TW201515787A

TW201515787A - 產業用機器人

Info

Publication number: TW201515787A
Application number: TW103120380A
Authority: TW
Inventors: Takayuki Yazawa; Hiroshi Arakawa; Masashi Fujiwara; Yosuke Takase
Original assignee: Nidec Sankyo Corp
Priority date: 2013-10-22
Filing date: 2014-06-12
Publication date: 2015-05-01
Also published as: KR20150046715A; JP2015080828A; JP6190692B2; KR101642573B1; CN104552301A; CN104552301B; TWI562873B

Abstract

本發明提供一種產業用機器人，其係即便加快動作速度，亦可抑制搬送對象物之搬送精度之降低。於本產業用機器人中，固定手部3、4之手部支持構件5、6相對於臂部7向Y方向直線地移動，且臂部7相對於臂部支持構件11向Y方向直線地移動。於自Y方向觀察時，驅動手部支持構件5之第1驅動機構之驅動力相對於手部支持構件5所作用之第1作用位置F1位於藉由第1驅動機構之驅動力向Y方向移動之部分之重心G1之下側，驅動手部支持構件6之第2驅動機構之驅動力相對於手部支持構件6所作用之第2作用位置F2位於藉由第2驅動機構之驅動力向Y方向移動之部分之重心G2之下側，驅動臂部7之第3驅動機構之驅動力相對於臂部7所作用之第3作用位置F3位於藉由第3驅動機構之驅動力向Y方向移動之部分之重心G3之下側。

Description

產業用機器人

本發明係關於一種搬送特定之搬送對象物之產業用機器人。

先前，已知一種搬送液晶顯示器用之玻璃基板等基板之產業用機器人(例如，參照專利文獻1)。專利文獻1所記載之產業用機器人具備：上叉及下叉，其等供搭載基板；第1移動體，其供固定上叉；第2移動體，其供固定下叉；共用基部，其將第1移動體及第2移動體可移動地保持；及基部，其將共用基部可移動地保持。第1移動體及第2移動體可相對於共用基部向水平方向直線地往返移動。又，第1移動體與第2移動體可相對於共用基部向相同方向往返移動。共用基部可相對於基部向水平方向直線地往返移動。又，共用基部可向與第1移動體及第2移動體相對於共用基部之移動方向相同之方向相對於基部往返移動。

又，專利文獻1所記載之產業用機器人具備：用以往返驅動第1移動體之第1驅動部、用以往返驅動第2移動體之第2驅動部、及用以往返驅動共用基部之第3驅動部。第1驅動部具備：馬達，其固定於共用基部；滾珠螺桿，其可旋轉地保持於共用基部並且藉由馬達之動力旋轉；及球狀螺母，其固定於第1移動體並且螺合於滾珠螺桿。第2驅動部具備：馬達，其固定於共用基部；滾珠螺桿，其可旋轉地保持於共用基部並且藉由馬達之動力旋轉；及球狀螺母，其固定於第2移動體並且螺合於滾珠螺桿。第3驅動部具備：馬達，其固定於基部；滾珠螺桿，其可旋轉地保持於基部並且藉由馬達之動力旋轉；及球狀螺母，其固定於共用基部並且螺合於滾珠螺桿。

專利文獻1所記載之產業用機器人中，於搬送基板時，第1移動體或者第2移動體相對於共用基部直線地相對移動，且共用基部向與第1移動體或者第2移動體相對於共用基部之相對移動方向相同之方向相對於基部直線地相對移動。此時，第1移動體、第2移動體及共用基部由線性導軌引導。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開平11-238775號公報

近年來，為了提高設置有搬送基板之產業用機器人之基板製造系統之生產效率，要求產業用機器人之動作高速化。於專利文獻1所記載之產業用機器人中，由於使用滾珠螺桿與球狀螺母而驅動第1移動體、第2移動體及共用基部，故而於移動時之第1移動體、第2移動體及共用基部，產生以滾珠螺桿為中心之力矩。因此，於該產業用機器人中，若第1移動體、第2移動體及共用基部之移動速度加快，則有於第1移動體、第2移動體及共用基部產生較大之振動之虞。若於第1移動體、第2移動體及共用基部產生較大之振動，則有供搭載基板之上叉與下叉之動作變得不穩定而導致基板之搬送精度降低之虞。

