存在像是一電子資訊儲存裝置之記憶體的記憶體 內，以作為一查核表。然後，可將由一收發器所收到的音響信號傳送至一處理器(即如在一電子資訊儲存裝置內)，並與所存消散信號相比較，藉以識別出現在該容器之內的任何材料位準及材料類型。在另一具體實施例裡，可在對一容器填入以一特定材料之過程中於一或更多時點處產生一特定容器之內容的音響簽跡並將其儲存在一電子資訊儲存裝置內，藉以關聯於該特定容器及材料。
在一具體實施例裡，感測器最好是至少間歇地與一關聯於一材料儲存容器的電子資訊儲存裝置，或與另一像是可為位於遠端之資料貯庫，進行通訊。可針對於所感測參數、可獲用功率或是任何其他考量，視適當情況而按不同頻率或取樣速率進行此通訊作業。信號取樣速率可回應於觸發器或門檻值事件而為動態地改變。例如，若最初是按每小時兩次之速率對壓力或應變進行取樣，而一顯著地高於或低於一累計平均讀取值或是其他門檻值的讀取值將可觸發更頻繁的信號取樣處理或是對一電子資訊儲存裝置之記憶體或資料貯庫的資料傳送作業。
第3圖描繪一用於像是該容器10之材料儲存容器的填入系統100。此一系統100可由一材料供應商加以運用。該容器10可含有一第一電子資訊儲存構件25，以及一第二電子資訊儲存構件50，而最好是含有任何一或更多如前所述的感測器。材料是透過一材料供應站台102所供應至該容器10。在該填入步驟的過程中或之後，可利用一程式設計介面104(即如基於RFID者)，將資訊寫入一電子資訊儲存構件25及/ 或50。此資訊可為限於一獨特識別碼，像是按「電子產品碼」格式所編碼者；或者可含有任何前述各種類型的資訊，像是材料類型、材料位準、材料批次識別資料、批次特定或容器特定之材料性質、用於處理工具的材料特定運用參數、處理工具操作指令等等。該材料供應站台102及該程式設計介面104最好是由一共同控制器106所控制，最好是能夠存取至資訊儲存，並且可網接於任何各種傳統的儲存與通訊裝置。
第4圖描繪一材料儲存容器監視系統120，藉以監視一或更多的容器10A-10C。各個容器可含有第一電子資訊儲存構件25A-25C，以及第二電子資訊儲存構件50A-50C。該等容器10A-10C係經放置在一共同室體、機櫃或其他包體123之內。可供置有多個週遭感測器115，藉以監視在該包體123之內的情況。將至少一電子資訊讀取及/或寫入裝置122，像是一RFID讀/寫裝置，設置於該包體123裡之容器10A-10C的信號傳輸及接收範圍內。可進一步將一第二天線121放置在該等容器10A-10C的信號傳輸及/或接收範圍內。在一具體實施例裡，在一或更多個容器10A-10C上供置有一第二天線，以提供多個容器之間的「菊輪鏈」或類似通訊，藉此延伸對於一讀取裝置122的信號傳輸/接收範圍。該第二天線121可用以例如延伸該電子資訊讀取裝置122的範圍，及/或傳送一可用以對該(等)電子資訊儲存構件及/或感測器25A-25C、50A-50C進行供電的高頻RF信號。該電子資訊讀取裝置122可為定位式或手持式，並且最好是與一能夠接取至網際網路的通訊網路125 相通聯。一資料儲存/擷取構件或資料貯庫126可經由該網路而連接至該讀取裝置122，並且一監視終端128可供遠端地存取到獲自於該材料儲存容器10A-10C的資訊。可在一經擴增之監視系統中提供多個包體123、讀取裝置122及第二天線121。可例如在一材料供應商設施處(即如為以在填入系統100內程式設計處理後對容器10A-10C進行追蹤)、在一經調適以裝納有多個容器10A-10C的運送貨櫃裡、在一材料處理末端使用處理設施裡，及/或在一後處理設施(即如回收或廢棄物處理)裡，安裝此等監視系統120。可部分地透過使用長範圍通訊及電子資訊儲存構件，像是關聯於材料儲存容器的長範圍RFID標籤，而即能有助於此一持續性追蹤。
第5圖描繪一材料管理系統200，其中顯示在一材料處理末端使用(生產)設施230內，以及在外部設施210、220、290間，之各種構件的互連情況，並且顯示該系統200之內的材料傳送方向。該系統200含有多個材料儲存容器201A-201Q，各個容器201A-201Q具備至少一個相關的電子資訊儲存構件(即如一經架置於覆帽處的短範圍RFID標籤，以及一經架置於容器邊壁處的長範圍RFID內置籤片)，而該等至少一電子資訊儲存構件最好是可動態更新，藉以週期性地接收並儲存資訊。在該生產設施230內，一網路232及多個資料通訊構件245、255、265、275、285可供以與另一者進行通訊，並且通聯至各種網路裝置，像是一中央控制器236、一監視構件235、資料儲存/擷取構件234、一選擇性遠端接取裝置206以及一使用者介面238，而各者運用硬體及 軟體。可視便利或需要以運用額外的軟體平台及/或模組(即如商業處理自動化軟體、製造執行系統、企業資源規劃系統等等)，俾達到任何各種的材料管理、製程管理、製程最佳化、回報處理與監視功能。可進一步設置一或更多的防火牆233A、233B，藉以提供安全的外部通訊。
開始於第5圖的左上方，可透過一設置在該供應商設施210內之填入站台213，將材料供應給容器(即如容器201A、201B)。可將一或更多的感測器構件216設置在該供應商設施210之內，藉以感測環境條件。可進一步設置有一經調適以分析該材料，並且產生任何批次特定與容器特定之材料性質資訊的分析構件或站台217。此資訊可例如包含像是材料識別資料、材料密度、材料黏滯性及分子重量的參數。為將在容器裝運之前分析結果產生作業的等待過程最小化，可在該等容器離開既已該供應商設施210後進行來自批次或個別容器之材料樣本的分析作業，而稍後再透過該網路202傳送結果(即如以傳送方式，或是在該材料末端使用設施230內)，即如在貨運之後將此資訊記錄在一容器相關的電子資訊儲存裝置。一電子資訊(即如RFID)通訊站台219係經調適以將資訊寫入各容器201A、201B的電子資訊儲存構件，並且最好是與該等填入站台213、分析構件217及感測器構件216各者相通聯。在此雖使用該詞彙「站台」，然任何電子資訊通訊站台皆可視適當情況而為可攜式及/或手持式。按此方式，可將來自於該等填入站台213、分析構件217及感測器構件216任一者的資訊，連同一容器(即如容器201B)離開該供 應商設施210之刻的日期及/或時間戳記，傳通至該容器電子資訊儲存值裝置並予儲存於其內。由於分析結果可能耗費顯著時間始能獲得，因此為防止不適當的傳送延遲，可自該供應商設施運出材料儲存容器而無分析資訊，然載荷有經儲存在相關電子資訊儲存構件之內的足夠資訊，藉以在當出現於該配送設施220或該末端使用(生產)設施230處時，該等容器能夠傳送並接收分析結果。在該供應商設施210內最好是設置一資料通訊站台215，藉以向該供應商設施210進行資料傳送及/或接收。亦可透過網路202，藉由該資料通訊站台215來協助向一外部局處或審查單位204進行通訊與報告。在一較佳應用裡，該末端使用者(生產處理)設施230可透過一或更多網路(即如多個網路202)建立與該供應商設施210的通訊，藉此獲得及/或辨識關於一由該末端使用設施230所收到之特定材料儲存容器的資訊。
可將材料儲存容器(即如容器201C、201D)自該供應商設施210運送至一配送或倉庫設施220。一第一電子資訊通訊站台221可與各個入方容器(即如容器201C、201D)進行通訊，藉以在當容器進入該配送設施220時，可自該容器擷取資訊及/或將資訊寫入該容器。此通訊功能可用來例如對於該容器搬運至該配送設施220內自動地註記以電子時間及/或時間戳記。藉由將資訊寫入至關聯於一容器的電子資訊儲存構件，該容器可保留其本身的貨運記錄。一感測器構件226係經設置於該配送設施220內以感測其內的環境條件，並且最好是設置有一第二電子資訊通訊站台229，以與各個出方容器 在其離開該配送設施220時進行通訊。若為適當且有需要，可將該等第一及第二電子資訊通訊站台221、229整合為一單一站台。進一步供置有一資料通訊站台225，藉以透過一通訊網路232，在該接收(或材料運入)區域240與一資料儲存/擷取裝置234之間傳通資訊(即如維持一或更多可動態更新之資料庫)。應可瞭解在該系統內的各種硬體裝置係按適當的機器可讀取軟體而操作。
材料儲存容器自該配送設施220運送至該材料末端使用設施230，並且通常是在一接收區域240處接收。該接收區域240最好是包含第一及第二電子資訊通訊站台241、249，該等係經調適以與相關於各個材料儲存容器(即如容器201E、201F)之電子資訊儲存構件、一環境感測器構件246，且最好是與一資料通訊構件245，進行通訊。而最好是藉由將資訊儲存至與一容器相關聯的電子資訊儲存構件，並且透過一資料通訊構件245及一通訊網路232(以位在該末端使用者設施230的內部為佳)，將大致相同的資訊選擇性地儲存至一與該接收區域240相通訊的資料儲存/擷取裝置234，由該等第一及第二電子資訊通訊站台241、249來執行容器運入和運出電子時間戳記處理。可經由(內部)網路232、防火牆233A或233B以及一外部網路202來提供該接收區域240與該供應商設施210之間的通訊，即如能夠自該供應商傳送材料分析及/或認證記錄，俾儲存於適當材料儲存容器的電子資訊儲存構件，並且能夠將此項資訊同時地儲存至該資料儲存/擷取構件234。
可對一經接收至該接收區域240之內的材料儲存容器，或者是為此項目而對經運送至該末端使用者設施230內之任何區域的材料儲存容器，進行任何各種資料核可檢查。來自各容器電子資訊儲存構件的資料會經由資料通訊構件245及網路232而自動地傳通至一資料儲存/擷取構件234。可按大致連續方式，或是在當該容器離開該接收區域240時，將表示在該冷儲存區域裡之目前及/或歷史性(即如一容器出現在該接收區域240內的時段展幅)環境條件的資訊寫入至各容器的電子資訊儲存構件。可對該等經放置於其內的容器及材料施用各種對於材料接受及搬移的使用者定義規則，而通常會是有關於應自一分析服務所傳送而提供予該末端使用者設施的分析結果認證(即如包含批次或貨櫃特定之材料性質資訊)。可將一分析認證、一可供接取至一分析認證的獨特識別碼、一接受或可接受決定的結果等等傳通至與一內含材料之容器相關聯的資訊儲存構件並予儲存，即如可將經儲存在一容器相關之資訊儲存構件內的資訊傳通至一處理工具控制構件，而這最好是在當一容器進入到一材料末端使用設施內時進行。此外，可在當出現一特定事件時，像是一材料末端使用設施的操作者接受該容器或材料，將表示一化學物用途模板或其他處理工具操作指令的資訊儲存至一資訊儲存裝置，或是可自其擷取而得。所欲者係前述資訊傳送步驟的自動化，藉以消除容器運送的延遲，原因是經含納於容器之內的材料可能會對像是溫度、壓力、衝撞、輻射暴露等等之環境因素相當敏感。
