CN110944805B - 工业用机器人 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种工业用机器人，其具有相对于臂线性往复移动的第一手及第二手，其中，能够稳定第一手和第二手的动作。该工业用机器人具备：固定第一手的手支承部件(7)、固定第二手的手支承部件(8)、用于使手支承部件(7)相对于臂沿前后方向往复移动的第一电动机(37)及皮带(50)、以及用于使手支承部件(8)相对于臂沿前后方向往复移动的第二电动机及皮带(54)。从前后方向观察时，固定于手支承部件(7)上的皮带(50)分别配置于第一电动机(37)的两侧中的各侧，固定于手支承部件(8)的皮带(54)配置于第二电动机的两侧中的各侧。另外，皮带(54)配置为在左右方向上与皮带(50)相邻，且配置在与皮带(50)相同的高度。

Description

工业用机器人
技术领域
本发明涉及一种搬运规定的搬运对象物的工业用机器人。
背景技术
目前，已知有搬运玻璃基板的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人具备搭载玻璃基板的第一手及第二手、固定第一手的第一手支承部件、固定第二手的第二手支承部件、保持第一手支承部件及第二手支承部件的臂、以及保持臂的臂支承部件。臂形成为在前后方向上细长的大致长方体形状。第一手支承部件及第二手支承部件相对于臂能够沿前后方向线性往复移动。
另外，专利文献1中记载的工业用机器人具备使第一手支承部件相对于臂往复移动的第一驱动机构和使第二手支承部件相对于臂往复移动的第二驱动机构。第一驱动机构具备外周面形成有外螺纹的第一螺纹部件、固定于第一手支承部件上并且与第一螺纹部件卡合的第一螺母部件、以及使第一螺纹部件旋转的第一电动机。第二驱动机构具备外周面形成有外螺纹的第二螺纹部件、固定于第二手支承部件上并且与第二螺纹部件卡合的第二螺母部件、以及使第二螺纹部件旋转的第二电动机。第一螺纹部件沿着臂的左侧面配置。第二螺纹部件沿着臂的右侧面配置。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2015－80828号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
在专利文献1所记载的工业用机器人中，使用沿着臂的左侧面配置的第一螺纹部件和第一螺母部件使第一手支承部件沿前后方向移动，因此，因搭载于第一手上的玻璃基板的重心位置的影响等，在移动时的第一手支持部件上可能产生以第一螺纹部件为中心的力矩。另外，在该工业用机器人中，使用沿着臂的右侧面配置的第二螺纹部件和第二螺母部件使第二手支承部件沿前后方向移动，因此，因搭载于第二手上的玻璃基板的重心位置的影响等，在移动时的第二手支承部件上可能产生以第二螺纹部件为中心的力矩。因此，在专利文献1所记载的工业用机器人中，第一手及第二手部的动作可能变得不稳定。
于是，本发明的技术问题在于，提供一种工业用机器人，其具有相对于臂线性往复移动的第一手及第二手，能够稳定第一手及第二手动作的动作。
解决技术问题所采用的技术方案
为了解决上述技术问题，本发明提供一种工业用机器人，其特征在于，所述工业用机器人具备：第一手及第二手，所述第一手及第二手搭载搬运对象物；第一手支承部件，所述第一手支承部件固定有第一手；第二手支承部件，所述第二手支承部件固定有第二手；臂，所述臂保持第一手支承部件及第二手支承部件，使得第一手支承部件和第二手支承部件能够向水平方向的相同方向线性往复移动；第一驱动机构，所述第一驱动机构使第一手支承部件相对于臂往复移动；第二驱动机构，所述第二驱动机构使第二手支承部件相对于臂往复移动，第一驱动机构及第二驱动机构配置于臂的内部，将第一手支承部件及第二手支承部件相对于臂的移动方向设为前后方向，将与上下方向和前后方向正交的方向设为左右方向时，第一驱动机构具备：作为驱动源的第一电动机；两个第一驱动带轮，所述第一驱动带轮通过第一电动机的动力以左右方向为旋转的轴向进行旋转，并且配置于前后方向上的臂的一端侧的内部；两个第一从动带轮，所述第一从动带轮以左右方向为旋转的轴向进行旋转，并且配置于前后方向上的臂的另一端侧的内部；两条第一皮带，所述第一皮带固定于第一手支承部件，并且架设于第一驱动带轮和第一从动带轮，第二驱动机构具备：作为驱动源的第二电动机；两个第二驱动带轮，所述第二驱动带轮通过第二电动机的动力以左右方向为旋转的轴向进行旋转，并且配置于前后方向上的臂的另一端侧的内部；两个第二从动带轮，所述第二从动带轮以左右方向为旋转的轴向进行旋转，并且配置于前后方向上的臂的一端侧的内部；两条第二皮带，所述第二皮带固定于第二手支承部件，并且架设于第二驱动带轮和第二从动带轮，第一电动机的旋转中心和第二电动机的旋转中心配置在相同的高度，从前后方向观察时，第一皮带配置于第一电动机的两侧中的各侧，第二皮带配置于第二电动机的两侧中的各侧，并且配置为在左右方向上与第一皮带相邻，且配置在与第一皮带相同的高度。
