KR20050112564A - 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리시스템 및 방법 - Google Patents

무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리시스템 및 방법 Download PDF

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Abstract

무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템 및 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 포토레지스트 물류 관리 시스템은 포토레지스트의 식별 정보를 저장하고 있는 무선 주파수 식별 태그, 무선 수신기 및 무선 송신기를 포함하고 있는 복수개의 무선 주파수 리더기들, 포토레지스트의 장착 및 유효성을 제어하는 인터락 제어기, 및 호스트 컴퓨터를 구비한다. 또한, 호스트 컴퓨터와 네트웍으로 연결되어 정보를 주고받을 수 있는 사용자 컴퓨터를 더 구비할 수 있다. 본 발명에 따른 포토레지스트 물류 관리 시스템 및 방법은 일련의 포토레지스트의 이동 단계에서 무선 주파수 식별 태그를 이용하여 식별 정보, 반출입 정보, 각 장소의 환경 정보를 담고 있는 관리 정보를 호스트 컴퓨터에서 체계적으로 관리하도록 해준다.

Description

무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템 및 방법{System and method for management of photo-resist goods using RFID(radio frequency identification) tag}
본 발명은 반도체 제조 공정의 물류 관리 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 특히 반도체 포토리소그래피(photo-lithography) 공정용 포토레지스트(photo resist) 관리 시스템 및 방법에 관한 것이다.
반도체 소자의 집적도가 높아지면서 회로의 구성 소자들의 선폭 및 간격은 더욱 감소하게 되었다. 더욱 좁은 선폭의 고집적 소자 구현을 위해서는 반도체 제조 공정에서 포토리소그래피 공정의 중요성이 더욱 증대되고 있다. 따라서, 근래와 같은 초고집적 소자의 제조에 있어서는 기존의 포토리소그래피 공정 진행에 대한 관리 외에 패턴 형성막으로 쓰이는 포토레지스트의 물류 관리 및 낭비 개선이 요구되고 있다.
종래에는 제조업체에서 포토레지스트를 제조한 후, 상기 포토레지스트의 식별 번호와 출하 정보를 바코드(bar-code)에 입력하여 용기에 라벨로 부착하여 출하하였다. 그리고, 출하 시 검사에 대한 정보는 별도로 사용자에게 피드백(feed-back)해주고 있다.
제조업체에서 출하된 포토레지스트는 사용자의 자재창고에 박스 단위로 입고되고, 수작업으로 수량 확인만을 하게 된다. 이 경우, 재고 조사 등이 관리 담당자의 수작업에 의해 이루어지는 바 입출고 내역 및 재고량 등이 불명확해져 이력관리가 불확실해진다.
자재창고에서 입출고가 이루어진 포토레지스트는 공장 내 화학물질제어공급시스템(chemical control supply system; CCSS)으로 옮겨져 사용 요구가 있을 때까지 일정 기간 보관된다. 이 때, CCSS 내에서 포토레지스트의 관리는 별도의 관리 인력에 의하는데 외부 용역에 의해 이루어질 수 있으며 이러한 경우 수작업에 의한 반출입 및 재고 관리로 인해 이력관리가 어렵다. 또한, CCSS 내부 환경에 따른 포토레지스트 관리 정보가 따로 관리되지 않는 문제가 있다.
CCSS 내에 보관되고 있던 포토레지스트는 포토레지스트 스피너(photo-resist spinner) 설비장치로부터 요구가 있을 때는 수작업 또는 별도의 반송 시스템을 이용하여 상기 설비장치로 이동된다. 이동된 포토레지스트는 그 용기에 부착된 바코드 정보를 수작업으로 읽은 후 설비장치에 장착된다. 이 경우, 상기 포토레지스트의 바코드 정보에 의해 식별 정보 및 출하 정보를 인식하여 규정 준수 여부를 확인할 수 있으나, 각 보관 장소에서의 환경에 따른 이력관리가 되지 않는 문제가 있다. 또한 수작업에 의한 바코드 정보를 읽는 작업은 작업자에게 번거로운 작업이 된다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 생산에서 소비에 이르기까지 일련의 단계에서 포토레지스트의 식별 정보, 반출입 정보, 장착 정보 및 보관 장소의 관리 정보를 체계적으로 관리하고 이를 바탕으로 설비 장치의 인터락을 제어하는 포토레지스트 물류 관리 시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 일련의 단계에서 포토레지스트의 식별 정보, 반출입 정보, 제품 정보 및 보관 장소의 관리 정보를 체계적으로 관리하고, 상기 정보를 네트웍을 이용하여 각 사용자에게 제공될 수 있도록 하는 포토레지스트 물류 관리 시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는 일련의 단계에서 포토레지스트의 식별 정보, 반출입 정보, 제품 정보 및 보관 장소의 관리 정보를 체계적으로 관리하고, 이를 바탕으로 설비장치의 인터락을 제어하고, 또한 네트웍을 이용하여 상기 정보들을 사용자에게 제공하는 포토레지스트 물류 관리 방법을 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 포토레지스트 물류 관리 시스템은, 포토레지스트 용기에 부착되어 상기 포토레지스트의 식별 정보를 저장하고 있는 무선 주파수 식별 태그(radio frequency identification tag; RFID tag); 상기 무선 주파수 식별 태그로부터 상기 포토레지스트의 식별 정보를 수신하는 무선 수신기를 포함하고 있는 복수개의 무선 주파수 리더기(RF reader)들; 설비장치로의 상기 포토레지스트의 장착 및 유효성을 제어하는 인터락 제어기; 및 상기 무선 주파수 리더기들과 연결되어 있어 상기 무선 주파수 리더기들로부터 상기 포토레지스트의 식별 정보와 상기 무선 주파수 리더기들로의 반출입 정보를 읽어들여 저장하고, 상기 설비장치에 대한 인터락 명령을 결정하고, 상기 인터락 명령을 상기 인터락 제어기에 전달하는 호스트 컴퓨터를 구비한다.