因此，本發明之課題在於提供一種即便加快動作速度亦可抑制搬送對象物之搬送精度降低之產業用機器人。

為了解決上述課題，本發明之產業用機器人具備：第1手部及第2手部，其等供搭載搬送對象物；第1手部支持構件，其供固定第1手部；第2手部支持構件，其供固定第2手部；臂部，其係以第1手部支持構件與第2手部支持構件可向水平方向之相同方向直線地往返移動之方式保持第1手部支持構件及第2手部支持構件；臂部支持構件，其將臂部保持為可向與第1手部支持構件及第2手部支持構件相對於臂部之移動方向相同之方向直線地往返移動；第1驅動機構，其使第1手部支持構件相對於臂部往返移動；第2驅動機構，其使第2手部支持構件相對於臂部往返移動；及第3驅動機構，其使臂部相對於臂部支持構件往返移動；且當將第1手部支持構件、第2手部支持構件及臂部之移動方向設為第1方向時，於自第1方向觀察時，第1手部與第2手部以於上下方向相互重疊之方式配置，並且於自第1方向觀察時，第1驅動機構相對於第1手部支持構件之驅動力所作用之第1作用位置位於藉由第1驅動機構之驅動力向第1方向移動之部分之重心之下側，第2驅動機構相對於第2手部支持構件之驅動力所作用之第2作用位置位於藉由第2驅動機構之驅動力向第1方向移動之部分之重心之下側，第3驅動機構相對於臂部之驅動力所作用之第3作用位置位於藉由第3驅動機構之驅動力向第1方向移動之部分之重心之下側。

於本發明之產業用機器人中，於自作為第1手部支持構件、第2手部支持構件及臂部之移動方向之第1方向觀察時，使第1手部支持構件往返移動之第1驅動機構之驅動力相對於第1手部支持構件所作用之第1作用位置位於藉由第1驅動機構之驅動力向第1方向移動之部分之重心之下側，使第2手部支持構件往返移動之第2驅動機構之驅動力相對於第2手部支持構件所作用之第2作用位置位於藉由第2驅動機構之驅動力向第1方向移動之部分之重心之下側，使臂部往返移動之第3驅動機構之驅動力相對於臂部所作用之第3作用位置位於藉由第3驅動機構之驅動力向第1方向移動之部分之重心之下側。因此，於本發明中，可抑制包括第1手部在內之藉由第1驅動機構之驅動力向第1方向移動之部分的以自第1方向觀察時之第1作用位置為中心之力矩之產生、包括第2手部在內之藉由第2驅動機構之驅動力向第1方向移動之部分的以自第1方向觀察時之第2作用位置為中心之力矩之產生、及包括第1手部及第2手部在內之藉由第3驅動機構之驅動力向第1方向移動之部分的以自第1方向觀察時之第3作用位置為中心之力矩之產生。因此，於本發明中，即便加快產業用機器人之動作速度，亦可抑制供搭載搬送對象物之第1手部及第2手部之振動，從而可抑制搬送對象物之搬送精度之降低。

於本發明中，例如，第1驅動機構具備：第1螺桿構件，其形成有外螺紋且可旋轉地保持於臂部；及第1螺母構件，其形成有與第1螺桿構件之外螺紋卡合之內螺紋且固定於第1手部支持構件；且第2驅動機構具備：第2螺桿構件，其形成有外螺紋且可旋轉地保持於臂部；及第2螺母構件，其形成有與第2螺桿構件之外螺紋卡合之內螺紋且固定於第2手部支持構件；第1作用位置為第1螺桿構件之外螺紋與第1螺母構件之內螺紋之卡合位置，第2作用位置為第2螺桿構件與外螺紋與第2螺母構件之內螺紋之卡合位置。

又，於本發明中，例如，第3驅動機構具備：第3螺桿構件，其形成有外螺紋且可旋轉地保持於臂部及臂部支持構件中之任一者；及第3螺母構件，其形成有與第3螺桿構件之外螺紋卡合之內螺紋，且固定於臂部及臂部支持構件中之另一者；第3作用位置為第3螺桿構件與外螺紋與第3螺母構件之內螺紋之卡合位置。

於本發明中，例如產業用機器人具備：第1導軌及第1導塊，其等係用以向第1方向引導第1手部支持構件；以及第2導軌及第2導塊，其等係用以向第1方向引導第2手部支持構件；且當將與上下方向和第1方向正交之方向設為第2方向，將第2方向之一方設為第3方向，將第2方向之另一方設為第4方向時，第1導軌固定於臂部之第3方向側之側面，第2導軌固定於臂部之第4方向側之側面，第1螺桿構件沿臂部之第3方向側之側面配置，第2螺桿構件沿臂部之第4方向側之側面配置。此時，可使第2方向上之第1螺桿構件與第2螺桿構件之距離靠近。