在本发明的工业用机器人中，从第一手支承部件及第二手支承部件相对于臂的移动方向即前后方向观察时，固定于第一手支承部件上的第一皮带分别配置于第一电动机的两侧，固定于第二手支承部件上的第二皮带分别配置于第二电动机的两侧。即，在本发明中，配置于第一电动机的左右两侧的两条第一皮带固定于第一手支承部件上，配置于第二电动机的左右两侧的两条第二皮带固定于第二手支承部件上。因此，在本发明中，能够防止像专利文献1所记载的工业用机器人那样，在移动时的第一手支承部件及第二手支承部件上产生力矩。因此，在本发明中，能够使第一手支承部件及第二手支承部件的动作稳定，其结果是，能够使第一手和第二手的动作稳定。
另外，在本发明中，第一电动机的旋转中心和第二电动机的旋转中心配置在相同的高度，并且，第二皮带配置为在左右方向上与第一皮带相邻，且配置在与第一皮带相同的高度，因此，能够降低配置于臂的内部的第一驱动机构及第二驱动机构的高度。因此，在本发明中，即使能够使第一手及第二手的动作稳定，也能够减薄上下方向上的臂的厚度，其结果是，能够降低工业用机器人的高度。
在本发明中，理想的是，从前后方向观察时，第一电动机的旋转中心和第二电动机的旋转中心一致。当这样构成时，能够缩小臂的左右方向上的宽度。
在本发明中，理想的是，在第一手支承部件的左右方向的两端侧，形成有固定有第一手的第一手固定部，在第二手支承部件的左右方向的两端侧，形成有固定有第二手的第二手固定部。当这样构成时，第一手在左右两侧支承于第一手支承部件上，因此，能够稳定与第一手支承部件一起沿前后方向移动的第一手的状态。同样，第二手在左右两侧支承于第二手支承部件上，因此，能够稳定与第二手支承部件一起沿前后方向移动的第二手的状态。
在本发明中，理想的是，第一驱动机构具备固定两个第一驱动带轮的第一旋转轴，第二驱动机构具备固定两个第二驱动带轮的第二旋转轴，两个第一从动带轮能旋转地保持于第二旋转轴，两个第二从动带轮能旋转地保持于第一旋转轴。当这样构成时，与另行设置能旋转地保持第一从动带轮的轴、能旋转地保持第二从动带轮的轴的情况相比，能够简化工业用机器人的构成。
在本发明中，例如，第一电动机及第二电动机配置于臂的中心部分的内部，使得第一电动机的输出轴和第二电动机的输出轴向相反方向突出。另外，在本发明中，例如，第一驱动机构具备与第一电动机的输出轴连接的第三旋转轴、固定于第三旋转轴的末端部的第一伞齿轮、以及固定于第一旋转轴上并且与第一伞齿轮啮合的第二伞齿轮，第二驱动机构具备与第二电动机的输出轴连接的第四旋转轴、固定于第四旋转轴的末端部的第三伞齿轮、以及固定于第二旋转上并且与第三伞齿轮啮合的第四伞齿轮。
发明效果
如上所述，在本发明中，在具有相对于臂线性往复移动的第一手及第二手的工业用机器人中，能够稳定第一手和第二手的动作。
附图说明
图1是本发明实施方式的工业用机器人的俯视图。
图2是图1所示的工业用机器人的侧视图。
图3是图1所示的工业用机器人的后视图。
图4(A)是用于说明图1所示的臂的内部结构的俯视图，图4(B)是用于从图4(A)的E－E方向说明臂的内部结构的图。
图5(A)是图4(A)的F部的放大图，(B)是图4(B)的G部的放大图。
图6(A)是图4(A)的H部的放大图，(B)是图4(A)的J部的放大图。
图7(A)是用于从图4(A)的K－K方向说明臂的内部结构的图，图7(B)是用于从图4(A)的L－L方向说明臂的内部结构的图。
图8是用于从图4(B)的N－N方向说明第一手支承部件、第二手支承部件、臂、第一驱动机构及第二驱动机构的结构的剖视图。
图9是用于从图4(B)的Q－Q方向说明第一手支承部件、第二手支承部件、臂、第一驱动机构及第二驱动机构的结构的剖视图。
具体实施方式
下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
(工业用机器人的概略结构)