상기 무선 주파수 리더기들은 무선 주파수 신호를 수신하기 위한 안테나를 각각 포함하고 있는 것이 바람직하며, 상기 포토레지스트의 식별 정보는 상기 포토레지스트의 식별 번호 및 출하 정보를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 무선 주파수 리더기들은 상기 무선 주파수 식별 태그에 상기 무선 주파수 리더기들이 부착되어 있는 장소의 관리 정보를 전달할 수 있도록 무선 주파수 송신기를 더 포함하는 것이 바람직하고, 상기 관리 정보는 상기 무선 주파수 리더기들이 부착되어 있는 장소의 온도 및 습도 관리 정보를 포함하는 것이 더욱 바람직하다.
또한, 상기 무선 주파수 리더기들은 상기 포토레지스트의 입고 및 출고를 관리하기 위한 자재창고의 자재창고 무선 주파수 리더기, 상기 포토레지스트의 보관을 위한 화학물질제어공급시스템(CCSS)의 CCSS 무선 주파수 리더기 및 상기 포토레지스트를 사용하는 설비장치의 설비장치 무선 주파수 리더기를 포함하는 것이 바람직하다.
나아가, 상기 인터락 제어기는 상기 설비장치 무선 주파수 리더기를 구비하고 있는 상기 설비장치에 구비되어 있는 것이 바람직하며, 상기 설비장치는 용기장착센서를 더 구비하고, 상기 인터락 제어기는 상기 용기장착센서와 연계되어 있어 상기 포토레지스트가 상기 설비장치에 장착되어 있는 지에 관한 장착 정보를 호스트 컴퓨터에 전달하는 것이 더욱 바람직하다.
더 나아가, 상기 호스트 컴퓨터는 상기 포토레지스트의 상기 식별 정보, 반출입 정보, 관리 정보 및 장착 정보를 바탕으로 상기 인터락 명령을 결정하는 것이 더욱 바람직하다.
상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 포토레지스트 물류 관리 시스템은, 포토레지스트 용기에 부착되어 상기 포토레지스트의 식별 정보를 저장하고 있는 무선 주파수 식별 태그; 상기 무선 주파수 식별 태그로부터 상기 포토레지스트의 식별 정보를 수신하는 무선 수신기를 포함하고 있는 복수개의 무선 주파수 리더기들; 상기 무선 주파수 리더기들과 연결되어 있어 상기 무선 주파수 리더기들로부터 상기 포토레지스트의 식별 정보와 상기 무선 주파수 리더기들로의 반출입 정보를 읽어들여 저장하는 호스트 컴퓨터; 및 상기 호스트 컴퓨터와 네트웍을 통해 연결되어 상기 포토레지스트의 식별 정보와 반출입 정보를 상기 호스트 컴퓨터로부터 전달받고, 상기 포토레지스트를 이용하여 제조된 제품 정보를 상기 호스트 컴퓨터에 전달하는 사용자 컴퓨터를 구비한다.
상기 호스트 컴퓨터와 상기 사용자 컴퓨터는 네트웍 상의 웹페이지를 통해 상기 식별 정보, 반출입 정보, 및 제품 정보를 주고받는 것이 바람직하다.
나아가, 상기 사용자 컴퓨터는 상기 제품 정보를 입력하기 위한 입력장치, 상기 제품 정보, 식별 정보 및 반출입 정보를 처리하기 위한 프로세서, 및 상기 정보들을 표시하기 위한 모니터를 포함하는 것이 바람직하다.
더 나아가, 상기 제품 정보는 반도체 제조 공정 단계의 임계 치수(critical dimension; CD) 추세, 미립자(particle) 추세, 및 출하 후 수율(yield) 추세를 포함하는 것이 더욱 바람직하다.
또한, 상기 무선 주파수 리더기들은 상기 포토레지스트의 입고 및 출고를 관리하기 위한 자재창고의 자재창고 무선 주파수 리더기, 상기 포토레지스트의 보관을 위한 CCSS의 CCSS 무선 주파수 리더기 및 상기 포토레지스트를 사용하는 설비장치의 설비장치 무선 주파수 리더기를 포함하고, 상기 각 무선 주파수 리더기들은 상기 자재창고, CCSS 및 설비장치들의 관리 정보를 상기 무선 주파수 식별 태그에 송신할 수 있도록 무선 주파수 송신기를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 또 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 포토레지스트 물류 관리 방법은, 복수 장소들을 거쳐 설비장치에 장착되는 포토레지스트 용기에 부착되어 있는 무선 주파수 식별 태그로부터 각 장소 및 설비장치의 무선 주파수 리더기들을 사용하여 상기 포토레지스트의 식별 정보와 상기 각 장소 및 설비장치로의 반출입 정보를 수신하는 단계; 상기 각 장소 및 설비장치로의 반출입시마다 상기 각 장소 및 설비장치에 부착되어 있는 무선 주파수 리더기에서 상기 식별 정보와 반출입 정보를 호스트 컴퓨터로 읽어들이고 저장하는 단계; 상기 설비장치에 구비되어 있는 인터락 제어기에서 상기 포토레지스트의 상기 설비장치로의 장착 정보를 판단하여 상기 호스트 컴퓨터에 전달하는 단계; 상기 호스트 컴퓨터를 이용하여 상기 설비장치의 인터락 명령을 결정하는 단계; 및 상기 인터락 명령을 상기 설비장치에 전달하여 상기 인터락 명령에 따라 상기 인터락 제어기를 실행하는 단계를 포함한다.