於本發明中，較佳為，第1驅動機構具備使第1螺桿構件旋轉之第1馬達，第2驅動機構具備使第2螺桿構件旋轉之第2馬達，第1馬達固定於第1方向上之臂部之一端側，第2馬達固定於第1方向上之臂部之另一端側，且第1馬達及第2馬達以於自第1方向觀察時第1馬達之旋轉中心與第2馬達之旋轉中心一致之方式配置；於自第1方向觀察時，第1馬達之旋轉中心及第2馬達之旋轉中心位於第3作用位置之上側，且第2方向上的第1馬達之旋轉中心與第1螺桿構件之軸心之距離和第2方向上的第2馬達之旋轉中心與第2螺桿構件之軸心之距離相等。若如此構成，則於第2方向上，可容易使藉由第3驅動機構之驅動力向第1方向移動之部分之重心與第3作用位置一致。

於本發明中，例如，第3驅動機構具備：第3螺桿構件，其形成有外螺紋且可旋轉地保持於臂部及臂部支持構件中之任一者；第3螺母構件，其形成有與第3螺桿構件之外螺紋卡合之內螺紋，且固定於臂部及臂部支持構件中之另一者；及第3馬達，其使第3螺桿構件旋轉；第3馬達以於自第1方向觀察時第3馬達之旋轉中心與第3螺桿構件之軸心一致之方式配置。

於本發明中，較佳為於自第1方向觀察時，第1手部配置於第2手部之下側，臂部配置於第1手部之下側；當將與上下方向和第1方向正交之方向設為第2方向，將第2方向之一方設為第3方向，將第2方向之另一方設為第4方向時，第1手部支持構件配置於臂部之第3方向側，且於較第1作用位置更靠第3方向側與第1手部相連，第2手部支持構件配置於臂部及第1手部之第4方向側，且於較第2作用位置更靠第4方向側與第2手部相連。即，較佳為第1手部單側支持於第1手部支持構件，第2手部單側支持於第2手部支持構件。若如此構成，則與第1手部雙側支持於第1手部支持構件，第2手部雙側支持於第2手部支持構件之情形相比，可使第1手部支持構件及第2手部支持構件輕量化。

另外，與第1手部雙側支持於第1手部支持構件，第2手部雙側支持於第2手部支持構件之情形相比，於第1手部單側支持於第1手部支持構件，第2手部單側支持於第2手部支持構件之情形時，容易產生藉由第1驅動機構之驅動力向第1方向移動之部分的以自第1方向觀察時之第1作用位置為中心之力矩、及藉由第2驅動機構之驅動力向第1方向移動之部分的以自第1方向觀察時之第2作用位置為中心之力矩，而於本發明中，如上所述，可抑制該等力矩之產生。

如上所述，於本發明之產業用機器人中，即便加快其動作速度，亦可抑制搬送對象物之搬送精度之降低。

1‧‧‧機器人(產業用機器人)

2‧‧‧基板(玻璃基板、搬送對象物)

3‧‧‧手部(第1手部)

4‧‧‧手部(第2手部)

5‧‧‧手部支持構件(第1手部支持構件)

5a‧‧‧手部固定部

5b‧‧‧塊固定部

6‧‧‧手部支持構件(第2手部支持構件)

6a‧‧‧手部固定部

6b‧‧‧塊固定部

7‧‧‧臂部

8‧‧‧本體部

9‧‧‧基底構件

11‧‧‧臂部支持構件

12‧‧‧升降構件

13‧‧‧柱狀構件

14‧‧‧基台

15‧‧‧迴旋構件

21‧‧‧第1驅動機構

22‧‧‧第2驅動機構

23‧‧‧第3驅動機構

25‧‧‧叉部

26‧‧‧手部基部

27‧‧‧導軌(第1導軌)

28‧‧‧導軌(第2導軌)

29‧‧‧導軌(第3導軌)

30‧‧‧導塊(第1導塊)

31‧‧‧導塊(第2導塊)

32‧‧‧導塊(第3導塊)

33‧‧‧塊固定構件

36‧‧‧螺桿構件(第1螺桿構件)

37‧‧‧螺母構件(第1螺母構件)

38‧‧‧馬達(第1馬達)

39‧‧‧動力傳遞機構

41‧‧‧螺桿構件(第2螺桿構件)

42‧‧‧螺母構件(第2螺母構件)

43‧‧‧馬達(第2馬達)

44‧‧‧動力傳遞機構

46‧‧‧螺桿構件(第3螺桿構件)

47‧‧‧螺母構件(第3螺母構件)

48‧‧‧馬達(第3馬達)