图1是本发明实施方式的工业用机器人1的俯视图。图2是图1所示的工业用机器人1的侧视图。图3是图1所示的工业用机器人1的后视图。
本实施方式的工业用机器人1(以以下称为为“机器人1”)是将作为搬运对象物的液晶显示器用的玻璃基板2(以下称为“基板2”)在真空中搬运的机器人。该机器人1被编入液晶显示器装置的制造系统中来使用。该制造系统具备配置于中心的传送腔3(以下称为“腔3”)和以围绕腔3的方式配置的多个工艺腔4(以下称为“腔4”)(参照图1)。
腔3、4的内部为真空。即，腔3、4是真空腔。在腔3的内部配置有机器人1的一部分。机器人1进行基板2向腔4的搬入和基板2从腔4的搬出。在腔4的内部配置有各种装置等，在腔4的内部，对基板2进行各种处理。
机器人1具备作为搭载基板2的第一手的手5、作为搭载基板2的第二手的手6、作为固定手5的第一手支承部件的手支承部件7、作为固定手6的第二手支承部件的手支承部件8、保持手支承部件7、8的臂9以及可转动地连接臂9的本体部10。
本体部10具备固定臂9的中心部的圆柱状的升降部件12(参照图2)、使升降部件12升降的升降机构、使升降部件12转动的转动机构、以及收容这些构成的壳体13。壳体13形成为大致有底圆筒状。在壳体13的上端固定有形成为圆盘状的凸缘14。在凸缘14上形成有配置升降部件12的上端侧部分的贯通孔。
手5、6及臂9配置于本体部10的上侧。如上所述，机器人1的一部分配置于腔3的内部。具体地说，机器人1的比凸缘14的下端面靠上侧的部分配置于腔3的内部。即，机器人1的、比凸缘14的下端面靠上侧的部分配置于真空区域VR中，手5、6及臂9配置于真空腔内(真空中)。另一方面，机器人1的、比凸缘14的下端面靠下侧的部分配置于大气区域AR中(大气中)。
臂9保持手支承部件7、8，使得手支承部件7和手支承部件8能够向水平方向的相同方向线性往复移动。机器人1具备作为使手支承部件7相对于臂9往复移动的第一驱动机构的驱动机构17和作为使手支承部件8相对于臂9往复移动的第二驱动机构的驱动机构18(参照图4)。
下面，对手5、6、手支承部件7、8、臂9及驱动机构17、18的具体的构成进行说明。此外，在下面的说明中，将手支承部件7、8相对于臂9的移动方向即图1等的X方向设为“前后方向”，将与上下方向(铅垂方向)和前后方向正交的图1等的Y方向设为“左右方向”。另外，将前后方向中的X1方向侧设为“前”侧，将其相反侧的X2方向侧设为“后”侧。
(手、手支承部件、臂及驱动机构的构成)
图4(A)是用于说明图1所示的臂9的内部结构的俯视图，图4(B)是用于从图4(A)的E－E方向说明臂9的内部结构的图。图5(A)是图4(A)的F部的放大图，图5(B)是图4(B)的G部的放大图。图6(A)是图4(A)的H部的放大图，图6(B)是图4(A)的J部的放大图。图7(A)是用于从图4(A)的K－K方向说明臂9的内部结构的图，图7(B)是用于从图4(A)的L－L方向说明臂9的内部结构的图。图8是用于从图4(B)的N－N方向说明手支承部件7、8、臂9及驱动机构17、18的结构的剖视图。图9是用于从图4(B)的Q－Q方向说明手支承部件7、8、臂9及驱动机构17、18的结构的剖视图。
手5具备搭载基板2的多个叉20和固定多个叉20的基端部(后端部)的手底座部21。手6与手5相同，具备搭载基板2的多个叉20和固定多个叉20的基端部(后端部)的手底座部22。本实施方式的手5、6具备6个叉20。叉20形成为沿前后方向细长的直线状。手底座部21、22形成为沿左右方向细长的大致长方形的平板状。手底座部21的长度(左右方向的长度)比手底座部22的长度(左右方向的长度)长。
手5和手6被配置为从前后方向观察时，在上下方向上相互重叠。在本实施方式中，从前后方向观察时，手5配置于上侧，手6配置于下侧。即，从前后方向观察时，手底座部21配置于上侧，手底座部22配置于下侧。另外，如图3所示，手5和手6配置为从前后方向观察时，手底座部21的中心和手底座部22的中心在左右方向上一致。即，手5和手6配置为从前后方向观察时，手5的中心和手6的中心在左右方向上一致。
臂9位于手6的下侧。该臂9形成为在前后方向上细长的大致长方体形状。另外，臂9形成为中空状。臂9的左右方向的宽度比手5、6的左右方向的宽度窄。臂9配置为从前后方向观察时，手5、6的中心和臂9的中心在左右方向上一致。臂9具备作为臂9的框架的臂框架23、构成臂9的上下、左右及前后的侧面的罩部件24、配置于臂9的中心部的箱状的电动机收容部件25、以及固定于电动机收容部件25的顶面的顶罩26。此外，在图4～图9中，省略罩部件24的图示。