또한, 상기 인터락 명령을 결정하는 단계는 상기 호스트 컴퓨터에 저장된 프로그램을 이용하여 상기 설비장치로의 상기 포토레지스트 식별 정보, 반출입 정보 및 장착 정보로부터 상기 포토레지스트의 유효기간 경과 여부 및 상기 설비장치로의 장착 오류 여부를 판단하여 결정하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 인터락 명령을 결정하는 단계 후, 상기 호스트 컴퓨터가 상기 식별 정보, 반출입 정보, 장착 정보 및 인터락 결정을 사용자 컴퓨터와 연결된 네트웍 상의 웹페이지에 저장하는 단계 및 상기 사용자 컴퓨터를 이용하여 상기 네트웍 상에 웹페이지에 상기 포토레지스트를 사용한 제품 정보를 입력하고 저장하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.
나아가 상기 무선 주파수 리더기들로부터 상기 식별 정보와 반출입 정보를 상기 호스트 컴퓨터에 저장한 후, 상기 각 장소 및 설비 장치의 관리 정보를 상기 무선 주파수 리더기로부터 상기 무선 주파수 식별 태그로 송신하여 상기 무선 주파수 식별 태그에 저장하는 것이 더욱 바람직하다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명함으로써 본 발명을 상세하게 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
<실시예 1>
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템을 보여주는 블록도이고 도 1b는 상기 포토레지스트 물류 관리 시스템의 주요부의 자료 전송 관계를 보여주는 흐름도이다.
무선 주파수 식별 태그는 무선 주파수 인식을 통한 자동 인식 기술로서, 기존의 바코드와 마그네틱 카드를 대체할 비접촉식 카드의 대표격이라 할 수 있는 신기술이다. 무선 주파수 식별 태그는 기존의 바코드와 자기 인식 장치의 결함을 제거하고 사용의 편리성, 생산 방식의 변화, 소비자의 의식 변화, 문화 및 기술의 진보에 따라 활용 범위가 비약적으로 증가되고 있는 차세대 핵심 기술이다.
도 1a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 포토레지스트 물류 관리 시스템은 무선 주파수 식별 태그(100), 자재창고 무선 주파수 리더기(110), CCSS 무선 주파수 리더기(120), 설비장치 무선 주파수 리더기(130), 인터락 제어기(140), 및 호스트 컴퓨터(150)를 구비한다.
상기 무선 주파수 식별 태그(100)는 포토레지스트를 담고 있는 용기(105)에 부착되어 있다. 상기 무선 주파수 리더기들(110, 120, 130)은 각각 무선 주파수 정보를 송수신할 수 있도록 수신기들(112, 122, 132), 송신기들(113, 123, 133) 및 안테나들(114, 124, 134)을 구비하고 있다. 상기 자재창고 무선 주파수 리더기(110)는 상기 포토레지스트 용기(105)의 입출고 및 임시 보관을 위하여 자재창고에 부착되어 있으며, 상기 CCSS 무선 주파수 리더기(122)는 상기 포토레지스트 용기(105)의 보관을 위한 CCSS에 부착되어 있으며, 상기 설비장치 무선 주파수 리더기(130)는 상기 포토레지스트를 사용하는 설비장치(135)에 부착되어 있다.
상기 무선 주파수 리더기들(110, 120, 130)은 125 KHz 내지 2.4 GHz 범위의 캐리어 주파수(reader's transmitting frequency)를 사용할 수 있다. 저주파 대역(125 KHz 내지 400 KHz)은 짧은 거리의 전송에 사용될 수 있으며, 고주파 (4 MHz 내지 20 MHz)와 마이크로 웨이브(2.45 GHz) 범위도 확대되어 사용될 수 있으며, 13.56 MHz의 주파수 대역이 무선 주파수 식별 장치의 표준으로서 사용되는 것이 일반적이다.
상기 무선 주파수 리더기들(110, 120, 130)은 수신된 정보를 주고받을 수 있도록 호스트 컴퓨터(150)와 연결되어 있다. 상기 호스트 컴퓨터(150)는 정보를 처리할 수 있는 프로세서 및 자료 저장을 위한 저장 장치를 포함할 수 있다.
상기 설비장치(135)는 포토레지스트 스피너(photo-resist spinner)일 수 있으며, 상기 설비장치 무선 주파수 리더기(130) 외에 상기 인터락 제어기(140) 및 상기 용기장착센서(145)를 구비하는 것이 바람직하다. 상기 용기장착센서(145)는 상기 인터락 제어기(140)에 연계되어 있는 것이 바람직하며, 상기 인터락 제어기(140)는 상기 호스트 컴퓨터(150)와 연결되어 있는 것이 바람직하다.
상기 호스트 컴퓨터(150)와 무선 주파수 리더기들(110, 120, 130) 및 인터락 제어기(140)는 유선으로 연결될 수 있고, 또한 네트웍을 이용하여 연결될 수도 있다.