49‧‧‧聯結器

CL1‧‧‧線

CL2‧‧‧線

CL3‧‧‧線

D1‧‧‧第2方向上之第1馬達之旋轉中心與第1螺桿構件之軸心之距離

D2‧‧‧第2方向上之第2馬達之旋轉中心與第2螺桿構件之軸心之距離

F1‧‧‧第1作用位置

F2‧‧‧第2作用位置

F3‧‧‧第3作用位置

G1‧‧‧藉由第1驅動機構之驅動力向第1方向移動之部分之重心

G2‧‧‧藉由第2驅動機構之驅動力向第1方向移動之部分之重心

G3‧‧‧藉由第3驅動機構之驅動力向第1方向移動之部分之重心

X‧‧‧第2方向

X1‧‧‧第4方向

X2‧‧‧第3方向

Y‧‧‧第1方向

Y1‧‧‧方向

Y2‧‧‧方向

Z‧‧‧上下方向

Z1‧‧‧方向

Z2‧‧‧方向

圖1係本發明之實施形態之產業用機器人之俯視圖。

圖2係自圖1之E-E方向繪示產業用機器人之圖。

圖3係自圖1之H-H方向繪示產業用機器人之主要部分之圖。

圖4係用以自上面說明圖1所示之臂部之內部構造及其周邊部分之構造之圖。

圖5係用以自圖4之J-J方向說明臂部之內部構造及其周邊部分之構造之圖。

圖6係用以自圖5之K-K方向說明臂部之周邊部分之構造之圖。

圖7係用以自圖5之L-L方向說明第1手部支持構件及第2手部支持構件等之構造之圖。

圖8(A)~(C)係用以說明圖2所示之第1手部、第2手部及臂部之概略動作之圖。

以下，一面參照圖式一面說明本發明之實施形態。

(產業用機器人之概略構成)

圖1係本發明之實施形態之產業用機器人1之俯視圖。圖2係自圖1之E-E方向繪示產業用機器人1之圖。圖3係自圖1之H-H方向繪示產業用機器人1之主要部分之圖。另外，於以下之說明中，將相互正交之3方向分別設為X方向、Y方向及Z方向，且將X方向設為前後方向，將Y方向設為左右方向，將Z方向設為上下方向。於本形態中，以Z方向與鉛垂方向一致之方式配置有產業用機器人1。又，於以下之說明中，將X1方向側設為「右」側，將X2方向側設為「左」側，將Y1方向側設為「前」側，將Y2方向側設為「後(back)」側，將Z1方向側設為「上」側，將Z2方向側設為「下」側。

本形態之產業用機器人1(以下稱為「機器人1」)係用以搬送作為搬送對象物之液晶顯示器用之玻璃基板2(以下稱為「基板2」)之機器人。機器人1具備：作為供搭載基板2之第1手部之手部3、作為供搭載基板2之第2手部之手部4、作為供固定手部3之第1手部支持構件之手部支持構件5、作為供固定手部4之第2手部支持構件之手部支持構件6、保持手部支持構件5、6之臂部7、支持臂部7之本體部8、及支持本體部8使之可沿水平方向(具體為左右方向)移動之基底構件9。

本體部8具備：臂部支持構件11，其保持臂部7；升降構件12，其固定臂部支持構件11且可上下移動；柱狀構件13，其支持升降構件12使之可沿上下方向移動；基台14，其構成本體部8之下端部分且可相對於基底構件9水平移動；及迴旋構件15，其固定柱狀構件13之下端且可相對於基台14迴旋。

臂部7保持於臂部支持構件11之前端側。臂部支持構件11之基端側固定於升降構件12。升降構件12藉由省略圖示之升降機構之動力而相對於形成為以上下方向為長度方向之柱狀之柱狀構件13與臂部7等一併上下移動。基台14藉由省略圖示之移動機構之動力相對於基底構件9向左右方向移動。即，本體部8藉由該移動機構之動力相對於基底構件9向左右方向移動。又，迴旋構件15藉由省略圖示之迴旋機構之動力相對於基台14迴旋。

手部支持構件5及手部支持構件6以可向圖1等之前後方向直線地往返移動之方式保持於臂部7。即，臂部7以手部支持構件5與手部支持構件6可向水平方向之相同方向直線地往返移動之方式保持手部支持構件5、6。機器人1具備使手部支持構件5相對於臂部7往返移動之第1驅動機構21及使手部支持構件6相對於臂部7往返移動之第2驅動機構22(參照圖4)。

臂部7以可向圖1等之前後方向直線地往返移動之方式保持於臂部支持構件11。即，臂部支持構件11將臂部7以可向與手部支持構件5、6相對於臂部7之移動方向相同之方向直線地往返移動之方式保持。機器人1具備使臂部7相對於臂部支持構件11往返移動之第3驅動機構23(參照圖5、圖6)。

另外，本形態之前後方向(Y方向)係成為手部支持構件5、6及臂部7之移動方向之第1方向。又，左右方向(X方向)係與作為第1方向之前後方向和上下方向正交之第2方向，X2方向係成為第2方向之一方之第3方向，X1方向係成為第2方向之另一方之第4方向。

(手部、手部支持構件、臂部及驅動機構之構成)