臂框架23在前后方向上的臂9的整个区域构成臂9的框架。该臂框架23具备构成臂框架23的右侧面的右侧板部23a、构成臂框架23的左侧面的左侧板部23b、构成臂框架23的上侧面的上侧板部23c、以及构成臂框架23的下侧面的下侧板部23d。
右侧板部23a、左侧板部23b、上侧板部23c及下侧板部23d形成为平板状。右侧板部23a配置为右侧板部23a的厚度方向和左右方向一致，左侧板部23b配置为左侧板部23b的厚度方向和左右方向一致。上侧板部23c配置为上侧板部23c的厚度方向和上下方向一致，下侧板部23d配置为下侧板部23d的厚度方向和上下方向一致。
右侧板部23a和左侧板部23b以在左右方向上隔开间隔的状态配置。上侧板部23c由螺丝固定于右侧板部23a的上端及左侧板部23b的上端。下侧板部23d由螺丝固定于右侧板部23a的下端及左侧板部23b的下端。上侧板部23c的右端及下侧板部23d的右端配置于比右侧板部23a靠右侧的位置，上侧板部23c的左端及下侧板部23d的左端配置于比左侧板部23b靠左侧的位置。
电动机收容部件25形成为顶面侧开口的大致长方体的箱状。另外，电动机收容部件25形成为在前后方向上细长的大致长方体的箱状。在电动机收容部件25中，收容有构成驱动机构17的后述的电动机37和构成驱动机构18的后述的电动机38。电动机收容部件25被固定于臂框架23的中心部分。即，电动机收容部件25配置于臂9的中心部分。电动机收容部件25的底面的中心固定于升降部件12的上端。即，臂9的中心可转动地连接于本体部10。此外，电动机收容部件25的下端部以外的大部分在左右方向上配置于右侧板部23a和左侧板部23b之间(参照图5(A)、图9)。
顶罩26形成为长方形的平板状。顶罩26固定于电动机收容部件25的顶面，以封闭形成于电动机收容部件25的顶面侧的开口部。在臂9的中心部分的内部形成有由电动机收容部件25和顶罩26划定的内部空间S。在电动机收容部件25的底面部的中心形成有沿上下方向贯通的贯通孔25a。如上所述，升降部件12形成为圆筒形。升降部件12以围绕贯通孔25a的方式固定于电动机收容部件25的底面，连通壳体13的内部和内部空间S。壳体13的内部及内部空间S处于大气压。
如图8、图9所示，在右侧板部23a的右表面及左侧板部23b的左表面固定有用于沿前后方向引导手支承部件7的导轨29。另外，在右侧板部23a的右表面及左侧板部23b的左表面固定有用于沿前后方向引导手支承部件8的导轨30。导轨29、30固定于右侧板部23a及左侧板部23b，使得导轨29、30的长度方向与前后方向一致。
在本实施方式中，在前后方向上分割出的多个导轨29固定于右侧板部23a及左侧板部23b(参照图7)。同样，在前后方向上分割出的多个导轨30固定于右侧板部23a和左侧板部23b。固定于右侧板部23a的右表面的导轨29和固定于左侧板部23b的左表面的导轨29在上下方向上配置于相同的位置。同样，固定于右侧板部23a的右表面的导轨30和固定于左侧板部23b的左表面的导轨30在上下方向上配置于相同的位置。另外，导轨30配置于导轨29的上侧。
手支承部件7由沿着导轨29在前后方向上滑动的两个滑动部7a和固定手5的手底座部21的两个手固定部7b构成。同样，手支承部件8由沿着导轨30在前后方向上滑动的两个滑动部8a和固定手6的手底座部22的两个手固定部8b构成。
如图8、图9所示，两个滑动部7a分别配置于右侧板部23a及左侧板部23b的左右方向的外侧。两个滑动部8a分别配置于右侧板部23a及左侧板部23b的左右方向的外侧。另外，两个滑动部8a配置于两个滑动部7a的上侧。如图3所示，配置于右侧的滑动部7a、8a的右端部分比罩部件24的右侧面更向右侧突出，配置于左侧的滑动部7a、8a的左端部分比罩部件24的左侧面更向左侧突出。
两个手固定部7b中的一个手固定部7b固定于配置于右侧的滑动部7a，以从该滑动部7a的右端侧向右斜上侧延伸，如图3所示，手底座部21的右端部分的下表面固定在该手固定部7b的上端。另一手固定部7b固定于配置于左侧的滑动部7a，以从该滑动部7a的左端侧向左斜上侧延伸，如图3所示，手底座部21的左端部分的下表面固定在该手固定部7b的上端。这样，在手支承部件7的左右方向的两端侧，形成有作为固定手5的第一手固定部的手固定部7b。