材料儲存容器可自該接收區域240而運送至一冷儲存區域250。對於像是光阻的材料來說，可有利地運用此冷儲存作業以防止劣化並延長貯藏壽命。該冷儲存區域250最好是含有第一及第二電子資訊通訊站台251、259，此等係經調適以與相關於各材料儲存容器(即如容器201G、201H)的電子資訊儲存構件、一環境感測器構件256及一資料通訊站台255相通聯。可按大致連續方式，或是在當該容器離開該冷儲存區域250時，將表示在該接收區域裡之目前及/或歷史性(即如一容器出現在該冷儲存區域250內的時段展幅)環境條件的資訊寫入至各容器的電子資訊儲存構件。
材料儲存容器可自該冷儲存區域250運送至一解凍或預製造材料(化學物)階備區域260。該階備區域260最好是包含第一及第二電子資訊通訊站台261、269，該等係經調適以與相關於各資料儲存容器(即如容器201I、201J)相關之電子資訊儲存構件、一環境感測器構件266以及一資料通訊站台265進行通訊。可按大致連續方式，或是在當該容器離開該階備區域260時，將表示在該接收區域裡之目前及/或歷史性(即如一容器出現在該階備區域260內的時段展幅)環境條件的資訊寫入至各容器的至少一電子資訊儲存構件(即如一長範圍RFID內置籤片)。若先前未予儲存在一與一材料儲存容器相關聯的電子資訊儲存構件之內(即如當在該供應商設施210處或是在該容器之供應鏈的任何其他點處進行填入處理時)，則可在該階備區域260裡將處理工具操作參數、設定值或操作指令，或是其他影響到處理工具材料運用的資訊，儲存至一材 料儲存容器的電子資訊儲存構件。
材料儲存容器可自該階備區域260運用至一生產處理或製造區域270。該製造區域270最好是含有第一及第二電子資訊通訊站台271、279，該等係經調適以在當向該製造區域270運入且運出容器時，可與關聯於各個材料儲存容器(即如容器201K、201N)之電子資訊儲存構件進行通訊。該製造區域270進一步含有至少一處理工具272A、272B。此等工具的範例包含鍍層追蹤處理工具，以供施用光阻和其他的半導體晶圓製程工具；然而亦可運用其他適合於醫療、製藥、生物、核能及/或奈米技術的處理工具。各個處理工具272A、272B具有一相關材料(即如化學物)包體或儲箱273A、273B，藉此將按配發關係而耦接的材料儲存容器(即如容器201L、201M)貯存至該處理工具272A、272B。各個儲箱273A、273B最好是含有多個材料儲存容器，藉以提供處理工具272A、272B的顯著無中斷操作時段，並且各個材料儲存容器的電子資訊儲存構件(即如一短範圍RFID標籤)最好是能透過適當的通訊硬體以與一相關的本地控制構件278A、278B進行感測通訊。此通訊硬體可包含一RFID讀取器(或讀/寫裝置)，其係經固接於一探針連接器，而此連接器係經調適以近密地匹配於一被架置在一容器之覆帽內的短範圍RFID標籤(即如第2A-2B圖所示)。一此類型之探針連接器可與一經操作耦接於一處理工具的控制構件(即如一工業控制器或電腦)進行接線通訊。
可對各個處理工具272A、272B設置有一本地控制構件276A、276B，而各個本地控制構件276A、276B最好是 與一中央控制器236、一監視構件235、資料儲存/擷取構件234、一選擇性遠端接取裝置206以及一使用者介面238相通訊，所有皆透過一資料通訊站台275及一通訊網路232進行，而最好是位在該末端使用者設施230本地處。各個處理工具控制構件272A、272B最好是經調適以存取及/或修改任何所儲存的批次特定及/或容器特定之材料性質、容器特定之目前及/或歷史環境條件以及材料特定之運用參數以作為輸入變數，藉此檢視該等變數對於任何處理效能、工具效能、產品效能與產品產獲的效應。各個處理工具272A、272B進一步含有一感測器構件276A、276B(即如一溫度感測器構件)，藉以監視由一材料儲存容器所體驗的環境條件，而可將該條件回報至該(等)本地及/或中央控制構件276A、276B、236，並且最好是儲存到該材料容器的電子資訊儲存構件。當材料儲存容器(即如容器201L、201M)耗盡時，可將其他的容器(即如容器201K)供應至該儲箱273A、273B，以復原該等處理工具272A、272B的操作。
會希望能夠在任何時點處進行材料儲存容器內所含材料的質量、位準或容積感測處理，而其中會耗用或釋出材料，藉以提供剩餘材料的表示及/或追蹤材料的耗用情況。會希望是透過該網路232而將此資訊，連同容器位置及材料條件(即如環境條件，可用於決定一些材料對於其所欲用途是否仍可使用)，傳通至該控制器236(或是其他所欲構件)，藉以追蹤在該材料末端使用設施230之內的材料庫存。若任何特定材料的庫存耗用至低於一預設或使用者決定之門檻值以 下，則可自動地產生對於額外材料的訂單，並且透過網路鏈結202發送至一外部供應商210。這種包含材料可接受度、容器位置、材料質量/容積/位準、材料耗用及容器/材料環境條件之資訊的整合方式可對於決定並預測未來材料需求上提供前所未有的效率。自動化材料訂購以滿足該等需求可將一實驗或工業處理程序因缺少適當或可接受材料而中斷的可能性降至最低。
在用盡來自該製造區域270內之材料儲存容器(即如容器201N)的材料後，最好是將表示一空無或用盡情況的信號記錄至與各個材料儲存容器相關的資訊儲存構件(即如以防止將一空無容器後續地誤連至一處理工具)，並且將用盡容器(即如容器201O、201P)運送至該供應商以重新充填或回收處理，或者提供給一廢棄物服務供應商以進行廢棄物處理。該貨運/廢棄物管理區域280最好是含有第一及第二電子資訊通訊站台281、289，此等係經調適以與相關於各材料儲存容器(即如容器201O、201P)之電子資訊儲存構件和一資料通訊站台285進行通訊。按此方式，即可自動地追蹤、登入及/或監視自該貨運/廢棄物管理區域280的容器運入及運出。最好是設置有一資料通訊站台285，藉以提供該貨運/廢棄物管理區域與其他經連接至該內部網路232，及/或像是處分/回收設施290、供應商設施210和追蹤局處或審查單位204的外部設施或實體，之裝置間的通訊。
經用盡容器可自該貨運/廢棄物管理區域280運送到一處分或回收設施290，最好是具有一電子資訊通訊站台291 及一資料通訊構件295，以供與外部設施或實體進行通訊。而一材料儲存容器(即如容器201Q)則可視適當情況而另為重新製造或重新調節。
有鑒於前揭說明，該系統200可提供高度自動化的材料儲存容器及其內容之「生至滅」追蹤及管理作業，如此給予顯著優點，像是：藉由將材料特定之屬性資料自動地直接遞送至該處理工具使用點，消除因使用錯誤或無效材料所造成的晶圓殘物、晶圓重製及製程停機時間，並且對於工具與製程效能的強化與新式資料分析功能性，以及先進製程控制與最佳化。該系統200的其他特性與益處可如後述。
可在供應、使用及/或處分鏈的過程中，於任何多個點處將有關於各個材料儲存容器及其內容的獨特資訊自動地增入至一可動態更新之電子資訊儲存構件，如此可在該串鏈之各點處提供可取獲電子記錄，而無須要求產生並處理個別(即如紙張)記錄。這可大幅地減少在材料追蹤與管理作業上的人力及錯誤機率。
可自一供應商設施210立即地運送材料儲存容器而無須等待材料內容的分析結果，這是由於可將該等結果傳送至該配送設施220及該末端使用者設施230的任一者，並且接著再「併入」到與該材料儲存容器相關聯的可動態更新電子資訊儲存構件之內。如此可縮短貨運延遲，並且降低供應鏈中斷的機率。
該系統200可讓該末端使用者簡易地定義、更改且提供對於各材料儲存容器及其內容之接受、搬移與適當用途 的規則。
該系統200提供該末端使用者能夠對材料供應商提供每一個位在該末端使用者設施230內之供應商容器的位置之詳細庫存報告的能力。該系統200可產生出將庫存再供應要求自動地傳通至其上游庫存倉儲點的自動化庫存「選表」。
該系統200可提供該末端使用者設施230與該材料供應商之間的資料傳送功能性。若有需要，可在該材料供應商和一可關聯於一與一特定材料儲存容器相關之電子資訊儲存構件的資料貯庫間建立通訊作業。此通訊作業可供交換任何容器特定、材料特定及批次特定的資訊。
有關於任何材料特徵、容器資訊、目前和歷史環境條件以及材料使用資訊的資訊是儲存在一與一材料儲存容器相關聯之電子資訊儲存構件上，並可與外部軟體及資料系統共享。此項資訊，並視需要含有其他處理資訊，可透過各種類型之使用者介面以向使用者顯示，這些包含一本地顯示器(即如一觸控顯示器)，而經放置在處理工具之處或之上；一本地遠端顯示器(即如使用者介面238)，而自一處理工具移離，然仍位在承載此處理工具的處理設施之內；或是一位於該處理工具遠端的真正遠端顯示器。例如，對於一含有一「追蹤處理工具」之處理工具272A，此顯示器可包含一哪一材料係經連接至一特定配發噴嘴的表現，並且提供有關於各個材料的詳細資訊。可由該處理工具272A，及/或任何相關聯或經整合的控制構件278A、236或監視構件235運用此項有關於任何材料特徵、容器資訊、目前和歷史環境條件以及材料使用 的資訊，藉以提供彈性且詳盡的工具與生產報告。
在一較佳具體實施例裡，會按一通訊格式，像是「半導體設備通訊標準(「SECS」)」或SECS-GEN，將在一關聯於一材料儲存容器(即如容器201M)之電子資訊儲存裝置或構件間的資料傳送提供至一外部裝置，即如處理工具控制器(即如控制器278A)。例如，當施用於一具有多個噴嘴之鍍層追蹤處理工具時，可對一相關聯於其一材料儲存容器之電子資訊儲存構件指配以一資料檔案，其獨特地對映至該工具之一特定噴嘴，而視需要或適當狀況連同其他的欄位識別資料。此檔案可包含具有多個欄位的逗點分隔資料，像是下列之屬性列表及範例資料檔案中所提供者：
CoatModuleName,CoatModuleNumber,ResistNozzleNumber,BottleNumber
COT,10123,1,1
COT,10124,1,1
COT,10125,1,1
COT,10126,1,1
BCT,10123,2,1
BCT,10124,2,1
BCT,10125,2,1
BCT,10126,2,1
該系統200可提供各種材料管理方法。例如，參照於第6圖，一材料管理方法400概略係用以將資訊儲存在一 電子資訊儲存裝置內，並且運用所存資訊以設定或調整一處理工具的操作參數。開始於第6圖的上端處，一第一方法步驟402包含對一具有一相關電子資訊儲存裝置之容器填入以材料。一第二方法步驟404包含在一與該容器相關聯的電子資訊儲存裝置中儲存表示下列任一者之資訊：(a)一批次特定之材料性質，(b)一容器特定之材料性質，(c)一容器特定之目前和環境條件，(d)一容器特定之歷史和環境條件，以及(e)一材料特定之運用參數(或處理工具操作參數)。可如前述般藉一填入系統100執行步驟402、404。