도 1b를 참조하면, 상기 무선 주파수 식별 태그(100)는 상기 무선 주파수 리더기들(110, 120, 130)로부터 요구가 있게 되면, 상기 무선 주파수 식별 태그(100)가 가지고 있는 상기 포토레지스트(103)의 식별 정보(a1)를 무선으로 전달한다. 상기 식별 정보(a1)는 상기 포토레지스트(103)의 식별 번호 및 출하 정보를 포함하는 것이 바람직하다. 상기 출하 정보는 제조업체가 작성한 상기 포토레지스트(103)의 제조업체명, 출하 일자 등이 포함될 수 있다. 필요에 따라서는 상기 식별 정보는 출하 시 검사 정보를 포함할 수도 있으며, 이 경우 기존의 바코드에 의한 시스템의 경우 별도로 검사 정보를 사용자에게 전달해주던 번거로움을 피할 수 있다.
상기 자재창고 무선 주파수 리더기(110)는 제조업체로부터 상기 무선 주파수 식별 태그(100)가 부착되어 있는 상기 포토레지스트 용기(105)가 반입 또는 반출되면 상기 무선 주파수 식별 태그(100)로부터 먼저 상기 식별 정보(a1)를 읽고, 상기 반출입에 대한 반출입 정보(b11)와 함께 상기 호스트 컴퓨터(150)에 전달한다. 또한, 상기 자재창고 무선 주파수 리더기(110)는 상기 자재창고의 온도 및 습도와 같은 관리 정보(e11)를 사용자 또는 별도 시스템으로부터 공급받아 상기 무선 주파수 식별 태그(100)에 전달하고 저장시키는 것이 바람직하다. 유사한 방식으로, 상기 CCSS 무선 주파수 리더기(120)는 상기 포토레지스트 용기(105)가 반출입되면 상기 식별 정보(a1)와 상기 CCSS 내로의 반출입 정보(b12)를 상기 호스트 컴퓨터(150)에 전달하고 관리 정보(e12)를 상기 무선 주파수 식별 태그(100)에 전달하여 저장시킨다. 또한, 상기 설비장치 무선 주파수 리더기(130)는 상기 포토레지스트 용기(105)가 상기 설비장치로 반출입되면 상기 식별 정보(a1)와 상기 설비장치로의 반출입 정보(b13)를 상기 호스트 컴퓨터(150)에 전달하고, 관리 정보(e13)를 상기 무선 주파수 식별 태그(100)에 전달하고 저장시킨다.
상기 호스트 컴퓨터(150)는 상기 식별 정보(a1), 반출입 정보(b11, b12, b13) 및 관리 정보(e11, e12, e13)를 전달받게 되면 이를 읽고 저장하게 된다. 상기 정보들을 통해, 상기 포토레지스트의 자재창고, CCSS 내에서의 온도 또는 습도와 같은 환경 변화에 따른 물성 변화 등을 추적할 수 있는 시스템을 갖출 수 있게 된다.
상기 포토레지스트 용기(105)가 상기 설비장치(135)에 입고되어 장착되면 상기 설비장치(135)에 구비되어 있는 상기 인터락 제어기(140)는 상기 용기장착센서(145)로부터 상기 용기 장착 불량 여부에 대한 장착 정보(c14)를 전달받고 이를 상기 호스트 컴퓨터(150)에 전달한다.
상기 호스트 컴퓨터(150)는 상기 식별 정보(a1), 반출입 정보(b11, b12, b13), 관리 정보(e11, e12, e13) 및 장착 정보(c14)를 바탕으로 상기 설비장치(135)에 대한 인터락 명령(d14)을 결정할 수 있다. 상기 인터락 명령(d14)은 상기 포토레지스트 용기(105)의 장착 불량 또는 유효기간 경과 시에 상기 포토레지스트(103)를 사용하지 않도록 하는 명령일 수 있다. 상기 인터락 제어기(140)는 상기 포토레지스트 용기(105)의 상기 설비장치로의 장착 불량 및 유효기간 경과 여부 등과 같은 유효성에 따라 상기 설비장치에 실시간 온라인(on line) 인터락을 구동한다.
상기 포토레지스트 용기(105)는 상기 설비 장치에서 다 사용 후에는 상기 CCSS, 자재 창고를 거쳐 공급자에게 전달되어 무선 주파수 식별 태그(100)와 함께 재 사용될 수 있다.
따라서, 상기 본 발명의 일 실시예에 따르면 포토레지스트 출하 시 검사 정보를 별도로 사용자에게 제공할 필요 없이 식별 태그에 식별 정보와 함께 저장하여 전달할 수 있고, 자재창고에서 CCSS를 거쳐 설비장치에서 사용되기까지 일련의 단계에서 반출입 정보 및 온도 및 습도와 같은 보관 장소의 환경 정보를 체계적으로 관리할 수 있어 추후 포토레지스트 물성 변화 요인을 추적할 수 있으며, 설비장치의 인터락을 상기 정보들과 연계하여 실시간 제어할 수 있는 시스템을 갖출 수 있게된다.
<실시예 2>
도 2a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템의 블록도이다.
도 2a를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템은 무선 주파수 식별 태그(200), 자재창고 무선 주파수 리더기(210), CCSS 무선 주파수 리더기(220), 설비장치 무선 주파수 리더기(230), 호스트 컴퓨터(250) 및 사용자 컴퓨터(240)를 구비한다.