两个手固定部8b中的一个手固定部8b固定于配置于右侧的滑动部8a，以从该滑动部8a的右端侧向右斜上侧延伸，如图3所示，手底座部22的比左右方向的中心靠右的部分的下表面固定在该手固定部8b的上端。另一手固定部8b固定于配置于左侧的滑动部8a，以从该滑动部8a的左端侧向左斜上侧延伸，如图3所示，手底座部22的比左右方向的中心靠左的部分的下表面固定在该手固定部8b的上端。这样，在手支承部件8的左右方向的两端侧，形成有作为固定手6的第二手固定部的手固定部8b。
在配置于右侧的滑动部7a，固定有与配置于右侧的导轨29卡合的导向块31，在配置于左侧的滑动部7a，固定有与配置于左侧的导轨29卡合的导向块31。同样，在配置于右侧的滑动部8a，固定有与配置于右侧的导轨30卡合的导向块32，在配置于左侧的滑动部8a，固定有与配置于左侧的导轨30卡合的导向块32。
具体地说，在两个滑动部7a中的各滑动部，以在前后方向上隔开间隔的状态固定有三个导向块31(参照图7(B))。另外，在两个滑动部8a中的各滑动部，以在前后方向上隔开间隔的状态固定有三个导向块32(参照图7(A))。在本实施方式中，由导轨29和导向块31构成沿前后方向引导手支承部件7的导向机构33。另外，由导轨30和导向块32构成沿前后方向引导手支承部件8的导向机构34。
驱动机构17、18配置于臂9的内部。驱动机构17具备作为驱动源的电动机37。驱动机构18具备作为驱动源的电动机38。电动机37、38配置于内部空间S。即，电动机37、38配置于臂9的中心部分的内部。电动机37、38经由规定的托架固定于电动机收容部件25中。电动机37和电动机38以在前后方向上隔开间隔的状态配置。具体地说，电动机37配置于后侧，电动机38配置于前侧。本实施方式的电动机37是第一电动机，电动机38是第二电动机。
电动机37、38配置为电动机37、38的输出轴的轴向和前后方向一致。另外，电动机37、38配置于内部空间S，使得电动机37的输出轴和电动机38的输出轴向相反方向突出。即，电动机37、38配置于臂9的中心部分的内部，使得电动机37的输出轴和电动机38的输出轴向相反方向突出。具体地说，电动机37、38配置于内部空间S，使得电动机37的输出轴朝向后侧突出，电动机38的输出轴朝向前侧突出。
电动机37的旋转中心和电动机38的旋转中心配置在相同的高度。在本实施方式中，从前后方向观察时，电动机37的旋转中心和电动机38的旋转中心一致。另外，从前后方向观察时，电动机37、38的旋转中心和臂9的中心大致一致。此外，在电动机37、38上卷绕有冷却用的空气配管(省略图示)。
另外，驱动机构17具备作为与电动机37的输出轴连接的第三旋转轴的旋转轴39、作为固定于旋转轴39的末端部的第一伞齿轮的伞齿轮40、作为与伞齿轮40啮合的第二伞齿轮的伞齿轮41、以及作为固定伞齿轮41的第一旋转轴的旋转轴42。同样，驱动机构18具备作为与电动机38的输出轴连接的第四旋转轴的旋转轴43、作为固定于旋转轴43的末端部的第三伞齿轮的伞齿轮44、作为与伞齿轮44啮合的第四伞齿轮的伞齿轮45、以及作为固定伞齿轮45的第二旋转轴的旋转轴46。
此外，驱动机构17具备固定于旋转轴42上的两个驱动带轮48、可旋转地保持于旋转轴46的两个从动带轮49、以及架设于驱动带轮48和从动带轮49上的两条皮带50。同样，驱动机构18具备固定于旋转轴46上的两个驱动带轮52、可旋转地保持于旋转轴42的两个从动带轮53、以及架设于驱动带轮52和从动带轮53上的两条皮带54。本实施方式的驱动带轮48是第一驱动带轮，从动带轮49是第一从动带轮，皮带50是第一皮带，驱动带轮52是第二驱动带轮，从动带轮53是第二从动带轮，皮带54是第二皮带。
旋转轴39配置为旋转轴39的轴向和前后方向一致，经由联轴器55与电动机37的输出轴的末端(后端)连接(参照图5)。旋转轴43配置为旋转轴43的轴向和前后方向一致，经由联轴器55与电动机38的输出轴的末端(前端)连接(参照图5)。伞齿轮40、41、旋转轴42、驱动带轮48以及从动带轮53配置于臂9的后端侧的内部(前后方向上的臂9的一端侧的内部)。伞齿轮44、45、旋转轴46、驱动带轮52以及从动带轮49配置于臂9的前端侧的内部(前后方向上的臂9的另一端侧的内部)。