可再一第三步驟408裡對一材料儲存容器之內容的一材料樣本表示進行分析。可在步驟406裡，於一將內含材料之儲存容器貨運至一材料處理末端使用設施的過程中，或之後，執行此分析作業。在運送過程裡，可在步驟405中，由各種任何感測器監視該容器及/或材料的環境條件。在材料分析作業之後，可於步驟410中令一材料儲存容器能夠取獲該等分析結果。此外，或另者，可在步驟410裡令一材料儲存容器能夠獲用對於該處理工具的處理資訊，像是材料特定之運用參數或操作參數。可在步驟409中自動地，或是回應於一網路詢問請求，以提供此項資訊。可在貨運步驟406之過程中、在步驟412裡當一末端使用設施處收到一容器時，或是作為一個別通訊步驟418的一部分，將該項資訊比對至適當的材料儲存容器，而其中會將來自於一材料儲存容器及/或資料貯庫的資訊傳通至一處理工具控制裝置。若於步驟414中，在該末端使用者設施之內搬動一內含材料的容器，則可 在步驟415裡監視該容器所體驗的環境條件。
在步驟418裡資訊自一電子資訊儲存裝置(關聯於一材料儲存容器)至一處理工具控制裝置的通訊可供在步驟420裡自動地設定或調整一處理工具的操作參數。之後，可在步驟422內執行一處理程序及/或藉該處理工具製造一產品物項。此一產品物項不需要具體實作一經完工之消費用貨品；相反地，這可包含任何適當的經處理材料，並且具體實作一用於後續處理步驟的先質材料。較佳產品物項包含半導體材料，像是一半導體基板、晶圓或晶錠；或另者，一產品物項可包含一醫療、製藥、生物或核能物項。在該處理或製造步驟422之後，可在步驟424對該產品物項之一屬性進行分析。此分析作業包含任何傳統各式效能測試或品質確保/品質控制測試。回應於該分析步驟424，可在步驟420裡進一步調整該處理工具之一操作參數。所獲方法400係經良好調適於製程最佳化，並且消除對於人工方式輸入材料特定之處理參數的需要，而此人工輸入伴隨有操作員錯誤的可能性。
另一材料管理方法的各種步驟可如第7圖所示。在一第一方法步驟432裡，一材料儲存容器經填入以材料，並且將有關於該者的資訊(即如一獨特容器識別碼、材料品質、材料類型、所欲接收者識別資料等等)儲存在一相關的資訊儲存裝置內。在一後續步驟436裡，該內含材料之容器被運送到一末端使用處理設施。在該運送步驟過程中或之後，在438步驟裡對一代表該材料儲存容器之內容的材料樣本進行分析(即如在一材料供應商設施處或遠端測試設施)，以確知任何各 種材料性質。在完成分析步驟438之前先於步驟436內進行容器貨運可避免貨運延遲，並且將材料貯藏壽命最大化。
由該分析步驟438所產生的資訊可在步驟440裡令適當的材料儲存容器獲用。例如，可在該貨運步驟436的過程中傳送分析結果並比對於適當的容器。或另者，可當在一末端使用設施接收區域處收到容器時，或者是當將一容器放置在該末端使用設施內之一適當階備區域時，將分析結果比對於適當的容器。在步驟444裡，可將該分析資訊儲存在一與該適當容器相關聯的電子資訊儲存裝置上，或是傳送至一位於該容器遠端的網接資料貯庫(例如，並透過一像是「電子產品碼」之獨特識別碼而關聯於該容器)。在一進一步具體實施例裡，提供該材料資訊的本地及遠端儲存(相關於該容器)兩者。藉助於此項資訊，可執行一核可步驟，其中可對下列任何項目而與一預設或經使用者定義之關鍵標準加以比較：(a)一容器的末端使用處理設施接受度；(b)一容器搬移至一預設位置(即如在該末端使用設施內)；以及(c)該容器及其材料內容的選定用途。然後，在步驟448裡將所存資訊傳送至一處理工具控制裝置，並且在步驟450裡設定或調整該處理工具的操作參數。接著，可製造並分析一產品，而結果可如前述般用以進一步調整一操作參數以獲製程最佳化。
可藉前揭方法運用進一步的資訊傳送及辨識步驟。在一具體實施例裡，可透過一網路將一含有批次特定或材料特定之材料性質資訊(即如經納入在一分析認證之內)的記錄自一分析服務供應商傳送至一可經由一材料末端使用設施而 接取至的資料貯庫。並且將一供以接取至此記錄之識別碼傳送，或另儲存，至一關聯於一含有此材料之容器的電子資訊儲存構件。可利用此識別碼來存取該所儲存的材料性質資訊記錄，並且可在將該材料自該容器配發至一處理工具之前，先行辨識(即如由與一處理工具相關聯的控制裝置)此資訊的接受度。在另一具體實施例裡，可對自此一分析所獲得之材料性質資訊接受度進行辨識，並且將表示此接受度辨識結果的資訊記錄至與一含有該材料之容器相關聯的資訊儲存裝置。
又另一材料管理方法460的步驟可如第8圖所描繪。開始於右上方，一第一步驟461包含提供一材料規格。一第二步驟462包含供應一材料至具有一相關電子資訊儲存裝置的材料儲存容器。在步驟464裡，該電子資訊儲存裝置內(或另者，在一經鏈結於一容器上識別碼之遠端資料貯庫內)儲存有表示如下任何項目的資訊：(a)材料識別資料；(b)材料組成成分；(c)材料來源；(d)材料數量；(e)材料批次；(f)一批次特定之材料性質；(g)任何容器特定之材料性質；以及(h)容器識別資料。在步驟475裡，可監視表示由該容器及/或其材料內容所體驗到之環境條件的資訊，並且在步驟476裡儲存此項資訊(即如在一電子資訊儲存裝置或中央資料貯庫內)。在步驟478裡，將任何前揭資訊提供至一相關於一處理工具的控制裝置，並且在步驟480裡用以設定/調整該處理工具的處理參數。在步驟482裡，製造出一運用一接收自該材料儲存容器之材料的產品。之後，將特定於該材料及/或容器的資訊， 這可選擇性地包含環境條件資訊，關聯於表示如下任何項目的產品資訊：(a)產品獨特識別資料、(b)產品批次資訊，及/或(c)產品製造日期/時間，而加以儲存(即如在一可搜尋資料庫之內)。此儲存作業會將一所製造產品關聯於在其製造作業中所使用的材料。在步驟484裡，分析該產品的一或更多屬性，而結果可用以在步驟480裡回應性地調整該處理工具的參數。可緊隨在產品生產作業之後，或是在一些情況下於此遠遠之後，執行該產品分析作業。將裝置效能關聯於來源材料的能力有助於製程最佳化，並且有助於稍後快速地召回經決定為具有瑕疵之產品或產品批次，而無須進行整體產品的確保測試。回應於產品分析步驟484，亦可視需要調整材料規格461以改善生產程序。
在步驟485內，可基於任何各種理由進行經鏈結之所完成產品/材料資料庫的後續資料庫搜尋，並且在步驟486內產生報告。產品中所實作之材料使用自動化計量可大幅消除資料輸入錯誤，提供由個別供應商所提供之材料規格及材料對於產品產獲量之影響的嚴格分析，並且使得對回收或處分組織、政府單位及/或貿易組織的回報處理流暢化。
本發明在此雖既已參照於特定本發明之要點、特性與示範性具體實施例所描述，然將能瞭解本發明之運用方式並不因而受限，而是相反地可延伸並涵蓋無數種其他變化項目、修改項目與替代性具體實施例，即如熟諳本發明領域之技藝的人士基於本文揭示所自行構思者。從而，即如本文所主張者，本發明係為以經廣泛地詮釋與解譯，即如將所有該 等變化項目、修改項目與替代性具體實施例納入在其精神與範疇之內。

Claims (34)

  1. 一種材料儲存及配發組件，包含：一材料儲存容器，該材料儲存容器具有一容器主體，適以容納用於後續從該材料儲存容器配發的一材料；一覆帽；及一第一電子儲存構件及一第二電子儲存構件，該等第一及第二電子儲存構件之各者包含一處理器、一記憶體及一通訊鏈結，該記憶體儲存關於容納在該儲存容器之中的一材料之資訊，且該通訊鏈結用於發送及/或接收資訊，該通訊鏈結及該記憶體可通訊耦合至該處理器。
  2. 如請求項第1項所述之材料儲存及配發組件，進一步包含一連接器，該連接器配置成與該覆帽關聯，且包括一探針。
  3. 如請求項第1項所述之材料儲存及配發組件，其中該第一電子儲存構件為一短範圍電子儲存構件，及該第二電子儲存構件為一長範圍電子儲存構件且耦合至該材料儲存容器。
  4. 如請求項第1項所述之材料儲存及配發組件，其中該材料儲存容器進一步包含一可移除管線(removable liner)，且其中該容器主體供以作為一選擇性壓化外裝，以有助於儲存控制及可控制的從該材料儲存容器配發材料。
  5. 如請求項第1項所述之材料儲存及配發組件，其中關於在 該儲存容器之中含有的該材料之該資訊為一特定材料運用參數之表示。
  6. 如請求項第1項所述之材料儲存及配發組件，其中關於在該儲存容器之中含有的該材料之該資訊為一處理工具操作指令之表示。
  7. 如請求項第1項所述之材料儲存及配發組件，其中關於在該儲存容器之中含有的該材料之該資訊為一材料特性之表示。
  8. 如請求項第1項所述之材料儲存及配發組件，其中關於在該儲存容器之中含有的該材料之該資訊為一特定容器之目前或歷史環境條件之表示。
  9. 如請求項第1項所述之材料儲存及配發組件，該記憶體進一步儲存用於該材料儲存容器的一獨特識別碼。
  10. 如請求項第1項所述之材料儲存及配發組件，該記憶體進一步儲存關於材料可接受度、容器位置、及/或材料位準之資訊。
  11. 如請求項第1項所述之材料儲存及配發組件，進一步包含與該材料儲存容器相關聯的一或更多感測器，該一或更多 感測器係選自以下構成之群組：一溫度感測器、一壓力感測器、一應變感測器、一化學物感測器、一溼度感測器、一加速度反應感測器及一材料位準感測器，該一或更多感測器配置成傳送一經感測的參數之一訊號表示。
  12. 如請求項第11項所述之材料儲存及配發組件，其中該一或更多感測器配置成將一經感測的參數之一訊號表示傳送至該等第一或第二電子儲存構件之至少一者。
  13. 如請求項第11項所述之材料儲存及配發組件，其中該一或更多感測器配置成將一經感測的參數之一訊號表示傳送至一遠端資料貯庫。
  14. 如請求項第1項所述之材料儲存及配發組件，其中該第二資訊儲存構件具有比該第一資訊儲存構件更大的一訊號接收範圍。
  15. 如請求項第14項所述之材料儲存及配發組件，其中該第一電子儲存裝置包含一RFID標籤且耦合至該覆帽，及該第二電子儲存裝置包含一RFID標籤且耦合至該材料儲存容器。
  16. 如請求項第1項所述之材料儲存及配發組件，其中該等第一或第二電子儲存構件之至少一者的該記憶體為一動態可更新記憶體，該動態可更新記憶體能夠接收且儲存關於在該 材料儲存容器中含有的該材料之資訊。