상기 무선 주파수 리더기들(210, 220, 230)은 각각 무선 주파수 정보를 송수신할 수 있도록 수신기들(212, 222, 232), 송신기들(213, 223, 233) 및 안테나들(214, 224, 234)을 각각 구비하고 있다. 상기 자재창고 무선 주파수 리더기(210)는 포토레지스트 용기(205)의 입출고 및 임시 보관을 위하여 자재창고에 부착되어 있으며, 상기 CCSS 무선 주파수 리더기(222)는 상기 포토레지스트 용기(205)의 보관을 위한 CCSS에 부착되어 있으며, 상기 설비장치 무선 주파수 리더기(230)는 포토레지스트(203)를 사용하는 설비장치에 부착되어 있다.
상기 호스트 컴퓨터(250)는 네트웍을 통하여 상기 사용자 컴퓨터(240)와 연결되어 있다. 상기 호스트 컴퓨터(250)를 서버로 하여 상기 사용자 컴퓨터(240)와 네트웍을 형성할 수도 있고, 별도의 서버망을 통해 상기 호스트 컴퓨터(250)와 상기 사용자 컴퓨터(240)가 연결될 수도 있다. 또한, 상기 네트웍 상에는 상기 호스트 컴퓨터(250) 및 사용자 컴퓨터(240)가 접속할 수 있는 웹페이지가 있는 것이 바람직하다.
또한, 도면에는 도시되어 있지 않지만 도 1a에서 도시된 바와 같이 설비장치에는 용기장착센서와 인터락 제어기가 구비되어 있고, 상기 인터락 제어기는 상기 호스트 컴퓨터에 연결되어 있는 것이 바람직하다.
도 2b는 상기 사용자 컴퓨터(240)의 구성을 보여주는 블록도이다. 도 2b를 참조하면, 상기 사용자 컴퓨터(240)는 연산을 위한 프로세서(242), 결과를 표시하기 위한 모니터(244) 및 자료를 입력하기 위한 입력 장치(246)를 구비하는 것이 바람직하다.
도 2c는 상기 본 발명의 다른 실시예에 따른 포토레지스트 물류 관리 시스템의 주요부간의 자료 전송 관계를 보여주는 흐름도이다.
도 2c를 참조하면, 상기 무선 주파수 식별 태그(200)는 상기 무선 주파수 리더기들(210, 220, 230)로부터 요구가 있게 되면, 상기 무선 주파수 식별 태그(200)가 가지고 있는 상기 포토레지스트(203)의 식별 정보(a2)를 무선으로 전달한다. 상기 식별 정보(a2)는 상기 포토레지스트(203)의 식별 번호 및 출하 정보를 포함하는 것이 바람직하고, 출하 시 검사 정보를 포함할 수도 있다.
상기 자재창고 무선 주파수 리더기(210)는 상기 포토레지스트 용기(205)가 반출입되면 상기 무선 주파수 식별 태그(200)로부터 먼저 상기 식별 정보(a2)를 읽고, 상기 반출입에 대한 반출입 정보(b21)와 함께 이들을 상기 호스트 컴퓨터(250)에 전달한다. 또한, 상기 자재창고 무선 주파수 리더기(210)는 상기 자재창고의 온도 및 습도와 같은 관리 정보(e21)를 상기 무선 주파수 식별 태그(200)에 무선으로 전송하여 저장시키고 이를 호스트 컴퓨터에 전달하는 것이 바람직하다. 유사한 방식으로, 상기 CCSS 무선 주파수 리더기(220)는 관리 정보(e22)를 무선 주파수 식별 태그(200)에 전달하여 저장시키고, 상기 식별 정보(a2)와 상기 CCSS 내로의 반출입 정보(b22)와 함께 상기 호스트 컴퓨터(250)에 전달하고, 상기 설비장치 무선 주파수 리더기(230)는 관리 정보(e23)를 무선 주파수 식별 태그(200)에 전달하여 저장시키고, 상기 식별 정보(a2)와 상기 설비장치로의 반출입 정보(b23)와 함께 상기 호스트 컴퓨터(250)에 전달한다.
상기 호스트 컴퓨터(250)는 상기 식별 정보(a2), 반출입 정보(b21, b22, b23), 관리 정보(e21, e22, e23)를 전달받게 되면 이를 읽고 저장하게 된다. 이어서 상기 호스트 컴퓨터(250)는 상기 포토레지스트(203)의 상기 식별 정보(a2)와 상기 반출입 정보(b21, b22, b23), 관리 정보(e21, e22, e23)를 상기 사용자 컴퓨터(240)와 연결되어 있는 네트웍 상의 웹페이지에 저장한다. 따라서, 사용자는 상기 사용자 컴퓨터(240)를 이용하여 상기 포토레지스트(203)의 식별 정보(a2)와 반출입 정보(b21, b22, b23) 및 관리 정보(e21, e22, e23)들을 언제든지 열람할 수 있다.
상기 사용자 컴퓨터(240)는 상기 포토레지스트를 이용하여 제조된 제품 정보(f40)를 상기 네트웍 상의 웹페이지에 저장할 수 있다. 상기 제품 정보(f40)는 반도체 제조 공정 단계의 임계 치수(critical dimension; CD) 추세, 미립자(particle) 추세 및 출하 후 수율(yield) 추세를 포함하는 것이 바람직하다. 사용자는 사용자 컴퓨터의 입력 장치(도 2b의 246)를 이용하여 상기 제품 정보(f40)를 상기 사용자 컴퓨터에 입력할 수 있다.