另外，驱动机构17具备可旋转地保持旋转轴39并且防止空气从内部空间S流出的磁性流体密封56。同样，驱动机构18具备可旋转地保持旋转轴43并且防止空气从内部空间S流出的磁性流体密封57。如图5所示，磁性流体密封56被固定于构成电动机收容部件25的后表面的后壁部25b。磁性流体密封57被固定于构成电动机收容部件25的前表面的前壁部25c。具体地说，磁性流体密封56以插通于在前后方向上贯通后壁部25b的贯通孔中的状态固定于后壁部25b，磁性流体密封57以插通于在前后方向上贯通前壁部25c的贯通孔中的状态固定于前壁部25c。
另外，旋转轴39、43被固定于臂框架23上的多个轴承59可旋转地支承。此外，本实施方式的旋转轴39由长度较短的两个短轴和长度较长的一个长轴形成。两个短轴中的一短轴经由联轴器55与电动机37的输出轴连接，并且被磁性流体密封56可旋转地保持。在另一短轴上固定有伞齿轮40。一短轴和长轴的前端由配置于磁性流体密封56的后侧的联轴器60连接(参照图5)，另一短轴和长轴的后端由配置于最后侧的轴承59的前侧的联轴器60连接(参照图6(B))。
同样，本实施方式的旋转轴43由长度较短的两个短轴和长度较长的一个长轴形成。两个短轴中的一短轴经由联轴器55与电动机38的输出轴连接，并且被磁性流体密封57可旋转地保持。在另一短轴上固定有伞齿轮44。一短轴和长轴的后端由配置于磁性流体密封57的前侧的联轴器60连接(参照图5)，另一短轴和长轴的前端由配置于最前侧的轴承59的后侧的联轴器60连接(参照图6(A)。此外，旋转轴39、43也可以由一个长轴构成。
旋转轴42由臂9可旋转地支承。该旋转轴42配置于伞齿轮40的后侧。旋转轴42被配置为旋转轴42的轴向与左右方向一致，且通过电动机37的动力以左右方向为旋转的轴向进行旋转。即，固定于旋转轴42上的驱动带轮48通过电动机37的动力以左右方向为旋转的轴向进行旋转。另外，可旋转地保持于旋转轴42的从动带轮53也以左右方向为旋转的轴向进行旋转。伞齿轮41固定于旋转轴42的左右方向上的中心侧。旋转轴42的左右两端侧比右侧板部23a及左侧板部23b更向左右方向的外侧突出。
旋转轴46由臂9可旋转地支承。该旋转轴46配置于伞齿轮44的前侧。旋转轴46被配置为旋转轴46的轴向与左右方向一致，且通过电动机38的动力以左右方向为旋转的轴向进行旋转。即，固定于旋转轴46上的驱动带轮52通过电动机38的动力以左右方向为旋转的轴向进行旋转。另外，可旋转地保持于旋转轴46的从动带轮49也以左右方向为旋转的轴向进行旋转。伞齿轮45固定于旋转轴46的左右方向上的中心侧。旋转轴46的左右的两端侧比右侧板部23a及左侧板部23b更向左右方向的外侧突出。旋转轴46在上下左右方向上配置于与旋转轴42相同的位置。
两个驱动带轮48分别固定于旋转轴42的左右方向上的两端部中的各端部。从动带轮53在伞齿轮41和驱动带轮48之间可旋转地保持于旋转轴42，两个从动带轮53配置于比两个驱动带轮48靠左右方向的内侧的位置。另外，两个从动带轮53配置于比右侧板部23a及左侧板部23b靠左右方向的外侧的位置。
两个从动带轮49分别可旋转地保持于旋转轴46的左右方向上的两端部中的各端部。从动带轮49在左右方向上配置于与驱动带轮48相同的位置。驱动带轮52在伞齿轮45和从动带轮49之间固定于旋转轴46上，两个驱动带轮52配置于比两个从动带轮49靠左右方向的内侧的位置。另外，两个驱动带轮52配置于比右侧板部23a及左侧板部23b靠左右方向的外侧的位置。驱动带轮52在左右方向上配置于与从动带轮53相同的位置。
皮带50固定于手支承部件7上。具体地说，通过规定的安装部件及螺栓将两条皮带50各自的一部分固定于两个滑动部7a各自的上端部。本实施方式的皮带50是非环形皮带，通过安装部件及螺栓将架设于驱动带轮48及从动带轮49上的皮带50的两端部分别固定于滑动部7a(参照图7(B))。另外，皮带50配置于比手固定部7b靠左右方向的内侧的位置。此外，皮带50也可以是以环状形成的环形皮带。
皮带54固定于手支承部件8上。具体地说，通过规定的安装部件及螺栓将两条皮带54各自的一部分固定于两个滑动部8a各自的下端部。与皮带50相同，本实施方式的皮带54为非环形皮带，通过安装部件及螺栓将架设于驱动带轮52及从动带轮53上的皮带54的两端部分别固定于滑动部8a(参照图7(A))。另外，皮带54配置于比手固定部8b靠左右方向的内侧的位置。此外，皮带54也可以是以环状形成的环形皮带。
由于驱动带轮48、52及从动带轮49、53如上所述配置，因此从前后方向观察时，两个皮带50分别配置于电动机37、38的左右两侧，两个皮带54分别配置于电动机37、38的左右两侧。具体地说，从前后方向观察时，两条皮带50分别相对于电动机37、38的旋转中心左右对称地配置，两条皮带54分别相对于电动机37、38的旋转中心左右对称地配置。