  17. 如請求項第1項所述之材料儲存及配發組件，其中該等第一或第二電子儲存構件之至少一者配置成將儲存在該記憶體中關於該儲存容器之中含有的一材料之該資訊，透過該通訊鏈結無線傳送至一遠端裝置。
  18. 如請求項第17項所述之材料儲存及配發組件，其中從該等第一或第二電子儲存構件之至少一者傳送的該資訊包含一容器位置及/或容器位準之資訊表示。
  19. 如請求項第1項所述之材料儲存及配發組件，其中該等第一或第二電子儲存構件之至少一者配置成透過該通訊鏈結從一遠端裝置接收資訊，且至少部分地基於從該遠端裝置接收的該資訊，更新儲存在該記憶體中關於該儲存容器之中含有的該材料之該資訊。
  20. 如請求項第1項所述之材料儲存及配發組件，其中從該遠端裝置接收的該資訊可包括一日期及/或時間戳記。
  21. 如請求項第1項所述之材料儲存及配發組件，其中該等第一或第二電子儲存構件之至少一者配置成將儲存在該記憶體中關於該儲存容器之中含有的一材料之該資訊，無線傳送至一處理工具控制構件。
  22. 一種用於監視一或更多材料儲存容器之系統，該系統包含：一網路；至少一個材料儲存容器，該材料儲存容器適以容納用於後續從該材料儲存容器配發的一材料，該材料儲存容器具有至少一個電子資訊儲存裝置，該電子資訊儲存裝置之中儲存關於在該材料儲存容器中含有的材料之資訊，該電子資訊儲存裝置包含一通訊鏈結及一動態可更新記憶體，該通訊鏈結用於透過該網路發送及/或接收資訊進及/或出一遠端裝置，該動態可更新記憶體配置成接收且更新關於在該材料儲存容器中含有的該材料之資訊，及一通訊鏈結；一電子通訊資訊站台；及一資料儲存/擷取構件，其中該電子通訊資訊站台及該資料儲存/擷取構件適以透過該網路發送及/或接收資訊進及/或出與該材料儲存容器相關聯的該至少一個電子資訊儲存裝置。
  23. 如請求項第22項所述之系統，進一步包含一中央控制器，該中央控制器透過該網路與該電子通訊資訊站台及該資料儲存/擷取構件通訊。
  24. 如請求項第22項所述之系統，其中該動態可更新記憶體進一步配置成接收及儲存該材料儲存容器的位置之資訊表 示。
  25. 如請求項第22項所述之系統，其中該動態可更新記憶體進一步配置成接收及儲存該材料儲存容器中剩餘的一材料量之資訊表示。
  26. 如請求項第22項所述之系統，進一步包含至少一個感測器，該至少一個感測器配置成透過該網路，將一經感測的參數之資訊表示發送至與該材料儲存容器相關聯的該至少一個電子資訊儲存裝置，該經感測的參數之該資訊表示儲存在該電子資訊儲存裝置的該動態可更新記憶體中。
  27. 如請求項第22項所述之系統，進一步包含一遠端使用者介面，該遠端使用者介面包括通訊耦合至該網路的一顯示器，其中至少一個電子資訊儲存裝置配置成透過該網路將儲存在該動態可更新記憶體中的該資訊傳送至該遠端使用者介面，其中該資訊對該使用者顯示在該顯示器上。
  28. 如請求項第22項所述之系統，其中在進入一設施或一設施區域之後，該至少一個電子資訊儲存裝置配置成立即將儲存在該動態可更新記憶體中的該資訊，透過該通訊鏈結，在該網路上自動地傳送至儲存/擷取構件。
  29. 一種材料儲存及配發設備，包含： 至少一個材料儲存容器，該材料儲存容器適以容納用於後續從該材料儲存容器配發的一材料，該材料儲存容器具有至少一個相關聯的電子資訊儲存裝置，該電子資訊儲存裝置之中儲存關於在該材料儲存容器中含有的材料之資訊，該電子資訊儲存裝置包含一動態可更新記憶體，該動態可更新記憶體能夠接收且儲存關於在該材料儲存容器中含有的該材料之資訊；至少一個電子資訊讀取裝置，適以從該至少一個電子資訊儲存裝置進行讀取；及一處理器，安排成處理從該至少一個資訊儲存裝置讀取的該資訊，及處理關於從該材料儲存容器所需的材料之資訊。
  30. 一種材料管理系統，包含：至少一個材料儲存容器，其中各個容器具有附加至容器的至少一個動態可更新電子資訊儲存構件，該至少一個動態可更新電子資訊儲存構件能夠接收且儲存資訊；及一監視系統，適以在一材料終端使用處理設施中監視複數個功能性區域之中的該至少一個材料儲存容器之位置，該監視系統包含一網路，該網路配置成准許在一或更多資料通訊構件及一或更多網路裝置之間通訊；至少一個資料通訊構件，該至少一個資料通訊構件與該網路通訊；及至少一個電子資訊通訊站台，該至少一個電子資訊通訊 站台適以與附加至各個材料儲存容器的該至少一個電子資訊儲存構件通訊。
  31. 如請求項第30項所述之系統，其中該等網路裝置係選自以下構成之群組：一中央處理器、一監視構件、一資料儲存/擷取構件、一使用者介面、及以上之一結合。
  32. 如請求項第30項所述之系統，其中該監視系統適以在一或更多該等功能性區域之中監視該至少一個材料儲存容器之位置，該一或更多功能性區域選自以下構成之群組：一接收區域、一冷凍儲存區域、一預製造區域、一貨運區域、一廢棄物管理區域或一處理區域。
  33. 如請求項第30項所述之系統，進一步包含一第一電子資訊通訊站台及一第二電子資訊通訊站台，該第一電子資訊通訊站台用於在一選定的區域中與一入方材料儲存容器通訊，且該第二電子資訊通訊站台與一出方材料儲存容器通訊。
  34. 一種利用複數個無線資訊讀取裝置用以管理複數個材料儲存容器的方法，該複數個材料儲存容器之各者具有相關聯的電子資訊，該方法包含以下步驟：在一材料終端使用處理設施的一材料運入功能性區域中，偵測一第一材料儲存容器的進入；自動地傳送至一資料貯庫表明該材料儲存容器中的至 少一個該材料之資訊，且表明與該第一材料儲存容器相關聯的該容器之環境，及一特定批次材料特性、一特定容器材料特性、一特定容器目前或歷史環境條件、一處理工具操作指令、及一特定材料利用參數之任一者的表示；在該材料終端使用處理設施中，監視複數個功能性區域之中該第一材料儲存容器之任何位置及動作；及自動地將任何容器位置及容器動作之資訊表示傳送至該資料貯庫。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI667558B (zh) * 2018-09-26 2019-08-01 優思瑪特科技股份有限公司 危險物品監控系統

Families Citing this family (52)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6879876B2 (en) 2001-06-13 2005-04-12 Advanced Technology Materials, Inc. Liquid handling system with electronic information storage
WO2008011297A2 (en) 2006-07-10 2008-01-24 Advanced Technology Materials, Inc. Systems and methods for managing material storage vessels having information storage elements
JP4555881B2 (ja) * 2008-03-18 2010-10-06 株式会社日立国際電気 基板処理装置及び表示方法
TWI402754B (zh) * 2008-10-30 2013-07-21 China Steel Corp Radio Frequency Identification Electronic Resume Management System and Method
JP5635102B2 (ja) * 2009-09-21 2014-12-03 エイブリィ デニソン コーポレーション 調剤廃棄物の識別ラベル付設並びに処理システム、及び関連の使用方法
TWI426456B (zh) * 2009-11-17 2014-02-11 Ding Li Tong Technology Co Ltd Chemical management system
US10455682B2 (en) 2012-04-04 2019-10-22 Hypertherm, Inc. Optimization and control of material processing using a thermal processing torch
US10486260B2 (en) * 2012-04-04 2019-11-26 Hypertherm, Inc. Systems, methods, and devices for transmitting information to thermal processing systems
US9782852B2 (en) 2010-07-16 2017-10-10 Hypertherm, Inc. Plasma torch with LCD display with settings adjustment and fault diagnosis
DE102011117963A1 (de) * 2011-11-07 2013-05-08 Eppendorf Ag Fluidtransfervorrichtung
US9201416B2 (en) * 2012-01-24 2015-12-01 Fisher Controls International Llc Asset data modules including an integral near field communication interface
US9395715B2 (en) 2012-04-04 2016-07-19 Hypertherm, Inc. Identifying components in a material processing system
US11783138B2 (en) * 2012-04-04 2023-10-10 Hypertherm, Inc. Configuring signal devices in thermal processing systems
US9737954B2 (en) 2012-04-04 2017-08-22 Hypertherm, Inc. Automatically sensing consumable components in thermal processing systems
US20150332071A1 (en) 2012-04-04 2015-11-19 Hypertherm, Inc. Configuring Signal Devices in Thermal Processing Systems