또한, 상기 본 발명의 일 실시예에서 설명한 것으로부터 당업자가 용이하게 실시할 수 있듯이, 상기 인터락 제어기(미도시)는 상기 용기장착센서(미도시)와 연계되어 상기 포토레지스트 용기(205)의 장착 정보를 상기 호스트 컴퓨터(250)에 전달하고, 상기 호스트 컴퓨터(250)는 상기 식별 정도(a2), 반출입 정보(b21, b22, b23), 관리 정보(e21, e22, e23) 및 장착 정보로부터 상기 설비장치의 인터락 명령을 결정하고, 상기 인터락 제어기에 상기 인터락 명령을 전달하는 것이 바람직하다.
따라서, 사용자는 상기 사용자 컴퓨터(240)를 이용하여 상기 호스트 컴퓨터(250)와 연계하여 상기 네트웍 상의 웹페이지 상에서 상기 포토레지스트(203)의 상기 식별 정보(a2), 반출입 정보(b21, b22, b23), 관리 정보(e21, e22, e23) 및 제품 정보(f40)의 비교 정보를 얻을 수 있고, 제품 생산 단계에서 포토 공정의 임계 치수의 이상 발생 시 포토레지스트 물성의 상기 정보들의 변화를 분석하여 문제점을 분석하고 개선활동을 할 수 있게 된다.
<실시예 3>
도 3a 및 도 3c는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 방법을 보여주는 흐름도들이고, 도 3b는 호스트 컴퓨터에서 설비장치로의 인터락 제어기가 구동되는 단계를 보여주는 흐름도이다.
도 3a를 참조하면, 먼저 무선 주파수 수신기들에서 포토레지스트의 식별 정보와 각 장소 및 설비장치로의 반출입 정보를 무선 주파수 식별 태그로부터 수신하고, 상기 무선 주파수 리더기들이 상기 각 장소 및 설비장치에서의 관리 정보를 무선 주파수 식별 태그에 전송하여 저장시킨다(300). 바람직하게는 상기 포토레지스트는 제조업체로부터 상기 식별 태그가 부착되어 제품창고로 입고되어, CCSS로 이동되어 보관 된 후 상기 설비장치로 이동되어 장착될 수 있다. 무선 주파수 리더기들은 상기 제품창고, CCSS 및 설비장치에 각각 부착되어 있어 상기 포토레지스트 용기의 반출입시마다 상기 식별 정보와 반출입 정보를 수신하는 것이 바람직하다. 상기 관리 정보는 상기 제품창고, CCSS 및 설비장치가 있는 장소의 온도 및 습도와 같은 환경 요인에 관한 정보가 될 수 있다.
이어서, 상기 각 무선 주파수 리더기에서 수신한 상기 식별 정보, 반출입 정보 및 관리 정보를 호스트 컴퓨터로 읽어들이고 저장한다(310).
이어서, 상기 포토레지스트의 상기 설비장치로의 장착 정보를 호스트 컴퓨터로 전달한다(320). 상기 설비장치에 용기장착센서와 인터락 제어기가 구비되어 상기 용기장착센서가 상기 포토레지스트의 장착 여부에 대한 장착 정보를 상기 인터락 제어기에 전달하고, 상기 인터락 제어기가 이를 상기 호스트 컴퓨터로 전달하는 것이 바람직하다. 상기 호스트 컴퓨터와 인터락 제어기 및 무선 주파수 리더기들은 유선으로 연결될 수 있고, 또한 네트웍을 이용하여 연결될 수도 있다.
이어서, 상기 호스트 컴퓨터를 이용하여 상기 설비장치로의 인터락 명령을 결정한다(330). 상기 인터락 명령의 결정 단계(330)는 상기 호스트 컴퓨터에 저장된 프로그램을 이용하여 상기 설비장치로의 상기 포토레지스트 반입 시 상기 식별 정보, 반출입 정보, 관리 정보 및 장착 정보로부터 결정하는 것이 바람직하다. 나아가, 상기 인터락 명령의 결정 단계(330)는 상기 프로그램을 이용하여 상기 포토레지스트의 유효기간 경과 여부 및 상기 설비장치로의 장착 오류 여부를 판단하여 결정하는 것이 더욱 바람직하다.
이어서, 상기 설비 장치에 인터락 명령을 전달하고, 상기 인터락 명령에 따라 인터락 제어기를 구동한다(340).
상기 인터락 제어기의 구동을 나타내는 도 3b를 참조하면, 먼저 상기 호스트 컴퓨터에서 무선 주파수 리더기들로부터 상기 포토레지스트의 상기 식별 정보, 반출입 정보, 및 각 장소 및 설비장치의 관리 정보를 읽어들인다(312). 이어서, 상기 용기장착센서에서 상기 포토레지스트의 장착 정보를 상기 인터락 제어기로 전달한다(322). 이어서, 상기 인터락 제어기는 상기 호스트 컴퓨터로 상기 장착 정보를 전달한다(324). 이어서, 상기 호스트 컴퓨터에서는 상기 포토레지스트의 유효기간 경과 여부 및 장착 오류 여부를 판단한다(332). 상기 판단에 따라 유효기간이 경과했거나, 장착 오류가 있을 때(Yes)는 상기 인터락 제어기가 구동되고(342), 그렇지 않은 경우에는(No) 인터락 제어기가 구동되지 않는다.