圖4係用以自上面說明圖1所示之臂部7之內部構造及其周邊部分之構造之圖。圖5係用以自圖4之J-J方向說明臂部7之內部構造及其周邊部分之構造之圖。圖6係用以自圖5之K-K方向說明臂部7之周邊部分之構造之圖。圖7係用以自圖5之L-L方向說明手部支持構件5、6等之構造之圖。

手部3、4具備供搭載基板2之兩根叉部25、及供固定叉部25之基端之手部基部26。手部3與手部4配置為於自前後方向觀察時於上下方向上重疊。於本形態中，於自前後方向觀察時，手部3配置於手部4之下側。

臂部7配置於手部3之下側。該臂部7形成為於前後方向細長之大致長方體狀。具體而言，臂部7形成為具有與由前後方向和左右方向構成之XY平面平行之上表面及下表面、與由前後方向和上下方向構成之YZ平面平行之左右之側面、及與由上下方向和左右方向構成之ZX平面平行之前後之側面的大致長方體狀。又，臂部7形成為中空狀。左右方向上之臂部7之寬度較左右方向上之手部3、4之寬度窄。

如圖7所示，於臂部7之左側面，固定有用以向前後方向引導手部支持構件5之兩根導軌27。於臂部7之右側面，固定有用以向前後方向引導手部支持構件6之兩根導軌28。於臂部7之下表面，固定有用以向前後方向引導臂部7之兩根導軌29。兩根導軌27以於上下方向空出特定間隔之狀態固定於臂部7之左側面，兩根導軌28以於上下方向空出特定間隔之狀態固定於臂部7之右側面。導軌27之固定位置與導軌28之固定位置於上下方向上大致一致。兩根導軌29以於左右方向空出特定間隔之狀態固定於臂部7之下表面。本形態之導軌27為第1導軌，導軌28為第2導軌，導軌29為第3導軌。

如圖7所示，手部支持構件5形成為於自前後方向觀察時之形狀成為大致L形之塊狀。該手部支持構件5具備供固定手部3之手部固定部5a及供固定與導軌27卡合之兩個導塊30之塊固定部5b。手部固定部5a及塊固定部5b配置於臂部7之左側。即，手部支持構件5配置於臂部7之左側。本形態之導塊30為第1導塊。

兩個導塊30以於上下方向空出特定間隔之狀態固定於塊固定部5b之右端側。手部固定部5a之下端側與塊固定部5b之左端相連。手部固定部5a之上端面配置於較塊固定部5b之上端更靠上側。於手部固定部5a之上端面，固定有手部3之手部基部26之下表面。即，手部支持構件5配置於手部3之下側。於本形態中，手部固定部5a於左右方向上之較手部3之中心更靠左側與手部3之手部基部26之下表面相連。

如圖7所示，手部支持構件6形成為自前後方向觀察時之形狀成為大致L形之塊狀。該手部支持構件6具備供固定手部4之手部固定部6a及供固定與導軌28卡合之兩個導塊31之塊固定部6b。兩個導塊31以於上下方向空出特定間隔之狀態固定於塊固定部6b之左端側。本形態之導塊31為第2導塊。

手部固定部6a之下端側與塊固定部6b之右端相連。手部固定部6a係為了防止與搭載於手部3之基板2之干涉而形成為自塊固定部6b之右端朝向右斜上側延伸之後朝向上側延伸。手部固定部6a之上端面配置於較塊固定部6b之上端更靠上側。於手部固定部6a之上端側，固定有手部4之手部基部26。於本形態中，手部固定部6a與手部4之手部基部26之右端相連。

手部固定部6a之下端側及塊固定部6b配置於臂部7之右側。又，手部固定部6a之上端側配置於手部3之右側。即，手部支持構件6配置於臂部7及手部3之右側。又，手部固定部6a之下端側及塊固定部6b配置於手部3之下側。

如圖7所示，臂部支持構件11具備供固定與導軌29卡合之兩個導塊32之塊固定構件33。塊固定構件33固定於臂部支持構件11之前端側之上表面。兩個導塊32以於左右方向空出特定間隔之狀態固定於塊固定構件33之上端側。本形態之導塊32為第3導塊。

第1驅動機構21配置於手部3之下側。如圖4所示，該第1驅動機構21具備：於外周面形成有外螺紋之作為第1螺桿構件之螺桿構件36、於內周面形成有與螺桿構件36之外螺紋卡合之內螺紋之作為第1 螺母構件之螺母構件37、使螺桿構件36旋轉之作為第1馬達之馬達38、及將馬達38之動力傳遞至螺桿構件36之動力傳遞機構39。