US9672460B2 (en) 2012-04-04 2017-06-06 Hypertherm, Inc. Configuring signal devices in thermal processing systems
TW201351295A (zh) * 2012-06-11 2013-12-16 Chang-Ren Chen 配合定位之晶片標籤防偽方法與系統
US9870450B2 (en) * 2012-09-11 2018-01-16 Zolo Solutions, Inc. Drug delivery regulator
US10124940B2 (en) * 2012-09-11 2018-11-13 Zolo Solutions, Inc. Systems, methods, and devices for dispensing one or more substances
JP5414866B1 (ja) * 2012-09-26 2014-02-12 日立アロカメディカル株式会社 検体搬送システム
US20140156455A1 (en) * 2012-11-30 2014-06-05 Polar Technology, LLC Refrigerant Exchange, Recycling and Banking System and Computer Program Product
US9385018B2 (en) * 2013-01-07 2016-07-05 Samsung Austin Semiconductor, L.P. Semiconductor manufacturing equipment with trace elements for improved defect tracing and methods of manufacture
US9518873B2 (en) 2013-06-27 2016-12-13 Google Technology Holdings LLC Electronic system and method for thermal management therein taking into account solar thermal loading
US10694655B2 (en) 2013-08-27 2020-06-30 Amvac Chemical Corporation Tagged container tracking
US9643273B2 (en) 2013-10-14 2017-05-09 Hypertherm, Inc. Systems and methods for configuring a cutting or welding delivery device
US11229155B2 (en) 2013-10-25 2022-01-25 Amvac Chemical Corporation Tagged container tracking
US11864485B2 (en) 2013-10-25 2024-01-09 Amvac Chemical Corporation Tagged container tracking
WO2015134966A1 (en) 2014-03-07 2015-09-11 Hypertherm, Inc. Liquid pressurization pump and systems with data storage
US10786924B2 (en) 2014-03-07 2020-09-29 Hypertherm, Inc. Waterjet cutting head temperature sensor
US20150269603A1 (en) 2014-03-19 2015-09-24 Hypertherm, Inc. Methods for Developing Customer Loyalty Programs and Related Systems and Devices
WO2015150868A1 (en) * 2014-04-01 2015-10-08 Sony Corporation Harmonizing a projected user interface
KR20150126507A (ko) 2014-05-02 2015-11-12 한국과학기술연구원 콘텐츠 제공 장치 및 방법
US20160019494A1 (en) * 2014-07-21 2016-01-21 Brian Millett System and method for monitoring movable inventory
AT514309A2 (de) * 2014-07-31 2014-11-15 Avl List Gmbh System zur Erfassung eines Bestandes an Überwachungsobjekten einer Anlage
US9672522B2 (en) * 2014-09-15 2017-06-06 Airgas, Inc. System and method for capturing and transferring information onto a gas cylinder using a QR code
US9582977B2 (en) * 2014-12-23 2017-02-28 Intel Corporation Systems and methods for monitoring consumption
CN104647326B (zh) * 2015-01-13 2016-11-30 逄锦辉 移动式无线电子置物架、定位系统和方法及生产线
US10247363B2 (en) 2015-02-12 2019-04-02 Entegris, Inc. Smart package
US10078127B2 (en) * 2015-09-15 2018-09-18 Nxp B.V. Tracking spatial placement of HF RFID tag objects on a surface using multiple reception antennas
US10146132B2 (en) 2017-01-13 2018-12-04 Globalfoundries Inc. Mobile dispense device for chemicals used in micro-processing
WO2019014880A1 (zh) * 2017-07-19 2019-01-24 深圳和而泰智能控制股份有限公司 一种可自动识别钻头的电动装置、钻头及电动工具
US10449889B2 (en) * 2017-11-30 2019-10-22 Walmart Apollo, Llc Systems and methods for receiving retail products
JP2020018536A (ja) * 2018-07-31 2020-02-06 オリンパス株式会社 内視鏡及び内視鏡の防水キャップ
DE102018214306A1 (de) * 2018-08-23 2020-06-25 SCHäFER WERKE GMBH Datenmodul für einen Behälter
FR3085526B1 (fr) * 2018-08-30 2023-07-28 Connected Shifts Procede et dispositif de surveillance d'un liquide contenu dans un contenant
JP7081436B2 (ja) * 2018-10-18 2022-06-07 富士通株式会社 情報処理装置、工程情報収集方法および工程情報収集プログラム
TWI727426B (zh) * 2019-09-20 2021-05-11 星光環保有限公司 廢棄物運輸管理系統及其方法
CN110705118B (zh) * 2019-10-11 2023-07-25 合肥工业大学 工业控制系统的网络实验平台及其构建方法
CN110993527B (zh) * 2019-11-07 2022-08-02 航天科工微电子系统研究院有限公司 一种新型的微系统智能制造生产线及其实现方法
KR102326014B1 (ko) * 2019-12-02 2021-11-15 세메스 주식회사 가스 실린더 보관 장치
KR102326015B1 (ko) * 2019-12-02 2021-11-15 세메스 주식회사 가스 실린더 보관 장치
WO2022102797A1 (ko) * 2020-11-10 2022-05-19 주식회사디즈메카 디스플레이 반도체 제조용 화학물질 드럼의 인식수단 결합장치

Family Cites Families (192)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0086029B1 (en) 1982-02-05 1988-03-09 Imperial Chemical Industries Plc Fluid container
US4403866A (en) 1982-05-07 1983-09-13 E. I. Du Pont De Nemours And Company Process for making paints
US4688026A (en) 1984-05-15 1987-08-18 Scribner James R Method of collecting and using data associated with tagged objects
IT1199500B (it) 1984-10-12 1988-12-30 Corob Srl Metodo per la dosatura a volume di coloranti nei prodotti vernicianti e macchina relativa
NL8602148A (nl) 1986-08-25 1988-03-16 Nedap Nv Identificatie ten behoeve van het laden en lossen van tankwagens.