도 3c를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 방법은 상기 인터락 제어기를 구동하는 단계(340)에 이어서, 호스트 컴퓨터가 상기 식별 정보, 반출입 정보, 관리 정보, 장착 정보 및 인터락 결정을 상기 사용자 컴퓨터와 연결된 네트웍 상의 웹페이지에 저장한다(350).
이어서, 상기 사용자 컴퓨터를 이용하여 상기 포토레지스트를 사용한 제품 정보를 상기 웹페이지에 입력하고 저장한다(360). 상기 제품 정보는 반도체 제조 공정 단계의 임계 치수 추세, 미립자 추세 및 출하 후 수율 추세를 포함할 수 있다. 상기 웹페이지 정보는 상기 호스트 컴퓨터에 전달되어 상기 사용자 컴퓨터와 호스 컴퓨터가 서로 정보를 전달할 수 있다.
따라서, 사용자는 상기 호스트 컴퓨터 또는 상기 사용자 컴퓨터를 이용하여 상기 네트웍 상의 웹페이지에서 상기 포토레지스트의 상기 식별 정보, 반출입 정보, 장착 정보 및 제품 정보를 모두 읽고 비교하여 설비장치의 인터락을 제어할 수 있으며, 제품 이상 발생 시 상기 정보를 비교 분석하고, 또한 각 보관 장소들의 관리 정보를 분석하여 원인을 파악하고 개선활동을 할 수 있게 된다.
본 발명의 특정 실시예들에 대한 이상의 설명은 예시 및 설명을 목적으로 제공되었다. 본 발명은 상기 실시예들에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당분야에서 통상의 지식을 가진자에 의하여 상기 실시예들을 조합하여 실시하는 등 여러 가지 많은 수정 및 변경이 가능함은 명백하다.
본 발명에 따른 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템 및 방법은 포토레지스트 물류의 자재 창고 입고로부터 설비 장치에서 사용하기까지의 일련의 단계에서 포토레지스트의 식별 정보를 담고 있는 무선 주파수 식별 태그를 이용하여 반출입 정보를 호스트 컴퓨터에서 체계적으로 관리할 수 있도록 해주고, 각 이동 장소에서의 온도 및 습도와 같은 환경 변화 정보를 무선 주파수 식별 태그에 저장하여 호스트 컴퓨터에서 관리함으로써 포토레지스트의 물성 변화 등이 있을 때 그 원인을 추적할 수 있도록 해준다. 또한, 설비장치에서의 인터락 제어를 호스트 컴퓨터에서 여러 정보를 종합하여 결정할 수 있도록 함으로써 효율적인 실시간 온라인 인터락 관리를 제공해 준다.
또한, 호스트 컴퓨터와 사용자 컴퓨터를 네트웍으로 연결하여 포토레지스트의 식별 정보, 반출입 정보 및 각 보관 장소의 관리 정보를 공유하고, 제품 정보를 사용자 컴퓨터를 통해서 호스트 컴퓨터로 공유함으로써 그들의 비교 정보를 통해 효율적인 포토레지스트 물류 관리가 가능하게 해준다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템을 보여주는 도면들이다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템을 보여주는 도면들이다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 실시예에 따른 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 방법을 보여주는 도면들이다.

Claims (19)

  1. 포토레지스트 용기에 부착되어 상기 포토레지스트의 식별 정보를 저장하고 있는 무선 주파수 식별 태그;
    상기 무선 주파수 식별 태그로부터 상기 포토레지스트의 식별 정보를 수신하는 무선 수신기를 포함하고 있는 복수개의 무선 주파수 리더기들;
    상기 포토레지스트 용기의 설비 장치로의 장착 및 유효성을 제어하는 인터락 제어기; 및
    상기 무선 주파수 리더기들로부터 상기 포토레지스트의 식별 정보와 상기 무선 주파수 리더기들로의 반출입 정보를 읽어들여 저장하고, 상기 설비장치에 대한 인터락 명령을 결정하고, 상기 인터락 명령을 상기 인터락 제어기에 전달하는 호스트 컴퓨터를 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 무선 주파수 리더기들은 무선 주파수 신호를 수신하기 위한 안테나를 각각 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 포토레지스트의 식별 정보는 상기 포토레지스트의 식별 번호 및 출하 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 무선 주파수 리더기들은 상기 무선 주파수 식별 태그에 상기 무선 주파수 리더기들이 부착되어 있는 장소의 관리 정보를 전달할 수 있도록 무선 주파수 송신기를 더 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 관리 정보는 상기 무선 주파수 리더기들이 부착되어 있는 장소의 온도 및 습도 관리 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템.
  6. 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,
    상기 무선 주파수 리더기들은 상기 포토레지스트의 입고 및 출고를 관리하기 위한 자재창고의 자재창고 무선 주파수 리더기, 상기 포토레지스트의 보관을 위한 시스템의 화학물질제어공급시스템 무선 주파수 리더기 및 상기 포토레지스트를 사용하는 상기 설비장치의 설비장치 무선 주파수 리더기를 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 인터락 제어기는 상기 설비장치 무선 주파수 리더기를 구비하고 있는 상기 설비장치에 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 설비장치는 용기장착센서를 더 구비하고, 상기 인터락 제어기는 상기 용기장착센서와 연계되어 있어 상기 포토레지스트가 상기 설비장치에 장착되어 있는 지에 관한 장착 정보를 상기 호스트 컴퓨터에 전달하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 호스트 컴퓨터는 상기 포토레지스트의 상기 식별 정보, 반출입 정보, 관리 정보 및 장착 정보를 바탕으로 상기 인터락 명령을 결정하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템.