螺桿構件36例如為滾珠螺桿。螺桿構件36以前後方向為軸向而配置於臂部7之左側。即，螺桿構件36沿臂部7之左側面配置。螺桿構件36之前後之兩端側藉由固定於臂部7之左側面之軸承而保持為可旋轉。即，螺桿構件36經由軸承而可旋轉地保持於臂部7。螺母構件37固定於手部支持構件5之塊固定部5b。如圖7所示，螺桿構件36及螺母構件37於上下方向上配置於兩個導軌27及兩個導塊30之間。又，螺桿構件36及螺母構件37之軸中心配置於較導軌27與導塊30之卡合部分更靠左側。

馬達38配置於臂部7之內部之前端側，且固定於臂部7之內部之前端側。又，馬達38以輸出軸向前側突出之方式固定於臂部7之前端側。於本形態中，於自前後方向觀察時，臂部7之中心與馬達38之旋轉中心大致一致。動力傳遞機構39具備：固定於馬達38之輸出軸之前端側之滑輪、固定於螺桿構件36之前端側之滑輪、及架設於滑輪間之皮帶。

第2驅動機構22配置於手部3之下側。如圖4所示，該第2驅動機構22具備：於外周面形成有外螺紋之作為第2螺桿構件之螺桿構件41、於內周面形成有與螺桿構件41之外螺紋卡合之內螺紋之作為第2螺母構件之螺母構件42、使螺桿構件41旋轉之作為第2馬達之馬達43、及將馬達43之動力傳遞至螺桿構件41之動力傳遞機構44。

螺桿構件41例如為滾珠螺桿。螺桿構件41以前後方向為軸向而配置於臂部7之右側。即，螺桿構件41沿臂部7之右側面配置。螺桿構件41之前後之兩端側藉由固定於臂部7之右側面之軸承而保持為可旋轉。即，螺桿構件41經由軸承而可旋轉地保持於臂部7。螺母構件42固定於手部支持構件6之塊固定部6b。如圖7所示，螺桿構件41及螺母構件42於上下方向上配置於兩個導軌28及兩個導塊31之間。又，螺桿構件41及螺母構件42之軸中心配置於較導軌28與導塊31之卡合部分更靠右側。

馬達43配置於臂部7之內部之後端側，且固定於臂部7之內部之後端側。又，馬達43以輸出軸向後側突出之方式固定於臂部7之後端側。於本形態中，於自前後方向觀察時，臂部7之中心與馬達43之旋轉中心大致一致。又，於本形態中，於自前後方向觀察時馬達38之旋轉中心與馬達43之旋轉中心一致。動力傳遞機構44具備：固定於馬達43之輸出軸之後端側之滑輪、固定於螺桿構件41之後端側之滑輪、及架設於滑輪間之皮帶。

如圖7所示，於本形態中，馬達38、43之旋轉中心與螺桿構件36之軸心的左右方向之距離D1和馬達38、43之旋轉中心與螺桿構件41之軸心的左右方向之距離D2相等。

第3驅動機構23配置於臂部7之下側。該第3驅動機構23具備：於外周面形成有外螺紋之作為第3螺桿構件之螺桿構件46、於內周面形成有與螺桿構件46之外螺紋卡合之內螺紋之作為第3螺母構件之螺母構件47、及使螺桿構件46旋轉之作為第3馬達之馬達48。

螺桿構件46例如為滾珠螺桿。螺桿構件46以前後方向為軸向而配置於臂部7之下側。即，螺桿構件46沿臂部7之下表面配置。螺桿構件46之前後之兩端側藉由固定於臂部7之下表面之軸承而保持為可旋轉。即，螺桿構件46經由軸承而可旋轉地保持於臂部7。螺母構件47固定於塊固定構件33。即，螺母構件47經由塊固定構件33固定於臂部支持構件11。如圖7所示，螺桿構件46及螺母構件47於左右方向上配置於兩個導軌29及兩個導塊32之間。

馬達48固定於臂部7之下表面之後端側。又，馬達48以輸出軸向前側突出之方式固定於臂部7之下表面。馬達48之輸出軸之前端側與螺桿構件46之後端側經由聯結器49而連結，於自前後方向觀察時，馬達48之旋轉中心與螺桿構件46之軸心一致。又，於自前後方向觀察時，馬達48之旋轉中心及螺桿構件46之軸心與馬達38、43之旋轉中心(即臂部7之中心)於左右方向上一致。即，於自前後方向觀察時，馬達38、43之旋轉中心配置於通過馬達48之旋轉中心及螺桿構件46之軸心之與上下方向平行之線CL1上，且位於馬達48之旋轉中心及螺桿構件46之軸心之上側。

於本形態中，螺桿構件36之外螺紋與螺母構件37之內螺紋卡合之卡合位置為第1驅動機構21相對於手部支持構件5之驅動力所作用之第1作用位置F1。又，螺桿構件41之外螺紋與螺母構件42之內螺紋卡合之卡合位置為第2驅動機構22相對於手部支持構件6之驅動力所作用之第2作用位置F2。又，螺桿構件46之外螺紋與螺母構件47之內螺紋卡合之卡合位置為第3驅動機構23相對於臂部7之驅動力所作用之第3作用位置F3。