US4723967A (en) 1987-04-27 1988-02-09 Advanced Technology Materials, Inc. Valve block and container for semiconductor source reagent dispensing and/or purification
US5102010A (en) 1988-02-16 1992-04-07 Now Technologies, Inc. Container and dispensing system for liquid chemicals
US4951512A (en) 1988-06-23 1990-08-28 Baxter International Inc. System for providing access to sealed containers
US5014208A (en) 1989-01-23 1991-05-07 Siemens Corporate Research, Inc. Workcell controller employing entity-server model for physical objects and logical abstractions
NO174942C (no) 1990-12-03 1994-08-03 Corrocean As Anordning for montering, hhv. demontering av sonder i prosessrör, tanker e.l.
US5223796A (en) 1991-05-28 1993-06-29 Axiomatics Corporation Apparatus and methods for measuring the dielectric and geometric properties of materials
FR2685519A1 (fr) 1991-12-20 1993-06-25 Gemplus Card Int Systeme pour l'identification de recipients et notamment de bouteilles de gaz.
US5351415A (en) * 1992-05-18 1994-10-04 Convey, Inc. Method and apparatus for maintaining clean articles
JPH0613100A (ja) 1992-06-24 1994-01-21 Hitachi Ltd 燃料電池締付装置
US5448220A (en) 1993-04-08 1995-09-05 Levy; Raymond H. Apparatus for transmitting contents information
US5558083A (en) 1993-11-22 1996-09-24 Ohmeda Inc. Nitric oxide delivery system
US5638285A (en) 1993-12-22 1997-06-10 Ingersoll-Dresser Pump Company System for dispensing dry agricultural chemicals
US5524794A (en) 1994-05-23 1996-06-11 Ingersoll-Dresser Pump Company Metering device for granular materials
US5604681A (en) 1994-06-03 1997-02-18 Dover Corporation Coupler identification systems
US5507192A (en) 1994-09-13 1996-04-16 Beaudin; Allen B. Automated gas measurement system
DE4433701A1 (de) 1994-09-21 1996-03-28 Siemens Ag Vorrichtung zur berührungslosen Energie- und Datenübertragung auf induktivem Wege, und bevorzugte Verwendung derselben zur Identifikation von Gasflaschen
US6132492A (en) 1994-10-13 2000-10-17 Advanced Technology Materials, Inc. Sorbent-based gas storage and delivery system for dispensing of high-purity gas, and apparatus and process for manufacturing semiconductor devices, products and precursor structures utilizing same
US6204180B1 (en) 1997-05-16 2001-03-20 Advanced Technology Materials, Inc. Apparatus and process for manufacturing semiconductor devices, products and precursor structures utilizing sorbent-based fluid storage and dispensing system for reagent delivery
US5518528A (en) 1994-10-13 1996-05-21 Advanced Technology Materials, Inc. Storage and delivery system for gaseous hydride, halide, and organometallic group V compounds
US5707424A (en) 1994-10-13 1998-01-13 Advanced Technology Materials, Inc. Process system with integrated gas storage and delivery unit
US5651402A (en) 1995-02-02 1997-07-29 David C. Nelson Of Premium Balloon Accessories Automated balloon inflation device
US5603430A (en) 1995-02-10 1997-02-18 Dec International, Inc. Beverage dispensing system with bottle identification mechanism
US5663488A (en) 1995-05-31 1997-09-02 Hewlett-Packard Co. Thermal isolation system in an analytical instrument
US5594162A (en) 1995-06-06 1997-01-14 Dolan; James P. Valve stem gas leak detector
US5940780A (en) 1995-09-29 1999-08-17 Advanced Thermal Solutions, Inc. Universal transceiver
US5627517A (en) 1995-11-01 1997-05-06 Xerox Corporation Decentralized tracking and routing system wherein packages are associated with active tags
US5993766A (en) 1996-05-20 1999-11-30 Advanced Technology Materials, Inc. Gas source and dispensing system
US5837027A (en) 1996-05-20 1998-11-17 Advanced Technology Materials, Inc. Manufacturing process for gas source and dispensing systems
US5961697A (en) 1996-05-20 1999-10-05 Advanced Technology Materials, Inc. Bulk storage and dispensing system for fluids
US5882384A (en) 1996-05-20 1999-03-16 Advanced Technology Materials, Inc. Gas source and dispensing system with in situ monitoring of pressure and temperature
US5858067A (en) 1996-05-20 1999-01-12 Advanced Technology Materials, Inc. Ex situ degassing and sorbate loading system for manufacture of sorbent-based fluid storage and dispensing apparatus
US5917140A (en) 1996-05-21 1999-06-29 Advanced Technology Materials, Inc. Sorbent-based fluid storage and dispensing vessel with enhanced heat transfer means
US5774876A (en) 1996-06-26 1998-06-30 Par Government Systems Corporation Managing assets with active electronic tags
US5803673A (en) 1996-07-10 1998-09-08 Pathfinder Systems, Inc. Portable pneumatic precision metering device
US5949049A (en) 1996-07-17 1999-09-07 Span Instruments, Inc. Inventory control probe and control module with docking station
US5893263A (en) 1996-07-19 1999-04-13 Techno Medica Co., Ltd. Automatic bar code label applying apparatus for test tubes
US6282458B1 (en) 1996-09-17 2001-08-28 Ricoh Company, Ltd. Methods and systems for controlling olfactory stimuli
US5802859A (en) 1996-12-16 1998-09-08 Hudson Technologies, Inc. Apparatus for recovering and analyzing volatile refrigerants
US5852590A (en) 1996-12-20 1998-12-22 De La Huerga; Carlos Interactive label for medication containers and dispensers
US5955684A (en) 1997-01-06 1999-09-21 Rosemount Inc. Modular probe
US5953682A (en) * 1997-02-14 1999-09-14 Millipore Corporation Automated gas cylinder tracking system
US5938080A (en) 1997-02-21 1999-08-17 The Geon Company System and apparatus for dispensing high-viscosity pigments
US5875921A (en) 1997-03-12 1999-03-02 Now Technologies, Inc. Liquid chemical dispensing system with sensor
US7061831B2 (en) 1997-03-28 2006-06-13 Carlos De La Huerga Product labeling method and apparatus
US5980183A (en) * 1997-04-14 1999-11-09 Asyst Technologies, Inc. Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system
US6110257A (en) 1997-05-16 2000-08-29 Advanced Technology Materials, Inc. Low concentration gas delivery system utilizing sorbent-based gas storage and delivery system
US6019823A (en) 1997-05-16 2000-02-01 Advanced Technology Materials, Inc. Sorbent-based fluid storage and dispensing vessel with replaceable sorbent cartridge members
US6027547A (en) 1997-05-16 2000-02-22 Advanced Technology Materials, Inc. Fluid storage and dispensing vessel with modified high surface area solid as fluid storage medium
US5851270A (en) 1997-05-20 1998-12-22 Advanced Technology Materials, Inc. Low pressure gas source and dispensing apparatus with enhanced diffusive/extractive means
US5985008A (en) 1997-05-20 1999-11-16 Advanced Technology Materials, Inc. Sorbent-based fluid storage and dispensing system with high efficiency sorbent medium
US6579052B1 (en) * 1997-07-11 2003-06-17 Asyst Technologies, Inc. SMIF pod storage, delivery and retrieval system
US6052629A (en) 1997-07-18 2000-04-18 Gilbarco Inc. Internet capable browser dispenser architecture
US6067844A (en) 1997-08-15 2000-05-30 Shell Oil Company Nondestructive method for detection of defects and the condition of liners in polymer-lined pipes and equipment
JPH1173219A (ja) 1997-08-29 1999-03-16 Dainippon Printing Co Ltd ビア樽管理システムとビアサーバ
US6347723B1 (en) * 1997-09-22 2002-02-19 Bartec Componenten Und Systeme Gmbh Method and security system for securing a flowable good
US5969970A (en) 1997-11-04 1999-10-19 Lucent Technologies, Inc. Safety interlock for use in handling hazardous materials
US5942980A (en) 1997-11-20 1999-08-24 Innovative Measurement Methods, Inc. Multi-sensor hydrostatic gauge for fuel storage tanks