另外，皮带54配置为与皮带50在左右方向上相邻，且配置在与皮带50相同的高度。即，在臂9的内部的左右两端侧，皮带54配置为与皮带50在左右方向的内侧相邻，且配置在与皮带50相同的高度。另外，在臂9的内部的左右两端侧，皮带54被配置为在左右方向的外侧与右侧板部23a及左侧板部23b相邻。
(本实施方式的主要效果)
如上所述，在本实施方式中，配置于电动机37的左右两侧的两条皮带50固定于手支承部件7上，配置于电动机38的左右两侧的两条皮带54固定于手支承部件8上。因此，在本实施方式中，能够防止如上述的专利文献1所记载的工业用机器人那样，在移动时的手支承部件7、8上产生力矩。因此，在本实施方式中，能够稳定手支承部件7、8的动作，其结果是，能够稳定手5和手6的动作。
另外，在本实施方式中，在手支承部件7的左右方向的两端侧形成有固定手5的手固定部7b，手5在左右两侧支承于手支承部件7上。同样，在本实施方式中，在手支承部件8的左右方向的两端侧形成有固定手6的手固定部8b，手6在左右两侧支承于手支承部件8上。因此，在本实施方式中，能够稳定与手支承部件7一起沿前后方向移动的手5的状态及与手支承部件8一起沿前后方向移动的手6的状态。
在本实施方式中，电动机37的旋转中心和电动机38的旋转中心配置在相同的高度，并且，皮带54配置为与皮带50在左右方向上相邻，且配置在与皮带50相同的高度。因此，在本实施方式中，能够降低配置于臂9内部的驱动机构17、18的高度。因此，在本实施方式中，即使能够稳定手5、6的动作，也能够减小臂9的厚度(上下方向的厚度)，其结果是，能够降低机器人1的高度。另外，在本实施方式中，因为能够减小配置于腔3中的臂9的厚度，所以能够降低腔3的高度。
在本实施方式中，从前后方向观察时，电动机37的旋转中心和电动机38的旋转中心一致。因此，在本实施方式中，能够缩小臂9的宽度(左右方向的宽度)。另外，在本实施方式中，从动带轮53被固定有驱动带轮48的旋转轴42可旋转地保持，从动带轮49被固定有驱动带轮52的旋转轴46可旋转地保持，因此，与另行设置可旋转地保持从动带轮53的轴、可旋转地保持从动带轮49的轴的情况相比，能够简化机器人1的结构。
(其它实施方式)
上述的实施方式是本发明的最佳实施方式的一例，但不限于此，在不变更本发明的宗旨的范围内可以实施各种变形。
在上述的实施方式中，从动带轮49可旋转地保持于旋转轴46，但也可以另行设置可旋转地保持从动带轮49的轴。同样，在上述的实施方式中，从动带轮53可旋转地保持于旋转轴42，但也可以另行设置可旋转地保持从动带轮53的轴。另外，在上述的实施方式中，皮带54配置为在左右方向的内侧与皮带50相邻，但例如也可以在配置于右侧的皮带50的右侧配置皮带54，也可以在配置于左侧的皮带50的左侧配置皮带54。
在上述的实施方式中，从前后方向观察时，电动机37的旋转中心和电动机38的旋转中心也可以在左右方向上错开。另外，在上述的实施方式中，电动机37也可以配置于臂9的后端部的内部，电动机38也可以配置于臂9的前端部的内部。此外，在上述的实施方式中，也可以仅在手支承部件7的左右方向的一侧形成固定手5的手固定部7b，也可以仅在手支承部件8的左右方向的一侧形成固定手6的手固定部8b。
在上述的实施方式中，也可以像专利文献1所记载的工业用机器人那样，臂9以能相对于臂支承部件在前后方向上线性往复移动的方式被臂支承部件保持。另外，在上述的实施方式中，臂9的内部的整体也可以为大气压。另外，臂9内部的整体也可以为真空。即，电动机37、38也可以配置于真空中。
在上述的实施方式中，机器人1也可以是在大气中搬运基板2的机器人。另外，在上述的实施方式中，由机器人1搬运的搬运对象物是液晶显示器用的玻璃基板2，但由机器人1搬运的搬运对象物例如也可以是有机EL(有机电致发光)显示器用的玻璃基板，也可以是玻璃基板2以外的搬运对象物。
附图标记说明
1 机器人(工业用机器人)
2 基板(玻璃基板、搬运对象物)
5 手(第一手)
6 手(第二手)
7 手支承部件(第一手支承部件)
7b 手固定部(第一手固定部)
8 手支承部件(第二手支承部件)
8b 手固定部(第二手固定部)
9 臂
17 驱动机构(第一驱动机构)
18 驱动机构(第二驱动机构)
37 电动机(第一电动机)
38 电动机(第二电动机)
39 旋转轴(第三旋转轴)
40 伞齿轮(第一伞齿轮)