又，於本形態中，如圖7所示，於自前後方向觀察時，第1作用位置F1位於藉由第1驅動機構21之驅動力向前後方向移動之部分之重心G1之下側，第2作用位置F2位於藉由第2驅動機構22之驅動力向前後方向移動之部分之重心G2之下側。即，於自前後方向觀察時，第1作用位置F1與重心G1於上下方向重疊，第2作用位置F2與重心G2於上下方向重疊，於左右方向上，第1作用位置F1與重心G1大致一致，第2作用位置F2與重心G2大致一致。具體而言，於自前後方向觀察時，重心G1位於通過螺桿構件36之軸心之與上下方向平行之線CL2上，重心G2位於通過螺桿構件41之軸心之與上下方向平行之線CL3上。

於本形態中，藉由第1驅動機構21之驅動力向前後方向移動之部分係手部3、手部支持構件5、導塊30及螺母構件37，重心G1係手部3、手部支持構件5、導塊30及螺母構件37之重心。又，藉由第2驅動機構22之驅動力向前後方向移動之部分係手部4、手部支持構件6、導塊31及螺母構件42，重心G2係手部4、手部支持構件6、導塊31及螺母構件42之重心。

又，如上所述，於本形態中，於自前後方向觀察時，馬達48之旋轉中心及螺桿構件46之軸心與馬達38、43之旋轉中心(即臂部7之中心)於左右方向上一致，且馬達38、43之旋轉中心與螺桿構件36之軸心之距離D1和馬達38、43之旋轉中心與螺桿構件41之軸心之距離D2相等，第3作用位置F3位於藉由第3驅動機構23之驅動力向前後方向移動之部分之重心G3之下側。即，於自前後方向觀察時，第3作用位置F3與重心G3於上下方向重疊，於左右方向上，第3作用位置F3與重心G3大致一致。具體而言，於自前後方向觀察時，重心G3位於通過螺桿構件46之軸心之與上下方向平行之線CL1上。又，馬達38、43之旋轉中心位於第3作用位置F3之上側。

於本形態中，藉由第3驅動機構23之驅動力向前後方向移動之部分係手部3、4、手部支持構件5、6、臂部7、第1驅動機構21、第2驅動機構22、導軌27~29、導塊30、31、螺桿構件46、聯結器49及支持螺桿構件36、41、46之軸承等，重心G3係手部3、4、手部支持構件5、6、臂部7、第1驅動機構21、第2驅動機構22、導軌27~29、導塊30、31、螺桿構件46、聯結器49及支持螺桿構件36、41、46之軸承等之重心。

如上所述，手部支持構件5之手部固定部5a之下端側與塊固定部5b之左端相連。即，手部支持構件5於較第1作用位置F1更靠左側與手部3相連。又，如上所述，手部支持構件6之手部固定部6a之下端側與塊固定部6b之右端相連。即，手部支持構件6於較第2作用位置F2更靠右側與手部4相連。

(手部及臂部之概略動作)

圖8係用以說明圖2所示之手部3、4及臂部7之概略動作之圖。

於如上述般構成之機器人1中，於將基板2搬入至收容基板2之基板收容部(省略圖示)之前，或者於將基板2自基板收容部搬出之前，例如，如圖8(A)所示，臂部7相對於臂部支持構件11向前側相對移動，手部3、手部支持構件5、手部4及手部支持構件6相對於臂部7向前側相對移動。

於將搭載於手部3、4之基板2搬入至基板收容部時，或者藉由手部3、4將收容於基板收容部之基板2搬出時，馬達48啟動，如圖8(B)、(C)所示，臂部7相對於臂部支持構件11向後側移動。若臂部7相對於臂部支持構件11向後側移動，則手部3、4亦與臂部7一併相對於臂部支持構件11向後側移動。

又，於將搭載於手部4之基板2搬入至基板收容部時，或者藉由手部4將收容於基板收容部之基板2搬出時，馬達43與馬達48一併啟動，如圖8(B)所示，手部4及手部支持構件6向後側移動。同樣，於將搭載於手部3之基板2搬入至基板收容部時，或者藉由手部3將收容於基板收容部之基板2搬出時，馬達38與馬達48一併啟動，如圖8(C)所示，手部3及手部支持構件5向後側移動。

(本形態之主要效果)