US6418352B1 (en) * 1997-12-12 2002-07-09 Brooks Automation Gmbh Integrated material management module
US6830181B1 (en) * 1998-02-09 2004-12-14 Intermec Ip Corp. Combined optical and radio frequency tag reader
FR2775511B1 (fr) 1998-02-27 2000-04-14 Air Liquide Installation de stockage et de retention de bouteilles de gaz
US6571151B1 (en) 1998-03-06 2003-05-27 Russel Dean Leatherman Wireless nozzle interface for a fuel dispenser
US6199720B1 (en) 1998-03-20 2001-03-13 The Coca-Cola Company Vending machine
US6085576A (en) 1998-03-20 2000-07-11 Cyrano Sciences, Inc. Handheld sensing apparatus
US6406519B1 (en) 1998-03-27 2002-06-18 Advanced Technology Materials, Inc. Gas cabinet assembly comprising sorbent-based gas storage and delivery system
US6660063B2 (en) 1998-03-27 2003-12-09 Advanced Technology Materials, Inc Sorbent-based gas storage and delivery system
IL124424A0 (en) 1998-05-11 1998-12-06 On Track Innovations Ltd Self-closing cap including an integral smart card
JP3673081B2 (ja) 1998-05-14 2005-07-20 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
JP2911875B1 (ja) 1998-05-20 1999-06-23 清境工程顧問股▲分▼有限公司 廃プリント電子配線板の処理方法および処理装置
US6065638A (en) 1998-05-29 2000-05-23 Gilbarco Inc. Real time blending apparatus and method
JP3680907B2 (ja) 1998-06-02 2005-08-10 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
US6545592B2 (en) 1998-09-28 2003-04-08 Steven L. Weiner Medication reminder device
DE29819987U1 (de) 1998-11-09 1999-01-07 Bartec Componenten & Syst Gmbh Probenflasche
DE29822967U1 (de) 1998-12-23 2000-05-11 Espe Dental Ag Gerät zum Ausbringen von fließfähigen Massen
IT1308253B1 (it) 1999-03-16 2001-12-10 Molteni L E C Dei Flii Alitti Dosatore di precisione per liquidi.
US6206240B1 (en) 1999-03-23 2001-03-27 Now Technologies, Inc. Liquid chemical dispensing system with pressurization
US6720866B1 (en) 1999-03-30 2004-04-13 Microchip Technology Incorporated Radio frequency identification tag device with sensor input
US6585876B2 (en) 1999-04-08 2003-07-01 Applied Materials Inc. Flow diffuser to be used in electro-chemical plating system and method
US6165347A (en) 1999-05-12 2000-12-26 Industrial Scientific Corporation Method of identifying a gas
US6556949B1 (en) 1999-05-18 2003-04-29 Applied Materials, Inc. Semiconductor processing techniques
WO2000075899A1 (en) 1999-06-07 2000-12-14 Traptec Corporation Graffiti detection system and method of using the same
US7032814B2 (en) * 1999-06-21 2006-04-25 Lincoln Global, Inc. Coded welding consumable
WO2001002106A1 (en) 1999-07-06 2001-01-11 Semitool, Inc. Chemical solutions system for processing semiconductor materials
US6140146A (en) 1999-08-03 2000-10-31 Intermec Ip Corp. Automated RFID transponder manufacturing on flexible tape substrates
US6714121B1 (en) * 1999-08-09 2004-03-30 Micron Technology, Inc. RFID material tracking method and apparatus
CN1291754A (zh) 1999-08-27 2001-04-18 北京来福来德科技发展有限公司 产品编码管理系统
US6597175B1 (en) 1999-09-07 2003-07-22 Halliburton Energy Services, Inc. Electromagnetic detector apparatus and method for oil or gas well, and circuit-bearing displaceable object to be detected therein
US6147662A (en) 1999-09-10 2000-11-14 Moore North America, Inc. Radio frequency identification tags and labels
US6429016B1 (en) * 1999-10-01 2002-08-06 Isis Pharmaceuticals, Inc. System and method for sample positioning in a robotic system
JP2001187611A (ja) * 1999-10-21 2001-07-10 Denso Corp センサ付きｉｄタグおよびこれを設けた容器、体温計並びに温度管理システム、位置管理システム
US6611687B1 (en) * 1999-11-15 2003-08-26 Lucent Technologies Inc. Method and apparatus for a wireless telecommunication system that provides location-based messages
JP2001217217A (ja) 2000-02-01 2001-08-10 Sony Corp 処理液による処理方法及び処理装置、及び半導体装置の製造方法
US6556832B1 (en) 2000-02-04 2003-04-29 Qualcomm Incorporated Method and apparatus for evaluation of position location performance
US6558620B1 (en) 2000-02-07 2003-05-06 Steris Inc. Liquid cleaning and sterilization method
US6618714B1 (en) 2000-02-10 2003-09-09 Sony Corporation Method and system for recommending electronic component connectivity configurations and other information
US6469627B1 (en) * 2000-02-11 2002-10-22 Marconi Communications Inc. Mounting clip having a wireless communication device
US6580357B1 (en) * 2000-02-11 2003-06-17 Marconi Communications Inc. Handle tag for identification of a container
US6271753B1 (en) 2000-03-21 2001-08-07 Kavita M Shukla Smart lid
US6405745B1 (en) 2000-03-22 2002-06-18 Delphi Technologies, Inc. Ultra accurate gas injection system
US7117374B2 (en) 2000-03-24 2006-10-03 Intermec Ip Corp Apparatus and method for gathering and utilizing data
US6628237B1 (en) 2000-03-25 2003-09-30 Marconi Communications Inc. Remote communication using slot antenna
AU2001249496A1 (en) 2000-03-31 2001-10-15 Imx Labs, Inc. Nail polish color selection system and method
DE60133378T2 (de) * 2000-04-20 2009-01-08 Cogiscan Inc., Bromont Automatisches herstellungssteuerungssystem
CA2411077C (en) * 2000-06-08 2013-02-05 Stacy R. Kaufman Verification of prescription information and warning label
US6633796B1 (en) 2000-06-14 2003-10-14 Dan B. Pool Medication timing device
US6542848B1 (en) 2000-07-31 2003-04-01 Chart Inc. Differential pressure gauge for cryogenic fluids
US6592043B1 (en) 2000-08-17 2003-07-15 Rick A. Britton Fixture to mount a miniature proximity transponder to another article
US6524774B1 (en) 2000-08-30 2003-02-25 Advanced Micro Devices, Inc. Method of controlling photoresist thickness based upon photoresist viscosity
US6516249B1 (en) 2000-09-05 2003-02-04 Lockheed Martin Corporation Fluid control system with autonomously controlled pump
US6711942B2 (en) 2000-10-10 2004-03-30 Endress + Hauser Gmbh & Co. Kg Apparatus for determining and/or monitoring the viscosity of a medium in a container
JP2002181296A (ja) 2000-12-12 2002-06-26 Hanex Co Ltd Ｒｆｉｄタグの取付構造及びｒｆｉｄタグの取付方法
US6600418B2 (en) 2000-12-12 2003-07-29 3M Innovative Properties Company Object tracking and management system and method using radio-frequency identification tags
US20020082746A1 (en) * 2000-12-27 2002-06-27 Honeywell International Inc. Replaceable media with programmable device
US6901971B2 (en) * 2001-01-10 2005-06-07 Entegris, Inc. Transportable container including an internal environment monitor
US6556027B2 (en) 2001-01-12 2003-04-29 Ondeo Nalco Company Low cost, on-line corrosion monitor and smart corrosion probe
US6494343B2 (en) 2001-02-15 2002-12-17 Advanced Technology Materials, Inc. Fluid storage and dispensing system featuring ex-situ strain gauge pressure monitoring assembly
US6843414B2 (en) 2001-04-02 2005-01-18 Honeywell International Inc. Smart container for bulk delivery
US6859745B2 (en) 2001-05-18 2005-02-22 Alcoa Closure Systems International Interactive information package
DE60228634D1 (de) * 2001-05-21 2008-10-09 Colder Prod Co Verfahren zur Regelung einer Flüssigkeitsabgabe
ES2498966T3 (es) 2001-05-21 2014-09-26 Scott Laboratories, Inc. Etiqueta de RF-ID para un envase médico
WO2002095536A2 (en) * 2001-05-21 2002-11-28 John Stevens System and method for unattended delivery
US6879876B2 (en) 2001-06-13 2005-04-12 Advanced Technology Materials, Inc. Liquid handling system with electronic information storage
US7702418B2 (en) * 2001-06-13 2010-04-20 Advanced Technology Materials, Inc. Secure reader system
US6961000B2 (en) * 2001-07-05 2005-11-01 Amerasia International Technology, Inc. Smart tag data encoding method
JP2003054696A (ja) 2001-08-13 2003-02-26 Sapporo Breweries Ltd 発泡飲料検出装置及びそれを用いた発泡飲料注出装置