41 伞齿轮(第二伞齿轮)
42 旋转轴(第一旋转轴)
43 旋转轴(第四旋转轴)
44 伞齿轮(第三伞齿轮)
45 伞齿轮(第四伞齿轮)
46 旋转轴(第二旋转轴)
48 驱动带轮(第一驱动带轮)
49 从动带轮(第一从动带轮)
50 皮带(第一皮带)
52 驱动带轮(第二驱动带轮)
53 从动带轮(第二从动带轮)
54 皮带(第二皮带)
X 前后方向
Y 左右方向

Claims (6)

1.一种工业用机器人，其特征在于，
所述工业用机器人具备：第一手及第二手，所述第一手及第二手搭载搬运对象物；第一手支承部件，所述第一手支承部件固定有所述第一手；第二手支承部件，所述第二手支承部件固定有所述第二手；臂，所述臂保持所述第一手支承部件及所述第二手支承部件，使得所述第一手支承部件和所述第二手支承部件能够向水平方向的相同方向线性往复移动；第一驱动机构，所述第一驱动机构使所述第一手支承部件相对于所述臂往复移动；第二驱动机构，所述第二驱动机构使所述第二手支承部件相对于所述臂往复移动，
所述第一驱动机构及所述第二驱动机构配置于所述臂的内部，
将所述第一手支承部件及所述第二手支承部件相对于所述臂的移动方向设为前后方向，将与上下方向和前后方向正交的方向设为左右方向时，
所述第一驱动机构具备：作为驱动源的第一电动机；两个第一驱动带轮，所述第一驱动带轮通过所述第一电动机的动力以左右方向为旋转的轴向进行旋转，并且配置于前后方向上的所述臂的一端侧的内部；两个第一从动带轮，所述第一从动带轮以左右方向为旋转的轴向进行旋转，并且配置于前后方向上的所述臂的另一端侧的内部；两条第一皮带，所述第一皮带固定于所述第一手支承部件，并且架设于所述第一驱动带轮和所述第一从动带轮，
所述第二驱动机构具备：作为驱动源的第二电动机；两个第二驱动带轮，所述第二驱动带轮通过所述第二电动机的动力以左右方向为旋转的轴向进行旋转，并且配置于前后方向上的所述臂的另一端侧的内部；两个第二从动带轮，所述第二从动带轮以左右方向为旋转的轴向进行旋转，并且配置于前后方向上的所述臂的一端侧的内部；两条第二皮带，所述第二皮带固定于所述第二手支承部件，并且架设于所述第二驱动带轮和所述第二从动带轮，
所述第一电动机的旋转中心和所述第二电动机的旋转中心配置在相同的高度，
从前后方向观察时，所述第一皮带配置于所述第一电动机的两侧中的各侧，所述第二皮带配置于所述第二电动机的两侧中的各侧，并且配置为在左右方向上与所述第一皮带相邻，且配置在与所述第一皮带相同的高度，
所述第一驱动机构具备固定有两个所述第一驱动带轮的第一旋转轴，
所述第二驱动机构具备固定有两个所述第二驱动带轮的第二旋转轴，
两个所述第一从动带轮能旋转地保持于所述第二旋转轴，
两个所述第二从动带轮能旋转地保持于所述第一旋转轴。
2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，
从前后方向观察时，所述第一电动机的旋转中心和所述第二电动机的旋转中心一致。
3.根据权利要求2所述的工业用机器人，其特征在于，
在所述第一手支承部件的左右方向的两端侧，形成有固定有所述第一手的第一手固定部，
在所述第二手支承部件的左右方向的两端侧，形成有固定有所述第二手的第二手固定部。
4.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，
在所述第一手支承部件的左右方向的两端侧，形成有固定有所述第一手的第一手固定部，
在所述第二手支承部件的左右方向的两端侧，形成有固定有所述第二手的第二手固定部。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的工业用机器人，其特征在于，
所述第一电动机及所述第二电动机配置于所述臂的中心部分的内部，使得所述第一电动机的输出轴和所述第二电动机的输出轴向相反方向突出。
6.根据权利要求5所述的工业用机器人，其特征在于，
所述第一驱动机构具备：与所述第一电动机的输出轴连接的第三旋转轴、固定于所述第三旋转轴的末端部的第一伞齿轮、以及固定于所述第一旋转轴并且与所述第一伞齿轮啮合的第二伞齿轮，
所述第二驱动机构具备：与所述第二电动机的输出轴连接的第四旋转轴、固定于所述第四旋转轴的末端部的第三伞齿轮、以及固定于所述第二旋转轴并且与所述第三伞齿轮啮合的第四伞齿轮。
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