  10. 포토레지스트 용기에 부착되어 상기 포토레지스트의 식별 정보를 저장하고 있는 무선 주파수 식별 태그;
    상기 무선 주파수 식별 태그로부터 상기 포토레지스트의 식별 정보를 수신하는 무선 수신기를 포함하고 있는 복수개의 무선 주파수 리더기들;
    상기 무선 주파수 리더기들로부터 상기 포토레지스트의 식별 정보와 상기 무선 주파수 리더기들로의 반출입 정보를 읽어들여 저장하는 호스트 컴퓨터; 및
    상기 호스트 컴퓨터와 네트웍을 통해 연결되어, 상기 포토레지스트의 식별 정보와 반출입 정보를 상기 호스트 컴퓨터로부터 전달받고, 상기 포토레지스트를 이용하여 제조된 제품 정보를 상기 호스트 컴퓨터에 전달하는 사용자 컴퓨터를 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 호스트 컴퓨터와 상기 사용자 컴퓨터는 네트웍 상의 웹페이지를 통해 상기 식별 정보, 반출입 정보, 및 제품 정보를 주고받는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 사용자 컴퓨터는 상기 제품 정보를 입력하기 위한 입력장치, 상기 제품 정보, 식별 정보 및 반출입 정보를 처리하기 위한 프로세서, 및 상기 정보들을 표시하기 위한 모니터를 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템.
  13. 제 10 항에 있어서,
    상기 제품 정보는 반도체 제조 공정단계의 임계 치수 추세, 미립자 추세 및 출하 후 수율 추세를 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템.
  14. 제 10 항에 있어서,
    상기 무선 주파수 리더기들은 상기 포토레지스트의 입고 및 출고를 관리하기 위한 자재창고의 자재창고 무선 주파수 리더기, 상기 포토레지스트의 보관을 위한 화학물질제어공급시스템의 화학물질제어공급시스템 무선 주파수 리더기 및 상기 포토레지스트를 사용하는 설비장치의 설비장치 무선 주파수 리더기를 포함하고, 상기 각 무선 주파수 리더기들은 상기 자재창고, 화학물질제어공급시스템 및 설비장치들의 관리 정보를 상기 무선 주파수 식별 태그에 송신할 수 있도록 무선 주파수 송신기를 각각 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 설비장치는 용기장착센서와 인터락 제어기를 더 포함하고, 상기 인터락 제어기는 상기 용기장착센서와 연계되어 있어 상기 포토레지스트 용기의 상기 설비장치로의 장착 정보를 상기 호스트 컴퓨터에 전달하고, 상기 호스트 컴퓨터는 상기 식별 정보, 반출입 정보, 관리 정보 및 장착 정보로부터 상기 설비장치의 인터락 명령을 결정하고, 상기 인터락 제어기에 상기 인터락 명령을 전달하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 시스템.
  16. 복수 장소들을 거쳐 설비장치에 장착되는 포토레지스트 용기에 부착되어 있는 무선 주파수 식별 태그로부터 상기 각 장소 및 설비장치의 무선 주파수 리더기들을 사용하여 상기 포토레지스트의 식별 정보와 상기 각 장소 및 설비장치로의 반출입 정보를 수신하는 단계;
    상기 각 장소 및 설비장치로의 반출입시마다 상기 각 장소 및 설비장치에 부착되어 있는 상기 무선 주파수 리더기에서 상기 식별 정보와 반출입 정보를 호스트 컴퓨터로 읽어들이고 저장하는 단계;
    상기 설비장치에 구비되어 있는 인터락 제어기에서 상기 포토레지스트의 상기 설비장치로의 장착 정보를 상기 호스트 컴퓨터에 전달하는 단계;
    상기 호스트 컴퓨터를 이용하여 상기 설비장치의 인터락 명령을 결정하는 단계; 및
    상기 인터락 명령을 상기 설비장치에 전달하여 상기 인터락 명령에 따라 상기 인터락 제어기를 구동하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 인터락 명령을 결정하는 단계는 상기 호스트 컴퓨터에 저장된 프로그램을 이용하여 상기 포토레지스트의 식별 정보, 반출입 정보 및 장착 정보로부터 상기 포토레지스트의 유효기간 경과 여부 및 상기 설비장치로의 장착 오류 여부를 판단하여 결정하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 방법.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 인터락 명령을 결정하는 단계 후, 상기 호스트 컴퓨터가 상기 식별 정보, 반출입 정보, 장착 정보 및 인터락 결정을 사용자 컴퓨터와 연결된 네트웍 상의 웹페이지에 저장하는 단계 및 상기 사용자 컴퓨터를 이용하여 상기 웹페이지 상에 상기 포토레지스트를 사용한 제품 정보를 입력하고 저장하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 방법.
  19. 제 16 항 내지 제 18 항의 어느 한 항에 있어서,
    상기 무선 주파수 리더기들로부터 상기 식별 정보와 반출입 정보를 상기 호스트 컴퓨터에 저장하는 단계 후, 상기 각 장소 및 설비 장치의 관리 정보를 상기 무선 주파수 리더기로부터 상기 무선 주파수 식별 태그로 송신하여 상기 무선 주파수 식별 태그에 저장하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 이용한 포토레지스트 물류 관리 방법.
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