JP2003067683A (ja) 2001-08-30 2003-03-07 Omron Corp 生産ラインにおける認識システム
JP4231407B2 (ja) 2001-09-24 2009-02-25 アイエムエックス ラブズ インコーポレイテッド 化粧品カスタム調合用の装置および方法
US20030077153A1 (en) * 2001-10-19 2003-04-24 Applied Materials, Inc. Identification code reader integrated with substrate carrier robot
JP2003139864A (ja) 2001-10-30 2003-05-14 Maezawa Ind Inc 情報管理装置及び情報記録媒体収容部材
US6747558B1 (en) * 2001-11-09 2004-06-08 Savi Technology, Inc. Method and apparatus for providing container security with a tag
KR20040101457A (ko) 2002-04-12 2004-12-02 아치 스페셜티 케미칼즈, 인코포레이티드 액체 화학 물질 공급을 원격으로 모니터링 하는 시스템
US7188644B2 (en) 2002-05-03 2007-03-13 Advanced Technology Materials, Inc. Apparatus and method for minimizing the generation of particles in ultrapure liquids
US6698619B2 (en) * 2002-05-03 2004-03-02 Advanced Technology Materials, Inc. Returnable and reusable, bag-in-drum fluid storage and dispensing container system
US7224273B2 (en) * 2002-05-23 2007-05-29 Forster Ian J Device and method for identifying a container
CN1156802C (zh) * 2002-06-27 2004-07-07 华南理工大学 铁路安全运作参数监测系统的安检黑盒
US7681572B2 (en) * 2002-08-20 2010-03-23 Aga Ab Method and devices for administration of therapeutic gases
US20040058453A1 (en) 2002-09-20 2004-03-25 3M Innovative Properties Company Reaction pouch comprising an analytical sensor
US6705106B1 (en) * 2002-09-30 2004-03-16 Kan-Pak, L.L.C. Semi-frozen beverage dispensing apparatus
US7061379B2 (en) * 2002-11-21 2006-06-13 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. RFID system and method for ensuring safety of hazardous or dangerous substances
US6968876B2 (en) * 2003-01-21 2005-11-29 Jaws International, Ltd. Apparatus for dispensing a substance
WO2004079818A1 (ja) 2003-03-04 2004-09-16 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. 精密基板収納容器
US7172646B2 (en) * 2003-04-15 2007-02-06 Air Products And Chemicals, Inc. Reactive liquid based gas storage and delivery systems
US7183913B2 (en) * 2003-05-30 2007-02-27 Vane Line Bunkering, Inc. Life raft container security system and method
US9202323B2 (en) 2003-06-05 2015-12-01 Joseph A. Queenan Secure electronic compartment identifier system
US20040246096A1 (en) 2003-06-05 2004-12-09 Queenan Joseph A. Secure electronic compartment lock and method therfor
CA2529186C (en) * 2003-06-17 2010-04-06 United Security Applications Id, Inc. Electronic security system for monitoring and recording activity and data relating to cargo
US7176800B2 (en) * 2003-06-17 2007-02-13 United Security Applications Id, Inc. Electronic security system for monitoring and recording activity and data relating to persons or cargo
KR100794887B1 (ko) * 2003-06-17 2008-01-14 유나이티드 시큐리티 애플리케이션즈 아이디, 인코포레이티드 추적 시스템
JP4008899B2 (ja) * 2003-09-08 2007-11-14 株式会社東芝 半導体装置の製造システムおよび半導体装置の製造方法
US7126479B2 (en) * 2004-08-17 2006-10-24 Francis M. Claessens Metal container closure having integral RFID tag
US7150299B2 (en) * 2003-09-12 2006-12-19 Air Products And Chemicals, Inc. Assembly and method for containing, receiving and storing fluids and for dispensing gas from a fluid control and gas delivery assembly having an integrated fluid flow restrictor
JP2004046904A (ja) 2003-10-24 2004-02-12 Suri Kagaku Kenkyusho:Kk 複合ｒｆｉｄタグおよび複合ｒｆｉｄタグ所持者の位置検索システム
US6998983B2 (en) * 2003-11-19 2006-02-14 Symbol Technologies, Inc. System and method for tracking data related to containers using RF technology
US7573395B2 (en) * 2004-03-08 2009-08-11 Sgs Technologies, Llc System and method for managing the dispensation of a bulk product
JP4766894B2 (ja) * 2004-03-26 2011-09-07 株式会社半導体エネルギー研究所 物品管理システム
US7151455B2 (en) * 2004-04-30 2006-12-19 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Activating a data tag by load or orientation or user control
US7948381B2 (en) * 2004-04-30 2011-05-24 Binforma Group Limited Liability Company Reversibly deactivating a radio frequency identification data tag
US7098794B2 (en) * 2004-04-30 2006-08-29 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Deactivating a data tag for user privacy or tamper-evident packaging
JP4382569B2 (ja) * 2004-05-07 2009-12-16 株式会社東芝 塗膜形成装置、塗膜形成方法および製造管理装置
KR20050112564A (ko) 2004-05-27 2005-12-01 삼성전자주식회사 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리시스템 및 방법
US20070203808A1 (en) 2004-05-31 2007-08-30 Densel-Lambda Kabushiki Kaisha Product management system
CN101002216A (zh) * 2004-08-11 2007-07-18 皇家飞利浦电子股份有限公司 监控容易腐烂产品的到期日期
US7718009B2 (en) * 2004-08-30 2010-05-18 Applied Materials, Inc. Cleaning submicron structures on a semiconductor wafer surface
US7501955B2 (en) * 2004-09-13 2009-03-10 Avery Dennison Corporation RFID device with content insensitivity and position insensitivity
US20060292846A1 (en) * 2004-09-17 2006-12-28 Pinto Gustavo A Material management in substrate processing
US8882914B2 (en) * 2004-09-17 2014-11-11 Intermolecular, Inc. Processing substrates using site-isolated processing
JP2006151574A (ja) * 2004-11-29 2006-06-15 Mitsubishi Heavy Ind Ltd コンテナ用荷役機械、コンテナ管理システム、及びコンテナ荷役方法
US7486180B2 (en) * 2005-01-31 2009-02-03 International Business Machines Corporation Method and system for updating status of data storage subsystem components
JP4708044B2 (ja) 2005-02-10 2011-06-22 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
CN101187962A (zh) * 2005-04-06 2008-05-28 马林克罗特公司 管理有关医用液体及其容器的信息的系统与方法
US7760104B2 (en) 2005-04-08 2010-07-20 Entegris, Inc. Identification tag for fluid containment drum
CN1707526A (zh) * 2005-04-18 2005-12-14 上海轶龙应用软件开发有限公司 无线巡检机
US7451935B2 (en) 2005-05-12 2008-11-18 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Photoresist management system
US7978067B2 (en) 2005-06-22 2011-07-12 Custom Metalcraft, Inc. Intelligent container
US7486188B2 (en) * 2005-06-27 2009-02-03 Van Alstyne Peter C System, article and method for tracking an inventory
KR100714274B1 (ko) * 2005-10-24 2007-05-02 삼성전자주식회사 반도체 제조설비의 관리시스템
US7520286B2 (en) * 2005-12-05 2009-04-21 Semitool, Inc. Apparatus and method for cleaning and drying a container for semiconductor workpieces
JP3914560B1 (ja) 2006-01-31 2007-05-16 東京応化工業株式会社 流体容器用の継手
US20070214055A1 (en) * 2006-03-04 2007-09-13 Seth Temko System for beverage dispensing and sales tracking
JP5176280B2 (ja) 2006-03-20 2013-04-03 凸版印刷株式会社 原材料管理システム
JP2007317944A (ja) * 2006-05-26 2007-12-06 Toshiba Corp 局所クリーン化ロボット搬送工場及びロボット搬送式製造方法
WO2008011297A2 (en) 2006-07-10 2008-01-24 Advanced Technology Materials, Inc. Systems and methods for managing material storage vessels having information storage elements
US7875227B2 (en) 2006-12-01 2011-01-25 Rexam Healthcare Packaging Inc. Molded plastic container and preform having insert-molded RFID tag
US20080297355A1 (en) 2007-06-04 2008-12-04 Seiji Matsumoto Container with Electronic Tag and RFID System Using the Container with Electronic Tag
US8035485B2 (en) 2008-11-20 2011-10-11 Abbott Laboratories System for tracking vessels in automated laboratory analyzers by radio frequency identification
JP5612265B2 (ja) 2009-01-23 2014-10-22 株式会社Ｓｃｒｅｅｎセミコンダクターソリューションズ 基板処理装置及び基板処理方法
US8684705B2 (en) 2010-02-26 2014-04-01 Entegris, Inc. Method and system for controlling operation of a pump based on filter information in a filter information tag
US20140258165A1 (en) 2013-03-07 2014-09-11 Thermo Fisher Scientific Inc. Inventory Tracking System

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI667558B (zh) * 2018-09-26 2019-08-01 優思瑪特科技股份有限公司 危險物品監控系統

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