如以上所說明般，於本形態中，於自前後方向觀察時，第1驅動機構21相對於手部支持構件5之驅動力所作用之第1作用位置F1位於藉由第1驅動機構21之驅動力向前後方向移動之部分之重心G1之下側，第2驅動機構22相對於手部支持構件6之驅動力所作用之第2作用位置F2位於藉由第2驅動機構22之驅動力向前後方向移動之部分之重心G2之下側，第3驅動機構23相對於臂部7之驅動力所作用之第3作用位置F3位於藉由第3驅動機構23之驅動力向前後方向移動之部分之重心G3之下側。因此，於本形態中，可抑制包括手部3等在內之藉由第1驅動機構21之驅動力向前後方向移動之部分的以自前後方向觀察時之第1作用位置F1為中心之力矩之產生、包括手部4等在內之藉由第2驅動機構22之驅動力向前後方向移動之部分的以自前後方向觀察時之第2作用位置F2為中心之力矩之產生、及包括手部3、4等在內之藉由第3驅動機構23之驅動力向前後方向移動之部分的以自前後方向觀察時之第3作用位置F3為中心之力矩之產生。因此，於本形態中，即便加快手部3、4及臂部7之移動速度(即，即便加快機器人1之動作速度)，亦可抑制供搭載基板2之手部3、4之振動，從而可抑制基板2之搬送精度之降低。

於本形態中，手部支持構件5配置於較臂部7更靠左側，且於較臂部7更靠左側與手部3相連。又，手部支持構件6配置於較臂部7更靠右側，且於較臂部7更靠右側與手部4相連。即，於本形態中，手部3單側支持於手部支持構件5，手部4單側支持於手部支持構件6。因此，與手部3雙側支持於手部支持構件5，手部4雙側支持於手部支持構件6之情形相比，可使手部支持構件5、6輕量化。

另外，與手部3雙側支持於手部支持構件5，手部4雙側支持於手部支持構件6之情形相比，於手部3單側支持於手部支持構件5，手部4單側支持於手部支持構件6之情形時，容易產生藉由第1驅動機構21之驅動力向前後方向移動之部分的以自前後方向觀察時之第1作用位置F1為中心之力矩、及藉由第2驅動機構22之驅動力向前後方向移動之部分的以自前後方向觀察時之第2作用位置F2為中心之力矩，但於本形態中，如上所述，可抑制該等力矩之產生。

於本形態中，馬達38固定於臂部7之內部之前端側，馬達43固定於臂部7之內部之後端側，且馬達38及馬達43以自前後方向觀察時馬達38之旋轉中心與馬達43之旋轉中心一致之方式配置。又，於本形態中，於自前後方向觀察時，馬達38、43之旋轉中心位於第3作用位置 F3之上側。又，於本形態中，馬達38、43之旋轉中心與螺桿構件36之軸心之距離D1和馬達38、43之旋轉中心與螺桿構件41之軸心之距離D2相等。因此，於本形態中，於左右方向上，容易使藉由第3驅動機構23之驅動力向前後方向移動之部分之重心G3與第3作用位置F3一致。

於本形態中，導軌27固定於臂部7之左側面，導軌28固定於臂部7之右側面。又，於本形態中，螺桿構件36沿臂部7之左側面配置，螺桿構件41沿臂部7之右側面配置。因此，於本形態中，可使左右方向上之螺桿構件36與螺桿構件41之距離靠近。即，於本形態中，可使左右方向上之第1作用位置F1與第2作用位置F2之距離靠近，因此，可使左右方向上之重心G1與重心G2之距離靠近。因此，於本形態中，於左右方向上，可使重心G1與重心G2與重心G3靠近，結果可使藉由第3驅動機構23移動之手部3、4及臂部7等之動作穩定。

(其他實施形態)

上述形態係本發明之較佳形態之一例，但並不限定於此，於不變更本發明之主旨之範圍內可實施各種變化。

於上述形態中，於臂部7之左側面，以於上下方向空出特定間隔之狀態固定有兩根導軌27，於臂部7之右側面，以於上下方向空出特定間隔之狀態固定有兩根導軌28。除此以外，例如亦可以兩根導軌27、28呈於左右方向空出特定間隔之狀態固定於臂部7之上表面及/或下表面之方式形成臂部7。

於上述形態中，螺桿構件46經由軸承而可旋轉地保持於臂部7，螺母構件47固定於塊固定構件33。除此以外，例如亦可為螺桿構件46經由軸承而可旋轉地保持於塊固定構件33，螺母構件47固定於臂部7。於此情形時，馬達48固定於塊固定構件33。又，於上述形態中，螺桿構件46與馬達48經由聯結器49連結，但螺桿構件46與馬達48亦可經由滑輪及皮帶連結。

於上述形態中，藉由機器人1搬送之搬送對象物為液晶顯示器用之玻璃基板2，但藉由機器人1搬送之搬送對象物亦可為玻璃基板2以外之半導體晶圓等。